CN112236238B - 液滴喷出装置和液滴喷出方法 - Google Patents

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Abstract

一种液滴喷出装置包括：第一液滴喷出部，该第一液滴喷出部包括用于保持第一液体的第一液体保持部和用于将该第一液体保持部的第一液体作为第一液滴喷出的第一尖端部；第二液滴喷出部，该第二液滴喷出部包括用于保持第二液体的第二液体保持部和用于将该第二液体保持部的第二液体作为与第一液滴不同的第二液滴喷出的第二尖端部；对象物保持部，用于保持对象物，对象物上能够被喷所述第一液体和所述第二液体；以及驱动部，用于使所述第一尖端部和所述第二尖端部相对于所述对象物保持部在第一方向上相对移动，所述第一尖端部相对于所述第二尖端部配置在所述第一方向上。

Description

液滴喷出装置和液滴喷出方法
技术领域
本发明涉及液滴喷出装置和液滴喷出方法。
背景技术
近年来，喷墨印刷技术在工业用工艺中得到了应用。例如，液晶显示器用的滤色器制造工序等是其一例。作为喷墨印刷技术，以往大多使用通过机械压力或振动喷出液滴的所谓的压电型头部，但是能够喷出更微细的液滴的静电喷出型喷墨头受到关注。在专利文献1中，公开了一种静电喷出型喷墨记录装置。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开平10-34967号公报
发明内容
本发明要解决的技术问题
另一方面，在静电喷出型喷墨头中存在如下情况：由于对象物带电而难以喷出墨水、或者受到由对象物上的凹凸引起的电场强度分布的影响而导致墨水不会落到所希望的位置。
特别是在对象物本身的带电、或者设置于对象物的图案影响带电、或者图案表面与对象物的表面存在能量差的情况下，有时墨水的溶合变差。
因此，本发明的目的之一在于容易且稳定地向对象物表面喷出液滴。
解决技术问题所采用的技术手段
根据本发明的一个实施方式，提供一种液滴喷出装置，其包括：第一液滴喷出部，包括用于保持第一液体的第一液体保持部和用于将该第一液体保持部的第一液体作为第一液滴喷出的第一前端部；第二液滴喷出部，包括用于保持第二液体的第二液体保持部和用于将该第二液体保持部的第二液体作为与第一液滴不同的第二液滴喷出的第二前端部；对象物保持部，用于保持对象物，所述对象物上能够被喷所述第一液体和所述第二液体；以及驱动部，用于使所述第一前端部和所述第二前端部相对于所述对象物保持部在第一方向上相对移动，所述第一前端部相对于所述第二前端部配置在所述第一方向上。
在上述液滴喷出装置中，所述第一液滴喷出部可以在与所述第一液滴喷出部移动的方向交叉的方向上设置有多个。
在上述液滴喷出装置中，所述第一液滴喷出部可以在与所述第一液滴喷出部移动的方向交叉的方向上延伸。
在上述液滴喷出装置中，所述第二液滴喷出部可以在与所述第一液滴喷出部移动的方向交叉的方向上设置有多个。
在上述液滴喷出装置中，所述第一液滴喷出部的所述第一前端部的内径可以大于所述第二液滴喷出部的所述第二前端部的内径。
在上述液滴喷出装置中，所述第一液滴喷出部可以具有压电型喷嘴头，所述第二液滴喷出部可以具有静电喷出型喷嘴头。
根据本发明的一个实施方式，提供一种液滴喷出方法，从第一液滴喷出部向对象物的第一区域喷出表面处理用的第一液滴，从与第一液滴喷出部不同的第二液滴喷出部向所述第一区域喷出粘度比所述第一液滴高的图案形成用的第二液滴，以与从第二液滴喷出部喷出所述第二液滴同步的方式从所述第一液滴喷出部向与所述第一区域不同的第二区域喷出所述第一液滴。
在上述液滴喷出方法中，所述第二液滴可以在满足规定的条件时喷出。
在上述液滴喷出方法中，所述规定的条件可以包括向所述第一区域喷出所述第一液滴后的经过时间或所述第一液滴的厚度的信息。
在上述液滴喷出方法中，喷出所述第一液滴的区域可以比由所述第二液滴形成的图案尺寸大。
在上述液滴喷出方法中，由所述第二液滴形成的图案尺寸可以为100nm以上500μm以下。
在上述液滴喷出方法中，所述第一液滴可以具有挥发性。
在上述液滴喷出方法中，所述第一液滴的表面电阻值可以为106Ω/sq以上1011Ω/sq以下。
发明效果
通过使用本发明的一个实施方式，能够容易且稳定地向对象物表面喷出液滴。
附图说明
图1是本发明的一个实施方式的液滴喷出装置的示意图。
图2是本发明的一个实施方式的液滴喷出方法的剖视图。
图3是本发明的一个实施方式的液滴喷出方法的剖视图。
图4是本发明的一个实施方式的液滴喷出方法的剖视图。
图5是本发明的一个实施方式的液滴喷出方法的剖视图。
图6是由本发明的一个实施方式的液滴喷出方法形成的图案的俯视图。
图7是本发明的一个实施方式的液滴喷出方法的剖视图。
图8是本发明的一个实施方式的液滴喷出方法的剖视图。
图9是本发明的一个实施方式的液滴喷出方法的剖视图。
图10是本发明的一个实施方式的液滴喷出方法的剖视图。
图11是由本发明的一个实施方式的液滴喷出方法形成的图案的俯视图。
图12是本发明的一个实施方式的液滴喷出装置的示意图。
图13是本发明的一个实施方式的液滴喷出装置的示意图。
图14是由本发明的一个实施方式的液滴喷出方法形成的图案的俯视图。
图15是本发明的一个实施方式的第二液滴喷嘴的俯视图。
图16是放大了本发明的一个实施方式的第二液滴喷嘴的一部分的俯视图和剖视图。
具体实施方式
下面，参照附图对本申请中公开的发明的各实施方式进行说明。但是，本发明在不脱离其宗旨的范围内能够以各种方式实施，不限定于以下例示的实施方式的记载内容来解释。
另外，在本实施方式中参照的附图中，相同的一部分或具有相同功能的部分赋予相同的符号或类似的符号(仅在数字后赋予A、B等符号)，有时省略其重复的说明。此外，附图的尺寸比率有时为了便于说明而与实际的比率不同，或者从附图中省略结构的一部分。
此外，在本发明的详细说明中，规定某个构成物与其他构成物的位置关系时，“上”、“下”不仅包括位于某个构成物的正上方或正下方的情况，只要没有特别说明，也包括在其间还存在其他构成物的情况。
<第一实施方式>
(1-1.液滴喷出装置100的结构)
图1是本发明的一个实施方式的液滴喷出装置100的示意图。
液滴喷出装置100包括：控制部110、存储部115、电源部120、驱动部130、第一液滴喷出部140、第二液滴喷出部150和对象物保持部160。
控制部110包括：CPU(Central Processing Unit，中央处理器)、ASIC(Application Specific Integrated Circuit，应用型专用集成电路)、FPGA(FieldProgramable Gate Array，现场可编程门阵列)或其他运算处理电路。控制部110使用预先设定的液滴喷出用程序，控制第一液滴喷出部140和第二液滴喷出部150的喷出处理。
控制部110控制第一液滴喷出部140的第一液滴147(参照图3)的喷出时机和第二液滴喷出部150的第二液滴157(图5参照)的喷出时机。详细后述，但是第一液滴喷出部140的第一液滴147的喷出与第二液滴喷出部150的第二液滴157的喷出同步。本实施方式中的“同步”是指第一液滴147和第二液滴157以固定的周期喷出。在该例子中，第一液滴147和第二液滴157同时喷出。此外，在第一液滴喷出部140移动到离开喷出了第一液滴147的对象物200的第一区域的第二区域时，控制部110控制成使第二液滴喷出部150向第一区域喷出第二液滴157。
存储部115具有作为存储液滴喷出用程序和液滴喷出用程序所使用的各种信息的数据库的功能。存储部115使用存储器、SSD或能够存储的元件。
电源部120与控制部110、驱动部130、第一液滴喷出部140和第二液滴喷出部150连接。电源部120基于从控制部110输入的信号，向第一液滴喷出部140和第二液滴喷出部150施加电压。在该例子中，电源部120对第二液滴喷出部150施加脉冲状的电压。另外，不限定于脉冲电压，也可以始终施加恒定的电压。
驱动部130由电动机、带、齿轮等驱动部件构成。驱动部130基于来自控制部110的指示，使第一液滴喷出部140和第二液滴喷出部150(更具体地说，后述的第一液滴喷嘴141的喷嘴前端部141a和第二液滴喷嘴151的喷嘴前端部151a)相对于对象物保持部160在一个方向(在该例子中为第一方向D1)上相对移动。
第一液滴喷出部140包括第一液滴喷嘴141和第一墨盒143(也称为第一液体保持部)。在该例子中，第一液滴喷嘴141使用压电型喷墨喷嘴。在第一液滴喷嘴141的上部设置有压电元件145。压电元件145与电源部120电连接。压电元件145通过从电源部120施加的电压来按压第一液滴147，由此将保持于第一墨盒143的第一液体从第一液滴喷嘴141的喷嘴前端部141a(也称为第一前端部)喷出第一液滴147。
第一液滴喷出部140的第一液滴喷嘴141相对于对象物200的表面垂直设置。
第一液滴喷嘴141的喷嘴前端部141a的内径优选比第二液滴喷嘴151的喷嘴前端部151a的内径宽。由此，能够抑制喷嘴的堵塞，并且能够向宽的区域喷出第一液滴147。
第二液滴喷出部150包括第二液滴喷嘴151和第二墨盒153(也称为第二液体保持部)。第二液滴喷嘴151使用静电喷出型喷墨喷嘴。第二液滴喷嘴151的喷嘴前端部151a的内径为数百nm以上20μm以下，优选为1μm以上15μm以下，更优选为5μm以上12μm以下。
第二液滴喷嘴151具有玻璃管，在玻璃管的内部设置有电极155。在该例子中，电极155使用钨的细线。另外，电极155不限定于钨，也可以使用镍、钼、钛、金、银、铜、铂等。
第二液滴喷嘴151的电极155与电源部120电连接。通过从电源部120向第二液滴喷嘴151的内部和电极155施加的电压(在该例子中为1000V)，保持于第二墨盒153的第二液体作为第二液滴157(参照图5)从第二液滴喷嘴151的喷嘴前端部151a(也称为第二前端部)喷出。通过控制从电源部120施加的电压，能够控制由第二液滴157形成的液滴(图案)的形状。
第一液滴喷出部140和第二液滴喷出部150沿第一液滴喷出部140和第二液滴喷出部150相对于对象物保持部160移动的方向(在该例子中为D1方向)配置。具体地说，第一液滴喷出部140(具体地说第一液滴喷嘴141的喷嘴前端部141a)相对于第一液滴喷出部140和第二液滴喷出部150移动的方向配置在第二液滴喷出部150(具体地说第二液滴喷嘴151的喷嘴前端部151a)的前方。另外，能够适当地调整第一液滴喷出部140与第二液滴喷出部150的距离L。
对象物保持部160具有保持对象物200的功能。对象物保持部160在该例子中使用载物台。对象物保持部160保持对象物200的机构没有特别限制，使用一般的保持机构。在该例子中，对象物200真空吸附于对象物保持部160。另外，不限定于此，对象物保持部160也可以使用固定件来保持对象物200。
(1-2.液滴喷出方法)
接着，使用附图对液滴喷出方法进行说明。
首先，第一液滴喷出部140和第二液滴喷出部150通过控制部110和驱动部130，移动到液滴喷出装置100中准备的对象物200上。此时，如图2所示，第一液滴喷出部140以从表面离开一定的距离的方式配置在对象物200的第一区域R1上。
对象物200是指其上被喷有第一液滴147和第二液滴157的部件。在该例子中，对象物200使用平坦的玻璃板。另外，对象物200不限定于平坦的玻璃板。例如，可以是金属板，也可以是有机树脂部件。另外，也可以在对象物200设置液滴喷出用的对置电极。
接着，如图3所示，第一液滴喷出部140向第一区域R1喷出第一液滴147。
第一液滴147使用表面处理液。表面处理液优选相对于对象物200的湿润性高。此外，表面处理液优选从喷出起在一定的期间内残留在对象物200上。具体地说，表面处理液优选具有高沸点、低蒸汽压性。此外，表面处理液优选以能够除去静电的程度具有导电性(106Ω/sq以上1011Ω/sq以下)。由此，能够具有对对象物200的表面的带电除去效果。此外，表面处理液优选在挥发后固态物质等不残留。
第一液滴147在该例子中使用具有挥发性的材料。具体地说，第一液滴147使用乙醇和水的混合液。通过使用第一液滴147，能够适度地对对象物200的表面进行除电，并且能够提高对象物200的表面的湿润性。
另外，在第一液滴147中，作为具有挥发性的材料，除了水、乙醇、乙醇和水的混合液以外，还可以使用各种醇类和它们与水的混合溶液、以及醇以外的具有挥发性的酮、醚系有机溶剂。
第一液滴147的喷出量没有特别限定，但是优选提高对象物200的湿润性并除去对象物200的表面的带电的程度。具体地说，在乙醇与水以1：1混合的混合液的情况下，作为每平方厘米的涂布量优选为0.01μl以上1μl以下。此时，形成的第一液滴147的厚度为0.1μm以上10μm以下。
喷出第一液滴147的区域优选比由第二液滴157形成的图案尺寸大。由此，能够更稳定地使第二液滴157与对象物200密合。
接着，如图4所示，第一液滴喷出部140从对象物200的第一区域R1上移动到第二区域R2上。第二液滴喷出部150与第一液滴喷出部140的移动配合而移动到喷出了第一液滴147的第一区域R1上。第一液滴喷出部140和第二液滴喷出部150的移动速度优选考虑喷出了第一液滴147后的经过时间、第一液滴147的干燥速度、第一液滴喷出部140与第二液滴喷出部150之间的距离等，预先设定为能够保持湿润性的程度。此外，在这种情况下，第一液滴喷出部140和第二液滴喷出部150能够在D1方向上移动。
接着，如图5所示，第一液滴喷出部140与第一区域R1同样地向对象物200的第二区域R2喷出第一液滴147。第二液滴喷出部150与第一液滴喷出部140同步地向第一区域R1喷出第二液滴157。在该例子中，第二液滴喷出部150在第一液滴喷出部140喷出第一液滴147同时喷出第二液滴157。
第二液滴157使用粘度比第一液滴147高的材料。具体地说，第二液滴157使用包含颜料的图案形成用的墨水(也称为第二液体)。在第二液滴157中也可以包含导电粒子。在第二液滴喷出部150设置有静电喷出型喷墨器，通过从电源部120提供的电压来控制喷出量。第二液滴157的喷出量优选0.1fl以上100pl以下。此时的图案尺寸为100nm以上500μm以下。
喷出第二液滴157的第一区域R1成为第一液滴147挥发而在表面未残留或稍许残留的状态。此时，第一区域R1的表面被除电且具有良好的湿润性(亲液性)。由此，第二液滴157喷出到第一区域R1时，能够与对象物200的表面具有良好的密合性。因此，第二液滴157配置在规定的位置。
第一液滴喷出部140和第二液滴喷出部150通过反复进行上述处理，进行所希望的液滴喷出。图6是液滴喷出后的对象物200俯视图。如图6所示，在对象物200的所希望的位置配置有图案(第二液滴157)。此时，第一液滴147可以挥发，或者也可以残留一部分。
在此，如果将现有技术与本发明进行比较，则在现有技术中，为了除去对象物200的表面的带电，使用了等离子体处理或UV臭氧处理。但是，通过使用本实施方式，能够使第二液滴157在对象物200的表面稳定地落到对象物200的表面的规定的位置。即，能够容易且稳定地向对象物200的表面喷出液滴。此外，通过使用本实施方式，可以不进行等离子体处理，因此能够减轻对对象物的损伤。
<第二实施方式>
在本实施方式中，使用附图说明在对象物200的表面具有台阶170的例子。
首先，如图7所示，使第一液滴喷出部140和第二液滴喷出部150在具有台阶170的对象物200上移动来进行配置。设置于对象物200的表面的台阶170(也称为图案、凸部)设置为有机绝缘层。用于台阶170的有机绝缘层没有特别限定，但是在该例子中，台阶170使用聚酰亚胺树脂。另外，有机绝缘层也可以使用丙烯酸树脂、环氧树脂等其他有机树脂，还可以使用无机材料。此外，在该例子中，台阶170以使对象物200的一部分表面露出的方式设置成井字形(也称为井字形结构)。第一区域R1和第二区域R2分别被台阶170包围。
此时，第一液滴喷出部140配置在第一区域R1上。第一液滴喷出部140向第一区域R1(更具体地说第一区域R1内的规定位置)喷出第一液滴147。如图8所示，第一液滴147喷出到台阶170和对象物200的表面。
接着，第一液滴喷出部140从对象物200的第一区域R1上移动到第二区域R2上。第二液滴喷出部150移动到喷出了第一液滴147的第一区域R1上。此时，第一液滴147由于表面张力而使表面面积最小化。如果存在包围成井字形结构的区域，则第一液滴147被引入到该区域，由此与空气的界面的面积最小化。此外，第一液滴147的蒸发速度为第一液滴147的厚度薄的一方快。因此，被台阶包围的区域(井字形结构内部)的第一液滴147的蒸发慢，台阶170上的液体快速干燥。因此，如图9所示，在经过一定时间后，仅在被台阶170包围的区域(井字形结构内部)存在第一液滴147。第一液滴147在第一区域R1中从台阶170上被弹开，成为仅残留于对象物200的表面的状态。
第一液滴喷出部140与第一区域R1同样地向对象物200的第二区域R2喷出第一液滴147。第二液滴喷出部150与第一液滴喷出部140同步地向第一区域R1喷出第二液滴157。在该例子中，第二液滴喷出部150在第一液滴喷出部140喷出第一液滴的同时喷出第二液滴。此时，可以在第一区域R1的对象物200的表面残留有第一液滴147的状态下喷出第二液滴157。
第一液滴喷出部140和第二液滴喷出部150反复进行上述处理，如图10所示，不是向台阶170上而是仅向对象物200的表面喷出第二液滴157。
在本实施方式中，喷出第二液滴157时，第一液滴147仅残留于对象物200的表面(具体地说井字形结构内部)。由此，抑制了对象物200的带电，并且提高对象物200的表面的湿润性。因此，能够使第二液滴157优先且容易地落到对象物200的表面，能够不受到台阶170的影响而稳定地喷出第二液滴157。
此外，如果在井字形结构内部存在具有导电性的第一液滴147，则电力线集中于该部分。由此，第二液滴157(墨水)容易落到井字形结构内部。即，能够向所希望的位置喷出第二液滴157。
如上所述，通过使用本实施方式，除去了对象物本身的带电，缓和了设置于对象物的台阶170的影响。由此，如图11所示，能够在对象物200的表面设置有台阶170的情况下，稳定地喷出第二液滴157，能够形成所希望的图案。另外，在第二液滴157的图案形成后，第一液滴147也可以残留在对象物200上。
<第三实施方式>
在本实施方式中，对与第一实施方式不同的液滴喷出装置进行说明。具体地说，说明设置有多个第一液滴喷嘴141和第二液滴喷嘴151的例子。另外，在说明的关系上，适当省略部件来进行说明。
(3-1.液滴喷出装置100的结构)
图12是本发明的一个实施方式的液滴喷出装置100A的示意图。液滴喷出装置100A包括：控制部110、存储部115、电源部120、驱动部130、第一液滴喷出部140A和第二液滴喷出部150A。
在本实施方式中，在与第一液滴喷出部140A移动的方向(在这种情况下为D1方向)交叉的方向(具体地说与D1方向正交的D3方向)上设置有多个第一液滴喷出部140A(具体地说第一液滴喷出部140A具有分别独立设置的第一液滴喷嘴141A-1、141A-2、141A-3、141A-4)。同样，在与第一液滴喷出部140A和第二液滴喷出部150A移动的方向交叉的方向上设置有多个第二液滴喷出部150A(更具体地说第二液滴喷出部150A具有分别独立设置的第二液滴喷嘴151A-1、151A-2、151A-3、151A-4)。在本实施方式中，通过具有第一液滴喷出部140A和第二液滴喷出部150A，能够缩短液滴喷出的处理时间。
另外，在本实施方式中，示出了设置有多个第一液滴喷出部140A的例子，但是并不限定于此。第一液滴喷出部140不需要具有精细的位置精度，因此也可以具有不同的形状。
图13是本发明的一个实施方式的液滴喷出装置100B的示意图。在液滴喷出装置100B中，第一液滴喷出部140B的第一液滴喷嘴141B可以在与第一液滴喷出部140B移动的方向(在这种情况下为D1方向)交叉的方向(具体地说D3方向)上延伸。具体地说，如图13所示，第一液滴喷嘴141可以具有狭缝形状。在这种情况下，从第一液滴喷嘴141以列状喷出第一液滴147。此时，形成的图案的俯视图如图14所示，第一液滴147可以设置成列状，第二液滴157分开设置在规定的位置。
此外，在本实施方式中，示出了在第二液滴喷出部150A中多个第二液滴喷嘴151A分别独立设置的例子，但是并不限定于此。图15是第二液滴喷嘴151C的俯视图。图16是放大了第二液滴喷嘴151C的一部分的俯视图和剖视图。如图15和图16所示，第二液滴喷嘴151C具有多个喷嘴部151Cb和板部151Cc。在该例子中，多个喷嘴部151Cb配置为排列成一列，但是也可以配置为排列成多列。
喷嘴部151Cb使用镍等金属材料。喷嘴部151Cb例如通过电铸法形成为前端细形状。板部151Cc使用不锈钢等金属材料。板部151Cc在与喷嘴部151Cb重叠的部分具有孔，该孔具有比喷嘴部151Cb的喷出口(喷嘴前端部151Ca)的内径r151Ca大的内径r151Cc。喷嘴部151Cb可以焊接于板部151Cc，也可以通过粘接剂固定。在使用第二液滴喷嘴151C的情况下，可以向喷嘴部151Cb施加电压，也可以向板部151Cc(或第二墨盒153)施加电压。
在本发明的思想的范畴内，本领域技术人员能够想到各种变更例和修正例，可以理解为这些变更例和修正例也属于本发明的范围。例如，对于所述各实施方式，本领域技术人员适当地进行了构成要素的追加、删除或设计变更、或者进行了工序的追加、省略或条件变更的方式，只要具备本发明的宗旨，也包含在本发明的范围内。
(变形例)
另外，在本发明的第一实施方式中，示出了通过驱动部130使第一液滴喷出部140和第二液滴喷出部150在对象物200上移动的例子，但是并不限定于此。例如，在液滴喷出装置中，驱动部130也可以使对象物200移动。在这种情况下，第一液滴喷出部140和第二液滴喷出部150可以固定在相同的位置。
此外，在本发明的第一实施方式中，示出了第一液滴喷出部140的第一液滴喷嘴141使用压电型喷墨喷嘴的例子，但是并不限定于此。第一液滴喷出部140也可以使用喷射喷嘴。在使用喷射喷嘴的情况下，能够向对象物200的大范围喷出或喷雾第一液滴147。
此外，在本发明的第一实施方式中，示出了第一液滴喷嘴141相对于对象物200的表面垂直设置的例子，但是并不限定于此。第一液滴喷嘴141也可以相对于对象物200的表面的垂直方向具有倾斜度。第二液滴喷出部150的第二液滴喷嘴151也同样。
此外，在本发明的第一实施方式中，示出了第一液滴147使用具有挥发性的材料的例子，但是并不限定于此。例如，第一液滴147也可以使用防静电剂。此时，第一液滴147的表面电阻值优选为106Ω/sq以上1011Ω/sq以下。防静电剂可以不具有挥发性，也可以在对象物200的表面残留一部分。
此外，在本发明的第一实施方式中，示出了台阶使用有机绝缘层的例子，但是并不限定于此。例如，台阶可以是布线图案，也可以使用无机材料。此外，也可以对对象物200自身进行加工来设置台阶。此外，对象物200也可以是层叠有布线的布线基板。
此外，在本发明的第一实施方式中，当喷出第二液滴157时，也可以使用摄像装置进行摄像。在这种情况下，可以由控制部110判断摄像结果。控制部110在判断为具有喷出不良的情况下，可以对不良发生区域再次喷出第一液滴147和第二液滴157。由此，能够抑制液滴喷出不良。
此外，在本发明的第一实施方式中，示出了同步地喷出第一液滴和第二液滴时同时喷出的例子，但是并不限定于此。例如，可以不同时喷出第一液滴和第二液滴，在喷出了第一液滴之后，在经过一定时间后喷出第二液滴。此外，也可以联动地喷出第一液滴和第二液滴。
附图标记说明
100…液滴喷出装置，110…控制部，115…存储部，120…电源部，130…驱动部，140…第一液滴喷出部，141…第一液滴喷嘴，141a…喷嘴前端部，143…第一墨盒，145…压电元件，147…第一液滴，150…第二液滴喷出部，151…第二液滴喷嘴，151a…喷嘴前端部，153…第二墨盒，155…电极，157…第二液滴，160…对象物保持部，170…台阶，200…对象物。

Claims (12)

1.一种液滴喷出装置，其特征在于，包括：
第一液滴喷出部，包括用于保持表面带电除去处理用的第一液体的第一液体保持部和用于将该第一液体保持部的第一液体作为第一液滴喷出的第一前端部；
第二液滴喷出部，包括用于保持图案形成用的第二液体的第二液体保持部和用于将该第二液体保持部的第二液体作为与第一液滴不同的第二液滴喷出的第二前端部；
对象物保持部，用于保持对象物，所述对象物上能够被喷所述第一液体和所述第二液体；以及
驱动部，用于使所述第一前端部和所述第二前端部相对于所述对象物保持部在第一方向上相对移动，
所述第一前端部相对于所述第二前端部配置在所述第一方向的前方；
所述第一液滴喷出部具有压电型喷嘴头，
所述第二液滴喷出部具有静电喷出型喷嘴头。
2.根据权利要求1所述的液滴喷出装置，其特征在于，
所述第一液滴喷出部在与所述第一液滴喷出部移动的方向交叉的方向上设置有多个。
3.根据权利要求1所述的液滴喷出装置，其特征在于，
所述第一液滴喷出部在与所述第一液滴喷出部移动的方向交叉的方向上延伸。
4.根据权利要求2所述的液滴喷出装置，其特征在于，
所述第二液滴喷出部在与所述第一液滴喷出部移动的方向交叉的方向上设置有多个。
5.根据权利要求1所述的液滴喷出装置，其特征在于，
所述第一液滴喷出部的所述第一前端部的内径大于所述第二液滴喷出部的所述第二前端部的内径。
6.一种液滴喷出方法，其特征在于，所述方法包括：
从具有压电型喷嘴头的第一液滴喷出部向对象物的第一区域喷出表面带电去除处理用的第一液滴，
从与第一液滴喷出部不同的具有静电喷出型喷嘴头的第二液滴喷出部向所述第一区域喷出粘度比所述第一液滴高的图案形成用的第二液滴，
以与从第二液滴喷出部喷出所述第二液滴同步的方式从所述第一液滴喷出部向与所述第一区域不同的第二区域喷出所述第一液滴。
7.根据权利要求6所述的液滴喷出方法，其特征在于，
所述第二液滴在满足规定的条件时喷出。
8.根据权利要求7所述的液滴喷出方法，其特征在于，
所述规定的条件包括向所述第一区域喷出所述第一液滴后的经过时间或所述第一液滴的厚度的信息。
9.根据权利要求6所述的液滴喷出方法，其特征在于，
喷出所述第一液滴的区域比由所述第二液滴形成的图案尺寸大。
10.根据权利要求9所述的液滴喷出方法，其特征在于，
由所述第二液滴形成的图案尺寸为100nm以上500μm以下。
11.根据权利要求6所述的液滴喷出方法，其特征在于，
所述第一液滴具有挥发性。
12.根据权利要求6所述的液滴喷出方法，其特征在于，
所述第一液滴的表面电阻值为106Ω/sq以上1011Ω/sq以下。
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