CN109425761A - 电子部件输送装置及电子部件检查装置 - Google Patents

Abstract

一种电子部件输送装置及电子部件检查装置，即使更换了检查用凹部的间距互不相同的第一***与第二***，也能够容易地应对该更换来输送电子部件。电子部件输送装置的特征在于，把持输送部能够设置第一把持部和第二把持部，在设置了能够检查电子部件的第一***和供电子部件载置的第一输送部件的情况下，能够将所述第一把持部与所述第二把持部的间距设定为第一间距，在设置了能够检查电子部件的第二***和供电子部件载置的第二输送部件的情况下，能够将所述第一把持部与所述第二把持部的间距设定为与第一间距不同的第二间距。

Description

电子部件输送装置及电子部件检查装置

技术领域

本发明涉及电子部件输送装置及电子部件检查装置。

背景技术

以往以来，已知有对IC器件进行电试验的IC分选机(Handler)(例如，参照专利文献1)。在该专利文献1所记载的IC分选机中，在对IC器件进行试验时，构成为用触头把持IC器件而将其输送至插座，并载置于插座来进行其试验。

另外，通常，插座配置有多个，能够将IC器件载置于各插座而对这些IC器件一并地进行试验。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2015/083240号

然而，在专利文献1所记载的IC分选机中，若插座彼此的间距(中心间距离)改变，则必须与该改变对应地也改变触头彼此的间距。在该情况下，需要另外准备具有改变了间距的触头的单元而更换成该单元。这样的更换作业对操作IC分选机的操作员来说非常繁琐，并且耗费劳力。

发明内容

本发明为了解决上述的课题的至少一部分而完成，能够作为以下方式来实现。

本发明的电子部件输送装置的特征在于，能够设置能够对电子部件进行检查的第一***或第二***，所述电子部件输送装置具备：

输送部，能够设置供所述电子部件载置的第一输送部件或第二输送部件，并载置所述电子部件而进行移动；以及

把持输送部，能够将所述电子部件通过把持从所述第一输送部件向所述第一***输送，或者能够将所述电子部件通过把持从所述第二输送部件向所述第二***输送，

所述第一***具有供所述电子部件载置的第一检查用凹部和距所述第一检查用凹部以第一间距设置的第二检查用凹部，

所述第二***具有供所述电子部件载置的所述第一检查用凹部和距所述第一检查用凹部以与所述第一间距不同的第二间距设置的所述第二检查用凹部，

所述第一输送部件具有供所述电子部件载置的第一输送用凹部和距所述第一输送用凹部以所述第一间距设置的第二输送用凹部，

所述第二输送部件具有供所述电子部件载置的所述第一输送用凹部和距所述第一输送用凹部以所述第二间距设置的所述第二输送用凹部，

所述把持输送部能够设置第一把持部和第二把持部，

当设置了所述第一***和所述第一输送部件时，能够将所述第一把持部与所述第二把持部的间距设定为所述第一间距，

当设置了所述第二***和所述第二输送部件时，能够将所述第一把持部与所述第二把持部的间距设定为所述第二间距。

由此，即使更换了检查用凹部的间距互不相同的第一***与第二***，也能够容易地应对该更换来改变第一把持部与第二把持部在第一方向上的间距。由此，例如即使不另外更换把持输送部，也能够用共用的把持输送部准确地将电子部件输送到目的***(第一***或第二***)。

本发明的电子部件输送装置的特征在于，能够设置能够对电子部件进行检查的第一***或第二***，

所述电子部件输送装置具备把持输送部，所述把持输送部能够将所述电子部件通过把持向所述第一***输送，或者能够将所述电子部件通过把持向所述第二***输送，

所述第一***具有供所述电子部件载置的第一检查用凹部和距所述第一检查用凹部以第一间距设置的第二检查用凹部，

所述第二***具有供所述电子部件载置的所述第一检查用凹部和距所述第一检查用凹部以与所述第一间距不同的第二间距设置的所述第二检查用凹部，

所述把持输送部能够设置第一把持部和第二把持部，

当设置了所述第一***时，能够将所述第一把持部与所述第二把持部的间距设定为所述第一间距，

当设置了所述第二***时，能够将所述第一把持部与所述第二把持部的间距设定为所述第二间距。

由此，即使更换了检查用凹部的间距互不相同的第一***与第二***，也能够容易地应对该更换来改变第一把持部与第二把持部在第一方向上的间距。由此，例如即使不另外更换把持输送部，也能够用共用的把持输送部准确地将电子部件输送到目的***(第一***或第二***)。

本发明的电子部件输送装置的特征在于，能够设置能够对电子部件进行检查的***，所述电子部件输送装置具备：

输送部，能够设置供所述电子部件载置的第一输送部件或第二输送部件，并载置所述电子部件而进行移动；以及

把持输送部，能够将所述电子部件通过把持从所述第一输送部件向所述***输送，或者能够将所述电子部件通过把持从所述第二输送部件向所述***输送，

所述第一输送部件具有供所述电子部件载置的第一输送用凹部和距所述第一输送用凹部以第一间距设置的第二输送用凹部，

所述第二输送部件具有供所述电子部件载置的所述第一输送用凹部和距所述第一输送用凹部以与所述第一间距不同的第二间距设置的所述第二输送用凹部，

所述把持输送部能够设置第一把持部和第二把持部，

当设置了所述第一输送部件时，能够将所述第一把持部与所述第二把持部的间距设定为所述第一间距，

当设置了所述第二输送部件时，能够将所述第一把持部与所述第二把持部的间距设定为所述第二间距。

由此，即使更换了检查用凹部的间距互不相同的第一***与第二***，也能够容易地应对该更换来改变第一把持部与第二把持部在第一方向上的间距。由此，例如即使不另外更换把持输送部，也能够用共用的把持输送部准确地将电子部件输送到目的***(第一***或第二***)。

在本发明的电子部件输送装置中，优选的是，所述把持输送部具有一方向移动机构部，所述一方向移动机构部能够使所述第一把持部与所述第二把持部以设定为所述第一间距或所述第二间距的方式在第一方向上相对移动。

由此，能够迅速并且稳定地改变第一把持部与第二把持部的间距。

在本发明的电子部件输送装置中，优选的是，所述一方向移动机构部能够使所述第一把持部与所述第二把持部在所述第一方向上相对移动至少6mm。

近年来，一般在市场上流通的***中有检查用凹部的间距为57.15mm的***、间距为60mm的***以及间距为63.5mm的***，以这些种类为主。因此，只要能够使第一把持部与第二把持部在第一方向上相对移动至少6mm，则无需另外更换把持输送部，就能够使第一方向的间距相对于上述范围的***无过多或不足地进行间距转换，进而充分应对。

在本发明的电子部件输送装置中，优选的是，所述一方向移动机构部具有通过施加电压而伸缩的压电元件。

由此，能够利用压电元件的伸缩动作，顺畅且迅速地进行第一把持部与第二把持部的间距的改变。

在本发明的电子部件输送装置中，优选的是，所述电子部件输送装置还具备输入与所述第一间距及所述第二间距有关的信息的输入部。

由此，能够适当地改变关于距离的信息。

在本发明的电子部件输送装置中，优选的是，所述一方向移动机构部基于所述信息，使所述第一把持部与所述第二把持部在所述第一方向上相对移动。

由此，能够自动地改变第一把持部与第二把持部的间距。

在本发明的电子部件输送装置中，优选的是，所述把持输送部在与所述第一方向交叉的第二方向上具有多个所述第一把持部和多个所述第二把持部，

能够使所述多个所述第一把持部和所述多个所述第二把持部分别在所述第二方向上相对移动。

由此，即使根据电子部件的种类，将第一***与第二***更换为间距在第二方向上的大小互不相同的***，也能够改变第一把持部彼此在第二方向上的间距、第二把持部彼此在第二方向上的间距。

本发明的电子部件检查装置的特征在于，具备：

第一***或第二***，对电子部件进行检查；

输送部，能够设置供电子部件载置的第一输送部件或第二输送部件，并载置所述电子部件而进行移动；以及

把持输送部，能够将所述电子部件通过把持从所述第一输送部件向所述第一***输送，或者能够将所述电子部件通过把持从所述第二输送部件向所述第二***输送，

所述第一***具有供所述电子部件载置的第一检查用凹部和距所述第一检查用凹部以第一间距设置的第二检查用凹部，

所述第二***具有供所述电子部件载置的所述第一检查用凹部和距所述第一检查用凹部以与所述第一间距不同的第二间距设置的所述第二检查用凹部，

所述第一输送部件具有供所述电子部件载置的第一输送用凹部和距所述第一输送用凹部以所述第一间距设置的第二输送用凹部，

所述第二输送部件具有供所述电子部件载置的所述第一输送用凹部和距所述第一输送用凹部以所述第二间距设置的所述第二输送用凹部，

所述把持输送部能够设置第一把持部和第二把持部，

当设置了所述第一***和所述第一输送部件时，能够将所述第一把持部与所述第二把持部的间距设定为所述第一间距，

当设置了所述第二***和所述第二输送部件时，能够将所述第一把持部与所述第二把持部的间距设定为所述第二间距。

由此，即使更换了检查用凹部的间距互不相同的第一***与第二***，也能够容易地应对该更换来改变第一把持部与第二把持部在第一方向上的间距。由此，例如即使不另外更换把持输送部，也能够用共用的把持输送部准确地将电子部件输送到目的***(第一***或第二***)。另外，能够用第一***、第二***进行对电子部件的检查。

本发明的电子部件检查装置的特征在于，具备：

第一***或第二***，对电子部件进行检查；以及

把持输送部，能够将所述电子部件通过把持向所述第一***输送，或者能够将所述电子部件通过把持向所述第二***输送，

所述第一***具有供所述电子部件载置的第一检查用凹部和距所述第一检查用凹部以第一间距设置的第二检查用凹部，

所述第二***具有供所述电子部件载置的所述第一检查用凹部和距所述第一检查用凹部以与所述第一间距不同的第二间距设置的所述第二检查用凹部，

所述把持输送部能够设置第一把持部和第二把持部，

当设置了所述第一***时，能够将所述第一把持部与所述第二把持部的间距设定为所述第一间距，

当设置了所述第二***时，能够将所述第一把持部与所述第二把持部的间距设定为所述第二间距。

由此，即使更换了检查用凹部的间距互不相同的第一***与第二***，也能够容易地应对该更换来改变第一把持部与第二把持部在第一方向上的间距。由此，例如即使不另外更换把持输送部，也能够用共用的把持输送部准确地将电子部件输送到目的***(第一***或第二***)。另外，能够用第一***、第二***进行对电子部件的检查。

本发明的电子部件检查装置的特征在于，具备：

***，对电子部件进行检查；

输送部，能够设置供所述电子部件载置的第一输送部件或第二输送部件，并载置所述电子部件而进行移动；以及

把持输送部，能够将所述电子部件通过把持从所述第一输送部件向所述***输送，或者能够将所述电子部件通过把持从所述第二输送部件向所述***输送，

所述第一输送部件具有供所述电子部件载置的第一输送用凹部和距所述第一输送用凹部以第一间距设置的第二输送用凹部，

所述第二输送部件具有供所述电子部件载置的所述第一输送用凹部和距所述第一输送用凹部以与所述第一间距不同的第二间距设置的所述第二输送用凹部，

所述把持输送部能够设置第一把持部和第二把持部，

当设置了所述第一输送部件时，能够将所述第一把持部与所述第二把持部的间距设定为所述第一间距，

当设置了所述第二输送部件时，能够将所述第一把持部与所述第二把持部的间距设定为所述第二间距。

由此，即使更换了检查用凹部的间距互不相同的第一***与第二***，也能够容易地应对该更换来改变第一把持部与第二把持部在第一方向上的间距。由此，例如即使不另外更换把持输送部，也能够用共用的把持输送部准确地将电子部件输送到目的***(第一***或第二***)。另外，能够用第一***、第二***进行对电子部件的检查。

附图说明

图1是从正面侧观察本发明的电子部件检查装置的第一实施方式的概略立体图。

图2是示出图1所示的电子部件检查装置的动作状态的概略俯视图。

图3是配置于图1所示的电子部件检查装置的检查区域的器件输送头的局部剖面侧视图。

图4是配置于图1所示的电子部件检查装置的检查区域的***(检查用凹部的配置状态的一个例子)的俯视图。

图5是示出图4所示的***所对应的器件输送头的手部单元的配置状态的俯视图。

图6是配置于图1所示的电子部件检查装置的检查区域的***(检查用凹部的配置状态的一个例子)的俯视图。

图7是示出图6所示的***所对应的器件输送头的手部单元的配置状态的俯视图。

图8是配置于图1所示的电子部件检查装置的检查区域的***(检查用凹部的配置状态的一个例子)的俯视图。

图9是示出图8所示的***所对应的器件输送头的手部单元的配置状态的俯视图。

图10是依次示出图1所示的电子部件检查装置的检查区域内的器件输送头的动作的局部剖面侧视图(***为图4所示的状态，器件输送头为图5所示的状态)。

图11是依次示出图1所示的电子部件检查装置的检查区域内的器件输送头的动作的局部剖面侧视图(***为图4所示的状态，器件输送头为图5所示的状态)。

图12是依次示出图1所示的电子部件检查装置的检查区域内的器件输送头的动作的局部剖面侧视图(***为图4所示的状态，器件输送头为图5所示的状态)。

图13是依次示出图1所示的电子部件检查装置的检查区域内的器件输送头的动作的局部剖面侧视图(***为图4所示的状态，器件输送头为图5所示的状态)。

图14是依次示出图1所示的电子部件检查装置的检查区域内的器件输送头的动作的局部剖面侧视图(***为图4所示的状态，器件输送头为图5所示的状态)。

图15是依次示出图1所示的电子部件检查装置的检查区域内的器件输送头的动作的局部剖面侧视图(***为图6所示的状态，器件输送头为图7所示的状态)。

图16是依次示出图1所示的电子部件检查装置的检查区域内的器件输送头的动作的局部剖面侧视图(***为图6所示的状态，器件输送头为图7所示的状态)。

图17是依次示出图1所示的电子部件检查装置的检查区域内的器件输送头的动作的局部剖面侧视图(***为图6所示的状态，器件输送头为图7所示的状态)。

图18是依次示出图1所示的电子部件检查装置的检查区域内的器件输送头的动作的局部剖面侧视图(***为图6所示的状态，器件输送头为图7所示的状态)。

图19是依次示出图1所示的电子部件检查装置的检查区域内的器件输送头的动作的局部剖面侧视图(***为图6所示的状态，器件输送头为图7所示的状态)。

图20是依次示出图1所示的电子部件检查装置的检查区域内的器件输送头的动作的局部剖面侧视图(***为图8所示的状态，器件输送头为图9所示的状态)。

图21是依次示出图1所示的电子部件检查装置的检查区域内的器件输送头的动作的局部剖面侧视图(***为图8所示的状态，器件输送头为图9所示的状态)。

图22是依次示出图1所示的电子部件检查装置的检查区域内的器件输送头的动作的局部剖面侧视图(***为图8所示的状态，器件输送头为图9所示的状态)。

图23是依次示出图1所示的电子部件检查装置的检查区域内的器件输送头的动作的局部剖面侧视图(***为图8所示的状态，器件输送头为图9所示的状态)。

图24是依次示出图1所示的电子部件检查装置的检查区域内的器件输送头的动作的局部剖面侧视图(***为图8所示的状态，器件输送头为图9所示的状态)。

图25是用于说明配置于图1所示的电子部件检查装置的检查区域的器件输送头中的手部单元的间距的程度的图。

图26是示出内置于图1所示的电子部件检查装置的控制部的控制程序的流程图。

图27是示出本发明的电子部件检查装置(第二实施方式)的检查区域内的器件输送头的仰视图。

图28是示出本发明的电子部件检查装置(第二实施方式)的检查区域内的器件输送头的侧视图。

图29是示出本发明的电子部件检查装置(第三实施方式)的检查区域内的器件输送头的仰视图。

附图标记说明：

1…电子部件检查装置；10…电子部件输送装置；11A…盘输送机构；11B…盘输送机构；12…温度调整部；13…器件输送头；14…器件供给部；14A…器件供给部；14B…器件供给部；14α…器件供给部；14β…器件供给部；14γ…器件供给部；141…凹部；15…盘输送机构；16…***；16α…***；16β…***；16γ…***；161…凹部；17…器件输送头；17A…器件输送头；17B…器件输送头；171…连结部；18…器件回收部；18A…器件回收部；18B…器件回收部；19…回收用盘；20…器件输送头；21…盘输送机构；22A…盘输送机构；22B…盘输送机构；231…第一隔壁；232…第二隔壁；233…第三隔壁；234…第四隔壁；235…第五隔壁；241…前盖；242…侧盖；243…侧盖；244…后盖；245…顶盖；25…输送部；9…手部单元；9A…第一手部单元；9B…第二手部单元；91A…间距转换机构部(一方向移动机构部)；91B…间距转换机构部(第二方向移动机构部)；911…第一压电致动器；911a…凸部；912…第二压电致动器；913…第三压电致动器(转动部用压电致动器)；913a…凸部；914…线性导向件；914a…导轨；914b…滑动件；915…线性导向件；915a…导轨；915b…滑动件；916…线性导向件；916a…导轨；916b…滑动件；917…线性导向件；917a…导轨；917b…滑动件；92…位置调整机构；93…姿势调整机构；94…基部；941…板状部；942…卡合部；943…卡合部；947…抵接部；947a…下表面；948…仿形机构(柔性机构)；95…第一移动部；951…基部；952…导轨；953…导轨；954…第一固定部；956…卡合部(引导部)；96…第二移动部；961…基部；961a…面；963…导轨；97…转动部(旋转部)；971…支承部；98…把持部；981…吸附面；982…吸附孔；983…减压泵；99…轴；90…IC器件；902…端子；200…盘；300…监视器；301…显示画面；400…信号灯；500…扬声器；600…鼠标台；700…操作面板；800…控制部；A1…盘供给区域；A2…器件供给区域；A3…检查区域；A4…器件回收区域；A5…盘去除区域；S101～S103…步骤；X9α…间距；X9β…间距；X9γ…间距；X16α…间距；X16β…间距；X16γ…间距；Y9max…最大间距；Y9α…间距；Y9β…间距；Y9γ…间距；ΔY9…微调；Y14α…间距；Y14β…间距；Y14γ…间距；Y16α…间距；Y16β…间距；Y16γ…间距；α11A…箭头；α11B…箭头；α13X…箭头；α13Y…箭头；α14…箭头；α15…箭头；α17Y…箭头；α18…箭头；α20X…箭头；α20Y…箭头；α21…箭头；α22A…箭头；α22B…箭头；α90…箭头。

具体实施方式

以下，基于附图所示的优选的实施方式，本发明的电子部件输送装置及电子部件检查装置进行详细说明。

＜第一实施方式＞

以下，参照图1～图26，对本发明的电子部件输送装置及电子部件检查装置的第一实施方式进行说明。此外，以下，为了方便说明，如图1所示，将彼此正交的3个轴设为X轴、Y轴以及Z轴。另外，包含X轴与Y轴的XY平面为水平，Z轴形成为垂直。另外，也将与X轴平行的方向称为“X方向(第二方向)”，也将与Y轴平行的方向称为“Y方向(第一方向)”，也将与Z轴平行的方向称为“Z方向(第三方向)”。另外，将各方向的箭头所朝向的方向称为“正”，将其相反方向称为“负”。另外，本申请说明书中所说的“水平”并不限定于完全的水平，在不妨碍电子部件的输送的范围内，也包括相对于水平略微倾斜(例如小于5°左右)的状态。另外，也将图1、图3以及图10～图24中(对于图28也是相同的)的上侧、即Z轴方向正侧称为“上”或“上方”，将下侧、即Z轴方向负侧称为“下”或“下方”。

本发明的电子部件输送装置10具有图1所示的外观。该电子部件输送装置10是分选机，可设置能够检查IC器件90(电子部件)的第一***或第二***。电子部件输送装置10具备：输送部，能够设置供IC器件90(电子部件)载置的第一输送部件或第二输送部件，并能够载置IC器件90(电子部件)而移动；以及把持输送部，能够把持IC器件90(电子部件)而将其从第一输送部件向第一***输送，或能够把持IC器件90(电子部件)而将其从第二输送部件向第二***输送。第一***具有供IC器件90(电子部件)载置的第一检查用凹部、和距第一检查用凹部以第一间距设置的第二检查用凹部。第二***具有供IC器件90(电子部件)载置的第一检查用凹部、和距第一检查用凹部以与第一间距不同的第二间距设置的第二检查用凹部。第一输送部件具有供IC器件90(电子部件)载置的第一输送用凹部、和距第一输送用凹部以第一间距设置的第二输送用凹部。第二输送部件IC具有供器件90(电子部件)载置的第一输送用凹部、和距第一输送用凹部以第二间距设置的第二输送用凹部。把持输送部能够设置第一把持部以及第二把持部，在设置了第一***以及第一输送部件的情况下，能够将第一把持部与第二把持部的间距设定为第一间距，在设置了第二***以及第二输送部件的情况下，能够将第一把持部与第二把持部的间距设定为第二间距。

在本实施方式中，第一***以及第二***中的一方成为***16α、***16β、***16γ中的任一个。另一方成为剩余两个***中的任一个。

第一输送部件具有多个凹部141(第一输送用凹部)，该多个凹部141以在第一方向上间距为第一间距的方式分开地排列，并供IC器件90(电子部件)载置。第二输送部件具有多个凹部141(第二输送用凹部)，该多个凹部141以在Y方向(第一方向)上间距为第二间距的方式分开地排列，并供IC器件90(电子部件)载置。在本实施方式中，第一输送部件以及第二输送部件中的一方成为器件供给部14α、器件供给部14β、器件供给部14γ中的任一个，另一方成为剩余两个器件供给部中的任一个。另外，各输送部件是能够更换来进行载置的板(输送夹具)，被支承为能够利用未图示的驱动部而在Y方向上移动。并且，该驱动部将输送部件构成了按照每个IC器件90进行输送的输送部。

把持输送部具有：第一把持部，把持IC器件90(电子部件)；第二把持部，把持IC器件90(电子部件)且相对于第一把持部在第一方向上并列地配置；以及间距转换机构部(一方向移动机构部)91A，能够使第一把持部和第二把持部在Y方向(第一方向)上相对移动，在第一***配置状态时，使第一把持部与第二把持部在Y方向(第一方向)上的间距为第一间距，在第二***配置状态时，使第一把持部与第二把持部在第一方向上的间距为第二间距。

在本实施方式中，把持输送部是器件输送头17。该器件输送头17具有第一手部单元9A和第二手部单元9B。并且，第一把持部是第一手部单元9A的把持部98，第二把持部是第二手部单元9B的把持部98。

通过这样的结构，如后述那样，即使更换了凹部161(检查用凹部)的间距互不相同的第一***与第二***，也能够容易地应对该更换来改变第一把持部与第二把持部在第一方向上的间距。由此，例如即使不另外更换把持输送部，也能够用共用的把持输送部准确地将IC器件90输送到目的***(第一***或第二***)。

另外，如图2所示，本发明的电子部件检查装置1具有电子部件输送装置10，并且还具有检查电子部件的***16。即，本发明的电子部件检查装置1具备：能够检查IC器件90(电子部件)的第一***或第二***；输送部，能够设置供IC器件90(电子部件)载置的第一输送部件或第二输送部件，并能够载置IC器件90(电子部件)而移动；以及把持输送部，能够把持IC器件90(电子部件)而将其从第一输送部件向第一***输送，或者能够把持IC器件90(电子部件)而将其从第二输送部件向第二***输送。第一***IC具有供器件90(电子部件)载置的第一检查用凹部和距第一检查用凹部以第一间距设置的第二检查用凹部。第二***IC具有供器件90(电子部件)载置的第一检查用凹部和距第一检查用凹部以与第一间距不同的第二间距设置的第二检查用凹部。第一输送部件具有供IC器件90(电子部件)载置的第一输送用凹部和距第一输送用凹部以第一间距设置的第二输送用凹部。第二输送部件具有供IC器件90(电子部件)载置的第一输送用凹部和距第一输送用凹部以第二间距设置的第二输送用凹部。把持输送部能够设置第一把持部以及第二把持部，在设置了第一***以及第一输送部件的情况下，能够将第一把持部与第二把持部的间距设定为第一间距，在设置了第二***以及第二输送部件的情况下，能够将第一把持部与第二把持部的间距设定为第二间距。

通过这样的结构，可获得具有前述电子部件输送装置10的优点的电子部件检查装置1。另外，能够利用第一***、第二***进行对IC器件90的检查。

以下，详细地说明各部的结构。

如图1、图2所示，具有电子部件输送装置10的电子部件检查装置1是输送例如作为BGA(Ball Grid Array：球栅阵列)封装的IC器件等电子部件、并在其输送过程中对电子部件的电特性进行检查·试验(以下简称为“检查”)的装置。此外，以下，为了便于说明，以作为上述电子部件使用IC器件的情况为代表进行说明，将其称为“IC器件90”。IC器件90在本实施方式中形成平板状。另外，IC器件90在其下表面具有俯视时配置成矩阵状的多个端子902。各端子902例如形成半球状。

此外，作为IC器件90，除了上述之外，例如可列举“LSI(Large ScaleIntegration：大规模集成电路)”、“CMOS(Complementary MOS：互补金属氧化物半导体)”、“CCD(Charge Coupled Device：电荷耦合器件)”、将IC器件封装成多个模块而得的“模块IC”、还有“石英器件”、“压力传感器”、“惯性传感器(加速度传感器)”、“陀螺仪传感器”、“指纹传感器”等。

电子部件检查装置1(电子部件输送装置10)具备盘供给区域A1、器件供给区域A2、检查区域A3、器件回收区域A4以及盘去除区域A5，这些区域如后述那样被各壁部划分。并且，IC器件90在箭头α90方向上依次经由从盘供给区域A1到盘去除区域A5为止的上述各区域，并在中途的检查区域A3被进行检查。这样电子部件检查装置1具备：电子部件输送装置10，具有以经由各区域的方式输送IC器件90的输送部25；在检查区域A3内进行检查的***16(第一***、第二***)；以及控制部800。另外，除此之外，电子部件检查装置1还具备监视器300、信号灯400以及操作面板700。

另外，电子部件检查装置1预先搭载有针对每种IC器件90的种类进行更换的被称为“更换套件(change kit)”的部件来使用。该更换套件中有供IC器件90(电子部件)载置的载置部(电子部件载置部)。在本实施方式的电子部件检查装置1中，该载置部设置于多个位置，例如有后述的温度调整部12、器件供给部14以及器件回收部18。另外，在供IC器件90(电子部件)载置的载置部(电子部件载置部)中，区别于上述那样的更换套件地还具有用户所准备的盘200和回收用盘19，此外，还有***16。

盘供给区域A1是供给排列有未检查状态的多个IC器件90的盘200的供料部。盘供给区域A1也能够称作能够层叠地搭载多个盘200的搭载区域。此外，在本实施方式中，在各盘200中以矩阵状配置有多个凹部(凹槽)。在各凹部中能够逐个地收纳、载置IC器件90。

器件供给区域A2是将从盘供给区域A1输送来的盘200上的多个IC器件90分别输送、供给到检查区域A3的区域。此外，以跨越盘供给区域A1和器件供给区域A2的方式设有沿水平方向逐张地输送盘200的盘输送机构11A、11B。盘输送机构11A是输送部25的一部分，能够将盘200并连同载置于该盘200的IC器件90向Y方向的正侧、即图2中的箭头α11A方向移动。由此，能够稳定地将IC器件90送入器件供给区域A2。另外，盘输送机构11B是能够使空的盘200向Y方向的负侧、即图2中的箭头α11B方向移动的移动部。由此，能够使空的盘200从器件供给区域A2移动到盘供给区域A1。

器件供给区域A2中设有温度调整部(均温板(soak plate))12、器件输送头13以及盘输送机构15。另外，还设有以跨越器件供给区域A2和检查区域A3的方式移动的器件供给部14。

温度调整部12是供多个IC器件90载置的载置部，被称为能够将该载置的IC器件90统一加热或冷却的“均温板”。利用该均温板，能够将在***16进行检查之前的IC器件90预先加热或冷却而调整至适合该检查(高温检查或低温检查)的温度。

作为这样的载置部的温度调整部12被固定。由此，能够稳定地对该温度调整部12上的IC器件90进行温度调整。

另外，温度调整部12被接地(ground)。

在图2所示的结构中，温度调整部12在Y方向上配置、固定有两个。并且，被盘输送机构11A从盘供给区域A1送入的盘200上的IC器件90被输送至任一个温度调整部12。

器件输送头13将IC器件90把持而进行输送，被支承为能够在器件供给区域A2内沿X方向及Y方向移动，而且被支承为也能够在Z方向上移动。该器件输送头13也是输送部25的一部分，能够负责从盘供给区域A1送入的盘200与温度调整部12之间的IC器件90的输送、以及温度调整部12与后述的器件供给部14之间的IC器件90的输送。此外，在图2中，用箭头α13X示出了器件输送头13在X方向上的移动，用箭头α13Y示出了器件输送头13在Y方向上的移动。

器件供给部14是供通过温度调整部12进行了温度调整的IC器件90载置的载置部，被称为能够将该IC器件90输送到***16附近的“供给用梭板”或简称为“供给梭”。该器件供给部14也可成为输送部25的一部分。该器件供给部14具有收纳、载置IC器件90的凹部141(例如参照图10)。

另外，作为载置部的器件供给部14被支承为能够在器件供给区域A2与检查区域A3之间沿X方向、即箭头α14方向往复移动(移动)。由此，器件供给部14能够将IC器件90从器件供给区域A2稳定地输送到检查区域A3的***16附近，另外，当在检查区域A3中通过器件输送头17(手部单元9)取下了IC器件90之后，能够再次返回器件供给区域A2。

在图2所示的结构中，器件供给部14在Y方向上配置有两个，有时将Y方向负侧的器件供给部14称作“器件供给部14A”，将Y方向正侧的器件供给部14称作“器件供给部14B”。并且，温度调整部12上的IC器件90在器件供给区域A2内被输送至器件供给部14A或器件供给部14B。另外，与温度调整部12同样地，器件供给部14构成为能够对载置于该器件供给部14的IC器件90进行加热或冷却。由此，对于在温度调整部12进行了温度调整的IC器件90，能够维持其温度调整状态地输送到检查区域A3的***16附近。另外，器件供给部14也与温度调整部12同样地被接地。

盘输送机构15是在器件供给区域A2内将去除了全部IC器件90的状态的空的盘200向X方向的正侧、即箭头α15方向输送的机构。另外，在该输送后，空的盘200通过盘输送机构11B从器件供给区域A2返回到盘供给区域A1。

检查区域A3是检查IC器件90的区域。该检查区域A3中设有对IC器件90进行检查的***16以及器件输送头17。

器件输送头17是输送部25的一部分，且与温度调整部12同样地，构成为能够对所把持的IC器件90进行加热或冷却。如后所述，该器件输送头17具有把持IC器件90(电子部件)的手部单元9(把持部)。由此，能够把持被维持了上述温度调整状态的IC器件90并维持上述温度调整状态地在检查区域A3内输送IC器件90。

这样的器件输送头17被支承为能够在检查区域A3内沿Y方向及Z方向往复移动，并成为被称作“引导臂(index arm)”的机构的一部分。由此，器件输送头17能够从自器件供给区域A2送入的器件供给部14中拾起IC器件90并将其输送、载置于***16上。

此外，在图2中，用箭头α17Y示出了器件输送头17在Y方向上的往复移动。另外，器件输送头17被支承为能够在Y方向上往复移动，但并不局限于此，也可以被支承为也能够在X方向往复移动。另外，在图2所示的结构中，器件输送头17在Y方向上配置有两个，有时将Y方向负侧的器件输送头17称作“器件输送头17A”，将Y方向正侧的器件输送头17称作“器件输送头17B”。器件输送头17A能够在检查区域A3内负责IC器件90的从器件供给部14A向***16的输送，器件输送头17B能够在检查区域A3内负责IC器件90的从器件供给部14B向***16的输送。

***16(插座)是载置作为电子部件的IC器件90并检查该IC器件90的电特性的载置部(电子部件载置部)。该***16具有收纳、载置IC器件90的凹部161，在该凹部161的底部设有多个探针(未图示)。并且，IC器件90的端子902与探针以能够导电的方式连接，即能够通过接触来进行IC器件90的检查。IC器件90的检查基于存储于与***16连接的试验仪所具备的检查控制部中的程序来进行。

与温度调整部12同样地，这样的***16能够将IC器件90进行加热或冷却，从而将该IC器件90调整成适合检查的温度。

如上所述，***16按照每种IC器件90的种类而更换。例如，在本实施方式中，作为***16，有图4所示的***16α、图6所示的***16β以及图8所示的***16γ。

如图4所示，***16α具有四个凹部161。这四个凹部161配置成X方向上两个、Y方向上两个的矩阵状(matrix)。在该***16α中，在X方向上配置的两个凹部161彼此以间距X16α分开。另外，在Y方向上配置的两个凹部161彼此以间距Y16α分开。

如图6所示，***16β具有四个凹部161。这四个凹部161配置成X方向上两个、Y方向上两个的矩阵状(matrix)。在该***16β中，在X方向上配置的两个凹部161彼此以间距X16β分开。另外，在Y方向上配置的两个凹部161彼此以间距Y16β分开。

图8所示，***16γ具有四个凹部161。这四个凹部161配置成X方向上两个、Y方向上两个的矩阵状(matrix)。在该***16γ中，在X方向上配置的两个凹部161彼此以间距X16γ分开。另外，在Y方向上配置的两个凹部161彼此以间距Y16γ分开。

在本实施方式中，间距X16α、间距X16β以及间距X16γ的大小相同。

另外，间距Y16α、间距Y16β以及间距Y16γ的大小不同。在本实施方式中，设为“间距Y16α＜间距Y16β＜间距Y16γ”。

此外，“间距”优选的是设为凹部161彼此的中心间距离，但并不局限于此，例如也能够提取具有共同特征的特征点(例如，切口部)来设为该特征点之间的距离(关于之后的“间距”也是相同的)。

在检查区域A3中，能够更换地配置这些***16。并且，能够将先配置的***16称作“第一***”，将在***16之后配置的***16称作“第二***”。另外，也能够将第一***的凹部161称作“第一检查用凹部”，将第二***的凹部161称作“第二检查用凹部”。另外，能够将在Y方向(第一方向)上分开地排列的第一检查用凹部彼此的间距称作“第一间距”，将在Y方向(第一方向)分开地排列的第二检查用凹部彼此的间距称作“第二间距”。

例如，配置与某一IC器件的检查对应的***16α来进行试验，之后，为了检查另一IC器件，能够更换成***16β来进行试验。在该情况下，***16α成为第一***，***16β成为第二***。

另外，配置与某一IC器件的检查对应的***16α来进行试验，之后，为了检查另一IC器件，能够更换成***16γ来进行试验。在该该情况下，***16α成为第一***，***16γ成为第二***。

另外，配置与某一IC器件的检查对应的***16β来进行试验，之后，为了检查另一IC器件，能够更换成***16α来进行试验。在该该情况下，***16β成为第一***，***16α成为第二***。

另外，配置与某一IC器件的检查对应的***16β来进行试验，之后，为了检查另一IC器件，能够更换成***16γ来进行试验。在该该情况下，***16β成为第一***，***16γ成为第二***。

另外，配置与某一IC器件的检查对应的***16γ来进行试验，之后，为了检查另一IC器件，能够更换成***16α来进行试验。在该情况下，***16γ成为第一***，***16α成为第二***。

另外，配置与某一IC器件的检查对应的***16γ来进行试验，之后，为了检查另一IC器件，能够更换成***16β来进行试验。在该情况下，***16γ成为第一***，***16β成为第二***。

器件回收区域A4是将在检查区域A3中进行检查、且该检查结束了的多个IC器件90回收的区域。该器件回收区域A4中设有回收用盘19、器件输送头20以及盘输送机构21。另外，也设有以跨越检查区域A3与器件回收区域A4的方式移动的器件回收部18。另外，器件回收区域A4中也准备有空的盘200。

器件回收部18是供由***16结束了检查的IC器件90载置、并能够将该IC器件90输送至器件回收区域A4的载置部，被称作“回收用梭板”或简称为“回收梭”。该器件回收部18也可成为输送部25的一部分。

另外，器件回收部18被支承为能够在检查区域A3与器件回收区域A4之间沿X方向、即箭头α18方向往复移动。另外，在图2所示的结构中，与器件供给部14同样地，器件回收部18在Y方向上配置有两个，有时将Y方向负侧的器件回收部18称作“器件回收部18A”，将Y方向正侧的器件回收部18称作“器件回收部18B”。并且，***16上的IC器件90被输送、载置于器件回收部18A或器件回收部18B上。此外，IC器件90的从***16向器件回收部18A的输送由器件输送头17A负责，从***16向器件回收部18B的输送由器件输送头17B负责。另外，器件回收部18也与温度调整部12、器件供给部14同样地被接地。

另外，与***16同样地，器件供给部14、器件回收部18也按照每个IC器件90的种类被更换。器件供给部14和器件回收部18除了配置位置不同以外，关于供IC器件90载置的凹部为相同的配置方式，因此代表性地对器件供给部14(器件供给部14A)进行说明。

在本实施方式中，作为器件供给部14A，有图10～图14所示的器件供给部14α、图15～图19所示的器件供给部14β以及图20～图24所示的器件供给部14γ。

器件供给部14α具有四个凹部141。这四个凹部141配置成X方向上两个、Y方向上两个的矩阵状(matrix)。在该器件供给部14α中，在X方向上配置的两个凹部161彼此以与间距X16α相同的间距分开。另外，如图10(关于图11～图14也是相同的)所示，在Y方向上配置的两个凹部161彼此以与间距Y16α相同的间距Y14α分开。并且，在***16α配置于检查区域A3的状态时，器件供给部14α将IC器件90输送至检查区域A3。

器件供给部14β具有四个凹部141。这四个凹部141配置成X方向上两个、Y方向上两个的矩阵状(matrix)。在该器件供给部14β中，在X方向上配置的两个凹部161彼此以与间距X16β相同的间距分开。另外，如图15(关于图16～图19也是相同的)所示，在Y方向上配置的两个凹部161彼此以与间距Y16β相同的间距Y14β分开。并且，在***16β配置于检查区域A3的状态时，器件供给部14β将IC器件90输送至检查区域A3。

器件供给部14γ具有四个凹部141。这四个凹部141配置成X方向上两个、Y方向上两个的矩阵状(matrix)。在该器件供给部14γ中，在X方向上配置的两个凹部161彼此以与间距X16γ相同的间距分开。另外，如图20(关于图21～图24也是相同的)所示，在Y方向上配置的两个凹部161彼此以与间距Y16γ相同的间距Y14γ分开。并且，在***16γ配置于检查区域A3的状态时，器件供给部14γ将IC器件90输送至检查区域A3。

能够对应于***16α、***16β、***16γ中的任一个为“第一***”或“第二***”的情况而将这样的器件供给部14α、器件供给部14β、器件供给部14γ称作“第一输送部件”、“第二输送部件”。“第一输送部件”指的是，在第一***配置于检查区域A3的第一***配置状态时，将IC器件90(电子部件)输送至检查区域A3的器件供给部14。“第二输送部件”指的是，在第二***配置于检查区域A3的第二***配置状态时，将IC器件90(电子部件)输送至检查区域A3的器件供给部14。另外，将第一输送部件的凹部141称作“第一输送用凹部”，将第二输送部件的凹部141称作“第二输送用凹部”。

例如，在***16α为第一***的情况下，器件供给部14α成为第一输送部件。在该器件供给部14α中，在Y方向(第一方向)上分开地排列的第一输送用凹部彼此的间距Y14α成为“第一间距”。

另外，在***16α为第二***的情况下，器件供给部14α成为第二输送部件。在该器件供给部14α中，在Y方向(第一方向)上分开地排列的第二输送用凹部彼此的间距Y14α成为“第二间距”。

另外，在***16β为第一***的情况下，器件供给部14β成为第一输送部件。在该器件供给部14β中，在Y方向(第一方向)上分开地排列的第一输送用凹部彼此的间距Y14β成为“第一间距”。

另外，在***16β为第二***的情况下，器件供给部14β成为第二输送部件。在该器件供给部14β中，在Y方向(第一方向)上分开地排列的第二输送用凹部彼此的间距Y14β成为“第二间距”。

另外，在***16γ为第一***的情况下，器件供给部14γ成为第一输送部件。在该器件供给部14γ中，在Y方向(第一方向)上分开地排列的第一输送用凹部彼此的间距Y14γ成为“第一间距”。

另外，在***16γ为第二***的情况下，器件供给部14γ成为第二输送部件。在该器件供给部14γ中，在Y方向(第一方向)上分开地排列的第二输送用凹部彼此的间距Y14γ成为“第二间距”。

回收用盘19是供在***16检查后的IC器件90载置的载置部，并被固定为不会在器件回收区域A4内移动。由此，即使是配置了相对较多的器件输送头20等各种可动部的器件回收区域A4，也能够在回收用盘19上稳定地载置检查完毕的IC器件90。此外，在图2所示的结构中，回收用盘19沿X方向配置有3个。

另外，沿X方向还配置有3个空的盘200。该空的盘200也成为供在***16检查后的IC器件90载置的载置部。并且，移动到器件回收区域A4的器件回收部18上的IC器件90被输送、载置于回收用盘19以及空的盘200中的任一方。由此，IC器件90按照每个检查结果被分类并被回收。

器件输送头20被支承为能够在器件回收区域A4内沿X方向及Y方向移动，而且具有也能够在Z方向上移动的部分。该器件输送头20是输送部25的一部分，能够将IC器件90从器件回收部18输送到回收用盘19、空的盘200。此外，在图2中，用箭头α20X示出了器件输送头20在X方向上的移动，用箭头α20Y示出了器件输送头20在Y方向上的移动。

盘输送机构21是在器件回收区域A4内将从盘去除区域A5送入的空的盘200向X方向、即箭头α21方向输送的机构。并且，在该输送后，空的盘200可被配置于供IC器件90回收的位置，即可成为上述3个空的盘200中的任一个。

盘去除区域A5是供排列有检查完毕状态的多个IC器件90的盘200回收、去除的除材部。在盘去除区域A5中，能够层叠多个盘200。

另外，以跨越器件回收区域A4与盘去除区域A5的方式设有将盘200逐张地沿Y方向输送的盘输送机构22A、盘输送机构22B。盘输送机构22A是输送部25的一部分，并且是能够使盘200向Y方向、即箭头α22A方向往复移动的移动部。由此，能够将检查完毕的IC器件90从器件回收区域A4输送到盘去除区域A5。另外，盘输送机构22B能够使用于回收IC器件90的空的盘200向Y方向的正侧、即箭头α22B方向移动。由此，能够使空的盘200从盘去除区域A5移动到器件回收区域A4。

控制部800具有至少一个处理器，该处理器进行各种判断、各种命令等。控制部800(处理器)例如能够控制盘输送机构11A、盘输送机构11B、温度调整部12、器件输送头13、器件供给部14、盘输送机构15、***16、器件输送头17、器件回收部18、器件输送头20、盘输送机构21、盘输送机构22A以及盘输送机构22B的工作。

操作员能够经由监视器300设定、确认电子部件检查装置1的动作条件等。该监视器300具有例如由液晶画面构成的显示画面301，配置于电子部件检查装置1的正面侧上部。如图1所示，在盘去除区域A5的图中的右侧设有载置鼠标的鼠标台600。该鼠标在操作显示于监视器300的画面时被使用。

另外，相对于监视器300而在图1的右下方配置有操作面板700。与监视器300不同，操作面板700用于命令电子部件检查装置1执行期望的动作。

另外，信号灯400能够通过发光颜色的组合来通知电子部件检查装置1的工作状态等。信号灯400配置于电子部件检查装置1的上部。此外，电子部件检查装置1也能够内置有扬声器500，通过该扬声器500来通知电子部件检查装置1的工作状态等。

在电子部件检查装置1中，在盘供给区域A1与器件供给区域A2之间由第一隔壁231进行划分，在器件供给区域A2与检查区域A3之间由第二隔壁232进行划分，在检查区域A3与器件回收区域A4之间由第三隔壁233进行划分，在器件回收区域A4与盘去除区域A5之间由第四隔壁234进行划分。另外，在器件供给区域A2与器件回收区域A4之间也由第五隔壁235进行划分。

电子部件检查装置1的最外面被盖覆盖，该盖包括例如前盖241、侧盖242、侧盖243、后盖244、顶盖245。

接下来，对器件输送头17的详细结构进行说明。如上所述，关于器件输送头17，具有器件输送头17A与器件输送头17B。器件输送头17A与器件输送头17B除了配置位置不同以外为相同的结构，因此，以下代表性地说明器件输送头17A。

器件输送头17A是在检查区域A3内从第一输送部件(器件供给部14)向第一***(***16)、或从第二输送部件(器件供给部14)向第二***(***16)输送IC器件90(电子部件)的把持输送部。

如图5、图7、图9所示，器件输送头17具有四个手部单元9和连结四个手部单元的连结部171。这些手部单元9配置成X方向上两个、Y方向上两个的矩阵状(matrix)。以下，有时将配置于Y方向负侧的手部单元9称作“第一手部单元9A”，将配置于Y方向正侧的手部单元9称作“第二手部单元9B”。因此，第二手部单元9B是相对于第一手部单元9A在Y方向(第一方向)正侧排列地配置的手部单元9。

此外，关于手部单元9的配置数量以及配置方式(在X方向上配置有几个且在Y方向上配置有几个)，并不限定于图5、图7、图9所示的方式。

如图3所示，手部单元9具有基部94、支承于基部94并能够相对于基部94在X方向上往复移动的第一移动部95、支承于第一移动部95并能够相对于第一移动部95在Y方向上往复移动的第二移动部96、支承于第二移动部96并能够相对于第二移动部96绕Z轴转动(旋转)的转动部(旋转部)97、设于转动部97的轴99、固定于轴99的把持部98、使第一移动部95相对于基部94移动的第一压电致动器911、使第二移动部96相对于第一移动部95移动的第二压电致动器912以及使转动部97相对于第二移动部96转动的第三压电致动器(转动部用压电致动器)913。

基部94具有呈在Z方向上具有厚度的板状的板状部941、设于板状部941的下表面并用于将第一移动部95向X方向引导的卡合部942以及卡合部943。卡合部942以及卡合部943分别沿X方向延伸，并且在Y方向上彼此分开。卡合部942以及卡合部943的结构不被特别限定，在但在本实施方式中分别具有在后述的导轨952及导轨953的长边方向上开放的槽。换言之，卡合部942以及卡合部943由具有向图3中的下方开放的纵长的槽的纵长部构成。

另外，基部94具有从板状部941朝向Z方向负侧延伸、并与第一压电致动器911抵接的抵接部947。抵接部947延伸至第二移动部96，与第一移动部95及第二移动部96在Y方向上并排地设置。另外，抵接部947的下表面947a沿X方向延伸，第一压电致动器911的凸部911a(上端部)抵接于该下表面947a。优选的是对下表面947a的表面实施用于提高与凸部911a之间的摩擦阻力的处理，或形成高摩擦层。

第一移动部95具有基部951、设于基部951并与基部94的卡合部942卡合的导轨952、以及设于基部951并与基部94的卡合部943卡合的导轨953。由此，第一移动部95的向X方向以外的移动被限制，第一移动部95顺畅且可靠地沿X方向移动。

另外，第一移动部95具有从基部951朝向Z方向负侧延伸、并固定有第一压电致动器911的第一固定部954。第一固定部954呈在XZ平面上具有宽度、并在Y方向上具有厚度的板状，与第二移动部96(基部961)在Y方向上并排地设置。并且，在第一固定部954的表面固定有第一压电致动器911。

第一压电致动器911呈板状，并以将Y方向作为厚度的方式固定于第一固定部954。通过这样配置第一压电致动器911，能够抑制第一压电致动器911向外侧的过度的突出，能够实现手部单元9的小型化。

另外，第一移动部95具有从基部951朝向Z方向负侧延伸、并固定有第二压电致动器912的第二固定部(未图示)。该第二固定部呈在YZ平面上具有宽度、并在X方向上具有厚度的板状，与第二移动部96(基部961)在X方向上并排地设置。并且，在第二固定部的背面固定有第二压电致动器912。

第二压电致动器912呈板状，并以将X方向作为厚度的方式固定于上述第二固定部。通过这样配置第二压电致动器912，能够抑制第二压电致动器912向外侧的突出，能够实现手部单元9的小型化。另外，第二压电致动器912的上端部从下侧抵接于第二移动部96。

另外，第一移动部95具有用于向Y方向引导第二移动部96的卡合部(引导部)956。卡合部956沿Y方向延伸。卡合部956的结构虽然不被特别限定，但在本实施方式中，具有在后述的导轨963的长边方向上开放的槽。换言之，卡合部956由具有向图3中的下方开放的纵长的槽的纵长部构成。

第二移动部96具有柱状的基部961和设于基部961并卡合于第一移动部95的卡合部956的导轨963。由此，第二移动部96的向Y方向以外的移动被限制，第二移动部96顺畅并且可靠地沿Y方向移动。

另外，在第二移动部96的基部961形成有比其他的部分凹陷的面961a，在该面961a固定有用于使转动部97转动的第三压电致动器913。面961a由YZ平面构成，板状的第三压电致动器913以将X方向作为厚度的方式固定于面961a。通过这样配置第三压电致动器913，能够抑制第三压电致动器913向外侧的过度的突出，因此能够实现手部单元9的小型化。

在手部单元9中，利用以上那种结构的第一移动部95与第二移动部96构成了位置调整机构92。位置调整机构92使被把持部98保持的IC器件90(电子部件)沿与Z方向(铅垂方向)正交的方向、即X方向与Y方向移动。向X方向的移动由第一移动部95负责，向Y方向的移动由第二移动部96负责。由此，即使在被支承为能够沿Y方向以及Z方向往复移动的器件输送头17之中，也能够分别独立地微调IC器件90在X方向、Y方向上的位置。

转动部97位于第二移动部96的下方(Z方向负侧)。转动部97具有固定于第二移动部96的基部961的下端的管状的支承部971。在该支承部971的内侧配置有例如与支承部971同轴地设置并插通有轴99的转动体(未图示)、将转动体支承为能够相对于支承部971转动的轴承(未图示)等。

另外，在上述转动体中的从其转动轴偏心的位置，抵接有第三压电致动器913的凸部913a。并且，通过第三压电致动器913的驱动，使得上述转动体相对于支承部971(第二移动部96)转动。

在手部单元9中，利用以上那样的结构的转动部97，构成了姿势调整机构93。姿势调整机构93使被把持部98保持的IC器件90(电子部件)绕Z轴(铅垂轴)转动。由此，即使在被支承为能够沿Y方向以及Z方向往复移动的器件输送头17之中，也能够独立地微调IC器件90的姿势、即绕Z轴的朝向。

这样，手部单元9(把持部)具有调整IC器件90(电子部件)的位置的位置调整机构92和调整IC器件90(电子部件)的姿势的姿势调整机构93。由此，如后述那样将IC器件90载置于***16时，能够根据需要适当地微调IC器件90的位置与姿势这两方，由此，能够准确地进行该载置。

轴99延伸至基部94的板状部941。在基部94中内置有仿形机构(柔性机构)948。轴99连结于仿形机构948。由此，轴99的姿势能够根据轴99所承受的外力而改变。

在轴99的下端配置有保持IC器件90的把持部98。该把持部98经由轴99被转动部97支承，并能够与上述转动体一体地相对于第二移动部96转动。

在第一手部单元9A中，把持部98成为把持IC器件90(电子部件)的第一把持部。另外，在第二手部单元9B中，把持部98成为把持IC器件90(电子部件)的第二把持部。

把持部98具有与IC器件90对置的吸附面981、在吸附面981开放的吸附孔982以及将吸附孔982内减压的减压泵983。若在以封堵吸附孔982的方式使吸附面981接触IC器件90的状态下，利用减压泵983将吸附孔982内减压，则能够将IC器件90吸附而把持于吸附面981。相反，只要停止减压泵983而使吸附孔982内释放，就能够放开IC器件90。

作为第一压电致动器911、第二压电致动器912、第三压电致动器913，例如能够使用具有长方形的压电元件的结构。压电元件通过施加交流电压而沿其长边方向伸缩。并且，利用该伸缩动作，能够使第一移动部95相对于基部94移动、使第二移动部96相对于第一移动部95移动、或使转动部97相对于第二移动部96转动。此外，作为压电元件的构成材料，不被特别限定，能够使用锆钛酸铅(PZT)、石英、铌酸锂、钛酸钡、钛酸铅、偏铌酸铅、聚乙二烯、锌铌酸铅、钪铌酸铅等各种材料。

如上所述，***16根据IC器件90的种类而被更换为间距Y16α、间距Y16β或间距Y16γ的部分。另外，器件供给部14(关于器件回收部18也是同样的)也根据IC器件90的种类而被更换为间距Y14α、间距Y14β或间距Y14γ的部分。并且，在器件输送头17中，伴随着该更换，能够将第一手部单元9A的把持部98与第二手部单元9B的把持部98的Y方向的间距改变为间距Y9α、间距Y9β、间距Y9γ中的任一方。以下，将这样的改变称作“Y方向间距转换(以下简称为“间距转换”)”。

此外，在图10～图14中，“间距Y16α＝间距Y14α＝间距Y9α”。在图15～图19中，“间距Y16β＝间距Y14β＝间距Y9β”。在图20～图24中，“间距Y16γ＝间距Y14γ＝间距Y9γ”。

器件输送头17具有进行间距转换的间距转换机构部(一方向移动机构部)91A。间距转换机构部91A由第一手部单元9A的第二移动部96以及第二压电致动器912、第二手部单元9B的第二移动部96以及第二压电致动器912构成。由此，能够使第一手部单元9A的把持部98(第一把持部)与第二手部单元9B的把持部98(第二把持部)在Y方向(第一方向)上相对移动、即以两方的把持部98之间的中央部为中心彼此靠近或分开。

并且，在第一***配置于检查区域A3的第一***配置状态时，能够将第一手部单元9A的把持部98与第二手部单元9B的把持部98在Y方向(第一方向)上的间距(间距Y9α、间距Y9β、间距Y9γ)称作“第一间距”。

另外，在第二***配置于检查区域A3的第二***配置状态时，能够将第一手部单元9A的把持部98与第二手部单元9B的把持部98在Y方向(第一方向)上的间距(间距Y9α、间距Y9β、间距Y9γ)称作“第二间距”。

如图25所示，在将第一手部单元9A的把持部98与第二手部单元9B的把持部98能够在Y方向上最大程度分开的间距设为最大间距Y9max的情况下(换句话说，将(1)第一手部单元9A的把持部98与第二手部单元9B的把持部98能够在Y方向上最大程度靠近的间距(或能够最小程度分开的间距)、(2)从第一手部单元9A的把持部98所能够移动的一端至该把持部98所能够移动的另一端的距离(全行程)、以及(3)从第二手部单元9B的把持部98所能够移动的一端至该把持部98所能够移动的另一端的距离(全行程)这三者之和)，能够将最大间距Y9max中的一部分使用于间距Y9α、间距Y9β、间距Y9γ，将其余使用于把持部98的微调ΔY9。

另外，如果从另一观点来表现，能够将从第一手部单元9A、9B的把持部98的预定位置(例如***16、输送部25等的凹部中心的位置)至该把持部98所能够移动的一端的距离中的一部分用于间距Y9α、间距Y9β、间距Y9γ，将其余用于把持部98的微调ΔY9。例如，在能够从预定位置至端部移动±3mm的情况下(全行程6mm)，能够将3mm中的一部分用于间距Y9α、间距Y9β、间距Y9γ，将其余用于把持部98的微调ΔY9。

另外，如上所述，构成间距转换机构部(一方向移动机构部)91A的第二压电致动器912具有通过施加电压而伸缩的压电元件。利用该压电元件的伸缩动作，能够使第二移动部96在Y方向上容易地移动，由此，能够顺畅并且迅速进行间距转换。

如上所述，器件输送头17A(把持输送部)在与Y方向(第一方向)交叉的X方向(第二方向)上具有两个(多个)第一手部单元9A的把持部98(第一把持部)和两个(多个)第二手部单元9B的把持部98(第二把持部)。

另外，器件输送头17A能够将在X方向上相邻的第一手部单元9A的把持部98彼此在X方向上的间距改变为间距X9α、间距X9β、间距X9γ中的任一方(对于第二手部单元9B也是同样的)。以下，将这样的改变称作“X方向间距转换”。

并且，器件输送头17A(把持输送部)具有能够在与Y方向(第一方向)交叉的X方向(第二方向)上将两个(多个)第一手部单元9A的把持部98(第一把持部)和两个(多个)第二手部单元9B的把持部98(第二把持部)分别相对移动的、即能够进行X方向间距转换的间距转换机构部(第二方向移动机构部)91B。该间距转换机构部91B由第一手部单元9A的第一移动部95以及第一压电致动器911、第二手部单元9B的第一移动部95以及第一压电致动器911构成。

利用这种结构的间距转换机构部91B，即使根据IC器件90的种类将***16更换为彼此大小不同的间距X16α、间距X16β、间距X16γ的***，也能够改变为间距X9α、间距X9β、间距X9γ。此外，“间距X16α＝间距X9α”。“间距X16β＝间距X9β”。“间距X16γ＝间距X9γ”。

电子部件检查装置1(电子部件输送装置10)具备输入关于“第一间距”及“第二间距”的距离信息(信息)的输入部。在本实施方式中，例如监视器300具有作为该输入部的功能。在监视器300上显示输入距离信息的画面。然后，例如能够使用鼠标，进行在该画面上输入距离信息的操作。由此，能够适当地更改距离信息。

另外，间距转换机构部(一方向移动机构部)91A基于距离信息(信息)，能够使第一手部单元9A的把持部98(第一把持部)与第二手部单元9B的把持部98(第二把持部)在Y方向(第一方向)上相对移动，即能够进行间距转换。由此，自动地进行间距转换。

接下来，基于图26的流程图，说明从输入距离信息开始到自动地进行间距转换为止的控制程序。

一旦经由监视器300判断为已输入距离信息(步骤S101)，则使第一手部单元9A以及第二手部单元9B分别向原点移动(步骤S102)。接着，使间距转换机构部91A工作，以距离信息的数值大小进行Y方向上的间距转换(步骤S103)。

另外，作为第一手部单元9A的原点，例如能够采用第一手部单元9A抵接于成为第一手部单元9A的移动极限的限位器的位置。同样地，作为第二手部单元9B的原点，例如也能够采用第二手部单元9B抵接于成为第二手部单元9B的移动极限的限位器的位置。

另外，在步骤S102中，在向原点的移动不充分的情况下，也可以重复多次向原点移动的动作，直至该移动变得充分为止。

另外，在步骤S103之后，如果需要，也可以使间距转换机构部91B工作来进行X方向上的间距转换。

接下来，参照图10～图24说明在检查区域A3内，由器件输送头17A将IC器件90从器件供给部14输送至***16而成为能够进行对IC器件90的检查的动作(一个例子)。此外，这里，列举Y方向上的间距转换为例进行说明，但在需要X方向上的间距转换的情况下，能够与Y方向上的间距转换同样地进行该X方向的间距转换。

如图10所示，在电子部件检查装置1(电子部件输送装置10)中设置有作为***16的***16α、作为器件供给部14A的器件供给部14α。***16α的间距Y16α和器件供给部14α的间距Y14α相同。另外，在器件供给部14α的各凹部141中收纳有IC器件90。

器件输送头17A的第一手部单元9A与第二手部单元9B以间距Y9α分开。间距Y9α与间距Y16α、间距Y14α相同。另外，第一手部单元9A位于器件供给部14α的图10中右侧(Y方向负侧)的凹部141的正上方，成为第一手部单元9A的把持部98面向该凹部141的状态。另一方面，第二手部单元9B位于器件供给部14α的图10中左侧(Y方向正侧)的凹部141的正上方，成为第二手部单元9B的把持部98面向该凹部141的状态。

接着，如图11所示，使器件输送头17A下降，直至第一手部单元9A及第二手部单元9B的各把持部98抵接于在器件供给部14A的各凹部141中载置的IC器件90为止。由此，能够使各把持部98把持IC器件90。

接着，如图12所示，使器件输送头17A上升至与图10中的器件输送头17A相同的高度为止。

接着，如图13所示，维持着间距Y9α地使器件输送头17A向Y方向正侧、即***16α侧移动，并在***16α的正上方停止。此时，第一手部单元9A位于***16α的图13中右侧(Y方向负侧)的凹部161的正上方，成为第一手部单元9A的把持部98所把持的IC器件90面向该凹部161的状态。另一方面，第二手部单元9B位于***16α的图13中左侧(Y方向正侧)的凹部161的正上方，成为第二手部单元9B的把持部98所把持的IC器件90面向该凹部161的状态。

接着，如图14所示，使器件输送头17A下降。由此，第一手部单元9A的把持部98所把持的IC器件90与其所对应的凹部161以能够导电的方式连接，由此，能够进行对该IC器件90的检查。同样，第二手部单元9B的把持部98所把持的IC器件90也与其所对应的凹部161以能够导电的方式连接，由此，能够进行对该IC器件90的检查。

然后，在该检查后，如图15所示，更换为***16β、器件供给部14β。***16β的间距Y16β和器件供给部14β的间距Y14β相同。另外，器件供给部14β的各凹部141中收纳有IC器件90。

器件输送头17A的第一手部单元9A与第二手部单元9B以间距Y9β分开。间距Y9β与间距Y16β、间距Y14β相同。另外，第一手部单元9A位于器件供给部14β的图15中右侧(Y方向负侧)的凹部141的正上方，成为第一手部单元9A的把持部98面向该凹部141的状态。另一方面，第二手部单元9B位于器件供给部14β的图15中左侧(Y方向正侧)的凹部141的正上方，成为第二手部单元9B的把持部98面向该凹部141的状态。

接着，如图16所示，使器件输送头17A下降，直至第一手部单元9A及第二手部单元9B的各把持部98抵接于在器件供给部14A的各凹部141中载置的IC器件90为止。由此，能够使各把持部98把持IC器件90。

接着，如图17所示，使器件输送头17A上升至与图15中的器件输送头17A相同的高度为止。

接着，如图18所示，维持着间距Y9β地使器件输送头17A向Y方向正侧、即***16β侧移动，并在***16β的正上方停止。此时，第一手部单元9A位于***16β的图18中右侧(Y方向负侧)的凹部161的正上方，成为第一手部单元9A的把持部98所把持的IC器件90面向该凹部161的状态。另一方面，第二手部单元9B位于***16β的图18中左侧(Y方向正侧)的凹部161的正上方，成为第二手部单元9B的把持部98所把持的IC器件90面向该凹部161的状态。

接着，如图19所示，使器件输送头17A下降。由此，第一手部单元9A的把持部98所把持的IC器件90与其所对应的凹部161以能够导电的方式连接，由此，能够进行对该IC器件90的检查。同样地，第二手部单元9B的把持部98所把持的IC器件90也与其所对应的凹部161以能够导电的方式连接，由此，能够进行对该IC器件90的检查。

然后，在该检查后，如图20所示，更换为***16γ、器件供给部14γ。***16γ的间距Y16γ和器件供给部14γ的间距Y14γ相同。另外，器件供给部14γ的各凹部141中收纳有IC器件90。

器件输送头17A的第一手部单元9A与第二手部单元9B以间距Y9γ分开。间距Y9γ与间距Y16γ、间距Y14γ相同。另外，第一手部单元9A位于器件供给部14γ的图20中右侧(Y方向负侧)的凹部141的正上方，成为第一手部单元9A的把持部98面向该凹部141的状态。另一方面，第二手部单元9B位于器件供给部14γ的图20中左侧(Y方向正侧)的凹部141的正上方，成为第二手部单元9B的把持部98面向该凹部141的状态。

接着，如图21所示，使器件输送头17A下降，直至第一手部单元9A及第二手部单元9B的各把持部98抵接于在器件供给部14A的各凹部141中载置的IC器件90为止。由此，能够使各把持部98把持IC器件90。

接着，如图22所示，使器件输送头17A上升至与图20中的器件输送头17A相同的高度为止。

接着，如图23所示，维持着间距Y9γ地使器件输送头17A向Y方向正侧、即***16γ侧移动，并在***16γ的正上方停止。此时，第一手部单元9A位于***16γ的图23中右侧(Y方向负侧)的凹部161的正上方，成为第一手部单元9A的把持部98所把持的IC器件90面向该凹部161的状态。另一方面，第二手部单元9B位于***16γ的图23中左侧(Y方向正侧)的凹部161的正上方，成为第二手部单元9B的把持部98所把持的IC器件90面向该凹部161的状态。

接着，如图24所示，使器件输送头17A下降。由此，第一手部单元9A的把持部98所把持的IC器件90与其所对应的凹部161以能够导电的方式连接，由此，能够进行对该IC器件90的检查。同样地，第二手部单元9B的把持部98所把持的IC器件90也与其所对应的凹部161以能够导电的方式连接，由此，能够进行对该IC器件90的检查。

如上所述，即使更换了凹部161的间距互不相同的***16α、***16β，***16γ也能够容易地应对该更换来将IC器件90准确地输送至目的***16(***16α、***16β、***16γ)。

此外，在上述说明中，按照***16α、***16β、***16γ的顺序进行了检查，但检查顺序并不限定于此。在该情况下，也能够准确地输送IC器件90。

另外，在本实施方式中，优选的是间距转换机构部(一方向移动机构部)91A能够使第一手部单元9A的把持部98(第一把持部)与第二手部单元9B的把持部98(第二把持部)在Y方向(第一方向)上相对移动至少6mm。

近年来，一般在市场上流通的***16中，具有凹部161在Y方向上的间距为57.15mm的***、间距为60mm的***以及间距为63.5mm的***，以这些种类为主。

因此，只要能够使第一手部单元9A的把持部98(第一把持部)与第二手部单元9B的把持部98(第二把持部)相对移动至少6mm，则无需另外更换器件输送头17，就能够使凹部161的Y方向的间距相对于上述范围的***16无过多或不足地进行间距转换，进而充分应对。

另外，作为间距转换的结构，在本实施方式中，使用压电元件且形成各手部单元9能够独立地移动的结构，但并不限定于此。例如，在不需要微调的情况下，也可以形成例如使用了连杆机构的结构来作为其他的间距转换的结构。不再需要微调的机构，能够减少部件数量。

＜第二实施方式＞

以下，参照图27及图28对本发明的电子部件输送装置及电子部件检查装置的第二实施方式进行说明，但以与上述实施方式的不同点为中心进行说明，对于相同的事项则省略其说明。

本实施方式除了间距转换机构部的各结构不同以外，与上述第一实施方式相同。

如图27及图28所示，在本实施方式中，间距转换机构部91A由线性导向件914与第二压电致动器912构成。

线性导向件914在第一手部单元9A与第二手部单元9B分别进行配置。各线性导向件914具有沿Y方向延伸的导轨914a和在导轨914a的下侧(Z轴方向负侧)滑动的滑动件914b。另外，滑动件914b上支承有第一手部单元9A或第二手部单元9B的把持部98。

第二压电致动器912设于滑动件914b。第二压电致动器912所具有的压电元件的伸缩方向相对于导轨914a倾斜。并且，通过该伸缩，第二压电致动器912例如能够触碰后述的线性导向件915的滑动件915b。由此，第一手部单元9A的把持部98和第二手部单元9B的把持部98能够分别移动，其结果，能够进行这些把持部98彼此在Y方向上的间距转换，即，能够改变成间距Y9α、间距Y9β、间距Y9γ。

间距转换机构部91B由线性导向件915与第一压电致动器911构成。

线性导向件915分别配置于Y方向正侧与Y方向负侧。各线性导向件915具有沿X方向延伸的导轨915a和在导轨915a的下侧滑动的两个滑动件915b。在Y方向正侧，在各滑动件915b经由线性导向件914支承有第一手部单元9A的把持部98。同样，在Y方向负侧，在各滑动件915b经由线性导向件914支承有第二手部单元9B的把持部98。

第一压电致动器911设于滑动件915b。第一压电致动器911所具有的压电元件的伸缩方向相对于导轨915a倾斜。并且，通过该伸缩，第一压电致动器911例如能够触碰连结部171。由此，各第一手部单元9A的把持部98能够分别移动，其结果，能够进行这些把持部98彼此在X方向上的间距转换，即，能够改变为间距X9α、间距X9β、间距X9γ(关于第二手部单元9B的把持部98也是同样的)。

以上那样的结构例如在需要3mm以上的间距转换的情况下是有效结构。另外，也能够充分地进行微调，能够进行高精度的定位。

＜第三实施方式＞

以下，参照图29对本发明的电子部件输送装置及电子部件检查装置的第三实施方式进行说明，但以与上实施方式的不同点为中心进行说明，对于相同的事项则省略其说明。

本实施方式除了间距转换机构部的线性导向件的结构不同以外，与上述第二实施方式相同。此时，与第二实施方式同样地，作为沿X方向驱动的X方向致动器、沿Y方向驱动的Y方向致动器，将第一压电致动器、第二压电致动器设于滑动件。

如图29所示，在本实施方式中，间距转换机构部91A具有线性导向件916。该线性导向件916具有沿Y方向延伸的导轨916a和在导轨914a的下侧(Z轴方向负侧)滑动的两个滑动件916b。并且，在各滑动件916b支承有第一手部单元9A以及第二手部单元9B的各把持部98。由此，能够改变为间距Y9α、间距Y9β、间距Y9γ。

间距转换机构部91B具有线性导向件917。线性导向件917具有沿X方向延伸的2条导轨917a和跨越2条导轨917a地设置的两个滑动件917b。并且，在各滑动件917b上，经由线性导向件916支承有第一手部单元9A或第二手部单元9B的各把持部98。由此，能够改变为间距X9α、间距X9β、间距X9γ。

通过以上那样的结构，例如与第一实施方式、第二实施方式相比，能够相对较大(宽)地确保能够进行间距转换的范围。另外，能够简化间距转换机构部91A以及间距转换机构部91B的结构，由此，能够减少制造成本。另外，能够提高间距转换机构部91A以及间距转换机构部91B的刚性。

以上，针对图示的实施方式说明了本发明的电子部件输送装置及电子部件检查装置，但本发明并不限定于此，构成电子部件输送装置及电子部件检查装置的各部能够替换成可发挥相同功能的任意结构。另外，也可以附加任意的结构物。

另外，也可以取代上述压电致动器而设置马达等。另外，也可以不设置致动器，在使把持输送部的把持部移动之后进行固定等。总之，能够将把持输送部的把持部设定为不同的间距。

另外，本发明的电子部件输送装置以及电子部件检查装置也可以组合上述各实施方式中的任意2个以上的结构(特征)而成。

另外，在电子部件输送装置(电子部件检查装置)不进行高温试验、低温试验的装置的情况下，例如也可以省略第二隔壁、第三隔壁、第五隔壁。

另外，各***以及各输送部件的格点数是4，但格点数也可以是8或16。并且，虽然是2行×2列，但也可以仅设有1列，例如也可以沿Y方向排列一列地设置。此时可以沿1列排列地设有两个，也可以沿1列排列地设有4个。

另外，电子部件输送装置(电子部件检查装置)并不限定于能够设置第一***及第二***这2种的***，也可以是能够设置1种***。此时，也可以是能够设置第一输送部件及第二输送部件这2种的输送部件。

Claims (12)

1.一种电子部件输送装置，其特征在于，设置有对电子部件进行检查的第一***或第二***，所述电子部件输送装置具备：

输送部，设置有供所述电子部件载置的第一输送部件或第二输送部件，并载置所述电子部件而进行移动；以及

把持输送部，将所述电子部件通过保持从所述第一输送部件向所述第一***输送，或者将所述电子部件通过保持从所述第二输送部件向所述第二***输送，

所述第一***具有供所述电子部件载置的第一检查用凹部和距所述第一检查用凹部以第一间距设置的第二检查用凹部，

所述第二***具有供所述电子部件载置的所述第一检查用凹部和距所述第一检查用凹部以与所述第一间距不同的第二间距设置的所述第二检查用凹部，

所述第一输送部件具有供所述电子部件载置的第一输送用凹部和距所述第一输送用凹部以所述第一间距设置的第二输送用凹部，

所述第二输送部件具有供所述电子部件载置的所述第一输送用凹部和距所述第一输送用凹部以所述第二间距设置的所述第二输送用凹部，

所述把持输送部设置有第一把持部和第二把持部，

当设置了所述第一***和所述第一输送部件时，能够将所述第一把持部与所述第二把持部的间距设定为所述第一间距，

当设置了所述第二***和所述第二输送部件时，能够将所述第一把持部与所述第二把持部的间距设定为所述第二间距。

2.一种电子部件输送装置，其特征在于，设置有对电子部件进行检查的第一***或第二***，

所述电子部件输送装置具备把持输送部，所述把持输送部将所述电子部件通过保持向所述第一***输送，或者将所述电子部件通过保持向所述第二***输送，

所述第一***具有供所述电子部件载置的第一检查用凹部和距所述第一检查用凹部以第一间距设置的第二检查用凹部，

所述第二***具有供所述电子部件载置的所述第一检查用凹部和距所述第一检查用凹部以与所述第一间距不同的第二间距设置的所述第二检查用凹部，

所述把持输送部设置有第一把持部和第二把持部，

当设置了所述第一***时，能够将所述第一把持部与所述第二把持部的间距设定为所述第一间距，

当设置了所述第二***时，能够将所述第一把持部与所述第二把持部的间距设定为所述第二间距。

3.一种电子部件输送装置，其特征在于，设置有对电子部件进行检查的***，所述电子部件输送装置具备：

输送部，设置有供所述电子部件载置的第一输送部件或第二输送部件，并载置所述电子部件而进行移动；以及

把持输送部，将所述电子部件通过保持从所述第一输送部件向所述***输送，或者将所述电子部件通过保持从所述第二输送部件向所述***输送，

所述第一输送部件具有供所述电子部件载置的第一输送用凹部和距所述第一输送用凹部以第一间距设置的第二输送用凹部，

所述第二输送部件具有供所述电子部件载置的所述第一输送用凹部和距所述第一输送用凹部以与所述第一间距不同的第二间距设置的所述第二输送用凹部，

所述把持输送部设置有第一把持部和第二把持部，

当设置了所述第一输送部件时，能够将所述第一把持部与所述第二把持部的间距设定为所述第一间距，

当设置了所述第二输送部件时，能够将所述第一把持部与所述第二把持部的间距设定为所述第二间距。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的电子部件输送装置，其特征在于，

所述把持输送部具有一方向移动机构部，所述一方向移动机构部使所述第一把持部和所述第二把持部在第一方向上相对移动。

5.根据权利要求4所述的电子部件输送装置，其特征在于，

所述一方向移动机构部能够使所述第一把持部与所述第二把持部在所述第一方向上相对移动至少6mm。

6.根据权利要求4所述的电子部件输送装置，其特征在于，

所述一方向移动机构部具有通过施加电压而伸缩的压电元件。

7.根据权利要求4所述的电子部件输送装置，其特征在于，

所述电子部件输送装置还具备输入与所述第一间距及所述第二间距有关的信息的输入部。

8.根据权利要求7所述的电子部件输送装置，其特征在于，

所述一方向移动机构部基于所述信息，使所述第一把持部与所述第二把持部在所述第一方向上相对移动。

9.根据权利要求4所述的电子部件输送装置，其特征在于，

所述把持输送部在与所述第一方向交叉的第二方向上具有多个所述第一把持部和多个所述第二把持部，

能够使所述第一把持部和所述第二把持部在所述第二方向上相对移动。

10.一种电子部件检查装置，其特征在于，具备：

第一***或第二***，对电子部件进行检查；

输送部，设置有供电子部件载置的第一输送部件或第二输送部件，并载置所述电子部件而进行移动；以及

把持输送部，将所述电子部件通过保持从所述第一输送部件向所述第一***输送，或者将所述电子部件通过保持从所述第二输送部件向所述第二***输送，

所述第一***具有供所述电子部件载置的第一检查用凹部和距所述第一检查用凹部以第一间距设置的第二检查用凹部，

所述第二***具有供所述电子部件载置的所述第一检查用凹部和距所述第一检查用凹部以与所述第一间距不同的第二间距设置的所述第二检查用凹部，

所述第一输送部件具有供所述电子部件载置的第一输送用凹部和距所述第一输送用凹部以所述第一间距设置的第二输送用凹部，

所述第二输送部件具有供所述电子部件载置的所述第一输送用凹部和距所述第一输送用凹部以所述第二间距设置的所述第二输送用凹部，

所述把持输送部设置有第一把持部和第二把持部，

当设置了所述第一***和所述第一输送部件时，能够将所述第一把持部与所述第二把持部的间距设定为所述第一间距，

当设置了所述第二***和所述第二输送部件时，能够将所述第一把持部与所述第二把持部的间距设定为所述第二间距。

11.一种电子部件检查装置，其特征在于，具备：

第一***或第二***，对电子部件进行检查；以及

把持输送部，将所述电子部件通过保持向所述第一***输送，或者将所述电子部件通过保持向所述第二***输送，

所述第一***具有供所述电子部件载置的第一检查用凹部和距所述第一检查用凹部以第一间距设置的第二检查用凹部，

所述第二***具有供所述电子部件载置的所述第一检查用凹部和距所述第一检查用凹部以与所述第一间距不同的第二间距设置的所述第二检查用凹部，

所述把持输送部设置有第一把持部和第二把持部，

当设置了所述第一***时，能够将所述第一把持部与所述第二把持部的间距设定为所述第一间距，

当设置了所述第二***时，能够将所述第一把持部与所述第二把持部的间距设定为所述第二间距。

12.一种电子部件检查装置，其特征在于，具备：

***，对电子部件进行检查；

输送部，设置有供所述电子部件载置的第一输送部件或第二输送部件，并载置所述电子部件而进行移动；以及

把持输送部，将所述电子部件通过保持从所述第一输送部件向所述***输送，或者将所述电子部件通过保持从所述第二输送部件向所述***输送，

所述第一输送部件具有供所述电子部件载置的第一输送用凹部和距所述第一输送用凹部以第一间距设置的第二输送用凹部，

所述第二输送部件具有供所述电子部件载置的所述第一输送用凹部和距所述第一输送用凹部以与所述第一间距不同的第二间距设置的所述第二输送用凹部，

所述把持输送部设置有第一把持部和第二把持部，

当设置了所述第一输送部件时，能够将所述第一把持部与所述第二把持部的间距设定为所述第一间距，

当设置了所述第二输送部件时，能够将所述第一把持部与所述第二把持部的间距设定为所述第二间距。