JP2008093529A - 洗浄装置及び洗浄方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】給液部材70から洗浄液46が供給される洗浄槽37と、洗浄槽37から溢れた洗浄液が流入するオーバーフロー槽38と、洗浄槽37及びオーバーフロー槽38の一方又は両方の洗浄液を排出制御する洗浄液排出制御機構と、排出された洗浄液をろ過した後に給液部材70に導く循環経路43A,43Bとを有し、前記の洗浄液排出制御機構が、洗浄槽37の最下層部から洗浄液46を排出する第1排出口11A,11B,11Cと、オーバーフロー槽38から洗浄液を排出する第2排出口12と、第1排出口から排出される洗浄液46の液流制御を行う第1バルブ21と、第2排出口12から排出される洗浄液の液流制御を行う第2バルブ22とを備える洗浄装置1により、上記課題を解決する。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の洗浄装置の一例を示す模式的な正面図であり、図2は、図1に示す洗浄装置の模式的な側面図である。本発明の洗浄装置1は、図1及び図2に示すように、給液部材70(図示の例ではシャワー洗浄部材)から洗浄液46が供給される洗浄槽37と、洗浄槽37から溢れた洗浄液が流入するオーバーフロー槽38と、洗浄槽37及びオーバーフロー槽38の一方又は両方の洗浄液を排出制御する洗浄液排出制御機構と、排出された洗浄液をろ過した後に給液部材70に導く循環経路43A,43Bとを有している。そして、洗浄液排出制御機構が、洗浄槽37の最下層部から洗浄液46を排出する第1排出口11A,11B,11C(以下、総称する場合は符号11を用いる。)と、オーバーフロー槽38から洗浄液46を排出する第2排出口12と、第1排出口から排出される洗浄液46の液流制御を行う第1バルブ21と、第2排出口12から排出される洗浄液46の液流制御を行う第2バルブ22とを備えている。なお、図1及び図2の例では、給液部材70として図示の形態のシャワー洗浄部材を用い、また、ワーク44の取付冶具10として図示の形態の冶具を用いているが、本発明の洗浄装置1は図示の形態に限定されず、種々の形態からなる洗浄装置に適用可能である。
次に、本発明の洗浄方法について説明する。本発明の洗浄方法は、上述した本発明に係る洗浄装置1で行う洗浄方法であって、洗浄液排出制御機構が、第1バルブ21を開くと共に第2バルブ22を閉じ若しくは絞る第1の排出制御手段と、第1バルブ21を開くと共に第2バルブ22を開く第2の排出制御手段と、第1バルブ21を閉じると共に第2バルブ22を開く第3の排出制御手段とから選ばれる1又は2以上を有し、前記いずれかの手段の実行状態で洗浄液46を循環させる方法である。さらに必要に応じて、第3バルブ23を開く第4の排出制御手段を、第2又は第3の排出制御手段と同時に実行する方法である。この内容については、上記第1から第4の洗浄液排出制御手段の箇所で説明したので、ここではその説明を省略する。
本発明の要旨は上述したとおりであるが、以下では、洗浄装置の一実施形態についてさらに詳しく説明する。なお、上記において既に説明した内容は省略する。図3は、洗浄槽37を有する洗浄装置の一例を示す模式的な構成図である。
図1及び図2に示す形態からなる洗浄装置1を用い、第1バルブ21と第2バルブ22を操作した際の洗浄槽37内に存在する0.5μm以上のパーティクルの数を測定した。用いた洗浄装置1としては、超音波洗浄機60が底部に設置された洗浄槽37(オーバーフロー時の洗浄液容量:10リットル)にHFE(ハイドロ・フルオロ・エーテル)を洗浄液46として循環させた。循環経路43A,43Bに設けられたフィルタ42として、1μmフィルタと0.1μmのフィルタを併用し、10リットル/分の循環流量で循環させた。
実施例1と同様のパーティクル測定を行った。この実施例2は、第1バルブ(V1)21と第2バルブ(V2)22の両方を開け、オーバーフロー状態を維持しつつ第1排出口11からも洗浄液46を排出した。なお、第1排出口11からの排出量は、オーバーフロー量の1/2とした。それ以外は実施例1と同様の測定装置及び測定条件で行った。その結果を図4に併せて示した。図4に示すように、第1バルブ(V1)21と第2バルブ(V2)22を開けた状態での洗浄では、ワーク44の1分間の洗浄によりパーティクルの数は上昇したが、ワーク44を引き上げた後の循環によりパーティクルの数は時間の経過と共に顕著に減少した。また、実施例2では、実施例1に比べて、洗浄中であってもパーティクル数を低く抑えることができた。
10 取付冶具
11,11A,11B,11C 第1排出口
12 第2排出口
13 第3排出口
21 第1バルブ
22 第2バルブ
23 第3バルブ
28 水分離槽
37 洗浄槽
38 オーバーフロー槽
40 冷却装置
41 循環ポンプ
42 フィルタ
43A,43B 循環経路
44 ワーク
46 洗浄液
48 蒸気
52 蒸気発生槽
53 ヒータ
54 配管
60 超音波洗浄手段
62 冷却器
64 冷却器
70 給液部材
71 洗浄液噴出孔
72 シャワー面
73 シャワー洗浄部材
74 液送管
101 液体洗浄領域
102 蒸気洗浄領域
103 蒸気洗浄冷却
110 支持板
111,112,113 配管
114 ワーク搬入搬出口
115 放熱用ファンモータ
Claims (10)
- 給液部材から洗浄液が供給される洗浄槽と、該洗浄槽から溢れた洗浄液が流入するオーバーフロー槽と、前記洗浄槽及び前記オーバーフロー槽の一方又は両方の洗浄液を排出制御する洗浄液排出制御機構と、排出された前記洗浄液をろ過した後に前記給液部材に導く循環経路とを有し、
前記洗浄液排出制御機構が、前記洗浄槽の最下層部から洗浄液を排出する第1排出口と、前記オーバーフロー槽から洗浄液を排出する第2排出口と、前記第1排出口から排出される洗浄液の液流制御を行う第1バルブと、前記第2排出口から排出される洗浄液の液流制御を行う第2バルブと、を備えることを特徴とする洗浄装置。 - 前記洗浄液排出制御機構が、前記洗浄槽の中間層部から洗浄液を排出する第3排出口と、該第3排出口から排出される洗浄液の液流制御を行う第3バルブとを更に備える、請求項1に記載の洗浄装置。
- 前記循環経路が、排出された洗浄液を給液部材側に送る循環ポンプと、排出された洗浄液をろ過するフィルタとを備える、請求項1又は2に記載の洗浄装置。
- 前記第1排出口が、前記洗浄槽の最下層部に複数設けられている、請求項1から3のいずれかに記載の洗浄装置。
- 前記給液部材が、ワークを洗浄するシャワー部材である、請求項1から4のいずれかに記載の洗浄装置。
- 前記洗浄槽が超音波洗浄手段を備える、請求項1から5のいずれかに記載の洗浄装置。
- 前記洗浄液は、フッ素系溶剤、臭素系溶剤、炭素系溶剤及び水系洗浄剤から選択される、請求項1から6のいずれかに記載の洗浄装置。
- 前記洗浄液排出制御機構は、前記第1バルブを開くと共に前記第2バルブを閉じ若しくは絞る第1の排出制御手段、前記第1バルブを開くと共に前記第2バルブを開く第2の排出制御手段、及び、前記第1バルブを閉じると共に前記第2バルブを開く第3の排出制御手段の1又は2以上を有する、請求項1から7のいずれかに記載の洗浄装置。
- 給液部材から洗浄液が供給される洗浄槽と、該洗浄槽から溢れた洗浄液が流入するオーバーフロー槽と、前記洗浄槽及び前記オーバーフロー槽の一方又は両方の洗浄液を排出制御する洗浄液排出制御機構と、排出された前記洗浄液をろ過した後に前記給液部材に導く循環経路とを有し、前記洗浄液排出制御機構が、前記洗浄槽の最下層部から洗浄液を排出する第1排出口と、前記オーバーフロー槽から洗浄液を排出する第2排出口と、前記第1排出口から排出される洗浄液の液流制御を行う第1バルブと、前記第2排出口から排出される洗浄液の液流制御を行う第2バルブとを備える洗浄装置で行う洗浄方法であって、
前記洗浄液排出制御機構が、前記第1バルブを開くと共に前記第2バルブを閉じ若しくは絞る第1の排出制御手段と、前記第1バルブを開くと共に前記第2バルブを開く第2の排出制御手段と、前記第1バルブを閉じると共に前記第2バルブを開く第3の排出制御手段とから選ばれる1又は2以上を有し、
前記いずれかの手段の実行状態で洗浄液が循環することを特徴とする洗浄方法。 - 前記洗浄液排出制御機構が、前記洗浄槽の中間層部から洗浄液を排出する第3排出口と、該第3排出口から排出される洗浄液の液流制御を行う第3バルブとを更に備え、該第3バルブを開く第4の排出制御手段を、前記第2又は第3の排出制御手段と同時に実行する、請求項9に記載の洗浄方法。
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