CN109665528A - 含有刚玉型石英岩制备电子产品用高纯石英砂粉的方法 - Google Patents

含有刚玉型石英岩制备电子产品用高纯石英砂粉的方法 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种含有刚玉型石英岩制备电子产品用高纯石英砂粉的方法，先把原料矿石进行人工精选后，然后把石英颗粒进行制砂，制出的砂采用重液分离的办法除刚玉、铁质等密度大于石英的杂质，之后再采用浮选的办法分离掉长石颗粒；浮选未分离出的长石再氢氟酸酸洗除去；再把石英砂通过煅烧、水淬、高温酸洗提纯、还原焙烧、高温氯化的办法把杂质除到最低限度，从而确保提纯后的产品达到或超过行标《电子产品用高纯石英砂》的质量技术要求，以满足国内用户的需求。

Description

含有刚玉型石英岩制备电子产品用高纯石英砂粉的方法
技术领域
本发明属于非金属矿深加工技术领域，具体是指一种含有刚玉型石英岩制备电子产品用高纯石英砂粉的方法。
背景技术
根据中华人民共和国国家标准SJ3228.1-2016《电子产品用高纯石英砂》规定：电子产品用高纯石英砂产品用于制造半导体石英器件的管、棒、块、板、片以及坩埚等器件。其技术要求规定：电子产品用高纯石英砂外观应为具有一定透明度的白色颗粒，应无异色、肉眼可见的杂质。粒径应在70um-350um范围的累积质量分数大于或等于90％；粒径小于100um或大于300um的累积质量分数均应小于1％；二氧化硅含量：
一级品应大≥99.9991％；二级品≥99.9990％；三级品≥99.9980％；
杂质元素总含量见下表
表2杂质元素含量
单位为微克每克
目前，我国使用的电子产品用高纯石英砂原料大都从美国尤尼明公司进口。而我国国产电子产品用高纯石英砂的生产厂家大都采用国产或进口火成岩脉石英为原料生产电子产品用高纯石英砂，虽然生产的产品中的某些技术指标达到或超过美国尤尼明公司的产品，但产品的质量不稳定，不能够大批量的工业化生产，其主要原因包括：1、选用的原料没有制定一个质量技术标准；2、生产工艺及设备还不完善；3、关键的提纯技术还没掌握和突破；4、没有一个专职的研发团队；5、政府部门的支持的力度不够。
为了解决制备电子产品用高纯石英砂原料的问题，我们必须充分利用我国现有的硅矿资源优势，加大研发力度，研发出一种新型的、且原料来源广泛的电子产品用高纯石英砂制备的提纯技术和工艺路线，使之能大规模地工业化生产，替代进口产品，以满足我国的电子产品用高纯石英制品行业日益增长的需求。我国具有许多优质的型石英岩矿资源，刚玉型石英岩矿为石英与刚玉和长石交叉型伴生型矿物，主要杂质为刚玉，且长石颜色为浅红色。经化学分析：刚玉(Al2O3)占2-5％；长石以钾长石(K2O·Al2O3·6SiO(2)为1％以下，还含有少量的钠长石与钙长石共占0..5％左右；用放大镜观看岩矿中的石英成分，石英晶体呈粒状，透明度好，但内部有小黑点状物。该岩矿地质储量大、易于开采，但使用过程中石英与刚玉和长石的完全分离和把石英颗粒内的黑色杂质除去难度较大，暂时没有成熟的分离工艺，及利用含有刚玉型石英岩制备电子产品用高纯石英砂粉的相关文献资料及报道。
发明内容
针对现有技术的不足，本发明的目的是提供一种利用含有刚玉型石英岩制备电子产品用高纯石英砂粉的方法。
为实现上述目的，本发明提供的利用含有刚玉型石英岩制备电子产品用高纯石英砂粉的方法，其特征在于，包括如下步骤：
(1)矿石的预处理和制砂：先用洁净的水清洗矿石上的泥土杂质，再经人工初选除去可见杂质，用制砂机进行干法或湿法制砂，先磁选，后重选，再收集30-150目粒度区间的颗粒物，湿法的物料必须干燥后备用；干法制砂筛分后备用；
(2)把所述步骤(1)中的物料送入装有重液反应釜中；通过搅拌-静置-分离的步骤使密度大于石英的物质则沉入重液底部，从而使石英颗粒与刚玉、铁质物质分离；所述分离步骤重复1-3次，使得刚玉、铁质及其他杂质从石英颗粒中分离出来；
(3)将所述步骤(2)中分离出来的石英颗粒物料用乙醇洗涤干净，回收重液再循环使用；
(4)将所述步骤(3)中洗涤得到的石英颗粒物料送入高纯石英玻璃为材质的煅烧炉中进行煅烧1-2小时后，迅速进行水淬，水淬后的物料再进行脱水备用，得到石英砂颗粒；
(5)将所述步骤(4)中的石英砂颗粒进行浮选，以分离未除掉的长石矿物杂质，之后用质量百分比浓度不低于20％的氢氟酸溶液进行加热动态酸洗，以除去未浮选出的长石矿物；再用自来水洗涤石英砂颗粒直至洗涤出来的液体呈中性，再用纯水洗涤石英砂颗粒三次后脱水干燥后备用；
(6)把所述步骤(5)干燥后备用的石英砂送入高纯石英玻璃为材质的煅烧炉中在550-600℃的温度进行还原焙烧1-2小时后，迅速进行水淬，水淬后的物料再进行脱水备用；
(7)在室温下采用质量百分浓度≥20％的氢氟酸对步骤(6)中脱水后备用物料进行流化态洗涤，洗涤的同时向酸液底部通入ClO2气体氧化提纯45-60分钟后，再停止通入ClO2气体，升温至90℃，并保温反应3小时后，取样分析物料中的铝，并以铝的质量百分含量≤5.0ppm为酸洗终点；脱除酸液，用洁净的自来水洗涤物料直至洗涤出来的液体呈中性后，再用电子级纯水洗涤至洗涤出来的液体中氟离子及氯离子浓度均小于10ppm为洗涤终点，后干燥、筛分出30-150目粒度区间的石英砂颗粒备用；
(8)将所述步骤(7)中干燥筛分后的石英砂颗粒送至高温氯化装置中，在1250～1300℃的温度下以氯化氢气为氯化剂进行高温氯化1-2小时后冷却、包装即可得到电子产品用高纯石英砂粉成品。
作为一种优选方案，所述步骤(2)中的重液为：由三溴甲烷或四溴乙烷为主要试剂，由***或乙醇为辅助试剂配成的密度为2.9-3.0的有机重液；或由硅钨酸铈、偏钨酸铁、偏钨酸钠、偏钨酸铵、硅钨酸中任一为主要试剂，由水、乙醇、二氯乙醇、乙二醇、甘油中任一为辅助试剂配成的密度为2.9-3.0的重液。
作为一种优选方案，所述步骤(4)煅烧的温度为880-950℃。
作为又一种优选方案，所述步骤(5)中的浮选方法如下：以氢氟酸和碱液为调整剂，以十二胺为捕获剂，以2号油为起泡剂，在pH＝2.0～3.0的条件下浮选出长石矿物杂质。
作为又一种优选方案，所述步骤(5)中分离出来的长石矿物杂质再进行物理与化学深加工处理后得到精制的长石砂粉成品。
作为又一种优选方案，所述步骤(7)中采用流态化酸洗提纯装置对物料进行酸洗提纯，ClO2气体自流态化酸洗提纯装置底部通入酸洗液中；所用ClO2气体用空气或氮气或其他惰性气体稀释至体积比为10％以下。
本发明的技术方案先把原料矿石进行人工精选后，把石英颗粒进行制砂，制出的砂(湿法生产的需先干燥)，先采用重液分离的办法把刚玉与铁质元素从石英砂中分离出来；再采用浮选的办法分离掉石英砂中的长石颗粒；浮选未分离出的长石再氢氟酸酸洗除去，然后把提纯后的石英砂通过煅烧、水淬、高温酸洗提纯、还原焙烧、高温氯化的办法把杂质除到最低限度，从而确保提纯后的产品达到或超过行标《电子产品用高纯石英砂》的质量技术要求，以满足国内用户的需求。
本发明具有以下有益效果：攻克了现有技术中刚玉型石英岩矿无法制备出纯度大于99.99％的石英砂提纯中的技术壁垒，整个过程以石英与刚玉和长石的分离为主线；在未完全分离掉长石之前，不对石英进行煅烧，以免长石在高温下熔化后给后续提纯造成意想不到的困难；分离掉长石后，采取先煅烧水淬+酸洗提纯初步除杂；接着在进行氧化焙烧+酸洗除杂，在酸洗除杂过程中，本发明提供了一种氢氟酸+二氧化氯气体作为酸洗提纯过程中的首选试剂：该混合试剂在提纯过程中发挥了一种很好的协同效应作用：具体的是氢氟酸打开二氧化硅分子晶体的晶格；而二氧化氯迅速氧化晶格里的金属杂质，从而达到了快速除杂的目的；且ClO2气体是一种环保性气体，稀释在空气中和水中不会对环境造成污染。其除杂效果明显，把杂质降低到中间控制的范围之内后，最后用高温氯化的办法除杂，确保最后的产品达到或超过国家标准要求。开拓了我国高纯石英砂原料使用范围。
具体实施方式
下面结合具体实施例对本发明做详细具体的说明，但是本发明的保护范围并不局限于以下实施例中。
实施例一：
以内蒙古赤峰所产的含刚玉型石英岩矿为原料来说明本发明的工艺过程：
(1)矿石的预处理和制砂：先用洁净的水清洗矿石上的泥土杂质，再经人工初选除去固体杂质，用制砂机进行干法或湿法制砂，磁选和重选后，收集30-120目或40-140目或60-150目或根据需要的粒度区间的颗粒物，湿法的物料必须干燥后备用；干法制砂筛分后备用；
(2)把步骤(1)中的物料送入装有三溴甲烷为主要试剂、三氯甲烷为辅助试剂配成的d25密度为2.9-3.0g/ml的重液且开启搅拌反应釜中；通过搅拌30分钟-静置30分钟-分离15分钟的步骤使刚玉、铁质等密度大于石英的物质则沉入重液底部，从而使石英颗粒与刚玉、铁质物质分离；视石英砂颗粒大小及分离的效果再分离1-3次，使刚玉、铁质等杂质从石英颗粒中分离出来；
(3)把步骤(2)中分离出来的石英颗粒物料用乙醇洗涤干净备用，回收重液再循环使用；
(4)把步骤(3)中的石英砂颗粒进行浮选，以分离掉石英砂中的长石矿物，分离出来的长石矿物再进行提纯；分离出来的石英砂用自来水洗涤中性后再用纯水洗涤三次，脱水干燥后备用；
(5)把步骤(4)中送入高纯石英玻璃为材质的煅烧炉中在950℃的温度下高温煅烧1-2小时后，迅速进行水淬，水淬后的物料再进行脱水备用；
(6)把步骤(5)中的石英砂颗粒用质量百分比浓度不低于20％的氢氟酸溶液进行加热动态酸洗，以除去未浮选出的长石矿物；之后用自来水洗涤到中性，再用纯水洗涤三次后脱水干燥后备用；
(7)把步骤(6)中的石英砂送入高纯石英玻璃为材质的煅烧炉中用CO气体为燃料，在摄氏600℃的温度下还原焙烧1小时后，迅速进行水淬，水淬后的物料再进行脱水备用；
(8)在室温下采用质量百分浓度≥20％的氢氟酸对步骤(6)中的物料进行流化态洗涤，洗涤的同时向酸液底部通入ClO2气体氧化提纯60分钟；停止通入ClO2气体；升温至90℃，并保温反应3小时后，取样分析其中的铝，并以铝的质量百分含量≤5.0ppm为酸洗终点；脱除酸液，用洁净的自来水洗涤至中性后，再用电子级纯水洗涤至氟离子及氯离子浓度均小于10ppm为洗涤终点后干燥、筛分出30-120目或40-140目或60-150目或所需的粒度区间的砂颗粒备用；
9)把步骤(8)所得的物料送至高温氯化装置中在摄氏1300℃左右的温度下以氯化氢气为氯化剂进行高温氯化1小时后冷却、包装即可得到电子产品用高纯石英砂产品。
用ICP-MS测试石英砂中的杂质含量如下：单位(ug/g)
Al：4,8；Ca：0.40；Fe：0.10；Na：0.05；K：0.06；Li：0.11；Mg：0.02；Cr0.01；Ni：0.01；B：0.03；Mn：0.01；Cu：0.01。
其所有技术指标均达到或超过行标电子产品用高纯石英砂质量技术标准要求。
实施例二：
以湖北某地所产含刚玉型石英岩矿为原料来说明本发明的工艺过程：
(1)矿石的预处理和制砂：先用洁净的水清洗矿石上的泥土杂质，再经人工初选除去固体杂质，用制砂机进行干法或湿法制砂，磁选和重选后，收集30-120目或40-140目或60-150目或根据需要的粒度区间的颗粒物，湿法的物料必须干燥后备用；干法制砂筛分后备用；
(2)把步骤(1)中的物料送入装有硅钨酸铈为主要试剂，乙二醇等为辅助试剂配成的d25密度为3.0g/ml的重液且开启搅拌反应釜中；通过搅拌30分钟-静置30分钟-分离15分钟的步骤使刚玉、铁质等密度大于石英的物质则沉入重液底部，从而使石英颗粒与刚玉、铁质物质分离；视石英砂颗粒大小及分离的效果再分离1-3次，使刚玉、铁质等杂质从石英颗粒中分离出来；
(3)把步骤(2)中分离出来的石英颗粒物料用乙醇洗涤干净备用，回收重液再循环使用；
(4)把步骤(3)中的石英砂颗粒进行浮选，以分离掉石英砂中的长石矿物，分离出来的长石矿物再进行提纯；分离出来的石英砂用自来水洗涤中性后再用纯水洗涤三次，脱水干燥后备用；
(5)把步骤(4)中送入高纯石英玻璃为材质的煅烧炉中在880℃的温度下高温煅烧1小时后，迅速进行水淬，水淬后的物料再进行脱水备用；
(6)把步骤(5)中的石英砂颗粒用质量百分比浓度为20％的氢氟酸溶液进行加热动态酸洗，以除去未浮选出的长石矿物；之后用自来水洗涤到中性，再用纯水洗涤三次后脱水干燥后备用；
(7)把步骤(6)中的石英砂送入高纯石英玻璃为材质的煅烧炉中用CO气体为燃料，在摄氏550℃的温度下还原焙烧2小时后，迅速进行水淬，水淬后的物料再进行脱水备用；
(8)在室温下采用质量百分浓度30％的氢氟酸对步骤(6)中的物料进行流化态洗涤，洗涤的同时向酸液底部通入ClO2气体氧化提纯45分钟；停止通入ClO2气体；升温至90度，并保温反应3小时后，取样分析其中的铝，并以铝的质量百分含量≤5.0ppm为酸洗终点；脱除酸液，用洁净的自来水洗涤至中性后，再用电子级纯水洗涤至氟离子及氯离子浓度均小于10ppm为洗涤终点后干燥、筛分出30-120目或40-140目或60-150目或所需的粒度区间的砂颗粒备用；
9)把步骤(8)所得的物料送至高温氯化装置中在摄氏1250度左右的温度下以氯化氢气为氯化剂进行高温氯化2小时后冷却、包装即可得到电子产品用高纯石英砂产品。
用ICP-MS测试石英砂中的杂质含量如下：单位(ug/g)
Al：4,2.0；Ca：0.26；Fe：0.08；Na：0.06；K：0.05；Li：0.20；Mg：0.03；Cr0.03；Ni：0.02；B：0.03；Mn：0.02；Cu：0.03。
其所有技术指标均达到或超过行标电子产品用高纯石英砂质量技术标准要求。
实施例三：
以安徽某地所产含刚玉型石英岩矿为原料来说明本发明的工艺过程：
(1)矿石的预处理和制砂：先用洁净的水清洗矿石上的泥土杂质，再经人工初选除去固体杂质，用制砂机进行干法或湿法制砂，磁选和重选后，收集30-120目或40-140目或60-150目或根据需要的粒度区间的颗粒物，湿法的物料必须干燥后备用；干法制砂筛分后备用；
(2)把步骤(1)中的物料送入装有以四溴乙烷为主要试剂主要试剂，乙***等为辅助试剂配成的d25密度为3.0g/ml的重液且开启搅拌反应釜中；通过搅拌30分钟-静置30分钟-分离15分钟的步骤使刚玉、铁质等密度大于石英的物质则沉入重液底部，从而使石英颗粒与刚玉、铁质物质分离；视石英砂颗粒大小及分离的效果再分离1-3次，使刚玉、铁质等杂质从石英颗粒中分离出来；
(3)把步骤(2)中分离出来的石英颗粒物料用乙醇洗涤干净备用，回收重液再循环使用；
(4)把步骤(3)中的石英砂颗粒进行浮选，以分离掉石英砂中的长石矿物，分离出来的长石矿物再进行提纯；分离出来的石英砂用自来水洗涤中性后再用纯水洗涤三次，脱水干燥后备用；
(5)把步骤(4)中送入高纯石英玻璃为材质的煅烧炉中在880℃的温度下高温煅烧1小时后，迅速进行水淬，水淬后的物料再进行脱水备用；
(6)把步骤(5)中的石英砂颗粒用质量百分比浓度为20％的氢氟酸溶液进行加热动态酸洗，以除去未浮选出的长石矿物；之后用自来水洗涤到中性，再用纯水洗涤三次后脱水干燥后备用；
(7)把步骤(6)中的石英砂送入高纯石英玻璃为材质的煅烧炉中用CO气体为燃料，在摄氏550℃的温度下还原焙烧2小时后，迅速进行水淬，水淬后的物料再进行脱水备用；
(8)在室温下采用质量百分浓度30％的氢氟酸对步骤(6)中的物料进行流化态洗涤，洗涤的同时向酸液底部通入ClO2气体氧化提纯45分钟；停止通入ClO2气体；升温至90度，并保温反应3小时后，取样分析其中的铝，并以铝的质量百分含量≤5.0ppm为酸洗终点；脱除酸液，用洁净的自来水洗涤至中性后，再用电子级纯水洗涤至氟离子及氯离子浓度均小于10ppm为洗涤终点后干燥、筛分出30-120目或40-140目或60-150目或所需的粒度区间的砂颗粒备用；
9)把步骤(8)所得的物料送至高温氯化装置中在摄氏1250度左右的温度下以氯化氢气为氯化剂进行高温氯化2小时后冷却、包装即可得到电子产品用高纯石英砂产品。
用ICP-MS测试石英砂中的杂质含量如下：单位(ug/g)
Al：4.8；Ca：0.23；Fe：0.05；Na：0.07；K：0.06；Li：0.20；Mg：0.02；Cr0.03；Ni：0.01；B：0.03；Mn：0.01；Cu：0.01。
其所有技术指标均达到或超过行标电子产品用高纯石英砂质量技术标准要求。
实施例四：
以河南所产的含刚玉型石英岩矿为原料来说明本发明的工艺过程：
(1)矿石的预处理和制砂：先用洁净的水清洗矿石上的泥土杂质，再经人工初选除去固体杂质，用制砂机进行干法或湿法制砂，磁选和重选后，收集30-120目或40-140目或60-150目或根据需要的粒度区间的颗粒物，湿法的物料必须干燥后备用；干法制砂筛分后备用；
(2)把步骤(1)中的物料送入装有偏钨酸钠为主要试剂、乙醇为辅助试剂配成的d25密度为2.9-3.0g/ml的重液且开启搅拌反应釜中；通过搅拌30分钟-静置30分钟-分离15分钟的步骤使刚玉、铁质等密度大于石英的物质则沉入重液底部，从而使石英颗粒与刚玉、铁质物质分离；视石英砂颗粒大小及分离的效果再分离1-3次，使刚玉、铁质等杂质从石英颗粒中分离出来；
(3)把步骤(2)中分离出来的石英颗粒物料用乙醇洗涤干净备用，回收重液再循环使用；
(4)把步骤(3)中的石英砂颗粒进行浮选，以分离掉石英砂中的长石矿物，分离出来的长石矿物再进行提纯；分离出来的石英砂用自来水洗涤中性后再用纯水洗涤三次，脱水干燥后备用；
(5)把步骤(4)中送入高纯石英玻璃为材质的煅烧炉中在950℃的温度下高温煅烧1-2小时后，迅速进行水淬，水淬后的物料再进行脱水备用；
(6)把步骤(5)中的石英砂颗粒用质量百分比浓度不低于20％的氢氟酸溶液进行加热动态酸洗，以除去未浮选出的长石矿物；之后用自来水洗涤到中性，再用纯水洗涤三次后脱水干燥后备用；
(7)把步骤(6)中的石英砂送入高纯石英玻璃为材质的煅烧炉中用CO气体为燃料，在摄氏600℃的温度下还原焙烧1小时后，迅速进行水淬，水淬后的物料再进行脱水备用；
(8)在室温下采用质量百分浓度≥20％的氢氟酸对步骤(6)中的物料进行流化态洗涤，洗涤的同时向酸液底部通入ClO2气体氧化提纯60分钟；停止通入ClO2气体；升温至90℃，并保温反应3小时后，取样分析其中的铝，并以铝的质量百分含量≤5.0ppm为酸洗终点；脱除酸液，用洁净的自来水洗涤至中性后，再用电子级纯水洗涤至氟离子及氯离子浓度均小于10ppm为洗涤终点后干燥、筛分出30-120目或40-140目或60-150目或所需的粒度区间的砂颗粒备用；
9)把步骤(8)所得的物料送至高温氯化装置中在摄氏1300℃左右的温度下以氯化氢气为氯化剂进行高温氯化1小时后冷却、包装即可得到电子产品用高纯石英砂产品。
用ICP-MS测试石英砂中的杂质含量如下：单位(ug/g)
Al：5.0；Ca：0.30；Fe：0.09；Na：0.03；K：0.06；Li：0.09；Mg：0.02；Cr0.02；Ni：0.01；B：0.03；Mn：0.02；Cu：0.01。
其所有技术指标均达到或超过行标电子产品用高纯石英砂质量技术标准要求。
本发明方法中应用的酸洗提纯装置可参见发明人已授权发明专利：201110121881.9；201110247061.4；201310279400.6。本发明方法中应用的石英砂高温氯化装置为现有授权发明专利技术，专利号201610640562.1，该装置已经成功实现了工业化应用。

Claims (6)

1.一种利用含有刚玉型石英岩制备电子产品用高纯石英砂粉的方法，其特征在于，包括如下步骤：
(1)矿石的预处理和制砂：先用洁净的水清洗矿石上的泥土杂质，再经人工初选除去固体杂质，用制砂机进行干法或湿法制砂，先磁选，后重选，再收集30-150目粒度区间的颗粒物，湿法的物料必须干燥后备用；干法制砂筛分后备用；
(2)把所述步骤(1)中的物料送入装有重液反应釜中；通过搅拌-静置-分离的步骤使密度大于石英的物质沉入重液底部，从而使石英颗粒与刚玉、铁质物质分离；所述分离步骤重复1-3次，使得刚玉、铁质及其他杂质从石英颗粒中分离出来；
(3)将所述步骤(2)中分离出来的石英颗粒物料用乙醇洗涤干净，回收重液再循环使用；
(4)将所述步骤(3)中洗涤得到的石英颗粒物料送入高纯石英玻璃为材质的煅烧炉中进行煅烧1-2小时后，迅速进行水淬，水淬后的物料再进行脱水备用，得到石英砂颗粒；
(5)将所述步骤(4)中的石英砂颗粒进行浮选，以分离未除掉的长石矿物杂质，之后用质量百分比浓度不低于20％的氢氟酸溶液进行加热动态酸洗，以除去未浮选出的长石矿物；再用自来水洗涤石英砂颗粒直至洗涤出来的液体呈中性，再用纯水洗涤石英砂颗粒三次后脱水干燥后备用；
(6)把所述步骤(5)干燥后备用的石英砂送入高纯石英玻璃为材质的煅烧炉中在550-600℃的温度进行还原焙烧1-2小时后，迅速进行水淬，水淬后的物料再进行脱水备用；
(7)在室温下采用质量百分浓度≥20％的氢氟酸对步骤(6)中脱水后备用物料进行流化态洗涤，洗涤的同时向酸液底部通入ClO2气体氧化提纯45-60分钟后，再停止通入ClO2气体，升温至90℃，并保温反应3小时后，取样分析物料中的铝，并以铝的质量百分含量≤5.0ppm为酸洗终点；脱除酸液，用洁净的自来水洗涤物料直至洗涤出来的液体呈中性后，再用电子级纯水洗涤至洗涤出来的液体中氟离子及氯离子浓度均小于10ppm为洗涤终点，后干燥、筛分出30-150目粒度区间的石英砂颗粒备用；
(8)将所述步骤(7)中干燥筛分后的石英砂颗粒送至高温氯化装置中，在1250～1300℃的温度下以氯化氢气为氯化剂进行高温氯化1-2小时后冷却、包装即可得到电子产品用高纯石英砂粉成品。
2.根据权利要求1所述的利用含有刚玉型石英岩制备电子产品用高纯石英砂粉的方法，其特征在于：所述步骤(2)中的重液为：由三溴甲烷或四溴乙烷为主要试剂，由***或乙醇为辅助试剂配成的密度为2.9-3.0的有机重液；或由硅钨酸铈、偏钨酸铁、偏钨酸钠、偏钨酸铵、硅钨酸中任一为主要试剂，由水、乙醇、二氯乙醇、乙二醇、甘油中任一为辅助试剂配成的密度为2.9-3.0的重液。
3.根据权利要求1所述的利用含有刚玉型石英岩制备电子产品用高纯石英砂粉的方法，其特征在于：所述步骤(4)煅烧的温度为880-950℃。
4.根据权利要求1所述的利用含有刚玉型石英岩制备电子产品用高纯石英砂粉的方法，其特征在于：所述步骤(5)中的浮选方法如下：以氢氟酸和碱液为调整剂，以十二胺为捕获剂，以2号油为起泡剂，在pH＝2.0～3.0的条件下浮选出长石矿物杂质。
5.根据权利要求1所述的利用含有刚玉型石英岩制备电子产品用高纯石英砂粉的方法，其特征在于：所述步骤(5)中分离出来的长石矿物杂质再进行物理与化学深加工处理后得到精制的长石砂粉成品。
6.根据权利要求1所述的利用含有刚玉型石英岩制备电子产品用高纯石英砂粉的方法，其特征在于：所述步骤(7)中采用流态化酸洗提纯装置对物料进行酸洗提纯，ClO2气体自流态化酸洗提纯装置底部通入酸洗液中；所用ClO2气体用空气或氮气或其他惰性气体稀释至体积比为10％以下。
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