CN108505011A - 高精密金属件表面处理用旋转挂架 - Google Patents
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Abstract
本发明公开一种高精密金属件表面处理用旋转挂架,包括旋转底盘、转杆、安装板和旋转电机,所述安装板沿周向设置于旋转底盘上方,所述旋转电机设置于旋转底盘上表面并位于安装板下方,所述转杆嵌入连接座内并与连接座安装固定,此工件架上安装有待加工的工件,所述连接座进一步包括基板、外套筒和内套筒,所述外套筒位于基板上表面,所述内套筒嵌入外套筒内,所述外套筒筒壁上开有至少一组相对设置的凹槽,所述转杆和套筒下端均开有定位通孔,一销钉穿过外套筒的凹槽、内套筒的销孔、转杆的定位通孔和套筒的定位通孔,将转杆、套筒固定于连接座内。本发明使得拆装工件的工序可以在设备运转的同时进行,大量缩短了停机时间,提高了加工的效率。
Description
技术领域
本发明涉及一种高精密金属件表面处理用旋转挂架,属于高精加工领域。
背景技术
PVD涂层技术应用在很多表面处理和薄膜材料制备方面,如模具表面硬质涂层,各种零部件表面的防护涂层,表面改性涂层,导电和透光涂层等。
真空镀膜机用于在真空中对工件镀膜,真空镀膜机包含构真空室,真空室内设置有转架装置,该转架装置可以通过驱动装置驱动转动,从而实现工件的转动。因为真空室空间有限,如何合理有效的利用真空室的空间,提高生产效率,是需要解决的问题。
发明内容
本发明目的是提供一种高精密金属件表面处理用旋转挂架,该高精密金属件表面处理用旋转挂架使得拆装工件的工序可以在设备运转的同时进行,大量缩短了停机时间,提高了加工的效率。
为达到上述目的,本发明采用的技术方案是:一种高精密金属件表面处理用旋转挂架,包括旋转底盘、转杆、安装板和旋转电机,所述安装板沿周向设置于旋转底盘上方,所述旋转电机设置于旋转底盘上表面并位于安装板下方,此旋转电机的输出轴穿过安装板并与一齿轮安装连接,所述齿轮上表面固定有一连接座,所述转杆嵌入连接座内并与连接座安装固定;
所述齿轮两侧分别设置有至少一个从动齿轮,所述齿轮与相邻的从动齿轮啮合,所述相邻的从动齿轮之间啮合,所述齿轮下表面开有一圆形槽,一轴承嵌入此圆形槽内并通过一连接座与安装板固定连接,所述从动齿轮上表面固定有所述连接座,此连接座内嵌入有所述转杆;
所述转杆外侧套装有一套筒,此套筒下端嵌入所述连接座内并与连接座安装固定,所述套筒外侧套装有若干工件架,此工件架上安装有待加工的工件;
所述连接座进一步包括基板、外套筒和内套筒,所述外套筒位于基板上表面,所述内套筒嵌入外套筒内,所述外套筒筒壁上开有至少一组相对设置的凹槽,所述内套筒的筒壁上开有至少一组与外套筒凹槽对应的销孔,所述转杆和套筒下端均开有定位通孔,一销钉穿过外套筒的凹槽、内套筒的销孔、转杆的定位通孔和套筒的定位通孔,将转杆、套筒固定于连接座内。
上述技术方案中进一步改进的方案如下:
1. 上述方案中,所述连接座的基板通过若干螺钉安装于齿轮上表面。
2. 上述方案中,所述工件架为弹簧体,此弹簧体的若干簧丝向外侧伸出形成第一凸环,所述弹簧体的若干簧丝向相背于第一凸环的一侧伸出形成第二凸环,此第一凸环、第二凸环与工件内壁接触连接。
3. 上述方案中,所述连接座上部嵌入轴承的中央定位通孔并与轴承内圈固定连接,此连接座下部嵌入安装板内并通过螺钉与安装板固定。
4. 上述方案中,所述至少一个从动齿轮的数目为2~4个。
5. 上述方案中,所述旋转底盘下方设置有一驱动机构,此驱动机构的输出端与旋转底盘下表面固定连接。
6. 上述方案中,所述相邻两块安装板之间通过设置于安装板下表面的连接板固定连接。
7. 上述方案中,还具有一顶板,此顶板外缘沿周向开有供转杆上端嵌入的定位通孔,所述转杆下端嵌入连接座内,此转杆上端穿过顶板的定位通孔,与顶板安装连接。
由于上述技术方案运用,本发明与现有技术相比具有下列优点:
1、本发明高精密金属件表面处理用旋转挂架,其通过旋转底盘的公转与转杆的自转,对安装于转杆上的工件进行镀膜加工,保证对工件镀膜的均匀性和稳定性,提高镀膜品质;其次,其齿轮两侧分别设置有至少一个从动齿轮,所述齿轮与相邻的从动齿轮啮合,所述相邻的从动齿轮之间啮合,所述齿轮下表面开有一圆形槽,一轴承嵌入此圆形槽内并通过一连接座与安装板固定连接,所述从动齿轮上表面固定有所述连接座,此连接座内嵌入有所述转杆,通过齿轮的转动,带动从动齿轮转动,从而带动从动齿轮上安装座内转杆的转动,即通过一个旋转电机同时驱动多根转杆转动,结构巧妙,且大大提高了对工件加工的效率,增加了产能,同时保证对工件表面处理的品质。
2、本发明高精密金属件表面处理用旋转挂架,其转杆外侧套装有一套筒,此套筒下端嵌入所述连接座内并与连接座安装固定,套筒的设置,可以很方便的将其从设备上拆卸,并对设置于套筒工件架上的工件进行拆卸和安装,使得拆装工件的工序可以在设备运转的同时进行,大量缩短了停机时间,提高了加工的效率;其次,其工件架为弹簧体,此弹簧体的若干簧丝向外侧伸出形成第一凸环,所述弹簧体的若干簧丝向相背于第一凸环的一侧伸出形成第二凸环,此第一凸环、第二凸环与工件内壁接触连接,弹簧体工件架的设置,结构巧妙且具有一定的弹性空间,既方便其本身的安装,又方便对工件的拆装,同时可以保护工件不受磨损伤害。
3、本发明高精密金属件表面处理用旋转挂架,其连接座进一步包括基板、外套筒和内套筒,所述外套筒位于基板上表面,所述内套筒嵌入外套筒内,所述外套筒筒壁上开有至少一组相对设置的凹槽,所述内套筒的筒壁上开有至少一组与外套筒凹槽对应的销孔,所述转杆和套筒下端均开有定位通孔,一销钉穿过外套筒的凹槽、内套筒的销孔、转杆的定位通孔和套筒的定位通孔,将转杆、套筒固定于连接座内,连接座的设置,既起到固定转杆和套筒的作用,同时保证对转杆、套筒的拆装方便,可以对坏掉的转杆进行快速更换,或者根据代加工件的尺寸更换合适尺寸的转杆、套筒,提高装置的通用性;销钉与内套筒上销孔的设置,则可以在水平和竖直方向上对转杆、套筒进行限位,防止转杆发生偏移错位等情况,保证对工件的加工品质。
附图说明
附图1为本发明高精密金属件表面处理用旋转挂架结构示意图;
附图2为本发明高精密金属件表面处理用旋转挂架局部结构分解示意图;
附图3为本发明旋转挂架中套管机构结构分解示意图;
附图4为本发明旋转挂架中齿轮机构结构分解示意图。
以上附图中:1、旋转底盘;2、转杆;3、安装板;4、旋转电机;5、驱动机构;6、连接板;7、条形定位通孔;8、安装孔;9、齿轮;10、连接座;11、基板;12、外套筒;13、内套筒;14、凹槽;15、销孔;16、定位通孔;17、销钉;18、从动齿轮;19、圆形槽;20、轴承;21、连接座;22、工件;23、顶板;24、套筒;25、工件架;251、第一凸环;252、第二凸环。
具体实施方式
下面结合附图及实施例对本发明作进一步描述:
实施例1:一种高精密金属件表面处理用旋转挂架,包括旋转底盘1、转杆2、安装板3和旋转电机4,所述安装板3沿周向设置于旋转底盘1上方,所述旋转电机4设置于旋转底盘1上表面并位于安装板3下方,此旋转电机4的输出轴8穿过安装板3并与一齿轮9安装连接,所述齿轮9上表面固定有一连接座10,所述转杆2嵌入连接座10内并与连接座10安装固定;
所述齿轮9两侧分别设置有至少一个从动齿轮18,所述齿轮9与相邻的从动齿轮18啮合,所述相邻的从动齿轮18之间啮合,所述齿轮9下表面开有一圆形槽19,一轴承20嵌入此圆形槽19内并通过一连接座21与安装板3固定连接,所述从动齿轮18上表面固定有所述连接座10,此连接座10内嵌入有所述转杆2;
所述转杆2外侧套装有一套筒24,此套筒24下端嵌入所述连接座10内并与连接座10安装固定,所述套筒24外侧套装有若干工件架25,此工件架25上安装有待加工的工件22;
所述连接座10进一步包括基板11、外套筒12和内套筒13,所述外套筒12位于基板11上表面,所述内套筒13嵌入外套筒12内,所述外套筒12筒壁上开有至少一组相对设置的凹槽14,所述内套筒13的筒壁上开有至少一组与外套筒12凹槽14对应的销孔15,所述转杆2和套筒24下端均开有定位通孔16,一销钉17穿过外套筒12的凹槽14、内套筒13的销孔15、转杆2的定位通孔16和套筒24的定位通孔16,将转杆2、套筒24固定于连接座10内。
上述连接座10的基板11通过若干螺钉安装于齿轮9上表面;上述工件架25为弹簧体,此弹簧体的若干簧丝向外侧伸出形成第一凸环251,上述弹簧体的若干簧丝向相背于第一凸环251的一侧伸出形成第二凸环252,此第一凸环251、第二凸环252与工件22内壁接触连接;
上述连接座21上部嵌入轴承20的中央定位通孔并与轴承20内圈固定连接,此连接座21下部嵌入安装板3内并通过螺钉与安装板3固定。
实施例2:一种高精密金属件表面处理用旋转挂架,包括旋转底盘1、转杆2、安装板3和旋转电机4,所述安装板3沿周向设置于旋转底盘1上方,所述旋转电机4设置于旋转底盘1上表面并位于安装板3下方,此旋转电机4的输出轴8穿过安装板3并与一齿轮9安装连接,所述齿轮9上表面固定有一连接座10,所述转杆2嵌入连接座10内并与连接座10安装固定;
所述齿轮9两侧分别设置有至少一个从动齿轮18,所述齿轮9与相邻的从动齿轮18啮合,所述相邻的从动齿轮18之间啮合,所述齿轮9下表面开有一圆形槽19,一轴承20嵌入此圆形槽19内并通过一连接座21与安装板3固定连接,所述从动齿轮18上表面固定有所述连接座10,此连接座10内嵌入有所述转杆2;
所述转杆2外侧套装有一套筒24,此套筒24下端嵌入所述连接座10内并与连接座10安装固定,所述套筒24外侧套装有若干工件架25,此工件架25上安装有待加工的工件22;
所述连接座10进一步包括基板11、外套筒12和内套筒13,所述外套筒12位于基板11上表面,所述内套筒13嵌入外套筒12内,所述外套筒12筒壁上开有至少一组相对设置的凹槽14,所述内套筒13的筒壁上开有至少一组与外套筒12凹槽14对应的销孔15,所述转杆2和套筒24下端均开有定位通孔16,一销钉17穿过外套筒12的凹槽14、内套筒13的销孔15、转杆2的定位通孔16和套筒24的定位通孔16,将转杆2、套筒24固定于连接座10内。
上述至少一个从动齿轮18的数目为3个;上述旋转底盘1下方设置有一驱动机构5,此驱动机构5的输出端与旋转底盘1下表面固定连接;
上述相邻两块安装板3之间通过设置于安装板3下表面的连接板6固定连接;还具有一顶板23,此顶板23外缘沿周向开有供转杆2上端嵌入的定位通孔,上述转杆2下端嵌入连接座10内,此转杆2上端穿过顶板23的定位通孔,与顶板23安装连接。
采用高精密金属件表面处理用旋转挂架时,通过旋转底盘的公转与转杆的自转,对安装于转杆上的工件进行镀膜加工,保证对工件镀膜的均匀性和稳定性,提高镀膜品质;其次,通过齿轮的转动,带动从动齿轮转动,从而带动从动齿轮上安装座内转杆的转动,即通过一个旋转电机同时驱动多根转杆转动,结构巧妙,且大大提高了对工件加工的效率,增加了产能,同时保证对工件表面处理的品质;再次,套筒的设置,可以很方便的将其从设备上拆卸,并对设置于套筒工件架上的工件进行拆卸和安装,使得拆装工件的工序可以在设备运转的同时进行,大量缩短了停机时间,提高了加工的效率;再次,弹簧体工件架的设置,结构巧妙且具有一定的弹性空间,既方便其本身的安装,又方便对工件的拆装,同时可以保护工件不受磨损伤害。
3、本发明高精密金属件表面处理用旋转挂架,其连接座进一步包括基板、外套筒和内套筒,所述外套筒位于基板上表面,所述内套筒嵌入外套筒内,所述外套筒筒壁上开有至少一组相对设置的凹槽,所述内套筒的筒壁上开有至少一组与外套筒凹槽对应的销孔,所述转杆和套筒下端均开有定位通孔,一销钉穿过外套筒的凹槽、内套筒的销孔、转杆的定位通孔和套筒的定位通孔,将转杆、套筒固定于连接座内,连接座的设置,既起到固定转杆和套筒的作用,同时保证对转杆、套筒的拆装方便,可以对坏掉的转杆进行快速更换,或者根据代加工件的尺寸更换合适尺寸的转杆、套筒,提高装置的通用性;销钉与内套筒上销孔的设置,则可以在水平和竖直方向上对转杆、套筒进行限位,防止转杆发生偏移错位等情况,保证对工件的加工品质。
上述实施例只为说明本发明的技术构思及特点,其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本发明的内容并据以实施,并不能以此限制本发明的保护范围。凡根据本发明精神实质所作的等效变化或修饰,都应涵盖在本发明的保护范围之内。
Claims (8)
1.一种高精密金属件表面处理用旋转挂架,其特征在于:包括旋转底盘(1)、转杆(2)、安装板(3)和旋转电机(4),所述安装板(3)沿周向设置于旋转底盘(1)上方,所述旋转电机(4)设置于旋转底盘(1)上表面并位于安装板(3)下方,此旋转电机(4)的输出轴(8)穿过安装板(3)并与一齿轮(9)安装连接,所述齿轮(9)上表面固定有一连接座(10),所述转杆(2)嵌入连接座(10)内并与连接座(10)安装固定;
所述齿轮(9)两侧分别设置有至少一个从动齿轮(18),所述齿轮(9)与相邻的从动齿轮(18)啮合,所述相邻的从动齿轮(18)之间啮合,所述齿轮(9)下表面开有一圆形槽(19),一轴承(20)嵌入此圆形槽(19)内并通过一连接座(21)与安装板(3)固定连接,所述从动齿轮(18)上表面固定有所述连接座(10),此连接座(10)内嵌入有所述转杆(2);
所述转杆(2)外侧套装有一套筒(24),此套筒(24)下端嵌入所述连接座(10)内并与连接座(10)安装固定,所述套筒(24)外侧套装有若干工件架(25),此工件架(25)上安装有待加工的工件(22);
所述连接座(10)进一步包括基板(11)、外套筒(12)和内套筒(13),所述外套筒(12)位于基板(11)上表面,所述内套筒(13)嵌入外套筒(12)内,所述外套筒(12)筒壁上开有至少一组相对设置的凹槽(14),所述内套筒(13)的筒壁上开有至少一组与外套筒(12)凹槽(14)对应的销孔(15),所述转杆(2)和套筒(24)下端均开有定位通孔(16),一销钉(17)穿过外套筒(12)的凹槽(14)、内套筒(13)的销孔(15)、转杆(2)的定位通孔(16)和套筒(24)的定位通孔(16),将转杆(2)、套筒(24)固定于连接座(10)内。
2.根据权利要求1所述的高精密金属件表面处理用旋转挂架,其特征在于:所述连接座(10)的基板(11)通过若干螺钉安装于齿轮(9)上表面。
3.根据权利要求1所述的高精密金属件表面处理用旋转挂架,其特征在于:所述工件架(25)为弹簧体,此弹簧体的若干簧丝向外侧伸出形成第一凸环(251),所述弹簧体的若干簧丝向相背于第一凸环(251)的一侧伸出形成第二凸环(252),此第一凸环(251)、第二凸环(252)与工件(22)内壁接触连接。
4.根据权利要求1所述的高精密金属件表面处理用旋转挂架,其特征在于:所述连接座(21)上部嵌入轴承(20)的中央定位通孔并与轴承(20)内圈固定连接,此连接座(21)下部嵌入安装板(3)内并通过螺钉与安装板(3)固定。
5.根据权利要求1所述的高精密金属件表面处理用旋转挂架,其特征在于:所述至少一个从动齿轮(18)的数目为2~4个。
6.根据权利要求1所述的高精密金属件表面处理用旋转挂架,其特征在于:所述旋转底盘(1)下方设置有一驱动机构(5),此驱动机构(5)的输出端与旋转底盘(1)下表面固定连接。
7.根据权利要求1所述的高精密金属件表面处理用旋转挂架,其特征在于:所述相邻两块安装板(3)之间通过设置于安装板(3)下表面的连接板(6)固定连接。
8.根据权利要求1所述的高精密金属件表面处理用旋转挂架,其特征在于:还具有一顶板(23),此顶板(23)外缘沿周向开有供转杆(2)上端嵌入的定位通孔,所述转杆(2)下端嵌入连接座(10)内,此转杆(2)上端穿过顶板(23)的定位通孔,与顶板(23)安装连接。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109714929A (zh) * | 2019-01-17 | 2019-05-03 | 浙江建设职业技术学院 | 一种智慧校园管理***用离线缓存终端及方法 |
CN114990515A (zh) * | 2022-06-28 | 2022-09-02 | 集美大学 | 一种刀具镀膜用的工装 |
EP4185783B1 (en) * | 2020-07-24 | 2024-05-29 | FOx Biosystems NV | Sputter deposition system |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN2848874Y (zh) * | 2005-11-04 | 2006-12-20 | 夏建业 | 用于真空镀膜的旋转式镀件架 |
CN201793727U (zh) * | 2010-08-03 | 2011-04-13 | 深圳市振恒昌实业有限公司 | 行星轮鼠笼式工件架 |
US20120160675A1 (en) * | 2010-12-24 | 2012-06-28 | Hon Hai Precision Industry Co., Ltd. | Loading device and sputtering device using same |
CN203569179U (zh) * | 2013-12-02 | 2014-04-30 | 上海沃家真空设备科技有限公司 | 一种真空镀膜机的转架装置 |
CN206328456U (zh) * | 2016-11-24 | 2017-07-14 | 超微中程纳米科技(苏州)有限公司 | 一种镀膜机室内旋转镀膜架 |
-
2018
- 2018-05-17 CN CN201810470975.9A patent/CN108505011B/zh active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN2848874Y (zh) * | 2005-11-04 | 2006-12-20 | 夏建业 | 用于真空镀膜的旋转式镀件架 |
CN201793727U (zh) * | 2010-08-03 | 2011-04-13 | 深圳市振恒昌实业有限公司 | 行星轮鼠笼式工件架 |
US20120160675A1 (en) * | 2010-12-24 | 2012-06-28 | Hon Hai Precision Industry Co., Ltd. | Loading device and sputtering device using same |
CN203569179U (zh) * | 2013-12-02 | 2014-04-30 | 上海沃家真空设备科技有限公司 | 一种真空镀膜机的转架装置 |
CN206328456U (zh) * | 2016-11-24 | 2017-07-14 | 超微中程纳米科技(苏州)有限公司 | 一种镀膜机室内旋转镀膜架 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109714929A (zh) * | 2019-01-17 | 2019-05-03 | 浙江建设职业技术学院 | 一种智慧校园管理***用离线缓存终端及方法 |
CN109714929B (zh) * | 2019-01-17 | 2023-06-30 | 浙江建设职业技术学院 | 一种智慧校园管理***用离线缓存终端及方法 |
EP4185783B1 (en) * | 2020-07-24 | 2024-05-29 | FOx Biosystems NV | Sputter deposition system |
CN114990515A (zh) * | 2022-06-28 | 2022-09-02 | 集美大学 | 一种刀具镀膜用的工装 |
CN114990515B (zh) * | 2022-06-28 | 2023-09-26 | 集美大学 | 一种刀具镀膜用的工装 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN108505011B (zh) | 2020-08-04 |
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PB01 | Publication | ||
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SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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TA01 | Transfer of patent application right | ||
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GR01 | Patent grant | ||
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