CN110134917A - 数据处理方法、数据处理装置、数据处理***及数据处理程序 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种能够以高于以往的精度利用时序数据进行异常检测的数据处理方法。处理多个单位处理数据(各单位处理数据包括多个时序数据)的数据处理方法包括：单位处理数据评价步骤(S10～S90)，将所述多个单位处理数据中的预先设定的单位处理数据作为基准数据，基于作为评价对象的单位处理数据与基准数据来计算评价对象的单位处理数据的评价值；以及基准数据变更步骤(S100～S130)，基于在单位处理数据评价步骤中计算出的评价值来变更基准数据。

Description

数据处理方法、数据处理装置、数据处理***及数据处理程序
技术领域
本发明涉及数字数据处理，尤其涉及一种处理时序数据的方法。
背景技术
作为检测设备或装置的异常的方法，已知一种利用传感器等测定用于表示设备或装置的动作状态的物理量(例如，长度、角度、时间、速度、力、压力、电压、电流、温度、流量等)，并分析将测定结果按发生顺序排列得到的时序数据的方法。在设备或装置在相同条件下进行相同动作的情况下，若不存在异常，则时序数据同样地变化。因此，能够将同样变化的多个时序数据相互比较来检测异常的时序数据，并且通过分析该异常的时序数据，来确定异常发生目标或异常的原因。此外，近年来，计算机的数据处理能力显著提高。因此，即使数据量非常大，在很多情况下也可以在实际可行的时间内获得需要的结果。由此，时序数据的分析逐渐普及。
例如，半导体制造装置在各种工艺中获得时序数据。因此，在半导体制造装置的领域也进行时序数据的分析或在画面上显示时序数据等。
另外，关于本发明，日本的特开2017-83985号公报公开了一种以使用者容易分析的方式显示时序数据的时序数据处理装置的发明。在该时序数据处理装置中，多个时序数据被分为多个组，计算每个组的异常度及各组内的时序数据的异常度。然后，将基于异常度对组或者时序数据进行排序的结果显示在显示部中。
发明内容
作为半导体制造装置的一种，清洗装置等基板处理装置通常具有多个腔室(处理室)。在这些多个腔室中执行了相同规程的情况下，优选在该多个腔室中得到相同的产物。因此，优选一个基板处理装置所包括的多个腔室具有相同的处理性能。然而，实际上多个腔室间的处理性能具有差异。因此，有可能在某一腔室内正常进行对基板的处理时在其他腔室内并未正常地进行同样的处理。
因此，在基板处理装置领域，为了实现早期发现异常、预防异常，如上所述，逐渐对于在各种工艺中得到的时序数据进行分析。另外，为了判断同样变化的多个时序数据中包括的各时序数据是否异常，需要将作为评价对象的各时序数据与具有理想的时序的值(数据值)的时序数据进行比较。例如，考虑使用由多个时序数据的平均值构成的时序数据作为具有理想的时序的值的时序数据。然而，在作为计算平均值的基础的多个时序数据中包括具有与其他值相差甚远的值的数据或大量具有异常的值的数据的情况下，计算出的平均值不一定是理想的值，因此不能高精度地检测异常。
因此，本发明的目的在于，提供一种能够以高于以往的精度利用时序数据进行异常检测的数据处理方法。
第1发明是一种数据处理方法，一种数据处理方法，将在单位处理中得到的多个时序数据作为单位处理数据并处理多个单位处理数据，其特征在于，所述数据处理方法包括：
单位处理数据评价步骤，将所述多个单位处理数据中的预先设定的单位处理数据作为基准数据，基于作为评价对象的单位处理数据与所述基准数据来计算所述作为评价对象的单位处理数据的评价值，以及
基准数据变更步骤，基于在所述单位处理数据评价步骤中计算出的评价值来变更所述基准数据。
第2发明根据第1发明，其特征在于，
在所述基准数据变更步骤中，基于在所述单位处理数据评价步骤中计算出的评价值对多个单位处理数据进行排序，并且基于该排序的结果，决定作为变更后的基准数据的单位处理数据。
第3发明根据第2发明，其特征在于，
所述基准数据变更步骤包括：
排序显示步骤，根据所述排序的结果，将表示多个单位处理数据中的每个单位处理数据的属性的属性数据按照排序形式进行显示，以及
基准数据选择步骤，从在所述排序显示步骤中显示的多个属性数据中选择作为变更后的基准数据的单位处理数据的属性数据。
第4发明根据第2发明，其特征在于，
在所述基准数据变更步骤中，将所述排序的位次为第一位的单位处理数据设定为变更后的基准数据。
第5发明根据第1～第4中任一项发明，其特征在于，
所述单位处理数据评价步骤包括：
数据比较步骤，将所述作为评价对象的单位处理数据与所述基准数据进行比较，
比较结果得分化步骤，计算比较结果值，所述比较结果值是将在所述数据比较步骤中得到的比较结果进行得分处理而得到的值，以及
评价值计算步骤，基于多个指标值计算所述评价值，所述多个指标值包括所述比较结果值。
第6发明根据第5发明，其特征在于，
在所述数据比较步骤中，对所述作为评价对象的单位处理数据中包括的各时序数据进行标准化。
第7发明根据第1～第4中任一项发明，其特征在于，
所述单位处理数据评价步骤包括：
数据比较步骤，对于多个项目，不将所述作为评价对象的单位处理数据与所述基准数据加工为数据值，而将所述作为评价对象的单位处理数据与所述基准数据直接进行比较，
比较结果值计算步骤，基于在所述数据比较步骤中得到的所述多个项目的比较结果，计算比较结果值，以及
评价值计算步骤，基于多个指标值计算所述评价值，所述多个指标值包括所述比较结果值。
第8发明根据第5～第7中任一项发明，其特征在于，
所述多个指标值包括单位互不相同的两个以上的指标值。
第9发明根据第8发明，其特征在于，
在所述单位处理数据评价步骤中包括警报次数得分化步骤，在所述警报次数得分化步骤中计算警报值，所述警报值是将在执行与各单位处理数据对应的单位处理时发生的警报的发生次数进行得分处理而得到的值，
所述多个指标值包括所述警报值。
第10发明根据第8或第9发明，其特征在于，
所述单位处理数据评价步骤包括计算推荐值的推荐度得分化步骤，所述推荐值是将作为各单位处理数据的所述基准数据的推荐度进行得分处理而得到的值，
所述多个指标值包括所述推荐值。
第11发明根据第10发明，其特征在于，
在所述单位处理数据评价步骤中包括显示比较结果画面的比较结果显示步骤，所述比较结果画面将属性数据进行列表显示，所述属性数据表示多个单位处理数据各自的属性并且包括在所述数据比较步骤中得到的比较结果，
在所述比较结果画面中显示的属性数据包括所述推荐度，
所述比较结果画面构成为能够从外部变更所述推荐度。
第12发明根据第8发明，其特征在于，
在所述单位处理数据评价步骤中包括显示比较结果画面的比较结果显示步骤，所述比较结果画面将属性数据进行列表显示，所述属性数据表示多个单位处理数据各自的属性并且包括在所述数据比较步骤中得到的比较结果，
在所述比较结果画面中显示的属性数据包括能够被输入任意项目的数据值的任意输入数据，
所述比较结果画面构成为能够从外部变更所述任意输入数据的数据值，
所述多个指标值包括所述任意输入数据的数据值。
第13发明根据第5～第12中任一项发明，其特征在于，
在所述单位处理数据评价步骤中包括贡献度设定步骤，在所述贡献度设定步骤中设定在计算所述评价值时的所述多个指标值的各自的贡献度。
第14发明根据第1～第4中任一项发明，其特征在于，
所述单位处理数据评价步骤包括：
数据比较步骤，将所述作为评价对象的单位处理数据与所述基准数据进行比较并求出比较结果值，
推荐度得分化步骤，计算推荐值，所述推荐值是将作为各单位处理数据的所述基准数据的推荐度进行得分处理而得到的值，
警报次数得分化步骤，计算警报值，所述警报值是将在执行与各单位处理数据对应的单位处理时发生的警报的发生次数进行得分处理而得到的值，
比较结果得分化步骤，计算比较结果值，所述比较结果值是将在所述数据比较步骤中得到的比较结果进行得分处理而得到的值，以及
评价值计算步骤，基于多个指标值计算所述评价值；
所述多个指标值包括所述推荐值、所述警报值和所述比较结果值，
在所述单位处理数据评价步骤中还包括贡献度设定步骤，在所述贡献度设定步骤中设定在计算所述评价值时的所述多个指标值的各自的贡献度
第15发明根据第1～第4中任一项发明，其特征在于，
在所述单位处理数据评价步骤中计算出的评价值是通过不将所述作为评价对象的单位处理数据与所述基准数据加工为数据值，而将所述作为评价对象的单位处理数据与所述基准数据直接进行比较而求出的值。
第16发明根据第1～第15中任一项发明，其特征在于，
通过所述基准数据变更步骤得到的作为变更后的基准数据的单位处理数据是从通过在预先设定的期间内执行的单位处理而得到的一个以上的单位处理数据中选择出的。
第17发明根据第1～第16中任一项发明，其特征在于，
所述基准数据被保持在预先设置的基准数据存储部中，
在所述基准数据变更步骤中，改写所述基准数据存储部中保持的基准数据。
第18发明根据第1～第17中任一项发明，其特征在于，
所述单位处理是在基板处理装置中作为一个规程对一张基板执行的处理。
第19的发明根据第18发明，其特征在于，
所述基准数据是在所述基板处理装置中最初执行所述单位处理时得到的单位处理数据。
第20发明是一种数据处理装置，将在单位处理中得到的多个时序数据作为单位处理数据并处理多个单位处理数据，其特征在于，所述数据处理装置具有：
单位处理数据评价部，将所述多个单位处理数据中的预先设定的单位处理数据作为基准数据，基于作为评价对象的单位处理数据与所述基准数据来计算所述作为评价对象的单位处理数据的评价值，以及
基准数据变更部，基于由所述单位处理数据评价部计算出的评价值来变更所述基准数据。
第21发明是一种数据处理***，将在单位处理中得到的多个时序数据作为单位处理数据并处理多个单位处理数据，其特征在于，所述数据处理***具有：
单位处理数据评价部，将所述多个单位处理数据中的预先设定的单位处理数据作为基准数据，基于作为评价对象的单位处理数据与所述基准数据来计算所述作为评价对象的单位处理数据的评价值，以及
基准数据变更部，基于由所述单位处理数据评价部计算出的评价值来变更所述基准数据。
第22发明是一种计算机可读取的记录介质，其上存储有数据处理程序，所述数据处理程序用于将在单位处理中得到的多个时序数据作为单位处理数据并处理多个单位处理数据，其特征在于，所述数据处理程序使计算机的CPU利用存储器执行：
单位处理数据评价步骤，将所述多个单位处理数据中的预先设定的单位处理数据作为基准数据，基于作为评价对象的单位处理数据与所述基准数据来计算所述作为评价对象的单位处理数据的评价值，以及
基准数据变更步骤，基于在所述单位处理数据评价步骤中计算出的评价值来变更所述基准数据。
发明的效果
根据上述第1发明，对每个单位处理数据计算评价值，该单位处理数据是在单位处理中得到的一组时序数据。此时，评价值是基于作为评价对象的单位处理数据与预先设定的基准数据而计算出的。因此，能够将作为评价对象的单位处理数据与基准数据的相似程度的大小反映到该评价对象的单位处理数据的评价值中。此外，基于评价值变更基准数据，因此能够将与变更前的基准数据相似程度较大的单位处理数据设定为变更后的基准数据。由于像这样地恰当地设定基准数据，因此通过将各单位处理数据所包括的时序数据与基准数据所包括的时序数据进行比较，能够高精度地检测处理的异常。如上所述，能够以高于以往的精度利用时序数据进行异常检测。
根据上述第2发明，能够将具有理想的时序值的单位处理数据设定为变更后的基准数据。
根据上述第3发明，由于能够一边参照基于评价值的排序结果一边将任意的单位处理数据选择为变更后的基准数据，因此能够选择符合用户需求的基准数据。
根据上述第4发明，由于无需操作者选择作为变更后的基准数据的单位处理数据，因此减轻了操作者的操作负担。此外，防止了因操作者的操作失误导致将不恰当的单位处理数据设定为基准数据。
根据上述第5发明，由于评价值的计算是基于多个指标值来进行的，因此能够更准确地计算各单位处理数据的评价值。
根据上述第6发明，由于对时序数据进行标准化，因此能够更准确地计算各单位处理数据的评价值。
根据上述第7发明，能够通过较简单的计算来求出在计算评价值时的一个指标值即比较结果值。此外，由于评价值的计算是基于多个指标值进行的，因此能够更准确地计算各单位处理数据的评价值。
根据上述第8发明，能够根据不能单纯地进行比较的多个项目的值来计算一个评价值。
根据上述第9发明，能够考虑在执行单位处理时发生的警报的发生次数来计算评价值。
根据上述第10发明，能够考虑用户的推荐度(作为各单位处理数据的基准数据的推荐度)来计算评价值。
根据上述第11发明，可以得到与上述第10发明同样的效果。
根据上述第12发明，能够考虑不能根据时序数据得到的信息来计算评价值。
根据上述第13发明，能够考虑多个指标值各自的重要度来计算评价值。
根据上述第14发明，能够考虑单位处理数据与基准数据的比较结果、用户的推荐度(作为各单位处理数据的基准数据的推荐度)、以及在执行单位处理时发生的警报的发生次数，并且考虑上述各个重要度来计算评价值。
根据上述第15发明，能够通过较简单的计算来求出评价值。
根据上述第16发明，能够将不需要的旧的单位处理数据从基准数据的候选中排除，并且能够选择符合当前状况的基准数据。
根据上述第17发明，基准数据被保持在基准数据存储部中，因此基准数据的管理变得容易。
根据上述第18发明，能够以高于以往的精度对在基板处理装置中执行的处理进行异常检测。
根据上述第19的发明，能够恰当地进行基板处理装置制造后的基准数据的初始设定。
根据上述第20～上述第22发明，可以得到与上述第1发明同样的效果。
附图说明
图1是示出本发明的一个实施方式的基板处理装置的概略结构的图。
图2是以曲线图形式示出某一时序数据的图。
图3是用于说明上述实施方式中的单位处理数据的图。
图4是示出上述实施方式中基板处理装置的控制部的硬件结构的框图。
图5是用于说明上述实施方式的时序数据DB的图。
图6是用于说明上述实施方式的基准数据DB的图。
图7是示出上述实施方式中基准数据的变更所涉及的数据处理的流程的流程图。
图8是示出上述实施方式中评分画面的一例的图。
图9是示出上述实施方式中评分结果列表画面的一例的图。
图10是用于说明上述实施方式中当进行推荐设定时的评分结果列表画面的过渡的图。
图11是用于说明上述实施方式中当进行推荐设定时的评分结果列表画面的过渡的图。
图12是示出上述实施方式中排序设定画面的一例的图。
图13是示出上述实施方式中排序画面的一例的图。
图14是用于说明上述实施方式中当进行基准数据的变更时的排序画面的过渡的图。
图15是示出上述实施方式的第一变形例中基准数据的变更所涉及的数据处理的流程的流程图。
图16是示出上述实施方式的第二变形例中基准数据的变更所涉及的数据处理的流程的流程图。
图17是示出上述实施方式的第三变形例中排序设定画面的一例的图。
图18是示出上述实施方式的第四变形例中评分结果列表画面的一例的图。
图19是示出上述实施方式的第四变形例中数据值输入画面的一例的图。
图20是示出上述实施方式的第四变形例中排序设定画面的一例的图。
图21是用于说明上述实施方式的第五变形例中直接比较值的计算的图。
图22是示出上述实施方式的第五变形例中用于设定每个评价项目的影响度的画面的一例的图。
图23是示出上述实施方式的第六变形例中基准数据历史画面的一例的图。
图24是示出上述实施方式的第六变形例中期间指定画面的一例的图。
图25是示出上述实施方式的第七变形例中腔室排序画面的一例的图。
图26是示出上述实施方式的第七变形例中规程排序画面的一例的图。
其中，附图标记说明如下：
1 基板处理装置
22 处理单元
40 评分结果列表画面
50 排序设定画面
60 排序画面
100 控制部
132 数据处理程序
134 时序数据DB
136 基准数据DB
具体实施方式
下面，参照附图说明本发明的一个实施方式。
1.基板处理装置的结构
图1是示出本发明的第一实施方式的基板处理装置1的概略结构的图。基板处理装置1具有索引部10及处理部20。索引部10包括用于放置能够收纳多张基板的基板收纳器(盒体)的多个基板收纳器保持部12、以及将基板搬出和搬入基板收纳器的索引机械手14。处理部20包括利用处理液进行基板的清洗等处理的多个处理单元22、以及将基板搬入和搬出处理单元22的基板搬送机械手24。处理单元22的数量例如是12个。该情况下，例如，层叠有三个处理单元22的塔结构体设置在如图1所示的基板搬送机械手24的周围的四个目标。各处理单元22中设置有对基板进行处理的空间即腔室，在腔室内向基板供给处理液。此外，基板处理装置1在内部具有由微型计算机构成的控制部100。
在对基板进行处理时，索引机械手14从放置在基板收纳器保持部12上的基板收纳器中取出作为处理对象的基板，将该基板经由基板传递部8传递给基板搬送机械手24。基板搬送机械手24将从索引机械手14接收的基板搬入作为对象的处理单元22。在对基板进行的处理结束时，基板搬送机械手24从作为对象的处理单元22取出基板，将该基板经由基板传递部8传递给索引机械手14。索引机械手14将从基板搬送机械手24接收的基板搬入作为对象的基板收纳器。
控制部100控制索引部10及处理部20所包括的控制对象(使索引机械手14移动的移动机构等)的动作。此外，控制部100将通过在该基板处理装置1中执行规程而得到的时序数据累积并保持，并且利用该时序数据进行各种数据处理。
2.时序数据
本实施方式的基板处理装置1中，为了检测各处理单元22中的处理所涉及的设备的异常或各处理单元22中进行的处理的异常等，每当执行规程时，均获取时序数据。本实施方式中获取的时序数据是在执行规程时利用传感器等测定各种物理量(例如喷嘴的流量、腔室的内压、腔室的排气压等)并将测定结果按照时序排列而得到的数据。后述的数据处理程序将各种物理量分别作为对应的参数值来进行处理。需要说明的是，一个参数对应于一种物理量。
图2是以曲线图形式示出某一时序数据的图。该时序数据是在执行一个规程时在一个处理单元22内的腔室对一张基板进行处理而得到的某物理量的数据。需要说明的是，时序数据是由多个离散值构成的数据，而图2中将在时间上邻接的两个数据值之间用直线连结。另外，在执行一个规程时，对于每个执行该规程的处理单元22，获取关于各种物理量的时序数据。因此，以下，将在执行一个规程时在一个处理单元22内的腔室对一张基板进行的处理称为“单位处理”，将由单位处理得到的一组时序数据称为“单位处理数据”。如图3示意性所示，一个单位处理数据包括关于多个参数的时序数据、以及由用于确定该单位处理数据的多个项目(例如，处理的开始时刻、处理的结束时刻等)的数据等组成的属性数据。需要说明的是，图3中，“参数A”、“参数B”、以及“参数C”对应于种类互不相同的物理量。
为了检测设备或处理的异常，应该将通过执行规程而得到的单位处理数据、与具有理想的数据值作为处理结果的单位处理数据进行比较。更具体而言，应该将通过执行规程而得到的单位处理数据中包括的多个时序数据、分别与具有理想的数据值作为处理结果的单位处理数据中包括的多个时序数据进行比较。因此，本实施方式中，对于每个规程设定用于与作为评价对象的单位处理数据进行比较的单位处理数据(由用于与作为评价对象的单位处理数据所包括的多个时序数据分别进行比较的多个时序数据组成的单位处理数据)作为基准数据。
另外，在本实施方式中，在一台基板处理装置1中对每个规程设定基准数据，而与处理单元22的数量(腔室的数量)无关。然而，本发明不限于此，也可以对每个规程、每个处理单元22设定(即，对各规程在每个处理单元22中)基准数据。此外，例如在一个工厂内设置有多个同类型的基板处理装置1的情况下，也可以对各规程设置在该多个基板处理装置1中共用的一个基准数据(即，也能以由多个基板处理装置1构成的数据处理***的方式来实施)。该情况下，可以将由特定的基板处理装置1得到的单位处理数据设定为基准数据，也可以将由任意的基板处理装置1得到的单位处理数据设定为基准数据。
3.控制部的结构
接着，说明基板处理装置1的控制部100的结构。图4是示出控制部100的硬件结构的框图。控制部100具有CPU110、主存储器120、辅助存储装置130、显示部140、输入部150和通信控制部160。CPU110根据提供的命令进行各种运算处理等。主存储器120暂时存储执行中的程序、数据等。辅助存储装置130储存当电源关闭时也应保持的各种程序、各种数据。本实施方式中，具体而言，用于执行后述的数据处理的数据处理程序132储存在辅助存储装置130中。此外，辅助存储装置130中设置有时序数据DB134和基准数据DB136。需要说明的是，“DB”是“Database(数据库)”的缩略语。如图5示意性所示，时序数据DB134中储存有规定期间的单位处理数据。如图6示意性所示，基准数据DB136中对于每个规程储存有对基准数据设定的单位处理数据(“规程A”、“规程B”、及“规程C”表示互不相同的规程)。显示部140例如显示用于由操作者进行操作的各种画面。输入部150例如是鼠标、键盘等，受理操作者从外部进行的输入。通信控制部160进行数据发送接收的控制。
该基板处理装置1启动时，数据处理程序132被读入主存储器120，由CPU110执行被读入该主存储器120的数据处理程序132。由此，基板处理装置1作为数据处理装置发挥功能。需要说明的是，数据处理程序132例如通过被记录在CD-ROM(Compact Disc Read-OnlyMemory：光盘只读存储器)、DVD-ROM(Digital Video Disk Read-Only Memory：数字视频磁盘只读存储器)、闪存等记录介质中的方式或经由网络下载的方式来提供。
4.基准数据的变更所涉及的数据处理方法
在本实施方式的基板处理装置1中，能够根据需要变更各规程的基准数据。因此，以下，关注一个规程来说明变更基准数据的流程。图7是示出基准数据的变更所涉及的数据处理的流程的流程图。图7所示的一系列处理通过基板处理装置1的控制部100内的CPU110执行数据处理程序132来实现。需要说明的是，以下将评价对象的单位处理数据称为“评价对象数据”。
首先，通过在基板处理装置1中执行该规程(以下称为“关注规程”)，基于从执行了关注规程的单元22得到的评价对象数据来进行评分(步骤S10)。需要说明的是，评分是指在评价对象数据与基准数据之间比较各参数的时序数据并将由此得到的结果进行数值处理而得到的处理。假设在由8个处理单元22中执行了关注规程的情况下，基于从该8个处理单元22得到的8个评价对象数据中的每一个数据进行评分(即，对每个单位处理进行)，由此得到8个评分结果。评分对多个评价项目进行“良”或“不良”的判断。通过对于各参数，将基于评价对象数据所包括的时序数据和基准数据所包括的时序数据而得到的检查值、以及与该检查值对应的阈值进行比较，由此进行该判断(实质上，是通过将评价对象数据所包括的时序数据与基准数据所包括的时序数据进行比较来进行的)。对此，在检查值超过了阈值的情况下，判断为该评价项目“不良”。另外，可以对一个参数设置多个评价项目。本实施方式中，各评价对象数据的评分结果通过以评价项目的总数为分母、以判断为不良的评价项目的数量为分子的形式来表示。
下面举出评价项目的例子。
例1：某一参数所涉及的稳定期间(参照图2)中的时序数据的平均值
例2：某一参数所涉及的稳定期间(参照图2)中的时序数据的最大值
例3：某一参数所涉及的上升期间(参照图2)的长度
对于例1的评价项目，以该参数所涉及的稳定期间内的“评价对象数据所包括的时序数据的平均值与基准数据所包括的时序数据的平均值的差”作为上述检查值。对于例2的评价项目，以该参数所涉及的稳定期间内的“评价对象数据中包括的时序数据的最大值与基准数据中包括的时序数据的最大值的差”作为上述检查值。对于例3的评价项目，以与该参数相关的“评价对象数据所包括的时序数据的上升期间的长度与基准数据所包括的时序数据的上升期间的长度之差”作为上述检查值。
另外，在评分时，可以进行各时序数据的标准化。例如，可以对各参数，以使基准数据所包括的时序数据的最大值变换为1、最小值变换为0的方式，对评价对象数据所包括的时序数据进行线性变换。此外，评价对象数据一般包括多个参数的时序数据，但可以仅对一部分参数的时序数据进行标准化。需要说明的是，根据需要来进行时序数据的标准化，从而能够更恰当地计算后述的评价值。
在评分结束后，显示评分结果(步骤S20)。对此，首先，将表示评分结果的概略情况的例如图10所示的评分画面30显示在显示部140中。在评分画面30中设置有与处理单元22的数量相等数量的按钮32。在按钮32内设置有处理单元名称显示区域321、处理张数显示区域322及错误数显示区域323。在处理单元名称显示区域321中显示该处理单元22的名称。在处理张数显示区域322中显示在该处理单元22内的腔室中在规定期间内处理的基板总数。在错误数显示区域323中显示发生的错误件数。另外，如附图标记34所示，对于发生了错误的处理单元22，在错误数显示区域323显示与错误件数对应的大小的圆。
当按下如上所述的评分画面30中的任一按钮32时，显示用于表示在该处理单元22中执行的单位处理的评分结果的画面。然后，当在该画面上选择一个单位处理时，将列表显示出与该选择出的单位处理对应的规程的评分结果的例如图9所示的评分结果列表画面40显示在显示部140中。
如图9所示，在评分结果列表画面40中包括按钮显示区域41、检索对象显示区域42、项目名称显示区域43、结果显示区域44和期间显示区域45。在按钮显示区域41中设置有Good按钮411、Bad按钮412、Ranking按钮413和Swap按钮414。
在检索对象显示区域42中显示作为检索对象的处理单元22的名称及作为检索对象的规程(此处为关注规程)的名称。在图9所示的例子中，可以知道作为检索对象的处理单元22的名称为“Chamber 3”、作为检索对象的规程(Recipe)的名称为“Flushing test2”。
在项目名称显示区域43中显示在结果显示区域44中显示的内容(属性数据)的项目名称。“Failed/Total”是表示评分结果的项目名称。另外，“Failed”相当于判断为不良的评价项目的数量，“Total”相当于评价项目的总数。“Start time”是表示关注规程的开始时刻的项目名称。“End time”是表示关注规程的结束时刻的项目名称。“Process time”是表示关注规程的处理时间的项目名称。“Alarm”是表示在执行关注规程时发生的警报数的项目名称。“Substrate ID”是表示用于唯一地识别进行了基于关注规程的处理的基板(晶片)的编号的项目名称。“Recommend(Good/Bad)”是表示后述的推荐度的项目名称。另外，“Good”相当于表示高评价的程度的值(以下称为“Good值”)，“Bad”相当于表示低评价的程度的值(以下称为“Bad值”)。推荐度由该Good值与Bad值组成。
在结果显示区域44中显示符合检索条件的单位处理数据的属性数据(各种信息或评分结果等)。图9所示的例子中，8个单位处理数据的属性数据显示在结果显示区域44中。操作者能够从显示在结果显示区域44中的属性数据中选择一个属性数据(一行)。
在期间显示区域45中显示预先设定的检索对象期间。通过在该检索对象期间执行关注规程而得到的单位处理数据的属性数据被显示在结果显示区域44中。在图9所示的例子中，可以知道检索对象期间为从2017年7月19日的下午7时39分34秒至2017年8月19日的下午7时39分34秒的一个月。
此处，说明设置在按钮显示区域41的各按钮的功能。Good按钮411是用于在期望提高与在结果显示区域44内选择出的属性数据对应的单位处理数据的评价值时，供操作者按下的按钮。Bad按钮412是用于在期望降低与在结果显示区域44内选择出的属性数据对应的单位处理数据的评价值时，供操作者按下的按钮。Ranking按钮413是用于指示排序处理的执行的按钮。Swap按钮414是用于将与在结果显示区域44内选择出的属性数据对应的单位处理数据设定为新的基准数据的按钮。另外，评价值、排序处理的说明将在后文进行。
在显示评分结果列表画面40后，根据需要对表示将各单位处理数据推荐为基准数据的程度的推荐度进行设定(推荐设定)(步骤S30)。推荐设定是通过在选择了在结果显示区域44中显示的属性数据中与作为设定对象的单位处理数据对应的属性数据的状态下，按下Good按钮411或Bad按钮412来进行的。此时，在优选将作为设定对象的单位处理数据作为基准数据的情况下，操作者按下Good按钮411；在不优选作为设定对象的单位处理数据作为基准数据的情况下，操作者按下Bad按钮412。对此，在显示评分结果列表画面40后，Good按钮411及Bad按钮412立即变为不可选择的状态。如图10所示，当在该状态下操作者选择在结果显示区域44中显示的任一属性数据时，该属性数据变为选中状态并且Good按钮411及Bad按钮412变为可选择的状态。在该状态下操作者按下Good按钮411或Bad按钮412，由此进行Good值、Bad值的加法运算。例如，当在图10所示的状态下按下三次Bad按钮412时，如图11所示，选择出的属性数据的Bad值变为“3”。如上所述，评分结果列表画面40构成为能够从外部变更推荐度。另外，关于将Good值或Bad值具体设定为何种值，例如是考虑了评分结果、警报数、该单位处理中得到的产物(基板)的状态(例如，颗粒数、缺陷数、崩溃率)等而决定的。此外，除了Good按钮411及Bad按钮412以外，还可以设置用于减小Good值的按钮以及用于减小Bad值的按钮。
需要说明的是，从在某一时间点进行基准数据的变更起至下一次进行基准数据的变更，通常执行多次各规程。即，从在某一时间点进行基准数据的变更起至下一次进行基准数据的变更，通常执行多次评分。因此，在用于将基准数据进行一次变更的一系列处理(图7所示的一系列处理)中，通常重复多次步骤S10～步骤S30的处理。然后，在期望进行基准数据的变更时，由操作者按下评分结果列表画面40内的Ranking按钮413(步骤S40)。由此，例如图12所示的排序设定画面50被显示在显示部140中。排序设定画面50是用于进行后述的排序处理的设定的画面。
此处，说明排序处理。本实施方式中的排序处理是对于通过执行指定的规程而得到的多个单位处理数据(检索对象期间内的单位处理数据)，基于三个指标进行排序并将该排序的结果按照排序形式进行显示的一系列处理。需要说明的是，排序形式是从指位次高的数据至位次低的数据依次排列的形式。各单位处理数据的位次是基于三个指标计算出的评价值(总得分)来决定的。在本实施方式中，作为计算评价值的三个指标值，利用基于上述推荐度的值(以下称为“推荐值”)、基于评分结果的值(以下称为“评分结果值”)、以及基于警报的发生次数(或者警报的有无)的值(以下称为“警报值”)。评价值的具体求取方法将在后文进行叙述。在排序处理中，基于评价值对检索对象期间内的多个单位处理数据进行排序，并按照排序形式显示与各单位处理数据对应的属性数据。
在步骤S50中，通过操作者的操作利用排序设定画面50来进行在执行如上所述的排序处理所需要的设定。图12是示出排序设定画面50的一例的图。如图12所示，在该排序设定画面50中包括用于设定在对决定各单位处理数据的位次的评价值进行计算时的上述三个指标值各自的影响度(贡献度)的三个下拉列表51～53、OK按钮58、以及Cancel按钮59。下拉列表51是用于设定推荐值的影响度的界面。下拉列表52是用于设定评分结果值的影响度的界面。下拉列表53是用于设定警报值的影响度的界面。OK按钮58是用于基于设定内容执行排序处理(步骤S60～步骤S110的处理)的按钮。Cancel按钮59是用于取消设定内容(利用下拉列表51～53设定的内容)并返回评分结果列表画面40的按钮。
对于下拉列表51～53，例如能够以每1％为单位来设定影响度。但是，也能够以每5％或每10％为单位来设定影响度。另外，对于不希望用其作为计算评价值时的指标值的指标值，可以将影响度设定为0％。
另外，若将下拉列表51的设定值定义为“第一设定值”，将下拉列表52的设定值定义为“第二设定值”，将下拉列表53的设定值定义为“第三设定值”，则优选自动进行值的调整，使得第一设定值、第二设定值与第三设定值之和为100％。对此，在显示排序设定画面50后在对两个下拉列表设定了值时，余下的一个下拉列表的值能够被自动设定。该情况下，例如，在进行了“第一设定值＝50、第二设定值＝30”的设定时，第三设定值被自动设定为“20”。此外，在已经对三个下拉列表设定了值的状态下，在变更了任意一个下拉列表的值时余下的两个下拉列表的值可以维持原比例自动地变更。该情况下，例如，若在进行了“第一设定值＝70、第二设定值＝20、第三设定值＝10”的设定的状态下，第一设定值变更为“55”，则自动地将第二设定值变更为“30”并且将第三设定值变更为“15”。
另外，也可以接受第一设定值、第二设定值与第三设定值之和超过100％的设定，以维持其比例将和变为100％的方式进行内部处理。此外，还可以在进行了第一设定值、第二设定值与第三设定值之和超过100％的设定时，显示“和超过100％”的消息来促使进行重新设定。
在设定了三个指标值的影响度后，按下排序设定画面50的OK按钮58时，开始进行排序处理(步骤S60～步骤S110的处理)。在排序处理中，将通过在检索对象期间执行关注规程而从各处理单元22得到的所有单位处理数据作为评价对象数据。
首先，对于可以成为基准数据的候选的数据即各评价对象数据，求出上述推荐值(步骤S60)。若将Good值表示为CntG，将Bad值表示为CntB，则推荐值V(R)例如根据下式(1)计算出。
V(R)＝(CntG-CntB)×100/(CntG+CntB)···(1)
其中，“CntG＝0”且“CntB＝0”时“V(R)＝0”。
接着，对于各评价对象数据求出上述警报值(步骤S70)。对于警报值V(A)，例如，若警报数为0(评分结果列表画面40中记为“None”)则“V(A)＝100”，若警报数为1以上则“V(A)＝-100”
接着，对于各评价对象数据求出上述评分结果值V(S)(步骤S80)。若将评价项目的总数表示为Nt，将判断为不良的评价项目的数量表示为Nf，则评分结果值V(S)例如根据下式(2)计算出。
V(S)＝(Nt-2×Nf)×100/Nt···(2)
在如上所述求出了推荐值V(R)、警报值V(A)、及评分结果值V(S)后，对各评价对象数据进行上述评价值(总得分)的计算(步骤S90)。若将步骤S50中设定的下拉列表51～53的值(比例)分别表示为P1～P3，则评价值(总得分)Vtotal根据下式(3)计算出。
Vtotal＝V(R)×P1+V(S)×P2+V(A)×P3···(3)
在计算出可以成为基准数据的候选的所有单位处理数据(评价对象数据)的评价值后，基于该计算出的评价值进行单位处理数据的排序(步骤S100)。此时，单位处理数据的评价值越大，位次就越高(表示位次的数值就越小)。因此，位次为第一位的单位处理数据是评价值最大的单位处理数据。
在排序结束后，将表示该排序的结果的例如图13所示的排序画面60显示在显示部140中(步骤S110)。如图13所示，将多个单位处理数据中的每个单位处理数据的属性数据按照排序结果以排序形式显示在排序画面60中。
排序画面60中包括按钮显示区域61、检索对象显示区域62、项目名称显示区域63、结果显示区域64和期间显示区域65。在按钮显示区域61中与评分结果列表画面40同样地设置有Good按钮411、Bad按钮412、Ranking按钮413和Swap按钮414。
检索对象显示区域62中显示作为检索对象的处理单元22的名称及作为检索对象的规程(此处为关注规程)的名称。通过图13所示的例子，可以知道作为检索对象的处理单元22的名称为“Chamber 3”、“Chamber4”、以及“Chamber 5”并且检索对象的规程的名称为“Flushing test2”。在评分结果列表画面40(参照图9)中仅在评分画面30(参照图8)中被选择出的处理单元22成为检索对象，而排序画面60中在检索对象期间执行关注规程的所有处理单元22成为检索对象。
项目名称显示区域63中显示在结果显示区域64中显示的内容(属性数据)的项目名称。“Ranking”是表示排序的位次的项目名称。“Total Score”是表示上述评价值(总得分)的项目名称。“Recommend Score”是表示将上述推荐值乘以在排序设定画面50的下拉列表51中设定的比例而得到的值(V(R)×P1)的项目名称。“Scoring Result Score”是表示将上述评分结果值乘以在排序设定画面50的下拉列表52中设定的比例而得到的值(V(S)×P2)的项目名称。“Alarm Number Score”是表示将上述警报值乘以在排序设定画面50的下拉列表53中设定的比例而得到的值(V(A)×P3)的项目名称。“Unit”是表示处理单元的项目名称。“Start time”是表示关注规程的开始时刻的项目名称。“End time”是表示关注规程的结束时刻的项目名称。“Process time”是表示关注规程的处理时间的项目名称。
在结果显示区域64中显示符合检索条件的单位处理数据的属性数据(各种信息或排序的位次等)。由图13可知，在结果显示区域64内，单位处理数据的属性数据按照评价值从高到低排列的状态显示。因此，与在结果显示区域64中的第1行显示的属性数据对应的单位处理数据是符合检索条件的单位处理数据中评价值最大的单位处理数据。操作者可以从显示在结果显示区域64中的属性数据中选择一个属性数据(一行)。
在期间显示区域65中，与评分结果列表画面40的期间显示区域45同样地显示检索对象期间。通过图13所示的例子，可以知道检索对象期间为2017年7月19日的下午7时39分34秒至2017年8月19日的下午7时39分34秒这1个月的期间。
在显示排序画面60后，由操作者选择变更后的基准数据(步骤S120)。具体而言，操作者从显示在排序画面60的结果显示区域64中的属性数据中选择与作为变更后的基准数据的单位处理数据对应的属性数据。由此，在排序画面60中，被选择出的属性数据变为选中状态。在该状态下，操作者按下按钮显示区域61内的Swap按钮414。由此，变更关注规程的基准数据(步骤S130)。具体而言，基准数据DB136(参照图6)中保持的单位处理数据中与关注规程对应的单位处理数据被改写为与结果显示区域64内变为选中状态的属性数据对应的单位处理数据。由于能够如上地基于所述排序的结果决定基准数据，因此可以将具有理想的时序值的单位处理数据设定为变更后的基准数据。
例如，若在排序画面60变为图13所示的状态时操作者选择结果显示区域64内的第一行的属性数据，则如图14所示，第1行的属性数据变为选中状态并且Swap按钮414变为可按下的状态。在该状态下操作者按下Swap按钮414时，关注规程的基准数据变更为与第一行的属性数据对应的单位处理数据。
另外，根据本实施方式，也可以选择排序的位次为第一位以外的单位处理数据作为基准数据。如此，能够选择符合用户需求的基准数据。
通过如上所述地进行基准数据的变更，图7所示的一系列处理结束。需要说明的是，本实施方式中，通过步骤S10～步骤S90实现单位处理数据评价步骤，通过步骤S100～步骤S130实现基准数据变更步骤。此外，通过步骤S10实现数据比较步骤，通过步骤S20实现比较结果显示步骤，通过步骤S50实现贡献度设定步骤，通过步骤S60实现推荐度得分化步骤，通过步骤S70实现警报次数得分化步骤，通过步骤S80实现比较结果得分化步骤，通过步骤S90实现评价值计算步骤，通过步骤S110实现排序显示步骤，通过步骤S120实现基准数据选择步骤。
5.最初的基准数据的决定方法
在上述说明中，以已经设定了基准数据(即，基准数据DB136中保持有作为基准数据的单位处理数据)作为前提。然而，在基板处理装置1的制造结束后开始使用该基板处理装置1的时间点，不存在基准数据。因此，需要通过某种方法决定最初的基准数据。因此，下面说明最初的基准数据的决定方法所涉及的具体例。
5.1第一例
一般地，当基板处理装置的制造结束时，对该基板处理装置进行各种测试。然后，在这些测试合格的情况下开始首次的实际使用。因此，能够将在测试合格后在某一处理单元22中最初执行规程时得到的单位处理数据设定为该规程的最初的基准数据。
另外，例如在基板处理装置1中设置有12个处理单元22并且在该12个处理单元22中执行相同规程时，得到12个单位处理数据。在该情况下，若对各规程在每个处理单元22中设定基准数据，则能够将12个单位处理数据分别设定为对应的处理单元22的基准数据。
5.2第二例
在从开始实际使用基板处理装置1起的规定期间，基板处理装置1在未设定基准数据的状态下运行。另外，在基板处理装置1中执行了规程后，对每个进行了处理的基板(晶片)进行用于判断处理结果是否良好(得到的产物是否良好)的规定检查。由此，得到每个基板的颗粒数、缺陷数、崩溃率等信息。因此，能够基于在上述规定期间得到的这些信息，将在对得到最好的处理结果的基板进行处理时的单位处理数据设定为该规程的最初的基准数据。
5.3第三例
在从开始实际使用基板处理装置1起的规定期间，基板处理装置1在未设定基准数据的状态下运行。另外，在基板处理装置1中执行了规程后，对每个单位处理得到警报数的信息。需要说明的是，警报数是指无需将单位处理数据与基准数据进行比较处理即可得到的符合规定的错误条件的项目的数量。因此，能够基于在上述规定期间得到的警报数的信息，将通过警报数最少的单位处理(当存在多个时，可以是其中的任一个)得到的单位处理数据设定为该规程的最初的基准数据。
5.4第四例
有时，在制造出某基板处理装置1时，已经使用过与该基板处理装置1相同类型的基板处理装置1。在该情况下，能够将在已经使用过的基板处理装置1中被设定为基准数据的单位处理数据设定为刚制造出的基板处理装置1中的最初的基准数据。
6.效果
根据本实施方式，在基板处理装置1中，对每个单位处理数据计算评价值，该单位处理数据是通过单位处理得到的一组时序数据。此时，评价值是通过通过将作为评价对象的单位处理数据与预先设定的基准数据进行比较而计算出的。因此，能够使作为评价对象的单位处理数据与基准数据的相似程度的大小反映在该评价对象的单位处理数据的评价值上。此外，由于基于评价值变更基准数据，因此能够将与变更前的基准数据相似程度较大的单位处理数据设定为变更后的基准数据。由于能够像这样地恰当地设定基准数据，因此能够通过将各单位处理数据所包括的时序数据与基准数据所包括的时序数据进行比较，从而高精度地检测基板处理装置1中执行的处理的异常。如上所述，根据本实施方式，能够以高于以往的精度利用时序数据进行异常检测。
7.变形例
下面，说明上述实施方式的变形例。
7.1第一变形例
在上述实施方式中，在进行基准数据的变更时，作为变更后的基准数据的单位处理数据是由操作者在排序画面60中选择出的。然而，本发明不限于此，也可以根据排序结果自动变更基准数据而无需操作者的操作(选择基准数据的操作)。
图15是示出在本变形例中的基准数据的变更所涉及的数据处理的流程的流程图。与上述实施方式同样地，在本变形例中，在计算出了可以作为基准数据的候选的所有单位处理数据(评价对象数据)的评价值后，基于该计算出的评价值进行单位处理数据的排序(步骤S100)。通过该步骤S100，将评价值最大的单位处理数据的位次设定为第一位。此外，不同于上述实施方式，不必将排序画面60显示在显示部140中，将关注规程的基准数据变更为位次被设定为第一位的单位处理数据(步骤S130)。由此，将具有理想的时序值的单位处理数据可靠地设定为基准数据。根据如上的本变形例，虽然不能将位次为第二位以下的单位处理数据设定为基准数据，但减轻了操作者的操作负担。此外，防止了因操作者的操作失误将不恰当的单位处理数据设定为基准数据。
7.2第二变形例
在上述实施方式中，在执行排序处理前进行排序处理的设定(图7的步骤S50)。然而，本发明不限于此，也可以在进行评分前进行排序处理的设定。
图16是示出本变形例中的基准数据的变更所涉及的数据处理的流程的流程图。在本变形例中，在开始执行数据处理程序132后在显示部140所显示的规定画面内设置用于指示开始进行排序处理的设定的菜单。然后，当选择该菜单时，如图12所示的排序设定画面50显示在显示部140中，并且与上述实施方式同样地进行排序处理的设定(具体是指三个指标值各自的影响度的设定)(步骤S5)。另外，在本变形例中，当按下排序设定画面50的OK按钮58时，返回规定的画面。
然后，每当执行该规程(关注规程)时，进行评分(步骤S10)、显示评分结果(步骤S20)、以及推荐设定(步骤S30)。其中，推荐设定仅在必要的情况下进行。
然后，例如通过由操作者选择在规定的画面内设置的“指示开始进行排序处理的菜单”、或者根据预先设定的规则等发出“指示开始进行排序处理的指令”，从而开始进行排序处理(步骤S35)。然后，与上述实施方式同样地进行排序处理，并基于排序处理的结果进行基准数据的变更(步骤S60～步骤S130)。另外，可以与第一变形例同样地不显示排序画面60，而是将关注规程的基准数据变更为排序处理的位次被设定为第一位的单位处理数据。
7.3第三变形例
在上述实施方式中，预先设定有三个指标值(推荐值、评分结果值、警报值)作为用于计算单位处理数据的评价值的指标值。然而，本发明不限于此，也可以预先设定有两个以下指标值或四个以上指标值。对此，还可以与预先设定有除了上述实施方式中说明的指标值以外的指标值。
在本变形例中，上述的排序设定画面50中显示的内容与预先设定的指标值对应。例如，在预先设定有两个指标值(推荐值及评分结果值)作为指标值的情况下，排序设定画面50为如图17所示的画面。
7.4第四变形例
与第三变形例相关，但是可以预先设置用于基板处理装置1的用户可自由使用的项目(以下称为“自由输入项目”)作为单位处理数据的属性数据的项目，将被输入至自由输入项目用栏中的值当作用于计算上述评价值的指标值来使用。被输入至该自由输入项目用栏中的数据相当于任意输入数据。作为被认为输入自由输入项目用栏即可的值的具体例，举出颗粒数、缺陷数、崩溃率等。另外，下面说明预先设置有两个自由输入项目的情况。
在本变形例中，如图18所示，在评分结果列表画面40的结果显示区域44内对各单位处理数据设置有两个自由输入项目用栏。在图18所示的例子中，其项目名称为“FreeInput 1”及“Free Input 2”。项目名称可以由操作者进行变更。另外，为方便说明，将项目名称为“Free Input 1”的一栏的输入值称为“第一自由项目值”，将项目名称为“FreeInput 2”的一栏的输入值称为“第二自由项目值”。除了上述实施方式中设置的按钮，按钮显示区域41内还设置有Free1按钮415及Free2按钮416。Free1按钮415是用于输入第一自由项目值的按钮，Free2按钮416是用于输入第二自由项目值的按钮。
在显示了评分结果列表画面40后，Free1按钮415及Free2按钮416立即变为不可选择的状态。在该状态下操作者选择出显示在结果显示区域44中的任一属性数据时，该属性数据变为选中状态并且Free1按钮415及Free2按钮416变为可选择的状态。在该状态下操作者按下Free1按钮415或Free2按钮416时，例如图19所示的数据值输入画面70显示在显示部140中。
如图19所示，该数据值输入画面70包括用于输入第一自由项目值或第二自由项目值的文本框71、OK按钮78、和Cancel按钮79。操作者在文本框71内输入该项目的数据值。然后，当按下OK按钮78时，向文本框71输入的输入内容(数据值)反映在评分结果列表画面40的结果显示区域44内的对应的栏内。另一方面，当按下Cancel按钮79时，向文本框71输入的输入内容被取消并返回评分结果列表画面40。如上所述，本变形例中的评分结果列表画面40构成为能够从外部变更自由输入项目用栏的值。
需要说明的是，第一自由项目值、第二自由项目值的输入例如可以在上述的推荐设定(图7的步骤S30)之前或之后进行。此外，也可以是，在应该输入至自由输入项目用栏的值以电子数据的形式存在的情况下，能够经由记录介质或网络读取该电子数据。由此，减轻了操作者的输入产生的操作负担。
在本变形例中，当按下评分结果列表画面40的Ranking按钮413时，如图20所示的排序设定画面50显示在显示部140中。除了在上述实施方式中设置的下拉列表51～53，该排序设定画面50中还设置有用于设定第一自由项目值的影响度的下拉列表54及用于设定第二自由项目值的影响度的下拉列表55。如此，能够设定五个指标值各自的影响度。
根据本变形例，能够根据需要追加用于计算评价值的指标值。因此，能够考虑根据时序数据无法得到的信息来计算评价值。由此，能够更恰当地决定作为基准数据的单位处理数据。
另外，以上说明了预先设置有自由输入项目的情况，但也可以通过例如在评分结果列表画面40中选择规定的菜单来向结果显示区域44内初始追加自由输入项目用栏。该情况下，例如，以与在结果显示区域44内的自由输入项目用栏的追加联动的方式，在排序设定画面50中追加用于设定该自由输入项目的影响度的下拉列表即可。
7.5第五变形例
在上述实施方式中，各评价对象数据的评分结果通过以评价项目的总数为分母、被判断为不良的评价项目的数量为分子的方式来表示。然后，根据这样的评分结果求出评分结果值。然而，本发明不限于此，也可以不不必将评价对象数据所包括的时序数据与基准数据所包括的时序数据转换为数据值而直接比较，并根据该比较结果求出评分结果值。下面说明该方法。
例如，可以关注某一参数，求出评价对象数据所包括的时序数据的值与基准数据所包括的时序数据的值之差在稳定期间内的积分值(表示图21中标记附图标记75的网纹部分的面积的值)。若考虑到评分是基于多个评价项目而进行的，则假设对这些多个评价项目中的每一个获得如上述积分值的值(以下简称为“直接比较值”)。需要说明的是，由于直接比较值的单位因评价项目而不同，因此在简单地将多个评价项目的直接比较值的总和设定为评分结果值的情况下该评分结果值是没有意义的。因此，在求取评价值时与设定各指标值的影响度同样地，设定为例如图22所示的画面显示在显示部140中，并能够由操作者设定评分结果值的计算所涉及的每个评价项目的影响度即可。由此，能够根据多个评价项目的直接比较值准确地求出评分结果值。
另外，可以在计算评价值时不考虑推荐值及警报值，不将评价对象数据所包括的时序数据与基准数据所包括的时序数据加工为数据值而根据直接比较的结果来求出评价值。
7.6第六变形例
根据上述实施方式，随时变更用于与作为评价对象的单位处理数据进行比较的单位处理数据即基准数据。对此，上述实施方式中仅各规程的最新的基准数据被保持在基准数据DB136中，但也可以设定为将过去的基准数据也保持在基准数据DB136中。此外，也可以将过去的基准数据保持在与基准数据DB136不同的数据库中。如此可以保留基准数据的历史。
因此，也可以设置利用基准数据的历史将过去的基准数据恢复为当前的基准数据的功能。例如，能够设置为，预先设定有用于显示基准数据的历史的菜单并且在选择该菜单来指定规程时如图23所示的基准数据历史画面80显示在显示部140中。如图23所示，在基准数据历史画面80中包括按钮显示区域81、项目名称显示区域82和历史显示区域83。按钮显示区域81内设置有Swap按钮811。在项目名称显示区域82内显示在历史显示区域83中显示的内容(属性数据)的项目名称(例如，表示被指定的规程的开始时刻的项目名称等)。在历史显示区域83内显示被指定的规程的过去的基准数据(过去被设定为基准数据的单位处理数据)的属性数据。在图23所示的例子中，将过去的6个基准数据的属性数据显示在历史显示区域83中。操作者可以从显示在历史显示区域83内的属性数据中选择一个属性数据(一行)。Swap按钮811是用于将与在历史显示区域83内选择出的属性数据所对应的过去的基准数据(过去被设定为基准数据的单位处理数据)恢复为当前的基准数据的按钮。
在显示了基准数据历史画面80后，Swap按钮811立即变为不可选择的状态。在该状态下操作者选择在历史显示区域83中显示的任一属性数据时，该属性数据变为选中状态并且Swap按钮811变为可选择的状态。在该状态下操作者按下Swap按钮811时，将基准数据变更为与历史显示区域83中变为选中状态的属性数据对应的单位处理数据，而与变更时机设定画面70中的设定内容无关。即，将与历史显示区域83中变为选中状态的属性数据所对应的过去的基准数据恢复为被指定的规程的当前的基准数据。
另外，与本变形例相关，例如可以在指定了规程后将如图24所示的期间指定画面85显示在显示部140中并接受操作者的期间指定，将在假设在被指定的每个期间变更了基准数据的情况下的基准数据的历史显示在显示部140中。由此，例如，可以依次显示在假设每7天变更了基准数据的情况下的基准数据的历史、在假设每1个月变更了基准数据的情况下的基准数据的历史、在假设每1年变更了基准数据的情况下的基准数据的历史等，并将其结果灵活应用于时序数据的分析中。
7.7第七变形例
在上述实施方式中，通过排序处理，对通过在检索对象期间内执行指定的规程而得到的多个单位处理数据进行排序。对此，也可以设定为能够预先进行如下所述的集合间的排序，以使得能够指定作为排序处理的对象的单位处理数据的母集合。
例如，在基板处理装置中，多个腔室间的处理性能具有差异。因此，可以设置如下的功能，即，“在受理了作为对象的规程的指定后，(由于处理单元22与腔室一一对应)根据规定的规则，利用在对每个处理单元22执行该规程时得到的所有单位处理数据来求出评价值，并且基于该评价值进行处理单元22的排序”。该情况下，作为排序的结果例如可以将如图25所示的腔室排序画面86显示在显示部140中。通过对大量的规程进行处理单元22的这样的排序，例如，能够掌握执行任何规程都能得到良好结果的腔室(处理单元22)。然后，能够在执行排序处理(图7的步骤S60～步骤S110)前接受对一个或多个处理单元22的选择，仅将在选择出的处理单元22中得到的单位处理数据作为排序处理的对象。
此外，例如，在关注某一个处理(例如SPM处理)时，有时会使参数的设定值逐渐变化来执行该处理。在该情况下，该处理存在多个规程。因此，例如，在对每个处理设定了基准数据且处理包含关联的多个规程的情况下，可以设置如下的功能，即，“在接受了对要比较的多个规程的选择(或者处理的选择)后，对于每个规程利用所有单位处理数据根据规定的规则求取评价值，并基于该评价值对规程进行排序”。该情况下，作为排序的结果例如将如图26所示的规程排序画面87显示在显示部140中即可。然后，可以在决定某处理的基准数据时，在执行排序处理前接受对一个或多个规程的选择，并且仅将通过执行选择出的规程而得到的单位处理数据作为排序处理的对象。
此外，例如，在一个工厂内设置有相同类型的多个基板处理装置的情况下，可以对任意规程设置对基板处理装置进行排序的功能。此外，在决定该规程的基准数据时，在执行排序处理前接受对基板处理装置的选择，仅将在选择出的基板处理装置中得到的单位处理数据作为排序处理的对象。

Claims (22)

1.一种数据处理方法，将在单位处理中得到的多个时序数据作为单位处理数据并处理多个单位处理数据，其特征在于，所述数据处理方法包括：
单位处理数据评价步骤，将所述多个单位处理数据中的预先设定的单位处理数据作为基准数据，基于作为评价对象的单位处理数据与所述基准数据来计算所述作为评价对象的单位处理数据的评价值，以及
基准数据变更步骤，基于在所述单位处理数据评价步骤中计算出的评价值来变更所述基准数据。
2.根据权利要求1所述的数据处理方法，其特征在于，
在所述基准数据变更步骤中，基于在所述单位处理数据评价步骤中计算出的评价值对多个单位处理数据进行排序，并且基于该排序的结果，决定作为变更后的基准数据的单位处理数据。
3.根据权利要求2所述的数据处理方法，其特征在于，
所述基准数据变更步骤包括：
排序显示步骤，根据所述排序的结果，将表示多个单位处理数据中的每个单位处理数据的属性的属性数据按照排序形式进行显示，以及
基准数据选择步骤，从在所述排序显示步骤中显示的多个属性数据中选择作为变更后的基准数据的单位处理数据的属性数据。
4.根据权利要求2所述的数据处理方法，其特征在于，
在所述基准数据变更步骤中，将所述排序的位次为第一位的单位处理数据设定为变更后的基准数据。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的数据处理方法，其特征在于，
所述单位处理数据评价步骤包括：
数据比较步骤，将所述作为评价对象的单位处理数据与所述基准数据进行比较，
比较结果得分化步骤，计算比较结果值，所述比较结果值是将在所述数据比较步骤中得到的比较结果进行得分处理而得到的值，以及
评价值计算步骤，基于多个指标值计算所述评价值，所述多个指标值包括所述比较结果值。
6.根据权利要求5所述的数据处理方法，其特征在于，
在所述数据比较步骤中，对所述作为评价对象的单位处理数据中包括的各时序数据进行标准化。
7.根据权利要求1～4中任一项所述的数据处理方法，其特征在于，
所述单位处理数据评价步骤包括：
数据比较步骤，对于多个项目，不将所述作为评价对象的单位处理数据与所述基准数据加工为数据值，而将所述作为评价对象的单位处理数据与所述基准数据直接进行比较，
比较结果值计算步骤，基于在所述数据比较步骤中得到的所述多个项目的比较结果，计算比较结果值，以及
评价值计算步骤，基于多个指标值计算所述评价值，所述多个指标值包括所述比较结果值。
8.根据权利要求5～7中任一项所述的数据处理方法，其特征在于，
所述多个指标值包括单位互不相同的两个以上的指标值。
9.根据权利要求8所述的数据处理方法，其特征在于，
在所述单位处理数据评价步骤中包括警报次数得分化步骤，在所述警报次数得分化步骤中计算警报值，所述警报值是将在执行与各单位处理数据对应的单位处理时发生的警报的发生次数进行得分处理而得到的值，
所述多个指标值包括所述警报值。
10.根据权利要求8或9所述的数据处理方法，其特征在于，
所述单位处理数据评价步骤包括计算推荐值的推荐度得分化步骤，所述推荐值是将作为各单位处理数据的所述基准数据的推荐度进行得分处理而得到的值，
所述多个指标值包括所述推荐值。
11.根据权利要求10所述的数据处理方法，其特征在于，
在所述单位处理数据评价步骤中包括显示比较结果画面的比较结果显示步骤，所述比较结果画面将属性数据进行列表显示，所述属性数据表示多个单位处理数据各自的属性并且包括在所述数据比较步骤中得到的比较结果，
在所述比较结果画面中显示的属性数据包括所述推荐度，
所述比较结果画面构成为能够从外部变更所述推荐度。
12.根据权利要求8所述的数据处理方法，其特征在于，
在所述单位处理数据评价步骤中包括显示比较结果画面的比较结果显示步骤，所述比较结果画面将属性数据进行列表显示，所述属性数据表示多个单位处理数据各自的属性并且包括在所述数据比较步骤中得到的比较结果，
在所述比较结果画面中显示的属性数据包括能够被输入任意项目的数据值的任意输入数据，
所述比较结果画面构成为能够从外部变更所述任意输入数据的数据值，
所述多个指标值包括所述任意输入数据的数据值。
13.根据权利要求5～12中任一项所述的数据处理方法，其特征在于，
在所述单位处理数据评价步骤中包括贡献度设定步骤，在所述贡献度设定步骤中设定在计算所述评价值时的所述多个指标值的各自的贡献度。
14.根据权利要求1～4中任一项所述的数据处理方法，其特征在于，
所述单位处理数据评价步骤包括：
数据比较步骤，将所述作为评价对象的单位处理数据与所述基准数据进行比较并求出比较结果值，
推荐度得分化步骤，计算推荐值，所述推荐值是将作为各单位处理数据的所述基准数据的推荐度进行得分处理而得到的值，
警报次数得分化步骤，计算警报值，所述警报值是将在执行与各单位处理数据对应的单位处理时发生的警报的发生次数进行得分处理而得到的值，
比较结果得分化步骤，计算比较结果值，所述比较结果值是将在所述数据比较步骤中得到的比较结果进行得分处理而得到的值，以及
评价值计算步骤，基于多个指标值计算所述评价值；
所述多个指标值包括所述推荐值、所述警报值和所述比较结果值，
在所述单位处理数据评价步骤中还包括贡献度设定步骤，在所述贡献度设定步骤中设定在计算所述评价值时的所述多个指标值的各自的贡献度。
15.根据权利要求1～4中任一项所述的数据处理方法，其特征在于，
在所述单位处理数据评价步骤中计算出的评价值是通过不将所述作为评价对象的单位处理数据与所述基准数据加工为数据值，而将所述作为评价对象的单位处理数据与所述基准数据直接进行比较而求出的值。
16.根据权利要求1～15中任一项所述的数据处理方法，其特征在于，
通过所述基准数据变更步骤得到的作为变更后的基准数据的单位处理数据是从通过在预先设定的期间内执行的单位处理而得到的一个以上的单位处理数据中选择出的。
17.根据权利要求1～16中任一项所述的数据处理方法，其特征在于，
所述基准数据被保持在预先设置的基准数据存储部中，
在所述基准数据变更步骤中，改写所述基准数据存储部中保持的基准数据。
18.根据权利要求1～17中任一项所述的数据处理方法，其特征在于，
所述单位处理是在基板处理装置中作为一个规程对一张基板执行的处理。
19.根据权利要求18所述的数据处理方法，其特征在于，
所述基准数据是在所述基板处理装置中最初执行所述单位处理时得到的单位处理数据。
20.一种数据处理装置，将在单位处理中得到的多个时序数据作为单位处理数据并处理多个单位处理数据，其特征在于，所述数据处理装置具有：
单位处理数据评价部，将所述多个单位处理数据中的预先设定的单位处理数据作为基准数据，基于作为评价对象的单位处理数据与所述基准数据来计算所述作为评价对象的单位处理数据的评价值，以及
基准数据变更部，基于由所述单位处理数据评价部计算出的评价值来变更所述基准数据。
21.一种数据处理***，将在单位处理中得到的多个时序数据作为单位处理数据并处理多个单位处理数据，其特征在于，所述数据处理***具有：
单位处理数据评价部，将所述多个单位处理数据中的预先设定的单位处理数据作为基准数据，基于作为评价对象的单位处理数据与所述基准数据来计算所述作为评价对象的单位处理数据的评价值，以及
基准数据变更部，基于由所述单位处理数据评价部计算出的评价值来变更所述基准数据。
22.一种计算机可读取的记录介质，其上存储有数据处理程序，所述数据处理程序用于将在单位处理中得到的多个时序数据作为单位处理数据并处理多个单位处理数据，其特征在于，所述数据处理程序使计算机的CPU利用存储器执行：
单位处理数据评价步骤，将所述多个单位处理数据中的预先设定的单位处理数据作为基准数据，基于作为评价对象的单位处理数据与所述基准数据来计算所述作为评价对象的单位处理数据的评价值，以及
基准数据变更步骤，基于在所述单位处理数据评价步骤中计算出的评价值来变更所述基准数据。
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