JP5120625B2 - 内面測定装置 - Google Patents
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Description
本発明の目的は、上述した実情に鑑み、スリット光を用いて被測定物の内面を測定するにあたって、測定可能な内面条件を広く確保し、より高精度な測定結果が得られる内面測定装置を提供することである。
また、撮像手段の撮像面を構成する受光素子の最小感度光量以上でかつ飽和光量内となるように前記スリット光の照射方向と前記撮像プリズムの配置位置とが調整されている。この特徴により、撮像手段は安定した画像を取得することができ、結果的に測定精度が向上する。
さらに、撮像手段の撮像面を撮像光軸に対して傾斜させているという特徴により、つまりあおり撮影の原理で被写界深度を稼ぐことにより、レンズのもつ被写界深度以上の測定範囲を確保することができる。このことも、高精度な測定に貢献する。
ここでは、検査対象物は円筒体10であり、検査対象領域は円筒体10の内面に形成された周溝11である。まず、円筒体10をその端面を載置面として、内面測定装置1のX・Y移動機構付きの測定台に載置する(#01)。X・Y移動制御装置86によってX・Y移動機構を制御するとともに、垂直移動制御部85によって垂直移動機構61を制御して測定ヘッドを円筒体10の筒内に挿入させスリット光が周溝11を照射する位置を測定開始位置として設定する(#02)。光源制御部80がスリット光源2のレーザを発振制御して、スリット光をスリット光プリズム3を介して周溝11に照射して、輝度差による光切断線Sを作り出す(#03)。コントローラ100は、この光切断線Sを含む周溝11の測定領域を撮影領域として撮像手段5が取得した撮像画像を画像データとして画像メモリ81に展開する(#04)。画像処理部82が、画像データを処理して、光切断線Sを検出する(#05)。検出された光切断線Sの画素位置に基づいて、評価部83がその3次元寸法(周溝11の断面形状)を算出して、記憶する(#06)。回転駆動制御部84が回転駆動部60を制御して、所定の測定角度ピッチ分だけ測定ヘッドを回転させる(#07)。全周にわたる周溝11の測定が完了したかどうか、つまり測定ヘッドを360度回転させたかどうかをチェックする(#08)。測定完了でない場合(#08No分岐)、ステップ#04から#07の処理を測定角度ピッチ毎に繰り返す。測定完了となった場合(#08Yes分岐)、測定ヘッドをホームポジションまで復帰させ、次の検査に備える(#09)。評価部83は、記憶されている全周にわたる光切断線S((周溝11の断面)の3次元寸法を読み出し、例えば、図5に模式的に示されているような検査面の形状データを構築する(#10)。さらに、構築された検査面の形状データと正常な形状データを比較して、欠陥の形状を抽出する(#11)。次いで、抽出された欠陥形状の大きさから、検査対象物の良否判定を行う(#12)。
2:スリット光源
3:スリット光プリズム(スリット光偏向手段)
4:撮像プリズム
5:撮像手段
50:レンズユニット
51:撮像ユニット
51a:撮像面
60:回転駆動機構
82:画像処理部
83:評価部
100:コントローラ
Claims (2)
- スリット光を照射するスリット光源と、
前記スリット光を照射された被測定物の円筒内面を撮像する撮像手段と、
前記スリット光を前記円筒内面へ偏向させるスリット光偏向手段と、
前記円筒内面のうち前記スリット光が照射されたスリット光照射内面へ前記撮像手段の撮像光軸を偏向させる撮像プリズムと、を備え、
前記スリット光源は、前記円筒内面の軸方向に沿う方向にスリット光が照射されるように前記円筒内面の外方に配置され、
前記撮像手段は、前記撮像光軸に沿って入射する光線を受ける受光素子を有するとともに、前記撮像光軸が前記円筒内面の軸方向に沿うように前記円筒内面の外方に配置され、
前記スリット光偏向手段は、入射したスリット光を、前記円筒内面の軸方向に延びるスリット光の形態で前記スリット光照射内面へ照射し、
前記スリット光照射内面でのスリット光の反射光量が全測定範囲において前記受光素子の最小感度光量以上でかつ飽和光量内となるように前記スリット光偏向手段から照射されるスリット光の照射方向と前記撮像プリズムの配置位置とが調整されており、
前記スリット光照射内面に対する前記スリット光の照射角度と前記撮像光軸の撮像角度とに応じて、前記スリット光照射内面における合焦範囲を拡大するために、前記受光素子の撮像面が前記撮像光軸に対して傾けられており、
前記撮像プリズムと前記スリット光照射内面との間に形成される前記撮像光軸と、前記スリット光偏向手段と前記スリット光照射内面との間に形成される光軸とが、前記円筒内面の軸方向に直交する同一平面上に配置される内面測定装置。 - 前記円筒内面は、周溝を有し、
前記周溝を含む前記円筒内面に照射されるスリット光の照射方向に対して、前記撮像プリズムを、前記周溝の底面に相当する最大円および前記周溝の開口面に相当する最小円に照射されたスリット光の正反射光軸よりも内側となるように、前記スリット光偏向手段に隣接して配置している請求項1に記載の内面測定装置。
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