CN110465922A - 一种便于基片自动翻转的镀膜机件 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 45
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims abstract description 20
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims abstract description 20
- 108060008539 Transglutaminase Proteins 0.000 claims description 2
- 102000003601 transglutaminase Human genes 0.000 claims description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 abstract description 3
- 238000007747 plating Methods 0.000 abstract description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 2
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 230000006837 decompression Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
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Abstract
本发明提出的一种便于基片自动翻转的镀膜机件，通过设置通过第一机械臂和第二机械臂动作调节第一夹爪和第二夹爪的距离，从而使第一夹爪和第二夹爪配合夹持翻转板，通过第六机械臂和第七机械臂同时转动带动翻转板翻转从而可对固定在翻转板上的基片进行双面镀膜，通过第四机械臂和第五机械臂调节所夹持的翻转板的高度以适应不同的镀膜要求，通过第一机械臂转动带动翻转板转动，从而对基片进行均匀镀膜，有效提高镀膜效率和镀膜质量。
Description
技术领域
本发明涉及镀膜设备技术领域，具体涉及一种便于基片自动翻转的镀膜机件。
背景技术
目前，在对工件在进行真空镀膜时，常常需要两面膜层为相同的材料，但是由于缺乏相应的翻转夹持工装，像是在对工件进行双面镀膜时，需要人工进行翻转，才能够完成工件的双面镀膜，而在人工进行翻转的过程中，由于由于工件双面镀膜时要两次进出镀膜机，两次减压抽真空，并且中途打开一次，步骤多镀膜效率低，且难以保证镀膜的洁净度，进而影响板材的镀膜质量。而且每次只能用于对一个工件进行镀膜，效率较低。
发明内容
基于背景技术存在的技术问题，本发明提出的一种便于基片自动翻转的镀膜机件。
本发明提出的一种便于基片自动翻转的镀膜机件，包括箱体、第一机械臂、第二机械臂、第三机械臂、第四机械臂、第五机械臂、第五机械臂、第五机械臂、第一夹爪、第二夹爪和翻转板；
第一机械臂沿竖直方向布置，第一机械臂第一端安装在箱体内部顶部且可沿自身轴线转动设置，第一机械臂第二端与连接杆中部固定连接，
第二机械臂安装在连接杆第一端且可相对于连接杆沿连接杆的长度方向活动，第三机械臂安装在连接杆第二端且可相对于连接杆沿连接杆的长度方向活动；
第四机械臂安装在第二机械臂第二端且可相对于第二机械臂沿竖直方向活动，第六机械臂与第二机械臂平行布置，第六机械臂安装在第四机械臂第二端且可沿自身轴线转动；
第五机械臂安装在第三机械臂第二端且可相对于第三机械臂沿竖直方向活动，第七机械臂与第三机械臂平行布置，第七机械臂安装在第五机械臂第二端且可沿自身轴线转动，
第一夹爪安装在第六机械臂第二端，第二夹爪安装在第七机械臂第二端，第一夹爪与第二夹爪相对设置，第一夹爪和第二夹爪配合以夹持翻转板。
优选地，还包括控制器，第二机械臂第二端设有用于检测第二机械臂第二端到第一机械臂的水平距离的第一距离检测器，第三机械臂第二端设有用于检测第三机械臂第二端到第一机械臂的水平距离的第二距离检测器；
第四机械臂第二端设有用于检测第四机械臂第二端到连接杆的竖直距离的第三距离检测器，第五机械臂第二端设有用于检测第五机械臂第二端到连接杆的竖直距离的第四距离检测器；
第一距离检测器、第二距离检测器、第三距离检测器和第四距离检测器信号连接控制器，控制器分别控制连接第一机械臂、第二机械臂、第三机械臂、第四机械臂、第五机械臂、第六机械臂、第七机械臂、第一夹爪和第二夹爪。
优选地，翻转板包括翻转基板和压板，翻转基板开设有至少一个用于容纳基片的第一阶梯通槽，压板上对应第一阶梯通槽处设有第二阶梯通槽，第一阶梯通槽的台阶和第二阶梯通槽的台阶相对设置，第二阶梯通槽的台阶处弹性连接有用于压紧基片的压片，翻转基板与压板可拆卸固定连接。
优选地，翻转基板四周分别设有螺纹孔，压板上对应螺纹孔处开设有台阶通孔，台阶通孔具有沉头孔部和通孔部，沉头孔的内径大于通孔的孔径，通孔部的孔径大于螺纹孔的内径，沉头孔内设有螺栓，螺栓前端穿过通孔部与对应的螺纹孔螺纹连接。
优选地，凸台顶面上开设有至少一个盲孔，盲孔的孔底部固定连接有弹性件，弹性件一端伸出盲孔与压片固定连接。
优选地，第一夹爪包括第一底座、第一固定夹爪、第一活动夹爪、第一导向柱和第一驱动组件，第一底座安装在第六机械臂第二端，第一固定夹爪与第一底座底部固定连接，第一导向柱竖直布置，第一导向柱第二端与第一底座顶部固定连接，第一活动夹爪与第一导向柱滑动连接，第一固定夹爪的夹持面与第一活动夹爪的夹持面相对设置，驱动组件驱动连接第一活动夹爪以驱动第一活动夹爪向第一固定夹爪靠近或远离；
第二夹爪包括第二底座、第二固定夹爪、第二活动夹爪、第二导向柱和第二驱动组件，第二底座安装在第七机械臂第二端，第二固定夹爪与第二底座底部固定连接，第二导向柱竖直布置，第二导向柱第二端与第二底座顶部固定连接，第二活动夹爪与第二导向柱滑动连接，第二固定夹爪的夹持面与第二活动夹爪的夹持面相对设置，驱动组件驱动连接第二活动夹爪以驱动第二活动夹爪向第二固定夹爪靠近或远离；
控制器分别控制连接第一驱动组件和第二驱动组件。
优选地，第一驱动组件包括第一夹爪气缸，第一夹爪气缸的缸体固定在第一固定夹爪上，第一夹爪气缸的活塞杆与第一活动夹爪连接；
第二驱动组件包括第二夹爪气缸，第二夹爪气缸的缸体固定在第二固定夹爪上，第二夹爪气缸的活塞杆与第二活动夹爪连接；
控制器分别控制连接第一夹爪气缸和第二夹爪气缸。
本发明提出的一种便于基片自动翻转的镀膜机件，通过设置通过第一机械臂和第二机械臂动作调节第一夹爪和第二夹爪的距离使第一夹爪和第二夹爪相互靠近以夹持翻转板，第一、第二夹爪气缸工作使第一夹爪和第二夹爪配合夹紧翻转板，通过第六机械臂和第七机械臂同时转动带动翻转板翻转从而可对固定在翻转板上的基片进行双面镀膜，通过第四机械臂和第五机械臂调节所夹持的翻转板的高度以适应不同的镀膜要求，通过第一机械臂转动带动翻转板转动，从而对基片进行均匀镀膜，有效提高镀膜效率和镀膜质量。
附图说明
图1为本发明提出的一种便于基片自动翻转的镀膜机件的结构示意图。
图2为本发明提出的翻转板的的结构示意图。
图3为图2中的A处放大图。
具体实施方式
参照图1，本发明提出的一种便于基片自动翻转的镀膜机，包括箱体1、第一机械臂2、第二机械臂4、第三机械臂5、第四机械臂6、第五机械臂7、第六机械臂10、第七机械臂11、第一夹爪8、第二夹爪和翻转板9；
第一机械臂2沿竖直方向布置，第一机械臂2第一端安装在箱体1内部顶部且可沿自身轴线转动设置，第一机械臂2第二端与连接杆3中部固定连接；
第二机械臂4安装在连接杆3第一端且可相对于连接杆3沿连接杆3的长度方向活动，第三机械臂5安装在连接杆3第二端且可相对于连接杆3沿连接杆3的长度方向活动；
第四机械臂安装在第二机械臂4第二端且可相对于第二机械臂沿竖直方向活动，第六机械臂10与第二机械臂4平行布置，第六机械臂10安装在第四机械臂6第二端且可沿自身轴线转动；
第五机械臂7安装在第三机械臂5第二端且可相对于第三机械臂5沿竖直方向活动，第七机械臂11与第三机械臂5平行布置，第七机械臂11安装在第五机械臂5第二端且可沿自身轴线转动；
第一夹爪8安装在第六机械臂第二端，第二夹爪安装在第七机械臂11第二端，第一夹爪8与第二夹爪相对设置，第一夹爪8和第二夹爪配合夹持翻转板9。
本发明通过通过第一机械臂2和第二机械臂4动作调节第一夹爪8和第二夹爪的距离，从而使第一夹爪8和第二夹爪配合夹持翻转板9，通过第六机械臂10和第七机械臂11同时转动带动翻转板9翻转从而可对固定在翻转板9上的基片进行双面镀膜，通过第四机械臂6和第五机械臂7调节所夹持的翻转板的高度以适应不同的镀膜要求，通过第一机械臂2转动带动翻转板9转动，从而对基片进行均匀镀膜，有效提高镀膜效率和镀膜质量。
在本实施方式中，还包括控制器，第二机械臂4第二端设有用于检测第二机械臂4第二端到第一机械臂2的水平距离的第一距离检测器，第三机械臂5第二端设有用于检测第三机械臂5第二端到第一机械臂2的水平距离的第二距离检测器；
第四机械臂6第二端设有用于检测第四机械臂6第二端到第二机械臂4竖直距离的第三距离检测器，第五机械臂7第二端设有用于检测第五机械臂7第二端到第三机械臂5的竖直距离的第四距离检测器；
第一距离检测器、第二距离检测器、第三距离检测器和第四距离检测器信号连接控制器，控制器分别控制连接第一机械臂2、第二机械臂4、第三机械臂5、第四机械臂6、第五机械臂7、第六机械臂10、第七机械臂11、第一夹爪8和第二夹爪。通过控制器所接收的第一距离检测器、第二距离检测器、第三距离检测器和第四距离检测器的信息分别自动控制第一机械臂2、第二机械臂4、第三机械臂5、第四机械臂6、第五机械臂7、第六机械臂10、第七机械臂11、第一夹爪8和第二夹爪动作，不需要人工参与，提高工作效率和工作精度。
参照图2和图3，在本实施方式中，翻转板9包括翻转基板92和压板91，翻转基板92开设有至少一个用于容纳基片的第一阶梯通槽，压板1上对应第一阶梯通槽处设有第二阶梯通槽，第一阶梯通槽的台阶和第二阶梯通槽的台阶相对设置，第二阶梯通槽的台阶处弹性连接有用于压紧基片的压片93，翻转基板92与压板91可拆卸固定连接。通过压片93和第一阶梯通槽的台阶相配合以压紧基片。而且通过翻转基板92和压板91的配合可同时固定一个或多个基片。
在本实施方式中，翻转基板92四周分别设有螺纹孔，压板91上对应螺纹孔处开设有台阶通孔，台阶通孔具有沉头孔部和通孔部，沉头孔的内径大于通孔的孔径，通孔部的孔径大于螺纹孔的内径，沉头孔内设有螺栓，螺栓前端穿过通孔部与对应的螺纹孔螺纹连接。翻转基板92和压板91通过螺栓固定，沉头孔的设置可使螺栓的头部进入沉头孔以压紧压板91，避免螺栓头部突出于压板，影响镀膜。
在本实施方式中，第二阶梯通槽的台阶上开设有至少一个盲孔，盲孔的孔底部固定连接有弹性件，弹性件一端伸出盲孔与压片93固定连接。通过弹性体的弹力使压片93和第一阶梯通槽的台阶配合将基片固定，由于弹性体具有弹力，可具有缓冲减震作用，减少翻转板9翻转时而产生的振动。
在本实施方式中，第一夹爪8包括第一底座、第一固定夹爪、第一活动夹爪、第一导向柱和第一驱动组件，第一底座安装在第六机械臂10第二端，第一固定夹爪与第一底座底部固定连接，第一导向柱竖直布置，第一导向柱第二端与第一底座顶部固定连接，第一活动夹爪与第一导向柱滑动连接，第一固定夹爪的夹持面与第一活动夹爪的夹持面相对设置，驱动组件驱动连接第一活动夹爪以驱动第一活动夹爪向第一固定夹爪靠近或远离，使第一活动夹爪与第一固定夹爪配合实现夹紧与张开以夹紧翻转板8和松开翻转板8；
第二夹爪包括第二底座、第二固定夹爪、第二活动夹爪、第二导向柱和第二驱动组件，第二底座安装在第七机械臂11第二端，第二固定夹爪与第二底座底部固定连接，第二导向柱竖直布置，第二导向柱第二端与第二底座顶部固定连接，第二活动夹爪与第二导向柱滑动连接，第二固定夹爪的夹持面与第二活动夹爪的夹持面相对设置，驱动组件驱动连接第二活动夹爪以驱动第二活动夹爪向第二固定夹爪靠近或远离，使第二活动夹爪与第二固定夹爪配合实现夹紧与张开以夹紧翻转板8和松开翻转板8；
控制器分别控制连接第一驱动组件和第二驱动组件以自动完成翻转板8的夹持和松开。
在本实施方式中，第一驱动组件包括第一夹爪气缸，第一夹爪气缸的缸体固定在第一固定夹爪上，第一夹爪气缸的活塞杆与第一活动夹爪连接；
第二驱动组件包括第二夹爪气缸，第二夹爪气缸的缸体固定在第二固定夹爪上，第二夹爪气缸的活塞杆与第二活动夹爪连接；
控制器分别控制连接第一夹爪气缸和第二夹爪气缸。
具体的，控制器控制第一夹爪气缸工作，第一夹爪气缸的活塞杆带动第一活动夹爪沿第一导向柱向第一固定夹爪靠近或远离，使第一活动夹爪与第一固定夹爪配合实现夹紧与张开；控制器第二夹爪气缸工作，第二夹爪气缸的活塞杆带动第二活动夹爪沿第二导向柱向第二固定夹爪靠近或远离，使第二活动夹爪与第二固定夹爪配合实现夹紧与张开。
以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种便于基片自动翻转的镀膜机，其特征在于，包括箱体(1)、第一机械臂(2)、第二机械臂、第三机械臂、第四机械臂(6)、第五机械臂(7)、第六机械臂(10)、第七机械臂(11)、第一夹爪(8)、第二夹爪和翻转板(9)；
第一机械臂(2)沿竖直方向布置，第一机械臂(2)第一端安装在箱体(1)内部顶部且可沿自身轴线转动设置，第一机械臂(2)第二端与连接杆(3)中部固定连接；
第二机械臂(4)安装在连接杆(3)第一端且可相对于连接杆(3)沿连接杆(3)的长度方向活动，第三机械臂(5)安装在连接杆(3)第二端且可相对于连接杆(3)沿连接杆(3)的长度方向活动；
第四机械臂(6)安装在第二机械臂(4)第二端且可相对于第二机械臂(4)沿竖直方向活动，第六机械臂(10)与第二机械臂(4)平行布置，第六机械臂(10)安装在第四机械臂(6)第二端且可沿自身轴线转动；
第五机械臂(7)安装在第三机械臂(5)第二端且可相对于第三机械臂(5)沿竖直方向活动，第七机械臂(11)与第三机械臂(5)平行布置，第七机械臂(11)安装在第五机械臂(5)第二端且可沿自身轴线转动；
第一夹爪(8)安装在第六机械臂(10)第二端，第二夹爪安装在第七机械臂(11)第二端，第一夹爪(8)与第二夹爪相对设置，第一夹爪(8)和第二夹爪配合以夹持翻转板(9)。
2.根据权利要求1所述的便于基片自动翻转的镀膜机，其特征在于，还包括控制器，第二机械臂(4)第二端设有用于检测第二机械臂(4)第二端到第一机械臂(2)的水平距离的第一距离检测器，第三机械臂(5)第二端设有用于检测第三机械臂(5)第二端到第一机械臂(2)的水平距离的第二距离检测器；
第四机械臂(6)第二端设有用于检测第四机械臂(6)第二端到连接杆(3)的竖直距离的第三距离检测器，第五机械臂(7)第二端设有用于检测第五机械臂(7)第二端到连接杆(3)的竖直距离的第四距离检测器；
第一距离检测器、第二距离检测器、第三距离检测器和第四距离检测器信号连接控制器，控制器分别控制连接第一机械臂(2)、第二机械臂(4)、第三机械臂(5)、第四机械臂(6)、第五机械臂(7)、第一夹爪(8)和第二夹爪。
3.根据权利要求1所述的便于基片自动翻转的镀膜机，其特征在于，翻转板(9)包括翻转基板(92)和压板(91)，翻转基板(92)开设有至少一个用于容纳基片的第一阶梯通槽，压板(91)上对应第一阶梯通槽处设有第二阶梯通槽，第一阶梯通槽的台阶和第二阶梯通槽的台阶相对设置，第二阶梯通槽的台阶处弹性连接有用于压紧基片的压片(93)，翻转基板(92)与压板(91)可拆卸固定连接。
4.根据权利要求3所述的便于基片自动翻转的镀膜机，其特征在于，翻转基板(92)四周分别设有螺纹孔，压板(91)上对应螺纹孔处开设有台阶通孔，台阶通孔具有沉头孔部和通孔部，沉头孔的内径大于通孔的孔径，通孔部的孔径大于螺纹孔的内径，沉头孔内设有螺栓，螺栓前端穿过通孔部与对应的螺纹孔螺纹连接。
5.根据权利要求3所述的便于基片自动翻转的镀膜机，其特征在于，第二阶梯通槽的台阶上开设有至少一个盲孔，盲孔的孔底部固定连接有弹性件，弹性件一端伸出盲孔与压片(93)固定连接。
6.根据权利要求1所述的便于基片自动翻转的镀膜机，其特征在于，第一夹爪(8)包括第一底座、第一固定夹爪、第一活动夹爪、第一导向柱和第一驱动组件，第一底座安装在第六机械臂(10)第二端，第一固定夹爪与第一底座底部固定连接，第一导向柱竖直布置，第一导向柱第二端与第一底座顶部固定连接，第一活动夹爪与第一导向柱滑动连接，第一固定夹爪的夹持面与第一活动夹爪的夹持面相对设置，驱动组件驱动连接第一活动夹爪以驱动第一活动夹爪向第一固定夹爪靠近或远离；
第二夹爪包括第二底座、第二固定夹爪、第二活动夹爪、第二导向柱和第二驱动组件，第二底座安装在第七机械臂(11)第二端，第二固定夹爪与第二底座底部固定连接，第二导向柱竖直布置，第二导向柱第二端与第二底座顶部固定连接，第二活动夹爪与第二导向柱滑动连接，第二固定夹爪的夹持面与第二活动夹爪的夹持面相对设置，驱动组件驱动连接第二活动夹爪以驱动第二活动夹爪向第二固定夹爪靠近或远离；
控制器分别控制连接第一驱动组件和第二驱动组件。
7.根据权利要求6所述的便于基片自动翻转的镀膜机，其特征在于，第一驱动组件包括第一夹爪气缸，第一夹爪气缸的缸体固定在第一固定夹爪上，第一夹爪气缸的活塞杆与第一活动夹爪连接；
第二驱动组件包括第二夹爪气缸，第二夹爪气缸的缸体固定在第二固定夹爪上，第二夹爪气缸的活塞杆与第二活动夹爪连接；
控制器分别控制连接第一夹爪气缸和第二夹爪气缸。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201910712409.9A CN110465922A (zh) | 2019-08-02 | 2019-08-02 | 一种便于基片自动翻转的镀膜机件 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201910712409.9A CN110465922A (zh) | 2019-08-02 | 2019-08-02 | 一种便于基片自动翻转的镀膜机件 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN110465922A true CN110465922A (zh) | 2019-11-19 |
Family
ID=68509374
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201910712409.9A Pending CN110465922A (zh) | 2019-08-02 | 2019-08-02 | 一种便于基片自动翻转的镀膜机件 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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