CN110431933A - 元件安装机 - Google Patents

Abstract

本公开的元件安装机具备：安装头，拾取元件并向基材安装；头移动装置，使安装头与水平面平行地移动；及输送装置，沿着与水平面平行的输送方向输送基材。安装头具有：多个吸嘴，通过负压吸附并保持元件；多个切换阀，与多个吸嘴中的各吸嘴对应地设置，对是否向对应的吸嘴供给负压进行切换；吸嘴移动装置，使多个吸嘴移动，来变更使哪一个吸嘴位于用于进行元件的拾取及安装中的至少一方的第一吸嘴位置及第二吸嘴位置中的各吸嘴位置；及第一、第二驱动装置。第一、第二驱动装置具有第一、第二驱动源，通过来自第一、第二驱动源的驱动力来对与位于第一、第二吸嘴位置的吸嘴对应的切换阀进行切换。第二驱动源在与水平面平行且与输送方向正交的方向上从多个吸嘴观察时配置于与第一驱动源相反的一侧。

Description

元件安装机

技术领域

本公开涉及一种元件安装机。

背景技术

以往，已知有吸附元件并将其向基板等基材安装的元件安装机(例如专利文献1)。专利文献1所记载的元件安装机具备安装头及使安装头向水平面内的任意位置移动的XY机器人。安装头具备：多个元件吸嘴，通过负压来吸附元件；压力切换阀，将元件吸嘴内的压力切换为负压和大气压以上的压力；移动部件，用于对压力切换阀进行切换；及作为驱动源的线性马达，使移动部件移动。

现有技术文献

专利文献1：日本特开平10-163692号

发明内容

发明所要解决的课题

然而，在这样的元件安装机中，通过使安装头移动而使吸嘴向需要的位置移动。因此，需要使安装头的移动空间大于需要使吸嘴移动的区域。因而，存在安装头越大，则元件安装机越大的趋势。出于以上的观点，优选的是安装头较小。

本公开就是为了解决上述课题而作出，其主要目的在于能够使安装头小型化。

用于解决课题的技术方案

本公开为了实现上述主要目的而采取了以下的手段。

本公开的第一元件安装机具备：

安装头，拾取元件并向基材安装；

头移动装置，使上述安装头与水平面平行地移动；及

输送装置，沿着与上述水平面平行的输送方向输送上述基材，

上述安装头具有：

多个吸嘴，通过负压吸附并保持上述元件；

多个切换阀，与上述多个吸嘴中的各吸嘴对应地设置，对是否向对应的上述吸嘴供给负压进行切换；

吸嘴移动装置，使上述多个吸嘴移动，来变更使哪一个上述吸嘴位于用于进行上述元件的拾取及安装中的至少一方的第一吸嘴位置及第二吸嘴位置中的各吸嘴位置；

第一驱动装置，具有第一驱动源，通过来自该第一驱动源的驱动力对与位于上述第一吸嘴位置的上述吸嘴对应的上述切换阀进行切换；及

第二驱动装置，具有第二驱动源，通过来自该第二驱动源的驱动力对与位于上述第二吸嘴位置的上述吸嘴对应的上述切换阀进行切换，该第二驱动源在与上述水平面平行且与上述输送方向正交的方向上从上述多个吸嘴观察时配置于与上述第一驱动源相反的一侧。

在该第一元件安装机中，第一驱动源和第二驱动源以沿这与水平面平行且与基材的输送方向正交的方向夹着多个吸嘴的方式配置于相互相反的一侧。因此，在该第一元件安装机中，例如，与从多个吸嘴观察时第一驱动源和第二驱动源配置于同一侧的情况相比，能够实现安装头的小型化。在此，“与水平面平行”包括大致平行的情况。

附图说明

图1是表示元件安装机10的概略结构的立体图。

图2是表示安装头40的概略结构的说明图。

图3是表示Z轴驱动装置60的配置的俯视图。

图4是表示压力供给装置80的概略结构的说明图。

图5是表示吸嘴保持架42、滑阀46及阀驱动装置70的位置关系的说明图。

图6是图4中的B-B剖视图。

图7是表示阀驱动装置70切换滑阀46的状况的说明图。

图8是表示元件安装机10的电连接关系的说明图。

具体实施方式

以下，参照附图来说明本公开的元件安装机的实施方式。图1是表示元件安装机10的概略结构的立体图，图2是表示安装头40的概略结构的说明图，图3是表示Z轴驱动装置60的配置的俯视图，图4是表示压力供给装置80的概略结构的说明图。另外，图5是表示吸嘴保持架42、滑阀46及阀驱动装置70的位置关系的说明图，图6是图4的B-B剖视图，图7是表示阀驱动装置70切换滑阀46的状况的说明图，图8是表示元件安装机10的电连接关系的说明图。图5中的头主体41的剖视图是图4中的A-A剖视图。另外，图1中的左右方向是X轴方向，前(近前)后(进深)方向是Y轴方向，上下方向是Z轴方向。

元件安装机10是向作为基材的一例的基板12安装元件的装置。如图1所示，元件安装机10具备：基台11、元件供给装置20、基板输送装置25、XY机器人30、安装头40、零件相机28及控制装置90(参照图8)。

元件供给装置20以沿着与水平面(XY平面)平行的排列方向并列的方式设有多个。在本实施方式中，元件供给装置20配置于元件安装机10的前侧，将元件供给装置20的排列方向设为左右方向(X轴方向)。多个元件供给装置20分别构成为通过送出在每隔预定间隔地形成的收纳部中收纳有元件P的带而供给元件P的带式供料器。

基板输送装置25是沿着与水平面(XY平面)平行的输送方向输送基板12的装置。在本实施方式中，将输送方向设为左右方向(X轴方向)。如图1所示，基板输送装置25具有前后隔开间隔地设置且沿着左右方向架设的一对输送带26、26(在图1中仅示出一个)。当基板12被该输送带26、26沿着输送方向输送而到达了预定的导入位置时，在背面侧被多个立设的支撑销27支撑。

XY机器人30是使安装头40与水平面(XY平面)平行地移动的装置。如图1所示，XY机器人30具备沿着前后方向(Y轴方向)设置的左右一对的Y轴导轨33、33及架设于左右一对的Y轴导轨33、33的Y轴滑动件34。另外，XY机器人30具备沿着左右方向(X轴方向)设于Y轴滑动件34的前表面的X轴导轨31、31和安装于X轴导轨31、31的X轴滑动件32。X轴滑动件32能够通过X轴马达36(参照图8)的驱动而沿着X轴方向移动，Y轴滑动件34能够通过Y轴马达38(参照图8)的驱动而沿着Y轴方向移动。在X轴滑动件32上安装有安装头40。安装头40通过XY机器人30的移动而向XY平面上的任意位置移动。

安装头40是拾取元件并向基板12安装的装置。如图2所示，安装头40具备：壳体40a、框架40b、头主体41、吸嘴保持架42、吸嘴44及滑阀46。另外，安装头40具备：R轴驱动装置50、Q轴驱动装置54、Z轴驱动装置60、阀驱动装置70及压力供给装置80。壳体40a是安装头40的外装，形成为大致长方体形状。壳体40a的长方体的三条边分别沿着XYZ轴方向。在壳体40a的后侧安装有X轴滑动件32(参照图3)。另外，壳体40a可以局部(例如下表面)开口，也可以不完全覆盖安装头40的内部的构造体。框架40b配置于壳体40a内。

头主体41是圆柱状的旋转体。在头主体41中开设有多个保持架孔41a及滑阀孔41b。如图3及图5所示，吸嘴保持架42沿着头主体41的周向隔开预定间隔地设有多个，且配置于圆周上。由此，安装头40构成为旋转头。多个吸嘴保持架42中的各吸嘴保持架42贯通保持架孔41a，以能够上下移动的方式安装于头主体41。吸嘴44以可更换的方式安装于各吸嘴保持架42的前端部。吸嘴44经由吸嘴保持架42而安装于头主体41，并沿着头主体41的周向配置于圆周上。吸嘴44通过从压力供给装置80供给的负压的作用而在前端吸附并保持元件。吸嘴保持架42及吸嘴44所配置的圆周的中心与头主体41的中心一致。在本实施方式中，在头主体41分别各安装有12个吸嘴保持架42及吸嘴44。因此，相邻的吸嘴保持架42沿着头主体41的周向以30°的间隔配置。吸嘴44也相同。图5及图6所示的附图标记A～L是各吸嘴保持架42的识别标记，从位于图中的3点的位置的吸嘴保持架42起逆时针地分别称作A～L保持架。相同地，将安装于各A～L保持架的吸嘴44分别称作A～L吸嘴。

滑阀46在头主体41中配置有多个，多个滑阀46与吸嘴44分别对应地设置。滑阀46是对是否向对应的吸嘴44供给来自压力供给装置80的负压进行切换的切换阀。在本实施方式中，滑阀46对从压力供给装置80向吸嘴44供给负压还是供给负压进行切换。如图5及图6所示，滑阀46沿着头主体41的周向隔开预定间隔地设有多个，且配置于圆周上。多个滑阀46中的各滑阀46***于滑阀孔41b内，且以能够上下移动的方式安装于头主体41。如图4、图7所示，多个滑阀46中的各滑阀46具备：主体部，呈圆柱状，且直径小于滑阀孔41b的内径；及多个(在本实施方式中为五个)大径部47，直径大于主体部，且对滑阀孔41b内的空间进行划分。在本实施方式中，在头主体41使安装有12个(与吸嘴44数量相同)滑阀46。因此，相邻的滑阀46彼此沿着头主体41的周向以30°的间隔配置。图5、图6所示的附图标记a～l是各滑阀46的识别标记，从位于图的1点半的位置的滑阀46起逆时针地分别称作a～l阀。a～l阀分别与A～L吸嘴对应，切换向对应的吸嘴供给的负压的有无。根据图5、图6可知，多个滑阀46中的各滑阀46配置于相对于对应的吸嘴44偏离了头主体41的圆周的径向的位置。例如，a阀配置于相对于A吸嘴而从头主体41的圆周的径向(图5中的左右方向)在周向上逆时针地偏离了角度θ的位置。b～l阀也分别配置于相对于对应的B～L吸嘴而从径向偏离了角度θ的位置。在本实施方式中，将角度θ设为45°。另外，如上所述，相邻的吸嘴保持架42的间隔(吸嘴间距)为30°，因此45°相当于1.5吸嘴间距。

另外，多个滑阀46中的各滑阀46在下端具有操作杆49(参照图2、图4)。操作杆49是平板状的部件。操作杆49在前端具有接收来自阀驱动装置70的驱动力而***作的***作部49a。如图5所示，***作部49a是操作杆49中的在俯视下比头主体41向外侧突出的部分。通过该***作部49a接收来自阀驱动装置70的驱动力而滑阀46上下移动，切换负压向吸嘴44的供给的有无。多个***作部49a配置于与头主体41及多个吸嘴保持架42同心的圆周上。多个***作部49a中的各***作部49a相对于所安装的滑阀46而位于头主体41的径向外侧。换言之，***作部49a不相对于滑阀46偏离头主体41的径向，而沿着径向地配置。因此，a～l阀的***作部49a中的各***作部49a与a～l阀相同地配置于相对于对应的A～L吸嘴而从径向偏离了角度θ的位置。

R轴驱动装置50是使多个吸嘴44移动的吸嘴移动装置。该R轴驱动装置50具备：R轴51、R轴马达52及R轴位置传感器53(参照图8)。R轴51沿着上下方向延伸，下端安装于头主体41的中心轴。R轴51以旋转自如的方式支撑于框架40b。R轴马达52配置于R轴51的上方。R轴位置传感器53对R轴马达52的旋转位置进行检测。R轴驱动装置50通过R轴马达52驱动R轴51旋转，而使头主体41旋转。通过头主体41旋转，而多个吸嘴保持架42及多个吸嘴44与头主体41一起沿着圆周方向进行旋转移动(公转)。即，通过R轴驱动装置50进行驱动，而多个吸嘴保持架42及多个吸嘴44沿着以头主体41的旋转轴为中心的公转轨迹进行公转。另外，在头主体41上还安装有多个滑阀46，因此通过R轴驱动装置50进行驱动，而多个滑阀46也与多个吸嘴保持架42一体地进行旋转移动(公转)。另外，R轴驱动装置50能够通过使头主体41每次间歇旋转预定角度(例如一吸嘴间距的量即30°)而使吸嘴44每次间歇地公转预定角度。

在此，在吸嘴44的公转轨迹上规定有用于吸嘴44进行元件从元件供给装置20的拾取和元件向基板12的安装中的至少一方的第一吸嘴位置N1及第二吸嘴位置N2。在本实施方式中，在俯视下图5中的A吸嘴的位置(3点的方向)是第一吸嘴位置N1，G吸嘴的位置(9点的方向)是第二吸嘴位置N2。第一吸嘴位置N1、第二吸嘴位置N2是相互夹着吸嘴44的公转轨迹的中心轴而左右相向的位置。第一吸嘴位置N1、第二吸嘴位置N2是吸嘴44的公转轨迹上的右端及左端的位置。R轴驱动装置50通过使头主体41旋转而对A～L吸嘴中的哪一个吸嘴44位于第一吸嘴位置N1、第二吸嘴位置N2中的各吸嘴位置进行变更。

另外，在***作部49a的公转轨迹上规定有第一操作位置W1、第二操作位置W2，作为用于从阀驱动装置70操作***作部49a的位置。第一操作位置W1、第二操作位置W2分别被规定为与位于第一吸嘴位置N1、第二吸嘴位置N2的吸嘴44对应的***作部49a的位置。例如，在图5中位于第一吸嘴位置N1的是A吸嘴，因此在该状态下与A吸嘴对应的a阀的***作部49a的位置是第一操作位置W1。因此，第一吸嘴位置N1与第一操作位置W1的位置关系与上述A～L吸嘴和对应的a～l阀的***作部49a的位置关系相同，从头主体41的径向偏离了角度θ。R轴驱动装置50通过使头主体41旋转，来变更使a～l阀中的哪个***作部49a位于第一操作位置W1、第二操作位置W2中的各操作位置。另外，R轴驱动装置50使A～L吸嘴与a～l阀一体地旋转，因此即使A～L中的某一个吸嘴44位于第一吸嘴位置N1、第二吸嘴位置N2中的各吸嘴位置，与该吸嘴44对应的滑阀46的***作部49a也位于第一操作位置W1、第二操作位置W2。

Q轴驱动装置54是使多个吸嘴44同步地旋转(自转)的机构。如图2所示，该Q轴驱动装置54具备：上下两段的Q轴齿轮55、56、齿轮57a、57b、Q轴马达58及Q轴位置传感器59(参照图8)。在上下两段的Q轴齿轮55、56中同轴地插通有R轴51，且Q轴齿轮55、56与R轴51构成为能够相对旋转。齿轮57a设于各吸嘴保持架42的上部，以能够沿着上下方向滑动的方式与下段的Q轴齿轮55啮合。Q轴马达58驱动与上段的Q轴齿轮56啮合的齿轮57b旋转。Q轴位置传感器59对Q轴马达58的旋转位置进行检测。Q轴驱动装置54通过Q轴马达58来驱动Q轴齿轮55、56旋转，从而使与Q轴齿轮55啮合的齿轮57a旋转，使各吸嘴保持架42绕着其中心轴向同一旋转方向旋转同一旋转量(旋转角度)。随之，多个吸嘴44也相互同步地自转。

Z轴驱动装置60是使吸嘴保持架42及吸嘴44沿着Z轴方向移动(上下移动)的装置。Z轴驱动装置60能够使位于吸嘴保持架42的公转轨迹上的第一吸嘴位置N1、第二吸嘴位置N2的吸嘴保持架42单独地进行升降，具备使位于第一吸嘴位置N1的吸嘴保持架42进行升降的第一Z轴驱动装置60a和使位于第二吸嘴位置N2的吸嘴保持架42进行升降的第二Z轴驱动装置60b。第一Z轴驱动装置60a、第二Z轴驱动装置60b以为夹着头主体41的左右方向上的中央而左右相向的方式设置。另外，第一Z轴驱动装置60a、第二Z轴驱动装置60b构成为相互左右对称。第一Z轴驱动装置60a具备：Z轴移动体61、Z轴马达64及Z轴位置传感器65(参照图8)。Z轴移动体61是平板状的部件，以能够进行升降的方式安装于沿着上下方向延伸的滚珠丝杠63。在Z轴移动体61中的前侧的部分配置有夹持部62，上述夹持部62在上下夹持配置于吸嘴保持架42的上端附近并沿着水平方向延伸的卡合片42a。Z轴马达64通过使滚珠丝杠63旋转而使Z轴移动体61进行升降。Z轴位置传感器65对Z轴移动体61的上下方向上的位置进行检测。第一Z轴驱动装置60a驱动Z轴马达64而使Z轴移动体61沿着滚珠丝杠63进行升降，从而使与Z轴移动体61一体化的吸嘴保持架42及吸嘴44进行升降。第二Z轴驱动装置60b具备Z轴移动体61、滚珠丝杠63、Z轴马达64，这些的结构与第一Z轴驱动装置60a相同，因此省略说明。另外，当吸嘴保持架42公转而停止在第一吸嘴位置N1、第二吸嘴位置N2时，各吸嘴保持架42的卡合片42a被第一Z轴驱动装置60a、第二Z轴驱动装置60b的夹持部62夹持。因此，第一Z轴驱动装置60a、第二Z轴驱动装置60b分别使位于第一吸嘴位置N1、第二吸嘴位置N2的吸嘴保持架42及吸嘴44进行升降。由此，位于第一吸嘴位置N1、第二吸嘴位置N2的吸嘴44下降而拾取元件供给装置20的元件或者下降而向基板12安装元件。另外，当吸嘴保持架42公转而从第一吸嘴位置N1、第二吸嘴位置N2移动时，该吸嘴保持架42的卡合片42a离开第一Z轴驱动装置60a、第二Z轴驱动装置60b的夹持部62。

另外，在本实施方式中，第一Z轴驱动装置60a、第二Z轴驱动装置60b的Z轴马达64、64均配置于在前后方向上比头主体41的中央靠后方处(参照图3)。由此，Z轴马达64、64均配置于在安装头40中比较靠近X轴滑动件32的位置。这样一来，与例如将Z轴马达64中的一个以上配置于比头主体41的中央靠前方处的情况相比，能够使安装头40的重心更靠近后方的X轴滑动件32。由此，能够抑制安装头40通过X轴滑动件32而沿着X轴方向移动时的上下颠簸(绕着X轴的旋转)。

阀驱动装置70是进行滑阀46的切换的装置。阀驱动装置70能够单独地切换与位于第一吸嘴位置N1、第二吸嘴位置N2的吸嘴44对应的滑阀46。如图5所示，阀驱动装置70具备：第一阀驱动装置70a，对与位于第一吸嘴位置N1的吸嘴44对应的滑阀46进行切换；及第二阀驱动装置70b，对与位于第二吸嘴位置N2的吸嘴44对应的滑阀46进行切换。第一阀驱动装置70a、第二阀驱动装置70b以夹着头主体41而相向的方式设置。另外，第一阀驱动装置70a、第二阀驱动装置70b被配置为以头主体41的中心轴为中心成为双重对称。

第一阀驱动装置70a具备驱动源71及驱动力传递机构73。驱动源71构成为例如步进马达，具有驱动轴72。驱动源71形成为驱动轴72的轴向(在此为左右方向)为长度方向的大致长方体形状。驱动源71相对于头主体41配置于在俯视下与驱动源71的长度方向及驱动轴72的轴向正交的方向上(在此为后方)。驱动力传递机构73是将来自驱动源71的驱动力向位于第一操作位置W1的***作部49a传递的机构。驱动力传递机构73具备：转换机构74、直线移动部76及导轨79。转换机构74具有：板状部件，以使驱动轴72贯通中央的方式安装于驱动轴72；及圆柱状的突起部75，从该板状部件中的偏离了驱动轴72的旋转轴的位置向右方向突出。转换机构74通过输出至驱动轴72的旋转驱动力而旋转，并将该旋转运动转换为直线移动部76的上下方向上的直线运动。直线移动部76是基于来自驱动源71的驱动力而进行直线移动的部件。直线移动部76是连接多个(在此为两个)板状部件的部件，在一端侧具有夹持并卡合突起部75的突起卡合部77，在另一端侧具有夹持并卡合位于第一操作位置W1的***作部49a的杆卡合部78。构成直线移动部76的板状部件中的、包含突起卡合部77的板状部件被配置为沿着前后方向的方向，包括杆卡合部78在内的板状部件被配置成沿着头主体41的径向的方向。导轨79沿着上下方向设置，安装于设于驱动源71的右侧的部件。在导轨79的右侧直线移动部76以能够上下移动的方式安装，导轨79允许直线移动部76的上下方向上的直线移动并支撑直线移动部76。

在该第一阀驱动装置70a中，当驱动源71输出了驱动力时，转换机构74与驱动轴72一起旋转，由此，与突起部75卡合的直线移动部76向上下进行直线移动。通过该直线移动，直线移动部76的突起卡合部77使位于第一操作位置W1的***作部49a向上下移动。通过***作部49a向上下移动，而滑阀46也向上下移动，滑阀46的状态被切换。图7A是第一阀驱动装置70a使***作部49a上升后的状态的图，图7B是第一阀驱动装置70a使***作部49a下降后的状态的图。第二阀驱动装置70b具备驱动源71及驱动力传递机构73，它们的结构与第一阀驱动装置70a相同，因此省略说明。另外，当滑阀46公转而其***作部49a停止在第一吸嘴位置N1、第二吸嘴位置N2时，各***作部49a被第一阀驱动装置70a、第二阀驱动装置70b的杆卡合部78夹持。另外，当滑阀46公转而其***作部49a从第一吸嘴位置N1、第二吸嘴位置N2移动时，***作部49a离开第一阀驱动装置70a、第二阀驱动装置70b的杆卡合部78。

另外，第二阀驱动装置70b的驱动源71在与水平面(XY平面)平行且与基板12的输送方向正交的方向(在此为Y轴方向即前后方向)上从多个吸嘴44处观察时配置于与第一阀驱动装置70a的驱动源71相反的一侧。换言之，第一阀驱动装置70a、第二阀驱动装置70b的驱动源71、71以在俯视下沿前后方向夹着多个吸嘴44的方式配置于相互相反的一侧。另外，在本实施方式中，前后方向也是与水平面平行且与元件供给装置20的排列方向正交的方向。

压力供给装置80是向多个吸嘴44至少供给负压的装置，在本实施方式中，供给负压及正压。另外，压力供给装置80向多个吸嘴44中的各吸嘴44供给负压还是正压由与各个吸嘴44对应的滑阀46进行切换。如图4所示，压力供给装置80具备：正压源81a、负压源81b、框架通路82a、82b、头通路83a、83b、正压导入通路84a、负压导入通路84b、正压供给通路87a及负压供给通路87b。

正压源81a构成为例如压缩机。负压源81b构成为例如真空泵。正压源81a及负压源81b的至少一方也可以配置于安装头40的外部或者元件安装机10的外部等。框架通路82a、82b均形成于安装头40的框架40b内，分别与正压源81a及负压源81b连接。头通路83a、83b分别与框架通路82a、82b连通，以沿着R轴51及头主体41的中心轴向延伸的方式形成。另外，如图4及图6所示，头通路83a是包括R轴51及头主体41的中心轴的圆柱状的通路。头通路83b作为从头通路83a分离并包围其周围的圆筒状(剖面为环状)的通路，与头通路83a同轴地形成。

正压导入通路84a以与头通路83a连通且从头主体41的中心轴向径向外侧呈放射状地延伸的方式形成多个(参照图5)。多个正压导入通路84a中的各正压导入通路84a与多个滑阀46中的各滑阀46对应地形成，向***有对应的滑阀46的滑阀孔41b呈直线地延伸而与该滑阀孔41b内连通。多个正压导入通路84a中的各正压导入通路84a以避开多个吸嘴保持架42及保持架孔41a的方式形成。例如，从头通路83a延伸至a阀的正压导入通路84a以在俯视下通过B保持架与C保持架之间的方式配置。

负压导入通路84b以与头通路83b连通且从头主体41的中心轴侧向外侧呈放射状地延伸的方式形成多个。多个负压导入通路84b中的各负压导入通路84b与多个滑阀46中的各滑阀46对应地配置，向***有对应的滑阀46的滑阀孔41b呈直线地延伸而与该滑阀孔41b内连通。多个负压导入通路84b中的各负压导入通路84b位于与相同的滑阀46对应的正压导入通路84a的正上方(参照图4)，与正压导入通路84a相同地以避开多个吸嘴保持架42及保持架孔41a的方式形成。

正压供给通路87a在头主体41的内部形成多个，分别与多个滑阀46中的各滑阀46对应地形成。多个正压供给通路87a中的各正压供给通路87a以连接相互对应的吸嘴保持架42与滑阀46之间(例如A保持架与a阀之间)的方式形成(参照图5)，使保持架孔41a与滑阀孔41b连通。

负压供给通路87b在头主体41的内部形成多个，分别与多个滑阀46中的各滑阀46对应地形成。负压供给通路87b分别具备从对应的滑阀46向与该滑阀46对应的吸嘴保持架42水平地延伸的通路(参照图6)及从该通路至正压供给通路87a而向正下方延伸的通路(参照图7)。负压供给通路87b中的、向正下方延伸的通路的下端与正压供给通路87a连通。即，负压供给通路87b与从相同的滑阀孔41b起延伸的正压供给通路87a合流，经由该正压供给通路87a而与保持架孔41a连通。

对从该阀驱动装置70向吸嘴44供给的压力的切换进行说明。如图7A所示，在滑阀46位于上升的位置的状态下，滑阀46使正压导入通路84a与正压供给通路87a经由滑阀孔41b而连通。另外，滑阀46通过大径部47在滑阀孔41b内进行划分而切断负压导入通路84b与负压供给通路87b之间的连通。由此，来自正压源81a的正压经由框架通路82a、头通路83a、正压导入通路84a、滑阀孔41b及正压供给通路87a而向保持架孔41a内供给。并且，保持架孔41a内的正压经由形成于吸嘴保持架42的侧面的孔而向吸嘴保持架42内供给，从而向吸嘴44的前端供给正压。另一方面，如图7B所示，在滑阀46位于下降的位置的状态下，滑阀46通过大径部47在滑阀孔41b内进行划分而切断正压导入通路84a与正压供给通路87a的连通。另外，滑阀46经由滑阀孔41b而使负压导入通路84b与负压供给通路87b连通。由此，来自负压源81b的负压经由框架通路82b、头通路83b、负压导入通路84b、滑阀孔41b、负压供给通路87b及正压供给通路87a而向保持架孔41a内供给。因此，向吸嘴44的前端供给负压。这样，当滑阀46位于上升位置时，向与该滑阀46对应的吸嘴44供给正压，当滑阀46位于下降位置时，向对应的吸嘴44供给负压。

如图1所示，零件相机28设于元件供给装置20与基板输送装置25之间。零件相机28从下方拍摄吸附于吸嘴44的元件的姿势。

如图8所示，控制装置90构成为以CPU91为中心的微处理器，除了CPU91以外，还具备ROM92、HDD93、RAM94、输入输出接口95等。它们经由总线96而连接。经由输入输出接口95而向控制装置90输入来自X轴、Y轴位置传感器37、39、R轴位置传感器53、Q轴位置传感器59、及Z轴位置传感器65、65的检测信号、及来自零件相机28的图像信号等。另外，从控制装置90经由输入输出接口95而输出对于元件供给装置20、基板输送装置25、X轴、Y轴马达36、38、R轴马达52、Q轴马达58、Z轴马达64、64、驱动源71、71及零件相机28的控制信号等。

接下来，对元件安装机10进行生产处理时的动作进行说明。控制装置90的CPU91基于从未图示的管理装置接收到的生产程序，控制元件安装机10的各部，生产安装有多个元件的基板12。另外，在生产处理开始时，多个滑阀46均位于上升位置。在生产处理中，首先，CPU91使安装头40向元件供给装置20的上方移动。接着，CPU91进行使多个吸嘴44中的各吸嘴44依次拾取元件的拾取处理。在拾取处理中，首先，CPU91分别使位于第一吸嘴位置N1、第二吸嘴位置N2的吸嘴44下降。另外，CPU91操作位于第一操作位置W1、第二操作位置W2的***作部49a而使操作杆49下降。由此，向位于第一吸嘴位置N1、第二吸嘴位置N2的吸嘴44供给负压，这些吸嘴44中的各吸嘴44拾取并保持由元件供给装置20供给的元件。并且，CPU91使位于第一吸嘴位置N1、第二吸嘴位置N2的吸嘴44上升。另外，第一吸嘴位置N1、第二吸嘴位置N2沿着与元件供给装置20的排列方向相同的左右方向排列，因此能够使位于第一吸嘴位置N1、第二吸嘴位置N2的吸嘴44同时拾取元件。CPU91这样交替地进行使位于第一吸嘴位置N1、第二吸嘴位置N2的吸嘴44拾取元件的处理和通过R轴驱动装置50变更位于第一吸嘴位置N1、第二吸嘴位置N2的吸嘴44的处理，从而使全部吸嘴44拾取元件。

当进行拾取处理时，CPU91使安装头40向零件相机28的上方移动，通过零件相机28依次拍摄吸附于各吸嘴44的元件。并且，进行基于各拍摄图像识别元件的姿势，并考虑该姿势而向基板12上安装元件的安装处理。在安装处理中，首先，CPU91使安装头40移动，以使位于第一吸嘴位置N1的吸嘴44保持的元件位于基板12上的安装位置的上方。接下来，CPU91考虑基于零件相机28的拍摄图像的元件的姿势，使位于第一吸嘴位置N1的吸嘴44自转成适当的方向，并使吸嘴44下降。接着，CPU91操作位于第一操作位置W1的***作部49a而使操作杆49上升。由此，向位于第一吸嘴位置N1的吸嘴44供给正压，吸嘴44离开元件，元件被安装于基板12。并且，CPU91使位于第一吸嘴位置N1的吸嘴44上升。CPU91这样交替地进行将位于第一吸嘴位置N1的吸嘴44保持的元件向基板12安装的处理和通过R轴驱动装置50变更位于第一吸嘴位置N1的吸嘴44的处理，从而将全部吸嘴44的元件向基板12安装。另外，CPU91也可以使用位于第二吸嘴位置N2的吸嘴44来进行安装处理。

在此，明确本实施方式的构成要素与本公开的构成要素之间的对应关系。本实施方式的安装头40相当于本公开的安装头，XY机器人30相当于头移动装置，基板输送装置25相当于输送装置，吸嘴44相当于吸嘴，滑阀46相当于切换阀，R轴驱动装置50相当于吸嘴移动装置，第一阀驱动装置70a相当于第一驱动装置，第一阀驱动装置70a的驱动源71相当于第一驱动源，第二阀驱动装置70b相当于第二驱动装置，第二阀驱动装置70b的驱动源71相当于第二驱动源。另外，元件供给装置20相当于元件供给装置。第一阀驱动装置70a的驱动力传递机构73、直线移动部76及导轨79分别相当于第一驱动力传递机构、第一直线移动部及第一支撑部。第二阀驱动装置70b的驱动力传递机构73、直线移动部76及导轨79分别相当于第二驱动力传递机构、第二直线移动部及第二支撑部。

在基于以上详述的元件安装机10的实施例的一个方式中，第一阀驱动装置70a、第二阀驱动装置70b的驱动源71、71以沿着与水平面平行且与基板12的输送方向正交的方向(在此为前后方向)夹着多个吸嘴44的方式配置于相互相反的一侧。因此，在该元件安装机10中，例如，与从多个吸嘴44观察时驱动源71、71配置于同一侧(例如吸嘴44的前方)的情况相比，能够实现安装头40的小型化。另外，第一阀驱动装置70a、第二阀驱动装置70b的驱动源71、71以沿着与水平面平行且与多个元件供给装置的排列方向正交的方向夹着多个吸嘴44的方式配置于相互相反的一侧。

此外，在基于元件安装机10的实施例的一个方式中，多个吸嘴44配置于圆周上。另外，多个滑阀46中的各滑阀46配置于相对于对应的吸嘴44而偏离了圆周的径向的位置。由此，能够确保从滑阀46到对应的吸嘴44的负压的供给路线(在此为负压供给通路87b)，并使多个吸嘴44及多个滑阀46紧凑地配置在直径更小的圆形的区域内。由此，能够减小头主体41的直径。因此，能够实现安装头40的小型化。另外，在本实施方式中，如上所述，将滑阀46配置在相对于对应的吸嘴44偏离了圆周的径向的位置，由此也能够确保从滑阀46到对应的吸嘴44的正压的供给路线(在此为正压供给通路87a)。

此外，在基于元件安装机10的实施例的一个方式中，多个吸嘴44配置于圆周上。另外，R轴驱动装置50使多个吸嘴44及多个滑阀46一体地旋转移动。第一阀驱动装置70a具有驱动力传递机构73，上述驱动力传递机构73向相对于第一吸嘴位置N1偏离了吸嘴44所配置的圆周的径向的位置、即第一操作位置W1传递来自驱动源71的驱动力。第二阀驱动装置70b也具有相同结构的驱动力传递机构73。多个***作部49a配置于与多个吸嘴44同心的圆周上，且各***作部49a以对应的吸嘴44位于第一吸嘴位置N1时位于第一操作位置W1、对应的吸嘴44位于第二吸嘴位置N2时位于第二操作位置W2的方式配置于相对于对应的吸嘴44而偏离了圆周(多个吸嘴44所配置的圆周)的径向的位置。由此，在元件安装机10中，能够将用于操作与第一吸嘴位置N1对应的滑阀46的第一操作位置W1配置在相对于第一吸嘴位置N1而与沿着径向的位置不同的位置。即，第一操作位置W1的配置的自由度增加。由此，易于以使第一阀驱动装置70a的驱动力传递机构73配置于不妨碍安装头40的小型化的位置的方式决定第一操作位置W1，易于使安装头40小型化。相同地，易于以使第二阀驱动装置70b的驱动力传递机构73配置于不妨碍安装头40的小型化的位置的方式决定第二操作位置W2，易于使安装头40小型化。例如，作为比较例，考虑将与位于图5的第一吸嘴位置N1的吸嘴44(A吸嘴)对应的第一操作位置配置在吸嘴位置N1的径向外侧的位置(图5中的k阀的***作部49a与l阀的***作部49a中间的位置)的情况。在该情况下，需要将第一阀驱动装置70a的驱动力传递机构73与图5相比更向右下延伸地配置，与图5相比，在头主体41的右侧需要配置驱动力传递机构73的空间。因此，安装头40容易大型化。与此相对，在本实施方式的元件安装机10中，如图5那样地配置第一操作位置W1，因此在向头主体41的右后方的区域配置第一阀驱动装置70a的驱动力传递机构73时，能够使驱动力传递机构73尽量不比头主体41的右端更向右侧伸出。因此，能够缩小头主体41的右端与壳体40a之间的空间，易于使安装头40小型化。第二阀驱动装置70b的驱动力传递机构73的配置也相同。

此外，在基于元件安装机10的实施例的一个方式中，第一阀驱动装置70a具有驱动力传递机构73，上述驱动力传递机构73向与位于第一吸嘴位置N1的吸嘴44对应的滑阀46传递来自驱动源71的驱动力。并且，驱动力传递机构73具有：直线移动部76，基于来自驱动源71的驱动力进行直线移动；及导轨79，允许该直线移动并支撑直线移动部76。第二阀驱动装置70b也具有相同的结构。在此，当以优先使安装头40小型化的方式决定驱动源71与滑阀46之间的配置时，有时两者的位置分离，导致驱动力传递机构73中的接收来自驱动源71的驱动力的位置(在此为转换机构74的位置)和向滑阀46传递驱动力的位置(在此为杆卡合部78的位置)分离。例如，作为比较例，可想到与图5相比使驱动源71的驱动轴72更加靠近***作部49a的情况。在该比较例中，能够使直线移动部76比图5更小(短)，从而缩短转换机构74的位置与杆卡合部78的位置之间的距离。但是，在这样使驱动轴72靠近***作部49a的情况下，为了避免驱动源71与头主体41的干扰，需要使驱动源71以从图5的状态起旋转后的方向配置。其结果是，在该比较例中，易于形成驱动源71不处于图5所示的壳体40a内的状态，安装头40容易大型化。与此相对，在本实施方式中，以能够尽可能地缩小壳体40a而使安装头40小型化那样的方向及位置配置驱动源71，与上述比较例相比，转换机构74的位置与杆卡合部78的位置分离。在这样的情况下，导轨79支撑直线移动部76，从而能够使驱动力传递机构73的动作稳定化。关于第二阀驱动装置70b的导轨79，也相同。

另外，本发明并不限定于上述实施方式，只要从属于本发明的技术范围，就能够通过各种方式进行实施，这是不言而喻的。

例如，在上述实施方式中，以沿着与基板12的输送方向正交的方向夹着多个吸嘴44的方式将第一阀驱动装置70a、第二阀驱动装置70b的驱动源71、71配置于相互相反的一侧，但是不限于此。例如，也可以将驱动源71、71以沿着左右方向排列且沿着基板12的输送方向夹着多个吸嘴44的方式配置于相互相反的一侧。即便如此，与例如将驱动源71、71配置于从多个吸嘴44处观察相同的一侧(例如吸嘴44的右侧)的情况相比，能够实现安装头的小型化。但是，也可以将驱动源71、71配置于从多个吸嘴44观察时相同的一侧。例如，也可以将驱动源71、71配置于比多个吸嘴44靠后方(靠近X轴滑动件32的一侧)处。

在上述实施方式中，将基板12的输送方向及元件供给装置20的排列方向设为左右方向，但是它们中的至少一方也可以与左右方向不同。

在上述实施方式中，多个滑阀46中的各滑阀46配置于相对于对应的吸嘴44而偏离了圆周的径向的位置，但是不限于此，多个滑阀46中的一个以上也可以配置于相对于对应的吸嘴44而沿着圆周的径向的位置。另外，即使在滑阀46相对于对应的吸嘴44而配置于沿着圆周的径向的位置的情况下，也能够通过调整操作杆49的形状或配置而将***作部49a配置于相对于对应的吸嘴44而偏离了圆周的径向的位置。这样一来，与上述实施方式相同地，能够将第一操作位置W1、第二操作位置W2配置于相对于第一吸嘴位置N1、第二吸嘴位置N2而偏离了径向的位置。

在上述实施方式中，多个滑阀46均配置于比对应的吸嘴44靠外侧处，但是滑阀46中的一个以上也可以配置于比对应的吸嘴44靠内侧处。另外，在上述实施方式中，多个滑阀46配置于同一圆周上，但是不限于此。例如，相邻的滑阀46也可以交替地配置于小径的圆周上与大径的圆周上。另外，即使在多个滑阀46并未全部配置于同一圆周上的情况下，也优选将多个***作部49a配置于同一圆周上。

在上述实施方式中，将第一操作位置W1、第二操作位置W2配置于相对于第一吸嘴位置N1、第二吸嘴位置N2而偏离了径向的位置，但是不限于此，也可以配置于相对于第一吸嘴位置N1、第二吸嘴位置N2而沿着径向的位置。

在上述实施方式中，第一阀驱动装置70a、第二阀驱动装置70b分别具有图5所示的驱动力传递机构73，但是只要能够向滑阀46传递来自驱动源71的驱动力，也可以设为任意结构。另外，第一阀驱动装置70a、第二阀驱动装置70b以成为旋转对称(在上述实施方式中为双重对称)的方式配置，但是例如可以以成左右对称、前后对称的方式配置，也可以不对称地配置。

在上述实施方式中，滑阀46切换向对应的吸嘴44供给的压力，但是不限于滑阀46，也可以由其他种类的切换阀切换向对应的吸嘴44供给的压力。

在上述实施方式中，滑阀46也可以构成为，在配置于图7A的上升位置与图7B的下降位置之间的中间位置时，切断正压导入通路84a与正压供给通路87a之间的连通、且切断负压导入通路84b与负压供给通路87b之间的连通。即，滑阀46也可以切换为不向对应的吸嘴44供给正压及负压的状态。

在上述实施方式中，滑阀46及***作部49a相对于对应的吸嘴44而沿着主体41的周向偏离了角度θ(＝45°)，但是不限于此。角度θ也可以为10°以上、20°以上等。另外，滑阀46及***作部49a相对于对应的吸嘴44偏离1.5吸嘴间距的量，但是该偏离量可以为1吸嘴间距以上，也可以超过1吸嘴间距。另外，该偏离量可以为2吸嘴间距以下，也可以小于2吸嘴间距。另外，在滑阀46和***作部49a中，相对于对应的吸嘴44的自径向的偏离量(角度θ)也可以不同。

在上述实施方式中，Z轴马达64、64均配置于在前后方向上比头主体41的中央靠后方处，但是不限于此，也可以是其他配置。

在上述实施方式中，12个吸嘴44等间隔地配置于圆周上，但是吸嘴44的数量不限定于12个，只要是多个即可。例如，也可以设为8个、20个或者24个等。

在上述实施方式中，将进行元件的拾取或安装的位置设为两处吸嘴位置(第一吸嘴位置N1、第二吸嘴位置N2)，但是不限于此，也可以是三处、四处等两处以上。

本公开的元件安装机也可以如下这样地构成。

本公开的第二元件安装机具备：

安装头，拾取元件并向基材安装；

头移动装置，使上述安装头与水平面平行地移动；及

多个元件供给装置，沿着与上述水平面平行的排列方向并列，且分别供给上述元件，

上述安装头具有：

多个吸嘴，通过负压吸附并保持上述元件；

多个切换阀，与上述多个吸嘴中的各吸嘴对应地设置，对是否向对应的上述吸嘴供给负压进行切换；

吸嘴移动装置，使上述多个吸嘴移动，来变更使哪一个上述吸嘴位于用于进行上述元件的拾取及安装中的至少一方的第一吸嘴位置及第二吸嘴位置中的各吸嘴位置；

第一驱动装置，具有第一驱动源，通过来自该第一驱动源的驱动力对与位于上述第一吸嘴位置的上述吸嘴对应的上述切换阀进行切换；及

第二驱动装置，具有第二驱动源，通过来自该第二驱动源的驱动力对与位于上述第二吸嘴位置的上述吸嘴对应的上述切换阀进行切换，该第二驱动源在与上述水平面平行且与上述排列方向正交的方向上从上述多个吸嘴观察时配置于与上述第一驱动源相反的一侧。

在该第二元件安装机中，第一驱动源和第二驱动源以沿着与水平面平行且与多个元件供给装置的排列方向正交的方向夹着多个吸嘴的方式配置于相互相反的一侧。因此，在该第二元件安装机中，与例如第一驱动源和第二驱动源从多个吸嘴处观察时配置于相同一侧的情况相比，能够实现安装头的小型化。

本公开的第三元件安装机具备：

安装头，拾取元件并向基材安装；

头移动装置，使上述安装头与水平面平行地移动；及

输送装置，沿着与上述水平面平行的输送方向输送上述基材，

上述安装头具有：

多个吸嘴，通过负压吸附并保持上述元件；

多个切换阀，与上述多个吸嘴中的各吸嘴对应地设置，对是否向对应的上述吸嘴供给负压进行切换；

吸嘴移动装置，使上述多个吸嘴移动，来变更使哪一个上述吸嘴位于用于进行上述元件的拾取及安装中的至少一方的第一吸嘴位置及第二吸嘴位置中的各吸嘴位置；

第一驱动装置，具有第一驱动源，通过来自该第一驱动源的驱动力对与位于上述第一吸嘴位置的上述吸嘴对应的上述切换阀进行切换；及

第二驱动装置，具有第二驱动源，通过来自该第二驱动源的驱动力对与位于上述第二吸嘴位置的上述吸嘴对应的上述切换阀进行切换，该第二驱动源在上述输送方向上或者在与上述水平面平行且与上述输送方向正交的方向上从上述多个吸嘴观察时配置于与上述第一驱动源相反的一侧。

在该第三元件安装机中，第一驱动源和第二驱动源以沿着输送方向夹着多个吸嘴的方式配置于相互相反的一侧、或者以沿着与水平面平行且与基材的输送方向正交的方向夹着多个吸嘴的方式配置于相互相反的一侧。因此，在该第三元件安装机中，与例如第一驱动源和第二驱动源从多个吸嘴处观察时配置于同一侧的情况相比，能够实现安装头的小型化。

在本公开的第一元件安装机～第三元件安装机中，也可以是，上述多个吸嘴配置于圆周上，上述多个切换阀中的各切换阀配置于相对于对应的上述吸嘴而偏离了上述圆周的径向的位置。如此一来，能够确保从切换阀到对应的吸嘴的负压的供给路线，并紧凑地将多个吸嘴及多个切换阀配置于直径更小的圆形的区域内。由此，能够实现安装头的小型化。

在本公开的第一元件安装机～第三元件安装机中，也可以是，上述多个吸嘴配置于圆周上，上述吸嘴移动装置使上述多个吸嘴及上述多个切换阀一体地旋转移动，上述第一驱动装置具有第一驱动力传递机构，上述第一驱动力传递机构向相对于上述第一吸嘴位置而偏离了上述圆周的径向的位置、即第一操作位置传递来自上述第一驱动源的驱动力，上述第二驱动装置具有第二驱动力传递机构，上述第二驱动力传递机构向相对于上述第二吸嘴位置而偏离了上述圆周的径向的位置、即第二操作位置传递来自上述第二驱动源的驱动力，上述多个切换阀中的各切换阀具有***作部，上述***作部接收来自上述第一驱动力传递机构及上述第二驱动力传递机构的驱动力，多个上述***作部配置于与述多个吸嘴同心的圆周上，且各上述***作部以如下的方式配置于相对于对应的上述吸嘴而偏离了上述圆周的径向的位置：在对应的上述吸嘴位于上述第一吸嘴位置时，各上述***作部位于上述第一操作位置，在对应的上述吸嘴位于上述第二吸嘴位置时，各上述***作部位于上述第二操作位置。另外，切换阀的***作部配置于相对于与切换阀对应的吸嘴而偏离了其圆周的径向的位置。因此，能够将用于操作与第一吸嘴位置对应的切换阀的第一操作位置配置于不同于相对于第一吸嘴位置而沿着径向的位置的位置。即，第一操作位置的配置的自由度增加。由此，易于以使第一驱动力传递机构配置于不会妨碍安装头的小型化的位置的方式决定第一操作位置，易于使安装头小型化。相同地，易于以使第二驱动力传递机构配置于不会妨碍安装头的小型化的位置的方式决定第二操作位置，易于使安装头小型化。

在本公开的第一元件安装机～第三元件安装机中，也可以是，上述第一驱动装置具有第一驱动力传递机构，上述第一驱动力传递机构向与位于上述第一吸嘴位置的上述吸嘴对应的上述切换阀传递来自上述第一驱动源的驱动力，上述第一驱动力传递机构具有：第一直线移动部，基于来自上述第一驱动源的驱动力而进行直线移动；及第一支撑部，允许该直线移动并支撑该第一直线移动部，上述第二驱动装置具有第二驱动力传递机构，上述第二驱动力传递机构向与位于上述第二吸嘴位置的上述吸嘴对应的上述切换阀传递来自上述第二驱动源的驱动力，上述第二驱动力传递机构具有：第二直线移动部，基于来自上述第二驱动源的驱动力而进行直线移动；及第二支撑部，允许该直线移动并支撑该第二直线移动部。在此，当以优先使安装头小型化的方式决定第一驱动源与切换阀的配置时，有时两者的位置分离，第一驱动力传递机构中的接收来自第一驱动部的驱动力的位置与向切换阀传递驱动力的位置分离。在这样的情况下，能够通过第一支撑部支撑第一直线移动部而使第一驱动力传递机构的动作稳定化。相同地，能够通过第二支撑部支撑第二直线移动部而使第二驱动力传递机构的动作稳定化。

本公开的第四元件安装机具备：

安装头，拾取元件并向基材安装；及

头移动装置，使上述安装头移动，

上述安装头具有：

多个吸嘴，配置于圆周上，通过负压吸附并保持上述元件；

多个切换阀，与上述多个吸嘴中的各吸嘴对应地设置，对是否向对应的上述吸嘴供给负压进行切换；

吸嘴移动装置，使上述多个吸嘴及上述多个切换阀一体地旋转移动，来变更使哪一个上述吸嘴位于用于进行上述元件的拾取及安装中的至少一方的吸嘴位置；及

驱动力传递机构，具有驱动源，向相对于上述吸嘴位置而偏离了上述圆周的径向的位置、即操作位置传递来自上述驱动源的驱动力，

上述多个切换阀中的各切换阀构成为具有接收来自上述驱动力传递机构的驱动力的***作部，通过该***作部所接收的驱动力对是否向上述吸嘴供给负压进行切换，

多个上述***作部配置于与上述多个吸嘴同心的圆周上，且各上述***作部以如下的方式配置于相对于对应的上述吸嘴而偏离了上述圆周的径向的位置，在对应的上述吸嘴位于上述吸嘴位置时，各上述***作部位于上述操作位置。

在该第四元件安装机中，多个吸嘴配置于圆周上。另外，切换阀的***作部配置于相对于与切换阀对应的吸嘴而偏离了其圆周的径向的位置。因此，能够将用于操作与吸嘴位置对应的切换阀的操作位置配置于不同于相对于吸嘴位置而沿着径向的位置的位置。即，操作位置的配置的自由度增加。由此，易于以使驱动力传递机构配置于不会妨碍安装头的小型化的位置的方式决定操作位置，易于使安装头小型化。另外，在第四元件安装机中，可以采用上述第一元件安装机～第三元件安装机的各种方式，也可以追加第一元件安装机～第三元件安装机所具备的结构。

本公开的第五元件安装机具备：

安装头，拾取元件并向基材安装；及

头移动装置，使上述安装头移动，

上述安装头具有：

多个吸嘴，通过负压吸附并保持上述元件；

多个切换阀，与上述多个吸嘴中的各吸嘴对应地设置，对是否向对应的上述吸嘴供给负压进行切换；

吸嘴移动装置，使上述多个吸嘴移动，来变更哪一个上述吸嘴位于用于进行上述元件的拾取及安装中的至少一方的吸嘴位置；及

驱动装置，具有驱动源及向与位于上述吸嘴位置的上述吸嘴对应的上述切换阀传递来自上述驱动源的驱动力而对该切换阀进行切换的驱动力传递机构，

上述驱动力传递机构具有：直线移动部，基于来自上述驱动源的驱动力而进行直线移动；及支撑部，允许该直线移动并支撑该直线移动部。

在该第五元件安装机中，安装头的驱动装置所具有的驱动力传递机构具有直线移动部和支撑直线移动部的支撑部。在此，当以优先使安装头小型化的方式决定驱动源与切换阀的配置时，有时两者的位置分离，驱动力传递机构中的接收来自驱动部的驱动力的位置与向切换阀传递驱动力的位置分离。在这样的情况下，能够通过使支撑部支撑直线移动部而使驱动力传递机构的动作稳定化。另外，在第五元件安装机中，可以采用上述第一元件安装机～第四元件安装机的各种方式，也可以追加第一元件安装机～第四元件安装机所具备的结构。

工业上的有用性

本发明能够应用于进行将元件向基板等基材安装的作业的各种工业。

附图标记说明

10、元件安装机；11、基台；12、基板；20、元件供给装置；25、基板输送装置；26、输送带；27、支撑销；28、零件相机；30、XY机器人；31、X轴导轨；32、X轴滑动件；33、Y轴导轨；34、Y轴滑动件；36、X轴马达；37、X轴位置传感器；38、Y轴马达；39、Y轴位置传感器；40、安装头；40a、壳体；40b、框架；41、头主体；41a、保持架孔；41b、滑阀孔；42、吸嘴保持架；42a、卡合片；44、吸嘴；46、滑阀；47、大径部；49、操作杆；49a、***作部；50、R轴驱动装置；51、R轴；52、R轴马达；53、R轴位置传感器；54、Q轴驱动装置；55、Q轴齿轮；56、Q轴齿轮；57a、57b、齿轮；58、Q轴马达；59、Q轴位置传感器；60、Z轴驱动装置；60a、60b、第一Z轴驱动装置、第二Z轴驱动装置；61、Z轴移动体；62、夹持部；63、滚珠丝杠；64、Z轴马达；65、Z轴位置传感器；70、阀驱动装置；70a、70b、第一阀驱动装置、第二阀驱动装置；71、驱动源；72、驱动轴；73、驱动力传递机构；74、转换机构；75、突起部；76、直线移动部；77、突起卡合部；78、杆卡合部；79、导轨；80、压力供给装置；81a、正压源；81b、负压源；82a、82b、框架通路；83a、83b、头通路；84a、正压导入通路；84b、负压导入通路；87a、正压供给通路；87b、负压供给通路；90、控制装置；91、CPU；92、ROM；93、HDD；94、RAM；95、输入输出接口；96、总线；N1、N2、第一吸嘴位置、第二吸嘴位置；W1、W2、第一操作位置、第二操作位置。

Claims (6)

1.一种元件安装机，其特征在于，具备：

安装头，拾取元件并向基材安装；

头移动装置，使所述安装头与水平面平行地移动；及

输送装置，沿着与所述水平面平行的输送方向输送所述基材，

所述安装头具有：

多个吸嘴，通过负压吸附并保持所述元件；

多个切换阀，与所述多个吸嘴中的各吸嘴对应地设置，对是否向对应的所述吸嘴供给负压进行切换；

吸嘴移动装置，使所述多个吸嘴移动，来变更使哪一个所述吸嘴位于用于进行所述元件的拾取及安装中的至少一方的第一吸嘴位置及第二吸嘴位置中的各吸嘴位置；

第一驱动装置，具有第一驱动源，通过来自该第一驱动源的驱动力对与位于所述第一吸嘴位置的所述吸嘴对应的所述切换阀进行切换；及

第二驱动装置，具有第二驱动源，通过来自该第二驱动源的驱动力对与位于所述第二吸嘴位置的所述吸嘴对应的所述切换阀进行切换，该第二驱动源在与所述水平面平行且与所述输送方向正交的方向上从所述多个吸嘴观察时配置于与所述第一驱动源相反的一侧。

2.一种元件安装机，其特征在于，具备：

安装头，拾取元件并向基材安装；

头移动装置，使所述安装头与水平面平行地移动；及

多个元件供给装置，沿着与所述水平面平行的排列方向并列，且分别供给所述元件，

所述安装头具有：

多个吸嘴，通过负压吸附并保持所述元件；

多个切换阀，与所述多个吸嘴中的各吸嘴对应地设置，对是否向对应的所述吸嘴供给负压进行切换；

吸嘴移动装置，使所述多个吸嘴移动，来变更使哪一个所述吸嘴位于用于进行所述元件的拾取及安装中的至少一方的第一吸嘴位置及第二吸嘴位置中的各吸嘴位置；

第一驱动装置，具有第一驱动源，通过来自该第一驱动源的驱动力对与位于所述第一吸嘴位置的所述吸嘴对应的所述切换阀进行切换；及

第二驱动装置，具有第二驱动源，通过来自该第二驱动源的驱动力对与位于所述第二吸嘴位置的所述吸嘴对应的所述切换阀进行切换，该第二驱动源在与所述水平面平行且与所述排列方向正交的方向上从所述多个吸嘴观察时配置于与所述第一驱动源相反的一侧。

3.一种元件安装机，其特征在于，具备：

安装头，拾取元件并向基材安装；

头移动装置，使所述安装头与水平面平行地移动；及

输送装置，沿着与所述水平面平行的输送方向输送所述基材，

所述安装头具有：

多个吸嘴，通过负压吸附并保持所述元件；

多个切换阀，与所述多个吸嘴中的各吸嘴对应地设置，对是否向对应的所述吸嘴供给负压进行切换；

吸嘴移动装置，使所述多个吸嘴移动，来变更使哪一个所述吸嘴位于用于进行所述元件的拾取及安装中的至少一方的第一吸嘴位置及第二吸嘴位置中的各吸嘴位置；

第一驱动装置，具有第一驱动源，通过来自该第一驱动源的驱动力对与位于所述第一吸嘴位置的所述吸嘴对应的所述切换阀进行切换；及

第二驱动装置，具有第二驱动源，通过来自该第二驱动源的驱动力对与位于所述第二吸嘴位置的所述吸嘴对应的所述切换阀进行切换，该第二驱动源在所述输送方向上或者在与所述水平面平行且与所述输送方向正交的方向上从所述多个吸嘴观察时配置于与所述第一驱动源相反的一侧。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的元件安装机，其中，

所述多个吸嘴配置于圆周上，

所述多个切换阀中的各切换阀配置于相对于对应的所述吸嘴而偏离了所述圆周的径向的位置。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的元件安装机，其中，

所述多个吸嘴配置于圆周上，

所述吸嘴移动装置使所述多个吸嘴及所述多个切换阀一体地旋转移动，

所述第一驱动装置具有第一驱动力传递机构，所述第一驱动力传递机构向相对于所述第一吸嘴位置而偏离了所述圆周的径向的位置、即第一操作位置传递来自所述第一驱动源的驱动力，

所述第二驱动装置具有第二驱动力传递机构，所述第二驱动力传递机构向相对于所述第二吸嘴位置而偏离了所述圆周的径向的位置、即第二操作位置传递来自所述第二驱动源的驱动力，

所述多个切换阀中的各切换阀具有***作部，所述***作部接收来自所述第一驱动力传递机构及所述第二驱动力传递机构的驱动力，

多个所述***作部配置于与述多个吸嘴同心的圆周上，且各所述***作部以如下的方式配置于相对于对应的所述吸嘴而偏离了所述圆周的径向的位置：在对应的所述吸嘴位于所述第一吸嘴位置时，各所述***作部位于所述第一操作位置，在对应的所述吸嘴位于所述第二吸嘴位置时，各所述***作部位于所述第二操作位置。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的元件安装机，其中，

所述第一驱动装置具有第一驱动力传递机构，所述第一驱动力传递机构向与位于所述第一吸嘴位置的所述吸嘴对应的所述切换阀传递来自所述第一驱动源的驱动力，

所述第一驱动力传递机构具有：第一直线移动部，基于来自所述第一驱动源的驱动力而进行直线移动；及第一支撑部，允许该直线移动并支撑该第一直线移动部，

所述第二驱动装置具有第二驱动力传递机构，所述第二驱动力传递机构向与位于所述第二吸嘴位置的所述吸嘴对应的所述切换阀传递来自所述第二驱动源的驱动力，

所述第二驱动力传递机构具有：第二直线移动部，基于来自所述第二驱动源的驱动力而进行直线移动；及第二支撑部，允许该直线移动并支撑该第二直线移动部。