CN107430405B - 移动体 - Google Patents
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Abstract
无人输送车具备监控部和发光部,该监控部具有第一监控区域和能够检测比第一监控区域远的障碍物的第二监控区域作为检测障碍物的监控区域,该发光部向第一监控区域发光,无人输送车当在第一监控区域内检测到障碍物时,使车辆紧急停止。而且,无人输送车通常使发光部的发光停止,当在第二监控区域内检测到障碍物时(S200、S202),发光部开始发光(S206)。由此,操作员在进入第二监控区域内时,能够识别出当再接近无人输送车多少时会进行紧急停止。而且,发光部仅在必要的情况下发光,因此能够实现节能化和长寿命化。
Description
技术领域
本发明涉及移动体。
背景技术
以往,在对运货台车进行输送的无人车(移动体)中,提出了如下的方案:通过非接触式检测装置对运货台车的周围始终进行监控,在通过无人车输送运货台车时,如果非接触式检测装置检测到障碍物的接近,则使无人车的行驶停止(例如,参照专利文献1)。而且,该无人车在运货台车的周围产生多个可视光线的射束,使障碍物检测的检测范围能够由处于其附近的不特定多个人识别出。
专利文献1:日本特开平09-185413号公报
发明内容
发明的公开
然而,在上述移动体中,即使在周围没有人的情况下,也使射束持续发光,因此白白地消耗能量,也会给发光部的寿命造成不良影响。
本发明主要目的是在向障碍物的检测范围发出可视光的结构中,实现发光部的节能化或长寿命化。
本发明为了实现上述主要目的而采用以下的方案。
本发明的移动体的主旨在于,具备:
检测单元,能够对以上述移动体为基准的第一区域内的障碍物进行检测及对比该第一区域靠外侧的第二区域内的障碍物进行检测;
发光单元,发出可视光;及
发光控制单元,在由上述检测单元在上述第二区域内检测到障碍物的情况下,以向上述第一区域发出可视光的方式控制上述发光单元,在由上述检测单元在上述第二区域内未检测到障碍物的情况下,以不向上述第一区域发出可视光的方式控制上述发光单元。
在该移动体中,以移动体为基准在比第一区域靠外侧设置能够检测障碍物的第二区域,并且设置能够向第一区域发光的发光单元,在第二区域内检测到障碍物时,对发光单元进行控制以向第一区域发出可视光,在第二区域内未检测到障碍物时,对发光单元进行控制以不向第一区域发出可视光。由此,能够使作业者识别到第一区域的存在。而且,不需要始终向第一区域发出可视光,因此能够实现发光单元的节能化或长寿命化。
在这样的本发明的移动体中,可以具备移动停止单元,在由上述检测单元在上述第一区域内检测到障碍物的情况下,上述移动停止单元使移动停止。
另外,在本发明的移动体中,能够设为在上述移动体的行进方向被变更的期间,上述检测单元能够对应于该行进方向的变更来至少变更上述第一区域。这样一来,在移动体的行进方向被变更的期间,也能够适当地监控有无障碍物。在该形态的本发明的移动体中,能够设为,上述移动体能够沿着预先确定的移动路线移动,在上述移动体的行进方向被变更之前,上述发光控制单元能够至少向成为变更后的上述第一区域的区域发光。这样一来,周围的人能够事先识别出移动体的行进方向被变更。在该情况下,上述发光控制单元在上述移动体的行进方向被变更之前,能够向成为变更后的上述第一区域的区域和变更前的上述第一区域发光。
此外,在本发明的移动体中,能够设为上述移动体是向电子元件安装机输送元件供给装置的输送装置,上述电子元件安装机将从该元件供给装置供给的电子元件向基板安装。
附图说明
图1是表示元件安装***1的结构的概略的结构图。
图2是表示元件安装机10的结构的概略的结构图。
图3是表示元件安装机10和无人输送车100的外观的外观立体图。
图4是表示无人输送车100的监控区域的说明图。
图5是表示无人输送车100的控制装置120的结构的概略的框图。
图6是表示由控制装置120的CPU121执行的监控处理的一例的流程图。
图7是表示由控制装置120的CPU121执行的监控区域切换处理的一例的流程图。
图8是表示变更无人输送车100的行进方向时切换监控区域的情况的说明图。
图9是表示由控制装置120的CPU121执行的发光控制处理的一例的流程图。
图10是表示障碍物检测时的无人输送车100的发光的情况的说明图。
图11是表示由控制装置120的CPU121执行的发光切换处理的一例的流程图。
图12是表示在无人输送车100变更行进方向之前切换发光区域的情况的说明图。
具体实施方式
接下来,使用实施例来对用于实施本发明的方式进行说明。
图1是表示元件安装***1的结构的概略的结构图,图2是表示元件安装机10的结构的概略的结构图,图3是表示元件安装机10和无人输送车100的外观的外观立体图。
如图1所示,元件安装***1具备:输送电路基板(以下,称为基板)S的基板输送装置4A、4B;向输送来的基板S印刷焊料而在基板S上形成配线图案的印刷机6或向通过印刷机6而形成于基板S的配线图案上安装电子元件(以下,称为元件)P的元件安装机10等对基板作业机;保管对基板作业机的作业所需的部件的保管库2;及在对基板作业机与保管库2之间自动地进行部件的补给和使用后的部件的回收的作为补给装置的无人输送车100。
作为对基板作业机的印刷机6和元件安装机10沿着基板输送方向(X轴方向)配置而构成一条元件安装线。如图1所示,本实施例的元件安装***1由沿着与基板输送方向正交的方向(Y轴方向)分隔规定距离的两列元件安装线构成。而且,元件安装***1设定有U字状的行驶线L,该U字状的行驶线L具有沿着两列元件安装线1的两个直线区间和将两直线区间连结的圆弧区间。无人输送车100能够沿着行驶线L行驶。另外,在本实施例中,作为无人输送车100的行驶线L而设定了U字状的线,但是也可以设定任意的行驶线,这是不言而喻的。
如图3所示,元件安装机10具备基台11和支撑于基台11的主体框12。而且,如图2及图3所示,元件安装机10在主体框12内具备:供给元件P的元件供给装置20;对从基板输送装置4A、4B输送来的基板S从背面侧进行支撑的支撑装置22A、22B;用于利用吸嘴拾取(吸附)从元件供给装置20供给的元件P而向基板S上安装的头30;及使头30在XY方向上移动的XY机器人40等。而且,元件安装机10除此之外,还具备设于头30而能够从上方拍摄基板S上所附的基准标记的标记相机26和设置于支撑台14而能够从下方拍摄吸附于吸嘴的元件P的零件相机28,对拍摄到的图像进行处理而识别处拍摄对象物的位置,由此进行将元件P向基板S上安装时的安装位置的校正。
元件供给装置20具备带式供料器21,该带式供料器21通过由电动机驱动而旋转的链轮,间歇地送出例如每规定间隔形成有收纳元件P的腔室的带,由此能够将元件向吸附位置供给。带式供料器21以可拆装的方式设置于在主体框12的前面部形成的供料器保持台16。
如图2或图3所示,XY机器人40具备:在支撑于基台11上的支撑框12的上段沿Y轴方向设置的Y轴导轨43;能够沿着Y轴导轨43移动的Y轴滑动件44;在Y轴滑动件44的下表面沿着X轴方向设置的X轴导轨41;及能够沿着X轴导轨41移动的X轴滑动件42。在X轴滑动件42上设有头30。元件安装机10通过驱动XY机器人40而能够使头30(吸嘴)向XY平面上的任意位置移动。
虽然未图示,但是头30具备能够使吸嘴沿Z轴方向移动的Z轴促动器、能够使吸嘴旋转的θ轴促动器等。吸嘴通过来自未图示的真空泵的负压来吸附元件P。
这样构成的元件安装机10当通过基板输送装置4A、4B输送基板S时,利用各支撑装置22A、22B对输送来的基板S进行支撑,向元件供给装置20(带式供料器21)供给元件P。接下来,元件安装机10使X轴滑动件42及Y轴滑动件44移动以使吸嘴来到供给的元件P的正上方,然后使吸嘴下降,通过使负压作用于吸嘴的吸引口而使吸嘴吸附元件。当这样使吸嘴吸附了元件P时,元件安装机10使吸嘴上升,并使各滑动件42、44移动以使吸附的元件P来到基板S的安装位置的正上方。然后,元件安装机10使吸嘴下降至将元件P按压于基板S的安装位置为止,通过使正压作用于吸嘴的吸引口而解除吸嘴对元件的吸附。通过反复进行这样的动作,而元件安装机10将各元件安装在基板S上。
接下来,对无人输送车100进行说明。图4是表示无人输送车100的监控区域的说明图,图5是表示无人输送车100的控制装置120的结构的概略的框图。
在本实施例中,无人输送车100构成为向元件安装机10补给带式供料器21并对使用后的带式供料器21进行回收的带式供料器补给装置。该无人输送车100具备:在车轮101上连结有行驶用电动机104(参照图5)的行驶台102(参照图3);搭载在行驶台102上的补给单元106(参照图3);及对车辆整体进行控制的控制装置120(参照图5)。而且,如图3所示,无人输送车100设有:用于监控车辆行进方向前方是否存在障碍物的监控部110;用于切换监控部110的监控区域的切换部112;及用于照亮车辆行进方向前方的发光部114。
无人输送车100预先存储行驶线L,在行驶线L上计测行驶距离和行驶姿势,一边推定自己位置,一边对行驶用电动机104进行驱动控制,从而进行自动行驶。另外,无人输送车100可以通过例如电磁感应方式或光学感应方式、激光感应式等周知的感应方式来感应。
补给单元106能够将带式供料器21以沿X轴方向排列的状态收纳多个。该补给单元106具备未图示的供料器输送机构,该供料器输送机构对收纳在单元内的带式供料器21进行把持而沿Y轴方向送出,由此能够将带式供料器21向元件安装机10的供料器支撑台16的空插槽装配,并将装配于供料器支撑台16的使用后的带式供料器21沿Y轴方向拉出而向单元内回收。
监控部110例如构成作为激光扫描器,该激光扫描器向监控区域照射激光并计测激光返回为止的时间,由此来进行障碍物(操作员等)的检测和到障碍物的距离的计测。如图4所示,监控部110具有:监控距监控部110的距离为第一距离为止的障碍物的第一监控区域;及监控距监控部110的距离为从第一距离到第二距离为止的障碍物的第二监控区域。第一监控区域是当检测到障碍物时使无人输送车100的行驶停止的停止区域,第二监控区域是当检测到障碍物时发出规定的警告的警告区域。
切换部112构成为能够使监控部110左右移动的移动机构。切换部112能够通过使监控部110向右移动而将监控区域(第一监控区域、第二监控区域)切换为车辆行进方向右侧,能够通过使监控部110向左移动而将监控区域(第一监控区域、第二监控区域)切换为车辆行进方向左侧。
发光部114构成为例如将可视光区域的光放大而放射的半导体激光装置,如图3所示,具备照亮车辆行进方向右部的右发光部114R、照亮车辆行进方向中央部的中央发光部114M及照亮车辆行进方向左部的左发光部114L。
控制装置120构成为以CPU121为中心的微处理器,除了CPU121之外,还具备ROM122和RAM123、输入输出接口124等。它们经由总线125而相互电连接。来自监控部110的检测信号等经由输入输出接口124而向控制装置120输入。而且,从控制装置120经由输入输出接口124而输出对于中央发光部114M、右发光部114R、左发光部114L的各驱动信号和对于补给单元106的驱动信号、对于行驶电动机104的驱动信号等。
说明这样构成的无人输送车100的动作,尤其是监控处理、监控区域切换处理、发光控制处理、发光切换处理。图6是表示由控制装置120的CPU121执行的监控处理的一例的流程图。该处理每规定时间地反复执行。
当执行图6的监控处理时,控制装置120的CPU121首先判定通过监控部110是否检测到障碍物(S100)。当判定为检测到障碍物时,CPU121判定障碍物是否处于第一监控区域内(S102)。当判定为障碍物处于第一监控区域内时,CPU121判定是否为行驶中(S104),如果为行驶中,则紧急停止(S106),结束监控处理,如果不为行驶中(如果为停止中),则仍维持紧急停止的状态而结束监控处理。另一方面,CPU121在S100中判定为未检测到障碍物时,或者在S102中判定为障碍物不在第一监控区域而在第二监控区域内时,判定是否为紧急停止中(S108),当判定为紧急停止中时,判定是否经过了规定时间(例如2秒钟)(S110)。即,CPU121在第一监控区域内检测到障碍物而进行了紧急停止之后,判定从在第一监控区域内不再检测到障碍物起是否经过了规定时间。CPU121当判定为经过了规定时间时,再次开始行驶(S112),结束监控处理。另外,CPU121在S108中判定为不是紧急停止中时,或者虽然是紧急停止中但是在S110中判定为未经过规定时间时,直接结束监控处理。
接下来,对监控区域切换处理进行说明。图7是表示由控制装置120的CPU121执行的监控区域切换处理的一例的流程图。当执行图7的监控区域切换处理时,CPU121分别判定无人输送车100是否为右转弯中(S120),是否为左转弯中(S122)。S120、S122的处理例如可以通过判定行驶线L上的当前位置是否为圆弧区间内来进行。当判定为右转弯中时,CPU121使监控部110向右移动(S124),当判定为左转弯中时,CPU121使监控部110向左移动(S126),当判定为既不是右转弯中也不是左转弯中即直行中时,CPU121使监控部110向中央移动(S128),并结束监控区域切换处理。
图8是表示在变更无人输送车100的行进方向时切换监控区域的情况的说明图。如图所示,无人输送车100在右转弯时,通过切换部112使监控部110向右部移动,由此将第一监控区域及第二监控区域切换为行进方向右部,在左转弯时,通过切换部112使监控部110向左部移动,由此将第一监控区域及第二监控区域切换为行进方向左部。
接下来,对发光控制处理进行说明。图9是表示由控制装置120的CPU121执行的发光控制处理的一例的流程图。当执行图9的发光控制处理时,CPU121首先判定通过监控部110是否检测到障碍物(S200)。当判定为检测到障碍物时,CPU121判定障碍物是否处于第二监控区域内(S202)。当判定为障碍物处于第二监控区域内时,CPU121判定发光部114是否为发光中(S204),如果不是发光中,则开始发光(S206),结束发光控制处理,如果是发光中,则仍维持发光中的状态而结束发光控制处理。在此,在本实施例中,发光部114包括左发光部114L、中央发光部114M、右发光部114R,通过后述的发光切换处理进行发光的切换。另一方面,在S200中判定为未检测到障碍物时,或者在S202中判定为障碍物不在第二监控区域而在第一监控区域内时,CPU121判定是否为发光中(S208),当判定为发光中时,判定是否经过了规定时间(例如,5秒钟)(S210)。即,CPU121在第二监控区域内检测到障碍物而使发光部114的发光开始之后,判定从在第二监控区域内不再检测到障碍物起是否经过了规定时间。CPU121当判定为经过了规定时间时,使发光停止(S212),结束发光控制处理。在本实施例中,在第二监控区域内检测到障碍物而开始了发光部114的发光之后,即使障碍物进入到第一监控区域内,当从在第二监控区域内不再检测到障碍物起经过规定时间时,也使发光停止(行驶停止),但是也可以从在第一监控区域内和第二监控区域内都不再检测到障碍物起经过了规定时间时,使发光停止。另外,CPU121在S208中判定为不是发光中时,或者虽然是发光中但是在S210中判定为未经过规定时间时,直接结束发光控制处理。
图10是表示障碍物检测时的无人输送车100的发光的情况的说明图。无人输送车100通常以使发光部114的发光停止的状态行驶(参照图10(a)),在行驶中监控部110在第二监控区域内检测到障碍物时,开始发光部114的发光,照亮第一监控区域(参照图10(b))。如前所述,第一监控区域确定为当检测到障碍物时使无人输送车100紧急停止的停止区域,因此操作员在进入了无人输送车100的第二监控区域之后,能够识别当无人输送车100接近至哪里时会使无人输送车100紧急停止。这样,无人输送车100使发光部114仅在必要的情况下发光,由此实现节能化和长寿命化。
接下来,对发光切换处理进行说明。图11是表示由控制装置120的CPU121执行的发光切换处理的一例的流程图。当执行图11的发光切换处理时,CPU121首先判定是否作为发光部114的左发光部114L、中央发光部114M、右发光部114R中的任一个为发光中(S220)。当判定为左发光部114L、中央发光部114M、右发光部114R都不是发光中时,CPU121直接结束发光切换处理。另一方面,当判定为左发光部114L、中央发光部114M、右发光部114R中的任一个为发光中时,CPU121判定无人输送车100的当前的行驶状态(S222),判定的结果是分别判定是否为右转弯0秒~T秒(例如,3秒)前(S224),是否为右转弯中(S226),是否为左转弯0秒~T秒前(S228),是否为左转弯中(S230)。在此,S222的处理例如可以通过判定行驶线L上的当前位置是否为圆弧区间内,是否为圆弧区间近前的规定距离以内来进行。CPU121当判定为右转弯0秒~T秒前时,使中央发光部114M和右发光部114R发光(S232),当判定为右转弯中时,仅使右发光部114R发光(S234),当判定为左转弯0秒~T秒前时,使中央发光部114M和左发光部114L发光(S236),当判定为左转弯中时,仅使左发光部114L发光(S238),当判定为不是右转弯0秒~T秒前、右转弯中、左转弯0秒~T秒前、左转弯中的任一个时,仅使中央发光部114M发光(S240),并结束发光切换处理。
图12是表示无人输送车100变更行进方向之前切换发光区域的情况的说明图。无人输送车100在通过中央发光部114M的发光而正在照亮当前的第一监控区域的过程中,当成为右转弯T秒(3秒)前时,除了中央发光部114M之外也使右发光部114R发光,来照亮当前(直行中)的第一监控区域和在变更后(右转弯中)成为第一监控区域的区域这双方(参照图12(a))。而且,无人输送车100在通过中央发光部114M的发光而正在照亮当前的第一监控区域的过程中,当成为左转弯T秒(3秒)前时,除了中央发光部114M之外也使左发光部114L发光,来照亮当前(直行中)的第一监控区域和在变更后(左转弯中)成为第一监控区域的区域这双方(参照图12(b))。由此,操作员能够事先知晓无人输送车100的右转弯或左转弯,因此能够抑制进入到无人输送车100的第一监控区域内而使无人输送车100紧急停止。
根据以上说明的实施例的无人输送车100,具备监控部110和发光部114,该监控部110具有第一监控区域和能够检测比第一监控区域远的障碍物的第二监控区域作为检测障碍物的监控区域,该发光部114向第一监控区域发光,无人输送车100当在第一监控区域内检测到障碍物时,使车辆紧急停止。而且,无人输送车100通常使发光部114的发光停止,当在第二监控区域内检测到障碍物时,使发光部114发光。由此,操作员在进入第二监控区域内时,能够识别当再接近无人输送车100多少时会进行紧急停止。而且,发光部114仅在必要的情况下发光,因此能够实现节能化和长寿命化。而且,无人输送车100在右转弯中将监控区域(第一监控区域、第二监控区域)和发光部114的发光切换为行进方向右部,在左转弯中将监控区域(第一监控区域、第二监控区域)和发光部114的发光切换为行进方向左部,因此即使在变更行进方向期间也能够适当地检测障碍物并照亮第一监控区域。此外,无人输送车100在右转弯0秒~T秒前,照亮当前(直行中)的第一监控区域和成为变更后(右转弯中)的第一监控区域的区域这双方,在左转弯0秒~T秒前,照亮当前(直行中)的第一监控区域和成为变更后(左转弯中)的第一监控区域的区域这双方。由此,操作员能够事先知晓无人输送车100的右转弯或左转弯,因此能够有效地抑制进入无人输送车100的第一监控区域内而使无人输送车100紧急停止。
在实施例的无人输送车100中,第一监控区域内的障碍物的检测和第二监控区域内的障碍物的检测使用一个监控部110(传感器)来进行,但是也可以分别使用不同的监控部(传感器)来进行。
在实施例的无人输送车100中,伴随行进方向的变更而切换监控区域(第一监控区域、第二监控区域),但也可以不切换监控区域。而且,也可以应用于不变更行进方向的无人输送车。
在实施例的无人输送车100中,能够进行基于切换部112的监控区域的左右的切换或基于发光部114(左发光部114L、右发光部114R)的发光区域的左右的切换,但是在仅进行右转弯的无人输送车中,可以设为不能进行监控区域的向左部的切换和发光区域的向左部的切换的结构,在仅进行左转弯的无人输送车中,可以设为不能进行监控区域的向右部的切换和发光区域的向右部的切换的结构。
在实施例的无人输送车100中,在右转弯0秒~T秒前,照亮当前(直行中)的第一监控区域和成为变更后(右转弯中)的第一监控区域的区域这双方,在左转弯0秒~T秒前,照亮当前(直行中)的第一监控区域和成为变更后(左转弯中)的第一监控区域的区域这双方,但是不限定于此,也可以仅照亮任一方的区域,例如,仅照亮成为变更后的第一监控区域的区域。
在实施例的无人输送车100中,设置了三个发光部114L、114M、114R作为发光部114,但是不限定于此,也可以使用一个发光部并对应于监控区域的切换而变更发光方向。而且,在实施例中,使用了半导体激光作为发光部114,但是不限定于此,也可以使用例如LED等,只要能够照亮第一监控区域且能够切换点亮与熄灭,就可以使用任意光源。
在实施例的无人输送车100中,在第二监控区域内未检测到障碍物时不使发光部114发光,在第二监控区域内检测到障碍物时使发光部114发光,但也可以是在变更行进方向期间或行进方向的变更前规定时间以内时,无论在第二监控区域内是否检测到障碍物都使发光部114发光。在该情况下,在变更行进方向期间或行进方向的变更前规定时间以内时,也可以不进行第二监控区域内的障碍物的检测。
在实施例中,将无人输送车100构成为带式供料器补给装置,但是不限定于此,也可以构成为能够对于能够装配通过托盘供给元件的托盘式供料器的元件安装机进行托盘式供料器的补给和回收的托盘式供料器补给装置,或者构成为对于在基台11内具备收纳从带取出了元件之后的废带的废带箱的元件安装机10来回收其废带的废带回收装置等,可以使用于任意的对基板作业机的部件的补给和回收。而且,也可以应用于对基板作业机的部件的补给和回收以外的用途。
在此,说明本实施例的主要要素与发明内容一栏记载的发明的主要要素的对应关系。即,无人输送车100相当于“移动体”,监控部110(激光扫描器)或切换部112相当于“检测单元”,发光部114(左发光部114L、中央发光部114M、右发光部114R)相当于“发光单元”,执行图9的发光控制处理或图11的发光切换处理的控制装置120的CPU121相当于“发光控制单元”。而且,执行图6的监控处理的控制装置120的CPU121相当于“移动停止单元”。
另外,本发明不受上述实施例的任何限定,只要属于本发明的技术范围就能以各种形态实施,这是不言而喻的。
产业上的可利用性
本发明能够利用于移动体的制造产业等。
附图标记说明
1元件安装***,2保管库,4A、4B基板输送装置,6印刷机,10元件安装机,11基台,12主体框,14支撑台,16供料器支撑台,20元件供给装置,21带式供料器,22A、22B支撑装置,26标记相机,28零件相机,30头,40 XY机器人,41 X轴导轨,42 X轴滑动件,43 Y轴导轨,44Y轴滑动件,100无人输送车,101车轮,102行驶台,104行驶电动机,106补给单元,110监控部,112切换部,114发光部,114L左发光部,114M中央发光部,114R右发光部,120控制装置,121 CPU,122 ROM,123 RAM,124输入输出接口,125总线,S基板,L行驶线。
Claims (3)
1.一种移动体,其特征在于,具备:
检测单元,能够对以所述移动体为基准的第一区域内的障碍物进行检测及对比该第一区域靠外侧的第二区域内的障碍物进行检测;
发光单元,发出可视光;及
发光控制单元,在由所述检测单元在所述第二区域内检测到障碍物的情况下,以向所述第一区域发出可视光的方式控制所述发光单元,在由所述检测单元在所述第二区域内未检测到障碍物的情况下,以不向所述第一区域发出可视光的方式控制所述发光单元,
所述移动体能够沿着预先确定的移动路线移动,
在所述移动体的行进方向被变更的期间,所述检测单元能够对应于该行进方向的变更来至少变更所述第一区域,
在所述移动体的行进方向被变更的预定时间之前,所述发光控制单元能够至少向成为变更后的行进方向的所述第一区域的区域发光。
2.根据权利要求1所述的移动体,其特征在于,
所述移动体具备移动停止单元,在由所述检测单元在所述第一区域内检测到障碍物的情况下,所述移动停止单元使移动停止。
3.根据权利要求1或2所述的移动体,其特征在于,
所述移动体是在将从元件供给装置供给的电子元件向基板安装的电子元件安装机与保管所述元件供给装置的保管库之间自动地进行所述元件供给装置的补给及使用后的所述元件供给装置的回收的输送装置。
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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PB01 | Publication | ||
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SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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CB02 | Change of applicant information |
Address after: Aichi Japan vertical city Applicant after: Fuji Corporation Address before: Aichi Japan vertical city Applicant before: Fuji Machinery Manufacturing Co., Ltd. |
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CB02 | Change of applicant information | ||
GR01 | Patent grant | ||
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