CN111261563B - 搬运*** - Google Patents

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Abstract

提供搬运***，对多个加工装置分别搬运被加工物，其包含搬运通路、无人被加工物搬运车、贮存单元和控制单元。搬运通路在多个加工装置的整个范围内设置于加工装置的正上方的空间。贮存单元包含：载置台，其载置收纳多个被加工物的被加工物贮存器；两组暂放台，它们暂放从载置台上的被加工物贮存器中搬出的被加工物；暂放台移动部，其以在面对载置台的第1位置与旁边的第2位置之间调换两组暂放台的方式移动；被加工物搬运部，其在面对第2位置的交接区域与无人被加工物搬运车之间搬运被加工物；被加工物移动单元，其使被加工物在位于第1位置的暂放台与载置台之间或位于第2位置的暂放台与交接区域之间移动；和接收机，其接收控制信号。

Description

搬运***
技术领域
本发明涉及搬运***，其对加工装置搬运被加工物。
背景技术
在组装于电子设备等的器件芯片的制造工序中，通过各种加工装置对以半导体晶片或树脂封装基板为代表的板状的被加工物进行加工。在对该加工装置搬运被加工物时，通常使用能够收纳多个被加工物的搬运用的盒。
但是，在将多个被加工物收纳在盒中而一次性搬运至加工装置的上述方法中，当由于某些原因而使加工装置停止时，会使收纳在盒中的未加工的被加工物一律待机。即，也无法利用其他加工装置对未加工的被加工物进行加工，因此加工的效率大幅降低。
要想克服该问题，例如只要根据加工装置的运转状况而将被加工物一张一张地搬运至加工装置即可。因此，提出了如下的搬运***：通过搬运用的路径来连接多个加工装置，从而能够在任意的时刻对各加工装置搬运被加工物(例如，参照专利文献1)。
专利文献1：日本特开平6-177244号公报
但是，在各加工装置的侧面设置有连接配管的配管连接部或维护用的门等，在构建上述的搬运***时，需要设计搬运用的路径，以便不与它们发生干涉。因此，搬运***的构建未必容易，并且搬运用的路径也容易变长。
发明内容
本发明是鉴于该问题点而完成的，其目的在于提供搬运***，其能够对多个加工装置分别搬运被加工物，并且容易构建。
根据本发明的一个方式，提供搬运***，其对多个加工装置分别搬运被加工物，其特征在于，该搬运***包含：搬运通路，其在多个该加工装置的整个范围内设置于该加工装置的正上方的空间；无人被加工物搬运车，其在该搬运通路上行驶，具有被加工物支承部、行驶机构以及接收机，其中，该被加工物支承部对该被加工物进行支承，该行驶机构设置于该被加工物支承部，该接收机接收控制信号；贮存单元，其具有载置台、两组暂放台、暂放台移动部、被加工物搬运部、被加工物移动单元以及接收机，其中，该载置台载置能够收纳多个该被加工物的被加工物贮存器，该两组暂放台暂放从该载置台上的该被加工物贮存器中搬出的该被加工物，该暂放台移动部按照在面对该载置台的第1位置和该第1位置的旁边的第2位置之间调换该两组暂放台的方式进行移动，该被加工物搬运部在面对该第2位置的交接区域与该无人被加工物搬运车之间对该被加工物进行搬运，该被加工物移动单元使该被加工物在位于该第1位置的该暂放台与该载置台之间或位于该第2位置的暂放台与该交接区域之间移动，该接收机接收控制信号；以及控制单元，其具有发送机、接收机以及控制信号生成部，其中，该发送机对该加工装置、该无人被加工物搬运车以及该贮存单元发送控制信号，该接收机接收从该加工装置发送的通知信号，该控制信号生成部生成从该发送机发送的控制信号，该控制单元的该控制信号生成部根据该控制单元的该接收机所接收到的通知信号，生成从该控制单元的该发送机发送的控制信号，该控制单元的该发送机将由该控制单元的该控制信号生成部生成的控制信号发送至该加工装置、该无人被加工物搬运车以及该贮存单元，该贮存单元的该被加工物搬运部根据该贮存单元的该接收机所接收到的控制信号，将从该被加工物贮存器中搬出的该被加工物搬运至该无人被加工物搬运车的该被加工物支承部，该无人被加工物搬运车的该行驶机构根据该无人被加工物搬运车的该接收机所接收到的控制信号，使该无人被加工物搬运车在该搬运通路上行驶，将该被加工物支承部所支承的该被加工物搬运至该加工装置。
在该搬运***中，优选该搬运通路设置于该加工装置的上表面。
另外，在该搬运***中，优选该搬运通路是将多个通路模块连结起来而构成的。
另外，在该搬运***中，也可以是，该搬运通路具有脚部，该脚部具有对该加工装置进行吸附的吸附部，该搬运通路通过该吸附部而固定于该加工装置。
另外，在该搬运***中，有时该加工装置在侧面具有连接配管的配管连接部或维护用的门。
另外，也可以是，该搬运***还具有在该搬运通路上行驶的无人刀具搬运车，该无人刀具搬运车：刀具支承部，其对切削刀具进行支承，该切削刀具在利用该加工装置对该被加工物进行加工时使用；行驶机构，其设置于该刀具支承部；以及接收机，其接收控制信号，该贮存单元还具有刀具搬运部，该刀具搬运部在收纳向该加工装置提供的该切削刀具的刀具贮存器与该无人刀具搬运车之间对该切削刀具进行搬运，该控制单元的该发送机还具有向该无人刀具搬运车发送控制信号的功能，该控制单元的该发送机将由该控制单元的该控制信号生成部生成的控制信号发送至该加工装置、该无人被加工物搬运车、该无人刀具搬运车以及该贮存单元，该贮存单元的该刀具搬运部根据该贮存单元的该接收机所接收到的控制信号，将收纳于该刀具贮存器的该切削刀具搬运至该无人刀具搬运车的该刀具支承部，该无人刀具搬运车的该行驶机构根据该无人刀具搬运车的该接收机所接收到的控制信号，使该无人刀具搬运车在该搬运通路上行驶，将该刀具支承部所支承的该切削刀具搬运至该加工装置。
本发明的一个方式的搬运***包含：搬运通路，其在多个加工装置的整个范围内设置；具有被加工物支承部、行驶机构和接收机的无人被加工物搬运车；以及贮存单元，其具有被加工物搬运部和接收机。
因此，通过利用被加工物搬运部将收纳于被加工物贮存器的被加工物搬运至无人被加工物搬运车的被加工物支承部，并使该无人被加工物搬运车在搬运通路上行驶，从而能够对多个加工装置分别搬运被加工物。
另外，在本发明的一个方式的搬运***中，搬运通路设置于加工装置的正上方的空间。因此，在设计该搬运通路时无需考虑各加工装置的侧面的构造。即，搬运***的构建变得容易。
附图说明
图1是示出第1实施方式的搬运***的结构例的俯视图。
图2是示出第1实施方式的搬运***的连接关系的例子的功能框图。
图3是示意性示出第1实施方式的贮存单元的结构例的侧视图。
图4的(A)是示出无人被加工物搬运车的结构例的立体图，图4的(B)是示出载置有盒的状态的无人被加工物搬运车的立体图。
图5是示出第1实施方式的切削装置和搬运通路等的外观的立体图。
图6是示出切削装置的结构例的立体图。
图7是示出向切削装置设置搬运通路的情形的立体图。
图8的(A)、图8的(B)以及图8的(C)是示出通路模块的结构例的俯视图。
图9是示出由通路模块形成搬运通路的情形的立体图。
图10的(A)和图10的(B)是示出连结通路模块的情形的剖视图。
图11是示出通路模块的结构例的仰视图。
图12是示出盒等的构造的立体图。
图13的(A)、图13的(B)以及图13的(C)是示出将对被加工物进行支承的框架从盒中搬出的情形的剖视图。
图14是用于对第1实施方式的搬运***的动作等的例子进行说明的功能框图。
图15是示出第2实施方式的搬运***的连接关系的例子的功能框图。
图16是示出第2实施方式的贮存单元的结构例的侧视图。
图17是示出无人刀具搬运车的结构例的立体图。
图18是示出第2实施方式的切削装置等的外观的立体图。
图19是示出刀具更换器的结构例的分解立体图。
图20是用于对第2实施方式的搬运***的动作等的例子进行说明的功能框图。
图21是示意性示出在第3实施方式的搬运***中将盒从无人被加工物搬运车中搬出的情形的立体图。
图22是示意性示出在第3实施方式的搬运***中将盒搬入至切削装置的情形的立体图。
图23是示意性示出第4实施方式的贮存单元的结构例的侧视图。
图24是示意性示出第4实施方式的贮存单元的内部的构造的俯视图。
图25是示意性示出使第4实施方式的贮存单元的第1暂放台和第2暂放台在第2方向上移动而调换第1暂放台的位置和第2暂放台的位置的情形的侧视图。
图26的(A)和图26的(B)是示意性示出第4实施方式的贮存单元的动作的例子的俯视图。
图27的(A)和图27的(B)是示意性示出第4实施方式的贮存单元的动作的例子的俯视图。
标号说明
2：搬运***；4、4a、4b、204、204a、204b、304：切削装置(加工装置)；6：搬运通路；6a、6b、6c：通路模块；8、208、408：贮存单元；10、10a、10b、10c：无人被加工物搬运车；12：控制单元；14：壳体；14a：顶棚；14b：开口；16：第1盒支承台；18：盒(被加工物贮存器)；20：推挽臂；22：导轨；24：第2升降机构；26：第2盒支承台；28：盒(搬运用盒)；30：盒搬运臂(被加工物搬运部)；32：控制装置；34：接收机；36：发送机；38：底座(被加工物支承部)；38a：凹部；40：车轮(行驶机构)；42：控制装置；44：接收机；46：发送机；48：基台；48a、48b：开口；48c：配管连接部；50：盒支承台；80：切削单元；82：切削刀具；92：罩；92a：顶棚；92b：开口；92c：门；96：控制装置；98：接收机；100：发送机；102：通路部；104：引导部；106：待机部；108：角铁(支架)；110：连结件；112：螺栓；114：脚部件；114a：基部；114b：柱部；114c：吸附部；114d：开口；132：控制部(控制信号生成部)；134：接收机；136：发送机；206：无人刀具搬运车；210：刀具贮存器；212：刀具搬运臂(刀具搬运部)；214：底座(刀具支承部)；214a：凹部；216：刀具盒；218：车轮(行驶机构)；220：控制装置；222：接收机；224：发送机；414：壳体；416：第1盒支承台(载置台)；420：第1被加工物移动单元；422：把持部；424：驱动部；424a：开口；426：第1暂放台；426a：引导部；426b：基部；428：第1暂放台移动部；430：导轨；432：移动部件；434：脉冲电动机；436：第2被加工物移动单元；438：把持部；440：驱动部；440a：开口；442：第2暂放台；442a：引导部；442b：基部；444：第2暂放台移动部；446：导轨；448：移动部件；450：脉冲电动机；452：升降机构；454：第2盒支承台(交接区域)；456：盒搬运臂(被加工物搬运部)；458：移动机构；460：盒保持手部；460a：盒保持爪；462：控制装置；464：接收机；466：发送机；11：被加工物；13：带(划片带)；15：框架；21：配管。
具体实施方式
参照附图，对本发明的实施方式进行说明。另外，在以下的各实施方式中，对向多个切削装置搬运被加工物等的搬运***进行说明，但本发明的搬运***只要构成为能够对任意的多个加工装置搬运被加工物等即可。即，被加工物等的搬运目的地可以是切削装置以外的加工装置。
例如，本发明的搬运***有时构成为能够对多个激光加工装置搬运被加工物。另外，本发明的搬运***例如有时还构成为能够对在一系列的加工中所使用的多种加工装置依次搬运被加工物。
(实施方式1)
图1是示出本实施方式的搬运***2的结构例的俯视图，图2是示出搬运***2的连接关系的例子的功能框图。如图1所示，本实施方式的搬运***2包含用于对由切削装置(加工装置)4加工的板状的被加工物11进行搬运的搬运通路6。
被加工物11例如是由硅等半导体材料形成的圆盘状的晶片。该被加工物11的正面侧由相互交叉的多条分割预定线(间隔道)划分成多个小区域，在各小区域中形成有IC(Integrated Circuit：集成电路)、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems：微机电***)等器件。
在被加工物11的背面侧粘贴有直径比被加工物11大的带(划片带)13。带13的外周部分固定于围绕被加工物11的环状的框架15上。被加工物11在借助该带13而支承于框架15的状态下被搬运至切削装置4。
另外，在本实施方式中，将由硅等半导体材料形成的圆盘状的晶片作为被加工物11，但对于被加工物11的材质、形状、构造、大小等没有限制。例如，也可以使用由其他半导体、陶瓷、树脂、金属等材料形成的基板等作为被加工物11。同样，对于器件的种类、数量、形状、构造、大小、配置等也没有限制。也可以不在被加工物11上形成器件。
另外，对该被加工物11进行加工的切削装置4作为被加工物11的搬运目的地而与搬运***2连接，但未必是搬运***2的构成要素。由此，切削装置4可以如上述那样根据搬运***2的使用方式而进行变更、省略。
并且，在图1中，为了便于说明，仅示出一台切削装置4a，在图2中，示出两台切削装置4a、4b，但在本实施方式中，作为被加工物11的搬运目的地，需要两台以上的切削装置4。即，与搬运***2连接的加工装置的台数为两台以上。
搬运通路6按照能够对各切削装置4搬运被加工物11的方式设置于多个切削装置4。即，多个切削装置4经由搬运通路6而相互连结。另外，搬运通路6设置于切削装置4的正上方的空间。因此，搬运通路6不会与连接于各切削装置4的侧面的配管21等发生干涉。
在搬运通路6的下方，除了切削装置4以外，还设置有能够对多个被加工物11进行收纳的贮存单元8。收纳于贮存单元8的被加工物11在任意的时刻被搬入至无人被加工物搬运车10。无人被加工物搬运车10在搬运通路6上行驶而将被加工物11搬运至各切削装置4。另外，在图1中，示出了三台无人被加工物搬运车10a、10b、10c，在图2中，示出了两台无人被加工物搬运车10a、10b，但对于无人被加工物搬运车10的台数没有限制。
如图2所示，切削装置4、贮存单元8、无人被加工物搬运车10以无线的方式与对它们的动作进行控制的控制单元12连接。其中，控制单元12只要构成为能够对切削装置4、贮存单元8、无人被加工物搬运车10的动作进行控制即可，有时也以有线的方式与它们连接。
图3是示意性示出贮存单元8的结构例的侧视图。如图3所示，贮存单元8包含对各种构成要素进行收纳的壳体14。另外，在该图3中，为了便于说明，仅示出壳体14的轮廓。
在壳体14内例如设置有通过滚珠丝杠式的第1升降机构(未图示)进行升降的第1盒支承台16。在第1盒支承台16的上表面上载置有能够收纳多个被加工物11的盒(被加工物贮存器)18。另外，该盒18对如上述那样借助带13而支承于框架15的状态的被加工物11进行收纳。
在第1盒支承台16的侧方配置有推挽臂20，该推挽臂20能够把持着框架15而进行移动。例如若利用第1升降机构使收纳于盒18的框架15的高度与推挽臂20的高度一致而通过该推挽臂20对盒18内的框架15进行把持，则将框架15向盒18的外部拉出。
在隔着推挽臂20的位置设置有一边维持相互平行的状态一边接近、远离的一对导轨22。各导轨22具有从下方对框架15进行支承的支承面和与支承面大致垂直的侧面，各导轨22将通过推挽臂20从盒18中拉出的框架15夹入而使其对位在规定的位置。
在推挽臂20和一对导轨22的另一侧例如设置有通过滚珠丝杠式的第2升降机构24进行升降的第2盒支承台26。在该第2盒支承台26的上表面上载置有能够对一张被加工物11进行收纳的盒(搬运用盒)28。另外，盒28可以构成为能够对两张以上的被加工物11进行收纳。
被一对导轨22对位在规定的位置的框架15再次被推挽臂20把持，从侧方***至通过第2升降机构24调整了高度的第2盒支承台26上的盒28中。当将被加工物11收纳于盒28时，第2升降机构24使第2盒支承台26上升。
在第2盒支承台26的正上方的区域设置有将壳体14的顶棚14a上下贯通的开口14b。该开口14b形成为至少能够供载置于第2盒支承台26的盒28通过的形状、大小。因此，利用第2升降机构24使第2盒支承台26上升，从而能够使收纳有被加工物11的盒28通过开口14b而露出到壳体14的外部。
在壳体14的外部设置有盒搬运臂(被加工物搬运部)30，该盒搬运臂30将在开口14b露出的盒28搬运至在该开口14b的旁边停止的无人被加工物搬运车10上。第1升降机构、推挽臂20、一对导轨22、第2升降机构24、盒搬运臂30等构成要素与用于对贮存单元8的动作进行控制的控制装置32连接。
控制装置32典型地由包含CPU(Central Processing Unit，中央处理器)等处理装置和闪存等存储装置的计算机构成，按照存储于存储装置的软件使处理装置等进行动作，从而实现控制装置32的功能。
在控制装置32上还连接有接收机34和发送机36，该接收机34接收从搬运***2的控制单元12发送的控制用的信号(控制信号)，该发送机36对控制单元12发送通知用的信号(通知信号)。控制装置32根据接收机34所接收的信号对贮存单元8的动作进行控制。另外，控制装置32通过发送机36将所需的信号发送至控制单元12。
图4的(A)是示出无人被加工物搬运车10的结构例的立体图，图4的(B)是示出载置有盒28的状态的无人被加工物搬运车10的立体图。如图4的(A)所示，无人被加工物搬运车10包含托盘状的底座(被加工物支承部)38。在底座38的上表面侧设置有与盒28的形状、大小对应的凹部38a，将利用盒搬运臂30搬运的盒28载置于该底座38的凹部38a。
在底座38的下表面侧安装有多个(在本实施方式中为四个)车轮(行驶机构)40。各车轮40与电动机等旋转驱动源连结而进行旋转。通过旋转驱动源使该车轮40旋转，从而使无人被加工物搬运车10在搬运通路6上行驶。另外，作为车轮40，可以使用将倾斜的桶状(筒状)的多个旋转体安装于与搬运通路6接触的外周面的所谓的麦克纳姆轮(Mecanum wheel)等。
在底座38的侧面上设置有对无人被加工物搬运车10的动作进行控制的控制装置42。控制装置42典型地由包含CPU等处理装置和闪存等存储装置的计算机构成，按照存储于存储装置的软件使处理装置等进行动作，从而实现控制装置42的功能。
在该控制装置42上连接有接收机44和发送机46，该接收机44接收从搬运***2的控制单元12发送的控制用的信号(控制信号)，该发送机46对控制单元12发送通知用的信号(通知信号)。控制装置42根据接收机44所接收的信号，对无人被加工物搬运车10的动作(行驶)进行控制。另外，控制装置42通过发送机46将所需的信号发送至控制单元12。
图5是示出切削装置4及搬运通路6等的外观的立体图，图6是示出切削装置4的结构例的立体图。如图5和图6所示，切削装置4具有对各构成要素进行支承的基台48。在基台48的角部形成有开口48a，在与该开口48a相当的区域设置有通过升降机构(未图示)进行升降的盒支承台50。在盒支承台50的上表面上载置上述的盒28。另外，在图5和图6中，为了便于说明，仅示出盒28的轮廓。
如图6所示，在开口48a的侧方形成有在X轴方向(前后方向、加工进给方向)上较长的开口48b。在开口48b内配置有滚珠丝杠式的X轴移动机构(加工进给单元)52以及覆盖X轴移动机构52的上部的防尘防滴罩54。X轴移动机构52具有X轴移动工作台52a，该X轴移动机构52使该X轴移动工作台52a在X轴方向上移动。
在X轴移动工作台52a上设置有对被加工物11进行吸引、保持的卡盘工作台(保持工作台)56。卡盘工作台56与电动机等旋转驱动源(未图示)连结，绕与Z轴方向(铅垂方向、切入进给方向)大致平行的旋转轴旋转。另外，卡盘工作台56通过上述的X轴移动机构52在X轴方向上移动(加工进给)。
卡盘工作台56的上表面为用于对被加工物11进行保持的保持面56a。保持面56a经由形成于卡盘工作台56的内部的吸引路(未图示)等而与吸引源(未图示)连接。另外，在卡盘工作台56的周围设置有用于从四周对支承被加工物11的框架15进行固定的四个夹具58。
在开口48b的上方设置有一边维持与Y轴方向(左右方向、分度进给方向)平行的状态一边接近、远离的一对导轨60。一对导轨60分别具有从下方对框架15进行支承的支承面和与支承面大致垂直的侧面，一对导轨60在X轴方向上夹入从盒28中拉出的框架15而使其对位在规定的位置。
在基台48的上方按照跨越开口48b的方式配置有门型的第1支承构造62。在第1支承构造62的前表面(导轨60侧的面)上固定有沿着Y轴方向的第1轨道64，该第1轨道64借助第1移动机构66等而与第1搬运单元68连结。
第1搬运单元68例如与框架15的上表面接触而对该框架15进行吸附、保持，该第1搬运单元68通过第1移动机构66进行升降，并且沿着第1轨道64在Y轴方向上移动。在第1搬运单元68的开口48a侧设置有用于对框架15进行把持的把持机构68a。
例如如果利用把持机构68a对框架15进行把持而使第1搬运单元68在Y轴方向上移动，则能够将盒28内的框架15拉出到一对导轨60上或者将一对导轨60上的框架15***至盒28中。另外，在利用一对导轨60对框架15进行对位之后，通过第1搬运单元68将该框架15(被加工物11)搬入至卡盘工作台56。
另外，在第1支承构造62的前表面上，在第1轨道64的上方固定有沿着Y轴方向的第2轨道70。该第2轨道70借助第2移动机构72等而与第2搬运单元74连结。第2搬运单元74例如与框架15的上表面接触而对该框架15进行吸附、保持，该第2搬运单元74通过第2移动机构72进行升降，并且沿着第2轨道70在Y轴方向上移动。
在第1支承构造62的后方配置有门型的第2支承构造76。在第2支承构造76的前表面(第1支承构造62侧的面)上分别借助Y轴Z轴移动机构(分度进给单元、切入进给单元)78而设置有两组切削单元80。切削单元80通过Y轴Z轴移动机构78在Y轴方向上移动(分度进给)，并且在Z轴方向上移动(切入进给)。
各切削单元80具有作为与Y轴方向大致平行的旋转轴的主轴(未图示)。在主轴的一端侧安装有圆环状的切削刀具82。在各主轴的另一端侧连结有电动机等旋转驱动源(未图示)。另外，在切削刀具82的旁边配置有用于对被加工物11和切削刀具82提供纯水等切削液的喷嘴。
一边从该喷嘴提供切削液一边使旋转的切削刀具82切入至卡盘工作台56所保持的被加工物11，从而能够对被加工物11进行切削。在与切削单元80相邻的位置设置有用于对卡盘工作台56所保持的被加工物11等进行拍摄的拍摄单元(相机)84。该拍摄单元84也通过Y轴Z轴移动机构78在Y轴方向上移动，并且在Z轴方向上移动。
在相对于开口48b处于与开口48a相反的一侧的位置配置有清洗单元86。清洗单元86在筒状的清洗空间内具有对被加工物11进行吸引、保持的旋转工作台88。在旋转工作台88的下部连结有使旋转工作台88按照规定的速度旋转的旋转驱动源(未图示)。
在旋转工作台88的上方配置有朝向旋转工作台88所保持的被加工物11喷射清洗用的流体(具有代表性的是将水和空气混合后的混合流体)的喷射喷嘴90。通过使保持着被加工物11的旋转工作台88进行旋转，并从喷射喷嘴90喷射清洗用的流体，能够对被加工物11进行清洗。
在利用切削单元80对被加工物11进行了切削之后，例如利用第2搬运单元74将框架15搬入至清洗单元86。在利用清洗单元86对被加工物11进行了清洗之后，例如利用第1搬运单元68将框架15载置于一对导轨60上，然后利用把持机构68a对该框架15进行把持而收纳于盒28中。
如图5所示，基台48的上表面侧被罩92覆盖，上述的各构成要素被收纳于罩92的内侧。在开口48a的正上方的区域设置有将罩92的顶棚92a上下贯通的开口92b。因此，若通过升降机构使盒支承台50上升，则能够使盒支承台50的上表面通过该开口92b而露出到罩92的外部。开口92b的形状、大小例如与设置于基台48的开口48a的形状、大小相同。
在罩92的顶棚92a上例如设置有盒搬运臂94，该盒搬运臂94在被定位于与开口92b相等的高度的盒支承台50与停止在开口92b的旁边的无人被加工物搬运车10之间对盒28进行搬运。该盒搬运臂94与使盒支承台50升降的升降机构等一起连接于控制装置96(图5)。
控制装置96典型地由包含CPU等处理装置和闪存等存储装置的计算机构成，按照存储于存储装置的软件使处理装置等进行动作，从而实现控制装置96的功能。
在控制装置96上还连接有接收机98和发送机100，该接收机98接收从搬运***2的控制单元12发送的控制用的信号(控制信号)，该发送机100对控制单元12发送通知用的信号(通知信号)。控制装置96例如根据接收机98所接收的信号等，对上述的切削装置4的各构成要素进行控制。
在基台48的侧壁上设置有连接各种配管21的配管连接部48c(图5)。另外，在罩92的侧壁上设置有在维护等时进行开闭的门92c(图5)。另外，在罩92的侧壁上可以设置操作面板(未图示)或显示器(未图示)等。
图7是示出向切削装置4设置搬运***2的搬运通路6的情形的立体图。如图7等所示，本实施方式的搬运***2的搬运通路6安装于切削装置4所具有的罩92的顶棚92a的上表面侧。即，搬运通路6设置于切削装置4的正上方的空间。
由此，搬运通路6不会与设置于切削装置4的侧面的配管连接部48c及门92c等构造发生干涉。即，在设计搬运通路6时，无需考虑切削装置4的侧面的构造。因此，搬运***2的构建变得容易。
图8的(A)是示出在搬运通路6中所使用的通路模块6a的结构例的俯视图，图8的(B)是示出通路模块6b的结构例的俯视图，图8的(C)是示出通路模块6c的结构例的俯视图。搬运通路6例如是将图8的(A)、图8的(B)以及图8的(C)所示的多个通路模块6a、6b、6c组合起来而构成的。
各通路模块6a、6b、6c分别包含：通路部102，其具有适合无人被加工物搬运车10行驶的平坦性高的上表面；以及引导部104，其设置于通路部102的宽度方向的端部，沿着该通路部102。引导部104的上端的距离通路部102的高度例如比无人被加工物搬运车10的车轮40的高度高。由此，能够防止在通路部102行驶的无人被加工物搬运车10从通路部102脱落。
图8的(A)的通路模块6a还具有用于供无人被加工物搬运车10待机的待机部106，例如设置于在与无人被加工物搬运车10之间进行被加工物11(盒28)的交接的切削装置4等的正上方。另一方面，图8的(B)的通路模块6b形成为直线状，图8的(C)的通路模块6c形成为适合拐角的直角状。
通路模块6b、6c例如是为了将相邻的两个通路模块6a之间连接起来而使用的。其中，对于构成搬运通路6的通路模块的种类、数量、配置(连接的关系)等没有限制。例如还可以利用其他的通路模块6a将两个通路模块6a之间连接起来。另外，例如也可以代替直角状的通路模块6c而使用圆弧状(曲线状)的通路模块。
图9是示出由通路模块6a和通路模块6b形成搬运通路6的情形的立体图。图10的(A)和图10的(B)是示出连结通路模块6a和通路模块6b的情形的剖视图。另外，图11是示出通路模块6b的结构例的仰视图。
如图9所示，在通路部102的下表面的长度方向的端部(沿着搬运通路6的方向的端部)设置有剖面为L字状的一对角铁(支架)108。各角铁108具有大致水平的支承面108a和与支承面108a大致垂直的侧面108b，各角铁108按照各角铁108的长度方向沿着搬运通路6的方式固定于通路部102的下表面。
在连结通路模块6a和通路模块6b时，首先如图10的(A)所示，使构成通路模块6a的通路部102的长度方向的端部与构成通路模块6b的通路部102的长度方向的端部充分靠近。然后，如图10的(B)所示，将连结件110***到设置于构成通路模块6a的通路部102的角铁108和设置于构成通路模块6b的通路部102的角铁108中。
连结件110例如包含：杆部110a，其比将通路模块6a的角铁108的长度和通路模块6b的角铁108的长度加起来的长度长；以及环部110b，其设置于杆部110a的两端，在中央具有开口。向角铁108***该连结件110的杆部110a。
在向角铁108***了杆部110a之后，使螺栓112通过环部110b的开口而拧入到通路部102的下表面侧的螺栓孔(未图示)中。由此，能够借助连结件110来连结通路模块6a和通路模块6b。另外，通路模块6c也利用同样的步骤与其他通路模块(通路模块6a或通路模块6b等)连结。
通路模块6a、6b、6c相对于切削装置4的安装例如借助图9、图11等所示的脚部件114来进行。脚部件114包含：板状的基部114a；柱状的柱部114b，其从基部114a的一侧的面的中央附近突出；以及吸盘状的吸附部114c(图11)，其安装于柱部114b的前端。
在基部114a的不与柱部114b重叠的区域形成有在厚度方向上贯通该基部114a的四个开口114d。另外，在构成通路模块6a、6b、6c的通路部102的下表面上形成有与各开口114d对应的螺栓孔102a(图11)。
因此，只要使基部114a的另一侧的面与通路部102的下表面接触并使螺栓116通过开口114d而拧入到螺栓孔102a中，便能够将脚部件114固定于通路模块6a、6b、6c。另外，对于开口114d和螺栓孔102a的数量、配置等没有限制。
如图11所示，在本实施方式的通路模块6b中，在通路部102的下表面的多个区域分别形成有与基部114a的四个开口114d对应的四个螺栓孔102a，能够将脚部件114安装于任意的区域。对于其他的通路模块6a、6c也是同样的。
即，将脚部件114安装于从通路部102的下表面的多个区域中选择的任意区域。另外，优选在各通路模块6a、6b、6c中安装多个脚部件114。由此，容易使搬运通路6相对于切削装置4的位置稳定化。
在将通路模块6a、6b、6c安装于切削装置4时，例如进行通路模块6a、6b、6c相对于切削装置4的罩92的对位，如图7所示，将脚部件114的吸附部114c按压至罩92的顶棚92a的上表面。由此，能够使吸附部114c吸附于罩92的顶棚92a的上表面而将任意的通路模块6a、6b、6c安装于罩92。即，任意的通路模块6a、6b、6c借助脚部件114而安装于切削装置4的罩92。
另外，可以不必将所有的通路模块6a、6b、6c安装于切削装置4。例如，有时位于两台切削装置4之间的通路模块仅借助连结件110而支承于相邻的通路模块。另外，如图1所示，在安装于切削装置4或贮存单元8等的通路模块的通路部102上设置有以二维码为代表的识别码或无线标签等信息提供部102b。该信息提供部102b例如用于确认无人被加工物搬运车10的位置等。
接着，对在被加工物11的搬运中所使用的盒28等的构造进行说明。图12是示出盒28等的构造的立体图。盒28包含能够对支承被加工物11的框架15进行收纳的大小的箱体118。该箱体118具有用于对被加工物11或框架15进行支承的底板120。
底板120在俯视时形成为矩形状，在相当于其三个边的位置分别固定有侧板122、侧板124以及侧板126的下端侧。在侧板122、侧板124以及侧板126的上端侧固定有与底板120同样形状的顶板128。即，箱体118构成为在四个侧面中的一个侧面上具有开口118a的中空的长方体状。
另外，优选顶板128由使波长为360nm～830nm左右的可见光线透过的树脂或玻璃等材料形成。由此，例如能够从盒28的外部判别收纳于箱体118的被加工物11的种类等。另外，在对被加工物11的种类等进行判别时，可以读取绘制于被加工物11的条形码等识别码17。
另外，在底板120的开口118a侧的区域设置有两个移动限制部件130a、130b，该移动限制部件130a、130b用于限制收纳于箱体118的框架15向外部移动。两个移动限制部件130a、130b均形成为长方体状，并且按照各移动限制部件130a、130b的长度方向沿着开口118a的下侧的边缘的方式配置。
两个移动限制部件130a、130b的高度比开口118a的高度低，在各移动限制部件130a、130b与顶板128之间形成用于对被加工物11或框架15进行搬入搬出的间隙。另外，两个移动限制部件130a、130b相互不接触。即，在移动限制部件130a与移动限制部件130b之间形成有规定的间隙130c。
在底板120的一部分中形成有在厚度方向上贯通该底板120的俯视时为矩形状的多个开口120a。各开口120a例如设置于收纳在箱体118中的框架15的正下方的区域。即，各开口120a形成于在俯视时与收纳在箱体118中的框架15重叠的位置。
如图12所示，例如在切削装置4所具有的盒支承台50的上表面上设置有与开口120a的形状对应的长方体状的多个突起50a。各突起50a配置于与载置于盒支承台50的上表面的盒28的开口120a对应的位置。因此，例如当利用盒搬运臂94对无人被加工物搬运车10上的盒28进行搬运而载置于盒支承台50的上表面时，突起50a***至该盒28的开口120a中。
其结果是，收纳在盒28中的框架15被突起50a相对地顶起至比移动限制部件130a、130b高的位置，成为能够从移动限制部件130a、130b与顶板128之间的间隙搬出的状态。另外，开口120a、突起50a的形状等没有特别限制。另外，在图12中，仅例示出切削装置4所具有的盒支承台50，但例如贮存单元8所具有的第2盒支承台26等的构造也是同样的。
图13的(A)、图13的(B)以及图13的(C)是示出将支承被加工物11的框架15从盒28中搬出的情形的剖视图。例如当在切削装置4中将框架15从盒28中搬出时，如图13的(A)所示，按照向开口120a***突起50a的方式将盒28载置于盒支承台50的上表面上。其结果是，收纳在盒中的框架15被突起50a相对地顶起至比移动限制部件130a、130b高的位置。
接着，调整盒支承台50与把持机构68a的相对高度以便使盒支承台50的突起50a的上表面与第1搬运单元68的把持机构68a为大致相同的高度。然后，如图13的(B)所示，将第1搬运单元68的把持机构68a从开口118a***至盒28内。具体而言，使第1搬运单元68水平移动而将把持机构68a***至移动限制部件130a与移动限制部件130b之间的间隙130c。
然后，利用把持机构68a对框架15进行把持，如图13的(C)所示，使第1搬运单元68水平移动而将该把持机构68a从盒28中拉出。由此，将框架15从盒28中搬出。所搬出的框架15例如在利用一对导轨60调整了位置之后被搬入至卡盘工作台56。
接着，对本实施方式的搬运***2的动作等的例子进行说明。图14是用于对搬运***2的动作等的例子进行说明的功能框图。例如当处于需要新的被加工物11的状况时，切削装置4的控制装置96生成用于通知该意思的通知信号(被加工物请求信号)。控制装置96所生成的通知信号(被加工物请求信号)从发送机100发送至控制单元12。
如图14所示，控制单元12具有生成用于进行各种控制的控制信号的控制部(控制信号生成部)132。该控制部132典型地由包含CPU等处理装置和闪存等存储装置的计算机构成，按照存储于存储装置的软件使处理装置等进行动作，从而实现控制部132的功能。
在该控制部132上连接有接收机134和发送机136，该接收机134接收从切削装置4、贮存单元8、无人被加工物搬运车10等发送的通知信号，该发送机136对切削装置4、贮存单元8、无人被加工物搬运车10等发送控制信号。
当控制单元12的接收机134接收到从切削装置4的发送机100发送的通知信号(被加工物请求信号)时，将该通知信号发送至控制部132。当控制部132确认了来自切削装置4的通知信号(被加工物请求信号)时，对无人被加工物搬运车10发出指示，以使其在从贮存单元8接受被加工物11的位置处待机。具体而言，控制部132生成相当于该指示的控制信号(第1待机指示信号)，并从发送机136发送至无人被加工物搬运车10。
当无人被加工物搬运车10的接收机44接收到来自控制单元12的控制信号(第1待机指示信号)时，将该控制信号发送至控制装置42。控制装置42根据该控制信号(第1待机指示信号)，对车轮(行驶机构)40等的动作进行控制，从而使无人被加工物搬运车10沿着搬运通路6行驶。
另外，如图14所示，在无人被加工物搬运车10的控制装置42连接有用于读取设置于搬运通路6的信息提供部102b的信息的读取机138。因此，通过读取机138来读取信息提供部102b的信息，由此，控制装置42能够确认无人被加工物搬运车10的位置。
当控制装置42确认了无人被加工物搬运车10已移动至贮存单元8的旁边时，使车轮40等停止。另外，控制装置42生成用于通知无人被加工物搬运车10正在接受被加工物11的位置处待机的意思的通知信号(第1待机中信号)。将控制装置42所生成的通知信号(第1待机中信号)从发送机46发送至控制单元12。
当控制单元12的接收机134接收到从无人被加工物搬运车10的发送机46发送的通知信号(第1待机中信号)时，将该通知信号发送至控制部132。当控制部132确认了来自无人被加工物搬运车10的通知信号(第1待机中信号)时，对贮存单元8发出指示，以使其将被加工物11搬运至无人被加工物搬运车10。具体而言，控制部132生成相当于该指示的控制信号(第1搬运指示信号)，并从发送机136发送至贮存单元8。
当贮存单元8的接收机34接收到来自控制单元12的控制信号(第1搬运指示信号)时，将该控制信号发送至控制装置32。控制装置32根据该控制信号(第1搬运指示信号)，对盒搬运臂30等的动作进行控制，从而将收纳有被加工物11的盒28载置于无人被加工物搬运车10的底座38。
当完成盒28向无人被加工物搬运车10的搬运时，控制装置32生成用于通知已完成盒28向无人被加工物搬运车10的搬运的意思的通知信号(第1搬运完成信号)。将控制装置32所生成的通知信号(第1搬运完成信号)从发送机36发送至控制单元12。
当控制单元12的接收机134接收到从贮存单元8的发送机36发送的通知信号(第1搬运完成信号)时，将该通知信号发送至控制部132。当控制部132确认了来自贮存单元8的通知信号(第1搬运完成信号)时，对无人被加工物搬运车10发出指示，以使其移动至将被加工物11交接给切削装置4的位置而待机。具体而言，控制部132生成相当于该指示的控制信号(第2待机指示信号)，并从发送机136发送至无人被加工物搬运车10。
当无人被加工物搬运车10的接收机44接收到来自控制单元12的控制信号(第2待机指示信号)时，将该控制信号发送至控制装置42。控制装置42根据该控制信号(第2待机指示信号)，对车轮40等的动作进行控制，从而使无人被加工物搬运车10沿着搬运通路6行驶。
当控制装置42确认了无人被加工物搬运车10已移动至切削装置4的旁边时，使车轮40等停止。另外，控制装置42生成用于通知无人被加工物搬运车10正在将被加工物11交接给切削装置4的位置处待机的意思的通知信号(第2待机中信号)。将控制装置42所生成的通知信号(第2待机中信号)从发送机46发送至控制单元12。
当控制单元12的接收机134接收到从无人被加工物搬运车10的发送机46发送的通知信号(第2待机中信号)时，将该通知信号发送至控制部132。当控制部132确认了来自无人被加工物搬运车10的通知信号(第2待机中信号)时，对切削装置4发出指示，以使其从无人被加工物搬运车10搬运被加工物11。具体而言，控制部132生成相当于该指示的控制信号(第2搬运指示信号)，并从发送机136发送至切削装置4。
当切削装置4的接收机98接收到来自控制单元12的控制信号(第2搬运指示信号)时，将该控制信号发送至控制装置96。控制装置96根据该控制信号(第2搬运指示信号)，对盒搬运臂94等的动作进行控制，从而将收纳有被加工物11的盒28从无人被加工物搬运车10的底座38搬出而载置于盒支承台50。
当完成盒28向切削装置4的搬运时，例如控制装置96生成用于通知已完成盒28向切削装置4的搬运的意思的通知信号(第2搬运完成信号)。将控制装置96所生成的通知信号(第2搬运完成信号)从发送机100发送至控制单元12。
通过这样的步骤，能够将收纳于贮存单元8的被加工物11一张一张地搬运至任意的切削装置4。另外，这里主要对将被加工物11搬运至切削装置4时的步骤进行了说明，但从切削装置4回收被加工物11或盒28时的步骤等也是同样的。
另外，上述步骤可以在能够适当地搬运被加工物11的范围内进行变更。例如，可以同时进行上述步骤中所含的多个步骤，也可以在不会妨碍到被加工物11的搬运的范围内更改步骤的顺序。同样地，可以在不会妨碍到被加工物11的搬运的范围内追加、变更、省略任意的步骤。
如上所述，本实施方式的搬运***2包含：搬运通路6，其设置于多个切削装置(加工装置)4的整个范围内；具有底座(被加工物支承部)38、车轮(行驶机构)40以及接收机44的无人被加工物搬运车10；以及贮存单元8，其具有盒搬运臂(被加工物搬运部)30和接收机34。
因此，通过利用盒搬运臂30将收纳于盒(被加工物贮存器)18的被加工物11搬运至无人被加工物搬运车10的底座38，并使该无人被加工物搬运车10在搬运通路6上行驶，从而能够将被加工物11分别搬运至多个切削装置4。另外，在本实施方式的搬运***2中，搬运通路6设置于切削装置4的正上方的空间。因此，在设计该搬运通路6时，无需考虑各切削装置4的侧面的构造。即，搬运***2的构建变得容易。
(实施方式2)
在本实施方式中，对将切削刀具82等与被加工物11一起作为搬运对象的搬运***进行说明。另外，本实施方式的搬运***的基本结构与实施方式1的搬运***2的基本结构相同。由此，在与实施方式1的搬运***2相同的构成要素上标记相同的标号，并省略了详细的说明。
图15是示出本实施方式的搬运***202的连接关系的例子的功能框图。如图15所示，本实施方式的搬运***202的控制单元12以无线的方式与无人被加工物搬运车10、切削装置204、无人刀具搬运车206、贮存单元208连接。
无人刀具搬运车206与无人被加工物搬运车10同样地在搬运通路6(参照图16等)上行驶，对各切削装置204搬运切削刀具82。贮存单元208构成为除了多个被加工物11以外还能够对提供至各切削装置204的切削刀具82进行收纳。
另外，在图15中，为了便于说明，示出了两台无人被加工物搬运车10a、10b、两台切削装置204a、204b以及两台无人刀具搬运车206a、206b，但对于各个装置的台数没有限制。另外，控制单元12可以以有线的方式与无人被加工物搬运车10、切削装置204、无人刀具搬运车206、贮存单元208等连接。
图16是示出第2实施方式的贮存单元208的结构例的侧视图。如图16所示，贮存单元208的基本结构与实施方式1的贮存单元8的基本结构相同。但是，在本实施方式的贮存单元208中配设有用于对多个切削刀具82进行收纳的刀具贮存器210。
刀具贮存器210例如构成为上表面侧被划分成多个区域的托盘状。在各区域中收纳有切削刀具82。另外，在该刀具贮存器210的旁边设置有刀具搬运臂(刀具搬运部)212，该刀具搬运臂(刀具搬运部)212在刀具贮存器210与无人刀具搬运车206之间对切削刀具82进行搬运。
图17是示出无人刀具搬运车206的结构例的立体图。如图17所示，无人刀具搬运车206包含托盘状的底座(刀具支承部)214。在底座214的上表面侧形成有与切削刀具82的大小对应的多个凹部214a，在各凹部214a中配置有能够对切削刀具82进行收纳的刀具盒216。
利用刀具搬运臂212搬运的切削刀具82被载置于配置在该底座214的凹部214a的刀具盒216中。另外，在底座214的与各刀具盒216(凹部214a)对应的位置设置有无线标签或识别码等信息提供部214b。由此，能够容易地确定收纳于各刀具盒216的切削刀具82。
在底座214的下表面侧安装有多个(在本实施方式中为四个)车轮(行驶机构)218。各车轮218与电动机等旋转驱动源连结而进行旋转。通过旋转驱动源使该车轮218旋转，从而使无人刀具搬运车206在搬运通路6上行驶。另外，作为车轮218，可以使用将倾斜的桶状(筒状)的多个旋转体安装于与搬运通路6接触的外周面的所谓的麦克纳姆轮等。
在底座214的侧面上设置有对无人刀具搬运车206的动作进行控制的控制装置220。控制装置220典型地由包含CPU等处理装置和闪存等存储装置的计算机构成，按照存储于存储装置的软件使处理装置等进行动作，从而实现控制装置220的功能。
在该控制装置220上连接有接收机222和发送机224，该接收机222接收从控制单元12发送的控制用的信号(控制信号)，该发送机224对控制单元12发送通知用的信号(通知信号)。控制装置220根据接收机222所接收的信号对无人刀具搬运车206的动作(行驶)进行控制。另外，控制装置220通过发送机224将所需的信号发送至控制单元12。
图18是示出切削装置204等的外观的立体图。如图18所示，切削装置204的基本结构与实施方式1的切削装置4的基本结构相同。但是，在该切削装置204上还设置有上下贯通罩92的顶棚92a的两个开口92d。各开口92d形成为能够供切削刀具82通过的大小。
另外，在各开口92d配置有用于使切削刀具82升降的刀具升降机构226。刀具升降机构226具有对切削刀具82进行保持的刀具保持部228，该刀具升降机构226使该刀具保持部228升降。因此，只要在将切削刀具82保持于刀具保持部228之后使该刀具保持部228升降，则能够将切削刀具82从罩92的外部搬运至内部或者从罩92的内部搬运至外部。
在罩92的顶棚92a上设置有刀具搬运臂230，该刀具搬运臂230在刀具升降机构226所具有的刀具保持部228与停止在刀具升降机构226的旁边的无人刀具搬运车206之间对切削刀具82进行搬运。该刀具搬运臂230具有对切削刀具82进行保持的刀具把持部230a，通过使该刀具把持部230a旋转、升降，从而在无人刀具搬运车206与刀具保持部228之间对切削刀具82进行搬运。
在切削装置204的罩92的内部还设置有刀具更换器232，该刀具更换器232以自动控制的方式对切削单元80的切削刀具82进行更换。刀具更换器232与刀具升降机构226、刀具搬运臂230一起连接于控制装置96。
图19是示出刀具更换器232的结构例的分解立体图。该刀具更换器232例如具有位置相对于基台48、罩92等固定的固定板234。在固定板234的下表面侧设置有在X轴方向上较长的一对导轨236。移动板238以能够沿着X轴方向滑动的方式支承于导轨236。
在移动板238的Y轴方向的端部设置有与导轨236的形状对应的支架240，借助该支架240将移动板238支承于导轨236。在移动板238的上表面上固定有螺母部242。与X轴方向大致平行的滚珠丝杠244以能够旋转的方式***到螺母部242的螺纹孔242a中。
在滚珠丝杠244的一端连结有脉冲电动机246。若利用该脉冲电动机246使滚珠丝杠244旋转，则移动板238沿着导轨236在X轴方向上移动。在移动板238的下表面侧固定有更换器支承构造248。
在更换器支承构造248上支承有一对螺母装卸机构250，该一对螺母装卸机构250用于对将切削刀具82固定于切削单元80的固定螺母(未图示)进行装卸。各螺母装卸机构250构成为能够沿着Y轴方向移动，并且能够绕与Y轴方向平行的旋转轴旋转。通过该螺母装卸机构250对固定螺母进行把持而使其旋转，从而将固定螺母安装于切削单元80或者能够将固定螺母从切削单元80取下。
另外，在更换器支承构造248上支承有用于对切削刀具82进行更换的一对刀具更换机构252。各刀具更换机构252分别包含能够对切削刀具82进行保持的第1刀具保持部252a和第2刀具保持部252b。该刀具更换机构252构成为能够沿着Y轴方向移动，并且能够在X轴方向上更换第1刀具保持部252a和第2刀具保持部252b的位置。
在利用刀具更换器232对切削刀具82进行更换时，例如利用第1刀具保持部252a接受刀具升降机构226的刀具保持部228所保持的更换用的切削刀具82。然后，利用螺母装卸机构250将固定螺母从切削单元80取下。另外，利用第2刀具保持部252b将安装于切削单元80的切削刀具82从切削单元80取下。
然后，调换第1刀具保持部252a和第2刀具保持部252b的位置，利用第1刀具保持部252a将更换用的切削刀具82安装于切削单元80。并且，最后利用螺母装卸机构250将固定螺母安装于切削单元80。另外，将之前安装于切削单元80的切削刀具82例如从第2刀具保持部252b交接给刀具升降机构226的刀具保持部228。
接着，对本实施方式的搬运***202的动作等的例子进行说明。图20是用于对搬运***202的动作等的例子进行说明的功能框图。另外，被加工物11的搬运动作与实施方式1相同，因此在本实施方式中，主要对切削刀具82的搬运动作的例子进行说明。
例如当处于需要更换切削刀具82的状况时，切削装置204的控制装置96生成用于通知该意思的通知信号(刀具请求信号)。将控制装置96所生成的通知信号(刀具请求信号)从发送机100发送至控制单元12。
当控制单元12的接收机134接收到从切削装置204的发送机100发送的通知信号(刀具请求信号)时，将该通知信号发送至控制部132。当控制部132确认了来自切削装置204的通知信号(刀具请求信号)时，对无人刀具搬运车206发出指示，以使其在从贮存单元208接受切削刀具82的位置处待机。具体而言，控制部132生成相当于该指示的控制信号(第1待机指示信号)，并从发送机136发送至无人刀具搬运车206。
当无人刀具搬运车206的接收机222接收到来自控制单元12的控制信号(第1待机指示信号)时，将该控制信号发送至控制装置220。控制装置220根据该控制信号(第1待机指示信号)，对车轮(行驶机构)218等的动作进行控制，使无人刀具搬运车206沿着搬运通路6行驶。
另外，如图20所示，在无人刀具搬运车206的控制装置220连接有用于对设置于搬运通路6的信息提供部102b的信息进行读取的读取机254。因此，通过读取机254来读取信息提供部102b的信息，由此，控制装置220能够确认无人刀具搬运车206的位置。
当控制装置220确认了无人刀具搬运车206已移动至贮存单元208的旁边时，使车轮218等停止。另外，控制装置220生成用于通知无人刀具搬运车206正在接受切削刀具82的位置处待机的意思的通知信号(第1待机中信号)。将控制装置220所生成的通知信号(第1待机中信号)从发送机224发送至控制单元12。
当控制单元12的接收机134接收到从无人刀具搬运车206的发送机224发送的通知信号(第1待机中信号)时，将该通知信号发送至控制部132。当控制部132确认了来自无人刀具搬运车206的通知信号(第1待机中信号)时，对贮存单元208发出指示，以使其将切削刀具82搬运至无人刀具搬运车206。具体而言，控制部132生成相当于该指示的控制信号(第1搬运指示信号)，并从发送机136发送至贮存单元208。
当贮存单元208的接收机34接收到来自控制单元12的控制信号(第1搬运指示信号)时，将该控制信号发送至控制装置32。控制装置32根据该控制信号(第1搬运指示信号)，对刀具搬运臂212等的动作进行控制，从而将切削刀具82从刀具贮存器210中搬出并载置于无人刀具搬运车206的底座214。具体而言，例如将切削刀具82载置于从控制单元12通过控制信号(第1搬运指示信号)指示的刀具盒216中。
当完成切削刀具82向无人刀具搬运车206的搬运时，控制装置32生成用于通知已完成切削刀具82向无人刀具搬运车206的搬运的意思的通知信号(第1搬运完成信号)。将控制装置32所生成的通知信号(第1搬运完成信号)从发送机36发送至控制单元12。
当控制单元12的接收机134接收到从贮存单元208的发送机36发送的通知信号(第1搬运完成信号)时，将该通知信号发送至控制部132。当控制部132确认了来自贮存单元208的通知信号(第1搬运完成信号)时，对无人刀具搬运车206发出指示，以使其移动至将切削刀具82交接给切削装置204的位置而待机。具体而言，控制部132生成相当于该指示的控制信号(第2待机指示信号)，并从发送机136发送至无人刀具搬运车206。
当无人刀具搬运车206的接收机222接收到来自控制单元12的控制信号(第2待机指示信号)时，将该控制信号发送至控制装置220。控制装置220根据该控制信号(第2待机指示信号)，对车轮218等的动作进行控制，使无人刀具搬运车206沿着搬运通路6行驶。
当控制装置220确认了无人刀具搬运车206已移动至切削装置204的旁边时，使车轮218等停止。另外，控制装置220生成用于通知无人刀具搬运车206正在将切削刀具82交接给切削装置204的位置处待机的意思的通知信号(第2待机中信号)。将控制装置220所生成的通知信号(第2待机中信号)从发送机224发送至控制单元12。
当控制单元12的接收机134接收到从无人刀具搬运车206的发送机224发送的通知信号(第2待机中信号)时，将该通知信号发送至控制部132。当控制部132确认了来自无人刀具搬运车206的通知信号(第2待机中信号)时，对切削装置204发出指示，以使其从无人刀具搬运车206搬运切削刀具82。具体而言，控制部132生成相当于该指示的控制信号(第2搬运指示信号)，并从发送机136发送至切削装置204。
当切削装置204的接收机98接收到来自控制单元12的控制信号(第2搬运指示信号)时，将该控制信号发送至控制装置96。控制装置96根据该控制信号(第2搬运指示信号)，对刀具搬运臂230等的动作进行控制，将切削刀具82从无人刀具搬运车206的底座214搬出而交接给刀具保持部228。具体而言，将从控制单元通过控制信号(第2搬运指示信号)指示的刀具盒216内的切削刀具82搬出并交接给刀具保持部228。
当完成切削刀具82向切削装置204的交接时，例如控制装置96生成用于通知已完成切削刀具82向切削装置204的搬运的意思的通知信号(第2搬运完成信号)。将控制装置96所生成的通知信号(第2搬运完成信号)从发送机100发送至控制单元12。通过这样的步骤，能够根据需要将收纳于贮存单元208的切削刀具82搬运至切削装置204。
然后，切削装置204例如将切削刀具82从上述刀具保持部228交接给刀具更换器232。然后，通过该刀具更换器232对从刀具保持部228接受的切削刀具82和已经安装于切削单元80的使用完的切削刀具82进行更换。
将从切削单元80取下的使用完的切削刀具82交接给刀具保持部228。刀具搬运臂230将刀具保持部228所保持的使用完的切削刀具82载置于待机中的无人刀具搬运车206的底座214。此时，将使用完的切削刀具82例如载置于由控制装置96指定的刀具盒216中。
当完成使用完的切削刀具82向无人刀具搬运车206的搬运时，控制装置96生成用于通知已完成使用完的切削刀具82向无人刀具搬运车206的搬运的意思的通知信号(第3搬运完成信号)。将控制装置96所生成的通知信号(第3搬运完成信号)从发送机100发送至控制单元12。另外，在该通知信号(第3搬运完成信号)中包含载置有使用完的切削刀具82的刀具盒216的信息(与刀具盒216对应的信息提供部214b的信息)。
当控制单元12的接收机134接收到从切削装置204的发送机100发送的通知信号(第3搬运完成信号)时，将该通知信号发送至控制部132。当控制部132确认了来自切削装置204的通知信号(第3搬运完成信号)时，对无人刀具搬运车206发出指示，以使其移动至将使用完的切削刀具82交接给贮存单元208的位置而待机。具体而言，控制部132生成相当于该指示的控制信号(第3待机指示信号)，并从发送机136发送至无人刀具搬运车206。
当无人刀具搬运车206的接收机222接收到来自控制单元12的控制信号(第3待机指示信号)时，将该控制信号发送至控制装置220。控制装置220根据该控制信号(第3待机指示信号)，对车轮218等的动作进行控制，使无人刀具搬运车206沿着搬运通路6行驶。
当控制装置220确认了无人刀具搬运车206已移动至贮存单元208的旁边时，使车轮218等停止。另外，控制装置220生成用于通知无人刀具搬运车206正在接受切削刀具82的位置处待机的意思的通知信号(第3待机中信号)。将控制装置220所生成的通知信号(第3待机中信号)从发送机224发送至控制单元12。
当控制单元12的接收机134接收到从无人刀具搬运车206的发送机224发送的通知信号(第3待机中信号)时，将该通知信号发送至控制部132。当控制部132确认了来自无人刀具搬运车206的通知信号(第3待机中信号)时，对贮存单元208发出指示，以使其将使用完的切削刀具82从无人刀具搬运车206搬出。具体而言，控制部132生成相当于该指示的控制信号(第3搬运指示信号)，并从发送机136发送至贮存单元208。
当贮存单元208的接收机34接收到来自控制单元12的控制信号(第3搬运指示信号)时，将该控制信号发送至控制装置32。控制装置32根据该控制信号(第3搬运指示信号)，对刀具搬运臂212等的动作进行控制，将使用完的切削刀具82从无人刀具搬运车206的底座214搬出而收纳于刀具贮存器210。具体而言，将从控制单元12通过控制信号(第3搬运指示信号)指示的刀具盒216内的切削刀具82搬出而交接给刀具贮存器210。
通过这样的步骤，能够根据需要将收纳于贮存单元208的切削刀具82搬运至切削装置204，并且能够对从切削装置204的切削单元80取下的使用完的切削刀具82进行回收。另外，这里，在对切削刀具82进行更换的作业期间使无人刀具搬运车206在原位待机，但例如也可以在对该切削刀具82进行更换的作业期间，对其他切削装置204搬运切削刀具82。
另外，上述步骤可以在能够适当地搬运切削刀具82的范围内进行变更。例如，可以同时进行上述步骤中所含的多个步骤，也可以在不会妨碍到切削刀具82的搬运的范围内调换步骤的顺序。同样，也可以在不会妨碍到切削刀具82的搬运的范围内追加、变更、省略任意的步骤。
如上所述，本实施方式的搬运***202包含：搬运通路6，其设置于多个切削装置(加工装置)204的整个范围内；具有底座(刀具支承部)214、车轮(行驶机构)218以及接收机222的无人刀具搬运车206；以及贮存单元208，其具有刀具搬运臂(刀具搬运部)212和接收机34。
因此，通过利用刀具搬运臂212将收纳于刀具贮存器210的切削刀具82搬运至无人刀具搬运车206的底座214并使该无人刀具搬运车206在搬运通路6上行驶，从而能够将切削刀具82分别搬运至多个切削装置204。另外，在本实施方式的搬运***202中，搬运通路6设置于切削装置204的正上方的空间。因此，在设计该搬运通路6时，无需考虑各切削装置204的侧面的构造。即，搬运***202的构建变得容易。
(实施方式3)
在本实施方式中，对将用于向切削装置搬运盒28(被加工物11)的搬运机构安装于搬运通路的例子进行了说明。另外，切削装置、搬运通路的基本结构与实施方式1、2相同。由此，在相同的构成要素上标记相同的标号，并省略了详细的说明。
图21是示意性示出在本实施方式的搬运***中将盒28从无人被加工物搬运车10搬出的情形的立体图，图22是示意性示出将盒28搬入至切削装置(加工装置)304的情形的立体图。另外，在图21和图22中，省略了所有的罩92的内侧的构成要素。
如图21和图22所示，在本实施方式中所使用的切削装置304上未设置盒搬运臂94。另外，在该切削装置304中，无需使盒支承台50的上表面露出到罩92的外部。另一方面，在切削装置304上的搬运通路6固定有支承构造306。
在支承构造306上设置有在水平方向上移动的移动机构308。在移动机构308的下端部设置有对盒28进行保持的盒保持手部310。盒保持手部310相对于移动机构308例如以能够像起重机那样进行升降的方式连接。另外，在盒保持手部310的下表面侧配置有相机(未图示)，该相机在确认盒28的有无及位置等时使用。
在该搬运***中，在将盒28从无人被加工物搬运车10搬运至切削装置304时，首先将移动机构308定位于在切削装置304的旁边待机的无人被加工物搬运车10的上方。接着，如图21所示，使盒保持手部310下降而利用该盒保持手部310对无人被加工物搬运车10上的盒28进行保持。
然后，使盒保持手部310上升。另外，使移动机构308移动至罩92的开口92b的上方(即，盒支承台50的上方)。然后，如图22所示，使盒保持手部310下降而将该盒保持手部310所保持的盒28载置于盒支承台50的上表面上。通过以上那样的步骤，能够将盒28从无人被加工物搬运车10搬运至切削装置304。
在本实施方式的搬运***中，将用于向切削装置搬运盒28(被加工物11)的搬运机构安装于搬运通路6，因此无需在切削装置304设置盒搬运臂。由此，与在切削装置设置盒搬运臂的情况等相比，搬运***的通用性增强。
(实施方式4)
在本实施方式中，对结构与贮存单元8和贮存单元208不同的贮存单元进行说明。另外，组装有本实施方式的贮存单元的搬运***等的基本结构与实施方式1～3的搬运***等相同。由此，对相同的构成要素上标记相同的标号，并省略了详细的说明。
图23是示意性示出本实施方式的贮存单元408的结构例的侧视图，图24是示意性示出贮存单元408的内部的构造的俯视图。如图23所示，贮存单元408包含对各种构成要素进行收纳的壳体414。另外，在图23中，为了便于说明，仅示出壳体414的轮廓。
在壳体414内例如设置有通过滚珠丝杠式的升降机构(未图示)进行升降的第1盒支承台(载置台)416。在第1盒支承台416的上表面上载置能够收纳多个被加工物11的盒(被加工物贮存器)18。另外，该盒18对如上述那样借助带13而支承于框架15的状态的被加工物11进行收纳。
如图24所示，在面对第1盒支承台416(盒18)的第1位置配置有对框架15进行把持而移动的第1被加工物移动单元420。第1被加工物移动单元420包含：把持部422，其上下把持框架15；以及驱动部424，其使把持部422在大致水平的方向上移动。
在驱动部424的上表面上形成有朝向第1盒支承台416大致水平地延伸的缝状的开口424a，驱动部424使把持部422在沿着该开口424a的第1方向上移动。即，把持部422按照接近第1盒支承台416或远离第1盒支承台416的方式移动。
因此，例如若通过升降机构使收纳在盒18中的框架15的高度与把持部422的高度一致而使把持部422接近第1盒支承台416，则能够通过把持部422对盒18内的框架15进行把持。另外，若在通过把持部422对盒18内的框架15进行把持之后使把持部422远离第1盒支承台416，则将框架15拉出至盒18的外部。
在第1被加工物移动单元420的周围配置有暂放从盒18搬出的框架15的第1暂放台426。第1暂放台426包含：一对引导部426a，它们分别在第1方向上较长；以及基部426b，其在与第1方向垂直且水平的第2方向上较长。一对引导部426a按照彼此的长度方向平行的方式借助基部426b而连结。将利用第1被加工物移动单元420从盒18中拉出的框架15载置于一对引导部426a。
第1暂放台426通过使该第1暂放台426在第2方向上移动的第1暂放台移动部428进行支承。第1暂放台移动部428具有在第2方向上较长的导轨430。在导轨430上以能够滑动的方式安装有移动部件432。
在移动部件432上设置有螺母部(未图示)，在该螺母部上螺合有与导轨430大致平行的滚珠丝杠(未图示)。在滚珠丝杠的一端连结有脉冲电动机434。当利用脉冲电动机434使滚珠丝杠旋转时，移动部件432沿着导轨430在第2方向上移动。
在移动部件432的上部固定有第1暂放台426的基部426b。因此，第1暂放台426与移动部件432一起在第2方向上移动。另外，第1暂放台移动部428构成为能够使第1暂放台426在第1位置与该第1位置的旁边的第2位置之间移动。
在第2位置配置有对框架15进行把持而移动的第2被加工物移动单元436。即，第2被加工物移动单元436配置在第1被加工物移动单元420的旁边。第2被加工物移动单元436的构造与第1被加工物移动单元420的构造相同。
具体而言，第2被加工物移动单元436包含：把持部438，其上下把持框架15；以及驱动部440，其使把持部438在大致水平的方向上移动。在驱动部440的上表面上形成有在第1方向上较长的缝状的开口440a，驱动部440使把持部438沿着该开口440a而移动。
在第2被加工物移动单元436的周围配置有具有与第1暂放台426同样的构造的第2暂放台442。即，第2暂放台442包含：一对引导部442a，它们分别在第1方向上较长；以及基部442b，其在与第1方向垂直且水平的第2方向上较长。一对引导部442a按照彼此的长度方向平行的方式借助基部442b而连结。
第2暂放台442通过使该第2暂放台442在第2方向和铅垂方向上移动的第2暂放台移动部444进行支承。第2暂放台移动部444具有在第2方向上较长的导轨446。在导轨446上以能够滑动的方式安装有移动部件448。
在移动部件448上设置有螺母部(未图示)，在该螺母部上螺合有与导轨446大致平行的滚珠丝杠(未图示)。在滚珠丝杠的一端连结有脉冲电动机450。当利用脉冲电动机450使滚珠丝杠旋转时，移动部件448沿着导轨446在第2方向上移动。
在移动部件448的上部借助由气缸等构成的升降机构452而固定有第2暂放台442的基部442b。因此，第2暂放台442与移动部件448和升降机构452一起在第2方向上移动，通过升降机构452进行升降。另外，第2暂放台移动部444构成为能够使第2暂放台442在第2位置和该第2位置的旁边的第1位置之间移动。
图25是示意性示出使第1暂放台426和第2暂放台442在第2方向上移动而调换第1暂放台426的位置和第2暂放台442的位置的情形的侧视图。在调换第1暂放台426的位置和第2暂放台442的位置时，首先通过升降机构452使第2暂放台442上升。具体而言，将第2暂放台442定位于使第2暂放台442的下端的高度比第1暂放台426的上端的高度高的上升位置。
然后，在将第2暂放台442定位于上升位置的状态下，通过第2暂放台移动部444使第2暂放台442移动至第1位置侧。另外，在同样的时刻，通过第1暂放台移动部428使第1暂放台426移动至第2位置侧。另外，在图25中，示出使第1暂放台426从第1位置移动至第2位置、使第2暂放台442从第2位置移动至第1位置的情形。
在完成第1暂放台426和第2暂放台442的移动之后，通过升降机构452使第2暂放台442下降，将第2暂放台442定位于使第2暂放台442的下端的高度与第1暂放台426的下端的高度大致相等的基准位置。这样，在贮存单元408中，通过第1暂放台移动部428和第2暂放台移动部444能够按照在第1位置和第2位置之间调换第1暂放台426和第2暂放台442的方式进行移动。
在面对配置有第2被加工物移动单元436的第2位置的位置设置有第2盒支承台(交接区域)454，该第2盒支承台(交接区域)454载置能够收纳一张被加工物11的盒(搬运用盒)28。该第2盒支承台454的构造与上述实施方式的盒支承台50等相同即可。不过，在本实施方式的第2盒支承台454上未连接升降机构，该第2盒支承台454不进行升降。
如图23所示，在第2盒支承台454的正上方的区域设置有上下贯通壳体414的顶棚414a的开口414b。该开口414b形成为能够供载置于第2盒支承台454的盒28通过的形状、大小。另外，在壳体414的外部设置有盒搬运臂(被加工物搬运部)456，该盒搬运臂(被加工物搬运部)456将收纳有被加工物11的盒28在面对第2位置的第2盒支承台454和停止在开口14b的旁边的无人被加工物搬运车10之间进行搬运。
另外，该盒搬运臂456的构造与上述移动机构308和盒保持手部310的构造类似。即，盒搬运臂456包含：移动机构458，其在水平方向上移动；以及盒保持手部460，其相对于该移动机构458如起重机那样进行升降。在盒保持手部460的下表面侧配置有相机(未图示)，该相机在确认盒28的有无及位置等时使用。
另外，在盒保持手部460的下表面侧设置有盒保持爪460a。另一方面，在本实施方式中所用的盒28的顶板128上借助支柱128a而固定有被支承板128b。由此，若将盒保持爪460a***至顶板128与被支承板128b之间并利用盒保持爪460a对被支承板128b进行支承，则能够通过该盒搬运臂456对盒28进行搬运。
在使第1盒支承台416升降的升降机构、第1被加工物移动单元420、第1暂放台移动部428、第2被加工物移动单元436、第2暂放台移动部444、升降机构452、盒搬运臂456等构成要素上连接有用于对贮存单元408的动作进行控制的控制装置462。
控制装置462典型地由包含CPU等处理装置和闪存等存储装置的计算机构成，按照存储于存储装置的软件使处理装置等进行动作，从而实现控制装置462的功能。
在控制装置462上还连接有接收机464和发送机466，该接收机464接收从搬运***的控制单元12发送的控制用的信号(控制信号)，该发送机466对控制单元12发送通知用的信号(通知信号)。控制装置462根据接收机464所接收的信号，对贮存单元408的动作进行控制。另外，控制装置462通过发送机466将所需的信号发送至控制单元12。
接着，对本实施方式的贮存单元408的动作进行说明。图26的(A)、图26的(B)、图27的(A)以及图27的(B)是示意性示出贮存单元408的动作的例子的俯视图。另外，在本实施方式中，对第1暂放台426被定位于第1位置、第2暂放台442被定位于第2位置的情况下的动作进行说明，但第1暂放台426被定位于第2位置、第2暂放台442被定位于第1位置的情况下的动作也是同样的。
例如在盒搬运臂456从无人被加工物搬运车10接受了收纳有加工后的被加工物11的盒28之后，将该盒28载置于第2盒支承台454。另外，在第1盒支承台416上预先载置着收纳有加工前的被加工物11(框架15)的盒18。
然后，如图26的(A)所示，使把持部422接近第1盒支承台416上的盒18，利用把持部422对收纳于盒18的框架15进行把持。在同样的时刻，使把持部438接近第2盒支承台454上的盒28，利用把持部438对收纳于盒28的框架15进行把持。
在利用把持部422对盒18内的框架15进行把持之后，如图26的(B)所示，使把持部422远离第1盒支承台416。同样地，在利用把持部438对盒28内的框架15进行把持之后，如图26的(B)所示，使把持部438远离第2盒支承台454。由此，将加工前的被加工物11从盒18拉出至第1暂放台426，将加工后的被加工物11从盒28拉出至第2暂放台442。
接着，如图27的(A)所示，按照在第1位置与第2位置之间调换第1暂放台426和第2暂放台442的方式进行移动。即，通过升降机构452使第2暂放台442上升而定位于上升位置。并且，使第2暂放台442沿着第2方向移动至第1位置侧。
另外，在同样的时刻，使第1暂放台426沿着第2方向移动至第2位置侧。在完成第1暂放台426和第2暂放台442的移动之后，通过升降机构452使第2暂放台442下降而定位于基准位置。其结果是，将第1暂放台426定位于面对第2盒支承台454的第2位置，将第2暂放台442定位于面对第1盒支承台416的第1位置。
然后，如图27的(B)所示，利用把持部438对第1暂放台426上的框架15进行把持，使把持部438接近第2盒支承台454上的盒28。由此，将对加工前的被加工物11进行支承的第1暂放台426上的框架15收纳于第2盒支承台454上的盒28中。
在同样的时刻，利用把持部422对第2暂放台442上的框架15进行把持，使把持部438接近第2盒支承台454上的盒18。由此，将对加工后的被加工物11进行支承的第2暂放台442上的框架15收纳于第1盒支承台416上的盒18中。
在将第1暂放台426上的框架15收纳于第2盒支承台454上的盒28之后，盒搬运臂456将该盒28交接至无人被加工物搬运车10。通过以上，能够从无人被加工物搬运车10向贮存单元408搬运加工后的被加工物11，并从贮存单元408向无人被加工物搬运车10搬运加工前的被加工物11。
另外，第1暂放台426和第2暂放台442具有相同的功能，从盒18搬出的框架15可以暂放于第1暂放台426和第2暂放台442中的任意暂放台。例如在将第2暂放台442定位于第1位置的情况下，从盒18中搬出的框架15可暂放于第2暂放台442。
另外，上述第1被加工物移动单元420使被加工物11在定位于第1位置的第1暂放台426或第2暂放台442与第1盒支承台416(盒18)之间移动。同样地，第2被加工物移动单元436使被加工物11在定位于第2位置的第2暂放台442或第1暂放台426与第2盒支承台454(盒28)之间移动。
另外，本发明不限于上述实施方式的记载，可以进行各种变更并实施。例如在上述实施方式的切削装置204设置有用于使切削刀具82升降的刀具升降机构226，但也可以将刀具升降机构安装于搬运通路6。在该情况下，与在切削装置中设置刀具升降机构的情况等相比，搬运***的通用性增强。
另外，搬运通路6可以具有用于使两台无人被加工物搬运车10等岔开的空间(待机区域)。另外，搬运通路6可以设定成仅允许无人被加工物搬运车10等向一个方向行驶的所谓的单向通行。在该情况下，可以在切削装置(加工装置)上设置往路用的搬运通路6和返路用的搬运通路6。
另外，在上述实施方式中，在通路部102上设置有识别码或无线标签等信息提供部102b，但也可以将信息提供部安装于引导部104。在该情况下，例如可以将信息提供部安装于引导部104的内侧的壁面或上端部等。
另外，也可以对贮存单元408组装贮存单元208的刀具贮存器210或刀具搬运臂(刀具搬运部)212等。
除此以外，上述实施方式或变形例等的构造、方法等只要不脱离本发明的目的的范围，则可以适当变更并实施。

Claims (6)

1.一种搬运***，其对多个加工装置分别搬运被加工物，其特征在于，
该搬运***包含：
搬运通路，其在多个该加工装置的整个范围内设置于该加工装置的正上方的空间；
无人被加工物搬运车，其在该搬运通路上行驶，具有被加工物支承部、行驶机构以及接收机，其中，该被加工物支承部对该被加工物进行支承，该行驶机构设置于该被加工物支承部，该接收机接收控制信号；
贮存单元，其具有载置台、两组暂放台、暂放台移动部、被加工物搬运部、被加工物移动单元以及接收机，其中，该载置台载置能够收纳多个该被加工物的被加工物贮存器，该两组暂放台暂放从该载置台上的该被加工物贮存器中搬出的该被加工物，该暂放台移动部按照在面对该载置台的第1位置和该第1位置的旁边的第2位置之间调换该两组暂放台的方式进行移动，该被加工物搬运部在面对该第2位置的交接区域与该无人被加工物搬运车之间对该被加工物进行搬运，该被加工物移动单元使该被加工物在位于该第1位置的该暂放台与该载置台之间或位于该第2位置的暂放台与该交接区域之间移动，该接收机接收控制信号；以及
控制单元，其具有发送机、接收机以及控制信号生成部，其中，该发送机对该加工装置、该无人被加工物搬运车以及该贮存单元发送控制信号，该接收机接收从该加工装置发送的通知信号，该控制信号生成部生成从该发送机发送的控制信号，
该控制单元的该控制信号生成部根据该控制单元的该接收机所接收到的通知信号，生成从该控制单元的该发送机发送的控制信号，
该控制单元的该发送机将由该控制单元的该控制信号生成部生成的控制信号发送至该加工装置、该无人被加工物搬运车以及该贮存单元，
该贮存单元的该被加工物搬运部根据该贮存单元的该接收机所接收到的控制信号，将从该被加工物贮存器中搬出的该被加工物搬运至该无人被加工物搬运车的该被加工物支承部，
该无人被加工物搬运车的该行驶机构根据该无人被加工物搬运车的该接收机所接收到的控制信号，使该无人被加工物搬运车在该搬运通路上行驶，将该被加工物支承部所支承的该被加工物搬运至该加工装置。
2.根据权利要求1所述的搬运***，其特征在于，
该搬运通路设置于该加工装置的上表面。
3.根据权利要求1或2所述的搬运***，其特征在于，
该搬运通路是将多个通路模块连结起来而构成的。
4.根据权利要求1～3中的任意一项所述的搬运***，其特征在于，
该搬运通路具有脚部，该脚部具有对该加工装置进行吸附的吸附部，该搬运通路通过该吸附部而固定于该加工装置。
5.根据权利要求1～4中的任意一项所述的搬运***，其特征在于，
该加工装置在侧面具有连接配管的配管连接部或维护用的门。
6.根据权利要求1～5中的任意一项所述的搬运***，其特征在于，
该搬运***还具有在该搬运通路上行驶的无人刀具搬运车，该无人刀具搬运车具有：刀具支承部，其对切削刀具进行支承，该切削刀具在利用该加工装置对该被加工物进行加工时使用；行驶机构，其设置于该刀具支承部；以及接收机，其接收控制信号，
该贮存单元还具有刀具搬运部，该刀具搬运部在收纳向该加工装置提供的该切削刀具的刀具贮存器与该无人刀具搬运车之间对该切削刀具进行搬运，
该控制单元的该发送机还具有向该无人刀具搬运车发送控制信号的功能，
该控制单元的该发送机将由该控制单元的该控制信号生成部生成的控制信号发送至该加工装置、该无人被加工物搬运车、该无人刀具搬运车以及该贮存单元，
该贮存单元的该刀具搬运部根据该贮存单元的该接收机所接收到的控制信号，将收纳于该刀具贮存器的该切削刀具搬运至该无人刀具搬运车的该刀具支承部，
该无人刀具搬运车的该行驶机构根据该无人刀具搬运车的该接收机所接收到的控制信号，使该无人刀具搬运车在该搬运通路上行驶，将该刀具支承部所支承的该切削刀具搬运至该加工装置。
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