CN113939687B - 一种处理气体污染物的装置 - Google Patents

一种处理气体污染物的装置 Download PDF

Info

Publication number
CN113939687B
CN113939687B CN202080006102.8A CN202080006102A CN113939687B CN 113939687 B CN113939687 B CN 113939687B CN 202080006102 A CN202080006102 A CN 202080006102A CN 113939687 B CN113939687 B CN 113939687B
Authority
CN
China
Prior art keywords
chamber
reaction
effluent
module
section
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202080006102.8A
Other languages
English (en)
Other versions
CN113939687A (zh
Inventor
田志伟
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Anhui Yikos Automation Equipment Co ltd
Original Assignee
Anhui Yikos Automation Equipment Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Anhui Yikos Automation Equipment Co ltd filed Critical Anhui Yikos Automation Equipment Co ltd
Publication of CN113939687A publication Critical patent/CN113939687A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN113939687B publication Critical patent/CN113939687B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
    • B01D53/74—General processes for purification of waste gases; Apparatus or devices specially adapted therefor
    • B01D53/76—Gas phase processes, e.g. by using aerosols
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
    • F23G—CREMATION FURNACES; CONSUMING WASTE PRODUCTS BY COMBUSTION
    • F23G7/00—Incinerators or other apparatus for consuming industrial waste, e.g. chemicals
    • F23G7/06—Incinerators or other apparatus for consuming industrial waste, e.g. chemicals of waste gases or noxious gases, e.g. exhaust gases
    • F23G7/061—Incinerators or other apparatus for consuming industrial waste, e.g. chemicals of waste gases or noxious gases, e.g. exhaust gases with supplementary heating
    • F23G7/065—Incinerators or other apparatus for consuming industrial waste, e.g. chemicals of waste gases or noxious gases, e.g. exhaust gases with supplementary heating using gaseous or liquid fuel
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
    • B01D53/46—Removing components of defined structure
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/4412—Details relating to the exhausts, e.g. pumps, filters, scrubbers, particle traps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F01—MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; ENGINE PLANTS IN GENERAL; STEAM ENGINES
    • F01N—GAS-FLOW SILENCERS OR EXHAUST APPARATUS FOR MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; GAS-FLOW SILENCERS OR EXHAUST APPARATUS FOR INTERNAL COMBUSTION ENGINES
    • F01N3/00—Exhaust or silencing apparatus having means for purifying, rendering innocuous, or otherwise treating exhaust
    • F01N3/08—Exhaust or silencing apparatus having means for purifying, rendering innocuous, or otherwise treating exhaust for rendering innocuous
    • F01N3/10—Exhaust or silencing apparatus having means for purifying, rendering innocuous, or otherwise treating exhaust for rendering innocuous by thermal or catalytic conversion of noxious components of exhaust
    • F01N3/24—Exhaust or silencing apparatus having means for purifying, rendering innocuous, or otherwise treating exhaust for rendering innocuous by thermal or catalytic conversion of noxious components of exhaust characterised by constructional aspects of converting apparatus
    • F01N3/26—Construction of thermal reactors
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
    • F23C—METHODS OR APPARATUS FOR COMBUSTION USING FLUID FUEL OR SOLID FUEL SUSPENDED IN  A CARRIER GAS OR AIR 
    • F23C5/00—Disposition of burners with respect to the combustion chamber or to one another; Mounting of burners in combustion apparatus
    • F23C5/08—Disposition of burners
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
    • F23C—METHODS OR APPARATUS FOR COMBUSTION USING FLUID FUEL OR SOLID FUEL SUSPENDED IN  A CARRIER GAS OR AIR 
    • F23C6/00—Combustion apparatus characterised by the combination of two or more combustion chambers or combustion zones, e.g. for staged combustion
    • F23C6/02—Combustion apparatus characterised by the combination of two or more combustion chambers or combustion zones, e.g. for staged combustion in parallel arrangement
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
    • F23G—CREMATION FURNACES; CONSUMING WASTE PRODUCTS BY COMBUSTION
    • F23G5/00—Incineration of waste; Incinerator constructions; Details, accessories or control therefor
    • F23G5/24—Incineration of waste; Incinerator constructions; Details, accessories or control therefor having a vertical, substantially cylindrical, combustion chamber
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
    • F23G—CREMATION FURNACES; CONSUMING WASTE PRODUCTS BY COMBUSTION
    • F23G5/00—Incineration of waste; Incinerator constructions; Details, accessories or control therefor
    • F23G5/44—Details; Accessories
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
    • F23G—CREMATION FURNACES; CONSUMING WASTE PRODUCTS BY COMBUSTION
    • F23G7/00—Incinerators or other apparatus for consuming industrial waste, e.g. chemicals
    • F23G7/06—Incinerators or other apparatus for consuming industrial waste, e.g. chemicals of waste gases or noxious gases, e.g. exhaust gases
    • F23G7/08—Incinerators or other apparatus for consuming industrial waste, e.g. chemicals of waste gases or noxious gases, e.g. exhaust gases using flares, e.g. in stacks
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
    • F23M—CASINGS, LININGS, WALLS OR DOORS SPECIALLY ADAPTED FOR COMBUSTION CHAMBERS, e.g. FIREBRIDGES; DEVICES FOR DEFLECTING AIR, FLAMES OR COMBUSTION PRODUCTS IN COMBUSTION CHAMBERS; SAFETY ARRANGEMENTS SPECIALLY ADAPTED FOR COMBUSTION APPARATUS; DETAILS OF COMBUSTION CHAMBERS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F23M5/00—Casings; Linings; Walls
    • F23M5/08—Cooling thereof; Tube walls
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2251/00—Reactants
    • B01D2251/10—Oxidants
    • B01D2251/102—Oxygen
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2251/00—Reactants
    • B01D2251/10—Oxidants
    • B01D2251/104—Ozone
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2251/00—Reactants
    • B01D2251/10—Oxidants
    • B01D2251/11—Air
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2251/00—Reactants
    • B01D2251/20—Reductants
    • B01D2251/202—Hydrogen
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2251/00—Reactants
    • B01D2251/20—Reductants
    • B01D2251/208—Hydrocarbons
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2257/00—Components to be removed
    • B01D2257/55—Compounds of silicon, phosphorus, germanium or arsenic
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2257/00—Components to be removed
    • B01D2257/55—Compounds of silicon, phosphorus, germanium or arsenic
    • B01D2257/553—Compounds comprising hydrogen, e.g. silanes
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2258/00—Sources of waste gases
    • B01D2258/02—Other waste gases
    • B01D2258/0216—Other waste gases from CVD treatment or semi-conductor manufacturing
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F01—MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; ENGINE PLANTS IN GENERAL; STEAM ENGINES
    • F01N—GAS-FLOW SILENCERS OR EXHAUST APPARATUS FOR MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; GAS-FLOW SILENCERS OR EXHAUST APPARATUS FOR INTERNAL COMBUSTION ENGINES
    • F01N3/00—Exhaust or silencing apparatus having means for purifying, rendering innocuous, or otherwise treating exhaust
    • F01N3/08—Exhaust or silencing apparatus having means for purifying, rendering innocuous, or otherwise treating exhaust for rendering innocuous
    • F01N3/10—Exhaust or silencing apparatus having means for purifying, rendering innocuous, or otherwise treating exhaust for rendering innocuous by thermal or catalytic conversion of noxious components of exhaust
    • F01N3/24—Exhaust or silencing apparatus having means for purifying, rendering innocuous, or otherwise treating exhaust for rendering innocuous by thermal or catalytic conversion of noxious components of exhaust characterised by constructional aspects of converting apparatus
    • F01N3/38—Arrangements for igniting
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
    • F23G—CREMATION FURNACES; CONSUMING WASTE PRODUCTS BY COMBUSTION
    • F23G2209/00—Specific waste
    • F23G2209/14—Gaseous waste or fumes
    • F23G2209/142—Halogen gases, e.g. silane

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Incineration Of Waste (AREA)
  • Treating Waste Gases (AREA)
  • Devices And Processes Conducted In The Presence Of Fluids And Solid Particles (AREA)

Abstract

一种处理气体污染物的装置，包括一反应部以及一管体，该反应部包括一进气模块、一反应模块、一燃烧模块以及一冷却模块，该管体连接于该反应部，该管体包括一横向段、一连接段以及一直向段，该横向段实质上地平行于该处理气体污染物的装置的一安装平面，该直向段实质上地垂直于该安装平面，该横向段具有一连通至该反应部的顶部进气口以及一侧向进气口，该连接段连接于该横向段和该直向段之间，该顶部进气口接收经过该反应部而往下流向的流出物，该侧向进气口接收一横向气流，该流出物受到该横向气流的带动而形成一旋转气旋并经由该连接段从该直向段远离该连接段的一出口排出。

Description

一种处理气体污染物的装置
技术领域
本发明关于一种处理气体污染物的装置，且特别关于一种处理一来自半导体制程的流出物的装置。
背景技术
半导体制程中的尾气含有多种对人体或环境有害的化学物质，常见的尾气处理设备，包括燃烧式、等离子式、水洗式以及触媒式等。
对于化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition,CVD)制程所产生的硅烷(Silane)、砷化三氢(Arsine)、磷化氢(Phosphine)等污染物质，则常采用燃烧式的尾气处理设备，传统的商用产品包括来自于DAS公司的LARCH型号机台或是来自于Edwards公司的Spectra系列机台。
发明内容
本发明提供一种处理气体污染物的装置，包括一反应部，包括：一进气模块，包括一第一外壁、一第一内壁、一第一冷却腔室、一进气腔室以及至少一导引管路，该第一冷却腔室设置于该第一外壁以及该第一内壁之间，该第一内壁界定出该进气腔室，该导引管路设置于该进气腔室的一侧边并将一来自半导体制程的流出物导引至该进气腔室；一反应模块，耦接于该进气模块下方，该反应模块包括一第二外壁、一第二内壁、一第二冷却腔室以及一反应腔室，该第二冷却腔室设置于该第二外壁以及该第二内壁之间，该第二内壁界定出该进气腔室，该进气腔室以及该进气腔室彼此连通以接收来自于该进气腔室的该流出物；一燃烧模块，包括至少一燃烧组件，该燃烧组件包括一预混腔室、一火星塞、一第一管路以及一第二管路，该第一管路以及该第二管路分别输送一氧化剂以及一燃料气体至该预混腔室，该火星塞设置于邻近该预混腔室的一开口端，该开口端连接至该反应腔室，该火星塞产生一点燃该氧化剂以及该燃料气体的火花并经由该开口端提供一火焰至该反应腔室以燃烧该流出物；以及一冷却模块，包括一第一管路以及一第二管路，该第一管路连接于一冷却液源以及该第二冷却腔室之间，该第二管路连接于该第二冷却腔室以及该第一冷却腔室之间，其中，该第一冷却腔室以及该第二冷却腔室经由该第二管路而彼此连通；一管体，连接于该反应部，包括一横向段、一连接段以及一直向段，该横向段实质上地平行于该处理气体污染物的装置的一安装平面，该直向段实质上地垂直于该安装平面，该横向段具有一连通至该反应部的该反应腔室的顶部进气口以及一侧向进气口，该连接段连接于该横向段和该直向段之间；其中，该顶部进气口接收经过该反应部而往下流向的该流出物，该侧向进气口接收一横向气流，该流出物受到该横向气流的带动而形成一旋转气旋并经由该连接段从该直向段远离该连接段的一出口排出。
本发明还提供一种处理气体污染物的装置，包括：一反应部，包括：一进气模块，包括一进气腔室以及至少一导引管路，该导引管路设置于该进气腔室的一侧边并将一来自半导体制程的流出物导引至该进气腔室；一反应模块，耦接于该进气模块下方，该反应模块包括一反应腔室，该进气腔室以及该进气腔室彼此连通以接收来自于该进气腔室的该流出物，其中，该反应模块具有一延长该流出物在该反应腔室内的一流动时间的第一高度；一燃烧模块，包括至少一燃烧组件，该燃烧组件包括一预混腔室、一火星塞、一第一管路以及一第二管路，该第一管路以及该第二管路分别输送一氧化剂以及一燃料气体至该预混腔室，该火星塞设置于邻近该预混腔室的一开口端，该开口端连接至该反应腔室，该火星塞产生一点燃该氧化剂以及该燃料气体的火花并经由该开口端提供一火焰至该反应腔室以燃烧该流出物；以及一管体，连接于该反应部，包括一横向段、一连接段以及一直向段，该横向段实质上地平行于该处理气体污染物的装置的一安装平面，该直向段实质上地垂直于该安装平面，该横向段具有一连通至该反应部的该反应腔室的顶部进气口以及一侧向进气口，该连接段连接于该横向段和该直向段之间；其中，该顶部进气口接收经过该燃烧模块而往下流向的该流出物，该侧向进气口接收一横向气流，该流出物受到该横向气流的带动而形成一旋转气旋并经由该连接段从该直向段远离该连接段的一出口排出；其中，该直向段具有一延长该流出物在该直向段内的一流动时间的第二高度，使得该流出物从该反应腔室流动至该直向段的该出口后降低至一低于200℃的温度。
附图说明
图1，为根据本发明一实施例的立体组装示意图。
图2A，为根据本发明一实施例的立体组装示意图。
图2B，为图2A沿XZ平面的立体剖面示意图。
图2C，为图2B的局部放大示意图。
图3，为根据本发明一实施例另一视角的立体组装示意图。
图4，为根据本发明一实施例的侧示示意图。
图5，为图4沿A-A的剖面示意图。
图6，为根据本发明一实施例的燃烧模块的立体组装示意图。
图7，为图4沿B-B的立体剖面示意图。
图8，为图4沿C-C的立体剖面示意图。
图9，为根据本发明其他实施例的示意图。
图10，为根据本发明另一实施例的立体组装示意图。
图11，为图10沿XZ平面的剖面示意图。
具体实施方式
以下实施例应用于处理一来自半导体制程的流出物(Effluent stream)，例如尾气(Waste gas)；以下实施例尽管在多处使用水一词，但仅基于描述方便的目的，本发明并不限定于水，其他可替代的液体均可使用。
在本文中，对各种实施例的描述中所使用的术语只是为了描述特定示例的目的，而并非旨在进行限制。除非上下文另外明确地表明，或非刻意限定元件的数量，否则本文所用的单数形式「一」、「一个」及「该」也包含复数形式。另一方面，术语「包括」和「包含」旨在被包括在内，意指可存在除列出的组件之外的附加元件；当一个元件被表述为「连接」或「耦接」到另一元件时，该元件可以直接或通过中间元件连接或耦接至该另一元件；当描述层、区域或基板的元件被称为在另一元件「上」时，系指可直接在该另一元件上或彼此间可存在一中间元件，相对来说，当元件被称作「直接在另一元件上」时，彼此间不存在该中间元件；另外，各实施例的描述的顺序不应被解释为暗示操作或步骤必须依赖于字面上的顺序，另选实施方案可使用与本文描述的顺序不同的顺序来执行步骤、操作、方法等。
本发明的一方面揭露一种燃烧式尾气处理设备(也可称热氧化式尾气处理设备)，该尾气处理设备为非水洗式(即干式)，请参阅图1以及图2A至图2C，图1为根据本发明一实施例的立体组装示意图，而图2A至图2C为图1省略部分元件的示意图。本态样中，该尾气处理设备包括一反应部10、一排气部20、一架体30以及一控制部40，该反应部10包括一进气模块11、一反应模块12、一连接模块13、一冷却模块14以及一燃烧模块(详述如后)。如图2A及图2B所示，该进气模块11设置于该反应模块12上方，且该进气模块11通过该连接模块13耦接至该反应模块12。
参阅图2C该进气模块11包括一第一外壁111、一第一内壁112、一第一冷却腔室113、一进气腔室114、一上盖板115、至少一导引管路116以及一底部开口117，该第一冷却腔室113设置于该第一外壁111以及该第一内壁112之间，该第一冷却腔室113为一第一环型腔室，该第一环型腔室相隔地环绕该进气腔室114，该第一内壁112界定出该进气腔室114，该上盖板115封住该进气腔室114的一顶部，该导引管路116设置于该进气腔室114的一侧边，并穿过该第一外壁111、该第一内壁112及该第一冷却腔室113而连通至该进气腔室114。该导引管路116用于将一流出物50引入该进气腔室111，该进气腔室111沿一垂直Z轴延伸，且该导引管路116于该进气腔室111的一插设方向不平行于Z轴，该插设方向和Z轴相交一角度，该角度较佳地介于45°至90°之间，于本实施例中，该导引管路116包括一第一段1161、一第二段1162以及一弯曲段1163，该弯曲段1163设置于该第一段1161和该第二段1162之间，该弯曲段1163用以缓冲该流出物50从该第一段1161经由该弯曲段1163而从该第二段1162进入该进气腔室111的速度。本发明中，Z轴系实质上正交(Orthogonal)于该尾气处理设备的一安装平面(即XY平面)。换言之，Z轴和该安装平面的法向量重叠或相交一小角度。
该反应模块12包括一第二外壁121、一第二内壁122、一第二冷却腔室123、一反应腔室124、一上开口125以及一下开口126，该第二冷却腔室123设置于该第二外壁121以及该第二内壁122之间，该第二冷却腔室123为一第二环型腔室，该第二环型腔室相隔地围绕该反应腔室124，该第二内壁122界定出该反应腔室124，该上开口125以及该下开口126设置于该反应腔室124的两端，该上开口125连通至该进气模块11的该底部开口117。
该连接模块13连接于该进气模块11以及该反应模块12之间，该连接模块13包括一上半部131、一下半部132以及多个固定件133，该上半部131连接至该进气模块11，该下半部132连接至该反应模块12，该上半部131以及该下半部132之间以该固定件133锁固。
参阅图3至图5，图3为图2A另一视角的立体组装示意图，图4为根据本发明一实施例的侧示示意图，图5为图4沿A-A的剖面示意图。该冷却模块14包括一第一管路141、一第二管路142、一第三管路143以及多个帮浦144，该第一管路141包括一第一端141a以及一第二端141b，该第一端141a连接于一冷却液源，该第二端141b连接至该反应模块12的该第二冷却腔室123的一侧。该第二管路142包括一第一端142a以及一第二端142b，该第一端142a连接至该第二冷却腔室123的另一侧，该第二端142b连接至该进气模块11的该第一冷却腔室113的一侧，该第三管路143包括一第一端143a以及一第二端143b，该第一端143a连接至该第一冷却腔室113的另一侧，该第二端143b连接至一冷却液出口或一冷却回路。如图5所示，冷却液从该第一管路141进入该第一冷却腔室113，经由该第二管路142进入该第二冷却腔室123而从该第三管路143离开，本实施例中，该第一冷却腔室113、该第二冷却腔室123配合该第二管路142形成了包覆该进气腔室114以及该反应腔室124的立体的环形水套(waterjacket)，提供充分的冷却效果。
该燃烧模块提供一主动式火焰(active flame)，参阅图2A以及图3，该燃烧模块包括了多个燃烧组件15a、15b、15c、15d，参阅图7，本实施例中，该燃烧组件15a、15b、15c、15d对称地围绕该反应腔室124设置。参阅图6，以该燃烧组件15a举例说明，该燃烧组件15a包括一壳体151a、一内管152a、一火星塞153a、一第一管路154a、一第二管路155a，以及多个接头156a、157a、158a，该内管152a放置于该壳体151a内，该内管152a包括一头端1521a、一尾端1522a、一第一侧端1523a以及一第二侧端1524a，该头端1521a经由该接头156a连接至该反应腔室124，该尾端1522a经由该接头158a连接至该第一管路154a，该第二侧端1524a经由该接头158a连接至该第二管路155a，该第一侧端1523a连接至该火星塞153a。该第一管路154a用于输送一氧化剂(oxidant)至该内管152a，该氧化剂可采用如氧气、臭氧、空气、压缩空气(CDA)、富氧空气或前述的混合，该第二管路155a用于输送一燃料气体至该内管152a，该燃料气体可采用如氢气、甲烷、天然气、丙烷、液化石油气(LPG)或前述的混合。该内管152a可视为一预混腔室，该氧化剂以及该燃料气体在该内管152a内混合，该火星塞153a用于提供一引导火焰至该内管152a，如此一来，将可在靠近该头端1521a的该接头156a附近产生一燃烧火焰。此外，如图3所示，该尾气处理设备还包括一气体组件60，该气体组件60控制该第一管路154a以及该第二管路155a的气体或燃料的输送。
参阅图3，本实施例中，该接头156a穿设于该反应模块12的该第二外壁121以及该第二内壁122，参阅图4，该燃烧组件15a的该接头156a相距该反应模块12的该上开口125一介于50mm至55mm之间的距离H1，该燃烧组件15a的该接头156a相距该反应模块12的该下开口126一介于330mm至350mm之间的距离H2。以上尺寸仅供参考，依据不同的应用，该些尺寸可能有不同的数值。
此外，在本实施例中，考虑到该燃烧火焰可能因该第一管路154a提供的该氧化剂不够而造成燃烧不充分的问题，参阅图8，该燃烧模块还可进一步包括至少一第三管路159a、159b、159c、159d，该第三管路159a、159b、159c、159d连通至该反应腔室124且位于该燃烧组件15a、15b、15c、15d的下方，该第三管路159a、159b、159c、159d提供更多的该氧化剂至该反应腔室124，以增加该燃烧火焰的燃烧。然而，于其他实施例中，也可能将该火星塞153a设置于该壳体151a之外，例如设置于该反应腔室124之中。
该燃烧模块在该反应腔室124内产生一火焰壁(wall of flame)，使该反应腔室124内的一内部温度高于900℃，而利用该环形水套的设置。在一实施例中，当采用温度介于16℃至20℃(例如18℃)的冷却水，即使该内部温度高于900℃，该反应模块12的该第二外壁121的一外部温度可低于50℃，大幅提升操作人员以及操作环境的安全性；相较之下，没有冷却模块的燃烧式尾气处理设备，当内部温度高于900℃时，外部温度也处于高温。
回到图2B，该排气部20为一管体，且呈一L状，该排气部20包括一横向段21、一连接段22以及一直向段23，该横向段21实质上地平行于该处理气体污染物的装置的该安装平面，该直向段23实质上地垂直于该安装平面，该横向段21具有一顶部进气口211以及一侧向进气口212，该顶部进气口211连接至该反应模块12的该下开口126而和该反应腔室124连通，该侧向进气口212接收一横向气流(例如空气)51，该横向段21远离该侧向进气口212的一端连接至该连接段22，该连接段22为一弯曲管体，该连接段22具有一横向开口221以及一纵向开口222，该横向开口221连接至该横向段21，该纵向开口222朝上地连接至该直向段23，该直向段23具有一连接开口231以及一出口232，该连接开口231连接至该纵向开口222。在一实施例中，该排气部20的该直向段23平行于该反应部10，如此使得该进气腔室114、该反应腔室124以及该排气部20的一内部通道20a形成一U形管路，而让该流出物50在该尾气处理设备内沿着该U形管路的方向行进。
参阅图4，本实施例中，该横向段21的一高度H3(即该排气部20的外管径)约介于215mm至230mm之间，该排气部20具有一介于990mm至1010mm之间的长度L1，且该反应部10的中心至该排气部20的一侧端的距离L2介于690mm至710mm之间，该连接段22具有一介于380mm至400mm之间的高度H4，直向段23具有一介于790mm至810mm之间的高度H5。以上尺寸仅供参考，依据不同的应用，该些尺寸可能有不同的数值。
参阅图2B，操作时，该流出物50从该导引管路116进入该进气腔室111，并往下进入该反应模块12的该反应腔室124，该燃烧模块的该燃烧组件15a、15b、15c、15d在该反应腔室124形成该火焰壁，该流出物50经过该火焰壁的燃烧以及高温后，将产生氧化或裂解，以降低或移除该流出物50中的有毒物质。该燃烧组件15的该内管152a的该开口端1521a和该反应模块12的该下开口126相距一延长该流出物50在该反应腔室124内的一流动时间的第一高度，在一实施例中，该第一高度介于330mm至350mm之间。
该排气部20的该横向段21的该顶部进气口211接收经过该反应模块12向下流动的该流出物50，向下流动的该流出物50受到该横向气流51的带动而形成一旋转气旋52，并经由该连接段22从该直向段23的该出口232离开，该直向段23具有一延长该流出物50在该直向段23内的一流动时间的第二高度，使得该流出物50从该反应腔室124流动至该直向段23的该出口232后降低至一低于200℃的温度，在一实施例中，该第二高度介于790mm至810mm之间。
通过以上的设计，将该尾气处理设备的元件采直立式的配置，能大幅缩减该尾气处理设备在该安装平面的所占面积，且利用同步地拉长该反应模块12以及该直向段23的高度，能延长该流出物50在该反应腔室124内的该流动时间，让该流出物50能充分地被氧化或裂解，也延长该流出物50在该直向段23内的该流动时间，让该流出物50在离开该尾气处理设备前能充分地降温，以利后续的处理或排出。因此，不仅能在缩小安装面积的基础上，提供更佳的处理效率，还能降低该流出物50的温度而提升安全性。
参阅图9，在一实施例中，还可以在该流出物50和该横向气流51的交会处设置一折射器(deflector)70，以确保该流出物50能充分地和该横向气流51混合。
请参阅图10和图11，为根据本发明另一实施例的立体组装示意图以及沿XZ平面的剖面示意图，该尾气处理设备包括一第一反应部10a、一第二反应部10b、一排气部20、一架体30以及一控制部40。该第一反应部10a以及该第二反应部10b的元件参照上述该反应部10的描述，以下将省略部分细节。该第一反应部10a包括一第一进气模块11a以及一第一反应模块12a，该第二反应部10b包括一第二进气模块11b以及一第二反应模块12b。
该排气部20为一管体，且呈一倒T状，该排气部20包括一第一排气段24、一第二排气段25以及一第三排气段26，该第一排气段24和该第一反应模块12a的一底部连接，该第二排气段25和该第二反应模块12b的一底部连接，该第三排气段26连接于该第一排气段24和该第二排气段25且彼此间相互连通，该第一排气段24和该第二排气段25沿该安装平面上的方向延伸，该第三排气段26沿一实质上重叠于Z轴的方向延伸。通过以上该排气部20的设计，能大幅缩减该尾气处理设备所占的安装面积。
该第一排气段24包括一侧向进气口241以及一顶部进气口242，该第二排气段25包括一侧向进气口251以及一顶部进气口252，该顶部进气口242、252分别连接至该第一反应模块12a以及该第二反应模块12b，该侧向进气口241、251分别接收一横向气流(例如空气)51，该第一排气段24以及该第二排气段25远离该侧向进气口241、251的一端连接至该第三排气段26，该该第三排气段26具有一出口261。
该第一进气模块11a以及该第二进气模块11b分别接收一流出物50，该流出物50往下进入该第一反应模块12a以及该第二反应模块12b，经燃烧及高温后进入该第一排气段24以及该第二排气段25，向下流动的该流出物50受到该横向气流51的带动而形成一旋转气旋52，并经由该第三排气段26的该出口261离开。

Claims (14)

1.一种处理气体污染物的装置，其特征在于包括：
一反应部，包括：
一进气模块，包括一第一外壁、一第一内壁、一第一冷却腔室、一进气腔室以及至少一导引管路，该第一冷却腔室设置于该第一外壁以及该第一内壁之间，该第一内壁界定出该进气腔室，该导引管路设置于该进气腔室的一侧边并将一来自半导体制程的流出物导引至该进气腔室；
一反应模块，耦接于该进气模块下方，该反应模块包括一第二外壁、一第二内壁、一第二冷却腔室以及一反应腔室，该第二冷却腔室设置于该第二外壁以及该第二内壁之间，该第二内壁界定出该反应腔室，该反应腔室以及该进气腔室彼此连通以接收来自于该进气腔室的该流出物；
一燃烧模块，包括至少一燃烧组件，该燃烧组件包括一预混腔室、一火星塞、一第一管路以及一第二管路，该第一管路以及该第二管路分别输送一氧化剂以及一燃料气体至该预混腔室，该火星塞设置于邻近该预混腔室的一开口端，该开口端连接至该反应腔室，该火星塞产生一点燃该氧化剂以及该燃料气体的火花并经由该开口端提供一火焰至该反应腔室以燃烧该流出物；以及
一冷却模块，包括一第一管路以及一第二管路，该第一管路连接于一冷却液源以及该第二冷却腔室之间，该第二管路连接于该第二冷却腔室以及该第一冷却腔室之间，其中，该第一冷却腔室以及该第二冷却腔室经由该第二管路而彼此连通；
一管体，连接于该反应部，包括一横向段、一连接段以及一直向段，该横向段实质上地平行于该处理气体污染物的装置的一安装平面延伸，该直向段实质上地垂直于该安装平面，该横向段具有一连通至该反应部的该反应腔室的顶部进气口以及一侧向进气口，该连接段连接于该横向段和该直向段之间；
其中，该顶部进气口接收经过该反应部而往下流向的该流出物，该侧向进气口接收一横向气流，该流出物受到该横向气流的带动而形成一旋转气旋并经由该连接段从该直向段远离该连接段的一出口排出。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，该第一冷却腔室为一第一环型腔室，且相隔地围绕该进气腔室。
3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，该第二冷却腔室为一第二环型腔室，且相隔地围绕该反应腔室。
4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，该燃烧组件包括对称地围绕该反应腔室设置的一第一燃烧组件、一第二燃烧组件、一第三燃烧组件以及一第四燃烧组件，该些燃烧组件分别提供一燃烧火焰至该反应腔室内而形成一火焰壁。
5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，该进气模块、该反应腔室以及该管体的该直向段沿一垂直于该安装平面的纵向延伸设置。
6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，当该火焰在该反应腔室燃烧该流出物时，该反应腔室具有一高于900℃的内部温度，该第二外壁具有一低于50℃的外部温度。
7.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，该燃烧组件的该预混腔室经由该开口端连接至该反应腔室，该开口端和该反应腔室的一下开口相距一延长该流出物在该反应腔室内的一流动时间的第一高度。
8.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，该直向段具有一延长该流出物在该直向段内的一流动时间的第二高度，使得该流出物从该反应腔室流动至该直向段的该出口后降低至一低于200℃的温度。
9.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，该进气腔室、该反应腔室以及该管体的一内部通道形成一U形管路。
10.一种处理气体污染物的装置，其特征在于包括：
一反应部，包括：
一进气模块，包括一进气腔室以及至少一导引管路，该导引管路设置于该进气腔室的一侧边并将一来自半导体制程的流出物导引至该进气腔室；
一反应模块，耦接于该进气模块下方，该反应模块包括一反应腔室，该反应腔室以及该进气腔室彼此连通以接收来自于该进气腔室的该流出物，其中，该反应模块具有一延长该流出物在该反应腔室内的一流动时间的第一高度；
一燃烧模块，包括至少一燃烧组件，该燃烧组件包括一预混腔室、一火星塞、一第一管路以及一第二管路，该第一管路以及该第二管路分别输送一氧化剂以及一燃料气体至该预混腔室，该火星塞设置于邻近该预混腔室的一开口端，该开口端连接至该反应腔室，该火星塞产生一点燃该氧化剂以及该燃料气体的火花并经由该开口端提供一火焰至该反应腔室以燃烧该流出物；以及
一管体，连接于该反应部，包括一横向段、一连接段以及一直向段，该横向段实质上地平行于该处理气体污染物的装置的一安装平面，该直向段实质上地垂直于该安装平面，该横向段具有一连通至该反应部的该反应腔室的顶部进气口以及一侧向进气口，该连接段连接于该横向段和该直向段之间；
其中，该顶部进气口接收经过该燃烧模块而往下流向的该流出物，该侧向进气口接收一横向气流，该流出物受到该横向气流的带动而形成一旋转气旋并经由该连接段从该直向段远离该连接段的一出口排出；
其中，该直向段具有一延长该流出物在该直向段内的一流动时间的第二高度，使得该流出物从该反应腔室流动至该直向段的该出口后降低至一低于200℃的温度。
11.根据权利要求10所述的装置，其特征在于，该进气模块还包括一相隔地围绕该进气腔室的第一环型腔室，该反应模块还包括一相隔地围绕该反应腔室的第二环型腔室，该第一环型腔室以及该第二环型腔室彼此连通且装有一冷却液，使得该火焰在该反应腔室燃烧该流出物时，该反应腔室内具有一高于900℃的内部温度，该反应腔室外具有一低于50℃的外部温度。
12.根据权利要求10所述的装置，其特征在于，该燃烧组件包括对称地围绕该反应腔室设置的一第一燃烧组件、一第二燃烧组件、一第三燃烧组件以及一第四燃烧组件，该些燃烧组件分别提供一燃烧火焰至该反应腔室内而形成一火焰壁。
13.根据权利要求10所述的装置，其特征在于，该进气模块、该反应模块以及该管体的该直向段沿一垂直于该安装平面的纵向延伸设置。
14.根据权利要求10所述的装置，其特征在于，该进气腔室、该反应腔室以及该管体的一内部通道形成一U形管路。
CN202080006102.8A 2019-11-21 2020-11-18 一种处理气体污染物的装置 Active CN113939687B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US201962938658P 2019-11-21 2019-11-21
US62/938,658 2019-11-21
PCT/SG2020/050669 WO2021101444A2 (zh) 2019-11-21 2020-11-18 一种处理气体污染物的装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN113939687A CN113939687A (zh) 2022-01-14
CN113939687B true CN113939687B (zh) 2024-05-31

Family

ID=75980951

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202080006102.8A Active CN113939687B (zh) 2019-11-21 2020-11-18 一种处理气体污染物的装置

Country Status (7)

Country Link
US (1) US20220134281A1 (zh)
JP (2) JP7195439B2 (zh)
KR (1) KR20220017469A (zh)
CN (1) CN113939687B (zh)
SG (1) SG11202112200TA (zh)
TW (1) TWI741880B (zh)
WO (1) WO2021101444A2 (zh)

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN86108105A (zh) * 1985-12-09 1987-09-23 阿尔斯特罗姆公司 循环式流化床反应器和从排气中分离固体物质的方法
KR20010054033A (ko) * 1999-12-03 2001-07-02 김덕중 슬러지 소각용 용융로
EP1143197A1 (en) * 1998-12-01 2001-10-10 Ebara Corporation Exhaust gas treating device
CN1997439A (zh) * 2003-12-19 2007-07-11 应用材料公司 用于控制气体污染物燃烧的装置和方法
CN102165255A (zh) * 2008-07-25 2011-08-24 Jts国际股份有限公司 二段旋转流动层式焚烧炉对废弃物的焚烧处理方法
CN102466231A (zh) * 2010-11-08 2012-05-23 东服企业股份有限公司 处理半导体制程废气的旋风式合氧燃烧装置
CN206973584U (zh) * 2017-05-24 2018-02-06 昆山国显光电有限公司 工艺尾气处理装置
CN110081462A (zh) * 2019-04-29 2019-08-02 天津天成智造科技有限公司 一种低污染燃烧室

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2591509B1 (fr) * 1985-12-17 1989-10-27 Labo Electronique Physique Dispositif antipollution pour l'elimination des gaz toxiques utilises dans l'elaboration des materiaux semiconducteurs du groupe iii-v.
US4661056A (en) * 1986-03-14 1987-04-28 American Hoechst Corporation Turbulent incineration of combustible materials supplied in low pressure laminar flow
US6322756B1 (en) * 1996-12-31 2001-11-27 Advanced Technology And Materials, Inc. Effluent gas stream treatment system having utility for oxidation treatment of semiconductor manufacturing effluent gases
GB2323312B (en) * 1997-03-21 2001-08-08 Korea M A T Co Ltd Gas scrubber and methods of disposing a gas using the same
KR100328632B1 (ko) 1999-08-14 2002-03-23 조현기 복합 가스 스크러버 시스템
JP2001355820A (ja) 2000-06-12 2001-12-26 Sumitomo Seika Chem Co Ltd 排ガスの処理方法および処理装置
JP2004092985A (ja) 2002-08-30 2004-03-25 Koike Sanso Kogyo Co Ltd 排ガスの処理装置
TWI255897B (en) * 2003-12-09 2006-06-01 Deisccant Technology Corp Processing system and processing method for hydrogen exhausts
JP2007522649A (ja) * 2003-12-23 2007-08-09 ジョン シー． シューマカー、 半導体反応器用の排気調整システム
JP5356813B2 (ja) * 2007-07-06 2013-12-04 カンケンテクノ株式会社 排ガス除害システム
US8192693B2 (en) * 2008-02-12 2012-06-05 Innovative Engineering Solutions, Inc. Apparatus for dynamic oxidation of process gas
CN102865584B (zh) 2011-07-07 2016-03-30 深圳市华懋环保节能设备有限公司 系列化L型非相变超导热管热回收式VOCs焚烧炉
JP2014134350A (ja) 2013-01-11 2014-07-24 Edwards Kk インレットノズル、及び除害装置
JP2015010800A (ja) 2013-07-01 2015-01-19 小池酸素工業株式会社 排ガスの処理装置
GB2544520A (en) * 2015-11-19 2017-05-24 Edwards Ltd Effluent gas treatment apparatus and method
KR101791478B1 (ko) * 2016-06-02 2017-10-31 박영배 폐가스 처리 시스템
SG10202001081TA (en) 2017-07-07 2020-03-30 Siw Eng Pte Ltd Device and system for controlling decomposition oxidation of gaseous pollutants

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN86108105A (zh) * 1985-12-09 1987-09-23 阿尔斯特罗姆公司 循环式流化床反应器和从排气中分离固体物质的方法
EP1143197A1 (en) * 1998-12-01 2001-10-10 Ebara Corporation Exhaust gas treating device
KR20010054033A (ko) * 1999-12-03 2001-07-02 김덕중 슬러지 소각용 용융로
CN1997439A (zh) * 2003-12-19 2007-07-11 应用材料公司 用于控制气体污染物燃烧的装置和方法
CN102165255A (zh) * 2008-07-25 2011-08-24 Jts国际股份有限公司 二段旋转流动层式焚烧炉对废弃物的焚烧处理方法
CN102466231A (zh) * 2010-11-08 2012-05-23 东服企业股份有限公司 处理半导体制程废气的旋风式合氧燃烧装置
CN206973584U (zh) * 2017-05-24 2018-02-06 昆山国显光电有限公司 工艺尾气处理装置
CN110081462A (zh) * 2019-04-29 2019-08-02 天津天成智造科技有限公司 一种低污染燃烧室

Also Published As

Publication number Publication date
TW202122152A (zh) 2021-06-16
JP7195439B2 (ja) 2022-12-23
WO2021101444A2 (zh) 2021-05-27
KR20220017469A (ko) 2022-02-11
JP7377332B2 (ja) 2023-11-09
TWI741880B (zh) 2021-10-01
JP2023009111A (ja) 2023-01-19
US20220134281A1 (en) 2022-05-05
WO2021101444A3 (zh) 2021-07-15
JP2022512140A (ja) 2022-02-02
CN113939687A (zh) 2022-01-14
SG11202112200TA (en) 2021-12-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8980005B2 (en) Liner assembly for chemical vapor deposition chamber
KR101893618B1 (ko) 2차 연도 가스를 이용하여 수성 요소를 암모니아 증기로 가스화하기 위한 시스템 및 방법
JPH09108532A (ja) 排ガス処理装置
CN113939687B (zh) 一种处理气体污染物的装置
EP2148138A2 (en) Burner apparatus and methods
TWI798907B (zh) 用於半導體製造設施的廢氣處理設備
US20100313684A1 (en) Device for diluting a gas to be analyzed with a dilution gas
KR20190127244A (ko) 폐가스 처리 장치
CN103930189A (zh) 用于处理气流的设备
CN212644681U (zh) 一种点火装置及氧化退火设备
US10101025B2 (en) Method and combusting fuel and burner therefor
TWI486538B (zh) 用於洗滌器的燃燒器
JP4535558B2 (ja) 燃焼式排ガス処理装置
US20200033000A1 (en) Method and apparatus for exhaust gas abatement under reduced pressure
CN105408689A (zh) 头部组件
EP3377816B1 (en) Effluent gas treatment apparatus
JP4528141B2 (ja) 難燃性物質分解バーナ
CN109196958A (zh) 用于等离子弧焊炬中的等离子气体排放的***和方法
CN110836379B (zh) 废气导入装置
CN114008385A (zh) 用于消除设备的入口组件
US6776610B2 (en) Burner arranged with a mixing chamber for fuel and combustion air
US20090214991A1 (en) Apparatus and methods for supplying fuel employed by abatement systems to effectively abate effluents
CN219849501U (zh) 一种预混合电浆反应进气歧管
US20230238253A1 (en) Gas box with cross-flow exhaust system
KR102064662B1 (ko) 환경 유해 폐가스 처리 시스템 및 이에 사용되는 버너 구조체

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
TA01 Transfer of patent application right
TA01 Transfer of patent application right

Effective date of registration: 20230725

Address after: # 01-23/24, No. 30, Jialengfang, Singapore Jialeng Industrial Park

Applicant after: Baohong (Singapore) Pte. Ltd.

Address before: # 01-23, No. 30, Refrigeration Industrial Zone, Singapore

Applicant before: Yikesi Co.,Ltd.

TA01 Transfer of patent application right
TA01 Transfer of patent application right

Effective date of registration: 20231004

Address after: 1-3/F, Building 3, Zhongsoft Wuhu Software Park, No. 17 Henglangshan Road, High tech Industrial Development Zone, Yijiang District, Wuhu City, Anhui Province

Applicant after: Anhui yikos automation equipment Co.,Ltd.

Address before: # 01-23/24, No. 30, Jialengfang, Singapore Jialeng Industrial Park

Applicant before: Baohong (Singapore) Pte. Ltd.

GR01 Patent grant
GR01 Patent grant