JP3553863B2 - テスト・チャンバ - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明はチャンバ内に配置された物体に熱および振動試験を行うことのできるテスト・チャンバに関する。
【0002】
【従来の技術】
シミュレートした環境において構成部品やアセンブリをテストすることが望ましいことがしばしばある。たとえば、プロトタイプの電子アセンブリをさまざまな温度、振動および衝撃負荷にさらして、アセンブリがその意図している環境で作動できるかどうかを判定する。環境テストは通常、チャンバ内の温度と湿度を変更することのできるアーゴノミック(ergonomic)・システムに結合されたテスト・チャンバ内で行われる。テスト部品のサイズは大型の航空機構成部品から、小型の半導体デバイスまでかなりの範囲で変化する。すべてのタイプのテスト部品に適合するためには、テスト・チャンバを十分大きいものとする必要がある。
【0003】
【解決しようとする課題】
大きいテスト・チャンバを使用すると、チャンバ内の空気の質量が比較的大きいものとなる。テスト部品の温度をサイクルさせる場合、空気の質量とチャンバ内部表面とが大きいと、アーゴノミック・システムによって解決しなければならない顕著な熱慣性が生じ、そのため、システムに関する作業が増え、チャンバの応答時間が限定されることとなる。テスト・チャンバの中には、テスト・チャンバの容積を少なくする隔壁を組み込んだものもある。隔壁の組立てと分解には、貴重なテスト時間が必要である。したがって、自動可変容積テスト・チャンバを提供することが望ましい。
【0004】
テスト・チャンバ内でテスト部品の温度をサイクルさせると、テスト・チャンバと部屋の間に100℃を超える温度差が生じる。大きな温度差によって、テスト・チャンバの内壁はテスト・チャンバの外壁とは異なる量で膨張または収縮する。特に、内部チャンバが零下の温度である場合、ドアの内壁はドアの外壁よりも大きく収縮する。内壁の極度の熱収縮/膨張がドアをゆがませ、チャンバとドアの間のシールを破壊することが判明している。ドアの熱サイクルがドア固定具を故障させることもある。熱サイクルを受けた場合にゆがんだり、損傷を受けたりしないテスト・チャンバ・ドアを得ることが望ましい。
【0005】
部品はテスト後に、テスト・チャンバから取り出される。テストの完了前に、テスト・チャンバを開いた場合、操作員がけがをしたり、テスト部品が損傷を受けたりすることが判明している。たとえば、操作員が高温となっているテスト・チャンバに入ると、火傷をする可能性がある。同様に、零下の温度にあるテスト・チャンバを開くと、テスト部品上またはその内部に結露が生じ、部品に損傷を与える。チャンバが操作員に「安全」な状態に達する前に、アクセス・ドアを開くことのできないテスト・チャンバ装置を提供することが望ましい。さらに、操作員がテスト・チャンバ内に閉じこめられた場合に、操作員がアクセス・ドアをチャンバの内側から開くことを可能とすることも望ましい。
【0006】
振動および衝撃負荷をかけるために、テスト部品は通常、テスト・チャンバ内に配置された振動テーブルに取り付けられる。テスト・チャンバの空間が限定されたものであるため、テスト部品をチャンバ内のテーブルに取り付けることは困難である。したがって、テスト・チャンバの外部から定位置へ引っ張ることのできる振動テーブルを提供することが望ましい。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明はチャンバの枠組み内に配置されたテスト・チャンバを有するテスト装置である。この装置はテスト・チャンバの温度を変動させることのできるコンピュータ制御のアーゴノミック・システムを含んでいる。テスト・チャンバ内には、調節可能な天井があり、これはチャンバの容積を変動させるために移動させることができる。天井の外縁の周囲には膨張シールが延びており、天井がその位置の1つに配置され、ドアが閉じられたときに、チャンバをシールする。天井と壁には複数の通気口があり、調和した空気をチャンバ内に送る。装置のドアは各々が、複数の浮動ジョイントによって外壁に結合されている内壁によって構成されている。浮動ジョイントにより、外壁またはジョイントに対応する応力を生じることなく、内壁が外壁に関して収縮または膨張することが可能となる。温度サイクリング後に、操作員がドアを早期に開くことを防止するために、テスト・チャンバが操作員に「安全」な状態に達するまで、ドアのロックを解除できないように、ドアのロックをコンピュータ制御する。コンピュータは前部ドアが開かれ、テーブルがチャンバから引き出されるまで、天井位置が調節されないようにもする。前部ドアの1つはオーバライド・ボタンを有しており、操作員がテスト・チャンバの内側からドアを開くことを可能とする。さらに、テスト装置はテスト・チャンバ外部から引き込むことのできる振動テーブルを含んでいる。テーブルはブレーキと、テーブルをテスト・チャンバの内外へ移動させたときの、テスト部品に対する望ましくない衝撃を防止するショック・アブソーバを有している。
【0008】
【発明の実施の形態】
本発明の目的および利点は以下の詳細な説明および添付図面を検討することにより、当分野の技術者に容易に明らかとなろう。
【0009】
参照番号により図面を詳細に参照すると、第1図および第1a図は本発明のテスト装置10を示している。テスト装置10はテスト・ハウジング12およびアーゴノミック・システム・コンソール14を含んでいる。ハウジング12は一対の前部ドア16と後部ドア17を有しており、これらのドアによりテスト・チャンバへ出入りする。アーゴノミック・システム14はハウジング12のテスト・チャンバ内で各種の環境テストを行うのに必要なコンピュータおよびその他の構成要素を含んでいる。たとえば、アーゴノミック・システム14はテスト・チャンバ内の温度を上昇および下降させる加熱および冷却要素を含んでいてもよい。システム14はテスト・チャンバの湿度を増加減少させる機器を有していてもよい。
【0010】
第2図に示すように、ハウジング12はテスト・チャンバ20内に配置された調節可能な天井18を有している。天井18はハウジングの床22と壁24に対して移動して、テスト・チャンバ20の容積を変動させることができる。床22は振動テーブルであってもよい。この装置はテスト部品を振動させることと、チャンバ内の温度を変動させることを同時に行うことができる。コンピュータは通常、天井18の運動を制御する。好ましい実施の形態において、天井18は前部ドアが開き、振動テーブルがチャンバから引き出されるまで移動しない。ドアとテーブルは、前部ドアが開き、テーブルがテスト・チャンバから引き出されたときに、コンピュータにフィードバック信号を与えるスイッチを有していてもよい。
【0011】
第2a図に示すように、天井18の外縁の周囲には、膨張シール26が延びている。シール26は通常、シリコーンで構成されており、加圧空気源に結合されている。シール26は天井18を移動させる前に収縮させられ、天井18が新しい位置に達し、ドア16−17が閉じられたときに膨張させられる。また、ハウジング12はシール26に対する空気流を自動的に制御するバルブ(図示せず)を有していてもよい。ドア16−17が閉じられたときに膨張し、ドア16−17が開かれたときに収縮する膨張シール(図示せず)を、ドア16−17が有していてもよい。
【0012】
第3図に示すように、天井18は多数のジャッキ・スクリュウ28を有しており、これらのスクリュウはフランジ30に取り付けられている。天井18は内ネジを有しており、このネジはジャッキ・スクリュウ28を回転させたときに、スクリュウ28と協働して天井を移動させる。第4図に示すように、ジャッキ・スクリュウ28は可逆電気モータ32によって回転する。モータ32はギヤ34−36とチェーン40および42によってスクリュウ28に結合されている。各ジャッキ・スクリュウ28は、汚染物がスクリュウ28の動作に影響を及ぼすのを防止する一対の外部可撓性ブーツ44を有していてもよい。また、各ジャッキ・スクリュウ28はスクリュウ28の端部をフランジ30に結合するベアリング46を有していてもよい。
【0013】
第5図に示すように、ハウジング12はセンサ・アセンブリ47を有しており、このアセンブリは天井が第2図に示したコーナ・シール51−53に隣接しているときにフィードバック信号を与える複数の位置センサ48−50を含んでいる。第4図および第5図を参照すると、センサ・アセンブリ47はギヤ36および41と、チェーン43によってジャッキ・スクリュウ28の1本に結合されている。フィードバック信号は通常、電気モータ32の動作とシール26の空気バルブも制御する、アーゴノミック・システム14のコンピュータに与えられる。コンソール14は操作員が天井をテスト・チャンバ内の複数の位置の1つへ遠隔移動させるのを可能とする。たとえば、第3のセンサ50は小さいチャンバに対応しており、第2のセンサ49は中間のチャンバに対応しており、第1のセンサ48は大きいチャンバの天井の位置に対応している。
【0014】
操作員が中間のチャンバを選択した場合、コンピュータはセンサ48−50のフィードバック信号に基づいて天井の現在位置を決定する。シール26は収縮し、電気モータ32が付勢されて、ジャッキ・スクリュウ28を回転させ、天井18を移動させる。天井が第2のセンサ49に達するまで、スクリュウ28の回転は継続する。天井が定置されると、第2のセンサ49がフィードバック信号をコンピュータに与え、コンピュータは電気モータ32の付勢を解除し、ドア16−17が閉じられたときに、シール26を膨張させる。
【0015】
第4a図に示すように、天井18は通常9本のダクト54を有している。ダクト54の内6本は通常、調和空気を行い、他のダクト54はテスト・チャンバからの復帰路を形成する。第2図を参照すると、ダクト54はベローズ56によってアーゴノミック・システムに結合されている。ベローズ56は天井18に対して可撓性のダクトを提供する。第5図に示すように、壁部は複数の通気口58を有している。通気口58は壁部24内に配置されているので、天井が低位置、中位置および高位置にあるときに、流体流がテスト・チャンバ内で発生することができる。通気口58はまた、隔壁(図示せず)を天井18に取り付けて、テスト・チャンバ20の容積をさらに少なくできるように配列されてもいる。
【0016】
第6図、第7図および第7a図は通気口58の好ましい実施の形態を示している。通気口58は各々が止めネジ62によってハウジング61に結合された絞り板60を有している。絞り板60と主ハウジング61は両方ともスロット63を有しており、このスロットはアーゴノミック・ダクト(図示せず)とテスト・チャンバの間の空気流を調整する。絞り板60は、止めネジ62のアレン・カップに挿入された工具64によって回転させることができる。絞り板60を回転させると、ハウジング61と板60の間のスロット63の整合が変動し、チャンバ中への流れが変動する。板60をテフロン(登録商標)のワッシャ65によってハウジング61から分離し、かつナット66および波状スプリング67によってクランプ止めすることができる。
【0017】
各通気口58はナット69とバネ70によって止めネジ62に結合されたベーン・プレート68も有している。ベーン・プレート68には、複数のベーン71が結合されている。第7a図に示すように、ベーン・プレート68は2つの個別の片によって構成されており、これらの片は重なって、ベーン71の外部タブ73を受け入れる開口72を作成する。ベーン・タブ73は各々がロール・ピン74を有しており、これらはベーン71をワッシャ75と波状スプリング76の対に押し込む。ワッシャ/スプリング・アセンブリは、開口72中へ延びているブッシング77に侵入している。波状スプリング76はベーン71の位置を維持する力を与える。各ベーンは個別に回転して、テスト・チャンバへの指向性の空気流の制御をもたらすことができる。さらに、ベーン・プレート68をハウジング61に対して回転させて、流体流の方向を変更することができる。第8図−第10図に示すように、アクセス・ドア16は各々が外壁82と内壁80を有している。壁部はドアの周囲に配置された複数の可撓性ジョイント84によって互いに接合されている。可撓性ジョイント84は各々がリベット86を含んでおり、このリベットは内壁80と内部固定部材88に接続されている。リベット86は外壁フランジ92のクリアランス・ホール90を貫通して延びている。フランジ92は内壁80および固定部材88から、一対のワッシャ部材94によって分離されている。リベット86は内壁80と固定部材88の間で外壁フランジ92を挟持し、これによって外壁82を内壁80に接続している。
【0018】
テスト・チャンバ内での温度の変化によって、内壁80は膨張または収縮する。外壁フランジ92のクリアランス・ホール90によって、内壁80が外壁82に対して移動可能となる。相対的な壁部の移動は内壁80および外壁82の歪曲、ならびにリベット86の応力を排除する。
【0019】
第11図−第13図に示すように、テスト装置は振動テーブル100を含んでいる。振動テーブル100はテーブル支持アセンブリ101に取り付けられている。テスト部品は通常、振動テーブル100に取り付けられる。振動テーブル100に操作員がもっとアクセスしやすくするために、支持アセンブリ101はテスト・チャンバから引き出されるように構成されている。サポート・アセンブリ101は複数のローラ102を有しており、これらのローラはチャンバの枠組みに取り付けられたテーブル・ベース107の一部であるスライド支持部106上に配置されている2対のテレスコープ・チャネル104内へ滑り込んでいる。スライドはテーブルがハウジングから分離するのを防止する停止部材を有している。
【0020】
支持アセンブリ101は矩形のホイール・アセンブリ108も有している。ホイール・アセンブリ108は、アセンブリ101にピボット運動可能に接続されているフォロア110を含んでいる。フォロア110は軌道114に沿って移動するローラ112を有している。フォロア110はリンク・バー118によって2つのホイール116にも接続されている。ホイール116は支持アセンブリ101にピボット運動可能に接続されている。軌道114はステップ120を有しており、このステップはテーブル100と支持アセンブリ101がテスト・チャンバから引き出されたときに、ローラ112を上方へ移動させる。スライド112の上方運動はフォロア110の時計方向回転を誘導するので、リンク・アーム118はホイール116を引き下ろす。テーブル100および支持アセンブリ101をテスト・チャンバに押し戻すと、フォロア110の反時計方向の回転と、ホイール116の対応する上方運動が生じる。
【0021】
第14図および第15図に示すように、支持アセンブリ101はチェーン・ベルト122へ結合されており、このチェーン・ベルトは接続リンク126によって一対のスプロケット124に結合されている。スプロケット124は支持ブラケット127に取り付けられており、この支持ブラケットはチャンバの枠組みに接続されている。テーブル100とアセンブリ101の運動はチェーン122をスプロケット124の周囲に回転させる。第16図に示すように、スプロケット124の1つはブレーキ128に結合されている。ブレーキ128はバネ・バイアス電子クラッチ(図示せず)を有しており、このクラッチはスプロケット124を常態的に保持し、テーブル100がブラケット127に対して運動することを防止する。第14図を参照すると、テーブルはスイッチ130を有しており、このスイッチはブレーキ128の電子クラッチに接続されている。スイッチ130はテーブル100およびアセンブリ101を移動させるために使用されるハンドル132の運動によって活動化される。ハンドル132が垂直位置にある場合、スイッチ130は開き、ブレーキ128はテーブル100およびアセンブリ101の運動を防止する。
【0022】
第17図に示すように、ハンドル132を回転させると、スイッチ130が閉じられ、ブレーキ128がはずされる。ブレーキ128がはずれることにより、スプロケット124が自由に回転し、テーブル100がベース107に対して移動することが可能となる。スイッチ130とブレーキ128は、操作員が回転したハンドル132を保持していない限り、テーブル100が移動しないという、テーブル100の安全機構を提供する。たとえば、操作員がテーブル100をテスト・チャンバへ押し込み、ハンドル132をブレーキ128をかけずに偶発的に解除した場合、テーブルはチャンバ中へ転がり込み、停止部材にぶつかって、テスト部品に望ましくない衝撃を発生することとなる。本発明のプッシュ・ハンドル132を解除した場合、ブレーキ128はテーブル100をスムーズに減速し、これによってテスト部品およびおそらくは操作員に対する損傷の可能性をなくする。
【0023】
第15図に示すように、チェーン122は一対の停止部材134および136を有しており、これらはスプロケット124に隣接して配置されている対応するショック・アブソーバ138および140に係合する。テーブル100をテスト・チャンバから引き出すと、停止部材134はショック・アブソーバ140に係合し、このショック・アブソーバはテーブル100の速度を低下させる。同様に、テーブル100をテスト・チャンバに押し戻すと、停止部材136はショック・アブソーバ138に係合して、テーブル100の速度を遅くする。
【0024】
第18図に示すように、テスト装置は自動ドア・ロック・アセンブリ150を含んでいてもよい。アクセス・ドア16−17の各々は通常、ロック・アセンブリ150を含んでいる。
【0025】
ロック・アセンブリ150はドアの頂部および底部に配置された一対のロック・ピン152を有している。ロック・ピン152はテスト・チャンバの枠組みにある対応するスロット(図示せず)に結合されて、ドアをロックする。ピン152はガイド・ブッシング154によって案内される。ガイド・ブッシング154は通常、アセタール樹脂などの低摩擦の材料によって構成されている。ロック・ピン152は一対の第1リンク・アーム156にピボット運動可能に接続されている。第1リンク・アーム156はネジ付きジョイント160によって一対の第2リンク・アーム158に結合されている。全体的なアセンブリ150の長さはネジ付きジョイント160を回転させることによって調節できる。第2リンク・アーム158はアクチュエータ168の出力軸166に結合されている回転プレート164に接続されている。アクチュエータ168は、アーゴノミック・システム14のコンピュータに接続されている制御バルブ(図示せず)によって制御される。
【0026】
好ましい実施の形態において、アクチュエータ168はバネ復帰2方向気圧シリンダであり、このシリンダはロック・ピン152をロック位置とロック解除位置の間で移動させることができる。制御バルブは通常、バネ復帰ソレノイド・バルブであり、アクチュエータへの空気の流れを制御する。ソレノイドがコンピュータによって付勢された場合、バルブが開き、アクチュエータ168はロック・ピン152をロック解除位置へ引き込む。ソレノイドの付勢を解除すると、アクチュエータ168への空気の流れを逆転させ、出力軸166およびロック・ピン152をロック位置へ押し込む。アクチュエータへの空気圧が失われた場合、内部アクチュエータ・バネが出力軸166とロック・ピン152をロック位置に維持する。
【0027】
第1図および第1a図を参照すると、アクセス・ドア16およびハウジング12は一対のライト170、172と、単一のボタン174を有している。ライトの一方170はチャンバへ入ることができないことを示す赤色の照明である。他方のライト172はチャンバへ入ることができることを示す緑色の照明である。ボタン174を押すと、チャンバに入っても安全な場合には、ドアのロックが解除される。ボタン174を押した場合、コンピュータはチャンバ内で行われていたテストを停止し、テストがどこで終了させられたのかを示すようにプログラムされている。アーゴノミック・システムは内部チャンバの温度を変更して、操作員に「安全」な状態とする。さらに、熱テストを行っている場合、チャンバには通常、チッ素が充填されている。コンピュータはチッ素をパージし、テスト・チャンバに周囲大気を充填してから、アクセス・ドアを開くことができるようにプログラムされている。テスト・チャンバを空気でパージした後、シールを収縮させ、ドアのロックを解除するように、コンピュータはプログラムされている。テスト・チャンバはドアがいつ開かれたかを検出し、フィードバック信号をコンピュータの与えて、これを示すマイクロスイッチを含んでいてもよい。
【0028】
第19図はテストを行っているときに、コンピュータおよびテスト装置によって通常実行されるルーチンの流れ図である。図示のルーチンはコンピュータ内のハードウェアまたはソフトウェアによって実行できる。処理ブロック200において、アクセス・ドアが操作員によって閉じられ、赤色のライトが点灯する。判断ブロック201−203において、ドアが閉じられているかどうかを判定するために、マイクロスイッチが感知される。前部ドア16が開いている場合、コンピュータは判断ブロック204および205において、テーブル100が引き出されているかどうか、またコンソールの天井ボタン(図示せず)が押されているかどうかを判断する。これらの条件が両方とも満たされている場合、コンピュータは処理ブロック206において、天井を移動させる。ドアが閉じられている場合には、コンピュータは処理ブロック207および208のそれぞれにおいて、ドアをロックし、シールを膨張させる。
【0029】
コンピュータは判断ブロック210において、ボタン174が操作員によって押されているかどうかを判断する。ボタンが押されていない場合には、チャンバのセンサとコンピュータにプログラムされているアルゴリズムは判断ブロック212、214および216のそれぞれにおいて、プロファイルが作動しているかどうか、チャンバが操作員に「安全」な温度であるかどうか、および危険なレベルのチッ素がチャンバ内に存在しているかどうかを判断する。判断ブロックの結果が否定である場合、コンピュータはブロック218において、緑色のライトを点灯させる。緑色のライトは操作員に対して、ドアが閉じられていても、テスト・チャンバに入っても安全であることを示す。テスト・チャンバが操作員に「安全」でない場合には、コンピュータはブロック220において、赤色のライトを点灯する。
【0030】
ボタン174が押されている場合には、コンピュータにプログラムされているアルゴリズムは判断ブロック222において、プロファイルが作動しているかどうかを判断する。ブロック224において、実行されているテストが停止され、プロファイルがコンピュータのメモリにセーブされる。コンピュータは判断ブロック226において、チャンバが所定の温度限度内にあるかどうかを判断するようにプログラムされている。テスト・チャンバの温度が許容限度外である場合には、アーゴノミック・システムは処理ブロック228において、温度を調節する。コンピュータは判断ブロック230において、チャンバに過剰なチッ素が入っているかどうかを判断し、ブロック232において、空気でチャンバをパージすることによって、テスト・チャンバ内のチッ素のレベルも制御する。
【0031】
テスト・チャンバが安全な状態に設定されると、処理ブロック234、236および238のそれぞれにおいて、緑色のライトが点灯され、シールが収縮され、ドアのロックが解除される。ドア16−17は次いで操作員によって開かれ、この事象が判断ブロック240−242において、コンピュータによって感知される。
【0032】
第20図に示すように、テスト装置はテスト・チャンバの内部から操作員がチャンバを出ることを可能とするオーバライド・ボタン250を有していてもよい。ボタン250はアクチュエータ168を切り替えて、出力軸166とロック・ピン152をロック解除位置へ移動させることのできるプランジャ252に結合されている。ボタン250はカム254によってプランジャ252に結合されており、カムはドア16にピボット運動可能に接続されている。テスト・チャンバに加圧空気や電気がない場合には、ボタン250をドアのロックを解除する手動オーバライド・アセンブリに結合してもよい。オーバライド・アセンブリはドア16にピボット運動可能に接続されたカム254と、ボタン250を含んでいる。カム254には、ロック・アセンブリの回転プレート164に結合されているチェーン256が固定されている。ボタン250をさらに押し込むと、カム254が回転し、チェーン256が引かれ、ロック・ピン152がロック解除位置へ移動する。オーバライド・アセンブリはボタン250が解除されたときにカム254を復帰させるバネ258を有している。自動ロックおよびオーバライド・システムは操作員に対するテスト装置の安全性を高める。
【0033】
いくつかの例示的な実施の形態を説明し、添付図面に示したが、このような実施の形態が範囲の広い本発明を説明するだけのものであって、限定するものではないこと、ならびに各種の他の改変形が当分野の技術者に思い浮かぶであろうから、本発明が図示説明した特定の構成および配置に限定されるものではないことを理解すべきである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のテスト装置の斜視図である。
【図1A】テスト装置の後部斜視図である。
【図2】調節可能天井を示す、テスト・チャンバの断面図である。
【図2A】天井シールの断面図である。
【図3】ジャッキ・スクリュウ・アセンブリの拡大図である。
【図4】テスト・チャンバの天井の頂部断面図である。
【図4A】調節可能天井の頂部断面図である。
【図5】テスト・チャンバの内壁の側面図である。
【図6】通気口の正面図である。
【図7】第6図の通気口の断面図である。
【図7A】通気口ベーンとタブ取付部の拡大図である。
【図8】ドアの内壁の背面図である。
【図9】ドアの外壁の背面図である。
【図10】リベット・ジョイントの拡大図である。
【図11】テーブルの断面図である。
【図12】テーブルの端面図である。
【図13】テスト・チャンバから引き出されたテーブルを示す、第11図と同様な図である。
【図14】ハンドルが垂直位置に置かれたテーブルの側面図である。
【図15】テーブルのブレーキ・アセンブリの側面図である。
【図16】ブレーキ・アセンブリの拡大端面図である。
【図17】ハンドルが回転された、第14図と同様な図である。
【図18】自動ドア・ロッキング・アセンブリの側面図である。
【図19(A)】テストを実施し、テスト装置のドアを開くルーチンを示す流れ図である。
【図19(B)】テストを実施し、テスト装置のドアを開くルーチンを示す流れ図である。
【図20】テスト・チャンバの内部から操作できる緊急ドア・ボタンの側面図である。
【符号の説明】
10・・・テスト装置、12・・・テスト・ハウジング、16・・・ドア、20・・・テスト・チャンバ、80・・・内壁、82・・・外壁、86・・・リベット、88・・・内部固定部材、90・・・クリアランス・ホール、94・・・一対のワッシャ部材である。
【発明の属する技術分野】
本発明はチャンバ内に配置された物体に熱および振動試験を行うことのできるテスト・チャンバに関する。
【0002】
【従来の技術】
シミュレートした環境において構成部品やアセンブリをテストすることが望ましいことがしばしばある。たとえば、プロトタイプの電子アセンブリをさまざまな温度、振動および衝撃負荷にさらして、アセンブリがその意図している環境で作動できるかどうかを判定する。環境テストは通常、チャンバ内の温度と湿度を変更することのできるアーゴノミック(ergonomic)・システムに結合されたテスト・チャンバ内で行われる。テスト部品のサイズは大型の航空機構成部品から、小型の半導体デバイスまでかなりの範囲で変化する。すべてのタイプのテスト部品に適合するためには、テスト・チャンバを十分大きいものとする必要がある。
【0003】
【解決しようとする課題】
大きいテスト・チャンバを使用すると、チャンバ内の空気の質量が比較的大きいものとなる。テスト部品の温度をサイクルさせる場合、空気の質量とチャンバ内部表面とが大きいと、アーゴノミック・システムによって解決しなければならない顕著な熱慣性が生じ、そのため、システムに関する作業が増え、チャンバの応答時間が限定されることとなる。テスト・チャンバの中には、テスト・チャンバの容積を少なくする隔壁を組み込んだものもある。隔壁の組立てと分解には、貴重なテスト時間が必要である。したがって、自動可変容積テスト・チャンバを提供することが望ましい。
【0004】
テスト・チャンバ内でテスト部品の温度をサイクルさせると、テスト・チャンバと部屋の間に100℃を超える温度差が生じる。大きな温度差によって、テスト・チャンバの内壁はテスト・チャンバの外壁とは異なる量で膨張または収縮する。特に、内部チャンバが零下の温度である場合、ドアの内壁はドアの外壁よりも大きく収縮する。内壁の極度の熱収縮/膨張がドアをゆがませ、チャンバとドアの間のシールを破壊することが判明している。ドアの熱サイクルがドア固定具を故障させることもある。熱サイクルを受けた場合にゆがんだり、損傷を受けたりしないテスト・チャンバ・ドアを得ることが望ましい。
【0005】
部品はテスト後に、テスト・チャンバから取り出される。テストの完了前に、テスト・チャンバを開いた場合、操作員がけがをしたり、テスト部品が損傷を受けたりすることが判明している。たとえば、操作員が高温となっているテスト・チャンバに入ると、火傷をする可能性がある。同様に、零下の温度にあるテスト・チャンバを開くと、テスト部品上またはその内部に結露が生じ、部品に損傷を与える。チャンバが操作員に「安全」な状態に達する前に、アクセス・ドアを開くことのできないテスト・チャンバ装置を提供することが望ましい。さらに、操作員がテスト・チャンバ内に閉じこめられた場合に、操作員がアクセス・ドアをチャンバの内側から開くことを可能とすることも望ましい。
【0006】
振動および衝撃負荷をかけるために、テスト部品は通常、テスト・チャンバ内に配置された振動テーブルに取り付けられる。テスト・チャンバの空間が限定されたものであるため、テスト部品をチャンバ内のテーブルに取り付けることは困難である。したがって、テスト・チャンバの外部から定位置へ引っ張ることのできる振動テーブルを提供することが望ましい。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明はチャンバの枠組み内に配置されたテスト・チャンバを有するテスト装置である。この装置はテスト・チャンバの温度を変動させることのできるコンピュータ制御のアーゴノミック・システムを含んでいる。テスト・チャンバ内には、調節可能な天井があり、これはチャンバの容積を変動させるために移動させることができる。天井の外縁の周囲には膨張シールが延びており、天井がその位置の1つに配置され、ドアが閉じられたときに、チャンバをシールする。天井と壁には複数の通気口があり、調和した空気をチャンバ内に送る。装置のドアは各々が、複数の浮動ジョイントによって外壁に結合されている内壁によって構成されている。浮動ジョイントにより、外壁またはジョイントに対応する応力を生じることなく、内壁が外壁に関して収縮または膨張することが可能となる。温度サイクリング後に、操作員がドアを早期に開くことを防止するために、テスト・チャンバが操作員に「安全」な状態に達するまで、ドアのロックを解除できないように、ドアのロックをコンピュータ制御する。コンピュータは前部ドアが開かれ、テーブルがチャンバから引き出されるまで、天井位置が調節されないようにもする。前部ドアの1つはオーバライド・ボタンを有しており、操作員がテスト・チャンバの内側からドアを開くことを可能とする。さらに、テスト装置はテスト・チャンバ外部から引き込むことのできる振動テーブルを含んでいる。テーブルはブレーキと、テーブルをテスト・チャンバの内外へ移動させたときの、テスト部品に対する望ましくない衝撃を防止するショック・アブソーバを有している。
【0008】
【発明の実施の形態】
本発明の目的および利点は以下の詳細な説明および添付図面を検討することにより、当分野の技術者に容易に明らかとなろう。
【0009】
参照番号により図面を詳細に参照すると、第1図および第1a図は本発明のテスト装置10を示している。テスト装置10はテスト・ハウジング12およびアーゴノミック・システム・コンソール14を含んでいる。ハウジング12は一対の前部ドア16と後部ドア17を有しており、これらのドアによりテスト・チャンバへ出入りする。アーゴノミック・システム14はハウジング12のテスト・チャンバ内で各種の環境テストを行うのに必要なコンピュータおよびその他の構成要素を含んでいる。たとえば、アーゴノミック・システム14はテスト・チャンバ内の温度を上昇および下降させる加熱および冷却要素を含んでいてもよい。システム14はテスト・チャンバの湿度を増加減少させる機器を有していてもよい。
【0010】
第2図に示すように、ハウジング12はテスト・チャンバ20内に配置された調節可能な天井18を有している。天井18はハウジングの床22と壁24に対して移動して、テスト・チャンバ20の容積を変動させることができる。床22は振動テーブルであってもよい。この装置はテスト部品を振動させることと、チャンバ内の温度を変動させることを同時に行うことができる。コンピュータは通常、天井18の運動を制御する。好ましい実施の形態において、天井18は前部ドアが開き、振動テーブルがチャンバから引き出されるまで移動しない。ドアとテーブルは、前部ドアが開き、テーブルがテスト・チャンバから引き出されたときに、コンピュータにフィードバック信号を与えるスイッチを有していてもよい。
【0011】
第2a図に示すように、天井18の外縁の周囲には、膨張シール26が延びている。シール26は通常、シリコーンで構成されており、加圧空気源に結合されている。シール26は天井18を移動させる前に収縮させられ、天井18が新しい位置に達し、ドア16−17が閉じられたときに膨張させられる。また、ハウジング12はシール26に対する空気流を自動的に制御するバルブ(図示せず)を有していてもよい。ドア16−17が閉じられたときに膨張し、ドア16−17が開かれたときに収縮する膨張シール(図示せず)を、ドア16−17が有していてもよい。
【0012】
第3図に示すように、天井18は多数のジャッキ・スクリュウ28を有しており、これらのスクリュウはフランジ30に取り付けられている。天井18は内ネジを有しており、このネジはジャッキ・スクリュウ28を回転させたときに、スクリュウ28と協働して天井を移動させる。第4図に示すように、ジャッキ・スクリュウ28は可逆電気モータ32によって回転する。モータ32はギヤ34−36とチェーン40および42によってスクリュウ28に結合されている。各ジャッキ・スクリュウ28は、汚染物がスクリュウ28の動作に影響を及ぼすのを防止する一対の外部可撓性ブーツ44を有していてもよい。また、各ジャッキ・スクリュウ28はスクリュウ28の端部をフランジ30に結合するベアリング46を有していてもよい。
【0013】
第5図に示すように、ハウジング12はセンサ・アセンブリ47を有しており、このアセンブリは天井が第2図に示したコーナ・シール51−53に隣接しているときにフィードバック信号を与える複数の位置センサ48−50を含んでいる。第4図および第5図を参照すると、センサ・アセンブリ47はギヤ36および41と、チェーン43によってジャッキ・スクリュウ28の1本に結合されている。フィードバック信号は通常、電気モータ32の動作とシール26の空気バルブも制御する、アーゴノミック・システム14のコンピュータに与えられる。コンソール14は操作員が天井をテスト・チャンバ内の複数の位置の1つへ遠隔移動させるのを可能とする。たとえば、第3のセンサ50は小さいチャンバに対応しており、第2のセンサ49は中間のチャンバに対応しており、第1のセンサ48は大きいチャンバの天井の位置に対応している。
【0014】
操作員が中間のチャンバを選択した場合、コンピュータはセンサ48−50のフィードバック信号に基づいて天井の現在位置を決定する。シール26は収縮し、電気モータ32が付勢されて、ジャッキ・スクリュウ28を回転させ、天井18を移動させる。天井が第2のセンサ49に達するまで、スクリュウ28の回転は継続する。天井が定置されると、第2のセンサ49がフィードバック信号をコンピュータに与え、コンピュータは電気モータ32の付勢を解除し、ドア16−17が閉じられたときに、シール26を膨張させる。
【0015】
第4a図に示すように、天井18は通常9本のダクト54を有している。ダクト54の内6本は通常、調和空気を行い、他のダクト54はテスト・チャンバからの復帰路を形成する。第2図を参照すると、ダクト54はベローズ56によってアーゴノミック・システムに結合されている。ベローズ56は天井18に対して可撓性のダクトを提供する。第5図に示すように、壁部は複数の通気口58を有している。通気口58は壁部24内に配置されているので、天井が低位置、中位置および高位置にあるときに、流体流がテスト・チャンバ内で発生することができる。通気口58はまた、隔壁(図示せず)を天井18に取り付けて、テスト・チャンバ20の容積をさらに少なくできるように配列されてもいる。
【0016】
第6図、第7図および第7a図は通気口58の好ましい実施の形態を示している。通気口58は各々が止めネジ62によってハウジング61に結合された絞り板60を有している。絞り板60と主ハウジング61は両方ともスロット63を有しており、このスロットはアーゴノミック・ダクト(図示せず)とテスト・チャンバの間の空気流を調整する。絞り板60は、止めネジ62のアレン・カップに挿入された工具64によって回転させることができる。絞り板60を回転させると、ハウジング61と板60の間のスロット63の整合が変動し、チャンバ中への流れが変動する。板60をテフロン(登録商標)のワッシャ65によってハウジング61から分離し、かつナット66および波状スプリング67によってクランプ止めすることができる。
【0017】
各通気口58はナット69とバネ70によって止めネジ62に結合されたベーン・プレート68も有している。ベーン・プレート68には、複数のベーン71が結合されている。第7a図に示すように、ベーン・プレート68は2つの個別の片によって構成されており、これらの片は重なって、ベーン71の外部タブ73を受け入れる開口72を作成する。ベーン・タブ73は各々がロール・ピン74を有しており、これらはベーン71をワッシャ75と波状スプリング76の対に押し込む。ワッシャ/スプリング・アセンブリは、開口72中へ延びているブッシング77に侵入している。波状スプリング76はベーン71の位置を維持する力を与える。各ベーンは個別に回転して、テスト・チャンバへの指向性の空気流の制御をもたらすことができる。さらに、ベーン・プレート68をハウジング61に対して回転させて、流体流の方向を変更することができる。第8図−第10図に示すように、アクセス・ドア16は各々が外壁82と内壁80を有している。壁部はドアの周囲に配置された複数の可撓性ジョイント84によって互いに接合されている。可撓性ジョイント84は各々がリベット86を含んでおり、このリベットは内壁80と内部固定部材88に接続されている。リベット86は外壁フランジ92のクリアランス・ホール90を貫通して延びている。フランジ92は内壁80および固定部材88から、一対のワッシャ部材94によって分離されている。リベット86は内壁80と固定部材88の間で外壁フランジ92を挟持し、これによって外壁82を内壁80に接続している。
【0018】
テスト・チャンバ内での温度の変化によって、内壁80は膨張または収縮する。外壁フランジ92のクリアランス・ホール90によって、内壁80が外壁82に対して移動可能となる。相対的な壁部の移動は内壁80および外壁82の歪曲、ならびにリベット86の応力を排除する。
【0019】
第11図−第13図に示すように、テスト装置は振動テーブル100を含んでいる。振動テーブル100はテーブル支持アセンブリ101に取り付けられている。テスト部品は通常、振動テーブル100に取り付けられる。振動テーブル100に操作員がもっとアクセスしやすくするために、支持アセンブリ101はテスト・チャンバから引き出されるように構成されている。サポート・アセンブリ101は複数のローラ102を有しており、これらのローラはチャンバの枠組みに取り付けられたテーブル・ベース107の一部であるスライド支持部106上に配置されている2対のテレスコープ・チャネル104内へ滑り込んでいる。スライドはテーブルがハウジングから分離するのを防止する停止部材を有している。
【0020】
支持アセンブリ101は矩形のホイール・アセンブリ108も有している。ホイール・アセンブリ108は、アセンブリ101にピボット運動可能に接続されているフォロア110を含んでいる。フォロア110は軌道114に沿って移動するローラ112を有している。フォロア110はリンク・バー118によって2つのホイール116にも接続されている。ホイール116は支持アセンブリ101にピボット運動可能に接続されている。軌道114はステップ120を有しており、このステップはテーブル100と支持アセンブリ101がテスト・チャンバから引き出されたときに、ローラ112を上方へ移動させる。スライド112の上方運動はフォロア110の時計方向回転を誘導するので、リンク・アーム118はホイール116を引き下ろす。テーブル100および支持アセンブリ101をテスト・チャンバに押し戻すと、フォロア110の反時計方向の回転と、ホイール116の対応する上方運動が生じる。
【0021】
第14図および第15図に示すように、支持アセンブリ101はチェーン・ベルト122へ結合されており、このチェーン・ベルトは接続リンク126によって一対のスプロケット124に結合されている。スプロケット124は支持ブラケット127に取り付けられており、この支持ブラケットはチャンバの枠組みに接続されている。テーブル100とアセンブリ101の運動はチェーン122をスプロケット124の周囲に回転させる。第16図に示すように、スプロケット124の1つはブレーキ128に結合されている。ブレーキ128はバネ・バイアス電子クラッチ(図示せず)を有しており、このクラッチはスプロケット124を常態的に保持し、テーブル100がブラケット127に対して運動することを防止する。第14図を参照すると、テーブルはスイッチ130を有しており、このスイッチはブレーキ128の電子クラッチに接続されている。スイッチ130はテーブル100およびアセンブリ101を移動させるために使用されるハンドル132の運動によって活動化される。ハンドル132が垂直位置にある場合、スイッチ130は開き、ブレーキ128はテーブル100およびアセンブリ101の運動を防止する。
【0022】
第17図に示すように、ハンドル132を回転させると、スイッチ130が閉じられ、ブレーキ128がはずされる。ブレーキ128がはずれることにより、スプロケット124が自由に回転し、テーブル100がベース107に対して移動することが可能となる。スイッチ130とブレーキ128は、操作員が回転したハンドル132を保持していない限り、テーブル100が移動しないという、テーブル100の安全機構を提供する。たとえば、操作員がテーブル100をテスト・チャンバへ押し込み、ハンドル132をブレーキ128をかけずに偶発的に解除した場合、テーブルはチャンバ中へ転がり込み、停止部材にぶつかって、テスト部品に望ましくない衝撃を発生することとなる。本発明のプッシュ・ハンドル132を解除した場合、ブレーキ128はテーブル100をスムーズに減速し、これによってテスト部品およびおそらくは操作員に対する損傷の可能性をなくする。
【0023】
第15図に示すように、チェーン122は一対の停止部材134および136を有しており、これらはスプロケット124に隣接して配置されている対応するショック・アブソーバ138および140に係合する。テーブル100をテスト・チャンバから引き出すと、停止部材134はショック・アブソーバ140に係合し、このショック・アブソーバはテーブル100の速度を低下させる。同様に、テーブル100をテスト・チャンバに押し戻すと、停止部材136はショック・アブソーバ138に係合して、テーブル100の速度を遅くする。
【0024】
第18図に示すように、テスト装置は自動ドア・ロック・アセンブリ150を含んでいてもよい。アクセス・ドア16−17の各々は通常、ロック・アセンブリ150を含んでいる。
【0025】
ロック・アセンブリ150はドアの頂部および底部に配置された一対のロック・ピン152を有している。ロック・ピン152はテスト・チャンバの枠組みにある対応するスロット(図示せず)に結合されて、ドアをロックする。ピン152はガイド・ブッシング154によって案内される。ガイド・ブッシング154は通常、アセタール樹脂などの低摩擦の材料によって構成されている。ロック・ピン152は一対の第1リンク・アーム156にピボット運動可能に接続されている。第1リンク・アーム156はネジ付きジョイント160によって一対の第2リンク・アーム158に結合されている。全体的なアセンブリ150の長さはネジ付きジョイント160を回転させることによって調節できる。第2リンク・アーム158はアクチュエータ168の出力軸166に結合されている回転プレート164に接続されている。アクチュエータ168は、アーゴノミック・システム14のコンピュータに接続されている制御バルブ(図示せず)によって制御される。
【0026】
好ましい実施の形態において、アクチュエータ168はバネ復帰2方向気圧シリンダであり、このシリンダはロック・ピン152をロック位置とロック解除位置の間で移動させることができる。制御バルブは通常、バネ復帰ソレノイド・バルブであり、アクチュエータへの空気の流れを制御する。ソレノイドがコンピュータによって付勢された場合、バルブが開き、アクチュエータ168はロック・ピン152をロック解除位置へ引き込む。ソレノイドの付勢を解除すると、アクチュエータ168への空気の流れを逆転させ、出力軸166およびロック・ピン152をロック位置へ押し込む。アクチュエータへの空気圧が失われた場合、内部アクチュエータ・バネが出力軸166とロック・ピン152をロック位置に維持する。
【0027】
第1図および第1a図を参照すると、アクセス・ドア16およびハウジング12は一対のライト170、172と、単一のボタン174を有している。ライトの一方170はチャンバへ入ることができないことを示す赤色の照明である。他方のライト172はチャンバへ入ることができることを示す緑色の照明である。ボタン174を押すと、チャンバに入っても安全な場合には、ドアのロックが解除される。ボタン174を押した場合、コンピュータはチャンバ内で行われていたテストを停止し、テストがどこで終了させられたのかを示すようにプログラムされている。アーゴノミック・システムは内部チャンバの温度を変更して、操作員に「安全」な状態とする。さらに、熱テストを行っている場合、チャンバには通常、チッ素が充填されている。コンピュータはチッ素をパージし、テスト・チャンバに周囲大気を充填してから、アクセス・ドアを開くことができるようにプログラムされている。テスト・チャンバを空気でパージした後、シールを収縮させ、ドアのロックを解除するように、コンピュータはプログラムされている。テスト・チャンバはドアがいつ開かれたかを検出し、フィードバック信号をコンピュータの与えて、これを示すマイクロスイッチを含んでいてもよい。
【0028】
第19図はテストを行っているときに、コンピュータおよびテスト装置によって通常実行されるルーチンの流れ図である。図示のルーチンはコンピュータ内のハードウェアまたはソフトウェアによって実行できる。処理ブロック200において、アクセス・ドアが操作員によって閉じられ、赤色のライトが点灯する。判断ブロック201−203において、ドアが閉じられているかどうかを判定するために、マイクロスイッチが感知される。前部ドア16が開いている場合、コンピュータは判断ブロック204および205において、テーブル100が引き出されているかどうか、またコンソールの天井ボタン(図示せず)が押されているかどうかを判断する。これらの条件が両方とも満たされている場合、コンピュータは処理ブロック206において、天井を移動させる。ドアが閉じられている場合には、コンピュータは処理ブロック207および208のそれぞれにおいて、ドアをロックし、シールを膨張させる。
【0029】
コンピュータは判断ブロック210において、ボタン174が操作員によって押されているかどうかを判断する。ボタンが押されていない場合には、チャンバのセンサとコンピュータにプログラムされているアルゴリズムは判断ブロック212、214および216のそれぞれにおいて、プロファイルが作動しているかどうか、チャンバが操作員に「安全」な温度であるかどうか、および危険なレベルのチッ素がチャンバ内に存在しているかどうかを判断する。判断ブロックの結果が否定である場合、コンピュータはブロック218において、緑色のライトを点灯させる。緑色のライトは操作員に対して、ドアが閉じられていても、テスト・チャンバに入っても安全であることを示す。テスト・チャンバが操作員に「安全」でない場合には、コンピュータはブロック220において、赤色のライトを点灯する。
【0030】
ボタン174が押されている場合には、コンピュータにプログラムされているアルゴリズムは判断ブロック222において、プロファイルが作動しているかどうかを判断する。ブロック224において、実行されているテストが停止され、プロファイルがコンピュータのメモリにセーブされる。コンピュータは判断ブロック226において、チャンバが所定の温度限度内にあるかどうかを判断するようにプログラムされている。テスト・チャンバの温度が許容限度外である場合には、アーゴノミック・システムは処理ブロック228において、温度を調節する。コンピュータは判断ブロック230において、チャンバに過剰なチッ素が入っているかどうかを判断し、ブロック232において、空気でチャンバをパージすることによって、テスト・チャンバ内のチッ素のレベルも制御する。
【0031】
テスト・チャンバが安全な状態に設定されると、処理ブロック234、236および238のそれぞれにおいて、緑色のライトが点灯され、シールが収縮され、ドアのロックが解除される。ドア16−17は次いで操作員によって開かれ、この事象が判断ブロック240−242において、コンピュータによって感知される。
【0032】
第20図に示すように、テスト装置はテスト・チャンバの内部から操作員がチャンバを出ることを可能とするオーバライド・ボタン250を有していてもよい。ボタン250はアクチュエータ168を切り替えて、出力軸166とロック・ピン152をロック解除位置へ移動させることのできるプランジャ252に結合されている。ボタン250はカム254によってプランジャ252に結合されており、カムはドア16にピボット運動可能に接続されている。テスト・チャンバに加圧空気や電気がない場合には、ボタン250をドアのロックを解除する手動オーバライド・アセンブリに結合してもよい。オーバライド・アセンブリはドア16にピボット運動可能に接続されたカム254と、ボタン250を含んでいる。カム254には、ロック・アセンブリの回転プレート164に結合されているチェーン256が固定されている。ボタン250をさらに押し込むと、カム254が回転し、チェーン256が引かれ、ロック・ピン152がロック解除位置へ移動する。オーバライド・アセンブリはボタン250が解除されたときにカム254を復帰させるバネ258を有している。自動ロックおよびオーバライド・システムは操作員に対するテスト装置の安全性を高める。
【0033】
いくつかの例示的な実施の形態を説明し、添付図面に示したが、このような実施の形態が範囲の広い本発明を説明するだけのものであって、限定するものではないこと、ならびに各種の他の改変形が当分野の技術者に思い浮かぶであろうから、本発明が図示説明した特定の構成および配置に限定されるものではないことを理解すべきである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のテスト装置の斜視図である。
【図1A】テスト装置の後部斜視図である。
【図2】調節可能天井を示す、テスト・チャンバの断面図である。
【図2A】天井シールの断面図である。
【図3】ジャッキ・スクリュウ・アセンブリの拡大図である。
【図4】テスト・チャンバの天井の頂部断面図である。
【図4A】調節可能天井の頂部断面図である。
【図5】テスト・チャンバの内壁の側面図である。
【図6】通気口の正面図である。
【図7】第6図の通気口の断面図である。
【図7A】通気口ベーンとタブ取付部の拡大図である。
【図8】ドアの内壁の背面図である。
【図9】ドアの外壁の背面図である。
【図10】リベット・ジョイントの拡大図である。
【図11】テーブルの断面図である。
【図12】テーブルの端面図である。
【図13】テスト・チャンバから引き出されたテーブルを示す、第11図と同様な図である。
【図14】ハンドルが垂直位置に置かれたテーブルの側面図である。
【図15】テーブルのブレーキ・アセンブリの側面図である。
【図16】ブレーキ・アセンブリの拡大端面図である。
【図17】ハンドルが回転された、第14図と同様な図である。
【図18】自動ドア・ロッキング・アセンブリの側面図である。
【図19(A)】テストを実施し、テスト装置のドアを開くルーチンを示す流れ図である。
【図19(B)】テストを実施し、テスト装置のドアを開くルーチンを示す流れ図である。
【図20】テスト・チャンバの内部から操作できる緊急ドア・ボタンの側面図である。
【符号の説明】
10・・・テスト装置、12・・・テスト・ハウジング、16・・・ドア、20・・・テスト・チャンバ、80・・・内壁、82・・・外壁、86・・・リベット、88・・・内部固定部材、90・・・クリアランス・ホール、94・・・一対のワッシャ部材である。
Claims (4)
- 内部チャンバを含んでいるハウジングと、
前記内部チャンバへの立ち入りを行わせるドアであって、温度の変化に応答して動く内壁と外壁を有し、この外壁がある直径のクリアランス・ホールを有する前記ドアと、
前記内壁に取り付けられて前記内壁を前記外壁に押し付け、前記クリアランス・ホールの直径よりも小さい直径を有する固定具と
を備え、
前記外壁が前記固定具および前記内壁と相対運動し得る
テスト・チャンバ。 - 前記固定具によって前記外壁に押し付けられるワッシャをさらに備えている請求項1に記載のテスト・チャンバ。
- 前記外壁の一対の対向側面に配置された一対のワッシャをさらに備えている請求項1に記載のテスト・チャンバ。
- 前記クリアランス・ホールが前記外壁のブラケットに配置される請求項1に記載のテスト・チャンバ。
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