CN109682297A - 图像测量装置的校准方法 - Google Patents

Abstract

本发明包括提供具有平坦的反射表面的校准工件作为工件并将反射表面布置成与标准光轴平行并且与图像捕获元件的像素阵列方向正交或平行的准备步骤；以标准光轴为中心旋转棱镜的旋转步骤；检测在棱镜的多个旋转位置中的每一个处由图像捕获元件捕获的图像的亮度的亮度检测步骤；以及在由亮度检测步骤检测到的亮度最大的旋转位置处对准棱镜的定位步骤。

Description

图像测量装置的校准方法

相关申请的交叉引用

本申请在35 U.S.C.§119下要求于2017年10月18日提交的日本申请第2017-201946号的优先权，其公开内容通过引用明确地整体并入本文。

技术领域

本发明涉及一种图像测量装置的校准方法。

背景技术

传统上，已知一种光学干涉测量装置，其使用由光学干涉产生的干涉图案中的亮度信息来精确地测量工件的表面形状。例如，日本专利特开第2012-093166号中公开的光学干涉测量装置包括光学干涉光学***，其将来自光源的光分成测量光和参考光，并且组合从工件反射的测量光和从反射平面反射的参考光。在改变参考光或测量光的光路长度的同时，光学干涉测量装置使用图像捕获元件比如CCD相机来捕获表示干涉光学强度的二维分布的干涉图像。然后，基于所捕获的图像信息，通过检测在图像捕获视野内的每个测量位置处光学干涉的强度达到峰值的焦点深度，可以精确地测量工件的表面形状。

近年来，已经开发了使用光学干涉测量装置(例如日本申请第2016-034436号)精确观察圆柱形工件(例如发动机汽缸)的内壁的技术。用于这种技术的光学干涉测量装置包括能够***圆柱形工件内的探头和由探头配置的光学干涉光学***。光学干涉光学***包括棱镜，该棱镜将沿着与探头的轴基本同轴的标准光轴前进的光分成在垂直于标准光轴的方向上前进的测量光和沿着标准光轴前进的参考光；并且组合从工件反射的测量光和从参考平面反射的参考光。

在这种光学干涉测量装置中，必须适当地定位棱镜。例如，为了测量比工件表面宽的区域，探头在测量区域的垂直或横向方向上相对于工件位移以改变测量区域，并且在对每个测量区域执行测量之后，相邻测量区域的图像拼接在一起。此时，为了将干涉图像拼接在一起，图像上的探头的位移轴和图像的垂直或横向方向优选地彼此平行。

然而，当以标准光轴为中心的棱镜的旋转位置偏离棱镜意图占据的位置时，这导致测量光被棱镜弯曲，并且图像可以以从预期图像稍微旋转的形式被捕获。在这种情况下，图像上探头的位移轴相对于图像的垂直和横向方向倾斜，因此在相邻测量区域的图像中的每个图像的周边区域处发生偏移。因此，将相邻测量区域的图像拼接在一起可能变得困难。

此外，使测量光弯曲的测量装置也存在类似的问题，并且不限于光学干涉测量装置。具体地，在包括光轴转换器(由上述棱镜等表示)等的图像测量装置中，存在由因从工件反射的测量光而偏移的光轴转换器的定位引起的类似问题，测量光沿着标准光轴的方向弯曲，标准光轴与测量光的测量光轴相交。

发明内容

本发明提供一种图像测量装置的校准方法，用于适当地定位使测量光弯曲的光轴转换器。

根据本发明的图像测量装置的校准方法是图像测量装置的校准方法，该图像测量装置包括光轴转换器，该光轴转换器在沿着与测量光的测量光轴相交的标准光轴的方向上弯曲从工件反射的测量光，并且还包括接收由所述光轴转换器弯曲的测量光的图像捕获元件。所述校准方法包括：提供具有平坦的反射表面的校准工件作为工件并将反射表面布置成与标准光轴平行并且与图像捕获元件的像素阵列方向正交或平行的准备步骤；以标准光轴为中心旋转光轴转换器的旋转步骤；检测在光轴转换器的多个旋转位置中的每一个处由图像捕获元件捕获的图像的亮度的亮度检测步骤；以及在由亮度检测步骤检测到的亮度最大的旋转位置处对准光轴转换器的定位步骤。

在本发明中，首先进行准备步骤，其中具有平坦的反射表面的校准工件被布置为工件。此时，通过将校准工件的反射表面布置成与标准光轴平行并且与图像捕获元件的像素阵列方向正交或平行来执行后续步骤的准备。

接下来，执行以标准光轴为中心旋转光轴转换器的旋转步骤和在光轴转换器的多个旋转位置中的每一个处检测图像亮度的亮度检测步骤。此时，旋转步骤和亮度检测步骤可以在每当光轴转换器旋转预定角度时检测图像的亮度，或者可以在光轴转换器在预定角度范围内旋转的同时连续地检测图像的亮度。此外，尽管光轴转换器从旋转步骤的整个旋转角度没有特别限制，但是当光轴转换器预先对准一定程度时，整个旋转角度优选地不大于90°。

在亮度检测步骤中，图像的检测到的亮度根据光轴转换器的旋转位置而变化。例如，当测量光轴垂直于校准工件的反射表面时，入射在图像捕获元件上的光量最大且图像的亮度最大。同时，当测量光轴相对于校准工件的反射表面倾斜时，入射在图像捕获元件上的光量减少且图像的亮度下降。在亮度检测步骤中，图像的亮度也可以由验证显示在显示器上的图像的工作人员检测(下面描述)，或者可以利用控制器来检测图像的亮度(例如预定坐标区域的亮度或整个图像的平均亮度)，该控制器控制用作亮度检测器的图像测量装置的操作(下面描述)。

接下来，执行定位步骤，其中光轴转换器在由亮度检测步骤检测的亮度最大的旋转位置处对准。因此，光轴转换器定位成使得测量光轴垂直于校准工件的反射表面。换句话说，光轴转换器定位成使得测量光轴与图像捕获元件的像素阵列方向正交或平行。图像的“亮度”意味着图像的亮的程度，并且检测最大亮度水平意味着检测到图像最亮的状态。

根据上述方法，光轴转换器适当地定位在图像测量装置中。因此，当包括光轴转换器的探头在测量区域的垂直或横向方向上相对于工件位移以改变测量区域时，例如，由图像捕获元件捕获的图像的位移轴平行于图像的垂直或横向方向。因此，可以约束每个图像的周边区域处的偏移，并且可以容易地将相邻测量区域的图像拼接在一起。

在根据本发明的图像测量装置的校准方法中，优选地，图像测量装置还包括检测图像亮度的亮度检测器，并且在亮度检测步骤中，亮度检测器检测图像的亮度。根据该方法，可以将图像的亮度检测为数值，因此可以更精确地对准光轴转换器。

在根据本发明的图像测量装置的校准方法中，优选地，图像测量装置还包括显示亮度信息的显示器，并且在亮度检测步骤中，对于光轴转换器的多个旋转位置中的每一个，亮度信息显示在显示器上。根据该方法，工作人员可以容易地理解具有最大亮度的旋转位置。亮度信息应该是由图像捕获元件捕获的图像和由亮度检测器检测的亮度的值(亮度值)中的至少一个。

本发明可以提供一种图像测量装置的校准方法，用于适当地定位使测量光弯曲的光轴转换器。

附图说明

通过本发明的示例性实施例的非限制性示例，参考所提到的多个附图，在下面的详细描述中进一步描述了本发明，其中在附图的几个视图中，相同的附图标记表示类似的部件，其中：

图1示出了根据本发明实施例的光学干涉测量装置的外部视图，并且也是示意性地示出了控制器的概况的透视图；

图2是表示根据实施例的光学干涉测量装置中的干涉物镜和周边构件的侧视图；

图3A和3B是示意图，其中图3A描述了棱镜的布置，图3B描述了图像的倾斜；

图4A和4B是示意图，其中图4A描述了棱镜的布置，图4B描述了图像的倾斜；

图5A和5B是示意图，其中图5A描述了棱镜的布置，图5B描述了图像的倾斜；

图6A至6C是示意图，其中图6A描述了棱镜的布置，图6B描述了图像的亮度，图6C是示出了棱镜角度和图像亮度之间的关系的曲线图；以及

图7是描述根据实施例的校准光学干涉测量装置的方法的流程图。

具体实施方式

这里示出的细节是作为示例并且仅出于对本发明实施例的说明性讨论的目的，并且在提供被认为是本发明的原理和概念方面的最有用且易于理解的描述的原因中呈现。在这方面，没有试图比基本理解本发明所必需的更详细地示出本发明的结构细节，结合附图的描述使本领域技术人员明白如何可以在实践中实现本发明的形式。

以下，参考附图描述本发明的实施例。

光学干涉测量装置的配置

如图1和图2所示，光学干涉测量装置1包括工作台10、平台20、支撑柱31、Z轴位移机构32、探头支撑机构41、探头42、控制器70和显示器80。光学干涉测量装置1是根据本发明的图像测量装置的一个示例，并且是能够基于干涉图像精细地测量工件的表面形状的装置。另外，探头42配置为包括棱镜65和图像捕获元件52，棱镜65是根据本发明的光轴转换器的示例，图像捕获元件52接收由棱镜65弯曲的测量光(参见图2)。

根据本实施例的光学干涉测量装置1适于通过将探头42的尖端部分***圆柱形工件中来测量圆柱形工件的内壁。例如，圆柱形工件的示例可以是发动机汽缸。然而，不是工件，校准工件90在图1和2中示出，以在下面描述光学干涉测量装置1的校准方法。

工作台10是光学干涉测量装置1的基座。平台20设置在工作台10上，并包括与水平方向(XY平面方向)平行的放置表面21、X轴位移机构22和Y轴位移机构23。工件放置在放置表面21上。放置表面21能够使用X轴位移机构22和Y轴位移机构23在X和Y轴方向上位移。

支撑柱31设置成从工作台10的顶表面沿Z轴方向上升，并且经由Z轴位移机构32支撑滑块33。滑块33能够使用Z轴位移机构32在Z轴方向上位移。另外，滑块33通过探头支撑机构41支撑探头42。

探头支撑机构41包括旋转驱动器411和线性驱动器412。旋转驱动器411经由图中未示出的连接构件设置到滑块33，并且可以使探头42在θ轴上旋转，其作为旋转轴，平行于Z方向。线性驱动器412设置到旋转驱动器411，并且可以沿着W轴移动探头42，W轴是平行于XY平面的一个方向。

探头42具有沿Z轴延伸的形状并且安装到线性驱动器412，使得下文描述的测量光轴Am平行于W轴。另外，探头42可以包括例如作为白色光源(图中未示出)的光源、图像捕获器50和干涉物镜60。

图像捕获器50包括附接到线性驱动器412的壳体51和安装在壳体51内部的图像捕获元件52。图像捕获元件52可以由图像传感器配置，比如CCD(例如电荷耦合器件)或CMOS(互补金属氧化物半导体)。图像捕获元件52的光接收表面521布置成与Z轴正交，并且经由形成在壳体51底部中的孔(图中未示出)面向干涉物镜60的光路。另外，配置图像捕获元件52的多个像素在垂直于Z轴的平面上沿相互正交的ix和iy方向排列(参见图3)。图像捕获元件52安装成使得ix和iy方向(像素阵列方向)与线性驱动器412的W轴正交或平行。

干涉物镜60配置为包括第一壳体61、第二壳体62、第三壳体63、引导光学***64、棱镜65和参考平面66。

第一壳体61在其上部包括可旋转地连接到图像捕获器50的连接器611。这允许干涉物镜60根据需要相对于图像捕获器50旋转，例如用于校准。另外，引导光学***64安装在第一壳体61内，并且用于光路的孔(图中未示出)形成在第一壳体61的顶部和底部。第二壳体62连接在第一壳体61的下方，棱镜65安装在第二壳体62内。用于光路的孔(图中未示出)形成在第二壳体62的顶部和底部，并且面向棱镜65的前表面侧(下面描述的测量光发射侧)的测量孔621形成在第二壳体62的侧面。第三壳体63连接在第二壳体62的下方，参考平面66安装在第三壳体63内。用于光路的孔(图中未示出)形成在第三壳体63的顶部。

引导光学***64由光学构件比如多个透镜配置，并且扩展从光源发射的光束的光路的直径，并且将光束校准为沿着平行于Z轴的标准光轴As朝向棱镜65定向的平行光。另外，引导光学***64引导从棱镜65发射的组合光(下面描述)朝向图像捕获元件52的光接收表面521。第一壳体61的中心轴线与引导光学***64的标准光轴As基本同轴。此外，图2中描绘的引导光学***64的透镜是示意性的图示。

例如，棱镜65可以配置相对于标准光轴As倾斜45°的半反射镜。棱镜65反射来自引导光学***64的光以用作测量光，而其余部分通过以用作参考光。换句话说，棱镜65将来自引导光学***64的光分成测量光和参考光。在本实施例中，构成反射表面650的棱镜65的一侧具有平行于XY平面并与测量光轴Am正交的侧面651(参见图3A)。参照体66可以是例如盘状镜子，并且包括参考平面661。参考平面661反射由棱镜65分开的参考光。

由棱镜65分开的测量光沿着与标准光轴As正交的测量光轴Am朝向工件(或校准工件90)行进，并且在测量光从工件的表面反射之后，测量光沿着测量光轴Am返回到棱镜65。同时，由棱镜65分开的参考光沿着与标准光轴As同轴的参考光轴Ar朝向参照体66行进，并且在参考光从参照体66的参考平面661反射之后，参考光沿着参考光轴Ar返回到棱镜65。

棱镜65将由参考平面661反射的参考光与由工件反射的测量光组合，并将组合的光引导到引导光学***64。参考光和测量光之间的干涉在组合的光中产生。组合的光穿过引导光学***64并且撞击图像捕获元件52的光接收表面521。图像捕获元件52能够捕获入射的组合光中的干涉图案的图像。

控制器70通过执行存储在内部存储器中的程序来控制光学干涉测量装置1的操作。具体地，控制器70可以控制X轴位移机构22、Y轴位移机构23、Z轴位移机构32以及探头支撑机构41的驱动。另外，控制器70可以在显示器80上显示由图像捕获元件52捕获的图像82，并且可以基于图像82解析工件表面的三维形状。控制器70可以用作亮度检测器71。亮度检测器71检测由图像捕获元件52捕获的图像82的亮度。在该示例中，由亮度检测器71检测的图像82的亮度可以例如是图像82的预定坐标区域的亮度，或者可以是整体图像82的平均亮度。图像82的“亮度”表示图像82的亮的程度，并且亮度检测器71可以使用已知技术检测图像82的亮度。

显示器80显示由图像捕获元件52捕获的图像82和由亮度检测器71检测的亮度的值(下文称为亮度值)83作为亮度信息。在本实施例中，显示器80在显示屏幕81内显示图像82，并且还在显示的图像82上提供亮度值83的叠加显示(例如参见图3B)。在本实施例中，控制器70和显示器80整体配置为PC(个人计算机)。

在如上所述构造的光学干涉测量装置1中，探头42相对于工件的相对定位由X轴位移机构22、Y轴位移机构23、Z轴位移机构32和旋转驱动器411确定。另外，通过使用旋转驱动器411确定探头42相对于θ轴的旋转位置来确定XY平面上的线性驱动器412的W轴方向。在该示例中，W轴方向优选为与工件的测量表面正交的方向。而且，线性驱动器412使探头42在W轴方向上位移，从而使探头42更靠近或更远离工件。当探头42以这种方式位移时，图像捕获元件52捕获工件的预定区域的图像，从而使控制器70能够获取其中测量光的光路长度已被改变的干涉图像。

光学干涉测量装置的校准方法

参照图3A至7描述光学干涉测量装置1的校准。图3A至5B示出了设置校准工件90而不是工件的状态。通常，探头42如图3A所示布置。具体地，图像捕获元件52设置成使得ix和iy方向(像素阵列方向)与W轴正交或平行，并且棱镜65设置成使得测量光轴Am平行于W轴。换句话说，测量光轴Am平行于W轴，并且平行于图像捕获元件52的像素阵列方向之一(图3A中的ix方向)。

在该示例中，考虑这样的情况：探头42相对于工件位移并且工件的测量区域被修改。此时，探头42在XY平面内沿Z轴方向或圆周方向位移，并且由图像捕获元件52捕获的图像82根据探头42的位移方向转变。如图3A所示，当探头42适当定位时，图像82中探头42的位移轴pX和pY平行于图像82的横向方向或垂直方向，如图3B所示。因此，工件上的相邻测量区域的图像82可以容易地拼接在一起。

如图4A和5A所示，如果棱镜65偏离适当的定位，则棱镜65的测量光轴Am倾斜于W轴和图像捕获元件52的像素阵列方向(ix方向和iy方向)定位。在这种情况下，由图像捕获元件52捕获的图像82处于从原始状态稍微旋转的状态，这是由于测量光Lm被棱镜65弯曲(参见图4B和5B)。此时，图像82中的探头42的位移轴pX和pY相对于图像82的垂直和横向方向倾斜。因此，在每个图像82的周边区域产生偏移，因此将相邻测量区域的图像82拼接在一起可能变得困难。

鉴于此，在本实施例中，例如当将干涉物镜60安装在图像捕获器50上时或者当校准光学干涉测量装置1时，如下所述校准光学干涉测量装置1。

首先，将校准工件90布置在平台20的放置表面21上(准备步骤S1)。校准工件90包括平坦的反射表面91。使用铬沉积等，在反射表面91上形成预定图案84作为测试图。虽然图3B、4B和5B示出矩形图案84以便简化描述，但测试图的图案不限于此。在准备步骤S1中，通过将校准工件90的反射表面91定位成与标准光轴As平行，确保了由图像捕获元件52接收的光量。另外，通过将校准工件90的反射表面91定位成与W轴正交，反射表面91布置成与图像捕获元件52的像素阵列方向(ix方向和iy方向)正交或平行。此时，可以检测干涉物镜60的当前旋转位置处的图像82的亮度。

接下来，干涉物镜60以标准光轴As为中心旋转非常小的角度(旋转步骤S2；参见图6A)。在该示例中，棱镜65旋转的非常小的角度没有特别限制，但优选地从几度到几十度。例如，可以通过工作人员的手动操作来旋转非常小的角度，或者干涉物镜60的连接器611可以配置为以预定的间距非常轻微地旋转。

接下来，检测干涉物镜60的当前旋转位置处的图像82的亮度(亮度检测步骤S3；参见图6B)。具体地，亮度检测器71可以检测图像82的亮度并将检测到的亮度记录在控制器70的存储器等中。另外，亮度检测器71在显示器80上显示表示检测到的亮度的亮度值83，从而工作人员可以验证显示器80上显示的亮度值83。

在亮度检测步骤S3中，图像82的检测到的亮度根据棱镜65从适当位置的旋转角度而变化(参见图6C)。例如，当棱镜65发射测量光Lm的方向(即棱镜65的测量光轴Am)与校准工件90的反射表面91正交时，入射在图像捕获元件52上的光量是最大的，并且图像82的亮度最大。同时，当棱镜65的测量光轴Am倾斜于校准工件90的反射表面91时，入射在图像捕获元件52上的光量减少并且图像82的亮度下降。

接下来，确定是否检测到构成峰值(亮度峰值)的最高亮度值(峰值检测步骤S4)。在该步骤中，亮度检测器71可以基于记录的亮度值检测亮度峰值，并在显示器80上显示检测到的亮度峰值。此外，工作人员可以基于显示器80上显示的亮度值83来判断亮度峰值。

重复从上述旋转步骤S2到峰值检测步骤S4的过程，直到检测到亮度峰值。因此，在棱镜65的多个旋转位置中的每一个处检测图像82的亮度。尽管棱镜65从旋转步骤S2的整个旋转角度没有特别限制，但是当棱镜65预先对准一定程度时，整个旋转角度优选不大于90°。当在峰值检测步骤S4中检测到亮度峰值时，工作人员在参考显示器80上显示的亮度值83的同时校准棱镜65的旋转位置，使得亮度值83显示亮度峰值。因此，棱镜65在检测亮度峰值的旋转位置(峰值位置)处对准(定位步骤S5)。

通过定位步骤S5，棱镜65定位成使得测量光轴Am与校准工件90的反射表面91正交。因此，棱镜65定位成使得测量光轴Am平行于W轴；换句话说，使得测量光轴Am与图像捕获元件52的像素阵列方向(ix方向和iy方向)正交或平行。

实施例的效果

根据上述实施例可以实现以下优点。根据本实施例，在光学干涉测量装置1中，棱镜65围绕标准光轴As的旋转位置被适当地布置。在根据本实施例校准的光学干涉测量装置1中，图像82中的探头42的位移轴pX和pY可以与图像82的横向和垂直方向平行。因此，工件上相邻测量区域的图像82可以容易地拼接在一起。

另外，在本实施例中，控制器70执行作为亮度检测器71的操作，其检测图像82的亮度。利用亮度检测器71，将图像82的亮度检测为数值，因此可以更精确地布置棱镜65围绕标准光轴As的旋转位置。此外，在本实施例中，指示图像82的亮度的亮度值83显示在显示器80上。因此，工作人员可以通过参考显示器80上显示的亮度值83来校准棱镜65的旋转位置。

修改

本发明不限于上述实施例，并且包括在能够实现本发明优点的范围内的修改。

在上述实施例中，图像82显示在显示器80上，但是可以省略图像82的显示。换句话说，亮度值83可以是显示器80上显示的唯一亮度信息。

在上述实施例中，控制器70执行作为亮度检测器71的操作。然而，本发明不限于此，并且图像82可以是在控制器70没有执行作为亮度检测器71的操作的情况下在显示器80上显示的唯一亮度信息。例如，在亮度检测步骤S3、峰值检测步骤S4和定位步骤S5中，工作人员还可以通过简单地查看显示在显示屏81上的图像82来检测图像82的亮度，并且可以基于所观察的检测信息判断亮度峰值并执行棱镜65的对准。换句话说，如上所述，图像的“亮度”意味着图像的亮的程度，因此显示在显示屏81上的图像82可以用作亮度信息。具体地，工作人员理解显示在显示屏81上的图像82的亮的程度，并且每当棱镜65非常轻微地旋转时，工作人员可以判断图像82是变亮还是变暗。另外，棱镜65可以在图像82最亮的旋转位置处对准。

在上述实施例中参考的图3B、4B和5B中，为了提供容易理解图像82的图示，整个图像82显示在显示屏81上。然而，也可以仅显示图像82的部分区域。在工作人员可视地检测显示在显示屏81上的图像82的亮度的情况下，工作人员还可以检测图像82的部分区域的亮度。

在上述实施例中，重复执行非常轻微地旋转棱镜65的旋转步骤S2然后执行亮度检测步骤S3的过程，但本发明不限于此。例如，可以在使棱镜65在预定角度范围内旋转的同时连续地检测图像82的亮度。

在上述实施例的旋转步骤S2中，干涉物镜60相对于图像捕获器50旋转。然而，本发明不限于此。例如，在干涉物镜60中，容纳棱镜65的第二壳体62可以相对于第一壳体61旋转。

根据上述实施例的光学干涉测量装置1包括显示器80。然而，在执行本发明的校准方法的时间点，光学干涉测量装置1不需要包括显示器。例如，可以使用亮度检测器等来检测由图像捕获元件52捕获的图像82的亮度。

另外，根据上述实施例的光学干涉测量装置1包括作为光分离和组合元件的棱镜65以实现干涉仪，但本发明不限于此。换句话说，光学干涉测量装置1中的光分离和组合元件可以是实现将来自光源的光分成测量光和参考光的分离光学***和使从工件反射的测量光与从参考平面反射的参考光干涉的组合光学***的任何元件。另外，分离光学***和组合光学***可以配置为单独的***。

此外，在上述实施例中描述了光学干涉测量装置1的校准方法，但本发明不限于此。换句话说，本发明的校准方法可以广泛地应用于包括光轴转换器的图像测量装置，该光轴转换器在沿着与测量光轴相交的标准光轴的方向上弯曲从工件反射的测量光。例如，本发明的光轴转换器不限于光分离和组合元件，并且可以由简单的镜子等构成。

另外，在上述实施例中，棱镜65(作为光轴转换器)配置朝向工件发射测量光的发射光学***和其中入射从工件反射的测量光的入射光学***。然而，本发明不限于此。换句话说，本发明的光轴转换器应该至少配置其中入射从工件反射的测量光的入射光学***，并且在工件处发射测量光的发射光学***可以由与光轴转换器分开的光学***配置。此外，测量光轴(从工件反射的测量光前进的方向)和标准光轴(测量光在被光轴转换器弯曲之后前进的方向)不限于彼此正交，并且还可以配置成至少相互交叉。

本发明可以用作图像测量装置的校准方法，用于适当地定位弯曲测量光的光轴转换器。

应注意，提供前述实施例仅用于解释的目的，决不应被解释为对本发明的限制。虽然已经参考示例性实施例描述了本发明，但应该理解的是，这里使用的词语是描述和说明的词语，而不是限制性的词语。在不脱离本发明的范围和精神的情况下，可以在所附权利要求的范围内如现在陈述和修改的那样进行改变。尽管这里已经参考特定结构、材料和实施例描述了本发明，但本发明并不限于这里公开的细节；相反，本发明扩展到所有功能上等同的结构、方法和用途，例如在所附权利要求的范围内。

本发明不限于上述实施例，在不脱离本发明的范围的情况下，可以进行各种变化和修改。

Claims (4)

1.一种图像测量装置的校准方法，所述图像测量装置具有光轴转换器，该光轴转换器在沿着与测量光的测量光轴相交的标准光轴的方向上弯曲从工件反射的测量光，并且还具有接收由所述光轴转换器弯曲的测量光的图像捕获元件，该校准方法包括：

提供具有平坦的反射表面的校准工件作为工件，并将反射表面布置成与标准光轴平行并且与图像捕获元件的像素阵列方向正交或平行；

以标准光轴为中心旋转光轴转换器；

检测在光轴转换器的多个旋转位置中的每一个处由图像捕获元件捕获的图像的亮度；以及

在检测到的亮度最大的旋转位置处对准光轴转换器。

2.根据权利要求1所述的图像测量装置的校准方法，其中，亮度的检测由所述图像测量装置的亮度检测器执行。

3.根据权利要求1所述的图像测量装置的校准方法，还包括在所述图像测量装置的显示器上，针对所述光轴转换器的多个旋转位置中的每一个，显示所检测的亮度的亮度信息。

4.根据权利要求2所述的图像测量装置的校准方法，还包括在所述图像测量装置的显示器上，针对所述光轴转换器的多个旋转位置中的每一个，显示所检测的亮度的亮度信息。