CN109490319B - 一种测试设备的检测装置和检测方法 - Google Patents

Abstract

本发明实施例公开了一种测试设备的检测装置和检测方法，检测装置用于对待测基板进行检测，待测基板划分为多个检测区块，检测装置包括：检测探头，检测探头用于采集待测基板中每个检测区块的每个测试点的测试信息；控制模块，控制模块用于控制检测探头以最短路径移动顺序进行检测区块中的每个测试点的检测，还控制检测探头以相邻区块移动顺序进行多个检测区块的检测，以及根据获取的测试信息确定对应测试点的检测结果。本发明实施例中，检测探头在检测任意两个相邻测试点以及跨区块时路径移动距离不会过长，提高了设备稳定性，减少了移动路径上的折返点，改善了跨点位长距离移动现象，避免设备来回重复移动。

Description

一种测试设备的检测装置和检测方法

技术领域

本发明实施例涉及缺陷检测技术，尤其涉及一种测试设备的检测装置和检测方法。

背景技术

AOI(Automated Optical Inspection，自动光学检测)设备和复检(Review)机台基于光学原理可对显示面板或其它类型的基板生产中遇到的常见缺陷进行检测的设备。当自动检测时，AOI设备通过摄像头自动扫描显示面板以采集图像，根据采集的图像数据结合机台算法从而判断显示面板上是否存在缺陷及获得缺陷的位置和影像信息等。Review机台通常是单测头跑点机台，用于对显示面板上的每个缺陷点进行拍照和复判。

Review机台采用最短路径规划进行缺陷点的跑点。比如当前对缺陷点A进行复检，则机台还从所有未被复检的点位中侦测出与缺陷点A距离最短的缺陷点位，将该与缺陷点A距离最短的缺陷点位确认为下一个目标点B；接着对缺陷点B进行复检，则再从所有未被复检的点位中侦测出与缺陷点B距离最短的缺陷点位，将该与缺陷点B距离最短的缺陷点位确认为下一个目标点C；以此类推，机台可跑完所有的缺陷点位。

然而，机台使用上述方法跑点时，可能会因为点位的分布不平均导致路径上有很多折返，造成来回重复移动。具体的，参考图1所示，为现有技术提供的一种机台的跑点规划图。Review机台是单测头跑点机台，并采用最短路径规划进行缺陷点的跑点。如图所示，以左上角第一个缺陷点作为点位1开始跑点，则机台对点位1进行检测，同时侦测出下一目标点为点位2；接着对点位2进行检测，同时侦测出下一目标点为点位3；接着对点位3进行检测；以此类推，机台可跑完所有的缺陷点位并对每个缺陷点位进行检测。如图所示，机台采用最短路径跑点规划的方法，可以发现路径上有很多折返点或者是跨点位长距离的移动，造成机台来回重复移动。另一方面，使用上述方法有时也会因为点位的分布不平均，导致路径移动距离变长以及移动方向时常变换不固定，影响机台稳定性，且效率较低。

发明内容

本发明实施例提供一种测试设备的检测装置和检测方法，以解决现有技术中机台来回重复移动的问题。

本发明实施例提供了一种测试设备的检测装置，所述检测装置用于对待测基板进行检测，所述待测基板划分为多个检测区块，所述检测装置包括：

检测探头，所述检测探头用于采集所述待测基板中每个所述检测区块的每个测试点的测试信息；

控制模块，所述控制模块用于控制所述检测探头以最短路径移动顺序进行所述检测区块中的每个所述测试点的检测，还控制所述检测探头以相邻区块移动顺序进行所述多个检测区块的检测，以及根据获取的所述测试信息确定对应所述测试点的检测结果。

进一步地，所述控制模块用于将所述待测基板划分为m*n个所述检测区块，所述相邻区块移动顺序包括：

对于第2i-1行所述检测区块，所述控制模块用于控制所述检测探头沿第1检测区块指向第m检测区块的方向进行区块检测，对于第2i行所述检测区块，所述控制模块用于控制所述检测探头沿第m检测区块指向第1检测区块的方向进行区块检测；或者，

对于第2i-1行所述检测区块，所述控制模块用于控制所述检测探头沿第m检测区块指向第1检测区块的方向进行区块检测，对于第2i行所述检测区块，所述控制模块用于控制所述检测探头沿第1检测区块指向第m检测区块的方向进行区块检测；

m和n均为正整数，i＝1,2,3,…,n。

进一步地，所述控制模块用于将所述待测基板划分为m*n个所述检测区块，所述相邻区块移动顺序包括：

对于第2i-1列所述检测区块，所述控制模块用于控制所述检测探头沿第1检测区块指向第n检测区块的方向进行区块检测，对于第2i列所述检测区块，所述控制模块用于控制所述检测探头沿第n检测区块指向第1检测区块的方向进行区块检测；或者，

对于第2i-1列所述检测区块，所述控制模块用于控制所述检测探头沿第n检测区块指向第1检测区块的方向进行区块检测，对于第2i列所述检测区块，所述控制模块用于控制所述检测探头沿第1检测区块指向第n检测区块的方向进行区块检测；

m和n均为正整数，i＝1,2,3,…,m。

进一步地，所述相邻区块移动顺序为：所述控制模块用于控制所述检测探头按照螺旋形状的区块移动顺序进行区块检测。

进一步地，所述最短路径移动顺序包括：

所述控制模块用于计算所述检测区块中当前测试点与其他每个未进行检测的测试点之间的距离，将所述检测区块中与所述当前测试点的距离最小的未进行检测的测试点确定为所述检测探头的下一测试点。

进一步地，所述最短路径移动顺序包括：

所述控制模块用于在所述检测探头检测至当前检测区块的末位测试点时，计算所述当前检测区块的末位测试点与下一顺位检测区块的每个测试点之间的距离，将所述下一顺位检测区块中与所述当前检测区块的末位测试点的距离最小的测试点确定为所述下一顺位检测区块的首位测试点。

进一步地，所述检测探头为高清摄像头。

进一步地，所述测试设备还包括初检装置，所述初检装置用于对所述待测基板进行缺陷检测，并将查找出的所述待测基板的缺陷点确定为测试点。

本发明实施例还提供了一种测试设备的检测方法，所述测试设备中容置有待测基板，所述待测基板划分为多个检测区块，所述测试设备中集成有检测探头，所述检测方法包括：

控制所述检测探头以最短路径移动顺序进行所述检测区块中的每个测试点的检测，还控制所述检测探头以相邻区块移动顺序进行所述多个检测区块的检测；

根据所述检测探头采集的所述待测基板中每个测试点的测试信息，确定所述测试点的检测结果。

进一步地，所述最短路径移动顺序为：计算所述检测区块中当前测试点与其他每个未进行检测的测试点之间的距离，确定该多个距离中的最短距离，将所述检测区块中与所述当前测试点的距离最短的未进行检测的测试点确定为所述检测探头的下一测试点。

本发明实施例中，测试设备的检测装置包括控制模块，控制模块用于控制检测探头以最短路径移动顺序进行检测区块中的每个测试点的检测，基于检测区块的大小限制，一个检测区块中任意相邻两个测试点之间的路径距离不会过长，则检测探头在检测任意两个相邻测试点时路径移动距离不会过长，提高了测试设备的稳定性；控制模块还用于控制检测探头以相邻区块移动顺序进行多个检测区块的检测，则跨区块时检测探头的路径移动距离不会过长，且移动方向较一致，进一步提高了测试设备的稳定性；此外，以区块为单位分区进行测试点的测试，减少了移动路径上的折返点，改善了跨点位长距离的移动现象，避免测试设备来回重复移动。本发明实施例中，检测装置对待测基板进行区块划分，控制模块以区块为单位控制检测探头的移动方向，优化了检测装置的随机数跑点路径规划，使检测装置跑点路径更顺畅。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图做一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为现有技术提供的一种机台的跑点规划图；

图2是本发明实施例提供的一种测试设备的检测装置的示意图；

图3是本发明实施例提供的一种测试设备的检测装置的跑点规划图；

图4是本发明实施例提供的一种测试设备的检测装置的跑点规划图；

图5是本发明实施例提供的一种测试设备的检测装置的跑点规划图；

图6是本发明实施例提供的一种测试设备的检测装置的跑点规划图；

图7是本发明实施例提供的一种测试设备的检测装置的跑点规划图；

图8是本发明实施例提供的一种测试设备的检测方法的流程图。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，以下将参照本发明实施例中的附图，通过实施方式清楚、完整地描述本发明的技术方案，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

参考图2所示，为本发明实施例提供的一种测试设备的检测装置的示意图。本发明实施例提供的检测装置用于对待测基板进行检测，待测基板划分为多个检测区块。本实施例中，检测装置可合理对待测基板进行区块虚拟划分，例如，检测装置可将待测基板划分为2*2个检测区块，或者，检测装置可将待测基板划分为5*3个检测区块，或者，检测装置可将待测基板划分为4*6个检测区块。检测装置对待测基板进行区块划分，以区块为单位进行待测基板的点位检测，即检测装置对待测基板的第一个区块中的点位检测完毕后，再对下一区块中的点位进行检测。

本实施例提供的测试设备的检测装置包括：检测探头10，检测探头10用于采集待测基板中每个检测区块的每个测试点的测试信息；控制模块20，控制模块20用于控制检测探头10以最短路径移动顺序进行检测区块中的每个测试点的检测，还控制检测探头10以相邻区块移动顺序进行多个检测区块的检测，以及根据获取的测试信息确定对应测试点的检测结果。

本实施例中，检测装置包括一个检测探头10，检测探头10对待测基板的每个测试点进行测试，具体的，检测装置控制检测探头10的移动路径，检测装置控制检测探头10移动至测试点所在位置上方时，检测探头10采集对应测试点的测试信息。可选检测探头10为高清摄像头，则检测探头10采集测试点的测试信息具体为检测探头10对测试点进行拍照，拍照所得图像即为测试点的测试信息。

本实施例中，检测装置包括控制模块20，控制模块20用于控制检测探头10以最短路径移动顺序进行检测区块中的每个测试点的检测。可选最短路径移动顺序包括：控制模块20用于计算检测区块中当前测试点与其他每个未进行检测的测试点之间的距离，将检测区块中与当前测试点的距离最小的未进行检测的测试点确定为检测探头10的下一测试点。

具体的，确定一目标检测区块，控制模块20控制检测探头10移动至该目标检测区块，首先控制模块20控制检测探头10移动至该区块中的第一目标测试点的位置处，在此可以以目标测试区块中离坐标系原点距离最近的测试点作为第一目标测试点，但不以此为限，实际操作时可以根据测试需求来定，检测探头10采集该第一目标测试点的测试信息，同时，控制模块20还侦测出该区块中与第一目标测试点距离最短的一未测试点，将该距离最短的未测试点作为第二目标测试点；然后控制模块20控制检测探头10移动至该区块中的第二目标测试点的位置处，检测探头10采集该第二目标测试点的测试信息，同时，控制模块20还侦测出该区块中与第二目标测试点距离最短的一未测试点，将该距离最短的未测试点作为第三目标测试点；以此类推，检测探头10在控制模块20的控制下按照最短移动路径顺序依次采集该目标检测区块中每个测试点的测试信息，直至该检测区块检测完成。

本实施例中，控制模块20用于控制检测探头10以相邻区块移动顺序进行多个检测区块的检测。控制模块20以区块为单位控制检测探头10的移动路径，具体的控制模块20控制检测探头10跑完当前检测区块的测试点后，会控制检测探头10移动到与该当前检测区块相邻的另一检测区块继续进行检测，直至控制检测探头10检测完整个待测基板。

本实施例中，控制模块20还用于根据获取的测试信息确定对应测试点的检测结果。检测探头10采集到测试点的测试信息后，会将测试信息传输至控制模块20进行分析，控制模块20对测试信息分析后得出检测结果。例如检测装置用于检测测试点是否存在气泡缺陷，则控制模块20通过检测探针10获得测试点的图像，分析处理图像以得出测试点是否存在气泡。

需要说明的是，待测基板可以是任意一种可能存在缺陷的基板，例如待测基板可以是印刷电路板，测试点可以是印刷电路板的至少一个焊盘，则检测装置可用于检测印刷电路板是否存在焊接不良的缺陷；例如待测基板可以是显示面板，测试点可以是显示面板的至少一个像素，则检测装置可用于检测显示面板是否存在坏点的缺陷。本领域技术人员可以理解，本发明中不限定待测基板的类型，也不限定测试点的类型，测试点可以是缺陷也可以是待测基板的其他类型点位，例如待测基板可以是玻璃，则测试点可以是初筛出的气泡点或杂质点；测试设备可以是独立的跑点机台，也可以是集成有跑点机台的测试机台；在本发明中不对待测基板和测试设备进行具体限定。

本实施例中，测试设备的检测装置包括控制模块，控制模块用于控制检测探头以最短路径移动顺序进行检测区块中的每个测试点的检测，基于检测区块的大小限制，一个检测区块中任意相邻两个测试点之间的路径距离不会过长，则检测探头在检测任意两个相邻测试点时路径移动距离不会过长，提高了测试设备的稳定性；控制模块还用于控制检测探头以相邻区块移动顺序进行多个检测区块的检测，则跨区块时检测探头的路径移动距离不会过长，且移动方向较一致，进一步提高了测试设备的稳定性；此外，以区块为单位分区进行测试点的测试，减少了移动路径上的折返点，改善了跨点位长距离的移动现象，避免测试设备来回重复移动，提高了检测效率。本实施例中，检测装置对待测基板进行区块划分，控制模块以区块为单位控制检测探头的移动方向，优化了检测装置的随机数跑点路径规划，使检测装置跑点路径更顺畅。

示例性的，在上述技术方案的基础上，如图3所示可选控制模块用于将待测基板30划分为m*n个检测区块31，相邻区块移动顺序包括：对于第2i-1行检测区块，控制模块用于控制检测探头沿第1检测区块指向第m检测区块的方向+X进行区块检测，对于第2i行检测区块，控制模块用于控制检测探头沿第m检测区块指向第1检测区块的方向-X进行区块检测；m和n均为正整数，i＝1,2,3,…,n。在此以将待测基板30划分为3*3个检测区块31为例进行描述。

本实施例中，控制模块用于将待测基板30划分为m*n个检测区块31，则相邻区块移动顺序包括：检测探头沿+X方向进行奇数行检测区块的检测，检测探头沿-X方向进行偶数行检测区块的检测。显然，检测探头检测一行检测区块时，移动方向一致，避免了现有技术中移动方向变化不固定造成的机台稳定性差的问题。此外，可选检测探头检测完奇数行的第m检测区块时，沿-Y方向移动至与其相邻的偶数行的第m检测区块继续进行检测，避免路径移动距离过长。

如图4所示可选控制模块用于将待测基板30划分为m*n个检测区块31，相邻区块移动顺序包括：对于第2i-1行检测区块，控制模块用于控制检测探头沿第m检测区块指向第1检测区块的方向-X进行区块检测，对于第2i行检测区块，控制模块用于控制检测探头沿第1检测区块指向第m检测区块的方向+X进行区块检测；m和n均为正整数，i＝1,2,3,…,n。

本实施例中，控制模块用于将待测基板30划分为m*n个检测区块31，则相邻区块移动顺序包括：检测探头沿-X方向进行奇数行检测区块的检测，检测探头沿+X方向进行偶数行检测区块的检测。显然，检测探头检测一行检测区块时，移动方向一致，避免了现有技术中移动方向变化不固定造成的机台稳定性差的问题。此外，可选检测探头检测完奇数行的第1检测区块时，沿-Y方向移动至与其相邻的偶数行的第1检测区块继续进行检测，避免路径移动距离过长。

示例性的，在上述技术方案的基础上，如图5所示可选控制模块用于将待测基板30划分为m*n个检测区块31，相邻区块移动顺序包括：对于第2i-1列检测区块，控制模块用于控制检测探头沿第1检测区块指向第n检测区块的方向-Y进行区块检测，对于第2i列检测区块，控制模块用于控制检测探头沿第n检测区块指向第1检测区块的方向+Y进行区块检测；m和n均为正整数，i＝1,2,3,…,m。

本实施例中，控制模块用于将待测基板30划分为m*n个检测区块31，则相邻区块移动顺序包括：检测探头沿-Y方向进行奇数列检测区块的检测，检测探头沿+Y方向进行偶数列检测区块的检测。显然，检测探头检测一列检测区块时，移动方向一致，避免了现有技术中移动方向变化不固定造成的机台稳定性差的问题。此外，可选检测探头检测完奇数列的第n检测区块时，沿+X方向移动至与其相邻的偶数列的第n检测区块继续进行检测，避免路径移动距离过长。

如图6所示可选控制模块用于将待测基板30划分为m*n个检测区块31，相邻区块移动顺序包括：对于第2i-1列检测区块，控制模块用于控制检测探头沿第n检测区块指向第1检测区块的方向+Y进行区块检测，对于第2i列检测区块，控制模块用于控制检测探头沿第1检测区块指向第n检测区块的方向-Y进行区块检测；m和n均为正整数，i＝1,2,3,…,m。

本实施例中，控制模块用于将待测基板30划分为m*n个检测区块31，则相邻区块移动顺序包括：检测探头沿+Y方向进行奇数列检测区块的检测，检测探头沿-Y方向进行偶数列检测区块的检测。显然，检测探头检测一列检测区块时，移动方向一致，避免了现有技术中移动方向变化不固定造成的机台稳定性差的问题。此外，可选检测探头检测完奇数列的第1检测区块时，沿+X方向移动至与其相邻的偶数列的第1检测区块继续进行检测，避免路径移动距离过长。

如图3～图6所示，控制模块控制的检测探头的跑点方向也可以称之为“弓形”跑点移动方向。

示例性的，在上述技术方案的基础上，如图7所示可选相邻区块移动顺序为：控制模块用于控制检测探头按照螺旋形状的区块移动顺序进行区块检测。本实施例中，控制模块控制检测探头从最***的一检测区块开始进行测试点检测，然后按照螺旋形状的移动顺序进行区块检测，显然，检测探头在至少一行或至少一列检测区块的移动方向变化固定，提高了机台稳定性。

需要说明的是，本发明任意实施例说明的移动方向均是指检测探头以区块为单位的移动方向，并非是检测探头对检测区块中的测试点进行检测时的跑点方向，检测探头对检测区块中的测试点进行检测时仍然按照最短路径移动顺序进行跑点检测即检测探头对检测区块中的测试点进行检测时的路径方向不一致。基于此，图7中实际上仅示出了检测探头针对不同检测区块时的移动路径和移动方向，并未示出检测探头对一个检测区块中测试点进行检测的移动路径。

需要说明的是，本发明实施例中控制模块可预先对待测基板规划出多种不同的移动路径，选取至少满足折返点最少、跨点位长距离最少和总跑点移动距离最短中的至少一个条件的移动路径作为最优移动路径，并根据该最优移动路径控制检测探头的检测。

示例性的，在上述技术方案的基础上，如图3～图6所示可选最短路径移动顺序包括：控制模块用于在检测探头检测至当前检测区块的末位测试点M时，计算当前检测区块的末位测试点M与下一顺位检测区块的每个测试点之间的距离，将下一顺位检测区块中与当前检测区块的末位测试点M的距离最小的测试点确定为下一顺位检测区块的首位测试点S。

本实施例中，控制模块将待测基板分成数个区块，以区块为主要移动方向。对于每个区块，计算最短距离作为测试点的移动顺序，即下一目标测试点与当前测试点之间的距离小于或等于当前测试点与其他任一未测点之间的距离，如此可缩短总跑点移动距离。对于相邻区块，若当前区块内测试点位的移动路径已规划完成，则侦测下一目标区块内任一点位与该当前区块的末位检测点位的距离，将下一目标区块内与该当前区块的末位检测点位的距离最短的点位确定为下一目标区块的首位检测点位。

示例性的，在上述技术方案的基础上，可选测试设备还包括初检装置，初检装置用于对待测基板进行缺陷检测，并将查找出的待测基板的缺陷点确定为测试点。本实施例中，测试设备包括初检装置，则检测装置对应的待测基板是经过初检装置筛选缺陷后的基板，则测试点为初检装置初筛后确定的基板的缺陷点，则检测装置可用于对待测基板的测试点进行复检，提高缺陷点判断的准确性。例如，测试设备为AOI设备，该AOI设备中集成有复检Review机台。在其他实施例中也可选AOI设备与复检机台相互独立，AOI设备对待测基板进行初筛后，将初筛出的缺陷信息发送至复检Review机台，复检Review机台对AOI设备筛选出的每个缺陷点进行复检。

图8是本发明实施例提供的一种测试设备的检测方法的流程图。本发明实施例提供的测试设备中容置有待测基板，待测基板划分为多个检测区块，测试设备中集成有检测探头，该测试设备的检测方法可通过上述任意实施例所述的检测装置实现，该检测装置可采用软件和/或硬件的方式实现，并配置在测试设备中。

本实施例提供的测试设备的检测方法包括：

步骤110、控制检测探头以最短路径移动顺序进行检测区块中的每个测试点的检测，还控制检测探头以相邻区块移动顺序进行多个检测区块的检测。

本实施例中，检测方法适用于单测头跑点机台，目的在于优化机台随机数跑点路径规划，缩短总跑点移动距离并提升机台移动时的稳定性，减少来回重复移动，使机台跑点更加顺畅，提高检测效率。

本实施例中，主要是将待测基板分成数个检测区块，以检测区块为主要移动方向。例如以第一区块为例，先按照最短路径移动顺序对第一区块中的所有测试点的移动顺序进行规划，第一区块中的点位移动路径规划完成后，再移动至与第一区块相邻的第二区块进行路径规划；将第二区块中的与第一区块的末位点位距离最近的点位确定为第二区块的首位测试点位，按照最短路径移动顺序对第二区块中的所有测试点的移动顺序进行规划，第二区块中的点位移动路径规划完成后，再移动至与第二区块相邻的第三区块进行路径规划；以此类推，直至规划完成所有区块的点位移动路径。

步骤120、根据检测探头采集的待测基板中每个测试点的测试信息，确定测试点的检测结果。

本实施例中，对待测基板的点位规划完成后，检测装置控制检测探头按照规划出的移动路径进行每个测试点的检测，检测装置获得测试信息后分析得出检测结果。

可选的，最短路径移动顺序为：计算检测区块中当前测试点与其他每个未进行检测的测试点之间的距离，确定该多个距离中的最短距离，将检测区块中与当前测试点的距离最短的未进行检测的测试点确定为检测探头的下一测试点。

本实施例提供的检测方法，缩短了机台的总跑点移动距离，减少了机台的反向移动次数，提升了机台的移动稳定性。

注意，上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本发明不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整、相互结合和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明，但是本发明不仅仅限于以上实施例，在不脱离本发明构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。

Claims (10)

1.一种测试设备的检测装置，其特征在于，所述检测装置用于对待测基板进行检测，所述待测基板划分为多个检测区块，所述检测装置包括：

检测探头，所述检测探头用于采集所述待测基板中每个所述检测区块的每个测试点的测试信息；

控制模块，所述控制模块用于控制所述检测探头以最短路径移动顺序进行所述检测区块中的每个所述测试点的检测，还控制所述检测探头以相邻区块移动顺序进行所述多个检测区块的检测，以及根据获取的所述测试信息确定对应所述测试点的检测结果；

所述检测区块中距离坐标系原点或所述上一检测区块末位测试点最近的点为区块检测的首位测试点，所述末位测试点为检测区块中依照最短路径移动顺序进行检测的过程中最后检测的点。

2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述控制模块用于将所述待测基板划分为m*n个所述检测区块，所述相邻区块移动顺序包括：

对于第2i-1行所述检测区块，所述控制模块用于控制所述检测探头沿第1检测区块指向第m检测区块的方向进行区块检测，对于第2i行所述检测区块，所述控制模块用于控制所述检测探头沿第m检测区块指向第1检测区块的方向进行区块检测；或者，

对于第2i-1行所述检测区块，所述控制模块用于控制所述检测探头沿第m检测区块指向第1检测区块的方向进行区块检测，对于第2i行所述检测区块，所述控制模块用于控制所述检测探头沿第1检测区块指向第m检测区块的方向进行区块检测；

m和n均为正整数，i＝1,2,3,…,n。

3.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述控制模块用于将所述待测基板划分为m*n个所述检测区块，所述相邻区块移动顺序包括：

对于第2i-1列所述检测区块，所述控制模块用于控制所述检测探头沿第1检测区块指向第n检测区块的方向进行区块检测，对于第2i列所述检测区块，所述控制模块用于控制所述检测探头沿第n检测区块指向第1检测区块的方向进行区块检测；或者，

对于第2i-1列所述检测区块，所述控制模块用于控制所述检测探头沿第n检测区块指向第1检测区块的方向进行区块检测，对于第2i列所述检测区块，所述控制模块用于控制所述检测探头沿第1检测区块指向第n检测区块的方向进行区块检测；

m和n均为正整数，i＝1,2,3,…,m。

4.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述相邻区块移动顺序为：所述控制模块用于控制所述检测探头按照螺旋形状的区块移动顺序进行区块检测。

5.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述最短路径移动顺序包括：

所述控制模块用于计算所述检测区块中当前测试点与其他每个未进行检测的测试点之间的距离，将所述检测区块中与所述当前测试点的距离最小的未进行检测的测试点确定为所述检测探头的下一测试点。

6.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述最短路径移动顺序包括：

所述控制模块用于在所述检测探头检测至当前检测区块的末位测试点时，计算所述当前检测区块的末位测试点与下一顺位检测区块的每个测试点之间的距离，将所述下一顺位检测区块中与所述当前检测区块的末位测试点的距离最小的测试点确定为所述下一顺位检测区块的首位测试点。

7.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述检测探头为高清摄像头。

8.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述测试设备还包括初检装置，所述初检装置用于对所述待测基板进行缺陷检测，并将查找出的所述待测基板的缺陷点确定为测试点。

9.一种测试设备的检测方法，其特征在于，所述测试设备中容置有待测基板，所述待测基板划分为多个检测区块，所述测试设备中集成有检测探头，所述检测方法包括：

控制所述检测探头以最短路径移动顺序进行所述检测区块中的每个测试点的检测，还控制所述检测探头以相邻区块移动顺序进行所述多个检测区块的检测；

根据所述检测探头采集的所述待测基板中每个测试点的测试信息，确定所述测试点的检测结果；

所述检测区块中距离坐标系原点或所述上一检测区块末位测试点最近的点为区块检测的首位测试点，所述末位测试点为检测区块中依照最短路径移动顺序进行检测的过程中最后检测的点。

10.根据权利要求9所述的检测方法，其特征在于，所述最短路径移动顺序为：计算所述检测区块中当前测试点与其他每个未进行检测的测试点之间的距离，确定该多个距离中的最短距离，将所述检测区块中与所述当前测试点的距离最短的未进行检测的测试点确定为所述检测探头的下一测试点。