CN206089796U - 用于pvd加工的挂具 - Google Patents
用于pvd加工的挂具 Download PDFInfo
- Publication number
- CN206089796U CN206089796U CN201620995648.1U CN201620995648U CN206089796U CN 206089796 U CN206089796 U CN 206089796U CN 201620995648 U CN201620995648 U CN 201620995648U CN 206089796 U CN206089796 U CN 206089796U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- pipe
- hanger
- sleeve pipe
- pvd processing
- peg
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
Abstract
本实用新型公开一种用于pvd加工的挂具，包括挂杆管、固定螺丝、套管和挂件盘；所述挂件盘进一步包括外圈、内圈和若干挂钩，外圈、内圈之间通过连筋连接，所述若干挂钩沿外圈外侧面周向均匀分布；套管套装于挂杆管上，相邻挂件盘之间设置有所述套管，固定螺丝安装在挂杆管两端。本实用新型可以最大程度利用镀膜机的空间，实现一个镀膜周期产出多组产品，降低生产成本，且挂具在镀膜机内可同时自转公转，从多个方向对工件进行镀膜，有效避免出现色差、镀层厚度不均匀等现象，使得镀膜更加的稳定均匀，提高产品镀层性能。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种用于pvd加工的挂具，涉及手机pvd加工领域。
背景技术
目前，镀膜工艺广泛应用于光学、半导体等诸多领域。现有镀膜工艺通常以物理蒸镀法（PhysicsVaporDeposition，PVD）为主。其操作方法一般是将待镀膜工件洗净后置于一支撑机构上，送入镀膜机进行加热及抽真空。在待镀膜工件周围环境形成高真空状态后，加热薄膜材料，以将薄膜材料由固态转化为气态或离子态，并由蒸发源穿越空间，抵达待镀膜工件表面，在表面上沉积而逐渐形成薄膜。
然而，现有的大多数支撑机构的结构对工件放置方式限制较大，且镀膜机因高真空且高温的限制难以加装其它动力装置以驱动支撑机构在镀膜过程中带动工件移动或转动，使得在镀膜过程中，一般仅能从一个方向对工件进行镀膜，从而使得工件表面会出现色差、镀层厚度不均匀等现象，影响镀膜品质。
发明内容
本实用新型目的是提供一种用于pvd加工的挂具，该用于pvd加工的挂具可以最大程度利用真空镀膜机的空间，实现一个镀膜周期产出多组产品，降低生产成本，且挂具在镀膜机内可同时自转公转，可从多个方向对工件进行镀膜，有效避免出现色差、镀层厚度不均匀等现象，使得镀膜更加的稳定均匀，提高产品镀层性能。
为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种用于pvd加工的挂具，包括挂杆管、固定螺丝、套管和挂件盘，此套管套装于挂杆管上，相邻挂件盘之间设置有所述套管，固定螺丝安装在挂杆管两端；
所述挂件盘进一步包括外圈、内圈和若干挂钩，外圈、内圈之间通过连筋连接，所述若干挂钩沿外圈外侧面周向均匀分布。
上述技术方案中进一步改进的方案如下：
1. 上述方案中，所述挂杆管两端有螺旋状螺纹。
2. 上述方案中，所述挂钩位于连筋延伸方向。
3. 上述方案中，所述挂钩数目为8~10个。
4. 上述方案中，所述挂钩数目为9个。
由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：
1. 本实用新型用于pvd加工的挂具，可以在镀膜机内同时实现自转公转，从多个方向对工件进行镀膜，有效避免出现色差、镀层厚度不均匀等现象，使得镀膜更加的稳定均匀，提高产品镀层性能，降低生产成本。
2. 本实用新型用于pvd加工的挂具，所述挂件盘进一步包括外圈、内圈和若干挂钩，外圈、内圈之间通过连筋连接，所述若干挂钩沿外圈外侧面周向均匀分布，挂键盘可以在镀膜机内同时实现自转公转，从多个方向对工件进行镀膜，有效避免出现色差、镀层厚度不均匀等现象，使得镀膜更加的稳定均匀，提高产品镀层性能。
3. 本实用新型用于pvd加工的挂具，所述套管套装于挂杆管上，相邻挂件盘之间设置有所述套管，固定螺丝安装在挂杆管两端，一根挂杆管上可以安装多个挂件盘，实现一个镀膜周期产出多组产品，最大程度利用镀膜机的空间，降低生产成本。
附图说明
附图1为本实用新型用于pvd加工的挂具结构示意图一；
附图2为本实用新型用于pvd加工的挂具结构示意图二；
附图3为本实用新型用于pvd加工的挂具结构示意图三。
以上附图中：1、挂杆管；2、固定螺丝；3、套管；4、挂件盘；41、挂钩；42、外圈；43、内圈；44、连筋。
具体实施方式
下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述：
实施例1：一种用于pvd加工的挂具，包括挂杆管1、固定螺丝2、套管3和挂件盘4；套管3套装于挂杆管1上，相邻挂件盘4之间设置有所述套管3，固定螺丝2安装在挂杆管1两端；
所述挂件盘4进一步包括外圈42、内圈43和若干挂钩41，外圈42、内圈43之间通过连筋44连接，所述若干挂钩41沿外圈42外侧面周向均匀分布。
上述挂杆管1两端有螺旋状螺纹；所述挂钩41位于连筋44延伸方向。
上述挂钩41数目为9个；所述挂钩41数目为9个。
实施例2：一种用于pvd加工的挂具，包括挂杆管1、固定螺丝2、套管3和挂件盘4；套管3套装于挂杆管1上，相邻挂件盘4之间设置有所述套管3，固定螺丝2安装在挂杆管1两端；
所述挂件盘4进一步包括外圈42、内圈43和若干挂钩41，外圈42、内圈43之间通过连筋44连接，所述若干挂钩41沿外圈42外侧面周向均匀分布。
上述挂钩41数目为8~10个；所述挂钩41数目为9个。
采用用于pvd加工的挂具时，可以最大程度利用镀膜机的空间，实现一个镀膜周期产出多组产品，降低生产成本，且挂具在镀膜机内可同时自转公转，可从多个方向对工件进行镀膜，有效避免出现色差、镀层厚度不均匀等现象，使得镀膜更加的稳定均匀，提高产品镀层性能。
上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (5)
1.一种用于pvd加工的挂具，其特征在于：包括挂杆管（1）、固定螺丝（2）、套管（3）和挂件盘（4），此套管（3）套装于挂杆管（1）上，相邻挂件盘（4）之间设置有所述套管（3），固定螺丝（2）安装在挂杆管（1）两端；
所述挂件盘（4）进一步包括外圈（42）、内圈（43）和若干挂钩（41），外圈（42）、内圈（43）之间通过连筋（44）连接，所述若干挂钩（41）沿外圈（42）外侧面周向均匀分布。
2.根据权利要求1所述的用于pvd加工的挂具，其特征在于：所述挂杆管（1）两端有螺旋状螺纹。
3.根据权利要求1所述的用于pvd加工的挂具，其特征在于：所述挂钩（41）位于连筋（44）延伸方向。
4.根据权利要求1所述的用于pvd加工的挂具，其特征在于：所述挂钩（41）数目为8~10个。
5.根据权利要求3所述的用于pvd加工的挂具，其特征在于：所述挂钩（41）数目为9个。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201620995648.1U CN206089796U (zh) | 2016-08-30 | 2016-08-30 | 用于pvd加工的挂具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201620995648.1U CN206089796U (zh) | 2016-08-30 | 2016-08-30 | 用于pvd加工的挂具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN206089796U true CN206089796U (zh) | 2017-04-12 |
Family
ID=58477064
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201620995648.1U Expired - Fee Related CN206089796U (zh) | 2016-08-30 | 2016-08-30 | 用于pvd加工的挂具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN206089796U (zh) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109371377A (zh) * | 2018-12-15 | 2019-02-22 | 湖南玉丰真空科学技术有限公司 | 一种可调节的基片装夹机构 |
| CN110241395A (zh) * | 2019-06-03 | 2019-09-17 | 厦门阿匹斯智能制造***有限公司 | 一种立式三维挂具 |
| CN111334842A (zh) * | 2020-04-09 | 2020-06-26 | 集美大学 | 一种pvd电镀悬挂工装结构 |
| CN114395748A (zh) * | 2021-12-22 | 2022-04-26 | 西安石油大学 | 用于真空离子镀膜机的弹簧工件自动倒印装挂装置 |
| CN115505892A (zh) * | 2022-09-21 | 2022-12-23 | 嘉兴晟亚实业有限公司 | 一种气相沉积镀膜用挂具 |
-
2016
- 2016-08-30 CN CN201620995648.1U patent/CN206089796U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109371377A (zh) * | 2018-12-15 | 2019-02-22 | 湖南玉丰真空科学技术有限公司 | 一种可调节的基片装夹机构 |
| CN110241395A (zh) * | 2019-06-03 | 2019-09-17 | 厦门阿匹斯智能制造***有限公司 | 一种立式三维挂具 |
| CN110241395B (zh) * | 2019-06-03 | 2023-11-14 | 厦门阿匹斯智能制造***有限公司 | 一种立式三维挂具 |
| CN111334842A (zh) * | 2020-04-09 | 2020-06-26 | 集美大学 | 一种pvd电镀悬挂工装结构 |
| CN111334842B (zh) * | 2020-04-09 | 2021-06-18 | 厦门科瑞声科技有限公司 | 一种pvd电镀悬挂工装结构 |
| CN114395748A (zh) * | 2021-12-22 | 2022-04-26 | 西安石油大学 | 用于真空离子镀膜机的弹簧工件自动倒印装挂装置 |
| CN115505892A (zh) * | 2022-09-21 | 2022-12-23 | 嘉兴晟亚实业有限公司 | 一种气相沉积镀膜用挂具 |
| CN115505892B (zh) * | 2022-09-21 | 2024-05-24 | 嘉兴晟亚实业有限公司 | 一种气相沉积镀膜用挂具 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN206089796U (zh) | 用于pvd加工的挂具 | |
| CN204999961U (zh) | 一种多工位自动化热喷涂辅助装置 | |
| PL353922A1 (en) | Baking device for producing endless strips | |
| CN102534527A (zh) | 一种磁控溅射源及磁控溅射设备 | |
| JP2017509797A5 (zh) | ||
| CN104120389A (zh) | 镀膜设备 | |
| KR101646698B1 (ko) | 물리 증착 장비의 공자전 지그 시스템 | |
| CN105297007B (zh) | 一种立柱内孔的熔覆方法 | |
| KR20170117078A (ko) | 회전 대칭 워크피스를 유지하기 위한 자기 수단을 포함하는 고정물 | |
| CN102560432A (zh) | 一种基片承载装置及应用该装置的基片处理设备 | |
| CN207362329U (zh) | 一种用于刀具表面镀层处理的夹具机构 | |
| CN206467287U (zh) | 用于手机指纹环的真空镀膜治具 | |
| US20120128948A1 (en) | Coated article and method for manufacturing same | |
| CN108505011A (zh) | 高精密金属件表面处理用旋转挂架 | |
| CN2796861Y (zh) | 套筒类零件的涂覆卡具 | |
| CN107794506A (zh) | 用于手机指纹环的真空镀膜治具 | |
| CN107723675A (zh) | 物理气相沉积设备和物理气相沉积方法 | |
| CN109423628B (zh) | 一次性全表面气相沉积支架、气相沉积炉及其沉积方法 | |
| CN106270699B (zh) | 数控铣床专用铣刀 | |
| CN206467284U (zh) | 用于磁控溅射的载具 | |
| CN107287574A (zh) | 一种通用型基板架及其应用方法 | |
| CN104805390B (zh) | 一种深筒型电池壳体内表面制备氧化锆涂层的方法 | |
| CN104576484A (zh) | 半导体设备中的托盘结构 | |
| CN107362961A (zh) | 一种不锈钢管表面处理工艺 | |
| CN209685903U (zh) | 一种挺柱渗氮旋转架 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20170412 Termination date: 20190830 |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |