CN1393385A - 片状基板的移动装载装置及其贮存装置 - Google Patents

片状基板的移动装载装置及其贮存装置 Download PDF

Info

Publication number
CN1393385A
CN1393385A CN02123387A CN02123387A CN1393385A CN 1393385 A CN1393385 A CN 1393385A CN 02123387 A CN02123387 A CN 02123387A CN 02123387 A CN02123387 A CN 02123387A CN 1393385 A CN1393385 A CN 1393385A
Authority
CN
China
Prior art keywords
support portion
aforementioned
plate shape
manipulator
storage facility
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN02123387A
Other languages
English (en)
Other versions
CN1288052C (zh
Inventor
珍部弘
远藤嘉也
岛川直树
福渡一郎
林田宪明
高仓芳生
松山章男
纐缬英斗
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Sharp Corp
Original Assignee
Hitachi Kiden Kogyo Ltd
Sharp Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Kiden Kogyo Ltd, Sharp Corp filed Critical Hitachi Kiden Kogyo Ltd
Publication of CN1393385A publication Critical patent/CN1393385A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN1288052C publication Critical patent/CN1288052C/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G61/00—Use of pick-up or transfer devices or of manipulators for stacking or de-stacking articles not otherwise provided for
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67766—Mechanical parts of transfer devices
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S414/00—Material or article handling
    • Y10S414/135—Associated with semiconductor wafer handling
    • Y10S414/137—Associated with semiconductor wafer handling including means for charging or discharging wafer cassette
    • Y10S414/138—Wafers positioned vertically within cassette

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Manipulator (AREA)
  • Packaging Frangible Articles (AREA)

Abstract

本发明提供一种减少大型玻璃基板等的片状基板因其自重而产生的弯曲量，从而防止弯曲应力导致的片状基板变形或破损的片状基板移动装载装置。从贮存装置1两侧向相对方向分别延伸设置支撑部，通过使***到贮存装置1的移动装载装置的机械手4在前述支撑部之间升降，而进行片状基板的取出和放入的片状基板5的移动装载装置中，前述支撑部由在相对支撑部之间设置间隙而形成的多个并列的支撑部件3a、3b构成，同时，前述机械手4由：在机械手4的升降位置上，位于前述并列的支撑部件3a、3b之间的多个宽度方向的横向机械手支撑部41；和位于前述相对的支撑部件3a、3b之间，连结前述横向机械手支撑部41的、长度方向的纵向机械手支撑部42构成。

Description

片状基板的移动装载装置及其贮存装置
技术领域
本发明涉及片状基板的移动装载装置，特别是涉及能通过减少因大型玻璃基板等片状基板的自重而产生的弯曲量，从而防止由弯曲应力导致的片状基板变形或破损的、片状基板的移动装置及其贮存装置。
背景技术
为了相互不接触地分离存放液晶等玻璃基板，而将其贮存在专用的贮存玻璃基板的盒子等贮存装置中。
此种贮存玻璃基板的盒子例如用在大型液晶玻璃基板的生产线中，在生产设备之间搬运液晶玻璃基板、暂时存放等情况下。
如图9所示，贮存玻璃基板用盒子，从盒子主体1的两侧壁2a、2b的向相对方向分别延伸设置多个并列的支撑部3a’、3b’，同时通过使***到盒子主体1的移动装载装置的机械手4’在支撑部3a’、3b’之间升降而使玻璃基板5取出和放入。
为了能允许两股叉子状的机械手4’进行升降，盒子主体1在其宽度方向中央部需要较大的空间，为此支撑部3a’、3b’就从左右侧壁2a、2b较短地突出出来。
此种情况下，照顾到使贮存在盒子主体1中的玻璃基板5受到从盒子主体1的左右侧壁2a、2b分别延伸设置的支撑部3a’、3b’的支撑，从而减少因被贮存的玻璃基板5的自重而产生的弯曲。
另外，在玻璃基板5取出和放入盒子主体1时使用的移动装载装置的机械手4’，为了由通过该机械手4’使玻璃基板5在上升状态下的弯曲量不致增加，而决定了机械手4’的宽度方向尺寸L。
然而，近年来，由于玻璃基板的大型化、薄型化的不断推进而使刚性较大的玻璃基板也产生过大的弯曲量，所以受上述现有的支撑部长度较短制约的贮存玻璃基板用盒子、和两股叉子状的机械手等存在着这样的问题：因玻璃基板自重而导致弯曲量增大，由该弯曲量而致使玻璃基板自身承受较大的弯曲应力，其结果使玻璃基板容易变形、破损。
也就是，如图10所示，当玻璃基板5的尺寸比图9中的尺寸大时，贮存在盒子主体1中的玻璃基板5就会因自重而承受较大的弯曲，为了消除该弯曲，而将支撑部3a’、3b’向玻璃基板5的宽度方向中央部延伸时，机械手4’的宽度方向尺寸L就不得不减小。
但是，当机械手4’的宽度方向尺寸L减小时，被装载在机械手4’上的玻璃基板5的弯曲，就会变成如图10(c)中点线所示的状态，玻璃基板5要承受较大的弯曲，容易变形。
发明内容
本发明是鉴于上述现有片状基板的问题点而提出的，目的是提供能够使大型玻璃基板等的片状基板因其自重而导致的弯曲量减少，从而防止由于弯曲应力使片状基板产生变形或破损等的、片状基板的移动装载装置及其贮存装置。
为了达成上述目的，本发明第一方面的片状基板的移动装载装置，从贮存装置的两侧向相对方向分别延伸设置支撑部，另一方面，通过使***到贮存装置的移动装载装置的机械手在前述支撑部之间升降，而进行片状基板的取出和放入，其特征在于，前述支撑部由在相对的支撑部之间设置间隙而形成的多个并列的支撑部件构成，同时，前述机械手由：在机械手的升降位置上、位于前述并列的支撑部件之间的多个宽度方向的横向机械手支撑部；和位于前述相对的支撑部件之间、连结前述横向机械手支撑部的、长度方向的纵向机械手支撑部构成。
此种情况下，前述机械手可以由：在机械手的升降位置上、能够通过前述并列的支撑部的间隙的、多个宽度方向的横向机械手支撑部；和在分别连结该横向机械手支撑部的宽度方向上设置间隙、且并列设置的一对纵向机械手支撑部构成。
为达成相同的目的，本发明第二方面的片状基板的移动装载装置，从贮存装置的两侧向相对方向分别延伸设置支撑部，另一方面，通过使***到贮存装置的移动装载装置的机械手在前述支撑部之间升降，而进行片状基板的取出和放入，其特征在于，在前述支撑部的中间位置上并列设置辅助支撑部，同时，前述机械手由：在机械手的升降位置上、位于前述并列的支撑部之间的多个宽度方向的横向机械手支撑部；和在分别连结该横向机械手支撑部的宽度方向上设置间隙、且并列设置的一对纵向机械手支撑部构成。
为达成相同的目的，本发明第三方面的片状基板的移动装载装置，从贮存装置的两侧向相对方向分别延伸设置支撑部，另一方面，通过使***到贮存装置的移动装载装置的机械手在前述支撑部之间升降，而进行片状基板的取出和放入，其特征在于，在前述支撑部的中间位置上并列设置辅助支撑部，同时，前述机械手由在宽度方向上设置间隙、且并列设置的一对宽幅的纵向机械手支撑部构成。
用于上述本发明第一方面的片状基板的移动装载装置的贮存装置，从贮存装置的两侧向相对方向分别延伸设置支撑部，另一方面，通过使***到贮存装置的移动装载装置的机械手在前述支撑部之间升降，而进行片状基板的取出和放入，其特征在于，前述支撑部由在相对的支撑部之间设置间隙而形成的多个并列的支撑部件构成，同时，在相对的支撑部件之间，设置形成了长度方向的纵向机械手支撑部可以通过的间隙，所述长度方向的纵向机械手支撑部在机械手的升降位置上，与位于前述并列的支撑部件之间的多个宽度方向的横向机械手支撑部连结。
此种情况下，可以将前述支撑部形成相同形状，并在贮存装置的内部形成上下多个、呈阶梯形状。
而且，可以在一对宽幅的纵向机械手支撑部之间并列设置辅助纵向机械手支撑部，同时，在从贮存装置的两侧向相对方向延伸设置的支撑部中央位置上，并列设置辅助支撑部。
在支撑部的上面，可以设置直接支撑片状基板的缓冲部件。
该片状基板的移动装载装置及其贮存装置，可以在片状基板的大范围内，扩大贮存装置的支撑部或移动装载装置的机械手支撑部对片状基板的支撑，通过减少大型片状基板因其自重而产生的弯曲量，可以防止由弯曲应力而导致的片状基板的变形或破损等。
特别是，由于移动装载装置的机械手是由在宽度方向上设置间隙、且并列设置的一对纵向机械手支撑部构成的，因此，即使机械手的厚度形成的很薄，也可以提高机械手的刚性，从而，可以通过减少机械手的***空间来增大贮存装置在单位容量贮存片状基板的张数。
而且，通过形成相同形状的前述支撑部并在贮存装置的内部以上下多个、呈阶梯形状地配设，从而可以在盒子中贮存多个玻璃基板。
并且，通过并列设置辅助纵向机械手支撑部和辅助支撑部等，可以处理更大型的片状基板。
在支撑部的上面设置直接支撑片状基板的缓冲部件，可以使片状基板的移交顺利进行。
附图说明
图1是表示本发明的片状基板的移动装载装置的第一实施例的图，(a)是省略顶板的平面图，(b)是正视图。
图2是表示同一实施例的片状基板的移动装载装置的轴测图。
图3是表示本发明的片状基板的移动装载装置的第二实施例的图，(a)是省略顶板的平面图，(b)是正视图。
图4是表示通过本发明的片状基板的移动装载装置的第三实施例的移动装载装置向盒子主体进行移动装载的状态的图，(a)是省略顶板的平面图，(b)是正视图，(c)是机械手的纵向机械手支撑部的侧视图。
图5是表示通过同一移动装载装置向台座进行移动装载的状态的图，(a)是其平面图，(b)是其正视图。
图6是表示通过本发明的片状基板的移动装载装置的第四实施例的移动装载装置向台座进行移动装载的状态的图，(a)是其平面图，(b)是其正视图。
图7是表示通过本发明的片状基板的移动装载装置的第五实施例的移动装载装置向盒子主体进行移动装载的状态的、省略了顶板的平面图。
图8是表示通过同一移动装载装置向台座进行移动装载的状态的平面图。
图9是表示现有的片状基板的移动装载装置的图，(a)是省略顶板的平面图，(b)是正视图，(c)是表示机械手的宽度方向尺寸与玻璃基板弯曲之间的关系的说明图。
图10是表示现有的大型片状基板的移动装载装置的图，(a)是省略顶板的平面图，(b)是正视图，(c)是表示机械手的宽度方向尺寸与玻璃基板弯曲之间的关系的说明图。
具体实施方式
下面，根据图纸，以玻璃基板为移动装载对象为例来介绍本发明的片状基板的移动装载装置及其贮存装置。
图1～图2表示本发明第一实施例的片状基板的移动装载装置及其贮存装置。
该片状基板的移动装载装置是与其他的移动装载装置配合使用的的装置，其结构是，从作为贮存装置的箱形的盒子主体1的左右两侧壁2a、2b向相对方向分别延伸设置多个并列的支撑部件3a、3b，同时，使***到盒子主体1的移动装载装置40的机械手4，在支撑部件3a、3b之间升降，从而进行玻璃基板5的取出和放入。
而且，象本实施例这样的片状基板的移动装载装置，在相对前述玻璃基板5的支撑部件3a、3b的支撑部件3a、3b之间设定形成规定的间隙7，同时，前述机械手4由：在机械手4的升降位置上，位于前述并列的支撑部件3a或支撑部件3b之间的多个宽度方向的横向机械手支撑部41；和位于前述相对的支撑部件3a、3b之间，连结前述横向机械手支撑部41的长度方向的纵向机械手支撑部42构成。
而且，该片状基板的移动装载装置，形成相同形状的前述支撑部件3a、3b，且在盒子主体1的内部以上下多个、呈梯子形状配设。
如图1(a)所示，为了水平支撑一张玻璃基板5，支撑部件3a、3b被设置在同一平面上，为了使左右侧壁2a、2b的支撑部3a、3b处于进深方向的相同位置，五个支撑部件3a、3b被分别并列地配设在左右侧壁2a、2b上。
并且，左右两侧壁2a、2b的支撑部件3a、3b分别水平地延伸设置到盒子主体1的宽度方向的中央附近。
另外，如图1(b)所示，在支撑部件3a、3b的上部，设置了直接支撑玻璃基板5的、例如用合成橡胶等弹性材料做成的凸起状(或者凸条状)的缓冲部件6，虽然本实施例中左右一对的支撑部件3a、3b仅支撑着玻璃基板5中央附近的两个点和端部附近的两个点这四个点，但也可以支撑六个点以上。
如此，延长到该盒子主体1的宽度方向中央附近的支撑部件3a、3b，能够减少由于玻璃基板5的自重而产生的弯曲量，从而，可以防止因贮存时的弯曲应力而导致玻璃基板5破损。
为了水平地移动装载玻璃基板5，机械手4的横向机械手支撑部41与纵向机械手支撑部42被一体设置在同一平面上，并且，这些横向机械手支撑部41和纵向机械手支撑部42被设置在机械手4的升降位置上并与支撑部件3a、3b不发生干涉的位置上。
横向机械手支撑部41由从盒子主体1的宽度方向中央部到左右侧壁2a、2b附近分别延伸设置的板状物构成。
纵向机械手支撑部42由在盒子主体1的宽度方向中央部，连结上述多个横向机械手支撑部41的长尺寸的板状物构成。
由于机械手4具备这样的横向机械手机械手支撑部41和纵向机械手支撑部42，所以，减少了大型玻璃基板5因其自重而产生的弯曲量，从而可以防止因移动装载或运送时的弯曲应力而导致玻璃基板5破损。
而且，如图1所示，由于本实施例的片状基板的移动装载装置，在相对支撑玻璃基板5的支撑部件3a、3b的支撑部件3a、3b之间设置形成规定的间隙7，同时，前述机械手4由配设在机械手4的***位置上，位于并列的支撑部件3a或支撑部件3b之间的多个横向机械手支撑部41；与配设在前述相对的支撑部件3a、3b之间，连结前述横向机械手支撑部41的纵向机械手支撑部42构成，所以能够将前述支撑部件3a、3b延伸设置到玻璃基板5的中央部附近，从而，通过减少大型玻璃基板5因其自重而产生的弯曲量，能够防止因收容、贮存时的弯曲应力而导致玻璃基板5破损。
由于移动装载装置的机械手4是由：通过在机械手4的***位置上，配设在并列的支撑部件3a或支撑部件3b之间的多个宽度方向的横向机械手支撑部41；与配设在前述相对的支撑部件3a、3b之间，连结前述横向机械手支撑部41的纵向机械手支撑部42形成的，所以能够将机械手4的宽度方向的尺寸L扩大到玻璃基板5的端部附近，从而通过减少大型玻璃基板5因其自重而产生的弯曲量，能够防止因移动装载、运送时的弯曲应力而导致玻璃基板5破损。
顺便提及，本实施例的片状基板的移动装载装置的尺寸在1200×1000毫米的程度，根据需要，可以有效地贮存并移动装载2000×1700毫米以上的液晶玻璃基板5。
接下来，参照图3来介绍本发明的片状基板的移动装载装置及其贮存装置的第二实施例。
与该第二实施例的移动装载装置相组合的片状基板的移动装载装置，与第一实施例一样，其结构是：从箱形的盒子主体1的左右侧壁2a、2b向相对方向分别延伸设置多个并列的支撑部件3a或支撑部件3b，同时，通过使***到盒子主体1的移动装载装置的机械手4在支撑部件3a、3b之间升降，从而进行玻璃基板5的取出和放入。
而且，前述玻璃基板5的支撑部件3a、3b在相对的支撑部件3a、3b之间设定形成规定的间隙7，同时，前述机械手4由：在机械手4的升降位置上，位于前述并列的支撑部件3a或支撑部件3b之间的多个宽度方向的横向机械手支撑部41；和位于前述相对的支撑部件3a、3b之间，连结前述横向机械手支撑部41的长度方向的纵向机械手支撑部42构成。
并且，形成相同形状的前述支撑部件3a、3b，并在盒子主体1的内部以上下多个、呈梯子形状配设。
如图3(a)所示，为了水平支撑玻璃基板5，支撑部件3a、3b被设置在同一平面上，为了使左右侧壁2a、2b的支撑部3a、3b处于进深方向的相同位置，分别并列地配设五个支撑部件3a、3b。
并且，左右侧壁2a、2b的支撑部件3a、3b，在相对的支撑部件3a、3b之间设有规定的间隙7，该间隙7的位置是从盒子主体1的开口部1a向进深方向左右交替偏离的。
也就是说，距开口部1a的第一号、第三号及第五号支撑部件3a、3b中，左侧壁2a的支撑部件3a做得比右侧壁2b的支撑部件3b长，同时，在第二号及第四号的支撑部件3a、3b中，右侧壁2b的支撑部件3b做得比左侧壁2a的支撑部件3a长。
而且，如图3(b)所示，与第一实施例一样，在支撑部件3a、3b的上部，设置直接支撑玻璃基板5的缓冲部件。
如此交替延长的支撑部件3a、3b，通过分散支撑部件3a、3b间的间隙7的位置，能够进一步减少因玻璃基板5的自重而产生的弯曲量，从而，能够防止因贮存时的弯曲应力导致的玻璃基板5破损。
另一方面，为了水平地移动装载玻璃基板5，机械手4的横向机械手支撑部41与纵向机械手支撑部42被一体设置在同一平面上。
横向机械手支撑部41由从盒子主体1的宽度方向中央部到左右侧壁2a、2b附近分别延伸设置的板状物构成。
纵向机械手支撑部42由在支撑部件3a、3b之间的间隙7的位置上，将上述多个横向机械手支撑部41连结成“之”字形的长度方向的板状物构成。
由于机械手4具备这样的横向机械手支撑部41、和使位置交替分离的纵向机械手支撑部42，所以能进一步减少因玻璃基板5的自重而产生的弯曲量，从而可以防止因移动装载时的弯曲应力而导致玻璃基板5破损。
图4～图5表示本发明的片状基板的移动装载装置及其贮存装置的第三实施例。
该片状基板的移动装载装置是以玻璃基板为对象，与其他的移动装载装置配合使用的的装置，其结构是，从作为贮存装置的箱形的盒子主体1的左右两侧壁2a、2b向相对方向分别延伸设置多个并列的支撑部件3a、3b，同时，使***到盒子主体1的移动装载装置(省略图)的机械手4，在支撑部件3a、3b之间升降，从而进行玻璃基板5的取出和放入。
而且，象本实施例这样的片状基板的移动装载装置，在相对玻璃基板5的支撑部件3a、3b的支撑部件3a、3b之间设定规定尺寸的间隙7，同时，前述机械手4由：在机械手4的升降位置上，能够通过前述并列的支撑部件3a或支撑部件3b的间隙的多个宽度方向的横向机械手支撑部41；和在前述相对的支撑部件3a、3b之间隔开间隔并列设置，分别连结左右的横向机械手支撑部41的宽度方向上设置间隙、且并列设置的一对纵向机械手支撑部42构成。
而且，该片状基板的移动装载装置，形成同形状的前述支撑部件3a、3b，并在盒子主体1的内部以上下多个、呈梯子形状配设。
如图4(a)所示，为了水平支撑一张玻璃基板5，支撑部件3a、3b被设置在同一平面上，为了使左右侧壁2a、2b的支撑部3a、3b处于进深方向的相同位置，五个支撑部件3a、3b被分别并列地配设在左右侧壁2a、2b上。
并且，左右两侧壁2a、2b的支撑部件3a、3b分别水平地延伸设置到盒子主体1的宽度方向的中央附近。
另外，如图4(b)所示，在支撑部件3a、3b的上面，设置了直接支撑玻璃基板5的缓冲部件6，虽然本实施例中左右一对的支撑部件3a、3b仅支撑着玻璃基板5中央附近的两个点和端部附近的两个点这四个点，但也可以支撑六个点以上。
如此，延长到该盒子主体1的宽度方向中央附近的支撑部件3a、3b，能够减少由于玻璃基板5的自重而产生的弯曲量，从而，可以防止因贮存时的弯曲应力而导致玻璃基板5产生变形或破损。
为了水平地移动装载玻璃基板5，机械手4的横向机械手支撑部41与纵向机械手支撑部42被一体设置在同一平面上，并且，这些横向机械手支撑部41和纵向机械手支撑部42被设置在机械手4的升降位置上并与支撑部件3a、3b不发生干涉的位置上。
横向机械手支撑部41由从盒子主体1的宽度方向中央部到左右侧壁2a、2b附近分别延伸设置的板状物构成。
纵向机械手支撑部42，由在宽度方向上设定规定尺寸的间隙而并列设置的一对长尺寸板构成，各个纵向机械手支撑部42，分别连结左右的横向机械手支撑部41。
由于机械手4具备这样的横向机械手机械手支撑部41和纵向机械手支撑部42，所以，减少了大型玻璃基板5因其自重而产生的弯曲量，从而可以防止因移动装载或运送时的弯曲应力而导致玻璃基板5变形或破损等。
而且，如图4所示，由于本实施例的片状基板的移动装载装置，在相对支撑玻璃基板5的支撑部件3a、3b的支撑部件3a、3b之间设置形成规定的间隙7，同时，前述机械手4由：配设在机械手4的***位置上，位于并列的支撑部件3a或支撑部件3b之间的多个横向机械手支撑部41；与配设在前述相对的支撑部件3a、3b之间，连结前述横向机械手支撑部41的纵向机械手支撑部42构成，所以能够将前述支撑部件3a、3b延伸设置到玻璃基板5的中央部附近，从而，通过减少大型玻璃基板5因其自重而产生的弯曲量，能够防止因收容、贮存时的弯曲应力而导致玻璃基板5变形或破损等。
由于移动装载装置的机械手4是通过在机械手4的***位置上，配设在并列的支撑部件3a或支撑部件3b之间的多个宽度方向的横向机械手支撑部41、与配设在前述相对的支撑部件3a、3b之间，连结前述横向机械手支撑部41的纵向机械手支撑部42而形成的，所以能够将机械手4的宽度方向的尺寸L扩大到玻璃基板5的端部附近，从而通过减少大型玻璃基板5因其自重而产生的弯曲量，能够防止因移动装载、运送时的弯曲应力而导致玻璃基板5变形或破损等。
顺便提及，本实施例的片状基板的移动装载装置的尺寸在1200×1000毫米的程度，根据需要，可以有效地贮存并移动装载2000×1700毫米以上的液晶玻璃基板5。
另外，将机械手4的纵向机械手支撑部42左右分割地形成，从而减少各纵向机械手支撑部42的负荷，提高机械手4的刚性，同时，例如象图5及图6表示的那样，也可以在中央处，竖着配置设有辅助支撑部8 1的作为贮存装置的台座8，从而进行玻璃基板5的移动装载。
此台座8是采用左右的支撑部82与中央的辅助支撑部81支撑玻璃基板5的，图6表示通过在宽度方向设置间隙而并列设置的一对宽幅(具有分别超过玻璃基板5的宽度尺寸Lo的20％的宽度方向尺寸L1)的纵向机械手支撑部43而向玻璃基板5的台座8进行移动装载的状态，正如本实施例所示的那样，将纵向支撑部43作成宽幅时，可以省略横向机械手支撑部41。
另外，如图7及图8所示，在一对宽幅的纵向机械手支撑部42之间，并列设置一个或一个以上的辅助纵向机械手支撑部42a，同时，可以在从作为贮存装置的相对盒子主体1或台座8的两侧向相对方向延伸设置的支撑部2a、2b、82的中间位置上，并列设置一个或一个以上的辅助支撑部2c、2d、81。
这样，通过并列设置辅助纵向支撑部2c、2d、81，可以处理更大的玻璃基板5。
根据以上多个实施例，对本发明的片状基板的移动装载装置进行了说明，但是，本发明不只限于上述实施例中记载的结构，各实施例中记载的结构可以适当组合(将作为贮存装置的盒子主体的结构用在台座上，反之，将台座的结构用在盒子主体上等)，在不脱离其宗旨的范围内，可以适当变更其结构，另外，在移动装载装置之间，移交片状基板的装置也不只限于盒子或台座等，而且，移动装载的对象也可以更广泛地适用于玻璃基板以外的片状基板。
应用本发明的片状基板的移动装载装置及其贮存装置，可以将贮存装置的支撑部或移动装载装置的机械手支撑部对片状基板的支撑，扩大到片状基板的更大范围内，通过减少大型片状基板因其自重而产生的弯曲量，可以防止因弯曲应力而导致的片状基板变形或破损，从而能够获得高质量的片状基板加工产品。

Claims (10)

1.一种片状基板的移动装载装置，从贮存装置的两侧向相对方向分别延伸设置支撑部，另一方面，通过使***到贮存装置的移动装载装置的机械手在前述支撑部之间升降，而进行片状基板的取出和放入，其特征在于，前述支撑部由在相对的支撑部之间设置间隙而形成的多个并列的支撑部件构成，同时，前述机械手由：在机械手的升降位置上、位于前述并列的支撑部件之间的多个宽度方向的横向机械手支撑部；和位于前述相对的支撑部件之间、连结前述横向机械手支撑部的、长度方向的纵向机械手支撑部构成。
2.如权利要求1所述的片状基板的移动装载装置，其特征在于，前述机械手可以由：在机械手的升降位置上，能够通过前述并列的支撑部的间隙的、多个宽度方向的横向机械手支撑部；和在分别连结该横向机械手支撑部的宽度方向上设置间隙、且并列设置的一对纵向机械手支撑部构成。
3.一种片状基板的移动装载装置，从贮存装置的两侧向相对方向分别延伸设置支撑部，另一方面，通过使***到贮存装置的移动装载装置的机械手在前述支撑部之间升降，而进行片状基板的取出和放入，其特征在于，在前述支撑部的中间位置上并列设置辅助支撑部，同时，前述机械手由：在机械手的升降位置上、位于前述并列的支撑部之间的多个宽度方向的横向机械手支撑部；和在分别连结该横向机械手支撑部的宽度方向上设置间隙、且并列设置的一对纵向机械手支撑部构成。
4.一种片状基板的移动装载装置，从贮存装置的两侧向相对方向分别延伸设置支撑部，另一方面，通过使***到贮存装置的移动装载装置的机械手在前述支撑部之间升降，而进行片状基板的取出和放入，其特征在于，在前述支撑部的中间位置上并列设置辅助支撑部，同时，前述机械手由在宽度方向上设置间隙、且并列设置的一对宽幅的纵向机械手支撑部构成。
5.如权利要求2、3或4所述的片状基板的移动装载装置，其特征在于，在一对宽幅的纵向机械手支撑部之间并列设置辅助纵向机械手支撑部。
6.如权利要求1～5所述的片状基板的移动装载装置，其特征在于，在支撑部的上面设置直接支撑片状基板的缓冲部件。
7.一种贮存装置，从贮存装置的两侧向相对方向分别延伸设置支撑部，另一方面，通过使***到贮存装置的移动装载装置的机械手在前述支撑部之间升降，而进行片状基板的取出和放入，其特征在于，前述支撑部由在相对的支撑部之间设置间隙而形成的多个并列的支撑部件构成，同时，在相对的支撑部件之间，设置形成了长度方向的纵向机械手支撑部可以通过的间隙，所述长度方向的纵向机械手支撑部在机械手的升降位置上，与位于前述并列的支撑部件之间的多个宽度方向的横向机械手支撑部连结。
8.如权利要求7记载的贮存装置，其特征在于，将前述支撑部形成相同形状，并在贮存装置的内部形成上下多个、呈阶梯形状。
9.如权利要求7或8记载的贮存装置，其特征在于，在从贮存装置的两侧向相对方向延伸设置的支撑部中央位置上并列设置辅助支撑部。
10.如权利要求7、8或9记载的贮存装置，其特征在于，在支撑部的上面，设置直接支撑片状基板的缓冲部件。
CNB02123387XA 2001-06-26 2002-06-25 片状基板的移动装载装置及其收存装置 Expired - Fee Related CN1288052C (zh)

Applications Claiming Priority (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001192674 2001-06-26
JP192674/2001 2001-06-26
JP2001380891 2001-12-14
JP380891/2001 2001-12-14
JP157122/2002 2002-05-30
JP2002157122A JP4328496B2 (ja) 2001-06-26 2002-05-30 枚葉基板の移載装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN1393385A true CN1393385A (zh) 2003-01-29
CN1288052C CN1288052C (zh) 2006-12-06

Family

ID=27347021

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNB02123387XA Expired - Fee Related CN1288052C (zh) 2001-06-26 2002-06-25 片状基板的移动装载装置及其收存装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US7547175B2 (zh)
JP (1) JP4328496B2 (zh)
KR (1) KR20030001327A (zh)
CN (1) CN1288052C (zh)
TW (1) TW579360B (zh)

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1326228C (zh) * 2003-05-29 2007-07-11 东京毅力科创株式会社 基板输送装置和基板输送方法及真空处理装置
CN100436083C (zh) * 2002-06-26 2008-11-26 爱斯佩克株式会社 基板支承构造及其装载装置和机械手
CN102435307A (zh) * 2011-11-09 2012-05-02 深圳市华星光电技术有限公司 Tft-lcd制程中多层uv烘烤炉的uv照度的检测方法及用于实施该方法的取片组合装置
CN102642714A (zh) * 2012-04-27 2012-08-22 深圳市华星光电技术有限公司 基板移运装置
WO2012159278A1 (zh) * 2011-05-24 2012-11-29 深圳市华星光电技术有限公司 面板传送装置及其面板支撑机构
WO2016037377A1 (zh) * 2014-09-12 2016-03-17 深圳市华星光电技术有限公司 一种多用型显示屏支撑装置
CN108604564A (zh) * 2016-01-29 2018-09-28 株式会社达谊恒 基板移载用机械手
CN113071900A (zh) * 2020-01-03 2021-07-06 显示器生产服务株式会社 基板传送装置
CN116605675A (zh) * 2022-02-15 2023-08-18 中岛田精机株式会社 取出机构、箱、移动机构、输送机构、取出方法及输送方法

Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4328496B2 (ja) * 2001-06-26 2009-09-09 株式会社日立プラントテクノロジー 枚葉基板の移載装置
WO2004061940A1 (fr) * 2003-01-03 2004-07-22 Quanta Display Inc. Cassette pour substrats
CN1787954A (zh) * 2003-06-19 2006-06-14 日商乐华股份有限公司 薄板支撑体
KR20050036037A (ko) * 2003-10-14 2005-04-20 삼성전자주식회사 기판의 운반 장치
KR20050038134A (ko) * 2003-10-21 2005-04-27 삼성전자주식회사 기판 스토킹 시스템
KR100596184B1 (ko) * 2004-12-29 2006-07-06 한국단자공업 주식회사 기판용 트레이
JP4680657B2 (ja) * 2005-04-08 2011-05-11 株式会社アルバック 基板搬送システム
KR100779118B1 (ko) * 2005-12-09 2007-11-27 주식회사 테라세미콘 평판표시장치 제조시스템
EP1829613B1 (de) * 2006-03-02 2022-03-30 Nexus Biosystems, Inc. Aufbewahrungseinheit und Transfersystem zum Aufbewahren und Bereitstellen von Biologischen proben
KR101354122B1 (ko) * 2006-08-09 2014-01-27 엘아이지에이디피 주식회사 기판 반송장치 및 그 반송방법
TWI398335B (zh) * 2006-11-27 2013-06-11 Nidec Sankyo Corp Workpiece conveying system
JP4553957B2 (ja) * 2008-06-18 2010-09-29 三菱電機株式会社 原子炉炉内核計測装置の通路選択装置
JP5317618B2 (ja) * 2008-10-06 2013-10-16 株式会社日立ハイテクノロジーズ 表示パネルモジュール組立装置及び基板搬送装置
CN102050330B (zh) * 2010-11-05 2013-02-06 深圳市华星光电技术有限公司 机械手臂及具有该机械手臂的搬运装置
US9033645B2 (en) * 2012-07-31 2015-05-19 Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. Liquid crystal panel transportation device and support arm structure with rotatable ancillary arm sections
CN102774652A (zh) * 2012-07-31 2012-11-14 深圳市华星光电技术有限公司 一种液晶面板搬运装置及其支撑臂结构
JP7003145B2 (ja) * 2017-02-27 2022-01-20 サン－ゴバン グラス フランス ２つの支持体を含む装置
CN206998968U (zh) * 2017-08-02 2018-02-13 京东方科技集团股份有限公司 机器人手臂及搬运机器人
KR101904671B1 (ko) * 2017-09-29 2018-10-04 캐논 톡키 가부시키가이샤 기판지지구조체와, 이를 포함하는 진공 증착 장치 및 증착 방법
CN110589447B (zh) * 2019-09-24 2021-09-03 苏州精濑光电有限公司 一种显示面板输送线衔接机构

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5044752A (en) * 1989-06-30 1991-09-03 General Signal Corporation Apparatus and process for positioning wafers in receiving devices
FR2656599B1 (fr) * 1989-12-29 1992-03-27 Commissariat Energie Atomique Dispositif de rangement d'objets plats dans une cassette avec rayonnages intermediaires.
US5116182A (en) * 1990-10-17 1992-05-26 Lin Bao N Automatic car parking system
JPH09107013A (ja) * 1995-10-09 1997-04-22 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板受け渡し装置
JP3659724B2 (ja) 1996-02-05 2005-06-15 三菱電機株式会社 基板搬送装置および基板搬送方法
KR19980044612U (ko) * 1996-12-27 1998-09-25 양재신 자동차용 컵 홀더
TW401582B (en) * 1997-05-15 2000-08-11 Tokyo Electorn Limtied Apparatus for and method of transferring substrates
KR19990017355A (ko) * 1997-08-22 1999-03-15 윤종용 반도체 웨이퍼 이송용 진공척
KR19990024866A (ko) * 1997-09-09 1999-04-06 김광교 반도체 제조용 베이크 유니트의 웨이퍼 이송장치
US6203617B1 (en) * 1998-03-26 2001-03-20 Tokyo Electron Limited Conveying unit and substrate processing unit
US6213704B1 (en) * 1998-05-20 2001-04-10 Applied Komatsu Technology, Inc. Method and apparatus for substrate transfer and processing
JP2001093969A (ja) 1999-09-24 2001-04-06 Advanced Display Inc 基板トレイおよび基板収納方法
KR20020027974A (ko) * 2000-10-06 2002-04-15 윤종용 적재판을 갖는 화학적 기상 증착 장치용 보트
JP4328496B2 (ja) * 2001-06-26 2009-09-09 株式会社日立プラントテクノロジー 枚葉基板の移載装置

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100436083C (zh) * 2002-06-26 2008-11-26 爱斯佩克株式会社 基板支承构造及其装载装置和机械手
CN1326228C (zh) * 2003-05-29 2007-07-11 东京毅力科创株式会社 基板输送装置和基板输送方法及真空处理装置
WO2012159278A1 (zh) * 2011-05-24 2012-11-29 深圳市华星光电技术有限公司 面板传送装置及其面板支撑机构
CN102435307A (zh) * 2011-11-09 2012-05-02 深圳市华星光电技术有限公司 Tft-lcd制程中多层uv烘烤炉的uv照度的检测方法及用于实施该方法的取片组合装置
CN102642714A (zh) * 2012-04-27 2012-08-22 深圳市华星光电技术有限公司 基板移运装置
CN102642714B (zh) * 2012-04-27 2015-02-18 深圳市华星光电技术有限公司 基板移运装置
WO2016037377A1 (zh) * 2014-09-12 2016-03-17 深圳市华星光电技术有限公司 一种多用型显示屏支撑装置
CN108604564A (zh) * 2016-01-29 2018-09-28 株式会社达谊恒 基板移载用机械手
CN108604564B (zh) * 2016-01-29 2023-04-28 株式会社达谊恒 基板移载用机械手
CN113071900A (zh) * 2020-01-03 2021-07-06 显示器生产服务株式会社 基板传送装置
CN113071900B (zh) * 2020-01-03 2022-08-26 显示器生产服务株式会社 基板传送装置
CN116605675A (zh) * 2022-02-15 2023-08-18 中岛田精机株式会社 取出机构、箱、移动机构、输送机构、取出方法及输送方法
CN116605675B (zh) * 2022-02-15 2024-02-20 中岛田精机株式会社 取出机构、取出输送***及取出移动输送***

Also Published As

Publication number Publication date
JP4328496B2 (ja) 2009-09-09
TW579360B (en) 2004-03-11
CN1288052C (zh) 2006-12-06
US7547175B2 (en) 2009-06-16
US20020197139A1 (en) 2002-12-26
JP2003243482A (ja) 2003-08-29
KR20030001327A (ko) 2003-01-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN1288052C (zh) 片状基板的移动装载装置及其收存装置
US7014415B2 (en) Substrate transfer apparatus, method for removing the substrate, and method for accommodating the substrate
CN1659096A (zh) 起重架及其使用方法
CN1787954A (zh) 薄板支撑体
CN1868827A (zh) 装载显示板的玻璃基板的玻璃盒
CN1483648A (zh) 电子部件用托架
CN1950928A (zh) 具有降低高度的衬底承载体
CN1147418C (zh) 用于集装箱起重机的吊架
CN209667459U (zh) 一种自动装盒设备
CN1733565A (zh) 隔离片以及晶圆储存盒与隔离片的组合
CN208054458U (zh) 上料装置
CN210943865U (zh) 用于载具的分离传送机构
CN1991473A (zh) 面板移载装置
CN1960820A (zh) 缆索保持装置
CN217024331U (zh) 气瓶抬升装置
CN1270948C (zh) 基板输送装置及方法
CN1614464A (zh) 液晶面板用玻璃基板的收纳盒
CN1189437A (zh) 零件供应设备
CN1895858A (zh) 机械手臂及应用此机械手臂的搬运板材的方法
CN214456229U (zh) 一种吊笼下料运输装置
CN200957950Y (zh) 面板包装单元以及面板包装组件
CN1727265A (zh) 输送装置
CN205911293U (zh) 一种石英舟
CN1636840A (zh) 用于基片的盒
CN214825000U (zh) 一种多功能防水纸托盘

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
ASS Succession or assignment of patent right

Owner name: HITACHI,LTD.

Free format text: FORMER OWNER: HITACHI PLANT TECHNOLOGIES LTD.

Effective date: 20140305

TR01 Transfer of patent right
TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20140305

Address after: Tokyo, Japan

Patentee after: Hitachi Ltd.

Patentee after: Sharp Corporation

Address before: Hyogo

Patentee before: Hitachi Plant Technologies Ltd.

Patentee before: Sharp Corporation

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20061206

Termination date: 20150625

EXPY Termination of patent right or utility model