CN1076173A - 氢气流中净化磷化氢、砷化氢的浸渍活性炭 - Google Patents

氢气流中净化磷化氢、砷化氢的浸渍活性炭 Download PDF

Info

Publication number
CN1076173A
CN1076173A CN 93101650 CN93101650A CN1076173A CN 1076173 A CN1076173 A CN 1076173A CN 93101650 CN93101650 CN 93101650 CN 93101650 A CN93101650 A CN 93101650A CN 1076173 A CN1076173 A CN 1076173A
Authority
CN
China
Prior art keywords
active carbon
hydrogen
immesion active
immesion
arsenide
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN 93101650
Other languages
English (en)
Other versions
CN1032963C (zh
Inventor
郭坤敏
袁存乔
马兰
谢自力
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
ANTI-CHEMICAL DEFENCE RESEARCH INST PLA
Original Assignee
ANTI-CHEMICAL DEFENCE RESEARCH INST PLA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ANTI-CHEMICAL DEFENCE RESEARCH INST PLA filed Critical ANTI-CHEMICAL DEFENCE RESEARCH INST PLA
Priority to CN 93101650 priority Critical patent/CN1032963C/zh
Publication of CN1076173A publication Critical patent/CN1076173A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN1032963C publication Critical patent/CN1032963C/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Treating Waste Gases (AREA)
  • Solid-Sorbent Or Filter-Aiding Compositions (AREA)
  • Manufacture And Refinement Of Metals (AREA)
  • Catalysts (AREA)

Abstract

本发明涉及一种氢气流中净化PH3、AsH3的浸 渍活性炭，它以煤质颗粒活性炭为载体，浸渍Cu、 Hg、Cr、Ag，四种组分，该种浸渍活性炭能有效地净 化PH3、AsH3等污染物，可用于净化新型半导体材 料金属有机物气相外延技术的工艺尾气及其它领域 的氢气、空气气氛中PH3、AsH3等污染物。

Description

本发明涉及一种净化PH3、AsH3的浸渍活性炭，尤其涉及一种氢气流中净化PH3、AsH3的浸渍活性炭。
国内外用于净化PH3、AsH3污染物的浸渍活性炭有二元（Cu，Cr）和三元（Cu，Cr，Ag）浸渍炭。但二元或三元浸渍活性炭都局限使用于空气中净化PH3、AsH3等污染物。目前，高新技术如新型半导体材料MOVPE（金属有机物气相外延）技术的工艺尾气系氢气流中带有PH3、AsH3污染物，净化氢气流中PH3、AsH3等污染物国内外没有专用催化剂，大都采用德国Dr
Figure 931016509_IMG1
ger公司的Dr gerB3P3罐作为代用品，此罐用于PH3、AsH3污染物的净化过程中，使用寿命短，价格昂贵。
本发明的目的是提供一种氢气流中净化PH3、AsH3污染物的专用浸渍活性炭，此活性炭具有较长的寿命。
为了实现上述目的，本发明的浸渍活性炭是以煤质颗粒活性炭为载体，其浸渍组分有Cu、Hg、Cr、Ag，该浸渍活性炭用以净化氢气流中的磷化氢、砷化氢。
浸渍组分的含量为（以对浸渍活性炭的重量百分比计）：
Cu  7-13%
Hg  5-10%
Cr  1.5-4%
Ag  0.01-0.1%
煤质颗粒活性炭的粒度为1.0mm-3.0mm。
本发明的优选方案为：煤质颗粒活性炭载体的粒度为1.2mm，浸渍组分的含量为（以对浸渍活性炭的重量百分比计）：
Cu  8-12%
Hg  6-9%
Cr  2-3%
Ag  0.03-0.06%
浸渍活性炭的制备方法如下：筛取一定粒度的煤质颗粒活性炭，用CuSO4和Cr2O3的NH4OH溶液和AgNO3的乙醇溶液充分混合，在40-60℃下加入HgCl2，按活性炭水容量的70-80%液相浸渍，浸渍液的PH为8-13，浸渍后放置大于3小时，在100-150℃的条件下，于空气流中热处理2-3小时，即得该浸渍活性炭。上述浸渍，放置，热处理的过程反复进行两次。
经实验测试，此种浸渍活性炭具有较好的净化PH3AsH3的性能，在达到国际标准PH3允许浓度0.3PPmAsH3允许浓度0.05PPm的情况下具有较长的寿命。
下面结合具体实例对本发明进一步详细说明
实施例一。
煤质颗粒活性炭载体的粒度为1.2mm，浸渍组分的含量为（以对浸渍活性炭的重量百分比计）：
9%Cu，2%Cr，0.04%Ag，6%Hg。
实验条件：PH3浓度为1000PPm，AsH3浓度为1000PPm，***压力P＝900-1000mbar，试验动力管内径为2cm，浸渍活性炭高度为1cm，气流比速V＝1L/min.cm2用瑞典VP50-RP毒物分析仪测定。
实验结果：
净化时间 min            8            9            10              13
PH  透过浓度PPm     0        0.0083   0.0110    0.0165
AsH  透过浓度PPm    0            0            0                0
15         17          19          21          23
0.0248     0.0468      0.0963     0.1734      0.2752
0          0           0           0                 0.03
实施例二.
煤质颗粒活性炭载体的粒度为1.2mm，浸渍组分的含量为（以对浸渍活性炭的重量百分比计）：
11%Cu，3%Cr，0.05%Ag，8%Hg。
实验条件：PH3浓度为1000PPm，AsH3浓度为1000PPm，***压力P＝900-1000mbar，试验动力管内径为2cm，浸渍活性炭高度为11cm，气流比速V＝0.15L/min.cm2用瑞典VP50-RP毒物分析仪测定。
实验结果：在达到国际标准PH3浓度小于0.3PPm，AsH3浓度小于0.05PPm的条件下，净化时间可达到36小时。
此种浸渍活性炭可用于净化新型半导体材料MOVPE（金属有机物气相外延）技术的工艺尾气中PH3、AsH3等污染物，也可用于净化其它领域的氢气、空气气氛中PH3、AsH3等污染物。

Claims (7)

1、一种氢气流中净化磷化氢、砷化氢的浸渍活性炭，其特征在于，以煤质颗粒活性炭为载体，其浸渍组分有Cu、Hg、Cr、Ag，该浸渍活性炭用以净化氢气流中的磷化氢、砷化氢。
2、根据权利要求1所述的氢气流中净化磷化氢、砷化氢的浸渍活性炭，其特征在于，浸渍组分的含量为（以对浸渍活性炭的重量百分比计）：
Cu  7-13%
Hg  5-10%
Cr  1.5-4%
Ag  0.01-0.1%
3、根据权利要求2所述的氢气流中净化磷化氢、砷化氢的浸渍活性炭，其特征在于，煤质颗粒活性炭的粒度为1.0mm-3.0mm。
4、根据权利要求3所述的氢气流中净化磷化氢、砷化氢的浸渍活性炭，其特征在于，浸渍组分的含量为（以对浸渍活性炭的重量百分比计）：
Cu  8-12%
Hg  6-9%
Cr  2-3%
Ag  0.03-0.06%
5、根据权利要求4所述的氢气流中净化磷化氢、砷化氢的浸渍活性炭，其特征在于，煤质颗粒活性炭的粒度为1.2mm。
6、制备权利要求1所述的浸渍活性炭的一种方法，其特征在于，筛取一定粒度的煤质颗粒活性炭，用CuSO4和Cr2O3的NH4OH溶液和AgNO5的乙醇溶液充分混合，在40-60℃下加入HgCl2，按活性炭水容量的70-80%液相浸渍，浸渍液的PH为8-13，浸渍后放置大于3小时，在100-150℃的条件下，于空气流中热处理2-3小时，即得该浸渍活性炭。
7、根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于，上述浸渍，放置，热处理的过程反复进行两次。
CN 93101650 1993-02-20 1993-02-20 氢气流中净化磷化氢，砷化氢的浸渍活性炭 Expired - Fee Related CN1032963C (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 93101650 CN1032963C (zh) 1993-02-20 1993-02-20 氢气流中净化磷化氢，砷化氢的浸渍活性炭

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 93101650 CN1032963C (zh) 1993-02-20 1993-02-20 氢气流中净化磷化氢，砷化氢的浸渍活性炭

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN1076173A true CN1076173A (zh) 1993-09-15
CN1032963C CN1032963C (zh) 1996-10-09

Family

ID=4983710

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN 93101650 Expired - Fee Related CN1032963C (zh) 1993-02-20 1993-02-20 氢气流中净化磷化氢，砷化氢的浸渍活性炭

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN1032963C (zh)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101402020B (zh) * 2008-10-30 2012-02-15 昆明理工大学 一种净化工业废气中砷化氢气体的方法
CN102716653A (zh) * 2011-03-30 2012-10-10 中国人民解放军63971部队 一种磷化氢熏蒸尾气净化方法
CN103551030A (zh) * 2013-10-31 2014-02-05 西南化工研究设计院有限公司 一种脱除电石炉尾气中磷砷的净化剂及其制备方法和应用
CN107051180A (zh) * 2017-03-01 2017-08-18 郑州大学 一种痕量砷化氢气体的吸收介质及其制备方法、痕量砷化氢气体的检测装置及检测方法
CN107597144A (zh) * 2017-11-08 2018-01-19 山西新华化工有限责任公司 防护砷化氢浸渍炭的制备方法

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101402020B (zh) * 2008-10-30 2012-02-15 昆明理工大学 一种净化工业废气中砷化氢气体的方法
CN102716653A (zh) * 2011-03-30 2012-10-10 中国人民解放军63971部队 一种磷化氢熏蒸尾气净化方法
CN103551030A (zh) * 2013-10-31 2014-02-05 西南化工研究设计院有限公司 一种脱除电石炉尾气中磷砷的净化剂及其制备方法和应用
CN103551030B (zh) * 2013-10-31 2016-01-06 西南化工研究设计院有限公司 一种脱除电石炉尾气中磷砷的净化剂及其制备方法和应用
CN107051180A (zh) * 2017-03-01 2017-08-18 郑州大学 一种痕量砷化氢气体的吸收介质及其制备方法、痕量砷化氢气体的检测装置及检测方法
CN107051180B (zh) * 2017-03-01 2019-06-07 郑州大学 一种痕量砷化氢气体的吸收介质及其制备方法、痕量砷化氢气体的检测装置及检测方法
CN107597144A (zh) * 2017-11-08 2018-01-19 山西新华化工有限责任公司 防护砷化氢浸渍炭的制备方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN1032963C (zh) 1996-10-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
AU715564B2 (en) Coated adsorbent fibers
EP0194366A1 (en) Method of cleaning exhaust gases
CN110982535A (zh) 一种生物质炭土壤重金属修复剂及其应用方法
CN1076173A (zh) 氢气流中净化磷化氢、砷化氢的浸渍活性炭
CN114832838A (zh) 负载金属/硫-过硫酸盐的生物炭复合材料及其制备与应用
CA2195341C (en) Method for the removal of non-metal and metalloid hydrides
CN116002684B (zh) 一种用于氨吸附的改性活性炭的制备方法
CN1095389C (zh) 处理氮氧化物/一氧化碳混合气体的方法
CN115845836B (zh) 一种脱硝催化剂及其制备方法
CN114931956B (zh) 一种低风阻宽湿度臭氧催化分解材料及其制备方法
CN1768924A (zh) 一种净化含硫恶臭废气的吸附剂及其制备方法
CN111013574A (zh) 一种用于空气除甲醛的贵金属/碳球复合催化材料的制备方法
CN1145592A (zh) 除臭剂及其制法、以及除臭方法
KR101814097B1 (ko) 유기산이 함침된 활성탄계 암모니아 흡착제를 사용한 저농도의 암모니아 흡착 제거 방법
JP3516716B2 (ja) トリフルオロメタンの精製法
CN1128662C (zh) 一种脱醛材料的制备方法
CN1085114C (zh) 含氮气中一氧化碳净化催化剂及其应用
CN212492260U (zh) 一种含NOx废气处理***
CN85102710A (zh) 铂、钯/氧化钛脱氧催化剂
CN113731167A (zh) 一种改性电石渣的制备方法及其产品和应用
CN1546209A (zh) 一种高效处理含h2s废气的方法
CN117443344A (zh) 一种纳米曲面碳素/金属离子复合材料改性活性炭及其制备方法
CN1631515A (zh) 一种催化脱醛材料及其制备方法
CN117942702B (zh) 一种用于二硫化碳的废气处理转化剂及其制备方法和应用
CN217594305U (zh) 一种用于废气净化的生物过滤载体及其装置

Legal Events

Date Code Title Description
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C06 Publication
PB01 Publication
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
C19 Lapse of patent right due to non-payment of the annual fee
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee