KR101900477B1 - 전자 소자 분류장치 - Google Patents

Abstract

전자 소자 분류장치가 개시되며, 상기 전자 소자 분류장치는 전자 소자를 픽업 또는 플레이싱 할 수 있도록 적어도 하나 이상의 스윙암을 포함하는 픽업장치; 및 상기 전자 소자가 적재되고 상기 픽업장치의 양측에 상호 마주하도록 평행으로 배치된 제1 및 제2 스테이지를 포함한다.

Description

전자 소자 분류장치{APPARATUS FOR SORTING ELECTRONIC ELEMENT}

본원은 전자 소자 분류장치에 관한 것이다.

종래의 전자 소자 분류장치는 검사 공정에서 전달되는 전자 소자들이 적재된 제1 스테이지, 제2 스테이지 및 제1 스테이지에서 제2 스테이지로 전자 소자들을 전달하는 픽업유닛을 포함하고 있다. 한편, 픽업유닛은 제1 스테이지와 제2 스테이지 간을 왕복 이동하는 스윙암, 스윙암의 말단에 구비된 픽커, 스윙암을 이동 시키는 스윙암구동기 및 제1 스테이지에 위치한 전자 소자를 픽업하여 제2 스테이지로 이동시키는 스윙암을 픽업 및 픽업 해지 위치로 상승 구동 및 하강 구동시키는 Z축 승강 구동기를 구비하고 있다.

그런데 이러한 전자 소자 분류장치는 제1스테이지 및 제2 스테이지가 지면에 대하여 수평방향으로 설치된다. 따라서, 전자 소자를 픽업하거나 픽업된 전자 소자를 플레이싱하기 위해 스윙암은 제1 스테이지에서 제2 스테이지를 향해 회전 구동을 해야 할 뿐만 아니라 승강 구동도 해야 했다. 이로 인해, 제1 스테이지에서 제2 스테이지로 전자 소자를 옮기는 과정에서 승강 구동으로 인한 시간이 부가되어 전자 소자의 분류 속도가 느려지는 문제점이 있었다. 뿐만 아니라, 스윙암의 말단에 구비된 픽커에 의해 옮겨지는 전자 소자가 스윙암의 상승 및 하강에 따라 발생하는 진동의 영향을 받을 수 있었다. 이에 따라 새로운 구조의 전자 소자 분류장치에 대한 개발 요구가 있어 왔다.

본원은 전술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 전자 소자의 분류 공정이 보다 신속하면서도 안정적으로 이루어질 수 있고, 웨이퍼 스테이지의 크기 변화에 대해 구성의 변경이나 부가 없이 높은 적용성을 가질 수 있는 전자 소자 분류장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기한 기술적 과제를 달성하기 위한 기술적 수단으로서, 본원의 제1 측면에 따른 전자 소자 분류장치는, 전자 소자를 픽업 또는 플레이싱할 수 있도록 적어도 하나 이상의 스윙암을 포함하는 픽업장치; 및 상기 전자 소자가 적재되고 상기 픽업장치의 양측에 상호 마주하도록 평행으로 배치된 제1 및 제2 스테이지를 포함할 수 있다.

또한 본원의 일 구현예에 따르면, 상기 제1 및 제2 스테이지는 지면에 대하여 수직으로 배치되며, 평면방향에 대하여 이동하는 것을 포함할 수 있다.

또한 본원의 일 구현예에 따르면, 상기 픽업장치는, 회전축을 갖는 구동부 및 상기 회전축을 중심으로 반경 방향으로 연장되는 하나 이상의 스윙암; 상기 스윙암의 단부에 구비되어 상기 스윙암의 회전에 따라 상기 제1 스테이지로부터 전자 소자를 픽업하거나 상기 제2 스테이지에 전자 소자를 플레이싱하는 구동유닛을 포함하며, 상기 구동유닛은 상기 스윙암의 연장방향을 따라 구동될 수 있다.

전술한 본원의 과제 해결 수단에 의하면, 제1 스테이지 및 제2 스테이지가 하나 이상의 스윙암을 포함하는 픽업장치의 양측에서 상호 마주하도록 평행으로 배치됨으로써, 전자 소자의 분류 공정이 보다 간명하면서도 안정적으로 이루어질 수 있고, 웨이퍼 스테이지의 크기 변화에 대해 구성의 변경이나 부가 없이 높은 적용성을 가질 수 있는 전자 소자 분류장치가 제공될 수 있다. 또한, 전술한 본원의 과제 해결 수단에 의하면, 스윙암 자체에 전자 소자를 픽업 또는 플레이싱하도록 구동될 수 있는 구동유닛이 구비됨으로써, 복수의 스윙암이 제작 오차에 따라 미세하게 서로 다른 길이를 갖거나, 장치 구동 중 미세 변형이 생겨 서로 길이가 달라지더라도, 구동유닛을 스윙암의 연장 방향으로 조절하여 스윙암의 길이를 원하는 기준 길이로 일정하게 유지시킬 수 있어, 보다 정확하게 전자 소자를 픽업하고 플레이싱할 수 있다.

도 1은 본원의 일 실시예에 따른 전자 소자 분류장치의 개략적인 정면도이다.
도 2는 본원의 일 실시예에 따른 전자 소자 분류장치의 개략적인 사시도이다.
도 3은 도 1의 II-II선을 따라 절개한 개략적인 단면도이다.
도 4는 도 1의 전자 소자 분류장치에 캠부를 설치한 개략적인 정면도이다.

아래에서는 첨부한 도면을 참조하여 본원이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본원의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본원은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본원을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.

본원 명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 "전기적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다.

본원 명세서 전체에서, 어떤 부재가 다른 부재 “상에” 위치하고 있다고 할 때, 이는 어떤 부재가 다른 부재에 접해 있는 경우뿐 아니라 두 부재 사이에 또 다른 부재가 존재하는 경우도 포함한다.

본원 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. 본원 명세서 전체에서 사용되는 정도의 용어 "약", "실질적으로" 등은 언급된 의미에 고유한 제조 및 물질 허용오차가 제시될 때 그 수치에서 또는 그 수치에 근접한 의미로 사용되고, 본원의 이해를 돕기 위해 정확하거나 절대적인 수치가 언급된 개시 내용을 비양심적인 침해자가 부당하게 이용하는 것을 방지하기 위해 사용된다. 본원 명세서 전체에서 사용되는 정도의 용어 "~(하는) 단계" 또는 "~의 단계"는 "~ 를 위한 단계"를 의미하지 않는다.

본원 명세서 전체에서, 마쿠시 형식의 표현에 포함된 “이들의 조합”의 용어는 마쿠시 형식의 표현에 기재된 구성 요소들로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상의 혼합 또는 조합을 의미하는 것으로서, 상기 구성 요소들로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상을 포함하는 것을 의미한다.

참고로, 본원의 실시예에 관한 설명 중 방향이나 위치와 관련된 용어(상측, 좌측, 우측, 후방 등)는 도면에 나타나 있는 각 구성의 배치 상태를 기준으로 설정한 것이다. 예를 들어 도 1에서 보았을 때 위쪽이 상측, 왼쪽이 좌측, 오른쪽이 우측, 뒤쪽이 후방 등이 될 수 있다.

본원은 전자 소자 분류장치에 관한 것이다. 참고로, 전자 소자 분류장치에 의해 분류되는 전자 소자는 LED(Light Emitting Diode)일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니며, LCD(Liquid Crystal Display), OLED(Organic Light Emitting Display), 반도체, 솔라셀(Solar Cell) 등이 될 수 있다.

이하에서는 본원의 일 실시예에 따른 전자 소자 분류장치(이하 '본 전자 소자 분류장치'라 함)에 대해 설명한다.

도 1은 본원의 일 실시예에 따른 전자 소자 분류장치의 개략적인 정면도이고, 도 2는 본원의 일 실시예에 따른 전자 소자 분류장치의 개략적인 사시도이며, 도 3은 도 1의 II-II선을 따라 절개한 개략적인 단면도이고, 도 4는 도 1의 전자 소자 분류장치에 캠부를 설치한 개략적인 정면도이다.

본 전자 소자 분류장치는 제1 스테이지(10) 및 제2 스테이지(20)를 포함한다.

제1 스테이지(10) 및 제2 스테이지(20)는 후술할 픽업장치(50)의 양측에 상호 마주하도록 평행으로 배치된다.

여기에서, 제1 스테이지(10)에는 전자 소자가 적재된다. 제1 스테이지(10)에 적재된 전자 소자는 후술할 픽업 장치(50)를 통해 제2 스테이지(20)로 옮겨질 수 있다.

또한, 제1 스테이지(10)는 수직으로 배치된다. 여기서 도 1 및 도 2를 참조하면, 수직으로 배치된다는 것은 전자 소자가 적재되는 스테이지의 법선이 대략 수평 방향을 향하도록 제1 스테이지(10)가 세워진 상태로 배치됨을 의미한다.

아울러, 수직으로 배치되어 있는 제1 스테이지(10)는 전자 소자의 적재를 위해 부착적재부(도면에는 도시되지 않음)를 구비할 수 있다. 이러한 부착적재부는 접착 물질을 통해 전자 소자를 적재할 수 있다. 다만, 전자 소자의 적재 수단은 접착 물질이 포함된 부착적재부에 한정되는 것은 아니다.

또한, 제1 스테이지(10)는 평면 방향에 대하여 전 방향으로 이동이 가능하다. 예시적으로 제1 스테이지(10)는 전자 소자가 적재되는 스테이지에 대한 평면 방향(도 1에서 보았을 때 상하전후 방향을 따라 형성되는 평면 방향)으로 직선 이동 및 회전 이동할 수 있다.

또한, 제2 스테이지(20)에는 전자 소자가 적재된다. 제2 스테이지(20)에는 제1 스테이지(10)로부터 전달된 전자 소자가 적재될 수 있다. 제2 스테이지(20)와 상술한 제1 스테이지(10)는 후술할 픽업장치(50)를 통해 다양한 용도로 사용될 수 있다. 예를 들어, 제1 스테이지(10)에서 적재된 전자 소자가 제2 스테이지(20)로 옮겨짐으로써 전자 소자가 분류될 수 있고, 제1 스테이지(10)에서 분류된 전자 소자가 제2 스테이지(20)에서 적재됨으로써 분류된 전자 소자가 종류별로 적재될 수 있다.

또한, 제2 스테이지(20)는 수직으로 배치된다. 제1 스테이지(10)와 제2 스테이지(20)는 픽업장치(50)의 양측에 평행으로 배치될 수 있다. 아울러, 수직으로 배치되어 있는 제2 스테이지(20)는 전자 소자의 적재를 위해 부착적재부(도면에는 도시되지 않음)를 구비할 수 있다. 이러한 부착적재부는 접착 물질을 통해 전자 소자를 적재할 수 있다. 다만, 전자 소자의 적재 수단은 접착 물질이 포함된 부착적재부에 한정되는 것은 아니다.

또한, 제2 스테이지(20)는 평면 방향에 대하여 전 방향으로 이동이 가능하다. 예시적으로 제2 스테이지(20)는 전자 소자가 적재되는 스테이지에 대한 평면 방향(도 1에서 보았을 때 상하전후 방향을 따라 형성되는 평면 방향)으로 직선 이동 및 회전 이동할 수 있다.

전술한 바와 같이, 종래의 전자 소자 분류장치는 스테이지가 지면에 대하여 수평방향으로 설치되어 있기 때문에, 전자 소자를 픽업하거나 픽업된 전자 소자를 플레이싱 하기 위해 스윙암은 제1 스테이지에서 제2 스테이지를 향해 회전 구동을 해야 할 뿐만 아니라 승강 구동도 해야 한다. 이로 인해, 승강 구동 시간 증가에 따라 전자 소자의 분류 속도가 느려지는 문제점이 있었다. 또한, 스윙암의 말단에 구비된 픽커에 의해 옮겨지는 전자 소자가 스윙암의 상승 및 하강에 따른 승강 구동으로 인해 발생하는 진동의 영향을 받을 수 있었다.

반면에 본 전자 소자 분류장치는 제1 스테이지(10) 및 제2 스테이지(20)를 지면에 대하여 수직 방향으로 배치하기 때문에, 이에 따라 스윙암(51)은 승강 구동이 불필요해지므로 전자 소자의 분류 공정이 보다 신속하면서도 안정적으로 진행되어 생산성을 향상시킬 수 있다.

또한, 본 전자 소자 분류장치는 픽업장치(50)를 포함한다.

픽업장치(50)는 전자 소자를 픽업 또는 플레이싱 할 수 있도록 적어도 하나 이상의 스윙암(51)을 포함한다.

픽업장치(50)는 회전축(55)을 갖는 구동부(57) 및 회전축(55)을 중심으로 반경 방향으로 연장되는 하나 이상의 스윙암(51), 스윙암(51)의 단부에 구비되어 스윙암(51)의 회전에 따라 제1 스테이지(10)로부터 전자 소자를 픽업하거나 상기 제2 스테이지(20)에 전자 소자를 플레이싱하는 구동유닛(53)을 구비한다.

픽업장치(50)는 서로 마주보고 배치된 제1 스테이지(10) 및 제2 스테이지(20) 사이에 구비되어 제1 스테이지(10)에서 제2 스테이지(20)로 전자 소자를 옮길 수 있다. 이 때, 픽업장치(50)는 제1 스테이지(10)에서 적재된 전자 소자를 분류하면서 제2 스테이지(20)로 옮길 수 있지만, 단순히 제1 스테이지(10)에서 분류된 전자 소자를 제2 스테이지(20)로 옮길 수도 있다. 이와 같이 픽업장치(50)가 제1 스테이지(10)에서 제2 스테이지(20)로 전자 소자를 옮기는 일은 다양한 목적 및 기능을 가지고 행해질 수 있다.

그리고 픽업장치(50)는 회전축(55)을 중심으로 반경 방향으로 연장된 하나 이상의 스윙암(51)에 의해 제1 스테이지(10)에서 제2 스테이지(20)로 전자 소자를 옮길 수 있다. 이 때, 스윙암(51)의 단부에 구비된 구동유닛(53)의 흡입부(54)에 의해 전자 소자를 옮길 수 있다. 예시적으로, 흡입부(54)는 진공 흡입으로 전자 소자를 제1 스테이지(10)에서 제2 스테이지(20)로 옮길 수 있다. 이와 같이, 진공 흡입을 통해 전자 소자를 옮기기 때문에 전자 소자의 파손을 최소화할 수 있다. 전자 소자를 옮기는 흡입부(54)의 진공 흡입의 동력은 가스일 수 있다. 이러한 가스 동력은 가스 공급부(90)를 통해 제공 받을 수 있다.

또한 구동유닛(53)은 스윙암(51)의 연장 방향을 따라 구동된다. 구동유닛(53)이 스윙암(51)의 연장 방향을 따라 구동된다는 것은 예시적으로, 이는 구동유닛(53)의 흡입부(54)가 스윙암(51)의 연장 방향으로 스윙암(51)의 내측 및 외측을 향해 이동하는 것을 의미할 수 있다.

이러한 구동유닛(53)을 통해, 스윙암(51)은 제1 스테이지(10)에서 전자 소자를 픽업할 수 있고 제2 스테이지(20)에서 전자 소자를 플레이싱할 수 있다.

예를 들어, 스윙암(51)이 제1 스테이지(10)에 위치하게 되면, 스윙암(51)의 단부에 구비된 구동유닛(53)이 스윙암(51)의 연장 방향을 따라 제1 스테이지(10)를 향해 구동되어 제1 스테이지(10)에 적재된 전자 소자를 픽업할 수 있다. 마찬가지로 전자 소자를 픽업한 스윙암(51)이 제2 스테이지(20)에 위치하게 되면, 스윙암(51)의 단부에 구비된 구동유닛(53)이 스윙암(51)의 연장 방향을 따라 제2 스테이지(20)를 향해 구동되어 제2 스테이지(20)에 전자 소자를 플레이싱할 수 있다.

또한, 이러한 구동을 하는 구동유닛(53)을 구비함으로써, 본 전자 소자 분류장치는 복수의 스윙암(51)이 제작 오차에 따라 미세하게 서로 다른 길이를 갖거나, 장치 구동 중 미세 변형이 생겨 서로 길이가 달라지더라도, 구동유닛(53)을 스윙암(51)의 연장 방향으로 조절하여 복수의 스윙암(51)의 길이를 제작자 및 사용자가 의도한 기준 길이로 맞출 수 있다.

이는 복수의 스윙암(51) 뿐만 아니라 하나의 스윙암(51)만 구비된 경우에도 해당될 수 있다. 하나의 스윙암(51)의 길이가 제작자 및 사용자가 의도한 기준 길이와 다르다면, 구동유닛(53)의 구동을 통해 스윙암(51)의 길이를 조절할 수 있다.

전술한 바와 같이, 종래의 전자 소자 분류장치는 지면에 대하여 수평 방향으로 설치된 제1 스테이지, 제2 스테이지 및 상하 방향으로 승강 구동하는 스윙암에 의해 전자 소자가 옮겨졌다. 이러한 종래의 기술은 제1스테이지 및 제2 스테이지가 지면에 대하여 수평방향으로 설치되었기 때문에, 웨이퍼스테이지의 크기 변화에 따라 스윙암의 길이의 변화와 같은 구성의 변경이나 구성의 부가가 필요했다. 예를 들면 웨이퍼스테이지의 크기가 커지게 되면 길이가 일정한 스윙암으로는 감당할 수 없는 문제가 있었다.

반면에 본 전자 소자 분류장치는 제1 스테이지(10) 및 제2 스테이지(20)가 픽업장치(50)의 양측에서 평행하게 마주하도록 배치되기 때문에, 스테이지의 크기변화에 대해 구성의 변경이나 부가 없이 높은 적용성을 가질 수 있다.

또한, 픽업장치(50)는 구동유닛(53)의 구동 방향에 직교하는 면 방향에 대하여 구동유닛(53)이 픽업한 전자 소자의 위치를 파악할 수 있는 제1 비젼부(60)를 포함할 수 있다.

구동유닛(53)이 픽업한 전자 소자의 위치는 다음을 의미할 수 있다. 예를 들어, 구동유닛(53)의 흡입부(54)의 흡입구가 전자 소자를 픽업할 때 미세한 오차 등에 따라 흡입구가 전자 소자의 중앙을 흡착할 수도 있지만, 전자 소자의 모서리를 흡착할 수도 있다. 이러한 각 경우에 대하여 제1 비젼부(60)가 비젼 검사를 통해 구동유닛(53)에 흡착된 전자 소자의 위치를 파악하여 흡입구가 전자 소자의 중앙을 흡착하였는지, 전자 소자의 모서리를 흡착하였는지 알 수 있다.

아울러, 제2 스테이지(20)는 이러한 제1 비젼부(60)를 통해 파악된 구동유닛(53)이 픽업한 전자 소자의 위치에 대응하여 이동할 수 있다.

즉, 제1 비젼부(60)에 의해 구동유닛(53)이 픽업한 전자 소자의 위치가 파악되면, 제2 스테이지(10)는 제1 스테이지(10)에서 픽업되어 제1 비젼부(60)에서 비젼 검사를 거친 전자 소자가 제2 스테이지(20) 내의 설정된 적재 위치에 오차 없이 적재될 수 있도록, 픽업한 전자 소자의 파악된 위치에 맞추어 제2 스테이지(20)에 대한 평면 방향을 따라 이동할 수 있다.

예를 들면, 전술한 바와 같이 전자 소자가 정확하게 픽업되지 못한 경우, 즉 픽업에 있어서 미세한 오차가 발생한 경우 제1 비젼부(60)는 이러한 오차를 파악하고 제2 스테이지(20)는 파악된 오차 정보에 기반하여 전자 소자가 오차 없이 적재될 수 있도록 미세 이동을 하게 된다.

도 1에 나타난 바와 같이, 제1 비젼부(60)는 제1 스테이지(10)와 제2 스테이지(20) 사이에 구비될 수 있고, 스윙암(51)은 제1 스테이지(10), 제1 비젼부(60) 및 제2 스테이지(20)의 순으로 회전 이동될 수 있다.

즉, 스윙암(51)이 회전 이동하면서 제1 스테이지(10)를 지나 제2 스테이지(20)에 도착하기 전에 제1 비젼부(60)를 거칠 수 있고, 이러한 회전 순서에 의해 제2 스테이지(20)에 도착하기 전에 스윙암(51)의 단부에 구비된 구동유닛(53)이 픽업한 전자 소자의 위치를 미리 파악할 수 있다.

제1 비젼부(60)는 하나 이상의 스윙암(51) 중 제1 스테이지(10)와 제2 스테이지(20) 사이에 있는 스윙암(51)의 구동유닛(53)이 픽업한 전자 소자의 바닥면을 바라보도록 설치될 수 있다.

예시적으로, 도 1을 참조하면, 제1 비젼부(60)는 스윙암(51)의 회전 범위보다 상측에 설치될 수 있다. 즉, 도 1및 도 2에 나타난 바와 같이, 제1 비젼부(60)는 제1 스테이지(10) 및 제2 스테이지(20) 사이에서 픽업장치(50)의 상측에 위치할 수 있다. 이러한 위치를 통해 제1 비젼부(60)는 상측에서 구동유닛(53)이 제1 스테이지(10)에서 픽업해 온 전자 소자의 바닥면을 바라볼 수 있다.

제1 비젼부(60)는 구동유닛(53)이 픽업한 전자 소자의 바닥면을 바라보도록 설치됨으로써, 흡입부(54)에 흡착된 전자 소자를 바라볼 수 있고, 흡입구를 중심으로 흡입구에 흡착된 전자 소자의 위치를 파악할 수 있다.

또한, 픽업장치(50)는 제2 비젼부(70)를 포함할 수 있다. 제2 비젼부는(70) 구동유닛(53)의 구동 방향에 대하여 구동유닛(53)의 단부면의 위치를 파악할 수 있다. 여기에서 말하는 구동유닛(53)의 단부면의 위치라 함은 도 1에 나타난 바와 같이, 구동유닛(53)의 연장 방향에 대하여 제1 비젼부(60)를 바라보는 단부면을 의미할 수 있고, 구동유닛(53)이 전자 소자를 픽업하였을 때는, 구동유닛(53)이 픽업한 전자 소자의 상면, 즉, 구동유닛(53)이 픽업한 전자 소자와 구동유닛(53)의 접촉면을 의미할 수 있다. 또는, 구동유닛(53)의 단부면의 위치는 구동유닛(53)이 픽업한 전자 소자의 위치, 즉 구동유닛(53)이 픽업한 전자 소자의 바닥면의 위치를 의미할 수도 있다.

또한, 픽업장치(50)는 제2 비젼부(70) 를 통해 파악된 구동유닛(53)의 단부면의 위치가 미리 설정된 기준 위치와 대응되도록 구동유닛(53)의 구동 상태를 조절할 수 있다.

여기에서 말하는 미리 설정된 기준 위치는 다음과 같을 수 있다. 예를 들어, 전자 소자가 제2 스테이지(20)에 플레이싱되기 전 구동유닛(53)은 플레이싱을 위한 구동을 위해 제2 스테이지(20)와 소정의 거리를 두도록 세팅되고, 이렇게 세팅된 거리에 맞게 일정한 구동이 이루어지며 전자 소자가 플레이싱될 것이다. 즉, 이렇게 소정의 거리를 두도록 세팅된 구동유닛(53)에 픽업된 상태인 전자 소자의 위치가 미리 설정된 기준 위치가 될 수 있다.

그런데, 전술한 바와 같이, 스윙암(51)의 길이가 제작 오차 또는 미세한 변형으로 인해 달라져서 구동유닛(53)이 설정된 기준 위치에 위치하지 못 할 수 있다. 이에 따라, 구동유닛(53) 은 설정된 기준 위치로부터 구동을 시작하여 픽업한 전자 소자를 플레이싱하지 못하고, 제2 스테이지(20)에서 다소 멀거나 가까운 위치로부터 구동을 시작하여 픽업한 전자 소자를 플레이싱하게 될 수 있다. 이렇게 구동유닛(53)이 다소 가까운 위치로부터 구동을 시작하게 되면 전자 소자에 필요 이상의 압력이 가해질 수 있으며, 다소 먼 위치로부터 구동을 시작하게 되면 전자 소자가 제2 스테이지(20)에 정상적으로 적재되지 못하게 될 수도 있다.

이 때, 제2 비젼부(70)는 구동유닛(53)이 구동되는 방향에 대하여 구동유닛(53)의 단부면의 위치를 파악할 수 있고, 이에 따라, 픽업장치(50)는 구동유닛(53)이 스윙암(51)의 연장 방향을 따라 외측 및 내측을 향하도록 이동시킴으로써, 픽업장치(50)는 구동유닛(53)의 단부면의 위치가 미리 설정된 기준 위치에 대응되도록 구동유닛(53)의 구동 위치를 조절할 수 있다.

이와 같이, 픽업장치(50)는 스윙암(51)에 구비된 구동유닛(53) 각각을 구동 방향을 따라 적절히 이동시켜 미리 설정된 기준 위치와 대응하도록 셋팅할 수 있다. 예시적으로, 픽업장치(50)는 이러한 구동 위치의 셋팅을 끝낸 다음에 전자 소자의 픽업 및 플레이싱을 수행할 수 있다. 또한, 픽업장치(50)는 전자 소자의 픽업 및 플레이싱을 수행하는 동안 제2 비젼부(70)를 통해 구동유닛(53)의 단부면의 위치를 계속적으로 모니터링하여 미리 설정된 기준 위치에 맞게 수정할 수 있다.

스윙암(51)의 길이는 제작오차에 의해 달라질 수도 있지만, 반복되는 적재 또는 분류 공정에 의해 미세한 변형으로 인해 달라질 수도 있고, 계절의 변화나 일교차에 따른 온도 변화에 의해 달라질 수도 있다. 따라서, 미리 설정되는 기준 위치는 자동으로 설정될 수도 있지만, 사용자가 작업 여건을 파악하여 수동으로 설정할 수도 있다.

또는, 픽업장치(50)는 제2 비젼부(70)를 통해 파악된 구동유닛(53)의 단부면의 위치에 따라 구동유닛(53)의 구동 거리를 조절할 수 있다.

다시 말해, 픽업장치(50)는 스윙암(51)에 구비된 구동유닛(53) 각각의 단부면의 위치를 제2 비젼부(70)를 통해 파악하고, 이렇게 파악된 구동유닛(53) 각각의 단부면의 위치를 고려하여 안정적인 픽업 및 플레이싱을 하기 위해 구동유닛(53)이 구동될 최적의 거리를 산정하고 이에 따라 구동유닛(53)의 구동을 제어할 수 있다. 예시적으로, 픽업장치(50)는 이러한 구동 거리의 산정을 끝낸 다음에 전자 소자의 픽업 및 플레이싱을 수행할 수 있다. 또한, 픽업장치(50)는 전자 소자의 픽업 및 플레이싱을 수행하는 동안 제2 비젼부(70)를 통해 구동유닛(53)의 단부면의 위치를 계속적으로 모니터링하여 구동 거리의 산정값을 최적의 거리에 대응되도록 갱신할 수 있다.

예를 들어, 픽업장치(50)가 전자 소자를 픽업 및 플레이싱하는 공정을 수행하기 전에 미리 본 전자 소자 분류장치를 구동시켜서 하나 이상의 스윙암(51) 각각에 대하여 구동유닛(53)의 단부면의 위치를 파악하고, 파악된 구동유닛(53)의 단부면의 위치와 제2 스테이지(20) 사이의 거리를 산정한 후에 픽업장치(50)가 하나 이상의 스윙암(51) 각각에 대하여 산정된 거리만큼 구동유닛(53)을 구동시켜 전자 소자를 픽업 및 플레이싱하게 할 수 있다.

또는, 픽업장치(50)가 전자 소자를 픽업 및 플레이싱하는 공정을 수행하는 동안에 구동유닛(53)이 제2 스테이지(20)에 전자 소자를 플레이싱하기 위해 제2 비젼부(70)를 통과하여 제2 스테이지(20) 앞에 위치할 때, 제2 비젼부(70)는 구동유닛(53)의 단부면의 위치를 파악하고, 픽업장치(50)는 제2 비젼부(70)를 통해 파악된 구동유닛(53)의 단부면의 위치와 제2 스테이지(20) 사이의 거리를 산정하여 구동유닛(53)이 제2 스테이지(70)에 전자 소자를 플레이싱하도록 산정된 구동유닛(53)의 단부면의 위치와 제2 스테이지(20) 사이의 거리만큼 구동유닛(53)을 구동시킬 수 있다.

이때, 구동유닛(53)의 단부면의 위치와 제1 스테이지(10) 사이의 거리는 구동유닛(53)의 단부면의 위치와 제2 스테이지(20) 사이의 거리와 동일하게 산정할 수도 있다. 예시적으로, 제1 스테이지(10) 및 제2 스테이지(20)가 픽업장치(50)를 중심에 두고 서로 반대 방향으로 동일한 거리를 두고 배치되는 경우라면, 구동유닛(53)의 단부면의 위치와 제 2 스테이지(20) 사이의 거리는 구동유닛(53)의 단부면의 위치와 제1 스테이지(10) 사이의 거리와 동일할 수 있다.

또한, 전술한 구동유닛(53)이 미리 설정된 기준 위치에 대응된 후 전자 소자를 픽업 및 플레이싱하는 과정 및 구동유닛(53)이 구동유닛(53)의 단부면의 위치와 제2 스테이지(20) 사이의 거리만큼 구동되어 전자 소자를 픽업 및 플레이싱하는 과정은 하나 이상의 스윙암(51) 각각의 구동유닛(53)에 대하여 이루어질 수 있다.

하나 이상의 스윙암(51) 각각은 길이가 제작오차, 반복되는 적재 또는 분류 공정에 의한 미세한 변형, 계절의 변화나 일교차에 따른 온도 변화 등에 의해 달라질 수 있으며, 변화된 길이가 각각 다를 수 있다. 하지만, 본 전자 소자 분류장치는 제2 비젼부(70)를 구동유닛(53) 하나씩 각각 통과하게 하여 하나 이상의 스윙암(51) 각각에 대한 길이 변화를 보정하여 전자 소자를 픽업 및 플레이싱할 수 있다.

제2 비젼부(70)는 제1 스테이지(10)와 제2 스테이지(20) 사이에 구비될 수 있고, 스윙암(51)은 제1 스테이지(10), 제2 비젼부(70) 및 제2 스테이지(20)의 순으로 회전 이동된다. 즉, 스윙암(51)이 회전 이동하면서 제1 스테이지(10)를 지나 제2 스테이지(20)에 도착하기 전에 제2 비젼부(70)를 거칠 수 있고, 이러한 회전 순서에 의해 제2 스테이지(20)에 도착하기 전에 구동유닛(53)의 구동 방향에 대한 구동유닛(53)의 단부면의 위치를 미리 파악할 수 있다.

즉, 제1 스테이지(10)에서 전자 소자를 픽업한 스윙암(51)은 회전 이동하여 제2 비젼부(70)의 비젼 검사를 받는다. 제2 비젼부(70)는 이러한 비젼 검사를 통해 구동유닛(53)의 구동 방향에 대하여 구동유닛(53)의 단부면의 위치를 파악한다. 또한 이렇게 파악된 위치에 따라, 구동유닛(53)은 스윙암(51)의 연장 방향을 따라 기준 위치와 대응되도록 이동된 후, 구동하여 제2 스테이지(20)에 전자 소자를 플레이싱할 수도 있고, 산정된 구동유닛(53)의 단부면의 위치와 제2 스테이지(70) 사이의 거리만큼 구동하여 전자 소자를 플레이싱 할 수도 있다.

그리고, 제2 비젼부(70)는 하나 이상의 스윙암(51) 중 제1 스테이지(10)와 제2 스테이지(20) 사이에 있는 스윙암(51)의 구동유닛(53)의 단부의 둘레면 중 일측을 바라보도록 설치될 수 있다. 예시적으로, 도 1 및 도 2를 참조하면, 제2 비젼부(70)는 스윙암(51)의 회전 범위의 후방에 설치될 수 있다. 이러한 배치를 통해 제2 비젼부(70)는 구동유닛(53)이 픽업한 전자 소자의 위치를 파악할 수 있다.

또한, 픽업장치(50)는 스윙암(51)의 연장 방향에 직교하는 면 방향에 대하여 구동유닛(53)이 픽업한 전자 소자의 위치를 파악하는 제1 비젼부(60)를 포함하며, 스윙암(51)은 제1 스테이지(10), 제1 비젼부(60) 및 제2 스테이지(20)의 순으로 회전하고, 제1 비젼부(60)의 비젼 검사와 제2 비젼부(70)의 비젼 검사를 동시에 받을 수 있다.

도 1에 나타난 바와 같이, 제2 비젼부(70)는 제1 비젼부(60)를 향하는 구동유닛(53)의 연장 방향에 대하여 수직 방향으로 구동유닛(53)을 바라보도록 배치될 수 있다. 즉, 제1 비젼부(60)는 구동유닛(53)이 픽업한 전자 소자를 상측에서 바라보도록 배치될 수 있고, 제1 비젼부(60)에 대해 수직 방향으로 제2 비젼부(70)를 구비함으로써, 제1 비젼부(60)와 제2 비젼부(70)를 함께 구비할 수 있다. 이를 통해, 구동유닛(53)이 픽업한 전자 소자의 스윙암(51)의 연장 방향에 직교하는 면 방향에 대한 위치와 구동유닛(53)의 구동 방향에 구동유닛(53)의 단부면의 위치를 동시에 파악할 수 있다.

또한, 본 전자 소자 분류장치의 픽업장치(50)는 제어부(도면에는 도시되지 않음)를 포함할 수 있다. 제어부는 제1 비젼부(60)가 파악한 전자 소자의 위치 정보에 관한 신호를 받아 제2 스테이지(20)가 오차 없이 전자 소자를 적재할 수 있도록 제어한다. 또한, 제어부는 제2 비젼부(70)가 파악한 구동유닛(53)의 구동 연장 방향에 대한 구동유닛(53)의 단부면의 위치 정보에 관한 신호를 받아 구동유닛(53)의 구동 여부 및 구동 정도를 제어할 수 있다. 즉, 제어부는 본 전자 소자 분류장치의 다양한 기능들이 유기적으로 조합될 수 있도록 제어하는 역할을 할 수 있다.

또한, 픽업장치(50)는 구동유닛(53)을 세정하는 세정부(80)를 포함할 수 있다. 제1 스테이지(10)에서 제2 스테이지(20)로 전자 소자를 옮길 때, 전자 소자에는 접착 물질이 묻어있기 때문에, 흡입부(54)에 의해 전자 소자가 옮겨지는 동안 접착 물질이 진공 흡입을 하는 흡입부(54)의 흡입구(도면에는 도시하지 않음)를 막아 전자 소자를 옮기는 일의 효율을 저하시킬 수 있다. 또한, 접착 물질이 묻어 있는 흡입부(54)에 의해 전자 소자가 계속 옮겨지면 전자 소자의 오염도가 높아질 수 있다. 하지만, 세정부(80)를 구비함으로써, 세정부(80)가 흡입부(54)를 포함한 구동유닛(53)을 세정하게 하여 흡입구가 막히는 일을 방지하면서 전자 소자의 오염을 최대한 방지할 수 있다.

세정부(80)는 제1 스테이지(10)와 제2 스테이지(20) 사이에 구비될 수 있다. 이러한 위치를 통해, 스윙암(51)은 제2 스테이지(20), 세정부(80) 및 제1 스테이지(10) 의 순으로 회전 이동된다. 이러한 순서의 회전 이동을 통해 제1 스테이지(10)에서 전자 소자를 픽업한 구동유닛(53)은 제2 스테이지(20)에서 전자 소자를 플레이싱하고 세정부(80)를 거치면서 흡입부(54)에 묻은 접착 물질을 세정한 후 다시 제1 스테이지(10)로 돌아갈 수 있다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 세정부(80)는 스윙암(51)의 회전 범위보다 하측에 설치되는 것이 바람직할 수 있다. 하측에 설치됨으로써, 세정부(80)에서 생성될 수 있는 이물질이나 세척을 위한 물질들이 스윙암(51)에 떨어지지 않도록 할 수 있다. 따라서, 픽업장치(50)에 제1 비젼부(60)가 세정부(80)가 함께 구비될 경우에, 제1 비젼부(60)는 스윙암(51)의 회전 범위보다 상측에 위치함으로써, 세정부(80)가 스윙암(51)의 회전 범위보다 하측에 위치하게 할 수 있다.

또한, 픽업장치(50)는 제3 비젼부(도면에는 도시되지 않음)를 포함할 수 있다. 제3 비젼부는 픽업장치의 좌측과 우측에 각각 구비되어 구동유닛(53)과 제1 스테이지(10) 및 구동유닛(53)과 제2 스테이지(20) 사이의 거리를 측정할 수 있다. 이러한 제3 비젼부를 이용하여 전자 소자를 픽업 및 플레이싱하는 스윙암(51)의 길이를 설정할 수 있다.

본 전자 소자 분류장치를 예시적으로 살펴보면, 도 1및 도 2에 나타난 바와 같이, 스윙암(51)은 4개이고, 픽업장치(50)는 스윙암(51)의 연장 방향에 직교하는 면 방향에 대하여 구동유닛(53)이 픽업한 전자 소자의 위치를 파악하는 제1 비젼부(60), 구동유닛(53)의 구동 방향에 대하여 구동유닛(53)의 단부면의 위치를 파악하는 제2 비젼부(70) 및 구동유닛(53)를 세정하는 세정부(80)를 포함하며, 제1 비젼부(60) 및 세정부(80)는 4개의 스윙암 각각이 제1 스테이지(10), 제1 비젼부(60), 제2 스테이지(20) 및 세정부(80) 순으로 회전 이동될 수 있도록 배치되고, 제2 비젼부(70)는 제1 비젼부(60)의 비젼 검사와 동시에 비젼 검사가 이루어질 수 있도록 배치될 수 있다.

상술한 바와 같이 제1 비젼부(60), 제2 비젼부(70), 및 세정부(80)가 함께 구비되는 경우, 모든 스윙암(51)에서 연속적으로 공정이 진행되려면 스윙암(51)은 4개, 또는 그 이상인 것이 바람직하다. 즉, 작업 공정의 효율성 측면에서 픽업장치(50)의 스윙암(51)은 최소 4개로 구성하는 것이 바람직할 것이다. 다만, 스윙암(51)의 개수는 반드시 4개 이상인 것으로만 한정되는 것은 아니다.

또한, 구동부(57)는 회전축(55)이 장착되는 회전축 장착부 및 회전축(55)과 회전축 장착부 사이에 형성되는 가스 공급부(90)를 포함할 수 있다. 그리고 이 때, 가스 공급부(90)는 전자 소자에 대한 구동유닛(53)의 흡입력이 조절될 수 있도록 구동유닛(53)에 대한 가스 공급을 제어할 수 있다.

또한, 가스 공급부(90)는 서로 간격을 두고 회전축(55)의 둘레를 감싸는 복수의 구획부재(93)를 포함하며, 복수의 구획부재(93) 사이에는 복수의 스윙암(51) 각각의 구동유닛(51)의 흡입력이 개별적으로 조절되도록 하는 개별 가스 영역(91)이 형성될 수 있다. 개별 가스 영역(91)은 픽업장치(50)의 스윙암(51) 각각을 개별 작동할 수 있게 한다.

예를 들어, 도 1 및 도 2에 나타난 바와 같이, 픽업장치(50)가 4개의 스윙암(51)을 구비하였을 때, 하나의 스윙암(51)이 제1 스테이지(10)에 위치할 때 다른 스윙암(51) 각각은 제1 비젼부(60), 제2 스테이지(20) 및 세정부(80)에 위치할 수 있다. 이러한 경우에 전자 소자를 픽업 및 플레이싱하는 2 개의 스윙암(51)만이 공급받은 가스를 이용해 흡입부(54)를 통해 전자 소자를 픽업 및 플레이싱하고, 다른 2 개의 스윙암(51)은 가스를 공급 받을 필요가 없다. 이 때, 개별 가스 영역(91)에 의해 가스를 개별적으로 공급하여 이것을 가능하게 할 수 있다.

도 3에 나타난 바와 같이, 가스 공급부(90)는 복수의 구획부재(93)에 의해 나누어져 개별 가스 영역(91)이 확보될 수 있다. 이러한 개별 가스 영역(91) 각각은 복수의 스윙암(51) 각각에 연결되는 개별 가스 제어 라인을 포함하여 스윙암(51) 각각에 가스를 개별 공급할 수 있다. 이러한 개별 공급을 통해 스윙암(51)이 회전을 하더라도 스윙암(51) 각각으로 연결되는 가스 공급관이 회전으로 인해 꼬이지 않을 수 있다.

또한, 이러한 복수의 구획부재(93)는 오링일 수 있다. 오링은 단면이 원형으로 되어 있는 탄성재료 링이다. 다만, 구획부재(93)는 오링에 한정되는 것은 아니며, 가스 공급부를 개별 가스 영역(93)이 확보되도록 구획할 수 있고 가스가 새지 않으면서 회전축 장착부 및 회전축(55)과의 마찰을 소정 이하로 유지할 수 있는 다양한 부재일 수 있다.

또한, 구동부(57)는 캠부(59)를 포함할 수 있다. 캠부(59)는 도4에 나타난 바와 같이, 타원 경로를 형성하는 형태일 수 있다. 이러한 타원형 형태의 캠부(59)를 통해 스윙암(51)은 타원 경로를 따라 신축되며 회전 운동할 수 있다.

이러한 회전 운동을 통해 본 전자 소자 분류장치는 전자 소자를 픽업하거나 플레이싱 하지 않는 곳에서는 회전축(55)에서 벗어나 있는 스윙암(51)의 길이를 작게 하여 관성을 줄이고 진동을 방지할 수 있어 빠르고 안정적이게 작업하게 할 수 있다. 이러한 캠부(59) 는 본 전자 소자 분류장치의 관성을 줄이고 진동을 방지하도록 하는 다양한 형태 및 크기로 형성될 수 있다.

또한, 본 전자 소자 분류장치의 픽업장치(50)는 도면에 도시된 바와 같이 지면에 대하여 수직하게 배치될 수 있다. 그러나 픽업장치(50)의 배치는 여기에 한정되지 않는다. 예를 들어, 픽업장치(50)는 지면에 대하여 평행하게 배치될 수 있다. 이를테면, 스윙암(51) 및 회전축(55)은 아래쪽에 위치한 구동부(57)에 장착되어 지면에 대해 수평하게 구비될 수도 있고, 위쪽에 위치한 구동부(57)에 장착되어 지면에 대해 수평하게 구비될 수도 있다. 다시 말해, 픽업장치(50)는 배면이 연직으로 세워진 상태로 배치될 수도 있지만, 배면이 바닥을 향하거나 천장을 향하도록 배치될 수도 있다

이와 같이, 픽업장치(50)는 본 전자 소자 분류장치의 작업 환경에 따라 작업효율을 향상시킬 수 있도록 다양하게 배치될 수 있다. 그리고 전술한 바와 같이, 제1 스테이지(10) 및 제2 스테이지(20)는 이러한 픽업장치(50)의 양측에 상호 마주하도록 평행으로 배치될 수 있다.

전술한 본원의 설명은 예시를 위한 것이며, 본원이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본원의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.

본원의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본원의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.

10: 제1 스테이지 20: 제2 스테이지
50: 픽업장치 51: 스윙암
53: 구동유닛 55: 회전축
57: 구동부 59: 캠부
60: 제1 비젼부 70: 제2 비젼부
80: 세정부 90: 가스 공급부
91: 개별 가스 영역 54: 흡입부

Claims (20)

1. 전자 소자를 픽업 또는 플레이싱할 수 있도록 적어도 하나 이상의 스윙암을 포함하는 픽업장치; 및
   상기 전자 소자가 적재되고 상기 픽업장치의 양측에 상호 마주하도록 평행으로 배치된 제1 및 제2 스테이지를 포함하는 전자 소자 분류장치.
   상기 픽업장치는,
   회전축을 갖는 구동부 및 상기 회전축을 중심으로 반경 방향으로 연장되는 하나 이상의 스윙암;
   상기 스윙암의 단부에 구비되어 상기 스윙암의 회전에 따라 상기 제1 스테이지로부터 전자 소자를 픽업하거나 상기 제2 스테이지에 전자 소자를 플레이싱하는 구동유닛을 포함하며,
   상기 구동유닛은 상기 스윙암의 연장방향을 따라 구동되고,
   상기 구동부는 상기 회전축이 장착되는 회전축 장착부 및 상기 회전축과 상기 회전축 장착부 사이에 형성되는 가스 공급부를 포함하되,
   상기 가스 공급부는 전자 소자에 대한 상기 구동유닛의 흡입력이 조절될 수 있도록 상기 구동유닛에 대한 가스 공급을 제어하는 것인 전자 소자 분류장치.
2. 제1항에 있어서,
   상기 제1 및 제2 스테이지는 지면에 대하여 수직으로 배치되며, 평면방향에 대하여 이동 가능한 것인 전자 소자 분류장치.
3. 삭제
4. 제1항에 있어서,
   상기 픽업장치는 상기 구동유닛의 구동 방향에 직교하는 면 방향에 대하여 상기 구동유닛이 픽업한 전자 소자의 위치를 파악하는 제1 비젼부를 포함하는 것인 전자 소자 분류장치.
5. 제4항에 있어서,
   상기 제1 비젼부는 상기 제1 스테이지와 상기 제2 스테이지 사이에 구비되고, 상기 스윙암은 상기 제1 스테이지, 상기 제1 비젼부 및 상기 제2 스테이지의 순으로 회전 이동되는 것인 전자 소자 분류장치.
6. 제4항에 있어서,
   상기 제2 스테이지는 평면방향에 대하여 이동 가능하며, 상기 제1 비젼부를 통해 파악된 상기 구동유닛이 픽업한 전자 소자의 위치에 대응하여 이동되는 것인 전자 소자 분류장치.
7. 제4항에 있어서,
   상기 제1 비젼부는 상기 하나 이상의 스윙암 중 상기 제1 스테이지와 상기 제2 스테이지 사이에 있는 스윙암의 구동유닛이 픽업한 전자 소자의 바닥면을 바라보도록 설치되는 것인 전자 소자 분류장치.
8. 제1항에 있어서,
   상기 픽업장치는 상기 구동유닛의 구동 방향에 대하여 상기 구동유닛의 단부면의 위치를 파악하는 제2 비젼부를 포함하는 것인 전자 소자 분류장치.
9. 제8항에 있어서,
   상기 스윙암은 복수 개 구비되고,
   상기 픽업장치는 상기 제2 비젼부를 통해 파악된 상기 구동유닛의 단부면의 위치가 미리 설정된 기준 위치와 대응되도록 상기 구동유닛의 구동 위치를 조절하는 것인 전자 소자 분류장치.
10. 제8항에 있어서,
    상기 스윙암은 복수 개 구비되고,
    상기 픽업장치는 상기 제2 비젼부를 통해 파악된 상기 구동유닛의 단부면의 위치에 따라 상기 구동유닛의 구동 거리를 조절하는 것인 전자 소자 분류장치.
11. 제8항에 있어서,
    상기 제2 비젼부는 상기 제1 스테이지와 상기 제2 스테이지 사이에 구비되고, 상기 스윙암은 상기 제1 스테이지, 상기 제2 비젼부 및 상기 제2 스테이지의 순으로 회전 이동되는 것인 전자 소자 분류장치.
12. 제8항에 있어서,
    상기 제2 비젼부는 상기 하나 이상의 스윙암 중 상기 제1 스테이지와 상기 제2 스테이지 사이에 있는 스윙암의 구동유닛의 단부의 둘레면 중 일측을 바라보도록 설치되는 것인 전자 소자 분류장치.
13. 제8항에 있어서,
    상기 픽업장치는 상기 스윙암의 연장 방향에 직교하는 면 방향에 대하여 상기 구동유닛이 픽업한 전자 소자의 위치를 파악하는 제1 비젼부를 포함하며,
    상기 스윙암은 상기 제1 스테이지, 상기 제1 비젼부 및 상기 제2 스테이지의 순으로 회전하고, 상기 제1 비젼부의 비젼 검사와 상기 제2 비젼부의 비젼 검사를 동시에 받는 것인 전자 소자 분류장치.
14. 제1항에 있어서,
    상기 픽업장치는 상기 구동유닛을 세정하는 세정부를 포함하는 것인 전자 소자 분류장치.
15. 제14항에 있어서,
    상기 세정부는 상기 제1 스테이지와 상기 제2 스테이지 사이에 구비되고, 상기 스윙암은 상기 제2 스테이지, 상기 세정부 및 상기 제1 스테이지의 순으로 회전 이동되는 것인 전자 소자 분류장치.
16. 제1항에 있어서,
    상기 스윙암은 4개이고,
    상기 픽업장치는 상기 스윙암의 연장 방향에 직교하는 면 방향에 대하여 상기 구동유닛이 픽업한 전자 소자의 위치를 파악하는 제1 비젼부, 상기 구동유닛의 구동 방향에 대하여 상기 구동유닛이 픽업한 전자 소자의 위치를 파악하는 제2 비젼부 및 상기 구동유닛을 세정하는 세정부를 포함하며,
    상기 제1 비젼부 및 상기 세정부는 상기 4개의 스윙암 각각이 상기 제1 스테이지, 상기 제1 비젼부, 상기 제2 스테이지 및 상기 세정부의 순으로 회전 이동될 수 있도록 배치되고,
    상기 제2 비젼부는 상기 제1 비젼부의 비젼 검사와 동시에 비젼 검사가 이루어질 수 있도록 배치되는 것인 전자 소자 분류장치.
17. 삭제
18. 제1항에 있어서,
    상기 스윙암은 복수 개 구비되고,
    상기 가스 공급부는 서로 간격을 두고 상기 회전축의 둘레를 감싸는 복수의 구획부재를 포함하며,
    상기 복수의 구획부재의 사이에는 상기 복수의 스윙암 각각의 구동유닛의 흡입력이 개별적으로 조절되도록 하는 개별 가스 영역이 형성되는 것인 전자 소자 분류장치.
19. 제18항에 있어서,
    상기 복수의 스윙암은 상기 개별 가스 영역 각각과 연결되는 가스 제어 라인을 포함하는 전자 소자 분류장치.
20. 제1항에 있어서,
    상기 구동부는 상기 스윙암이 타원 경로를 따라 신축되며 회전 운동하도록 구비되는 캠부를 포함하는 것인 전자 소자 분류장치.

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