JP7085725B2 - 表面形状測定装置及び表面形状測定方法 - Google Patents
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Description
本実施の形態の表面形状測定装置では、測定対象物の被測定面の表面形状を測定する光を出力する光源、光源から出力された光を被測定面に照射する対物レンズ、及び被測定面の測定画像を取得する撮影部を少なくとも有する光学部として、垂直走査型の白色干渉計の例で以下に説明する。
概略形状取得手段72は、被測定面Sの概略形状情報を取得するものであり、被測定面Sにおける傾斜状領域D(図7参照)と平坦状領域K(図7参照)とを識別できる程度の比較的低精度のものでよく、高速かつ広範囲で測定が可能であることが優先される。概略形状取得手段72としては、次の3通りのものを採用することが好ましい。
被測定面分割手段74は、概略形状取得手段72によって取得した概略形状情報に基づいて被測定面Sを傾斜状領域Dと平坦状領域Kとで構成され1つの面積が対物レンズ50の測定視野W以下の複数の測定面Nに分割するものである。
以下説明するように、対物レンズ選択手段75は、分割した各測定面Nについて傾斜状領域Dと平坦状領域Kとに光源40から光を照射したときの測定に寄与する測定寄与照射量に応じて複数の対物レンズ50の中から使用する倍率の対物レンズ50を選択する。
以下説明するように、光量調整手段76は、分割した各測定面Nについて傾斜状領域Dと平坦状領域Kとに光源40から光を照射したときの測定に寄与する測定寄与照射量に応じて光源40の光量調整を行う。
測定面形状測定手段77は、ステージ10を面内方向移動手段35により被測定面Sの面内方向に移動させることにより、分割した各測定面Nを選択した対物レンズ50及び調整した光源40の光量に基づいて表面形状を個々に測定して複数の測定データを取得するものである。
データ接続手段78は、測定面形状測定手段77で取得した各測定面Nの測定データを接続するものである。これにより、被測定面S全体の表面形状を測定することができる。データ接続手段78による各測定面Nの接続方法はソフトウェア処理等の公知の方法を採用することができる。
次に、上記の如く構成した本発明の表面形状測定装置1を用いて、うねり形状の被測定面Sを有する測定対象物Pの表面形状を測定する表面形状測定方法について説明する。
Claims (14)
- 測定対象物を支持する支持部と、
前記測定対象物の被測定面の表面形状を測定する光を出力する光源、前記光源から出力された光を前記被測定面に照射する複数の倍率の異なる対物レンズ、及び前記被測定面の測定画像を取得する撮影部を少なくとも有する光学部と、
前記支持部を前記被測定面の面内方向に移動させる面内方向移動手段と、
前記被測定面を傾斜状領域と平坦状領域とで構成される複数の測定面に分割する被測定面分割手段と、
前記分割した前記傾斜状領域と前記平坦状領域とに前記光を照射したときの測定に寄与する測定寄与照射量Gに応じて前記複数の対物レンズのうち使用する倍率の対物レンズを選択する対物レンズ選択手段と、
前記支持部を前記被測定面の面内方向に移動させることにより、前記分割した各測定面を前記選択した対物レンズに基づいて表面形状を個々に測定して複数の測定データを取得する測定面形状測定手段と、
前記取得した複数の測定データを接続するデータ接続手段と、を備えた表面形状測定装置。 - 前記対物レンズの測定視野は前記測定対象物の被測定面よりも狭く、スティッチング測定により前記被測定面の表面形状を測定する請求項1に記載の表面形状測定装置。
- 前記対物レンズを通して前記被測定面に照射した光のうち前記対物レンズに戻り測定に寄与する照射光の前記測定寄与照射量Gを検出する測定寄与照射光量検出手段を設けた請求項1又は2に記載の表面形状測定装置。
- 前記対物レンズ選択手段は前記分割した前記傾斜状領域及び前記平坦状領域について、照射した光の全照射光量Fに対する前記測定寄与照射量Gの割合G/Fに基づいて使用する倍率の対物レンズを選択する請求項1から3の何れか1項に記載の表面形状測定装置。
- 前記分割した前記傾斜状領域と前記平坦状領域とに前記光を照射したときの測定に寄与する測定寄与照射量に応じて前記光源の光量を調整する光量調整手段をさらに備え、
前記測定面形状測定手段は、前記支持部を前記被測定面の面内方向に移動させることにより、前記分割した各測定面を前記選択した対物レンズに基づいて表面形状を個々に測定して複数の測定データを取得する請求項1から4の何れか1項に記載の表面形状測定装置。 - 前記光量調整手段は前記分割した前記傾斜状領域及び前記平坦状領域について、前記平坦状領域を測定するときの前記測定寄与照射量Gを基準光量とし、前記傾斜状領域を測定するときの前記測定寄与照射量Gが前記基準光量になるように前記光源の光量を調整する請求項5に記載の表面形状測定装置。
- 前記測定対象物の前記被測定面の表面形状はうねり形状である請求項1から6の何れか1項に記載の表面形状測定装置。
- 前記被測定面の概略形状情報を取得する概略形状取得手段をさらに備え、
前記被測定面分割手段は、前記概略形状情報に基づいて前記被測定面を傾斜状領域と平坦状領域とで構成される複数の測定面に分割する請求項1から7の何れか1項に記載の表面形状測定装置。 - 前記概略形状取得手段は、三角測量方式のレーザー変位計、ステレオカメラ、パターン投影装置の何れかである請求項8に記載の表面形状測定装置。
- 前記概略形状取得手段は、前記測定対象物のCADデータを保持する保持手段である請求項8又は9に記載の表面形状測定装置。
- 前記概略形状取得手段は、前記光学部の対物レンズよりも倍率の小さな低倍率レンズを用いた白色干渉計である請求項8から10の何れか1項に記載の表面形状測定装置。
- 前記被測定面分割手段で分割された複数の測定面について前記対物レンズ選択手段で選択した対物レンズマップを表示する表示部を有する請求項1から11の何れか1項に記載の表面形状測定装置。
- 前記光学部は白色干渉計又はレーザー共焦点顕微鏡である請求項1から12の何れか1項に記載の表面形状測定装置。
- 測定対象物を支持する支持部と、
前記測定対象物の被測定面の表面形状を測定する光を出力する光源、前記光源からの出力された光を前記被測定面に照射する倍率の異なる複数の対物レンズ、及び前記被測定面の測定画像を取得する撮影部を少なくとも有する光学部と、を少なくとも有する表面形状測定装置を用いて前記被測定面の表面形状を測定する表面形状測定方法であって、
前記被測定面を傾斜状領域と平坦状領域とで構成される複数の測定面に分割する被測定面分割工程と、
前記分割した前記傾斜状領域と前記平坦状領域とに前記光を照射したときの測定に寄与する測定寄与照射量に応じて前記複数の対物レンズのうち使用する倍率の対物レンズを選択する対物レンズ選択工程と、
前記支持部を前記被測定面の面内方向に移動させることにより、前記分割した各測定面を前記選択した対物レンズに基づいて表面形状を個々に測定して複数の測定データを取得する測定面形状測定工程と、
前記取得した複数の測定データを接続するデータ接続工程と、を備えた表面形状測定方法。
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Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20030058454A1 (en) | 2001-08-08 | 2003-03-27 | Nova Measuring Instruments Ltd. | Method and system for measuring the topography of a sample |
US20060176494A1 (en) | 2001-09-30 | 2006-08-10 | Nova Measuring Instruments Ltd. | Method and system for thin film characterization |
JP2008281492A (ja) | 2007-05-11 | 2008-11-20 | Olympus Corp | 3次元形状測定装置 |
US20100225926A1 (en) | 2007-05-16 | 2010-09-09 | Nederlandse Organisatie Voor Toegepast- Natuurwetenschappelijk Onderzoek Tno | Optical Distance Sensor |
US20120140243A1 (en) | 2010-12-03 | 2012-06-07 | Zygo Corporation | Non-contact surface characterization using modulated illumination |
JP2016031368A (ja) | 2014-07-25 | 2016-03-07 | 株式会社ミツトヨ | テスト表面の高精度高さマップを測定する方法 |
JP2016161312A (ja) | 2015-02-27 | 2016-09-05 | 株式会社東京精密 | 表面形状測定装置のアライメント方法 |
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US4606634A (en) * | 1984-07-27 | 1986-08-19 | Owens-Illinois, Inc. | System for detecting selective refractive defects in transparent articles |
US4798469A (en) * | 1985-10-02 | 1989-01-17 | Burke Victor B | Noncontact gage system utilizing reflected light |
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20030058454A1 (en) | 2001-08-08 | 2003-03-27 | Nova Measuring Instruments Ltd. | Method and system for measuring the topography of a sample |
US20060176494A1 (en) | 2001-09-30 | 2006-08-10 | Nova Measuring Instruments Ltd. | Method and system for thin film characterization |
JP2008281492A (ja) | 2007-05-11 | 2008-11-20 | Olympus Corp | 3次元形状測定装置 |
US20100225926A1 (en) | 2007-05-16 | 2010-09-09 | Nederlandse Organisatie Voor Toegepast- Natuurwetenschappelijk Onderzoek Tno | Optical Distance Sensor |
US20120140243A1 (en) | 2010-12-03 | 2012-06-07 | Zygo Corporation | Non-contact surface characterization using modulated illumination |
JP2016031368A (ja) | 2014-07-25 | 2016-03-07 | 株式会社ミツトヨ | テスト表面の高精度高さマップを測定する方法 |
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