CN110918550A - 冷却***及冷却方法 - Google Patents

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黄韦翔
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Abstract

本揭示提供了一种冷却***及冷却方法。此***包括贮槽、导管、冷却器、及浓度计。贮槽用以容纳第一液体。导管耦接到贮槽并且用以从贮槽递送第一液体。冷却器覆盖导管以冷却由导管递送的第一液体。浓度计用以量测由冷却器冷却的第一液体的浓度。

Description

冷却***及冷却方法
技术领域
本揭示是关于一种冷却技术，并进一步关于一种残余物处理技术。
背景技术
归因于制造要求，应当移除每个制造流程中的半导体的残余物。然而，没有足够的移除半导体残余物的方式。由此，充分且精确地移除半导体残余物成为半导体技术领域中的关键问题。
发明内容
本揭露提供一种冷却***，包含一贮槽、一导管、一冷却器以及一浓度计。贮槽用以容纳一第一液体。导管耦接到该贮槽并且用以从该贮槽递送该第一液体。冷却器覆盖该导管以冷却由该导管递送的该第一液体。浓度计用以量测由该冷却器冷却的该第一液体的一浓度。
本揭露亦提供一种冷却***，包含一清洁装置及一浓度量测装置。清洁装置，包含一贮槽及一管道。贮槽用以容纳一第一液体。管道耦接到该贮槽，且第一液体在管道及贮槽内部循环流动。浓度量测装置，包含一导管、一冷却器、一浓度计以及一风扇。导管耦接到该管道并用以从该管道递送该第一液体。冷却器覆盖该导管以冷却由该导管递送的该第一液体。浓度计用以量测由该冷却器冷却的该第一液体的一浓度。风扇设置在该浓度计的一侧面以冷却该浓度量测装置。
本揭露亦提供一种冷却方法，包含：经由导管从贮槽导出处于第一温度的第一液体，通过覆盖导管的冷却器，将由导管递送的第一液体冷却到第二温度，量测处于第二温度的第一液体的浓度，第一液体是由导管递送。根据第一液体的浓度将第二液体提供到贮槽中，将第一液体加热到第一温度以移除由制造流程产生的半导体装置的残余物。
附图说明
当结合随附附图阅读时，将自以下详细描述最佳地理解本揭示的态样。应注意，根据工业中的标准实务，各个特征并非按比例绘制。事实上，出于论述清晰的目的，可任意增加或减小各个特征的尺寸。
图1是根据本揭示各个实施例的***示意图；
图2是根据本揭示各个实施例中，说明图1中***操作的方法流程图；
图3是根据本揭示各个实施例中，如图1所示***的冷却器示意图；
图4是根据本揭示各个实施例中，如图1所示***的冷却器示意图；
图5是根据本揭示各个实施例中，如图1所示***的冷却器示意图；
图6是根据本揭示各个实施例的***示意图；
图7是根据本揭示各个实施例的***示意图；
图8是根据本揭示各个实施例的***示意图；
图9是根据本揭示各个实施例中，如图8所示***的冷却器示意图；
图10是根据本揭示各个实施例中，如图1中所示半导体装置的剖面图；
图11是根据本揭示各个实施例中，如图1中所示半导体装置的剖面图；
图12是根据本揭示各个实施例中，如图1中所示半导体装置的剖面图。
【符号说明】
100 清洁装置
110 贮槽
112 内贮槽
114、116 外贮槽
120、170 管道
121、123、125、127、129 阀门
130 泵
140 加热器
150 过滤器
160 振荡器
200 浓度量测装置
210 管
220 冷却器
221 风扇
222、223 螺旋软管
224、250 泵
226 冷凝器
228 外壳
230 浓度计
240 风扇
260 处理器
310～380 操作
500 液体
600 半导体装置
602 半导体基板
604 图案化的遮罩
702 沟槽
704 鳍片
706 介电层
N1、N2 节点
具体实施方式
以下揭示内容提供许多不同实施例或实例，以便实施所提供标的的不同特征。下文描述元件及布置的具体实例以简化本揭示。当然，此等仅为实例且并不意欲为限制性。例如，以下描述中在第二特征上方或第二特征上形成第一特征可包括以直接接触形成第一特征及第二特征的实施例；且亦可包括在第一特征与第二特征之间形成额外特征，以使得第一特征及第二特征可不直接接触的实施例。此外，本揭示可在各个实例中重复元件符号及/或字母。此重复是出于简便性及清晰的目的且本身并不指示所论述的各个实施例及/或构造之间的关系。
在本说明书中使用的术语通常具有其在本领域中及在使用每个术语的具体上下文中的一般意义。在本说明书中使用实例(包括本文论述的任何术语的实例)仅是说明性的，并且不以任何方式限制本揭示或任何示例性术语的范畴及意义。同样，本揭示不限于本说明书中给出的各个实施例。
尽管术语“第一”、“第二”等等可在本文中用于描述各个元件，此等元件不应当由此等术语限制。此等术语用于在元件之间进行区分。例如，在不脱离实施例的范畴的情况下，第一元件可以被称为第二元件，并且类似地，第二元件可以被称为第一元件。如本文使用，术语“及/或”包括一或多个相关联的所列术语的任何及所有组合。
在本说明书中使用的术语“包含(comprise)”、“包含(comprising)”、“包括(include)”、“包括(including)”、“具有(has)”、“具有(having)”、等等是开放式的并且意谓“包含但不限于”。
现在参考图1。图1是根据本揭示的各个实施例的***的示意图。
如图1中说明性图示，***包括清洁装置100及浓度量测装置200。清洁装置100包括贮槽110、管道120、泵130、加热器140、过滤器150、及振荡器160。另一方面，浓度量测装置200包括导管210、冷却器220、浓度计230、风扇240、泵250、及处理器260。
在一些实施例中，现在参考清洁装置100。管道120耦接到贮槽110。泵130的两个终端分别耦接到管道120。以另一方式解释，管道120延伸穿过泵130。加热器140的两个终端分别耦接到管道120。以另一方式解释，管道120延伸穿过加热器140。过滤器150的两个终端分别耦接到管道120。以另一方式解释，管道120延伸穿过过滤器150。
在各个实施例中，现在参考浓度量测装置200。导管210耦接到清洁装置100的管道120。冷却器220覆盖导管210。浓度计230耦接到导管210。处理器260耦接到浓度计230、风扇240、及泵250。泵250耦接到导管210。
以上论述仅描述了可以根据各个替代实施例进行的示例性连接。将理解，此种各个替代实施例不限于上文描述的具体连接或图1所示的那些连接。
现在参考图2。图2是根据本揭示的各个实施例的用于操作图1中的***的方法300的流程图。
如图2中说明性图示，在操作310中，贮槽110用以容纳液体500。液体500用于移除由制造流程产生的半导体装置600的残余物。在一些实施例中，例如，液体500是蚀刻残余物移除剂、正光阻剂剥除剂、或用于移除在制造流程期间产生的残余物的任何适宜液体。在各个实施例中，例如，制造流程是用于制造半导体装置的沉积流程、光阻剂涂布流程、蚀刻流程、图案化流程、移除流程、或其他流程。
在操作320中，移动液体500以在管道120及贮槽110内部循环流动。在一些实施例中，贮槽110包括内贮槽112及外贮槽114。内贮槽112用以在内部容纳液体500。若将半导体装置600浸泡在液体500中并且内贮槽112溢流，则溢流的液体500进一步由外贮槽114容纳。在各个实施例中，液体500的循环从外贮槽114开始，打开阀门121来让外贮槽114中的液体500流过此阀门到管道120中，并且随后打开阀门123来让内贮槽112中的液体500流过此阀门到管道120中。然后，液体500流过阀门121、123到泵130中，并且泵130移动管道120中的液体500。在一些实施例中，例如，泵130是用于通过机械作用移动管道120中的液体500的扬升泵、位移泵、重力泵、或任何适宜装置。
若贮槽112中的液体500不足且温度不高于预定温度，则关闭阀门125并且打开阀门127来让液体500流过此阀门到管道120中。接下来，液体500流过加热器140并且通过此加热器加热。若贮槽112中的液体500不足且温度不高于预定温度，则液体500从旁边穿过阀门129到内贮槽112中。在一些实施例中，在贮槽112中的液体500不足且温度不高于预定温度的条件下，管道120的压力及液体500的厚度均过高。在此种条件下，液体500不能流过过滤器150，或过滤器150将因管道120中的高压或液体500的高厚度受损。在各个实施例中，例如，阀门121、123、125、127、129是用于控制液体500流过此等阀门的液压阀、气动阀、或任何适宜阀门。在一些实施例中，例如，加热器140是用于加热液体500的电热器、加热灯、加热套、或任何适宜装置。
当贮槽112中的液体500足够并且温度高于预定温度时，半导体装置600的残余物可以通过清洁装置100移除。在移除半导体装置600的残余物之后，在液体500中存在颗粒。过滤器150用以过滤液体500中的颗粒。在此种条件下，液体500的循环从外贮槽114开始，打开阀门121来让外贮槽114中的液体500流过此阀门到管道120中，并且随后打开阀门123来让内贮槽112中的液体500流过此阀门到管道120中。然后，液体500流过阀门121、123到泵130中，并且泵130移动管道120中的液体500。接下来，打开阀门125并且关闭阀门127来让液体500流过阀门125到过滤器150中。过滤器150过滤液体500中的颗粒并且将不具有颗粒的液体500提供到内贮槽112。在一些实施例中，贮槽110的容量是在70公升至120公升的范围中。若贮槽110的容量过高，则难以冷却贮槽110中的液体500。另一方面，若贮槽110的容量过低，则难以使用足够液体500来移除半导体装置600的残余物，使得贮槽110的容量是在预定范围中。
在操作330中，导管210用以从管道120取回及递送液体500。如图1中说明性图示，导管210从管道120的节点N1取回液体500。然而，在各个实施例中，取决于实际需要，导管210可从管道120的节点N2或管道120的任何适宜部分取回液体500。在一些实施例中，管道120的直径是在3公分至10公分的范围中。在各个实施例中，例如，管道120的直径是10公分。若管道120的直径过高，则泵250难以移动管道120内部的液体500。另一方面，若管道120的直径过低，则难以让液体500在管道120及贮槽内部循环移动，使得管道120的直径是在预定范围中。在一些实施例中，导管的直径是在5毫米至1公分的范围中。在各个实施例中，例如，导管210的直径是5毫米。导管210用于取样，并且导管210的直径可小于管道120的直径。液体500在导管210中的流动速率与导管210的横截面成反比。由此，若导管210的直径小于5毫米，则液体500在导管210中的流动速率将过快。当液体500在导管210中的流动速率过快时，药剂不具有足够时间来与液体500混合，使得液体500的浓度将低于实际浓度，并且浓度计230的量测结果不精确。相反地，若导管210的直径大于1公分，则液体500在导管210中的流动速率将过低。当液体500在导管210中的流动速率过低时，浓度计230不能量测液体500的浓度。
在操作340中，冷却器220用以冷却由导管210递送的液体500。如图1中说明性图示，冷却器220覆盖导管210，以便有效地冷却由导管210递送的液体500。在一些实施例中，例如，冷却器220是水冷却设备。为了便于理解冷却器220的结构，现在参考图3。图3是根据本揭示的各个实施例的如图1所示的***的冷却器220的示意图。
如图3中说明性图示，冷却器220包括螺旋软管222，并且螺旋软管222围绕导管210设置。在一些实施例中，螺旋软管222围绕导管210设置并且接触导管210，用于促进冷却器220冷却由导管210递送的液体500。在各个实施例中，例如，螺旋软管222是聚胺基甲酸酯(Polyurethane,PU)管、聚氯乙烯(PolyVinyl Chloride,PVC)管、或任何适宜种类的管。在一些实施例中，例如，螺旋软管222中的液体是用于在螺旋软管222中循环移动以冷却由导管210递送的液体500的去离子水、冷凝液、或任何适宜液体。
如图3中说明性图示，冷却器220包括泵224，泵224耦接到螺旋软管222，并且泵224用以移动螺旋软管222中的液体。在各个实施例中，泵224邻近如图1所示的节点N1设置。在一些实施例中，例如，泵224是潜水泵、陆上泵、或用于移动螺旋软管222中的液体的任何适宜的泵。如图3中说明性图示，泵224在逆时针方向上移动液体。然而，取决于实际需求，泵224可在顺时针方向上移动液体。
以上论述仅描述了可以根据各个替代实施例进行的示例性连接及操作。将理解，此种各个替代实施例不限于上文描述的具体连接及操作或图3所示的那些连接及操作。
为了理解冷却器220的结构，现在参考图4。图4是根据本揭示的各个实施例的如图1所示的***的冷却器220的示意图。
如图4中说明性图示，例如，冷却器220包括冷凝器226。导管210可在冷凝器226内部设置。以另一方式解释，冷凝器226完全覆盖导管210。在各个实施例中，例如，冷凝器226中的液体是用于在冷凝器226中循环移动以冷却由导管210递送的液体500的去离子水、冷凝液、或任何适宜液体。
如图4中说明性图示，冷却器220包括泵224，泵224耦接到冷凝器226，并且泵224用以移动冷凝器226中的液体。在各个实施例中，泵224邻近如图1所示的节点N1设置。如图4中说明性图示，泵224在顺时针方向上移动液体。然而，取决于实际需求，泵224可在逆时针方向上移动液体。
以上论述仅描述了可以根据各个替代实施例进行的示例性连接及操作。将理解，此种各个替代实施例不限于上文描述的具体连接及操作或图4所示的那些连接及操作。
在一些实施例中，例如，冷却器220是空气冷却设备。空气冷却设备设置在导管210的侧面。为了促进理解冷却器220的结构，现在参考图5。图5是根据本揭示的各个实施例的如图1所示的***的冷却器220的示意图。
如图5中说明性图示，冷却器220包括外壳228及风扇221。外壳228覆盖导管210。风扇221用以吹动外壳228内部的空气，使得可冷却由导管210递送的液体500。
如图5中说明性图示，在一些实施例中，风扇221设置在图1中的浓度计230的侧面。此设置可帮助风扇221保持远离图1中的加热器140，或风扇221将由加热器140产生的热吹到图1中的导管210及浓度计230。
以上论述仅描述了可以根据各个替代实施例进行的示例性连接及操作。将理解，此种各个替代实施例不限于上文描述的具体连接及操作或图5所示的彼等连接及操作。
在操作350中，浓度计230用以量测由冷却器220冷却的液体500的浓度。在各个实施例中，在贮槽110中的液体500的温度是在摄氏65度至摄氏80度的范围中。在一些实施例中，在贮槽110中的液体500的温度是约摄氏70度。在液体500中混合的药剂的性质将通过增加其温度并且将水添加到液体500来保持其流动速率而呈现。当液体500的温度低于摄氏65度时，液体500的浓度将过高而不能移除半导体装置600的残余物。相反地，当液体500的温度高于摄氏80度时，液体500的移除速率过高，使得半导体装置600可能受液体500损坏。
在一些实施例中，在贮槽110中的液体500的温度是在摄氏65度至摄氏80度的范围中。在各个实施例中，在贮槽110中的液体500的温度是在摄氏110度至摄氏120度的范围中。若导管210将具有此高温的液体500递送到浓度计230，则来自浓度计230的液体500的量测结果是不精确的。由此，冷却器220用以在约两分钟内将由导管210递送的液体500冷却到预定温度。与在三十分钟或更多时间内将导管中的液体冷却到一温度的先前技术相比，本揭示提供了具有覆盖导管210的冷却器220的***，此冷却器可在约两分钟内将由导管210递送的液体500冷却到一温度。由此，通过图1中的本揭示的***来更有效地冷却液体500。
另一方面，在各个实施例中，冷却器220将导管210中的液体500冷却到在摄氏26度至摄氏29度的范围中的温度。在一些实施例中，冷却器220将导管210中的液体500冷却到小于摄氏29度的温度。因此，图1中提供的***可将由导管210递送的液体500冷却到浓度计230可精确地量测液体500的温度。
在操作360中，风扇240用以冷却浓度量测装置200。在各个实施例中，在浓度量测装置200中的风扇240用于冷却处理器260。然而，归因于风扇240在浓度量测装置200内部设置，风扇240有助于冷却由导管210递送的液体500。在一些实施例中，风扇240设置在浓度计230的侧面。此种设置可帮助风扇240保持远离加热器140，并且风扇240将由加热器140产生的热吹到浓度量测装置200。
在操作370中，泵250用以根据液体500的浓度将液体提供到贮槽110中。在操作380中，加热器140用以将液体加热到高温以移除由制造流程产生的半导体装置600的残余物。
在一些实施例中，振荡器160连同贮槽110中的液体500用以移除由制造流程产生的半导体装置600的残余物。在一些实施例中，例如，振荡器160是超音波振荡器。超音波振荡器用于提供超音波以帮助半导体装置600移除由制造流程产生的残余物。在各个实施例中，处理器260在浓度计230与泵250之间耦接，并且处理器260用以根据液体500的浓度控制泵250，以将液体提供到管道120中，以便调节液体500的浓度。在一些实施例中，贮槽110进一步包括外贮槽116。若将半导体装置600浸泡在液体500中并且内贮槽112溢流，则溢流的液体500进一步由外贮槽114容纳。然而，若外贮槽114亦溢流，则溢流的液体500可进一步由外贮槽116容纳。
现在参考图6。图6是根据本揭示的各个实施例的***的示意图。
如图6中说明性图示，图3至图4中用于移动螺旋软管222及冷凝器226中液体的泵224，可由图6中的泵250替代。图6中的泵250耦接到冷却器220及浓度计230二者。泵250用以移动冷却器220中的液体来用于冷却由导管210递送的液体500，并且根据液体500的浓度将液体提供到贮槽110中。由此，由于图6中的泵250用作冷却器220的泵，在冷却器220内部的图3至图4中的泵224可减少。在各个实施例中，例如，泵250为去离子尖峰泵。
以上论述仅描述了可以根据各个替代实施例进行的示例性连接及操作。将理解，该各个替代实施例不限于上文描述的具体连接及操作或图6所示的那些连接及操作。
现在参考图7。图7是根据本揭示的各个实施例的***的示意图。
如图7中说明性图示，图3至图4中用于移动螺旋软管222及冷凝器226中液体的泵224，可由图7中的泵260替代。泵250耦接到浓度计230及处理器260。泵250用以由处理器260根据液体500的浓度将液体提供到贮槽110中。另一方面，泵260耦接到冷却器220并且邻近浓度计230设置。在一些实施例中，以并联方式设置泵260与泵250。泵260用以移动冷却器220中的液体来用于冷却由导管210递送的液体500。在各个实施例中，例如，泵250及泵260为去离子尖峰泵。
以上论述仅描述了可以根据各个替代实施例进行的示例性连接及操作。将理解，此种各个替代实施例不限于上文描述的具体连接及操作或图7所示的那些连接及操作。
现在参考图8。图8是根据本揭示的各个实施例的***的示意图。
如图8中说明性图示，清洁装置100进一步包括至少一个空气阀门129，空气阀门129用于控制液体500在管道120中的流动路径，并且将用于控制至少一个空气阀门129的空气递送到冷却器220，以冷却由导管210递送的液体500。在一些实施例中，例如，阀门129是气动阀。阀门129由此由空气控制，并且通过管道170将空气递送到冷却器220来用于冷却由导管210递送的液体500。
为了理解冷却器220的结构，现在参考图9。图9是根据本揭示的各个实施例的如图8所示的***的冷却器220的示意图。
如图8中说明性图示，冷却器220包括螺旋软管223，并且螺旋软管222围绕导管210设置。在一些实施例中，螺旋软管223围绕导管210设置并且接触导管210，用于促进冷却器220冷却由导管210递送的液体500。在各个实施例中，螺旋软管223用以递送空气，用于控制阀门129，从而用于冷却由导管210递送的液体500。然而，在一些实施例中，例如，阀门121、123、125、127是气动阀。由此，取决于实际需要，螺旋软管223用以递送空气来用于控制阀门121、123、125、127。在各个实施例中，例如，螺旋软管223是聚胺基甲酸酯(PU)管、聚氯乙烯(PVC)管、或任何适宜种类的管。
以上论述仅描述了可以根据各个替代实施例进行的示例性连接及操作。将理解，该各个替代实施例不限于上文描述的具体连接及操作或图9所示的那些连接及操作。
现在参考图10。图10是根据本揭示的各个实施例的如图1中示出的半导体装置600的横截面图的示意图。如图所示，图案化的遮罩604在半导体基板602上形成。现在参考图11。图11是根据本揭示的各个实施例的如图1中示出的半导体装置600的横截面图的示意图。如图所示，可蚀刻半导体基板602的暴露部分以在半导体基板602中形成沟槽702。半导体基板602在相邻沟槽702之间的区域形成鳍片704。沟槽702可通过在图案化的遮罩604上方形成介电层706以及实质上填充沟槽702来填充。现在参考图12。图12是根据本揭示的各个实施例的如图1中示出的半导体装置600的剖面图。如图所示，移除图案化的遮罩604。在移除图案化的遮罩604之后，一些残余物仍在半导体装置600上。此时，将半导体装置600放入用液体500填充的贮槽110中，并且液体500用于移除半导体装置600的残余物。
本揭示亦提供一种***。此***包括贮槽、导管、冷却器、及浓度计。贮槽用以容纳第一液体。导管耦接到贮槽并且用以从贮槽递送第一液体。冷却器覆盖导管以冷却由导管递送的第一液体。浓度计用以量测由冷却器冷却的第一液体的浓度。
在一些实施例中，冷却器包括覆盖导管的水冷却设备，并且水冷却设备包括围绕导管设置的螺旋软管。
在各个实施例中，水冷却设备包括冷凝器，并且管在冷凝器内部设置。
在一些实施例中，***进一步包括泵。泵耦接到冷却器及浓度计。泵用以移动冷却器中的第二液体来用于冷却由导管递送的第一液体，并且根据第一液体的浓度将第二液体提供到贮槽中。
在各个实施例中，***进一步包括第一泵及第二泵。第一泵耦接到浓度计。第一泵用以根据第一液体的浓度将第二液体提供到贮槽中。第二泵耦接到冷却器并且邻近浓度计设置。以并联方式设置第二泵与第一泵。第二泵用以移动冷却器中的第二液体来用于冷却由导管递送的第一液体。
在一些实施例中，***进一步包括处理器。处理器在浓度计与第一泵之间耦接。处理器用以根据第一液体的浓度控制第一泵。
在各个实施例中，冷却器包括设置在导管的侧面的空气冷却设备。
在一些实施例中，空气冷却设备包括外壳及风扇。外壳覆盖导管。风扇设置在浓度计的侧面并且用以吹动外壳内部的空气。
本揭示亦提供一种包括清洁装置及浓度量测装置的***。清洁装置包括贮槽及管道。贮槽用以容纳第一液体。管道耦接到贮槽。第一液体在管道及贮槽内部循环流动。浓度量测装置包括导管、冷却器、浓度计、及风扇。导管耦接到管道并且用以从管道递送第一液体。冷却器覆盖导管以冷却由导管递送的第一液体。浓度计用以量测由冷却器冷却的第一液体的浓度。风扇设置在浓度计的侧面以冷却浓度量测装置。
在一些实施例中，清洁装置进一步包括用于控制第一液体在管道中的流动路径的至少一个空气阀门，并且将用于控制至少一个空气阀门的空气递送到冷却器来用于冷却由导管递送的第一液体。
在各个实施例中，冷却器包括螺旋软管。螺旋软管围绕导管设置，并且螺旋软管用以递送空气，用于控制至少一个空气阀门，从而用于冷却由导管递送的第一液体。
在一些实施例中，冷却器包括外壳。外壳覆盖导管。将用于控制空气阀门的空气递送到外壳来用于吹动外壳内部的空气。
在各个实施例中，冷却器包括外壳及风扇。外壳覆盖导管。风扇设置在浓度计的侧面并且用以吹动外壳内部的空气。
在一些实施例中，冷却器包括水冷却设备。水冷却设备覆盖导管。水冷却设备包括螺旋软管。螺旋软管围绕导管设置。
在各个实施例中，浓度量测装置进一步包括泵。泵耦接到冷却器及浓度计。泵用以移动冷却器中的第二液体来用于冷却由导管递送的第一液体，并且根据第一液体的浓度将第二液体提供到管道中。
在一些实施例中，浓度量测装置包括第一泵及第二泵。第一泵耦接到浓度计。第二泵用以根据第一液体的浓度将第二液体提供到管道中。第二泵耦接到冷却器并且邻近浓度计设置。以并联方式设置第二泵与第一泵。第二泵用以移动冷却器中的第二液体来用于冷却由导管递送的第一液体。
在各个实施例中，浓度量测装置包括处理器。处理器在浓度计与第一泵之间耦接。处理器用以根据第一液体的浓度控制第一泵，并且风扇用以冷却处理器。
本揭示亦提供一种包括以下操作的方法。经由导管从贮槽导出处于第一温度的第一液体。通过覆盖导管的冷却器将由导管递送的第一液体冷却到第二温度。量测处于第二温度的由导管递送的第一液体的浓度。根据第一液体的浓度将第二液体提供到贮槽中。将第一液体加热到第一温度以移除由制造流程产生的半导体装置的残余物。
在一些实施例中，通过覆盖导管的冷却器将由导管递送的第一液体冷却到第二温度包括：通过包含围绕导管设置的螺旋软管的水冷却设备将由导管递送的第一液体冷却到第二温度。
在一些实施例中，通过覆盖导管的冷却器将由导管递送的第一液体冷却到第二温度包括：通过包含覆盖导管的外壳及吹动外壳内部的空气的风扇的空气冷却设备将由导管递送的第一液体冷却到第二温度。
上文概述若干实施例的特征，使得熟悉此项技术者可更好地理解本揭示的态样。熟悉此项技术者应了解，可轻易使用本揭示作为设计或修改其他制程及结构的基础，以便实施本文所介绍的实施例的相同目的及/或实现相同优点。熟悉此项技术者亦应认识到，此类等效构造并未脱离本揭示的精神及范畴，且可在不脱离本揭示的精神及范畴的情况下进行本文的各种变化、替代及更改。

Claims (10)

1.一种冷却***，其特征在于，包含：
一贮槽，用以容纳一第一液体；
一导管，耦接到该贮槽并且用以从该贮槽递送该第一液体；
一冷却器，覆盖该导管以冷却由该导管递送的该第一液体；以及
一浓度计，用以量测由该冷却器冷却的该第一液体的一浓度。
2.根据权利要求1所述的冷却***，其特征在于，该冷却器包含覆盖该导管的一水冷却设备，且该水冷却设备包含围绕该导管设置的一螺旋软管。
3.根据权利要求1所述的冷却***，其特征在于，进一步包含：
一泵，耦接到该冷却器及该浓度计，其中该泵用以移动该冷却器中的一第二液体来用于冷却由该导管递送的该第一液体，并且根据该第一液体的该浓度将该第二液体提供到该贮槽中。
4.根据权利要求1所述的冷却***，其特征在于，进一步包含：
一第一泵，耦接到该浓度计，其中该第一泵用以根据该第一液体的该浓度将第二液体提供到该贮槽中；以及
一第二泵，耦接到该冷却器并且邻近该浓度计设置，其中该第二泵与该第一泵并联设置，其中该第二泵用以移动该冷却器中的该第二液体，以冷却由该导管递送的该第一液体。
5.一种冷却***，其特征在于，包含：
一清洁装置，包含：
一贮槽，用以容纳一第一液体；以及
一管道，耦接到该贮槽，其中该第一液体在该管道及该贮槽内部循环流动；以及
一浓度量测装置，包含：
一导管，耦接到该管道并用以从该管道递送该第一液体；
一冷却器，覆盖该导管以冷却由该导管递送的该第一液体；
一浓度计，用以量测由该冷却器冷却的该第一液体的一浓度；以及
一风扇，设置在该浓度计的一侧面以冷却该浓度量测装置。
6.根据权利要求5所述的冷却***，其特征在于，该清洁装置进一步包含用于控制该第一液体在该管道中的一流动路径的至少一空气阀门，并且将用于控制该至少一空气阀门的空气递送到该冷却器来用于控制由该导管递送的该第一液体。
7.根据权利要求5所述的冷却***，其特征在于，该浓度量测装置进一步包含：
一泵，耦接到该冷却器及该浓度计，其中该泵用以移动该冷却器中的一第二液体，以冷却由该导管递送的该第一液体，并且根据该第一液体的该浓度将该第二液体提供到该管道中。
8.根据权利要求5所述的冷却***，其特征在于，该浓度量测装置进一步包含：
一第一泵，耦接到该浓度计，其中该第一泵用以根据该第一液体的该浓度将一第二液体提供到该管道中；以及
一第二泵，耦接到该冷却器并且邻近该浓度计设置，其中该第二泵与该第一泵并联设置，其中该第二泵用以移动该冷却器中的该第二液体以冷却由该导管递送的该第一液体。
9.一种冷却方法，其特征在于，包含：
经由一导管从一贮槽导出处于一第一温度的一第一液体；
通过覆盖该导管的一冷却器，将由该导管递送的该第一液体冷却到一第二温度；
量测处于该第二温度的该第一液体的一浓度，该第一液体是由该导管递送；
根据该第一液体的该浓度将一第二液体提供到该贮槽中；以及
将该第一液体加热到该第一温度以移除由制造流程产生的一半导体装置的复数残余物。
10.根据权利要求9所述的冷却方法，其特征在于，通过覆盖该导管的该冷却器，将由该导管递送的该第一液体冷却到该第二温度包含：
通过包含围绕该导管设置的一螺旋软管的一水冷却设备，将由该导管递送的该第一液体冷却到该第二温度。
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