JP5657008B2 - 光ビームを二つの異なる方向へ偏向するための装置と方法、ならびに、走査型顕微鏡 - Google Patents
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Description
22 鏡
24 第一回転作動要素
26 第二回転作動要素
28 第一バネ要素
29 第一接触点
30 第二バネ要素
31 第二接触点
32 第一装着部
33 第二装着部
34 第四バネ要素
35 第一突起点
36 第三バネ要素
37 第二突起点
38 第一ピボット軸受
40 第二ピボット軸受
42 外部ガイド要素
44 第一回転作動要素のホルダ
46 第二回転作動要素のホルダ
48 支持体
50 第三回転作動要素
52 台座
54 第一軸
56 第二軸
57 第三軸
60 検出器
62 光源
64 照明光ビーム
66 第一開口
68 主ビームスプリッタ
70 走査光学系
72 筒状光学系
74 集束光学系
76 試料
78 検出光ビーム
80 第二開口
P1 第三距離
D1 第一両方向矢印
D2 第二両方向矢印
D3 第三両方向矢印
Claims (14)
- 一つの光ビームを二つの異なる方向へ偏向するための装置(20)であって、
一つの鏡(22)と、
第一回転作動要素(24)と、
第二回転作動要素(26)と、
第一バネ要素(28)と、及び、
第二バネ要素(30)とを備えており、
前記第一回転作動要素(24)は、第一作動信号に基いて第一軸(54)の周りを回転し、
前記第二回転作動要素(26)は、前記第一軸(54)に沿って前記第一回転作動要素(24)と向かい合わせに配置され、且つ、第二作動信号に基いて第一軸(54)の周りを回転し、
前記第一バネ要素(28)は、前記第一回転作動要素(24)と、及び、規定した第一距離だけ第一軸(54)からずれて停止位置の前記鏡(22)と結合され、
前記第二バネ要素(30)は、前記第二回転作動要素(26)及び前記鏡(22)と結合されることで
前記第一作動信号及び前記第二作動信号が同じ形であり且つ互いに位相がずれていない場合は、前記鏡(22)が前記第一軸(54)の周りで回転され、また、前記第一作動信号及び前記第二作動信号が同じ形でない及び/又は互いに位相偏移を有している場合は、前記鏡(22)が、前記第一軸とは異なる前記第二軸の周りで回転される、
装置。 - 第二回転作動要素(26)は、規定した第二距離だけ第一軸(54)からずれて鏡(22)と結合される、請求項1に記載の装置(20)。
- 第一バネ要素(28)が第一接触点(29)で鏡(22)と結合され、
第二バネ要素(30)が第二接触点(31)で鏡(22)と結合され、
第一軸(54)上の第一接触点(29)の突起点(35)が、第一軸(54)上の第二接触点(31)の突起点(37)に対し規定した第三距離(P1)を有している、請求項1又は2に記載の装置(20)。 - 第一バネ要素(28)が第一接触点(29)で鏡(22)と結合され、
第二バネ要素(30)が第二接触点(31)で鏡(22)と結合され、
鏡(22)の停止位置において、一つの面が、第一軸(54)と、鏡(22)の中心における法線とにまたがり、及び、
前記二つの接触点(29、31)が前記面について同じ側に存在する、請求項1〜3のいずれか一項に記載の装置(20)。 - 第一、及び/又は、第二バネ要素(28、30)が、装着部(32)を介して鏡(22)に取り付けられる、請求項1〜4のいずれか一項に記載の装置(20)。
- 第一軸(54)が、鏡(22)の停止位置において、鏡(22)、及び/又は、装着部(32)を横切る、請求項1〜5のいずれか一項に記載の装置(20)。
- 第一バネ要素(28)は、第一回転作動要素(24)と結合される領域において第一軸(54)と垂直又は概ね垂直であり、且つ、鏡(22)又は装着部(32)と結合される領域において第一軸(54)と平行又は概ね平行であり、及び/又は、
第二バネ要素(30)は、第二回転作動要素(26)と結合される領域において第一軸(54)と垂直又は概ね垂直であり、且つ、鏡(22)又は装着部(32)と結合される領域において第一軸(54)と平行又は概ね平行である、請求項1〜6のいずれか一項に記載の装置(20)。 - 第三バネ要素(36)と、及び/又は、第四バネ要素(34)を備えており、
前記第三バネ要素(36)は、第一回転作動要素(24)と、及び、規定した第四距離だけ第一軸(54)からずれて鏡(22)と結合され、
前記第四バネ要素(34)は、第二回転作動要素(26)と、及び、規定した第五距離だけ第一軸(54)からずれて鏡(22)と結合された、請求項1〜7のいずれか一項に記載の装置(20)。 - 第一軸(54)について同心円状に形成され、且つ、それぞれが回転作動要素(24、26)の、又は、回転作動要素(24、26)のホルダ(44、46)の少なくとも一部を半径方向に取り囲む、二つの凹部を有しており、及び、
第二軸(56)に沿って配置されたピボット軸受(38、40)をそれぞれ介して鏡(22)の装着部(32)に結合された、一つの外部ガイド要素(42)を備える、請求項1〜8のいずれか一項に記載の装置(20)。 - 第三、及び/又は、第四バネ要素(36、34)が、ピボット軸受(38、40)のうち一つを介して鏡(22)の装着部(32)に結合される、請求項9に記載の装置(20)。
- 第三作動信号に基いて第一及び第二回転作動要素(24、26)を、したがって、鏡(22)を、鏡(22)の停止位置において第一軸(54)と垂直又は概ね垂直な第三軸(57)の周りに回転させる、第三回転作動要素(50)を備えた、請求項1〜10のいずれか一項に記載の装置(20)。
- 請求項1〜11のいずれか一項に記載の、一つの光ビームを偏向するための装置(20)を備えた走査型顕微鏡。
- 一つの光ビームを二つの異なる方向へ偏向するための方法であって、
前記光ビームが一つの鏡(22)に向けられ、
前記鏡(22)が、第一作動信号に基いて、第一軸(54)の周りを回転する第一回転作動要素(24)を作動することによって、且つ、第二作動信号に基いて、第一軸(54)の周りを回転する第二作動要素(26)を作動することによって、第一軸(54)の周りを回転され、前記二つの作動信号は、同じ形であって、互いに位相偏移を有しておらず、及び、
前記二つの作動信号が互いに同じ形でなく、及び/又は、位相偏移を有している場合には、前記鏡(22)が、前記第一軸(54)とは異なる第二軸の周りを回転する、方法。 - 二つの作動信号のうち少なくとも一つが変化する、請求項13に記載の方法。
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