CN1130260A - 标线片的装入和取出装置 - Google Patents
标线片的装入和取出装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN1130260A CN1130260A CN95117126A CN95117126A CN1130260A CN 1130260 A CN1130260 A CN 1130260A CN 95117126 A CN95117126 A CN 95117126A CN 95117126 A CN95117126 A CN 95117126A CN 1130260 A CN1130260 A CN 1130260A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- box
- graticule
- order
- packed
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67259—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
- G03F7/70733—Handling masks and workpieces, e.g. exchange of workpiece or mask, transport of workpiece or mask
- G03F7/70741—Handling masks outside exposure position, e.g. reticle libraries
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
- H01L21/67778—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading involving loading and unloading of wafers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Library & Information Science (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
Abstract
一种标线片装入和取出装置,包括一带门的盒子,门比该盒的前面宽度长;一带臂的操纵器,用以将标线片***盒内或从盒内抽出标线片;还包括用以开启和关闭所述门的开启和关闭机构。该标线片传感器检测一标线片是否已装入了盒内。于是,在检测该标线片是否装入了盒内之后,该操纵器就可以将标线片***盒内或者自盒内抽出标线片。这种装置避免已装入盒内的标线片与另一个要***的标线片之间的碰撞。
Description
本发明涉及一种相对于一个盒子装入/取出标线片的标线片装入和取出装置。
图1所示的一般结构的标线片有一块晶片或者基板,上面有原图,用以构成电极图样(例如用于液晶的显示装置)。参照图1,一标线片100包括玻璃基板101,在其上表面或者下表面上形成一预先确定的曝光图样;玻璃基板101的上表面和下表面上分别装配有上膜102和下膜102,以使外界物质(灰尘颗粒)不致附着到该玻璃基板上。
由于标线片的高成本及易碎性,在整个制作过程中都极为小心地保护标线片。将标线片放在一个盒子内,以便存放许多这类标线片。这种盒子被支承在位于操纵器前方的支承台架上,以便在制作过程中间歇地将标线片***盒内/自盒内抽出。为了在晶片上或者基板上形成电极图样,曝光操作需要将该标线片从盒内取出,处理之后,再重新***盒中。操纵器就用来***/抽出标线片。
当利用操纵器将一特定的标线片从盒内取出时,操纵器中的控制部份记下其中存放该标线片的盒的精确位置。然而,万一发生操纵器故障,无论是由于操纵者的错误,或是机械故障或程序错误,由操纵器移送的标线片就可能与已经存在于盒内的被装入的标线片相碰撞,从而损坏该昂贵的标线片。
为了解决这个问题,可在每个盒的位置装设一个检测标线片用的传感器,以便判定已存放于其中的一标线片的存在。但是,盒子的简单且气密的结构妨碍着传感器的装设。再有,由于不能带有驱动器,因其电场/电荷将吸引外界颗粒之故,就使这样的传感器的选择大大受到限制。因此,该操纵器的动作往往起到不利的作用。
为了解决上述问题,本发明的目的在于提供一种标线片装入和取出装置,当利用操纵器***标线片时,通过检测盒内是否已装入了一标线片,以避免标线片之间碰撞。
本发明的另一目的在于提供一种标线片装入和取出装置,它具有当确定盒内是否已装有标线片时,能减少外界颗粒引入的检测装置。
为实现上述目的,按照本发明的一个方面,正如这里所具体举例概括描述的那样,一种标线片装入和取出装置包括:一带门的盒子,门比盒的前面宽度长;一带臂的操纵器,用于将标线片***盒内,或者从盒内抽出该标线片,该操纵器中的开启和关闭机构,用来开启和关闭所述的门;以及在该臂的至少一边和开关机构上的检测装置,用以检查盒内是否已装入标线片。
按照本发明的另一方面,一种标线片装入和取出装置包括:一带门的盒子,门位于该盒的前面;一带臂的操纵器,用以将标线片***盒内或者从盒内抽出标线片;操纵器中的开启和关闭机构、用于开启和关闭所述的门;以及检测机构,用以检查盒内是否已装入标线片,该检测机构存在于该盒子的至少一个侧面。
按照本发明的再一方面,一种标线片装入和取出装置包括:一支承台架,用以支承彼此分开一预定距离的若干个盒子;一带臂的操纵器,用于将标线片选择性地***支承台架所支承的多个盒子中的每一个中,或者选择性地从这些盒子的每一个抽出标线片;操纵器中的开启和关闭机构,用以开启和关闭所述的门;一重量传感器,用以检测对应的各盒当中之一的重量,该重量传感器位于支承台架中相应盒子的下面,和一控制部分,根据由该传感器测得的重量确定该盒内是否已装入了标线片。
应当理解,上面的一般描述以及下面的详细描述均为举例性和说明性的,意在像所要求的那样给出对本发明的进一步说明。
给出几幅附图,以提供对本发明的进一步的理解,而且它们也被归入并构成本说明书的一部分,它们表示了本发明的几种具体实施方式,并与本描述一起用作说明本发明的原理。
参照附图,通过详细描述优选的实施例将使本发明的上述目的和优点变得愈加清楚,其中:
图1是本发明及现有技术中所用普通标线片的透视图;
图2是本发明标线片装入和取出装置的透视图;
图3是表示一个盒子的门被开启/关闭部分开启状态下的透视图;
图4和5是本发明标线片检测装置另一种实施例的透视图;
图6是表示本发明标线片检测装置再一种实施例的侧视图。
根据本发明的一标线片装入和取出装置来检查盒内是否已装入标线片,以及将标线片***盒内或从其中抽出标线片,图2和3表示它的一种实施例。
本发明的标线片装入和取出装置包括:一操纵器300,它装有XY平台302;一个由支柱410支撑的支承台架400,它靠近操纵器300,其中布置着多个盒子200,每个盒子用于存放标线片100;一个开启/关闭装置500,用以开启和关闭盒子的门203,它被装在XY平台302上;还包括一传感器600,用来检测所选的盒内是否已装入了标线片,它装在操纵器上或者开启/关闭装置500上。
如图3所示,多个盒子200当中的每一个均包括一个主体202,其中提供一个容纳标线片100的空间201;还包括门203,门的一端从主体202一侧伸出一预定之长度,它被可转动的安装在主体202的前面,用以将到空间201的入口紧密地关闭。
操纵器300包括一主体301,该主体上安装着一个以向上、向下以及沿着X和Y方向移动之XY平台302,还包括一臂310,用以将标线片100***盒内或者从其中抽出标线片。该臂310装在XY平台302上,可相对于该XY平台沿X方向向后和向前移动。该臂310具有互相平行的支承指状物311,得以支承标线片100的两个侧缘,它还有吸孔312,通过这些吸孔在支承指状物311的上表面形成抽吸力作用。臂310借助于装在XY平台302上的诸如液压缸501之类的部件向后和向前移动。另外,XY平台302为可沿X-及Y-轴方向移动的普通平台。该XY平台302借助由马达转动并装在一个主体内的球状螺旋(未示出)向上和向下垂直移动。
开启和关闭装置500包括一个与臂310平行的支承在主体301之XY平台302上的液压缸501,还包括一个与液压缸501的杆502相连的辊轮503。当杆502朝前移动之后回移时,辊轮503与203接触。
按照图3实施例的传感器600来检测标线片100是否被装入堆置于支承台架400中的多个盒子200的每一个。该传感器600包括装于臂310两侧的支座601和602;装于一侧支座上的一发光元件610,在门203被打开的情况下,将光射入盒200内;还包括一个装于另一侧支座上的受光元件620,检测从发光元件610射入盒200内、随之由标线片100反射的光。这里,可将发光元件610及受光元件620装入臂310的支承指状物311上。另外,诸如发射二极管或激光二极管之类的任何发光元件均可能用作为光源。
按照图4和5所示的本发明另一个实施例的标线片传感器包括一个由半透明材料或透明材料制成盒200的主体202,盒有门203,一发射光的发光元件31和一检测从发光元件31发出的光的受光元件32,它们可选择地安装于盒子200的上部和下部,或者装在它们的两侧,该发光元件31和受光元件32被装在支承台架400上,盒子200就安全地装在架上。另外,由受光元件32测得的信息被送至操纵器300的控制部份,以使臂310可依该信息受到控制。
图6表示本发明一标线片传感器的再一种实施例,其中若干个盒子200被支承在支承台架400上,以预定的距离被分开。装在支承台架400上的重量传感器900检测盒子200的重量。可将测压仪用作为重量传感器900。将该重量传感器900测得的盒的重量3信息送至操纵器300的控制部分,以与所存盒200的预先测定的重量相比较,使得操纵器的臂310依该比较信息受到控制。
以下描述具有上述结构之本发明标线片装入和取出装置的工作过程。
首先通过XY平台302,使开启和关闭装置的液压缸501位于要***或取出的盒200右侧的前方,该302装在操纵器300的主体301上。许多盒子200被分开预定的距离而安置在支承台架400中。工作时,液压缸501,继而杆502沿X-方向朝前移动,使附于杆端的辊轮503向前移至盒200的门203前头。为做到这一点,先用XY平台302沿Y方向将液压缸501移至盒200的一侧,从而可使辊轮503位于伸出于盒子侧面的门的后面。最后,液压缸501沿着X方向动作,使辊轮503向后移动。因此如图3所示,门203被支承于杆502上的辊轮503开启。同时,由装于支座601上的发光元件610发射的光射入盒200中。若标线片100被装入盒200内,从标线片100反射的光为受光元件620所测得,随后停止由操纵器300的臂310***标线片100。若从发光元件610发射的光未被受光元件620测得,标线片100尚未被装入盒200内,臂310就将标线片100***该盒内。
图5表示本发明的另一种实施例,其中盒200由半透明材料或透明材料制成,在那里利用来自发光元件31的光照射到该由透明或半透明材料制成的盒中,再以受光元件32检测反射的光,以此判定是否有标线片100被装入盒200中。也即,当标线片100被装入到盒200中时,则从发光元件31发射的光被标线片100发射,并随之由受光元件32测得。若标线片100尚未被装入盒内,则从发光元件31发射的光通过盒200,并且不被受光元件32所测得。因而,根据由受光元件32测得的光,即可确定盒200内是否装入标线片。臂310以及用来开启和关闭一门的液压缸以如上所述之相同方式动作。
图6表示本发明的再一种实施例,它通过采用预先测得的盒的参考重量判定标线片100是否已被装入盒200内,其中借助装在支承台架400上的重量传感器900检测盒内的重量。通过将此重量信息与存储在操纵器300的控制部份中的参考重量相比较,以确定标线片100是否已被装入该盒。操纵器的臂310根据这一比较而动作。
如上所述,该标线片检测装置确定一标线比是否已被装入盒内,然后相应地控制操纵器,从而防止由于装于盒内的标线片与由臂支承的标线片之间碰撞所致的损坏。
上面所描述的装置包括本发明的优选实施例。然而,对于本领域的熟练技术人员而言,应该清楚的是,在本发明的这些装置和方法中可做各种改进和变型,也不会脱离本发明的精神和范围。本发明包括这样的改进和变型,它们在所附的权利要求书及其等同物的范围内。例如,本发明可用于标线片降尘装置和标线片清洁装置等。
Claims (8)
1.一种标线片装入和取出装置,它包括:
一带门的盒子,该门比盒的前面宽度长;
一带臂的操纵器,用于将一标线片***所述盒内或者从所述盒内抽出标线片;
所述操纵器中的开启和关闭机构,用以开启和关闭所述的门;以及
在所述臂的至少一侧和所述开启及关闭机构上的检测机构,用以检查所述盒内是否装入了标线片。
2.一种如权利要求1所述的标线性装入和取出装置,其特征在于所述检测装置还包括:
所述操纵器之臂的两边的支座;
在所述的二支座之一上的一发光元件,用以将光射入所述盒内;以及
一受光元件,用以检测从所述发光元件发出,随后再从该标线片反射的光。
3.一种如权利要求2所述的标线片装入和取出装置,其特征在于所述受光元件和所述发光元件在所述的臂上。
4.一种标线片装入和取出装置,它包括:
一带门的盒子,门在盒的前面;
一带臂的操纵器,用以将标线片***所述盒内或者从所述盒内抽出标线片;
所述操纵器中的开启和关闭机构,用以开启和关闭所述的门;以及
检测装置,用以检查盒内是否装入了该标线片,所述检测装置位于所述盒的至少一侧。
5.一种如权利要求4所述的标线片装入和取出装置,其特征在于所述检测装置包括一在盒的一侧,用以发光的发光元件,和在盒的同一侧的受光元件,用以检测从所述发光元件发射,随后又从盒内的标线片反射的光。
6.一种如权利要求4所述的标线性装入和取出装置,其特征在于所述装置包括一在盒的一侧、用以发光的发光元件和在盒的相对一侧的受光元件,用以检测从所述发光元件发射,随后又穿过该盒的光。
7.一种标线片装入和取出装置,它包括:
一支承台架、用以支承多个互相隔开预定距离的盒子。
一带臂的操纵器,用于选择性的将一标线片***支承于所述支承台架上各盒子中的每一个中,或者选择性地从所述盒子中的每一个抽出该标线片;
所述操纵器中的开启和关闭机构,用以开启和关闭所述的门;
一重量传感器,用以检测所述相应的一个盒子的重量,所述重量传感器在所述支承台架中所述相应的盒子下面;
一控制部分,通过由所述传感器测得的重量确定该标线片是否已装入了所述的盒内。
8.一种如权利要求7所述的标线片装入和取出装置,其特征在于所述重量传感器包括一测压仪。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR21085/94 | 1994-08-25 | ||
KR1019940021085A KR0144945B1 (ko) | 1994-08-25 | 1994-08-25 | 레티클 검출장치 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN1130260A true CN1130260A (zh) | 1996-09-04 |
Family
ID=19391159
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN95117126A Pending CN1130260A (zh) | 1994-08-25 | 1995-08-25 | 标线片的装入和取出装置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0878325A (zh) |
KR (1) | KR0144945B1 (zh) |
CN (1) | CN1130260A (zh) |
DE (1) | DE19530856A1 (zh) |
FR (1) | FR2723929B1 (zh) |
GB (1) | GB2292636B (zh) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108615332A (zh) * | 2016-12-13 | 2018-10-02 | 海太半导体(无锡)有限公司 | 贴片设备基板位置传感器感应和报警*** |
CN110609451A (zh) * | 2019-08-19 | 2019-12-24 | 武汉华星光电技术有限公司 | 一种曝光机 |
CN110941145A (zh) * | 2018-09-21 | 2020-03-31 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 一种掩膜版检测装置及方法、掩膜版库设备 |
WO2021227903A1 (zh) * | 2020-05-15 | 2021-11-18 | 长鑫存储技术有限公司 | 光罩检测装置、方法、曝光机和光刻设备 |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6142722A (en) * | 1998-06-17 | 2000-11-07 | Genmark Automation, Inc. | Automated opening and closing of ultra clean storage containers |
TW495802B (en) * | 1999-04-13 | 2002-07-21 | Semiconductor 300 Gmbh & Amp C | Arrangement for storing objects, particularly for storing disklike objects such as wafers, flat panels or CDs |
KR100620160B1 (ko) * | 2002-12-30 | 2006-09-01 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 레티클 로딩장치 |
KR100665293B1 (ko) * | 2006-01-04 | 2007-01-17 | 코리아테크노(주) | 마스크 운송박스 박스커버 오프너 |
CN105448783A (zh) * | 2015-12-28 | 2016-03-30 | 江苏创基新能源有限公司 | 装框件的溢胶检查装置 |
JP7186225B2 (ja) * | 2017-11-30 | 2022-12-08 | チャイナ トライアンフ インターナショナル エンジニアリング カンパニー リミテッド | 密閉チャンバ内での基板位置を判定する方法およびこの方法を実行する装置 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6278084A (ja) * | 1985-09-27 | 1987-04-10 | キヤノン株式会社 | 基板収納容器 |
JPS6276531A (ja) * | 1985-09-27 | 1987-04-08 | Canon Inc | 基板収納方法 |
US4776462A (en) * | 1985-09-27 | 1988-10-11 | Canon Kabushiki Kaisha | Container for a sheet-like article |
US4999671A (en) * | 1986-07-11 | 1991-03-12 | Canon Kabushiki Kaisha | Reticle conveying device |
EP0452041B1 (en) * | 1990-04-06 | 1996-11-27 | Canon Kabushiki Kaisha | Substrate conveying device and method of controlling the same |
DE4238834A1 (en) * | 1991-11-18 | 1993-05-19 | Fusion Systems Corp | Robotic semiconductor wafer transporter with vertical photodetector array - scans detectors to determine which slots are occupied by wafers illuminated from emitter on robot arm |
US5225691A (en) * | 1992-05-18 | 1993-07-06 | Avalon Engineering, Inc. | Semiconductor wafer cassette mapper with emitter and detector arrays for slot interrogation |
-
1994
- 1994-08-25 KR KR1019940021085A patent/KR0144945B1/ko not_active IP Right Cessation
-
1995
- 1995-08-22 GB GB9517171A patent/GB2292636B/en not_active Expired - Fee Related
- 1995-08-22 DE DE19530856A patent/DE19530856A1/de not_active Withdrawn
- 1995-08-24 FR FR9510047A patent/FR2723929B1/fr not_active Expired - Fee Related
- 1995-08-24 JP JP7239148A patent/JPH0878325A/ja active Pending
- 1995-08-25 CN CN95117126A patent/CN1130260A/zh active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108615332A (zh) * | 2016-12-13 | 2018-10-02 | 海太半导体(无锡)有限公司 | 贴片设备基板位置传感器感应和报警*** |
CN110941145A (zh) * | 2018-09-21 | 2020-03-31 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 一种掩膜版检测装置及方法、掩膜版库设备 |
CN110609451A (zh) * | 2019-08-19 | 2019-12-24 | 武汉华星光电技术有限公司 | 一种曝光机 |
WO2021227903A1 (zh) * | 2020-05-15 | 2021-11-18 | 长鑫存储技术有限公司 | 光罩检测装置、方法、曝光机和光刻设备 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR960009089A (ko) | 1996-03-22 |
JPH0878325A (ja) | 1996-03-22 |
FR2723929A1 (fr) | 1996-03-01 |
KR0144945B1 (ko) | 1998-08-17 |
GB2292636A (en) | 1996-02-28 |
GB2292636B (en) | 1998-12-23 |
GB9517171D0 (en) | 1995-10-25 |
DE19530856A1 (de) | 1996-02-29 |
FR2723929B1 (fr) | 1997-07-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5093984A (en) | Printed circuit board loader/unloader | |
CN1130260A (zh) | 标线片的装入和取出装置 | |
JP2851058B2 (ja) | 紙巻煙草の端部の検査方法 | |
KR100576199B1 (ko) | 웨이퍼 맵핑 기능을 구비하는 웨이퍼 처리 장치 및 웨이퍼검출 방법 | |
CN86104342A (zh) | 检测和修改电子部件在基板上装配故障的方法及其装置 | |
CN1668179A (zh) | 电子部件安装装置 | |
CN1708216A (zh) | 部件放置设备,部件供给设备和方法 | |
CN1873479A (zh) | 液晶显示面板检测装置 | |
US6409448B1 (en) | Ergonomic load port | |
CN1018910B (zh) | 卷烟检验设备 | |
CN106864846A (zh) | 瓶体自动套袋机 | |
JPH10154646A (ja) | 搬送装置 | |
JPH05503062A (ja) | 二重シートフィルムを検出する装置 | |
JPH09110107A (ja) | 無人搬送車によるバーンインボードの自動移載方法およびバーンインテストシステム | |
JPS61248839A (ja) | 収納ウエハの取り出し装置 | |
US20020003994A1 (en) | Component source interchange gantry | |
CN208655581U (zh) | 硅片状态检测机构和硅片传输*** | |
CN1822761A (zh) | 部件搭载装置 | |
US20070012717A1 (en) | Part feeder | |
JP2001284439A (ja) | ウェーハマッピング装置 | |
CN106218200A (zh) | 一种带扫码功能的撕膜机构 | |
JPH0817199B2 (ja) | ウエハ移送装置 | |
JP3887847B2 (ja) | 物品の着脱装置 | |
JP3444101B2 (ja) | 物品の着脱装置 | |
JP2004207507A (ja) | 基板検出装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C01 | Deemed withdrawal of patent application (patent law 1993) | ||
WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |