CN109277357B - 适用于表面附着物为陶瓷部品的清洗方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开一种适用于表面附着物为陶瓷部品的清洗方法，该方法包括下述步骤：S1、化学清洗：采用氨水双氧水溶液对工件进行浸泡处理，采用的氨水双氧水溶液为体积比为H2O2：H2O：NH4OH＝(2.5‑3.5)：(3.5‑4.5)：(0.5‑1.5)配制而成；S2、纯水漂洗；S3、采用硝氟酸进行中和反应，采用的硝氟酸采用硝酸和氢氟酸配比而成，配比时，各溶液的体积比为HNO3：HF：H2O＝(17～23)：(0.5～1.5)：(17～23)；S4、擦洗；S5、将工件在DI Water中常温浸泡10分钟以上；S6、工件表面pH测试；S7、超声波震荡清洗；S8、工件表面pH测试；S9、CDA吹干；S10、超声波震荡清洗；S11、加热干燥；S12、自然冷却。
Description
技术领域
本发明公开一种陶瓷部品的清洗方法，特别是一种适用于表面附着物为陶瓷部品的清洗方法，属于特种清洗技术领域。
背景技术
AMAT eMax CT＋部品中的Insulator Ring、AMAT DPS 部品中的：Ceramic Lid、Gas Injector、Ion Port以及Screw Cover Ring等，其表面均为陶瓷作为表面附着物，在长时间使用后，工件表面难免会附着些杂质，因此定期清洗就成了此类工件必不可少的工作，此种工件的本体是陶瓷，表面是金属附着物（铝/光刻胶），常规的工件表面清洗手段不能很好的去除工件表面的杂质，清洗效果不好。
发明内容
针对上述提到的现有技术中的附着物为陶瓷部品去除工件表面的杂质效果不好的缺点，本发明提供一种适用于表面附着物为陶瓷部品的清洗方法，其采用化学浸泡加超声波振荡清洗相结合的方式，可简单快捷的去除工件表面的杂质。
本发明解决其技术问题采用的技术方案是：一种适用于表面附着物为陶瓷部品的清洗方法，该方法包括下述步骤：
S1、化学清洗：采用氨水双氧水溶液对工件进行浸泡处理，采用的氨水双氧水溶液为体积比为H2O2：H2O：NH4OH=（2.5-3.5）：（3.5-4.5）：（0.5-1.5）配制而成，采用的水为电阻率大于或等于12MΩ·CM的超纯水，5浸泡温度为45℃±5℃，反应时间为3-5小时，每隔半小时观察一次，直至目测工件表面无残留膜为止；
S2、纯水漂洗：将步骤S1处理后的工件捞出，放入流动的纯水中浸泡冲洗30分钟以上；
S3、采用硝氟酸进行中和反应，采用的硝氟酸采用硝酸和氢氟酸配比而成，配比时，各溶液的体积比为HNO3：HF：H2O=（17~23）：（0.5~1.5）：（17~23）；
S4、擦洗：将工件在DI Water中采用无尘布进行擦洗；
S5、将工件在DI Water中常温浸泡10分钟以上；
S6、工件表面pH测试：对工件表面的残留水进行pH值测试，如果其pH
值满足6-7，则转入下一工序，如果其pH值小于6或大于7，则返回步骤S5，重新浸泡清洗；
S7、超声波震荡清洗：将部品放进带有超音波的DI Water槽中，进行超声波震荡清洗30分钟以上，采用有效功率为1.2Kw的超声波进行超声波震荡清洗，超声波震荡清洗时要向超声波清洗槽中持续通入去离子水，保持水槽中的水从水槽上面不断溢流；
S8、工件表面pH测试：对工件表面的残留水进行pH值测试，如果其pH值满足6-7，则转入下一工序，如果其pH值小于6或大于7，则返回步骤S7，重新浸泡清洗；
S9、CDA吹干：采用经过0.1μm过滤器过滤过的CDA对工件表面吹干；
S10、超声波震荡清洗：在无车车间内进行清洗，将部品放进带有超音波的DIWater槽中，进行超声波震荡清洗5分钟以上，采用有效功率为1.2Kw的超声波进行超声波震荡清洗，超声波震荡清洗时要向超声波清洗槽中持续通入去离子水，保持水槽中的水从水槽上面不断溢流；
S11、加热干燥：采用烘箱对产品进行烘烤加热干燥，干燥温度为150℃±10℃，干燥时间为1H以上；
S12、自然冷却：将加热干燥后的工件自然冷却至室温即可。
本发明解决其技术问题采用的技术方案进一步还包括：
所述的步骤S1中，H2O2：H2O：NH4OH=3：4：1。
所述的步骤S2中，纯水采用电阻率为12MΩ•cm以上的纯水。
所述的步骤S3中，硝氟酸为HNO3：HF：H2O=20：1：20，反应为在常温温度下进行浸泡反应，反应时间为10~30S。
所述的步骤S5中，DI Water电阻率为5MΩ•cm以上，pH值：6-7。
所述的步骤S9中，压缩空气的压力为2kgf/cm2，干燥温度为100±5℃，干燥时间为30分钟以上。
所述的步骤S10中，无尘车间采用1000级无尘车间。
本发明的有益效果是：本发明采用化学浸泡加超声波振荡清洗相结合的方式，可简单快捷的去除工件表面的杂质，而且，对工件损伤较小。
具体实施方式
本实施例为本发明优选实施方式，其他凡其原理和基本结构与本实施例相同或近似的，均在本发明保护范围之内。
本发明主要为一种适用于表面附着物为陶瓷部品的清洗方法，该方法包括下述步骤：
S1、化学清洗：本实施例中，采用氨水双氧水溶液对工件进行浸泡处理，浸泡时，以双氧水溶液没过工件为准，即保证工件全部浸泡入双氧水溶液中，本实施例中，采用的氨水双氧水溶液为体积比为H2O2：H2O：NH4OH=（2.5-3.5）：（3.5-4.5）：（0.5-1.5）配制而成，优选的为，H2O2：H2O：NH4OH=3：4：1，本实施例中，采用的水为电阻率大于或等于12MΩ·CM的超纯水，浸泡温度为45℃±5℃，反应时间为3-5 小时，直至目测工件表面无残留钛膜或氮化钛膜为止，如果工件母材为Ti的话，则每隔半小时观察一次，本实施例中，双氧水采用市售的质量百分比浓度为30~32%的双氧水，氨水采用市售的质量百分比浓度为25%的氨水；
本实施例中，当混合溶液中的双氧水浓度低于5%时，需要对浸泡溶液进行更换，更换液体时，需采用专用的量具进行量取，更换药水时需要做好相关的记录工作，注意轻拿轻放，以免造成不必要的损失。
S2、纯水漂洗：将步骤S1 处理后的工件捞出，放入流动的纯水（电阻率为
12MΩ·cm以上的纯水）中浸泡冲洗30分钟以上，以去除工件表面残余的化学液；
S3、采用硝氟酸进行中和反应，本实施例中，采用的硝氟酸采用硝酸和氢氟酸配比而成，配比时，各溶液的体积比为HNO3：HF：H2O=（17~23）：（0.5~1.5）：（17~23），优选为HNO3：HF：H2O =20：1：20，本实施例中，反应为在常温温度下进行浸泡反应，反应时间为10~30S，本实施例中，采用的硝酸为市售的质量百分比浓度为68％的浓硝酸，具体实施时，也可以采用其他浓度的硝酸进行等量配比，本实施例中，采用的氢氟酸为市售的质量百分比浓度为55％的氢氟酸，具体实施时，也可以采用其他浓度的硝酸进行等量配比；
本实施例中，当硝酸浓度低于10%时，需要更换硝氟酸溶液，更换液体时，需采用专用的量具进行量取，更换药水时需要做好相关的记录工作，注意轻拿轻放，以免造成不必要的损失。
S4、擦洗：将工件在DI Water（即去离子水，其电阻率为5MΩ·cm以上，pH值：6-7）中采用无尘布进行擦洗，本实施例中，无尘布采用7447#工业百洁布；
S5、将工件在DI Water（即去离子水，其电阻率为5MΩ·cm以上，pH值：6-7）中常温浸泡10 分钟；
S6、工件表面pH 测试：对工件表面的残留水进行pH 值测试，如果其pH值满足6-7，则转入下一工序，如果其pH值小于6或大于7，则返回步骤S5，重新浸泡清洗；
S7、超声波震荡清洗：将部品放进带有超音波的DI Water（即去离子水，其电阻率为5MΩ·cm以上，pH 值：6-7）槽中，进行超声波震荡清洗30分钟，本实施例中，采用有效功率为1.2Kw的超声波进行超声波震荡清洗，以去除工件表面的残存的颗粒物质，超声波震荡清洗时要向超声波清洗槽中持续通入去离子水，保持水槽中的水从水槽上面不断溢流，以带走震荡下来的颗粒物质；
S8、工件表面pH 测试：对工件表面的残留水进行pH 值测试，如果其pH
值满足6-7，则转入下一工序，如果其pH 值小于6 或大于7，则返回步骤S7，
重新浸泡清洗；
S9、CDA 吹干：采用经过0.1μm 过滤器过滤过的CDA（去油去水压缩空气）对工件表面吹干，压缩空气的压力为2kgf/cm2，干燥温度为100±5℃，干燥时间为30 分钟以上，可去除表面残留水分；
S10、超声波震荡清洗：此次清洗需在无车车间（本实施例中，无尘车间采用1000级无尘车间）内进行，将部品放进带有超音波的DI Water（即去离子水，其电阻率为5MΩ·cm以上，pH值：6-7）槽中，进行超声波震荡清洗5 分钟，本实施例中，采用有效功率为1.2Kw的超声波进行超声波震荡清洗，以去除工件表面的残存的颗粒物质，超声波震荡清洗时要向超声波清洗槽中持续通入去离子水，保持水槽中的水从水槽上面不断溢流，以带走震荡下来的颗粒物质。
S11 、加热干燥：采用烘箱对产品进行烘烤加热干燥，干燥温度为150℃±10℃，干燥时间为1H 以上，产品注意隔离，即使产品不相碰触，以防止干燥不彻底。
S12、自然冷却：将加热干燥后的工件自然冷却至室温即可。
本发明采用化学浸泡加超声波振荡清洗相结合的方式，可简单快捷的去除工件表面的杂质，而且，对工件损伤较小。
Claims (7)
1.一种适用于表面附着物为陶瓷部品的清洗方法，其特征是：所述的方法包括下述步骤：
S1、化学清洗：采用氨水双氧水溶液对工件进行浸泡处理，采用的氨水双氧水溶液为体积比为H2O2：H2O：NH4OH=（2.5-3.5）：（3.5-4.5）：（0.5-1.5）配制而成，采用的水为电阻率大于或等于12MΩ·CM的超纯水，浸泡温度为45℃±5℃，反应时间为3-5小时，每隔半小时观察一次，直至目测工件表面无残留膜为止；
S2、纯水漂洗：将步骤S1处理后的工件捞出，放入流动的纯水中浸泡冲洗30分钟以上；
S3、采用硝氟酸进行中和反应，采用的硝氟酸采用硝酸和氢氟酸配比而成，配比时，各溶液的体积比为HNO3：HF：H2O=（17~23）：（0.5~1.5）：（17~23）；
S4、擦洗：将工件在DI Water中采用无尘布进行擦洗；
S5、将工件在DI Water中常温浸泡10分钟以上；
S6、工件表面pH测试：对工件表面的残留水进行pH值测试，如果其pH
值满足6-7，则转入下一工序，如果其pH值小于6或大于7，则返回步骤S5，重新浸泡清洗；
S7、超声波震荡清洗：将部品放进带有超音波的DI Water槽中，进行超声波震荡清洗30分钟以上，采用有效功率为1.2Kw的超声波进行超声波震荡清洗，超声波震荡清洗时要向超声波清洗槽中持续通入去离子水，保持水槽中的水从水槽上面不断溢流；
S8、工件表面pH测试：对工件表面的残留水进行pH值测试，如果其pH值满足6-7，则转入下一工序，如果其pH值小于6或大于7，则返回步骤S7，重新浸泡清洗；
S9、CDA吹干：采用经过0.1μm过滤器过滤过的CDA对工件表面吹干；
S10、超声波震荡清洗：在无车车间内进行清洗，将部品放进带有超音波的DI Water槽中，进行超声波震荡清洗5分钟以上，采用有效功率为1.2Kw的超声波进行超声波震荡清洗，超声波震荡清洗时要向超声波清洗槽中持续通入去离子水，保持水槽中的水从水槽上面不断溢流；
S11、加热干燥：采用烘箱对产品进行烘烤加热干燥，干燥温度为150℃±10℃，干燥时间为1H以上；
S12、自然冷却：将加热干燥后的工件自然冷却至室温即可。
2.根据权利要求1所述的适用于表面附着物为陶瓷部品的清洗方法，其特征是：所述的步骤S1中，H2O2：H2O：NH4OH=3：4：1。
3.根据权利要求1所述的适用于表面附着物为陶瓷部品的清洗方法，其特征是：所述的步骤S2中，纯水采用电阻率为12MΩ•cm以上的纯水。
4.根据权利要求1所述的适用于表面附着物为陶瓷部品的清洗方法，其特征是：所述的步骤S3中，硝氟酸为HNO3：HF：H2O=20：1：20，反应为在常温温度下进行浸泡反应，反应时间为10~30S。
5.根据权利要求1所述的适用于表面附着物为陶瓷部品的清洗方法，其特征是：所述的步骤S5中，DI Water电阻率为5MΩ•cm以上，pH值：6-7。
6.根据权利要求1所述的适用于表面附着物为陶瓷部品的清洗方法，其特征是：所述的步骤S9中，压缩空气的压力为2kgf/cm2，干燥温度为100±5℃，干燥时间为30分钟以上。
7.根据权利要求1所述的适用于表面附着物为陶瓷部品的清洗方法，其特征是：所述的步骤S10中，无尘车间采用1000级无尘车间。
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