CN112005104A - 图像取得方法、测量方法以及图像取得装置 - Google Patents

Abstract

本发明以对象物的面与预定的XY平面垂直，并且与制造时的运送方向相对应的方向与XY平面平行的方式而保持对象物，进而，以对象物的面的法线与X方向所成的角度成为初始的角度的方式而配置对象物(步骤S11)。将平行光自X方向照射至对象物(步骤S12)。摄像部取得透过对象物而投影至屏幕的像作为图像(步骤S13)。其次，通过一面变更对象物的面的法线与X方向所成的角度，一面反复利用摄像部取得图像，而取得多个图像(步骤S13～步骤S15)。

Description

图像取得方法、测量方法以及图像取得装置

技术领域

本发明涉及一种自薄片状或板状的对象物取得图像的技术，所取得的图像优选为用以取得对象物的厚度或表面形状的变化的特性。

背景技术

自之前以来，已知有连续地制造薄片状或板状的构件的技术。例如，在日本专利特开2010-46798号公报的辊成形装置中，将自模具(die)挤出的熔融树脂一面由辊夹着，一面连续地运送，而使薄片成形。

另一方面，也提出有检查经连续地制造的薄片的各种技术。例如，在日本专利特开2007-211092号公报的检查方法中，是在光源与屏幕之间相对于屏幕倾斜地配置薄片状的薄膜，拍摄屏幕，由此来检查由薄膜表面的平缓的波状的凹凸引起的薄膜的厚度偏差。在日本专利特开平5-180785号公报的缺陷状态检测方法中，公开有如下的技术：相对于透明粘着薄片体的宽度方向倾斜地配置直管荧光管，利用照相机来检测沿薄片的长度方向的条纹状缺陷部的阴影。

然而，当一面连续地运送一面制造薄片或板时，会由于各种因素，而出现沿宽度方向延伸的凸状或凹状的厚度或表面形状的变化。厚度或表面形状的变化既存在被评估为缺陷的情况，也存在作为产品的质量等级而被评估的情况。在任何情况下，均期望取得光的透过或反射的不均的特性，由此使所取得的特性有助于进行产生变化的原因的探究、减少变化的装置调整、是否有减少变化的余地的判断等。

发明内容

本发明是朝向一种图像取得方法，其取得来源于薄片状或板状的对象物的图像，所述薄片状或板状的对象物是一面在运送方向上连续地运送一面制造。

图像取得方法包括如下的步骤：a)以所述对象物的面与预定的XY平面垂直，并且所述运送方向与所述XY平面平行，并且所述对象物的所述面的法线与X方向所成的角度成为第一角度的方式而配置所述对象物；b)将相对于Y方向平行或收敛或发散的光自所述X方向照射至所述对象物；c)通过取得将透过或反射所述对象物的光投影至屏幕而成的像，或通过接收透过或反射所述对象物的光，而取得图像；d)以所述对象物的所述面与所述XY平面垂直，并且所述运送方向与所述XY平面平行，并且所述对象物的所述面的法线与所述X方向所成的角度成为第二角度的方式而配置所述对象物；以及e)通过再次执行所述c)步骤，而取得其他图像。

根据本发明，可取得表示运送方向上的对象物的光的透过或反射的不均的特性的图像。

在优选的形态中，在所述d)步骤中，使所述对象物以与所述XY平面垂直的轴为中心而旋转。

在更优选的形态中，通过一面将所述d)步骤中的所述对象物的所述面的法线与所述X方向所成的角度仅变更15度以下的角度，一面反复进行所述d)步骤及所述e)步骤，而取得多个图像。

本发明也朝向一种测量方法，自薄片状或板状的对象物取得表示所述对象物的特性的测量值，所述薄片状或板状的对象物是一面在运送方向上连续地运送一面制造。所述测量方法包括如下的步骤：f)通过所述图像取得方法而取得所述图像及所述其他图像；以及g)取得与所述运送方向相对应的方向上的所述图像及所述其他图像的明度的变化。

在优选的形态中，在所述d)步骤中，使所述对象物以与所述XY平面垂直的轴为中心而旋转，通过一面变更所述d)步骤中的所述对象物的所述面的法线与所述X方向所成的角度，一面反复进行所述d)步骤及所述e)步骤而取得多个图像，来取得包含所述图像及所述其他图像的多个图像，并在所述g)步骤中，取得所述运送方向上的所述多个图像的明度变化。

更优选的形态进而包括如下的步骤：h)取得所述多个图像的各自的明度变化的最大值。

本发明也朝向一种图像取得装置，取得来源于薄片状或板状的对象物的图像，所述薄片状或板状的对象物是一面在运送方向上连续地运送一面制造。图像取得装置包括：保持部，以所述对象物的面与预定的XY平面垂直，并且所述运送方向与所述XY平面平行，并且所述对象物的所述面的法线与X方向所成的角度能够相对地变更的方式而保持所述对象物；照明部，将相对于Y方向平行或收敛或发散的光自所述X方向照射至所述对象物；以及摄像部，通过取得将透过或反射所述对象物的光投影至屏幕而成的像，或通过接收透过或反射所述对象物的光而取得图像。

在优选的形态中，所述保持部使所述对象物以与所述XY平面垂直的轴为中心而旋转。

更优选的形态进而包括控制部，所述控制部对所述摄像部及所述保持部进行控制。通过所述控制部的控制，而一面由所述保持部变更所述对象物的所述面的法线与所述X方向所成的角度，一面由所述摄像部反复取得图像。

所述目的及其他目的、特征、形态及优点将参照随附图示，通过以下进行的本发明的详细说明而阐明。

附图说明

图1是测量装置的前视图。

图2是图像取得装置的平面图。

图3是表示制造对象物的情形的概略图。

图4是表示对象物的图。

图5是表示测量装置的动作的流程的图。

图6是表示所取得的图像的一例的图。

图7是放大地表示图像处理范围的图。

图8是表示明度变化的一例的图。

图9是例示旋转位置与明度的最大变化值的关系的图。

图10是表示其他图像取得装置的平面图。

具体实施方式

图1是表示本发明的第一实施方式的测量装置1的前视图。测量装置1包括图像取得装置11、计算机12及显示器13。图2是图像取得装置11的平面图。在图1及图2中，为了便于说明，表示X方向、Y方向及Z方向。X方向、Y方向及Z方向为相互垂直。成为测量的对象的对象物9是一面在规定的运送方向上连续地运送，一面制造的薄片状或板状的构件。对象物9例如是通过树脂而成形。对象物9优选为作为触摸屏用玻璃的代替品的塑料产品，但对象物9的用途并不限定于此。对象物9也可通过树脂以外的材料而成形。在第一实施方式中，对象物9为透明，对象物9的两主面为大致平面。

如图1及图2所示，图像取得装置11包括保持对象物9的保持部21、将光照射至对象物9的照明部22、屏幕23、摄像部24及控制部25。在图2中省略控制部25的图示。保持部21是以对象物9的面与XY平面垂直，并且对象物9上的制造时的运送方向所对应的方向与XY平面平行的方式而保持对象物9。所谓对象物9的“面”，是指对象物9所具有的最大的面。所谓XY平面，是指与X方向及Y方向平行的预定的虚拟的一个面。

保持部21包括保持对象物9的框架(frame)211及马达212。马达212使框架211以与Z方向平行，即，与XY平面垂直的轴J1为中心而旋转。保持部21是以对象物9的面的法线与X方向所成的角度能够相对地变更的方式而保持对象物9。在图2中，以两点划线表示框架211旋转的情形。

照明部22包括光源221、光出射部222及透镜223。在图2中，省略光源221的图示。照明部22的光轴J2与X方向平行，即，与YZ平面垂直。在本实施方式中，光源221是发光二极管(light-emitting diode，LED)。也可使用其他装置作为光源221。光源221所生成的光经由光纤导入至光出射部222。光出射部222自针孔(pin hole)射出光。即，光出射部222是点光源。光源221及光出射部222也可成为一个单元。自光出射部222射出的光通过透镜223而转换成平行光71。在图1及图2中，省略保持光出射部222或透镜223的构成元件的图示。

通过照明部22，将平行光71自X方向照射至对象物9。透过对象物9的光被导向屏幕23。由此，使透过对象物9的光投影至屏幕23。摄像部24取得已投影至屏幕23的像。若准确地表达，则是摄像部24取得表示已投影至屏幕23的对象物9的像的数据。摄像部24自与保持部21的框架211不发生干扰的位置拍摄屏幕23。摄像部24是自斜上方拍摄屏幕23，故所取得的图像被修正为与自正面拍摄的情况相同的形状。在图1及图2中，省略支撑屏幕23及摄像部24的构成元件。控制部25对保持部21的马达212及摄像部24进行控制。

图3是表示制造对象物9的情形的概略图。图3表示通过日本专利特开2010-46798号公报所公开的制造方法而制造的情形，但对象物9的制造方法并不限定于所述方法。自模具81挤出的薄片状的熔融树脂首先被导入至高刚性的主辊82与第一金属弹性辊83之间的间隙内。使树脂夹于主辊82与第一金属弹性辊83之间而成形，并通过主辊82的旋转而运送至主辊82上。将树脂进而导入至主辊82与第二金属弹性辊84之间的间隙内，夹于主辊82与第二金属弹性辊84之间而进一步成形。

将树脂通过第二金属弹性辊84的旋转，而运送至第二金属弹性辊84上，并成为连续的对象物90而朝向以符号91表示的运送方向进行运送。图1及图2所示的对象物9是切取对象物90的一部分的物体。

图4是表示对象物9的图。在表示与图3的运送方向91相对应的方向的箭头上标注符号91。在以下的说明中，与运送方向91相对应的对象物9上的方向也称为“运送方向91”。并且，将与对象物9的面平行，并且与运送方向91垂直的方向称为宽度方向92。在图1及图2中，宽度方向92与XY平面垂直。

图5是表示测量装置1的动作的流程的图。首先，将对象物9安装于保持部21的框架211。如以上所述，对象物9的面与XY平面垂直，并且运送方向91与XY平面平行。控制部25使马达212旋转，而将对象物9配置于预定的最初的旋转位置。由此，以对象物9的面的法线与X方向所成的角度成为初始的第一角度的方式而配置对象物9(步骤S11)。对象物9的面的法线(准确而言，法线方向)并非面上的各位置的严格意义上的法线，而是指保持于框架211的对象物9的面的大致法线方向，是相对于框架211或马达212的旋转轴而固定的方向。

光源221所生成的光自光出射部222射出，而将平行光71自X方向照射至对象物9(步骤S12)。当然，步骤S11与步骤S12的顺序也可调换。通过向对象物9照射光，而将透过对象物9的光投影至屏幕23而形成对象物9的投影像。通过控制部25的控制，而使摄像部24取得投影像的图像(步骤S13)。图像的数据经由控制部25而存储于计算机12的存储部。

控制部25使马达212旋转而将对象物9配置于下一个旋转位置。由此，以对象物9的面的法线与X方向所成的角度成为第二角度的方式而配置对象物9(步骤S14、步骤S15)。再者，对象物9是以轴J1为中心而旋转，因此对象物9的面与XY平面垂直，并且运送方向91与XY平面平行的状态得以维持。通过再次利用摄像部24执行图像的取得，而将第二次的图像的数据存储于计算机12的存储部(步骤S13)。

通过控制部25的控制，而一面变更对象物9的面与X方向所成的第二角度，一面反复利用摄像部24进行拍摄(步骤S13～步骤S15)。由此，取得多个图像，并将其数据存储于计算机12。然后，停止利用照明部22向对象物9照射光(步骤S16)。

步骤S15中的对象物9的旋转角度的间距优选为15度以下。并且，旋转方向及旋转角度的间距可进行各种变更，但优选为旋转方向及旋转角度的间距为固定。再者，在所述说明中，是将对象物9的面的法线与X方向所成的最初的角度称为“第一角度”，将第二次以后的角度称为“第二角度”，但这些均为便于说明的表达，不一定必须加以区别。在以下的其他实施方式中也同样。

图6是表示所取得的图像的一例即图像60的图。图6的横方向61是与对象物9上的运送方向91相对应的方向。纵方向62是与对象物9的宽度方向92相对应的方向。在图6中，利用沿纵方向62延伸的多个虚线来表现在图像60中出现沿纵方向62延伸的多个条纹的现象。这些条纹是由于在运送方向91上对象物9的厚度或表面形状发生变化而产生。条纹在对象物9的宽度方向92上延伸，故以下称为“横条纹”。

以符号63表示的矩形表示图像60之中由计算机12的运算部121处理的区域。以下，将所述区域63称为“图像处理范围”。图7是放大地表示图像处理范围63的图。图像处理范围63被分成在纵方向62上延伸的多个细长的单位区域64。多个单位区域64在横方向61上排列。一个单位区域64的横方向61上的宽度是一个像素以上的宽度，在本实施方式中，在各单位区域64内在横方向61上排列四个像素。

运算部121求出各单位区域64的像素值的平均作为所述单位区域64的明度。实际上，是进行消除照明光的强度的不均一或光学***的影响的修正。具体而言，预先在不存在对象物9的状态下，摄像部24取得屏幕23的图像。运算部121求出图像中的各单位区域64的明度作为参照明度。继而，将在存在对象物9的状态下所取得的图像中的各单位区域64的明度除以参照明度。由此，获得经修正的明度。经修正的明度表示与单位区域64相对应的对象物9上的区域的透过率。在以下的说明中，将经修正的明度简称为“明度”。

运算部121对通过反复实施步骤S13而取得的多个图像进行所述运算。由此，取得各图像的横方向61，即，与运送方向91相对应的方向上的明度的变化(步骤S17)。图8是表示明度变化的一例的图。横轴表示单位区域64的编号，纵轴表示明度。由图8可知，由于某些原因，明度产生有变化。并且，可知明度的变化具有某种程度的周期性。

运算部121求出各图像的明度变化的最大值。作为明度的变化，可使用各种值，在本实施方式中，是取得相互邻接的单位区域64之间的明度差，即，自其中一者的明度减去另一者的明度所得的值的绝对值作为明度的变化。继而，自各图像取得明度变化的最大值。以下，将明度变化的最大值称为“对比度(contrast)”。各图像分别对应于各旋转位置，故通过求出自对象物9的一个样品取得的各图像的对比度，可获得旋转位置与对比度的关系。

图9是例示对象物9的旋转位置与对比度的关系的图。图9所示的信息是显示于图1的显示器13(步骤S18)。符号901、符号902、符号903表示针对不同的对象物9的测量结果。但是，图9并未准确地表现实际获得的测量结果，而是基于实际的测量结果，描绘对比度相对于旋转位置的典型关系。旋转位置表示对象物9的面的法线与X方向所成的角度，故而以下将旋转位置也称为“入射角”。入射角0度是平行光71垂直地入射至对象物9的状态。

一般而言，若入射角增大，则对比度增大。其原因在于，若朝向对象物9的照明光的入射角增大，则邻接的单位区域64之间的明度差增大。然而，当明度变化的一个周期的长度短时，若照明光的入射角过度增大，则一个周期的长度会包含在一个单位区域64内，从而明度的变化反而下降。其结果为，对比度下降。

在图9的示例的情况下，在标注符号901的线中，入射角为60度时对比度为最大。在标注符号902的线中，入射角为70度时对比度为最大。在标注符号903的线中，入射角为0度至80度时，对比度单调递增。明度的变化表示运送方向91上的对象物9的厚度或表面形状的变化，故可以说，在符号901的情况，对象物9存在周期长度短的周期性的厚度或表面形状的变化，在符号902的情况，对象物9存在周期长度较符号901的情况更长的周期性的厚度或表面形状的变化，在符号903的情况，对象物9存在周期长度较符号902的情况更长的周期性的厚度或表面形状的变化。作为图9所示的信息的测量值表示运送方向91上的对象物9的厚度或表面形状的变化的周期性的特性，即，对象物9上的横条纹的特性。更准确而言，表示由横条纹引起的光的透过或反射的不均的特性。再者，对比度自增加转为减少的位置受到单位区域64的横方向61的宽度的影响。即，对比度自增加转为减少的位置取决于摄像部24的像素的尺寸及单位区域64的横方向61的像素数。

在测量装置1中，通过使对象物9旋转，可容易地使横条纹的特性在二维空间内进行数值化及曲线图(graph)化。

以如上所述的方式而获得的信息可用于各种用途。例如，在图9中，当对比度在右侧大时，可以说在对象物9上，产生有在宽度方向92上延伸，并且相对于运送方向91的长周期的横条纹。当对比度在左侧大时，可以说在对象物9上，产生有在宽度方向92上延伸，并且相对于运送方向91的短周期的横条纹。因此，当表示对比度的线存在于左上时，可以说对象物9存在短周期的容易引人注目的横条纹。由此，例如，当入射角为以虚线911表示的70度以下时，若对比度为以虚线912表示的0.2以上，则可判断为经制造的构件不满足品质基准。由于可利用照明光的入射角及对比度这两个参数来评估品质，故例如，当对象物9为触摸屏用的透明板时，能够以需要的视场角参照曲线图而定量地评估横条纹是否明显。

并且，图9的信息也可用于制造装置启动时等的调整。对比度为最大的入射角是根据制造装置的调整不良部位而确定。所谓装置的调整不良，是指例如相互咬合的齿轮的位置调整的不良、熔融树脂的不适当的温度、辊间的不适当的速度差、模具与辊间隙之间的距离的调整不良等。由于这些成形条件的调整不良，而有时会在对象物9出现具有特有的周期性的横条纹。因此，通过取得图9所示的信息，可迅速掌握装置的调整不良的原因。例如，自横条纹的特性，可确定横条纹是作为因哪个齿轮产生的齿轮痕迹(gear mark)而出现的，从而可迅速确定需要调整的部位。

图9的信息也可用于操作者对制造装置的操作能力的评估。当存在尚说不上是所述调整不良的横条纹时，通过预先获得由相同材料制造时熟练者操作装置时的信息，可判断是否有进一步提高当前的操作者的能力的余地。并且，也会成为判断是否需要进一步学习装置的哪个部分的细微操作的材料。

在测量装置1中，也可进行所述运算以外的处理。通过图像取得装置11获得多个图像，可基于这些图像掌握运送方向91上的对象物9的厚度或表面形状的变化的特性，从而可进行各种判断，所述多个图像是由自多个角度透过对象物9的光所形成。

图10是表示本发明的第二实施方式的测量装置的图像取得装置11的平面图。测量装置的图像取得装置11以外的部分与图1同样。在图10中，省略了照明部22的光源221及控制部25的图示。在以下的说明中，对与第一实施方式具有相同功能的构成元件标注相同符号。图像取得装置11的摄像部24接收来自对象物9的反射光。对象物9既可为透明，也可为不透明。对象物9的被照射照明光的面大致为平面。

保持部21及照明部22的结构与图1及图2同样。在图10中，也将照明部22的光轴的方向确定为X方向，对象物9的面与XY平面垂直，并且对象物9上的运送方向91与XY平面平行。

摄像部24包括透镜241、传感器部242及支撑部243。透镜241及传感器部242是固定于支撑部243。虽省略图示，但如以两点划线所示，进而设置有使摄像部24以保持部21的轴J1为中心旋转的旋转机构。由此，当对象物9以轴J1为中心而旋转时，摄像部24进行移动，以使反射光入射至摄像部24。入射至摄像部24的反射光经由透镜241而导入至传感器部242，将图像的数据经由控制部25存储于计算机12的存储部。

测量装置1的动作与第一实施方式同样。如图5所示，首先，以对象物9的面的法线与X方向所成的角度成为初始的第一角度的方式而配置对象物9(步骤S11)。将平行光71自X方向照射至对象物9(步骤S12)，通过摄像部24接收经对象物9反射的光而取得图像(步骤S13)。图像的数据是经由控制部25而存储于计算机12的存储部。

控制部25使马达212旋转而将对象物9配置于下一个旋转位置。由此，以对象物9的面的法线与X方向所成的角度成为第二角度的方式而配置对象物9(步骤S14、步骤S15)。摄像部24也进行移动，以使反射光入射。通过再次利用摄像部24执行图像的取得，而将第二个图像的数据存储于计算机12的存储部(步骤S13)。

通过控制部25的控制，而一面变更对象物9的面与X方向所成的第二角度及摄像部24的位置，一面反复利用摄像部24进行摄像(步骤S13～步骤S15)。由此，取得多个图像，并将其数据存储于计算机12。然后，停止利用照明部22向对象物9照射光(步骤S16)。

所取得的图像通过与第一实施方式同样的处理，而取得各单位区域64的明度(准确而言，为修正后的明度)。用于明度的修正的参照明度是由如下的图像求出，所述图像是使保持部21保持平坦的反射板而取得的图像。运算部121针对多个图像进行所述运算。由此，取得各图像的横方向61，即，与运送方向91相对应的方向上的明度的变化(步骤S17)。明度的变化具有周期性。运算部121通过与第一实施方式同样的处理，而求出各图像的明度变化的最大值即对比度。

当摄像部24接收反射光时，明度的变化表示运送方向91上的对象物9的表面的形状的变化。通过自各图像取得对比度，而获得依据图9的信息即测量值。即，获得入射角与对比度的关系。入射角与对比度的关系是显示于显示器13(步骤S18)。测量值表示运送方向91上的对象物9的表面形状的变化的周期性的特性，即，对象物9上的横条纹的特性。更准确而言，表示由横条纹引起的光的反射的不均的特性。并且，在测量装置中，通过使对象物9旋转，可容易地使横条纹的特性在二维空间内进行数值化及曲线图化。

关于自作为反射型的测量装置的第二实施方式获得的信息，也与第一实施方式同样地，可用于制造物的合格与否判定、装置的调整不良、操作者的熟练度的判定等各种用途。

在测量装置中，也可进行所述运算以外的处理。通过取得多个图像，可基于这些图像掌握运送方向91上的对象物9的表面形状的变化的特性，从而可进行各种判断，所述多个图像是通过以多个角度在对象物9上反射的光而形成。

在所述实施方式中，是取得多个图像，但所取得的图像也可仅为两个。即，由步骤S14进行的反复处理也可为一次。即使所取得的图像仅为两个，也可掌握运送方向91上的对象物9的厚度或表面形状的变化的特性。当然，如上所述，优选为以一面将对象物9的面的法线与X方向所成的角仅变更15度以下的角度，一面反复取得图像为宜。由此，可更确实地掌握运送方向91上的对象物9的厚度或表面形状的变化的特性。当考虑到图像取得时间时，在实际应用上，变更的角度为一度以上。

所述实施方式的图像取得装置11及测量装置1可进行各种各样的变更。

在第一实施方式中，是摄像部24取得投影至屏幕23的对象物9的像，但也可与第二实施方式同样地，通过摄像部24直接接收透过对象物9的光，而取得图像。同样地，在第二实施方式中，也可将经对象物9反射的光导引至屏幕，由摄像部24取得投影至屏幕的像。如上所述，图像取得装置11也可利用各种方法来取得来源于对象物9的图像。

当摄像部24直接接收来自对象物9的光时，如图10所示，当传感器部242的受光面小于来自对象物9的光束的剖面时，需要使光聚集的透镜241。但是，当传感器部242的受光面大于来自对象物9的光束的剖面时，透镜241则可省略。

照射至对象物9的光并不限定于平行光。只要相对于Y方向而平行或收敛或发散，也可相对于Z方向而散射。所谓相对于Y方向的收敛或发散，是指Y方向上的光束的宽度根据距光源的距离而逐渐缩小或逐渐扩大。当然，照明光也可为相对于Z方向而收敛或发散的光。当照明光相对于Y方向而收敛或发散时，若对象物9上的运送方向91的位置不同，则所述位置与屏幕23或摄像部24之间的距离不同，因此可根据距离进行使图像的各部位扩大或缩小的处理。这些处理可根据照明部22、对象物9与屏幕23或摄像部24的几何学上的位置关系而容易地进行。

在图10的第二实施方式中，摄像部24与对象物9的旋转同步地进行旋转，但也可使对象物9的方向固定，而使照明部22及摄像部24以轴J1为中心进行旋转。在图2及图10的示例中，通过使对象物9以与XY平面垂直的轴为中心而旋转，可容易地变更朝向对象物9的照明光的入射角。

在图2的第一实施方式中，对象物9并不限定于透明。例如，在摄像部24为红外线照相机的情况下，对象物9只要是使红外线透过的物体即可，也可为不透明。对象物9只要针对照明光具有透过性即可。

在所述实施方式中，是使用一组的照明部22及摄像部24进行多次摄像，但也可将多组的照明部22及摄像部24设置于测量装置1。此时，可同时取得照明光的入射角度不同的多个图像。也可通过将多组的照明部22及摄像部24设置于测量装置1，而将测量装置1以在线(in-line)方式设置于制造对象物9的制造装置。由此，可实现即时(real time)的产品检查或品质评估。

计算机12的运算部121的处理并不限定于所述实施方式中所说明的情况，而可进行各种运算，求出表示对象物9的横条纹的特性的值。例如，也可在所获得的多个图像中，分别求出在与对象物9的宽度方向92相对应的上下方向上排列的像素的值的平均值，对与运送方向91相对应的方向上的所述平均值的变化进行傅立叶(Fourier)变换而求出横条纹的特性。横条纹的特性也可通过人以肉眼观察确认多个图像来掌握。自以多个角度透过或反射对象物9的光而获得的多个图像会显示由横条纹引起的光的透过或反射的不均的特性，因此无论在运算的情况，还是在肉眼观察的情况，均可容易地掌握横条纹的特性。

所述实施方式及各变形例中的结构只要不相互矛盾，即可适当组合。

已对发明加以详细描写而进行说明，但是所述说明是例示性的而非限定性的作用。因此，可以说只要不脱离本发明的范围，即可能存在多种变形或形态。

符号的说明

9：对象物

11：图像取得装置

21：保持部

22：照明部

24：摄像部

25：控制部

23：屏幕

60：图像

91：运送方向

S11～S18：步骤

Claims (9)

1.一种图像取得方法，取得来源于薄片状或板状的对象物的图像，所述薄片状或板状的对象物是一面在运送方向上连续地运送一面制造，所述图像取得方法其特征在于，包括如下的步骤：

a)以所述对象物的面与预定的XY平面垂直，并且所述运送方向与所述XY平面平行，并且所述对象物的所述面的法线与X方向所成的角度成为第一角度的方式而配置所述对象物；

b)将相对于Y方向平行或收敛或发散的光自所述X方向照射至所述对象物；

c)通过取得将透过或反射所述对象物的光投影至屏幕而成的像，或通过接收透过或反射所述对象物的光，而取得图像；

d)以所述对象物的所述面与所述XY平面垂直，并且所述运送方向与所述XY平面平行，并且所述对象物的所述面的法线与所述X方向所成的角度成为第二角度的方式而配置所述对象物；以及

e)通过再次执行所述c)步骤，而取得其他图像。

2.根据权利要求1所述的图像取得方法，其特征在于，

在所述d)步骤中，使所述对象物以与所述XY平面垂直的轴为中心而旋转。

3.根据权利要求2所述的图像取得方法，其特征在于，

通过一面将所述d)步骤中的所述对象物的所述面的法线与所述X方向所成的角度仅变更15度以下的角度，一面反复进行所述d)步骤及所述e)步骤，而取得多个图像。

4.一种测量方法，自薄片状或板状的对象物取得表示所述对象物的特性的测量值，所述薄片状或板状的对象物是一面在运送方向上连续地运送一面制造，所述测量方法其特征在于，包括如下的步骤：

f)通过根据权利要求1所述的图像取得方法而取得所述图像及所述其他图像；以及

g)取得与所述运送方向相对应的方向上的所述图像及所述其他图像的明度的变化。

5.根据权利要求4所述的测量方法，其特征在于，

在所述d)步骤中，使所述对象物以与所述XY平面垂直的轴为中心而旋转，

通过一面变更所述d)步骤中的所述对象物的所述面的法线与所述X方向所成的角度，一面反复进行所述d)步骤及所述e)步骤而取得多个图像，来取得包含所述图像及所述其他图像的多个图像，

在所述h)步骤中，取得所述运送方向上的所述多个图像的明度变化。

6.根据权利要求5所述的测量方法，其特征在于，进而包括如下的步骤：

h)取得所述多个图像的各自的明度变化的最大值。

7.一种图像取得装置，取得来源于薄片状或板状的对象物的图像，所述薄片状或板状的对象物是一面在运送方向上连续地运送一面制造，所述图像取得装置其特征在于，包括：

保持部，以所述对象物的面与预定的XY平面垂直，并且所述运送方向与所述XY平面平行，并且所述对象物的所述面的法线与X方向所成的角度能够相对地变更的方式而保持所述对象物；

照明部，将相对于Y方向平行或收敛或发散的光自所述X方向照射至所述对象物；以及

摄像部，通过取得将透过或反射所述对象物的光投影至屏幕而成的像，或通过接收透过或反射所述对象物的光，而取得图像。

8.根据权利要求7所述的图像取得装置，其特征在于，

所述保持部使所述对象物以与所述XY平面垂直的轴为中心而旋转。

9.根据权利要求8所述的图像取得装置，其特征在于，进而包括：

控制部，对所述摄像部及所述保持部进行控制；且

通过所述控制部的控制，而一面由所述保持部变更所述对象物的所述面的法线与所述X方向所成的角度，一面由所述摄像部反复取得图像。

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