CN110107811A - 一种碱性蚀刻液生产的管道*** - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 59
- 238000005530 etching Methods 0.000 title claims abstract description 45
- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims abstract description 34
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims abstract description 49
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 32
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims abstract description 16
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims description 31
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 17
- 230000000391 smoking effect Effects 0.000 claims description 5
- 102000010637 Aquaporins Human genes 0.000 claims description 3
- 108010063290 Aquaporins Proteins 0.000 claims description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 2
- 230000032696 parturition Effects 0.000 claims 1
- 239000000779 smoke Substances 0.000 claims 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 abstract description 7
- 238000004064 recycling Methods 0.000 abstract description 4
- 238000004134 energy conservation Methods 0.000 abstract description 3
- 230000000505 pernicious effect Effects 0.000 abstract description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 41
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 7
- 239000000047 product Substances 0.000 description 5
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 4
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000012824 chemical production Methods 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 2
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 2
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 2
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000010485 coping Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 230000036541 health Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000011031 large-scale manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 231100000614 poison Toxicity 0.000 description 1
- 230000007096 poisonous effect Effects 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 239000011265 semifinished product Substances 0.000 description 1
- 239000008399 tap water Substances 0.000 description 1
- 235000020679 tap water Nutrition 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17D—PIPE-LINE SYSTEMS; PIPE-LINES
- F17D1/00—Pipe-line systems
- F17D1/08—Pipe-line systems for liquids or viscous products
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17D—PIPE-LINE SYSTEMS; PIPE-LINES
- F17D1/00—Pipe-line systems
- F17D1/08—Pipe-line systems for liquids or viscous products
- F17D1/14—Conveying liquids or viscous products by pumping
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17D—PIPE-LINE SYSTEMS; PIPE-LINES
- F17D3/00—Arrangements for supervising or controlling working operations
- F17D3/01—Arrangements for supervising or controlling working operations for controlling, signalling, or supervising the conveyance of a product
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17D—PIPE-LINE SYSTEMS; PIPE-LINES
- F17D3/00—Arrangements for supervising or controlling working operations
- F17D3/16—Arrangements for supervising or controlling working operations for eliminating particles in suspension
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Analytical Chemistry (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
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Abstract
一种碱性蚀刻液生产的管道***,包括用于蚀刻液生产的生产槽、用于存储蚀刻液的储罐,对***产生的尾气进行吸收的尾气排出装置,以及对***产生的尾气进行处理的尾气处理装置,所述的尾气处理装置与尾气排出装置相连接,所述的生产槽和储罐分别通过管道互相相连,所述的生产槽上设有用于进料的进料管道,所述的尾气排出装置能够对生产槽、进料管道和储罐内泄漏气体进行吸收。本发明实现资源的回收利用,减少有害气体或者液体的直接排放,节能环保,同时提高了生产效率,过滤管道提高蚀刻液的生产品质,收集桶和水箱内的蚀刻液成分能够被回收利用,提高资源利用率,降低了成本,管道***使用寿命长。
Description
技术领域
本发明涉及蚀刻液生产领域,具体地说,尤其涉及一种碱性蚀刻液生产的管道***。
背景技术
在化工生产领域中,为应对资源瓶颈、环保压力和安全健康等宏观因素,化工行业需要向绿色化、高端化和智能化的方向继续发展和探索,化学工业的发展极大地推动了人类物质生产和生活的巨大进步,但是传统化学工业给环境带来的污染也十分严重,化学在为人类创造财富的同时给人类也带来了危难,现有针对化学生产过程中产生的废液、废气进行处理后再排放,以满足国家对于废液废气的排放标准,但是处理成本高,资源的回收利用率低。
另外,随着我国化工装置的规模不断扩大,对装置、管道和环保设计都有着一定程度的要求,而且因为化学药品生产的管道***较大,对于设备的维修或更换,产品品质的保障,有害气体泄漏如何及时迅速处理,保障车间人员的安全保障各个方面都需要综合考虑。因此,有必要对化学药品,如碱性蚀刻液的生产管道***进行改进。
发明内容
为了克服现有蚀刻液生产的管道***存在资源利用率低、环保程度低和***维护困难的问题,本发明公开一种碱性蚀刻液生产的管道***。
一种碱性蚀刻液生产的管道***,包括用于蚀刻液生产的生产槽、用于存储蚀刻液的储罐,对***产生的尾气进行吸收的尾气排出装置,以及对***产生的尾气进行处理的尾气处理装置,所述的尾气处理装置与尾气排出装置相连接,所述的生产槽和储罐分别通过管道互相相连,所述的生产槽上设有用于进料的进料管道,所述的尾气排出装置能够对生产槽、进料管道和储罐内泄漏气体进行吸收。
优选的,所述的生产槽上还设置有过滤管道,所述的过滤管道包括与生产槽依次连接的出槽阀门、过滤器、过滤泵和进槽阀门,所述的过滤器与储罐相连,所述的过滤泵和进槽阀门之间设有与储罐相连的连接管道。
优选的,所述的过滤器连接有用于清洗过滤器的清洗管道,所述的清洗管道连通有存储清洗液的清洗槽。
优选的,所述的生产槽上还设置有出货管道,所述的出货管道设置在过滤泵和进槽阀门之间。
优选的,所述的储罐上连接有出货装置,所述的出货装置包括与储罐依次连接的出货阀门一、出货泵和出货阀门二,所述的出货泵通过管道连接有储罐,出货泵还与自来水通道和/或蓄水池相连。
优选的,所述的出货泵上依次连接有控制阀门和收集桶,所述的收集桶与储罐相连,收集桶与出货阀门一和出货泵之间管道连通。
优选的,所述的尾气排出装置包括若干个吸烟罩,所述的吸烟罩之间通过吸烟管道连通,所述的吸烟管道连接有风机,风机与尾气处理装置连接。
优选的,所述的吸烟罩分别设在储罐、生产槽和进料管道的上方。
优选的,所述的尾气处理装置包括吸收塔组件和水箱组件,所述的水箱组件与吸收塔组件连接,所述的吸收塔组件与尾气排出装置相连,所述的水箱组件还与生产槽相连。
优选的,所述的吸收塔组件包括依次连通的吸收塔一、吸收塔二和吸收塔三,所述的水箱组件包括设置在吸收塔一侧边的水箱一、设置在吸收塔二侧边的水箱二和设置在吸收塔三侧边的水箱三,水箱一、水箱二和水箱三上分别连接有自来水管道和/或蓄水池管道。
本发明提供一种碱性蚀刻液生产的管道***,实现资源的回收利用,减少有害气体或者液体的直接排放,节能环保,对于大规模生产也适用;过滤管道对生产槽内蚀刻液进行过滤,过滤后回到生产槽内或者直接出货,提高蚀刻液的生产品质;生产槽和储罐互相相连,方便进行存储以及再次加工,提高生产效率;尾气排出装置和尾气处理装置能够对***产生的尾气进行吸收处理,有利于环境保护和车间人员的身体健康;收集桶用于收集出货泵内的液体,从而回收到储罐内,水箱存储的液体能够被生产槽再次利用,提高资源利用率,降低了成本,整个管道***使用寿命长;清洗管道能够对过滤器进行无拆卸清洗,控制阀们、阀门等方便维修和更换。
附图说明
图1为本发明的管道示意图;
图2为本发明的管道局部放大图一;
图3为本发明的管道局部放大图二。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明保护的技术方案作进一步的说明。
参考附图,一种碱性蚀刻液生产的管道***,包括用于蚀刻液生产的生产槽1、用于存储蚀刻液的储罐2,对***产生的尾气进行吸收的尾气排出装置3,以及对***产生的尾气进行处理的尾气处理装置4,尾气处理装置3与尾气排出装置4相连接,生产槽1和储罐2分别通过管道互相相连,在生产槽1制备得到的蚀刻液成品或者半成品通过管道运输到储罐2内,当储罐2内的蚀刻液需要调整浓度或者进一步反应,储罐2内蚀刻液通过另外的管道运输到生产槽1内,***管道连接为循环式,方便物料或者成品的运输,提高生产效率,生产槽1上设有用于进料的进料管道5,尾气排出装置3能够对生产槽1、储罐2和进料管道5内泄漏气体进行吸收,蚀刻液生产过程中产生的有害气体、对环境有污染的气体、蒸汽能够被尾气排出装置3进行吸收,再经过尾气处理装置4进行环保处理,最后排出无污染气体,保障车间工作人员的人身安全,同时对环境实现保护。
生产槽1上还设置有过滤管道6,过滤管道6包括与生产槽1依次连接的出槽阀门61、过滤器62、过滤泵63和进槽阀门64,过滤器62出口与储罐2相连,过滤泵63和进槽阀门64之间设有与储罐2相连的连接管道8。生产槽1内的液体经过过滤管道6实现液体过滤后重新流动回到生产槽1内,去除多余杂质,提高产品品质,生产槽1的产品经过过滤泵63后也可以流动到储罐2内,过滤器62与储罐2相连,储罐2内蚀刻液经过过滤器62过滤后流动回生产槽1内,在过滤器62的前后管道上分别设有开关阀门,方便对过滤器62进行维修或或更换,同样的在过滤泵63前后管道上分别设有开关阀门,方便对过滤泵63进行维修或更换;过滤器62连接有用于清洗过滤器62的清洗管道7,清洗管道7连通有存储清洗液的清洗槽,清洗槽和过滤器62之间设有阀门,在本实施例中,清洗液为水,清洗槽为自来水管道,过滤器62不用拆卸下来就能够对其进行清洗,提高过滤器使用寿命。
生产槽1上还设置有出货管道81,出货管道81设置在过滤泵63和进槽阀门之间64,即出货管道设置在连接管道8上,从出货管道81上运送出来的蚀刻液可以通过槽车装载,尾气排出装置3也能够对槽车泄漏气体进行吸收。储罐2上连接有出货装置9,出货装置9包括与储罐2依次连接的出货阀门一91、出货泵92和出货阀门二93,储罐2内的蚀刻液通过出货装置9进行出货,出货泵92还与储罐2直接相连,出货装置9内的蚀刻液可以通过管道运输回储罐2内,避免蚀刻液长期在出货装置内滞留;出货泵92上还依次连接有控制阀门94和收集桶95,收集桶95与储罐2相连接,收集桶95与出货阀门一91和出货泵92之间管道连通,收集桶95用于泵清洗或排空时蚀刻液的回收,回收后的蚀刻液能够通过管道运输回到储罐2或者再次经过出货泵92,减少资源浪费,出货泵92还与自来水通道和/或蓄水池相连。
尾气排出装置3包括若干个吸烟罩31,吸烟罩31之间通过吸烟管道32连通,吸烟罩31直径能够达到5米,适用于大面积吸收,吸烟管道32连接有风机33,风机33与尾气处理装置4连接。吸烟罩分别31设在储罐、2、出货92、生产槽1和进料管道5和槽车的上方,保障车间内人员的人身安全。
尾气处理装置4包括吸收塔组件41和水箱组件42,吸收塔组件41与风机33相连,水箱组件42与吸收塔组件41连接,水箱组件42还与生产槽1相连;吸收塔组件41包括依次连通的吸收塔一411、吸收塔二412和吸收塔三413,水箱组件42包括设置在吸收塔一411侧边的水箱一421、设置在吸收塔二412侧边的水箱二422和设置在吸收塔三413侧边的水箱三423,水箱一421、水箱二422和水箱三423上分别连接有自来水管道和/或蓄水池管道,吸烟罩31吸收的气体依次经过吸收塔一411、吸收塔二412和吸收塔三413,在本实施例中,各个水箱存储液体水,水箱还可以存储其它药液,各个吸收塔内设有喷淋器,喷淋器将水箱内液体在吸收塔内进行喷淋,对***产生的尾气进行吸收或溶解到液体内,最后气体才排出到空气中,避免有害气体的直接排放,而吸收塔内的液体回到水箱内,水箱内液体能够回收利用到生产槽或者处理后直接排放,实现资源循环利用,节能环保。
以上所述仅为本发明的优选实施例而已,并不用于限制本发明,尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明,对于本领域技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实施的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均包含在本发明的保护范围内。
Claims (10)
1.一种碱性蚀刻液生产的管道***,其特征在于:包括用于蚀刻液生产的生产槽(1)、用于存储蚀刻液的储罐(2),对***产生的尾气进行吸收的尾气排出装置(3),以及对***产生的尾气进行处理的尾气处理装置(4),所述的尾气处理装置(4)与尾气排出装置(3)相连接,所述的生产槽(1)和储罐(2)分别通过管道互相相连,所述的生产槽(1)上设有用于进料的进料管道(5),所述的尾气排出装置(3)能够对生产槽(1)、进料管道(5)和储罐(2)内泄漏气体进行吸收。
2.根据权利要求1所述的一种碱性蚀刻液生产的管道***,其特征在于:所述的生产槽(1)上还设置有过滤管道(6),所述的过滤管道(6)包括与生产槽(1)依次连接的出槽阀门(61)、过滤器(62)、过滤泵(63)和进槽阀门(64),所述的过滤器(62)与储罐(2)相连,所述的过滤泵(63)和进槽阀门(64)之间设有与储罐(2)相连的连接管道(8)。
3.根据权利要求2所述的一种碱性蚀刻液生产的管道***,其特征在于:所述的过滤器(62)连接有用于清洗过滤器的清洗管道(7),所述的清洗管道(7)连接有存储清洗液的清洗槽。
4.根据权利要求2所述的一种碱性蚀刻液生产的管道***,其特征在于:还设有用于生产槽(1)内蚀刻液输出的出货管道(81),所述的出货管道(81)设置在过滤泵(63)和进槽阀门(64)之间。
5.根据权利要求1所述的一种碱性蚀刻液生产的管道***,其特征在于:所述的储罐(2)上连接有出货装置(9),所述的出货装置(9)包括与储罐(2)依次连接的出货阀门一(91)、出货泵(92)和出货阀门二(93),出货泵(92)还与储罐(2)直接相连,出货泵(92)还与自来水通道和/或蓄水池相连。
6.根据权利要求5所述的一种碱性蚀刻液生产的管道***,其特征在于:所述的出货泵(92)上依次连接有控制阀门(94)和收集桶(95),所述的收集桶(95)与储罐相连接,收集桶(95)与出货阀门一(91)和出货泵(92)之间管道连通。
7.根据权利要求1所述的一种碱性蚀刻液生产的管道***,其特征在于:所述的尾气排出装置包括若干个吸烟罩(31),所述的吸烟罩(31)之间通过吸烟管道(32)连通,所述的吸烟管道(32)连接有风机(33),风机(33)与尾气处理装置(4)连接。
8.根据权利要求7所述的一种碱性蚀刻液生产的管道***,其特征在于:所述的吸烟罩(31)分别设在储罐(2)、生产槽(1)、出货泵(92)和进料管道(5)的上方。
9.根据权利要求1所述的一种碱性蚀刻液生产的管道***,其特征在于:所述的尾气处理装置(4)包括吸收塔组件(41)和水箱组件(42),所述的水箱组件(42)与吸收塔组件(41)连接,所述的吸收塔组件(41)与尾气排出装置(3)相连,所述的水箱组件(42)还与生产槽(1)相连。
10.根据权利要求9所述的一种碱性蚀刻液生产的管道***,其特征在于:所述的吸收塔组件(4)包括依次连通的吸收塔一(411)、吸收塔二(412)和吸收塔三(413),所述的吸收塔一(411)与尾气排出装置(3)相连,所述的水箱组件(42)包括设置在吸收塔一(411)侧边的水箱一(421)、设置在吸收塔二(412)侧边的水箱二(422)和设置在吸收塔三(413)侧边的水箱三(423),水箱一(421)、水箱二(422)和水箱三(423)上分别连接有自来水管道和/或蓄水池管道。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201910467944.2A CN110107811B (zh) | 2019-05-31 | 一种碱性蚀刻液生产的管道*** |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201910467944.2A CN110107811B (zh) | 2019-05-31 | 一种碱性蚀刻液生产的管道*** |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN110107811A true CN110107811A (zh) | 2019-08-09 |
CN110107811B CN110107811B (zh) | 2024-07-02 |
Family
ID=
Citations (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0942600A (ja) * | 1995-08-02 | 1997-02-14 | Hitachi Ltd | 薬液供給装置 |
US6082381A (en) * | 1997-09-17 | 2000-07-04 | Tokyo Electron Limited | Treatment apparatus |
JP2001107271A (ja) * | 1999-09-30 | 2001-04-17 | Nittetsu Mining Co Ltd | 塩化銅エッチング液電解再生システム |
JP2001115280A (ja) * | 1999-10-15 | 2001-04-24 | Nittetsu Mining Co Ltd | 塩化銅エッチング液電解再生システム |
US20040123902A1 (en) * | 2001-02-21 | 2004-07-01 | Gunter Worczinski | Method and device for operating tank farm systems which are interconnected with pipes in a fixed manner and which have pipe systems for liquids |
KR20060070119A (ko) * | 2004-12-20 | 2006-06-23 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 반도체 소자의 제조장치 및 방법 |
RU2007133285A (ru) * | 2007-09-05 | 2009-03-10 | Общество с ограниченной ответственностью "НефтемашСистема" (RU) | Одоризатор модульного типа |
KR20100044397A (ko) * | 2008-10-22 | 2010-04-30 | 주식회사 에스씨티 | 나노막필터를 이용한 에칭액의 재생 장치 및 그 재생방법 |
CN202595279U (zh) * | 2011-11-21 | 2012-12-12 | 湖南万容科技股份有限公司 | 碱性蚀刻液再生回收*** |
CN203546157U (zh) * | 2013-10-31 | 2014-04-16 | 东莞市海力环保设备科技有限公司 | 一种碱性刻蚀液铜回收再生*** |
CN104152905A (zh) * | 2014-06-24 | 2014-11-19 | 深圳市新锐思环保科技有限公司 | 酸性氯化铜蚀刻液电解再生循环及铜板回收装置及方法 |
CN205223355U (zh) * | 2015-11-26 | 2016-05-11 | 深圳市瑞世兴科技有限公司 | 碱性蚀刻废液处理循环再生装置 |
CN205461752U (zh) * | 2016-03-15 | 2016-08-17 | 无锡市瑞思科环保科技有限公司 | 酸性蚀刻废液电化学处理中尾气处理*** |
CN206444417U (zh) * | 2017-02-10 | 2017-08-29 | 惠州市鸿宇泰科技有限公司 | 一种蚀刻液中的含氨尾气回收利用装置 |
CN206476741U (zh) * | 2017-02-10 | 2017-09-08 | 惠州市鸿宇泰科技有限公司 | 用于蚀刻液装载和蚀刻液原材料卸载的零排放装卸*** |
CN206621963U (zh) * | 2017-02-10 | 2017-11-10 | 惠州市鸿宇泰科技有限公司 | 一种三级含氨尾气回收利用*** |
CN206802763U (zh) * | 2017-05-08 | 2017-12-26 | 珠海市瑞群工业设备有限公司 | 自动供药*** |
CN206828643U (zh) * | 2017-04-01 | 2018-01-02 | 东莞市青玉环保设备科技有限公司 | 含铜碱性蚀刻液循环再生回用设备 |
CN107740106A (zh) * | 2017-10-30 | 2018-02-27 | 珠海市智宝化工有限公司 | 一种不会产生膨胀的酸性蚀刻液再生回用方法 |
CN207320253U (zh) * | 2017-08-21 | 2018-05-04 | 中航锂电(洛阳)有限公司 | 锂电池生产***及其电解液供液*** |
CN109058768A (zh) * | 2018-08-06 | 2018-12-21 | 潘锦 | 一种锂电池电解液大规模低温储存和生产供液***和方法 |
CN209893120U (zh) * | 2019-05-31 | 2020-01-03 | 惠州市鸿宇泰科技有限公司 | 一种碱性蚀刻液生产的管道*** |
Patent Citations (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0942600A (ja) * | 1995-08-02 | 1997-02-14 | Hitachi Ltd | 薬液供給装置 |
US6082381A (en) * | 1997-09-17 | 2000-07-04 | Tokyo Electron Limited | Treatment apparatus |
JP2001107271A (ja) * | 1999-09-30 | 2001-04-17 | Nittetsu Mining Co Ltd | 塩化銅エッチング液電解再生システム |
JP2001115280A (ja) * | 1999-10-15 | 2001-04-24 | Nittetsu Mining Co Ltd | 塩化銅エッチング液電解再生システム |
US20040123902A1 (en) * | 2001-02-21 | 2004-07-01 | Gunter Worczinski | Method and device for operating tank farm systems which are interconnected with pipes in a fixed manner and which have pipe systems for liquids |
KR20060070119A (ko) * | 2004-12-20 | 2006-06-23 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 반도체 소자의 제조장치 및 방법 |
RU2007133285A (ru) * | 2007-09-05 | 2009-03-10 | Общество с ограниченной ответственностью "НефтемашСистема" (RU) | Одоризатор модульного типа |
KR20100044397A (ko) * | 2008-10-22 | 2010-04-30 | 주식회사 에스씨티 | 나노막필터를 이용한 에칭액의 재생 장치 및 그 재생방법 |
CN202595279U (zh) * | 2011-11-21 | 2012-12-12 | 湖南万容科技股份有限公司 | 碱性蚀刻液再生回收*** |
CN203546157U (zh) * | 2013-10-31 | 2014-04-16 | 东莞市海力环保设备科技有限公司 | 一种碱性刻蚀液铜回收再生*** |
CN104152905A (zh) * | 2014-06-24 | 2014-11-19 | 深圳市新锐思环保科技有限公司 | 酸性氯化铜蚀刻液电解再生循环及铜板回收装置及方法 |
CN205223355U (zh) * | 2015-11-26 | 2016-05-11 | 深圳市瑞世兴科技有限公司 | 碱性蚀刻废液处理循环再生装置 |
CN205461752U (zh) * | 2016-03-15 | 2016-08-17 | 无锡市瑞思科环保科技有限公司 | 酸性蚀刻废液电化学处理中尾气处理*** |
CN206444417U (zh) * | 2017-02-10 | 2017-08-29 | 惠州市鸿宇泰科技有限公司 | 一种蚀刻液中的含氨尾气回收利用装置 |
CN206476741U (zh) * | 2017-02-10 | 2017-09-08 | 惠州市鸿宇泰科技有限公司 | 用于蚀刻液装载和蚀刻液原材料卸载的零排放装卸*** |
CN206621963U (zh) * | 2017-02-10 | 2017-11-10 | 惠州市鸿宇泰科技有限公司 | 一种三级含氨尾气回收利用*** |
CN206828643U (zh) * | 2017-04-01 | 2018-01-02 | 东莞市青玉环保设备科技有限公司 | 含铜碱性蚀刻液循环再生回用设备 |
CN206802763U (zh) * | 2017-05-08 | 2017-12-26 | 珠海市瑞群工业设备有限公司 | 自动供药*** |
CN207320253U (zh) * | 2017-08-21 | 2018-05-04 | 中航锂电(洛阳)有限公司 | 锂电池生产***及其电解液供液*** |
CN107740106A (zh) * | 2017-10-30 | 2018-02-27 | 珠海市智宝化工有限公司 | 一种不会产生膨胀的酸性蚀刻液再生回用方法 |
CN109058768A (zh) * | 2018-08-06 | 2018-12-21 | 潘锦 | 一种锂电池电解液大规模低温储存和生产供液***和方法 |
CN209893120U (zh) * | 2019-05-31 | 2020-01-03 | 惠州市鸿宇泰科技有限公司 | 一种碱性蚀刻液生产的管道*** |
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