CN111886095A - 涂层刀具和具备它的切削刀具 - Google Patents

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Abstract

本发明的涂层刀具具备基体、和位于该基体之上的涂层。该涂层含有包含如下元素的立方晶的结晶：周期表4、5、6族元素、Al、Si、B、Y和Mn之中的至少一种的元素；C、N和O之中的至少一种的元素。该涂层，在所述立方晶的结晶的关于(111)面的正极图的α轴的X射线强度分布中，具有位于0°～90°之间的第一波峰，和比该第一波峰位于高角度的第二波峰。此外，所述涂层在所述第一波峰和所述第二波峰之间具有X射线强度比所述第一波峰和所述第二波峰的X射线强度低的谷部。另外，本发明的切削刀具具备：从第一端朝向第二端延伸在所述第一端侧具有卡槽的刀柄、和位于所述卡槽的上述的涂层刀具。

Description

涂层刀具和具备它的切削刀具
技术领域
本发明涉及在切削加工中使用的涂层刀具和具备它的切削刀具。
背景技术
作为在车削加工和滚削加工这样的切削加工中所使用的涂层刀具，例如已知有专利文献1所述这样的在基材的表面涂覆有被膜的切削刀具用涂层构件。在专利文所述的涂层刀具中，涂覆刀具基体的硬质膜由立方晶的金属化合物构成。而且还记载有使该金属化合物的(111)面和(200)面，相对于基体的表面，分别以规定的角度倾斜，涂层刀具的耐磨耗性变高。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：国际公开第2011/016488
发明内容
本发明的涂层刀具具备基体、和位于该基体之上的涂层。该涂层含有立方晶的结晶，所述立方晶的结晶包含周期表4、5、6族元素、Al、Si、B、Y和Mn之中的至少一种元素；和C、N和O之中的至少一种元素。该涂层，在所述立方晶的结晶的关于(111)面的正极图的α轴的X射线强度分布中，具有位于0°～90°之间的第一波峰，和位于比该第一波峰更高角度的第二波峰。此外，所述涂层，在所述第一波峰与所述第二波峰之间，具有X射线强度比所述第一波峰和所述第二波峰的X射线强度低的谷部。另外，本发明的切削刀具具有：从第一端向第二端延伸，在所述第一端侧具有卡槽的刀柄；和位于所述卡槽的上述的涂层刀具。
附图说明
图1是表示本发明的涂层刀具的一例的立体图。
图2是图1所示的涂层刀具的A－A截面的剖视图。
图3(a)是图2所示的区域B1的放大图。图3(b)是图2所示的区域B1的其他方式的放大图。
图4是本发明的涂层刀具的AlTiN层中的AlTiN结晶的关于(111)面的正极图的α轴的X射线强度分布的一例。
图5是本发明的涂层刀具的AlTiN层中的AlTiN结晶的关于(111)面的正极图的α轴的X射线强度分布的一例。
图6是本发明的涂层刀具的AlTiN层中的AlTiN结晶的关于(111)面的正极图的α轴的X射线强度分布的一例。
图7是本发明的涂层刀具的AlTiN层中的AlTiN结晶的关于(200)面的正极图的α轴的X射线强度分布的一例。
图8是本发明的涂层刀具的AlTiN层中的AlTiN结晶的关于(200)面的正极图的α轴的X射线强度分布的一例。
图9是本发明的涂层刀具的AlTiN层中的AlTiN结晶的关于(200)面的正极图的α轴的X射线强度分布的一例。
图10是表示本发明的切削刀具的一例的俯视图。
具体实施方式
＜涂层刀具＞
以下，对于本发明的涂层刀具，用附面详细说明。但是，以下参照的各图，为了说明方便，只简略化显示在说明实施方式上必要的主要构件。因此，本发明的涂层刀具，能够具备参照的各图中未显示的任意的结构构件。另外，各图中的构件的尺寸，并非忠实表现实际的结构构件的尺寸和各构件的尺寸比率等。这几点在后述的切削刀具中也同样。
本发明的涂层刀具1，是四边形板状，具有四边形的第一面3(图1中的上表面)、第二面5(图1中的侧面)、位于第一面3和第二面5相交的棱线的至少一部分上的刃口7。另外，本实施方式的涂层刀具1，还具有四边形的第三面8(图1中的下表面)。
在本发明的涂层刀具1中，第一面3的整个外周可以成为刃口7，但涂层刀具1不限定为这样的构成。例如，也可以只是在四边形的第一面3中一边上具有刃口7，或部分性地具有刃口7。
第一面3中，至少一部分上具有前刀面区域3a，可以是第一面3中的沿刃口7的区域成为前刀面区域3a。第二面5中，至少一部分上具有后刀面区域5a，可以是第二面5中的沿刃口7的区域成为后刀面区域5a。如果是这样的构成，则也可以说，刃口7位于前刀面区域3a和后刀面区域5a相交的部分。
图1中，第一面3中的前刀面区域3a，和其以外的区域的边界由点划线表示。另外，第二面5中的后刀面区域5a，和其以外的区域的边界由点划线表示。在图1中，因为显示的是第一面3和第二面5相交的棱线全部是刃口7的例子，所以在第一面3中，表示上述边界的点划线成为环状。
涂层刀具1的大小没有特别限定，例如，在本实施方式中，第一面3的一边的长度可以为3～20mm。另外，从第一面3至位于第一面3的相反侧的第三面8的高度可以为5～20mm左右。
本发明的涂层刀具1，如图1和图2所示，具备四边形板状的基体9、和涂覆在该基体9的表面的涂层11。涂层11可以覆盖基体9的整个表面，另外，也可以只覆盖一部分。涂层11只涂覆基体9的一部分时，也能够说涂层11位于基体9之上的至少一部分。
涂层11的厚度，例如，可以为0.1～10μm左右。还有，涂层11的厚度可以一定，也可以根据场所而有所不同。
本发明的涂层刀具1，如图3(a)所示，在基体9的表面具备涂层11。涂层11含有立方晶的结晶，所述立方晶的结晶包含周期表4、5、6族元素、Al、Si、B、Y和Mn之中的至少一种的元素，和C、N和O之中的至少一种的元素。立方晶的结晶，例如，有AlTiN、AlCrN和TiN等。TiAlN结晶是在TiN结晶中固溶有Al的结晶。
这些立方晶的结晶，由于具有高硬度和优异的耐磨耗性，所以适合用于涂层刀具1的涂层11。
本发明的涂层刀具1，通过控制涂层11中的立方晶的结晶的取向，使涂层刀具1的耐久性提高。涂层11中包含的立方晶的结晶具有(111)面。通过使用X射线衍射装置测量涂层11的立方晶的结晶的(111)面对于基体9的表面的倾斜角度，能够评价立方晶的结晶的取向性。
立方晶的结晶的(111)面的取向性，如图4～6所示，能够以正极图的X射线强度分布进行评价。
例如，在立方晶的结晶的(111)面的正极图的X射线强度分布中，在50°的位置有波峰时，相对于基体9的表面，(111)面倾斜50°的立方晶的结晶的数量多。
本发明的涂层刀具1的涂层11，如图4～6所示，在立方晶的结晶的关于(111)面的正极图的α轴的X射线强度分布中，具有位于0°～90°之间的第一波峰，和相比第一波峰位于更高角度的第二波峰。此外，在第一波峰和第二波峰之间，具有X射线强度比第一波峰和第二波峰的X射线强度低的谷部。
如此在立方晶的结晶的关于(111)面的正极图的α轴的X射线强度分布中，具有多个波峰时，立方晶的结晶具有2个以上的取向而偏在。
例如，在图4～6中，第一波峰存在于25°～40°之间大体32.5°的位置。另外，第二波峰存在于55°～70°之间大体60°的位置。还有，本发明中的第一波峰和第二波峰的大小关系，根据α轴的X射线强度分布中的波峰强度进行比较。
图4中，大约60°的第二波峰最大，32.5°的第一波峰比第二波峰小。
总之，在图4～6所示的涂层刀具1中比较多地存在有，相对于基体9的表面立方晶的结晶的(111)面大体倾斜32.5°的立方晶的结晶，和相对于基体9的表面立方晶的结晶的(111)面大体倾斜60°的立方晶的结晶。
像这样具有在立方晶的结晶的(111)面的正极图的X射线强度分布中在0°～90°之间有着多个波峰的涂层11的涂层刀具1，与在立方晶的结晶的(111)面的正极图的X射线强度分布中在0°～90°之间只有1个波峰的情况相比，耐久性优异，能够长期进行稳定的切削加工。
涂层刀具1的特性，例如，能够根据硬度和由刮痕试验测量的剥离载荷进行评价。涂层刀具1的耐久性，受到硬度和剥离载荷的影响。若只有任意一方高，则涂层刀具1仍无法具有高耐久性。本发明的涂层刀具1，硬度和剥离载荷保持着良好的平衡，耐久性优异。
在本发明的涂层刀具1中，第一波峰的X射线强度，如图5所示，可以比第二波峰的X射线强度大1.05倍以上。第一波峰的X射线强度高时，涂层11的剥离载荷处于变大的倾向，涂层刀具1的耐崩损性能良好。
另外，第一波峰的X射线强度，如图4所示，可以比第二波峰的X射线强度的0.95倍小。像这样相对地来说第二波峰的X射线强度比第一波峰的X射线强度高时，涂层11的硬度变高，涂层刀具1的耐磨耗性能良好。
另外，如图6所示，比较第一波峰的X射线强度与第二波峰的X射线强度时，相对于任意大的一方的波峰强度，小的一方的波峰强度可以为其0.95倍以上。这样构成的涂层11，硬度和剥离载荷双方的平衡优异，容易使用。
另外，如图4～6所示，立方晶的结晶的关于(111)面的正极图的α轴的X射线强度分布，可以在25°～40°之间具有第一波峰，在55°～70°之间具有第二波峰。
若第一波峰处于25°～40°之间，则成为剥离载荷高的涂层11。若第二波峰处于55°～70°之间，则成为硬度优异的涂层11。
另外，如图7～9所示，立方晶的结晶的关于(200)面的正极图的α轴的X射线强度分布中，可以具有位于0°～90°之间的第三波峰，和相比该第三波峰而位于高角度的第四波峰，此外，在第三波峰和第四波峰之间，具有X射线强度比第三波峰和第四波峰的X射线强度低的谷部。
如此，立方晶的结晶的关于(200)面的正极图的α轴的X射线强度分布中，若在0°～90°之间具有第三波峰和第四波峰，则成为耐久性优异的涂层刀具1。
另外，第四波峰的X射线强度，如图9所示，可以是第三波峰的X射线强度的0.95倍以下。若具有这样的构成，则涂层11的剥离载荷变大，涂层刀具1的耐崩损性良好。
另外，第四波峰的X射线强度，如图8所示，也可以比第三波峰的X射线强度的0.95倍大且小于1.15倍。具有这样的构成时，则成为涂层11的硬度、剥离载荷的平衡优良的涂层刀具1。
另外，第四波峰的X射线强度，如图7所示，也可以是第三波峰的X射线强度的1.15倍以上。具有这样的构成时，第四波峰的X射线强度相对变高，涂层11的硬度变高，涂层刀具1的耐磨耗性能良好。
另外，如图7～9所示，AlTiN结晶的关于(200)面的正极图的α轴的X射线强度分布，可以在15°～30°之间具有第三波峰，在60°～75°之间具有第四波峰。具有这样的构成时，涂层11的硬度、剥离载荷变大。
涂层11，也可以具备作为立方晶的结晶而含有AlTiN结晶的AlTiN层13。AlTiN层13中，可以是铝的含有比率比钛的含有比率高。另外，AlTiN层13中，也可以是钛的含有比率比铝的含有比率。另外，AlTiN层13中，除了铝和钛以外，也可以还含有铬。但是，与铬成分比较，铝和钛各自的含有比率的合计较高。AlTiN层13中的铬的含有比率，例如，可以为0.1～20％。还有，上述的所谓“含有比率”，表示以原子比计的含有比率。
另外，如图3(b)所示，本发明的涂层刀具1，除了AlTiN层13以外，也可以具有含有作为立方晶的结晶的AlCrN结晶的AlCrN层15。另外，AlTiN层13和AlCrN层15可以分别多层层叠。层叠的顺序也可以相反，也可以交替层叠多个AlTiN层13和AlCrN层15。
AlCrN层15可以只由铝和铬构成，但除了铝和铬以外，也可以含有Si、Nb、Hf、V、Ta、Mo、Zr、Ti和W等的金属成分。但是，在AlCrN层15中，与上述的金属成分比较，铝和铬各自的含有比率的合计较高。铝的含有比率，例如，可以为20～60％。另外，铬的含有比率，例如，可以为40～80％。
涂层刀具1在具有多个AlCrN层15时，在各个AlCrN层15中，可以是铝的含有比率比铬的含有比率高，另外，在多个AlCrN层15的各层中，也可以是铬的含有比率比铝的含有比率高。
另外，AlCrN层15，可以只由含有铝和铬的金属成分构成，但铝和铬也可以是单独含有或两者都含有的氮化物、碳化物或碳氮化物。
AlTiN层13和AlCrN层15的组成，例如，可以由能量色散型X射线光谱分析法(EDS)或X射线光电子能谱分析法(XPS)等测量。
AlTiN层13和AlCrN层15的层叠数，不限定于规定的值。AlTiN层13和AlCrN层15的数量，例如，可以是2～500。
涂层11具有AlTiN层13时，耐崩损性变高。另外，涂层11具有AlCrN层15时，耐磨耗性变高。涂层11为多个AlTiN层13和多个AlCrN层15交替存在的构成时，作为涂层11的整体的强度变高。
还有，与多个AlTiN层13和多个AlCrN层15各自的厚度厚，并且，多个AlTiN层13和多个AlCrN层15的数量少的情况相比，多个AlTiN层13和多个AlCrN层15各自的厚度薄，并且，多个AlTiN层13和多个AlCrN层15的数量多的情况的一方，作为涂层11的整体的强度更高。
AlTiN层13和AlCrN层15的厚度，没有限定于规定的值，例如，能够分别设定为5nm～100nm。还有，多个AlTiN层13和多个AlCrN层15的厚度可以为一定，也可以互不相同。
还有，本发明的涂层刀具1，如图1所示这样是四边形板状，但作为涂层刀具1的形状，并不限定为这样的形状。例如，第一面3和第三面8也可以不是四边形，而是三角形、六边形或圆形等也没有任何问题。
本发明的涂层刀具1，如图1所示，例如，可以具有贯通孔17。贯通孔17，从第一面3起直至位于第一面3的相反侧的第三面8而形成，在这些面上开口。在将涂层刀具1保持在刀柄上时，贯通孔17可以用于安装螺栓或夹具构件等。还有，贯通孔17为在位于第二面5中的互为相反侧的区域开口的构成也没有任何问题。
作为基体9的材质，例如，可列举硬质合金、金属陶瓷和陶瓷等的无机材料。作为硬质合金的组成，例如，可列举WC(炭化钨)－Co、WC－TiC(碳化钛)－Co和WC－TiC－TaC(碳化钽)－Co等。在此，WC、TiC和TaC是硬质粒子，Co是粘结相。另外，金属陶瓷是使金属与陶瓷成分复合而成的烧结复合材料。具体来说，作为金属陶瓷，可列举以TiC或TiN(氮化钛)为主成分的化合物等。还有，作为基体9的材质，并不限定于这些。
涂层11，例如，可以通过使用物理蒸镀(PVD)法等，使之位于基体9之上。例如，在以贯通孔17的内周面保持基体9的状态下，利用上述的蒸镀法而形成涂层11时，能够以覆盖除去贯通孔17的内周面以外的基体9的整个表面的方式来确定涂层11的位置。
作为物理蒸镀法，例如，可列举离子镀法和溅射法等。作为一例，在以离子镀法进行制作时，能够由下述的方法制作涂层11。
作为第一步，准备分别独立含有铝、钛的金属靶，复合化的合金靶或烧结体靶。通过电弧放电或辉光放电等，使作为金属源的上述的靶蒸发而离子化。使离子化的靶，与氮源的氮(N2)气、碳源的甲烷(CH4)气或乙炔(C2H2)气等反应，并且使之蒸镀于基体9的表面。通过以上的步骤可以形成AlTiN层13。
设置AlCrN层15时，作为第二步，准备分别独立含有铝和铬的金属靶、复合化的合金靶或烧结体靶。通过电弧放电或光辉放电等，使作为金属源的上述的靶蒸发而离子化。使离子化的靶，与氮源的氮(N2)气、碳源的甲烷(CH4)气或乙炔(C2H2)气等反应，并且使之蒸镀于基体9的表面。通过以上的步骤，可以形成AlCrN层15。
在上述的第一和第二步中，可以使基体的温度为400～600℃，压力为2.0～4.0Pa，对基体施加直流偏置电压－50～－100V，使电弧放电电流为120～180A。
通过交替重复上述的第一步和第二步，可以形成多个AlTiN层13和多个AlCrN层15交替层叠而成的结构的涂层11。还有，可以在先进行第二步后再进行第一步。另外，也可以只设置AlTiN层13。
为了像本发明的涂层刀具1这样，形成在AlTiN层13所含的AlTiN结晶的关于(111)面的正极图的α轴的X射线强度分布中，在0°～90°之间具有第一波峰和第二波峰的AlTiN层13，可以在上述第一步中，对于分别独立含有铝和钛的金属靶、复合化的合金靶或烧结体靶的蒸发速率进行调整。
若减缓蒸发速率，则每小时蒸镀于基体9的表面的AlTiN层13的厚度变薄。若加快蒸发速率，则每小时蒸镀于基体9的表面的AlTiN层13的厚度变厚。
若使每1小时蒸镀于基体9的表面的AlTiN层13的厚度为2μm以上且60μm以下，则能够形成如下AlTiN层：在AlTiN层所含的AlTiN结晶的关于(111)面的正极图的α轴的X射线强度分布中，在0°～90°之间具有第一波峰和比第一波峰位于高角度的第二波峰，第一波峰与第二波峰在彼此之间，具有X射线强度比第一波峰和第二波峰的X射线强度低的谷部。
另外，在AlTiN结晶的关于(111)面的正极图的α轴的X射线强度分布中，能够在25°～40°之间具有第一波峰，在55°～70°之间具有第二波峰。
若每1小时蒸镀于基体9的表面的AlTiN层的厚度为5μm以上且低于20μm，则如图5所示，能够使第一波峰的X射线强度，比第二波峰的X射线强度大。
另外，若每1小时蒸镀于基体9的表面的AlTiN层13的厚度为20μm以上且低于60μm，则如图4所示，能够使第一波峰的X射线强度比第二波峰的X射线强度小。
另外，若每1小时蒸镀于基体9的表面的AlTiN层13的厚度为2μm以上且低于5μm，则如图6所示，能够使第一波峰的X射线强度与第二波峰的X射线强度大致等同。
另外，为了形成在AlTiN层13所含的AlTiN结晶的关于(200)面的正极图的α轴的X射线强度分布中，在0°～90°之间具有第三波峰和第四波峰的AlTiN层13，可以在上述第一步中，对于分别独立含有铝和钛的金属靶、复合化的合金靶或烧结体靶的蒸发速率进行调整，使每1小时蒸镀于基体9的表面的AlTiN层13的厚度为2μm以上且60μm以下。
若每1小时蒸镀于基体9的表面的AlTiN层的厚度为2μm以上且低于5μm，则如图9所示，能够形成具有如下第四波峰的AlTiN层13，该第四波峰具有第三波峰的X射线强度的0.95倍以下的X射线强度。
另外，若每1小时蒸镀于基体9的表面的AlTiN层的厚度为5μm以上且低于20μm，则如图8所示，能够形成具有如下第四波峰的AlTiN层13，该第四波峰具有比第三波峰的X射线强度的0.95倍大且小于1.15倍的X射线强度。
另外，若每1小时蒸镀于基体9的表面的AlTiN层的厚度为20μm以上且低于60μm，则如图7所示，能够形成具有如下第四波峰的AlTiN层13，该四波峰具有第三波峰的X射线强度的1.15倍以上的X射线强度。
在AlTiN结晶的关于(200)面的正极图的α轴的X射线强度分布中，具有多个波峰的这些涂层刀具1，与具有只有1个波峰的AlTiN层的涂层刀具相比，均为超长寿命，具有高耐久性。
＜切削刀具＞
接下来，用附图对于本发明的切削刀具进行说明。
本发明的切削刀具101，如图10所示，例如，是从第一端(图10的上端)朝向第二端(图10的下端)延伸的棒状体。切削刀具101，如图10所示，具备在第一端侧(前端侧)具有卡槽103的刀柄105、和位于卡槽103的上述的涂层刀具1。因为切削刀具101具备涂层刀具1，所以能够长期进行稳定的切削加工。
卡槽103是安装涂层刀具1的部分，具有相对于刀柄105的下表面平行的支承面、和相对于支承面倾斜的限制侧面。另外，卡槽103在刀柄105的第一端侧开口。
涂层刀具1位于卡槽103上。这时，涂层刀具1的下表面可以与卡槽103直接接触，另外，也可以在涂层刀具1与卡槽103之间夹隔垫片(未图示)。
涂层刀具1以使第一面3和第二面5相交的棱线上的作为刃口7使用的部分的至少一部分从刀柄105向外侧突出的方式安装于刀柄105。在本实施方式中，涂层刀具1由固定螺栓107安装在刀柄105上。即，在涂层刀具1的贯通孔17中***固定螺栓107，将该固定螺栓107的前端***形成于卡槽103的螺栓孔(未图示)中而使螺栓部之间拧紧，由此，涂层刀具1被安装在刀柄105上。
作为刀柄105的材质，能够使用钢、铸铁等。在这些构件之中也可以使用韧性高的钢。
在本实施方式中，例示的是用于所谓的车削加工的切削刀具。作为车削加工，例如，可列举内径加工、外径加工和开槽加工等。还有，作为切削刀具，不限定用于车削加工。例如，用于滚削加工的切削刀具也可以使用上述实施方式的涂层刀具1。
实施例
以下对于本发明的涂层刀具进行说明。
使每1小时蒸镀于基体的表面的AlTiN层的厚度变化为4μm、10μm、25μm而制作试料No.1～3。还有，所谓每1小时蒸镀于基体的表面的AlTiN层的厚度也可以称之为成膜速度。
另外，作为比较例，也制作每1小时蒸镀于基体的表面的AlTiN层的厚度为1μm的试料。
每1小时蒸镀于基体的表面的AlTiN层的厚度为4μm的试料No.1，其AlTiN层中所包含的作为立方晶的结晶的AlTiN结晶的关于(111)面的正极图的α轴的X射线强度分布显示在图4中。试料No.1的AlTiN层中所包含的作为立方晶的结晶的AlTiN结晶的关于(200)面的正极图的α轴的X射线强度分布显示在图7中。
每1小时蒸镀于基体的表面的AlTiN层的厚度为10μm的试料No.2，其AlTiN层中包含的AlTiN结晶的关于(111)面的正极图的α轴的X射线强度分布显示在图5中。试料No.1的AlTiN层中包含的AlTiN结晶的关于(200)面的正极图的α轴的X射线强度分布显示在图8中。
每1小时蒸镀于基体的表面的AlTiN层的厚度为25μm的试料No.3，其AlTiN层中包含的AlTiN结晶的关于(111)面的正极图的α轴的X射线强度分布显示在图6中。试料No.1的AlTiN层中包含的AlTiN结晶的关于(200)面的正极图的α轴的X射线强度分布显示在图9中。
还有，试料No.1～3的AlTiN层的厚度，均为1.5～2.5μm。另外，作为比较例制作的试料也同样。
试料No.1～3的第一波峰的波峰强度P1与第二波峰的波峰强度P2的比P2/P1、第三波峰的波峰强度P3与第四波峰的波峰强度P4的比P4/P3、硬度和剥离载荷显示在表1中。
X射线强度分布的测量条件如下。还有，试料面法线处于由入射线和衍射线决定的平面上时，α角为90°。α角为90°时，在正极图上中成为中心点。
(1)平板准直仪
(2)扫描方法：同心圆
(3)β扫描范围：0～360°/2.5°间距
(4)θ固定角度：AlTiN结晶的(111)面的衍射角度为从36.0°至38.0°之间衍射强度最高的角度。AlTiN结晶的(200)面的衍射角度为从42.0°至44.0°之间衍射强度最高的角度。
(5)α扫描范围：0～90°/2.5°步长
(6)靶：CuKα、电压：45kV、电流：40mA
另外，剥离载荷，用刮痕试验机以载荷范围0～100N测量剥离发生的载荷。
【表1】
Figure BDA0002687408280000121
如表1所示，AlTiN层中包含的AlTiN结晶的关于(111)面的正极图的α轴的X射线强度分布中，在0°～90°之间具有第一波峰、第二波峰的试料No.1～3，具有优异的硬度和剥离载荷，通过控制第一波峰与第二波峰的关系，能够控制硬度与剥离载荷。另一方面，在比较例中，在0°～90°之间只存在1个波峰，与试料No.1～3相比，剥离载荷低。
符号说明
1…涂层刀具
3…第一面
3a…前刀面区域
5…第二面
5a…后刀面区域
7…刃口
8…第三面
9…基体
11…涂层
13…AlTiN层
15…AlCrN层
17…贯通孔
101…切削刀具
103…卡槽
105…刀柄
107…固定螺栓

Claims (14)

1.一种涂层刀具，其具备基体、和位于该基体之上的涂层，
该涂层含有包含如下元素的立方晶的结晶：周期表4、5、6族元素、Al、Si、B、Y和Mn的中的至少一种元素；以及C、N和O中的至少一种元素，
所述涂层，在所述立方晶的结晶的关于(111)面的正极图的α轴的X射线强度分布中，具有：
位于0°～90°之间的第一波峰、和
与该第一波峰相比位于高角度的第二波峰，
并且，在所述第一波峰和所述第二波峰之间，具有X射线强度比所述第一波峰和所述第二波峰的X射线强度低的谷部。
2.根据权利要求1所述的涂层刀具，其中，所述涂层，在所述立方晶的结晶的关于(111)面的正极图的α轴的X射线强度分布中，在25°～40°之间具有第一波峰，在55°～70°之间具有第二波峰。
3.根据权利要求1或2所述的涂层刀具，其中，所述第一波峰的X射线强度比所述第二波峰的X射线强度大。
4.根据权利要求1或2所述的涂层刀具，其中，所述第一波峰的X射线强度比所述第二波峰的X射线强度小。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的涂层刀具，其中，
所述涂层，在所述立方晶的结晶的关于(200)面的正极图的α轴的X射线强度分布中，具有：
位于0°～90°之间的第三波峰、和
与该第三波峰相比位于高角度的第四波峰，
并且，在所述第三波峰和所述第四波峰之间，具有X射线强度比所述第三波峰和所述第四波峰的X射线强度低的谷部。
6.根据权利要求5所述的涂层刀具，其中，所述涂层，在所述立方晶的结晶的关于(200)面的正极图的α轴的X射线强度分布中，在15°～30°之间具有第三波峰，在60°～75°之间具有第四波峰。
7.根据权利要求5或6所述的涂层刀具，其中，所述第四波峰的X射线强度是所述第三波峰的X射线强度的0.95倍以下。
8.根据权利要求5或6所述的涂层刀具，其中，所述第四波峰的X射线强度比所述第三波峰的X射线强度的0.95倍大且小于1.15倍。
9.根据权利要求5或6所述的涂层刀具，其中，所述第四波峰的X射线强度是所述第三波峰的X射线强度的1.15倍以上。
10.根据权利要求1～9中任一项所述的涂层刀具，其中，所述涂层具有作为所述立方晶的结晶含有AlTiN结晶的AlTiN层。
11.根据权利要求1～10中任一项所述的涂层刀具，其中，所述涂层具有作为所述立方晶的结晶含有AlCrN结晶的AlCrN层。
12.根据权利要求11所述的涂层刀具，其中，所述涂层具有多个所述AlTiN层和多个所述AlCrN层。
13.根据权利要求1～12中任一项所述的涂层刀具，其中，所述基体含有碳化钨和钴。
14.一种切削刀具，其具备：
从第一端朝向第二端延伸，在所述第一端侧具有卡槽的刀柄；和
位于所述卡槽的权利要求1～13中任一项所述的涂层刀具。
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