CN108604564A - 基板移载用机械手 - Google Patents

Abstract

提供一种能够减少与基板接触的接点，并且能够将基板以刚性高的状态进行支承的基板移载用机械手。基板移载用机械手包括在纵向上延伸的纵向机械手支承部(20a)，和与该纵向机械手支承部(20a)连结且在与该纵向机械手支承部(20a)延伸的方向交叉的方向上延伸的多个横向机械手支承部(31a、32a)，所述多个横向机械手支承部(31a、32a)包括多个第一横向机械手支承部(31a)和多个第二横向机械手支承部(32a)，所述各第一横向机械手支承部(31a)分别具有在该第一横向机械手支承部(31a)延伸的方向上排列且能够与所述基板(SB)接触的多个第一接点(40A)，该第一接点(40A)的最高高度位置为第一高度，所述各第二横向机械手支承部(32a)分别具有在该第二横向机械手支承部(32a)延伸的方向上排列且能够与所述基板(SB)接触的多个第二接点(40B)，该第二接点(40B)的最高高度位置为低于所述第一高度的第二高度。

Description

基板移载用机械手

技术领域

本发明涉及基板移载用机械手，详细而言，涉及适合移载大型且薄型的基板的机械手。

背景技术

近年的半导体制造装置制造的基板逐渐向大型化和薄型化发展。在专利文献1中，提出了一种用于对这样的大型化且薄型化的基板进行移载的机械手。

专利文献1所记载的机械手包括纵向机械手支承部，和从该纵向机械手支承部在横向延伸的多个横向机械手支承部，构成为能够尽量减少由该机械手支承的基板的弯曲。

但是，若使被支承的基板的弯曲减少，维持水平状态，则有必要在纵向机械手支承部和横向机械手支承部这两者上设置大量相同高度的支承销。

如此，在利用大量支承销来支承基板的情况下，静电释放(ESD)的风险高，这一点在对基板进行工艺处理的方面是不利的。另外，由于使用大量支承销将刚性较小的基板以水平状态进行支承，因此当有外力作用时基板可能产生不需要的振动，这一点也在对基板进行工艺处理的方面是不利的。

专利文献1：日本专利第4681029号公报

发明内容

本发明是基于上述的情况而研究出来的，其所要解决的问题是提供一种能够减少与基板接触的接点，并且能够将基板以刚性较高的状态进行支承的基板移载用机械手。

为了解决上述技术问题，采用了下面的技术手段。

即，由本发明提供的基板移载用机械手为一种用于支承并移载基板的基板移载用机械手，其特征在于：包括从在纵向上延伸的纵向机械手支承部向与该纵向机械手支承部延伸的方向交叉的方向延伸的多个横向机械手支承部，上述多个横向机械手支承部包括多个第一横向机械手支承部和多个第二横向机械手支承部，各上述第一横向机械手支承部分别具有能够与上述基板接触的一个或者多个第一接点，该第一接点的最高高度位置为第一高度，各上述第二横向机械手支承部分别具有能够与上述基板接触的一个或者多个第二接点，该第二接点的最高高度位置为低于上述第一高度的第二高度。

在优选的实施方式中，上述第一接点由向上方突出的销的顶部构成，上述第二接点由向上方突出的销的顶部构成。

在优选的实施方式中，上述第一接点由形成于上述第一横向机械手支承部的鼓出部的顶部构成，上述第二接点由形成于上述第二横向机械手支承部的鼓出部的顶部形成。

在优选的实施方式中，上述第一横向机械手支承部与上述第二横向机械手支承部彼此交替地设置在上述纵向上。

在优选的实施方式中，设置在各上述第一横向机械手支承部的多个上述第一接点的高度是固定的，设置在各上述第二横向机械手支承部的多个上述第二接点中的一部分接点的高度低于上述第二高度。

在优选的实施方式中，所述纵向机械手支承部具有能够与所述基板接触的多个第三接点，该第三接点的最高高度位置与上述第二高度相同或者比其高。

在优选的实施方式中，包括多个所述纵向机械手支承部。

在优选的实施方式中，包括排列在左右方向上的一对纵向机械手支承部。

在优选的实施方式中，上述多个横向机械手支承部从各上述纵向机械手支承部向左右方向上的外侧延伸。

在优选的实施方式中，所述多个横向机械手支承部与从所述各纵向机械手支承部向左右方向上的内侧延伸的所述多个横向机械手支承部连结。

在优选的实施方式中，上述多个横向机械手支承部从各上述纵向机械手支承部向左右方向这两个方向延伸。

根据上述结构的基板移载用机械手，与具有多个第一横向机械手支承部和第二横向机械手支承部的基板接触的接点高度不是固定的，而第二横向机械手支承部的第二接点的最高高度位置低于第一横向机械手支承部的第一接点的高度。因此，能够将基板以有意图地使其具有弯曲部分方式用该机械手来支承，使处于支承状态下的基板的刚性提高，支承状态变得稳定，减少了不需要的振动的产生。而且，由于能够减少与基板接触的接点的数量，因此不会有静电释放(ESD)的风险高等的问题。

附图说明

图1是本发明的第一实施方式的基板移载用机械手的整体立体图。

图2是沿图1的II-II线的截面图。

图3是沿图1的III-III线的截面图。

图4是表示图1所示的基板移载用机械手的使用例的立体图。

图5是本发明的第二实施方式的基板移载用机械手的整体立体图。

图6是图5的VI-VI线立体图。

图7是沿图5的VII-VII线的截面图。

图8是沿图5的VIII-VIII线的截面图。

图9是本发明的第三实施方式的基板移载用机械手的整体立体图。

图10是图9的X-X线向视图。

图11是沿图9的XI-XI线的截面图。

图12是沿图9的XII-XII线的截面图。

图13是本发明的第四实施方式的基板移载用机械手的整体立体图。

图14是沿图13的XIV-XIV线的截面图。

图15是沿图14的XV-XV线的截面图。

图16是图13所示的基板移载用机械手的变形例的立体图。

图17是图13所示的基板移载用机械手的另一变形例的立体图。

图18是本发明的第五实施方式的基板移载用机械手的整体立体图。

图19是沿图18的XIX-XIX线的截面图。

图20是沿图18的XX-XX线的截面图。

图21是图18所示的基板移载用机械手的变形例的立体图。

图22是图18所示的基板移载用机械手的另一变形例的立体图。

具体实施方式

以下，参照附图，对本发明的优选实施方式具体进行说明。

图1至图4表示本发明的第一实施方式的基板移载用机械手1A。

该基板移载用机械手1A用于载置例如1800mm×1500mm这样的大型的玻璃基板等的基板，并将该基板相对于基板收纳盒进行放入、取出，或者相对于处理腔室进行放入、取出。该基板移载用机械手1A还被适当的移动机构支承而能够在规定方向上移动。例如，该基板移载用机械手1A作为多关节机器人RB(图4)的末端操作器，能够在XYZ方向上移动并且绕Z轴转动。

基板移载用机械手1A包括基部10、纵向机械手支承部20a和与各纵向机械手支承部20a连结的多个横向机械手支承部31a、32a。

基部10为具有一定横向宽度的水平板状的部件，安装有多关节机器人RB(图4)等的移动机构。纵向机械手支承部20a从基部10在纵向上以水平直线状延伸，在本实施方式中，3个纵向机械手支承部20a隔开一定间隔地平行延伸。在本实施方式中，该纵向机械手支承部20a为具有一定宽度和一定厚度的扁平的棒状的部件。各纵向机械手支承部20a与交替地位于纵向机械手支承部20a延伸的方向上的多个第一横向机械手支承部31a和第二横向机械手支承部32a连结。各第一横向机械手支承部31a和第二横向机械手支承部32a在与纵向机械手支承部20a正交的水平方向上具有一定长度，并在该长度方向的中央部与纵向机械手支承部20a连结。在本实施方式中，该第一横向机械手支承部31a和第二横向机械手支承部32a为具有一定宽度和一定厚度的板状的部件。第一横向机械手支承部31a和第二横向机械手支承部32a还等间隔地设置在纵向机械手支承部20a的长度方向上。该基部件10、纵向机械手支承部20a、第一横向机械手支承部31a和第二横向机械手支承部32a由硬质树脂、陶瓷或者铝等的金属形成。

第一横向机械手支承部31a位于比第二横向机械手支承部32a高出规定高度h的位置(图2)。在本实施方式中，第一横向机械手支承部31a与纵向机械手支承部20a的上表面重叠并连结，第二横向机械手支承部32a与纵向机械手支承部20a的下表面重叠并连结，由此形成第一横向机械手支承部31a与第二横向机械手支承部32a在上下方向的高度差。

在第一横向机械手支承部31a和第二横向机械手支承部32a，分别突设有与要载置在该基板移载用机械手1A上的基板SB接触的接点，即多个销41a、41b、41c、42、43。该销41a、41b、41c、42、43能够由例如树脂或者橡胶等形成，不过优选由具有适当弹性的材质形成。在第一横向机械手支承部31a，3个销41a、41b、41c设置于长度方向的两端部和中央部这3个部位。中央的销41b的位置与纵机械手部件20a重叠。该3个销41a、41b、41c具有相同的高度尺寸，其顶部作为本发明中所称的第一接点40A而发挥作用。在第二横向机械手支承部32a，2个销42、43设置于长度方向的两端部。2个销42、43具有相同的高度尺寸，并且与设置于第一横向机械手支承部31a的销41a、41b、41c的高度尺寸也相同。该2个销42、43的顶部作为本发明中所称的第二接点40B发挥作用。如上所述，由于第一横向机械手支承部31a位于比第二横向机械手支承部32a靠上的位置，因此第一接点40A的高度位置位于比第二接点40B的高度位置高出规定高度h的位置。

在本实施方式中，在纵向机械手支承部20a也突设有销44。该销44的顶部作为第三接点发挥作用。在本实施方式中，在将设置于各第一横向机械手支承部31a的中央的销41b之间进行三等分的纵向机械手支承部件20a上的位置，突设有该销44。该销44本身具有与设置于各第一横向机械手支承部31a的销41a、41b、41c和设置于第二横向机械手支承部32a的销42、43相同的高度尺寸，但该销44的顶部的位置比设置于第一横向机械手支承部件31a的销41a、41b、41c的顶部位置(第一接点40A)低与第一横向机械手支承部件31a的厚度相当的量，并且比设置于第二横向机械手支承部件32a的销42、43的顶部位置(第二接点40B)高。

下面，对本实施方式的基板移载用机械手1A的作用进行说明。

图4表示使用上述基板移载用机械手1A将基板SB移载到处理装置CH的基板接收部500时的概略结构。基板接收部500包括左右支承部件510和位于它们之间的2个中间支承部件520。左右支承部件510包括纵向支承部511和从该纵向支承部511等间隔地向内侧延伸的多个横向支承部512，并具有梳齿状的形态。2个中间支承部件520包括纵向支承部521和从该纵向支承部521向其左右两侧延伸的多个横向支承部522。左右支承部件510与中间支承部件520之间和2个中间支承部件520之间的空隙s1、s2、s3构成为能够使上述基板移载用机械手1A在上下方向上通过。另外，在左右支承部件510和2个中间支承部件520的上表面，突设有能够与基板SB接触并支承该基板SB的多个销525。载置于基板移载用机械手1A且在基板接收部500的上方进出的基板SB，在基板移载用机械手1A通过上述空隙s1、s2、s3并移动到比基板接收部500靠下方处的期间，移载到基板接收部500上。移载到基板接收部500上的基板SB适当地由下面的工序提供。

在本实施方式的在基板移载用机械手1A上载置有基板SB的状态下，设置于第一横向机械手支承部31a、第二横向机械手支承部32a和纵向机械手支承部20a的多个销41a、41b、41c、42、43、44的前端与上述基板SB接触。销41a、41b、41c、42、43、44的前端位置，即与基板SB接触的接点包括位于高位的第一接点40A和比其低的第二接点40B，因此能够将基板SB以有意图地使其弯曲的状态与多个销41a、41b、41c、42、43、44的顶部接触来进行支承。另外，由于具有第一接点40A的第一横向机械手支承部31a和在两端具有比其低的第二接点40B的第二横向机械手支承部32a交替地设置于纵向机械手支承部20a所延伸的方向上，因此对处于支承状态下的基板SB而言，如图2和图3所示，无论在侧视方向的截面还是在横截面，都成为各第二横向机械手支承部32a的前端部附近位于较低位置的弯曲变形的状态。因此，利用这样的弯曲变形，能够对基板SB施加规定的刚性，使其在基板移载用机械手1A上的载置状态稳定，能够减少在该基板移载用机械手1A移动时基板SB发生不必要的振动等。另外，基板SB由较少数量的销41a、41b、41c、42、43、44的前端支承，因此不会有静电释放(ESD，Electro-Static discharge)的风险高之类的情况。

图5至图8表示本发明的第二实施方式的基板移载用机械手1B。在这些图中，对与图1至图4所示的第一实施方式的基板移载用机械手1A相同或者等同的部件，标注相同或者类似的附图标记。

基板移载用机械手1B包括基部10、纵向机械手支承部20b和与各纵向机械手支承部20b连结的多个横向机械手支承部31b、32b。

基部10是具有一定横向宽度的水平板状的部件，安装于多关节机器人RB等的移动机构上。纵向机械手支承部20b从基部10在纵向以水平直线状延伸，在本实施方式中，2个纵向机械手支承部20b隔开一定间隔且平行地延伸。在本实施方式中，该纵向机械手支承部20b是具有一定宽度和一定厚度的棒状的部件。各纵向机械手支承部20b与交替地位于纵向机械手支承部20b延伸的方向上的多个第一横向机械手支承部31b和第二横向机械手支承部32b连结。各第一横向机械手支承部31b和第二横向机械手支承部32b在与各纵向机械手支承部20b正交的水平方向上具有一定长度，以从各纵向机械手支承部20b向左右方向外侧延伸的方式连结。在本实施方式中该第一横向机械手支承部31b和第二横向机械手支承部32b是具有一定宽度和一定厚度的板状的部件。第一横向机械手支承部31b和第二横向机械手支承部32b还等间隔地设置于纵向机械手支承部20b的长度方向上。该基部件20、纵向机械手支承部20b、第一横向机械手支承部31b和第二横向机械手支承部32b由硬质树脂、陶瓷或者铝等的金属形成。

第一横向机械手支承部31b位于比第二横向机械手支承部32b高出规定高度h的位置(图6)。在本实施方式中，对于第一横向机械手支承部31b，将其基端部的下表面侧切削成L字状，该切削部以与纵向机械手支承部20b的上表面201b和侧面接触的方式与纵向机械手支承部20b连结。因此，该第一横向机械手支承部31b的上表面311b高于纵向机械手支承部20b的上表面201b(图6、图8)。另一方面，第二横向机械手支承部32b以使其上表面321b与纵向机械手支承部20b的上表面201b一致的方式与纵向机械手支承部20b连结。由此，第一横向机械手支承部31b的上表面311b高于第二横向机械手支承部32b的上表面321b。

在第一横向机械手支承部31b和第二横向机械手支承部32b，分别突设有与要载置在该基板移载用机械手1B的基板SB接触的接点，即多个销41a、41b、41c、42、43。上述内容与第一实施方式相同，该销41a、41b、41c、42、43能够由例如树脂或者橡胶等形成，优选由具有适当弹性的材质形成。在第一横向机械手支承部31b，3个销41a、41b、41c设置于长度方向基端部、前端部和中央部这三个部位。基端部的销41a的位置与纵向机械手支承部20b重叠。该3个销41a、41b、41c具有相同的高度尺寸，其顶部作为本发明中所称的第一接点40A发挥作用。在第二横向机械手支承部32b，2个销42、43设置于长度方向前端部和中央部。另外，在与第二横向机械手支承部32b的基端部邻接的纵向机械手支承部20b上还设置有销44。该纵向机械手支承部20b上的销44与第二横向机械手支承部32b的前端的销43具有相同的高度尺寸。另外，该销43、44与设置于第一横向机械手支承部31b的3个销41a、41b、41c使用相同的部件，顶部高度位置也相同。但是，如上述那样，由于第二横向机械手支承部32b低于第一横向机械手支承部件31b规定高度h，因此上述销43、44的顶部的高度位置低于设置于第一横向机械手支承部31b的销41a、41b、41c的顶部(第一接点40A)。该2个销43、44的顶部作为本发明中所称的第二接点40B发挥作用。此外，在本实施方式中，设置于第二横向机械手支承部32b的中央部的销42的高度低于构成上述第二接点40B的2个销43、44的顶部高度。

下面，对本实施方式的基板移载用机械手1B的作用进行说明。

在本实施方式的基板移载用机械手1B上载置有基板SB的状态下，设置于第一横向机械手支承部31b、第二横向机械手支承部32b和纵向机械手支承部20b的多个销41a、41b、41c、42、43、44的前端与上述基板SB接触。销41a、41b、41c、42、43、44的前端位置，即与基板SB接触的接点，由于包括位于高处的第一接点40A和比其低的第二接点40B，因此能够将基板SB以有意图地使其弯曲的状态与多个销41a、41b、41c、42、43、44的顶部接触来进行支承。另外，具有第一接点40A的第一横向机械手支承部31b和具有比其低的第二接点40B的第二横向机械手支承部32b交替地设置于纵向机械手支承部20b延伸的方向上，因此从该基板移载用机械手1B的侧面看，如图6所示，处于支承状态下的基板SB成为弯曲变形为波形的状态。另外，在2个纵向机械手支承部20b之间隔开有间隔，并且在沿第二横向机械手支承部32b排列的3个销42、43、44中，中央的销42与纵向机械手支承部20b上的销44和第二横向机械手支承部32b的前端的销43相比顶部高度低，因此在沿第二横向机械手支承部32b的截面，如图7所示，销42、43、44成为弯曲变形为波形的状态。因此，通过这样的弯曲变形，对基板SB施加规定的刚性，使其在基板移载用机械手1B上的载置状态稳定，能够减少在该基板移载用机械手1B移动时基板SB产生不需要的振动等。另外，由于基板SB由较少数量的销41a、41b、41c、42、43、44的前端支承，因此不会出现静电释放(ESD)的风险变高之类的问题。

图9至图12表示本发明的第三实施方式的基板移载用机械手1C。在这些图中，对与图1至图4所示的第一实施方式的基板移载用机械手1A相同或者等同的部件，标注相同或者类似的附图标记。

基板移载用机械手1C包括基部10、纵向机械手支承部20c和与各纵向机械手支承部20c连结的多个横向机械手支承部31c、32c。

基部10是具有一定横向宽度的水平板状的部件，安装于多关节机器人等的移动机构上。纵向机械手支承部20c从基部10在纵向以水平直线状延伸，在本实施方式中，2个纵向机械手支承部20c隔开一定间隔且平行地延伸。在本实施方式中，该纵向机械手支承部20c是具有一定宽度和一定厚度的棒状的部件。各纵向机械手支承部20c与交替地位于纵向机械手支承部20c延伸的方向上的多个第一横向机械手支承部31c和第二横向机械手支承部32c连结。各第一横向机械手支承部31c和第二横向机械手支承部32c在与各纵向机械手支承部20c正交的水平方向上具有一定长度，以从各纵向机械手支承部20c向左右方向内侧延伸的方式连结。在本实施方式中该第一横向机械手支承部31c和第二横向机械手支承部32c是具有一定宽度和一定厚度的板状的部件。第一横向机械手支承部31c和第二横向机械手支承部32c还等间隔地设置于纵向机械手支承部20c的长度方向上。该基部件10、纵向机械手支承部20c、第一横向机械手支承部31c和第二横向机械手支承部32c由硬质树脂、陶瓷或者铝等的金属形成。

第一横向机械手支承部31c位于比第二横向机械手支承部32c高出规定高度h的位置(图10)。在本实施方式中，对第一横向机械手支承部31c，将其基端部的下表面侧切削为L字形状，该切削部以与纵向机械手支承部20c的上表面201c和侧面接触的方式与纵向机械手支承部20c连结。因此，该第一横向机械手支承部31c的上表面311c高于纵向机械手支承部20c的上表面201c。另一方面，第二横向机械手支承部32c以使其上表面321c与纵向机械手支承部20c的上表面201c一致的方式与纵向机械手支承部20c连结。由此，第一横向机械手支承部31c的上表面311c高于第二横向机械手支承部32c的上表面321c。

在第一横向机械手支承部31c和第二横向机械手支承部32c，分别突设有作为与要载置在该基板移载用机械手1C上的基板SB接触的接点，即多个销41a、41b、41c、42、43、44。上述内容与第一和第二实施方式相同，这些销41a、41b、41c、42、43、44能够由例如树脂或者橡胶等形成，优选由具有适当弹性的材质形成。在第一横向机械手支承部31c，3个销41a、41b、41c设置于长度方向基端部、前端部和中央部这三个部位。基端部的销41a的位置与纵机械手部件20c重叠。该3个销41a、41b、41c具有相同的高度尺寸，其顶部作为本发明中所称的第一接点40A发挥作用。在第二横向机械手支承部32c，2个销42、43设置于长度方向前端部和中央部。另外，在与第二横向机械手支承部32c的基端部邻接的纵向机械手支承部20c上，还设置有销44。该纵向机械手支承部20c上的销44与第二横向机械手支承部32c的前端的销43具有相同的高度尺寸。另外，这些销43、44与设置于第一横向机械手支承部31c的3个销41a、41b、41c使用相同的部件，高度尺寸也相同。但是，如上述那样，由于第二横向机械手支承部32c低于第一横向机械手支承部31c规定高度h，因此上述销43、44的顶部的高度位置低于设置于第一横向机械手支承部31c的销41a、41b、41c的顶部(第一接点40A)。该2个销43、44的顶部作为本发明中所称的第二接点40B发挥作用。此外，在本实施方式中，设置于第二横向机械手支承部32c的中央部的销42的高度低于构成上述第二接点40B的2个销43、44的顶部高度。

下面，对本实施方式的基板移载用机械手1C的作用进行说明。

在本实施方式的基板移载用机械手1C上载置有基板SB的状态下，设置于各横向机械手支承部31c、32c和纵向机械手支承部20c的多个销41a、41b、41c、42、43、44的前端与上述基板接触。销41a、41b、41c、42、43、44的前端位置，即与基板SB接触的接点，由于包括位于高处的第一接点40A和比其低的第二接点40B，因此能够将基板SB以有意图地使其弯曲的状态与多个销41a、41b、41c、42、43、44的顶部接触来进行支承。另外，具有第一接点40A的第一横向机械手支承部31c和具有低于所述第一接点40A的第二接点40B的第二横向机械手支承部32c交替地设置于纵向机械手支承部20c延伸的方向上，因此从该基板移载用机械手1C的侧面看，如图10所示，处于支承状态下的基板SB成为弯曲变形为波形的状态。另外，在2个纵向机械手支承部20c和与其连结的横向机械手支承部31c、32c的前端部之间形成有间隔，并且在沿第二横向机械手支承部32c排列的3个销42、43、44中，中央的销42与纵向机械手支承部20c上的销44和第二横向机械手支承部32c的前端的销43相比顶部高度低，因此在沿第二横向机械手支承部32c的截面，如图11所示成为弯曲变形为波形的状态。因此，通过这样的弯曲变形，对基板SB施加规定的刚性，使其在基板移载用机械手1C上的载置状态稳定，能够减少在该基板移载用机械手1C移动时基板SB产生不需要的振动等。另外，由于基板SB由较少数量的销41a、41b、41c、42、43、44的前端所支承，因此不会出现静电释放(ESD)的风险变高之类的问题。

图13至图15表示本发明的第四实施方式的基板移载用机械手1D。在这些图中，对与图1至图4所示的第一实施方式的基板移载用机械手1A相同或者等同的部件，标注相同或者类似的附图标记。

基板移载用机械手1D包括基部10、纵向机械手支承部20d和与各纵向机械手支承部20d连结的多个第一横向机械手支承部31d和第二横向机械手支承部32d。

基部10是具有一定横向宽度的水平板状的部件，安装于多关节机器人RB等的移动机构上。纵向机械手支承部20d从基部10在纵向上以水平直线状延伸，在本实施方式中，3个纵向机械手支承部20d隔开一定间隔地平行延伸。在本实施方式中，该纵向机械手支承部20d为具有一定宽度和一定厚度的扁平棒状的部件。各纵向机械手支承部20d与交替位于纵向机械手支承部20d延伸的方向上的多个第一横向机械手支承部31d和第二横向机械手支承部32d连结。各第一横向机械手支承部31d和第二横向机械手支承部32d在与纵向机械手支承部20d正交的水平方向上具有一定长度，以向纵向机械手支承部20d的左右两侧延伸的方式，与该纵向机械手支承部20d连结。在本实施方式中，该第一横向机械手支承部31d和第二横向机械手支承部32d为具有一定宽度和一定厚度的板状的部件，它们的上表面与纵向机械手支承部20d的上表面在同一平面上。第一横向机械手支承部31d和第二横向机械手支承部32d还等间隔地设置于纵向机械手支承部20d的长度方向上。这些基部件10、纵向机械手支承部20d、第一横向机械手支承部31d和第二横向机械手支承部32d由硬质树脂、陶瓷或者铝等的金属形成。此外，纵向机械手支承部20d和横向机械手支承部31d、32d可以形成为一体。

在第一横向机械手支承部31d和第二横向机械手支承部32d分别突设有与要载置在该基板移载用机械手1D的基板SB接触的接点即多个销41a、41b、42、43。该销41a、41b、42、43能够由例如树脂或者橡胶等形成，优选由具有适当弹性的材质形成。在从纵向机械手支承部20d的长度方向的同一位置向左右延伸的第一横向机械手支承部31d上，分别在前端部设置有1个、共计2个销41a、41b。该2个销41a、41b具有相同的高度尺寸，其顶部作为本发明中所称的第一接点40A发挥作用。在与第一横向机械手支承部31d交替地从纵向机械手支承部20d的长度方向的同一位置向左右延伸的第二横向机械手支承部32d上，分别在前端部设置有1个、共计2个销42、43。该销42、43具有相同的高度尺寸，不过低于设置于上述第一横向机械手支承部31d的销41a、41b的高度尺寸。该2个销42、43的顶部作为本发明中所称的第二接点40B发挥作用。因此，第一接点40A的高度位置位于比第二接点40B的高度位置高出规定高度h的位置。

在本实施方式中，在纵向机械手支承部20d的上表面突设有与上述各销41a、41b、42、43同样由树脂或者橡胶等形成的销44。该销44，其顶部作为第三接点发挥作用，等间隔地设置于纵向机械手支承部20d的长度方向。在本实施方式中，在将与第一横向机械手支承部31d对应的位置和各第一横向机械手支承部31d的对应位置之间3等分的位置，突设有该销44。在本实施方式中该销44的高度尺寸固定，且高于设置于第一横向机械手支承部31d并形成第一接点40A的销41a、41b。

下面，对本实施方式的基板移载用机械手1D的作用进行说明。

在基板SB载置于本实施方式的基板移载用机械手1D上的状态下，设置于第一横向机械手支承部31d、第二横向机械手支承部32d和纵向机械手支承部20d的多个销41a、41b、42、43、44的前端与上述基板SB接触。销41a、41b、42、43、44的前端位置，即，与基板SB接触的接点包括位于高处的上位的第一接点40A和比其低的第二接点40B，因此能够将基板SB以有意图地使其弯曲的状态与多个销41a、41b、42、43、44的顶部接触来进行支承。另外，由于具有第一接点40A的第一横向机械手支承部31d和在两端具有低于所述第一接点40A的第二接点40B的第二横向机械手支承部32d彼此交替地设置于纵向机械手支承部20d延伸的方向，并且设置于纵向机械手支承部20d的销44(第三接点)的高度尺寸高于形成第一接点40A的销41a、41b和形成第二接点的销42、43，因此对处于支承状态下的基板SB而言，如图14和图15所示，无论是在侧视方向的截面还是在横截面中，都成为以第二横向机械手支承部32d的前端部附近位于低处的方式弯曲变形的状态。因此，通过这样的弯曲变形，对基板SB施加规定的刚性，使其在基板移载用机械手1D上的载置状态稳定，能够减少在该基板移载用机械手1D的移动时在基板SB上产生不需要的振动等。另外，基板SB由较少数量的销41a、41b、42、43、44的前端支承，因此不会有静电释放(ESD)的风险高等的问题。

图16是表示上述第四实施方式的基板移载用机械手1D的变形例1Da。在第四实施方式的基板移载用机械手1D中，设置于纵向机械手支承部20d的销44的高度是固定的，但是在该变形例的基板移载用机械手1Da中，使该销44的高度在纵向机械手支承部20d的长度方向上不同，例如可以将设置于销44之间的销44'的高度设为低于销44的高度，其中所述销44位于与各第一横向机械手支承部31d和第二横向机械手支承部32d对应的位置。另外，该基板移载用机械手1Da无论在侧视方向的截面还是横截面中，都成为以第二横向机械手支承部32d的前端部附近处于低处的方式弯曲变形的状态，能够起到与上述基板移载用机械手1D相同的作用。

图17表示上述第四实施方式的基板移载用机械手1D的另一变形例1Db。在第四实施方式的基板移载用机械手1D中，设置于第二横向机械手支承部32d的销42、43全部具有相同的高度尺寸，而在该变形例的基板移载用机械手1Db中，在设置于3个纵向机械手支承部20d'中的左右两侧的纵向机械手支承部20d'的横向机械手支承部32d中，设置于左右方向外侧的横向机械手支承部的销42a、43a的高度尺寸高，使之与例如设置于第一横向机械手支承部31d的销41a、41b相同。另外，该基板移载用机械手1Db无论在侧视方向的截面还是在横截面中，都成为以设置上述销42、43的第二横向机械手支承部32d的前端部附近位于低处的方式弯曲变形的状态，能够起到与上述基板移载用机械手1D相同的作用。

图18至图20表示本发明的第五实施方式的基板移载用机械手1E。在这些图中，对于图1至图4所示的第一实施方式的基板移载用机械手1A相同或者等同的部件，标注相同或者类似的附图标记。

基板移载用机械手1E包括基部10、纵向机械手支承部20e和与各纵向机械手支承部20e连结的多个第一横向机械手支承部31e及第二横向机械手支承部32e。本实施方式的基板移载用机械手1E与上述第四实施方式的基板移载用机械手1D整体结构相似，但是用于形成第一接点40A和第二接点40B的具体的结构不同。

在本实施方式中，第一横向机械手支承部31e和第二横向机械手支承部32e具有从纵向机械手支承部20e的侧面向左右方向延伸的杆状的形态。该第一横向机械手支承部31e和第二横向机械手支承部32e与纵向机械手支承部30e同样，由硬质树脂、陶瓷或者铝等的金属形成。

在第一横向机械手支承部31e和第二横向机械手支承部32e的前端部，分别形成有作为与应载置于该基板移载用机械手1E的基板SB接触的接点的大径部41a’、41b’、42’、43’。在本实施方式中，使该大径部41a’、41b’、42’、43’为球状。该大径部41a’、41b’、42’、43’能够由形成第一横向机械手支承部31e和第二横向机械手支承部32e的材质一体成型，不过也能够由例如树脂或者橡胶等具有弹性的材质形成。形成于第一横向机械手支承部31e的大径部41a’、41b’的直径大于形成于第二横向机械手支承部32e的大径部42’、43’的直径。因此，上述大径部41a’、41b’的顶部作为本发明中所称的第一接点40A发挥作用，上述大径部42、43的顶部作为本发明中所称的第二接点40B发挥作用，而第一接点40A的高度位置位于比第二接点40B的高度位置高出规定高度h的位置。此外，在本实施方式中，为了形成第一接点40A和第二接点40B而设置有大径部41a’、41b’、42’、43’，不过只要是具有上方突出部的鼓出部即可，不限定具体的形态。

与第四实施方式的基板移载用机械手1D同样，在纵向机械手支承部20e的上表面突设有顶部作为第三接点发挥作用的销44。在本实施方式中该销44的高度尺寸固定，不过其顶部位置高于设置于第一横向机械手支承部31e的第一接点40A。

下面，对本实施方式的基板移载用机械手1E的作用进行说明。

在本实施方式的基板移载用机械手1E上载置有基板SB的状态下，设置于第一横向机械手支承部31e和第二横向机械手支承部32e的大径部41a’、41b’、42’、43’，和设置于纵向机械手支承部20e的销44的顶部与上述基板SB接触。与基板SB接触的接点由于包括位于高处的第一接点40A和比其低的第二接点40B，因此能够将基板SB以使其弯曲的状态与大径部41a’、41b’、42’、43’和销44的顶部接触来进行支承。另外，具有第一接点40A的第一横向机械手支承部31e和在两端具有低于所述第一接点40A的第二接点40B的第二横向机械手支承部32e交替地设置于纵向机械手支承部20e延伸的方向，并且设置于纵向机械手支承部20e的销44(第三接点)的高度尺寸高于形成第一接点40A的大径部41a’、41b’和形成第二接点40B的大径部42’、43’的各顶部，因此，如图19和图20所示，处于支承状态下的基板SB无论在侧视方向的截面还是横截面，都成为以第二横向机械手支承部32e的前端部附近处于低处的方式弯曲变形的状态。因此，通过这样的弯曲变形，对基板SB施加规定的刚性，使其在基板移载用机械手1E上的载置状态稳定，能够减少在该基板移载用机械手1E的移动时基板SB发生不需要的振动等。另外，由于基板SB由较少数量的大径部41a’、41b’、42’、43’和销44的顶部所支承，因此不会有静电释放(ESD)的风险高之类的问题。

图21表示上述第五实施方式的基板移载用机械手1E的变形例1Ea。在第五实施方式的基板移载用机械手1E中，设置于纵向机械手支承部20e的销44的高度是固定的，但是在该变形例的基板移载用机械手1Ea中，使该销44的高度在纵向机械手支承部20e的长度方向上不同，例如可以将设置于销44之间的销44'的高度设为低于销44的高度，其中所述销44位于与各第一横向机械手支承部31e和第二横向机械手支承部32e对应的位置。另外，该基板移载用机械手1Ea无论在侧视方向的截面还是横截面中，都成为以第二横向机械手支承部32e的前端部附近处于低处的方式弯曲变形的状态，能够起到与上述基板移载用机械手1E相同的作用。

图22表示上述第五实施方式的基板移载用机械手1E的另一变形例1Eb。在第五实施方式的基板移载用机械手1E中，设置于第二横向机械手支承部32e的大径部42’、43’全部具有相同的直径，而在该变形例的基板移载用机械手1Eb中，在设置于3个纵向机械手支承部20e中的左右两侧的纵向机械手支承部20e’的横向机械手支承部32e中，设置于左右方向外侧的横向机械手支承部的销42a’、43a’的直径大，使之与例如设置于第一横向机械手支承部31e的大径部41a’、41b’的直径相同。另外，该基板移载用机械手1Eb无论在侧视方向的截面还是在横截面中，都成为以设置上述大径部42’、43’的第二横向机械手支承部32e的前端部附近位于低处的方式弯曲变形的状态，能够起到与上述基板移载用机械手1E相同的作用。

当然，本发明的范围不限于上述的实施方式，在各权利要求所记载的范围内的所有设计变更均包含于本发明的范围内。

在上述的各实施方式中，作为横向机械手支承部，例示了具有第一接点40A的第一横向机械手支承部31a、31b、31c、31d、31e和具有第二接点40B的第二横向机械手支承部32a、32b、32c、32d、32e，不过也可以设置具有一个或者多个其他接点的其他横向机械手支承部。并且在该情况下，当在其他横向机械手支承部设置多个其他接点时，其他接点的高度可以相同，也可以不同。

另外，对于设置在各纵向机械手支承部20a、20b、20c、20d、20e和各横向机械手支承部31a、31b、31c、31d、31e，32a、32b、32c、32d、32e的第一接点40A、第二接点40B和根据需要设置的其他接点的高度，能够根据有意图地使与这些接点接触而被基板移载用机械手1A、1B、1C、1D、1E支承的基板SB所要产生的弯曲状况，来自由地进行设定。例如，在上述的各实施方式中，使设置在第二横向机械手支承部32a、32b、32c、32d、32e的第二接点40B处于最低处，不过也可以使设置在纵向机械手支承部20a、20b、20c、20d、20e的第三接点处于最低处。另外在上述的各实施方式中，给出了各第一横向机械手支承部31a、31b、31c、31d、31e的第一接点40A为相同高度的例子，不过也可以使接点的高度不同。

总之，通过设置第一接点40A和第二接点40B能够有意图地使基板移载用机械手1A、1B、1C、1D、1E所支承的基板SB产生弯曲部分的结构，均包含于本发明的范围内。

Claims (11)

1.一种用于支承并移载基板的基板移载用机械手，其特征在于：

包括在纵向上延伸的纵向机械手支承部，和从该纵向机械手支承部向与该纵向机械手支承部延伸的方向交叉的方向延伸的多个横向机械手支承部，

所述多个横向机械手支承部包括多个第一横向机械手支承部和多个第二横向机械手支承部，

各所述第一横向机械手支承部分别具有能够与所述基板接触的一个或者多个第一接点，该第一接点的最高高度位置为第一高度，

各所述第二横向机械手支承部分别具有能够与所述基板接触的一个或者多个第二接点，该第二接点的最高高度位置为低于所述第一高度的第二高度。

2.如权利要求1所述的基板移载用机械手，其特征在于：

所述第一接点由向上方突出的销的顶部构成，所述第二接点由向上方突出的销的顶部构成。

3.如权利要求1所述的基板移载用机械手，其特征在于：

所述第一接点由形成于所述第一横向机械手支承部的鼓出部的顶部构成，所述第二接点由形成于所述第二横向机械手支承部的鼓出部的顶部形成。

4.如权利要求1至3中任一项所述的基板移载用机械手，其特征在于：

所述第一横向机械手支承部与所述第二横向机械手支承部彼此交替地设置在所述纵向上。

5.如权利要求4所述的基板移载用机械手，其特征在于：

设置在各所述第一横向机械手支承部的多个所述第一接点的高度是固定的，设置在各所述第二横向机械手支承部的多个所述第二接点中的一部分接点的高度低于所述第二高度。

6.如权利要求1至5中任一项所述的基板移载用机械手，其特征在于：

所述纵向机械手支承部具有能够与所述基板接触的多个第三接点，该第三接点的最高高度位置与所述第二高度相同或者高于所述第二高度。

7.如权利要求1至6中任一项所述的基板移载用机械手，其特征在于：

包括多个所述纵向机械手支承部。

8.如权利要求7所述的基板移载用机械手，其特征在于：

包括排列在左右方向上的一对纵向机械手支承部。

9.如权利要求8所述的基板移载用机械手，其特征在于：

所述多个横向机械手支承部从各所述纵向机械手支承部向左右方向上的外侧延伸。

10.如权利要求8所述的基板移载用机械手，其特征在于：

所述多个横向机械手支承部从各所述纵向机械手支承部向左右方向上的内侧延伸。

11.如权利要求7所述的基板移载用机械手，其特征在于：

所述多个横向机械手支承部从各所述纵向机械手支承部向左右方向这两个方向延伸。