CN107407424A - 滑动部件 - Google Patents

滑动部件 Download PDF

Info

Publication number
CN107407424A
CN107407424A CN201680019643.8A CN201680019643A CN107407424A CN 107407424 A CN107407424 A CN 107407424A CN 201680019643 A CN201680019643 A CN 201680019643A CN 107407424 A CN107407424 A CN 107407424A
Authority
CN
China
Prior art keywords
sliding surface
groove
mentioned
fluid
slide unit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201680019643.8A
Other languages
English (en)
Other versions
CN107407424B (zh
Inventor
德永雄郎
德永雄一郎
千叶启
千叶启一
板谷壮敏
香取光
香取一光
木村航
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Eagle Industry Co Ltd
Original Assignee
Eagle Industry Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Eagle Industry Co Ltd filed Critical Eagle Industry Co Ltd
Publication of CN107407424A publication Critical patent/CN107407424A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN107407424B publication Critical patent/CN107407424B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F01—MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; ENGINE PLANTS IN GENERAL; STEAM ENGINES
    • F01D—NON-POSITIVE DISPLACEMENT MACHINES OR ENGINES, e.g. STEAM TURBINES
    • F01D25/00—Component parts, details, or accessories, not provided for in, or of interest apart from, other groups
    • F01D25/16—Arrangement of bearings; Supporting or mounting bearings in casings
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J15/00—Sealings
    • F16J15/16—Sealings between relatively-moving surfaces
    • F16J15/34—Sealings between relatively-moving surfaces with slip-ring pressed against a more or less radial face on one member
    • F16J15/3404—Sealings between relatively-moving surfaces with slip-ring pressed against a more or less radial face on one member and characterised by parts or details relating to lubrication, cooling or venting of the seal
    • F16J15/3408—Sealings between relatively-moving surfaces with slip-ring pressed against a more or less radial face on one member and characterised by parts or details relating to lubrication, cooling or venting of the seal at least one ring having an uneven slipping surface
    • F16J15/3412—Sealings between relatively-moving surfaces with slip-ring pressed against a more or less radial face on one member and characterised by parts or details relating to lubrication, cooling or venting of the seal at least one ring having an uneven slipping surface with cavities
    • F16J15/3416—Sealings between relatively-moving surfaces with slip-ring pressed against a more or less radial face on one member and characterised by parts or details relating to lubrication, cooling or venting of the seal at least one ring having an uneven slipping surface with cavities with at least one continuous groove
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F01—MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; ENGINE PLANTS IN GENERAL; STEAM ENGINES
    • F01D—NON-POSITIVE DISPLACEMENT MACHINES OR ENGINES, e.g. STEAM TURBINES
    • F01D25/00—Component parts, details, or accessories, not provided for in, or of interest apart from, other groups
    • F01D25/18—Lubricating arrangements
    • F01D25/183—Sealing means
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F02—COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
    • F02B—INTERNAL-COMBUSTION PISTON ENGINES; COMBUSTION ENGINES IN GENERAL
    • F02B39/00—Component parts, details, or accessories relating to, driven charging or scavenging pumps, not provided for in groups F02B33/00 - F02B37/00
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F02—COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
    • F02C—GAS-TURBINE PLANTS; AIR INTAKES FOR JET-PROPULSION PLANTS; CONTROLLING FUEL SUPPLY IN AIR-BREATHING JET-PROPULSION PLANTS
    • F02C7/00—Features, components parts, details or accessories, not provided for in, or of interest apart form groups F02C1/00 - F02C6/00; Air intakes for jet-propulsion plants
    • F02C7/06—Arrangements of bearings; Lubricating
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F02—COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
    • F02C—GAS-TURBINE PLANTS; AIR INTAKES FOR JET-PROPULSION PLANTS; CONTROLLING FUEL SUPPLY IN AIR-BREATHING JET-PROPULSION PLANTS
    • F02C7/00—Features, components parts, details or accessories, not provided for in, or of interest apart form groups F02C1/00 - F02C6/00; Air intakes for jet-propulsion plants
    • F02C7/08—Heating air supply before combustion, e.g. by exhaust gases
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F02—COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
    • F02C—GAS-TURBINE PLANTS; AIR INTAKES FOR JET-PROPULSION PLANTS; CONTROLLING FUEL SUPPLY IN AIR-BREATHING JET-PROPULSION PLANTS
    • F02C7/00—Features, components parts, details or accessories, not provided for in, or of interest apart form groups F02C1/00 - F02C6/00; Air intakes for jet-propulsion plants
    • F02C7/28—Arrangement of seals
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/08—Sealings
    • F04D29/10—Shaft sealings
    • F04D29/12—Shaft sealings using sealing-rings
    • F04D29/122—Shaft sealings using sealing-rings especially adapted for elastic fluid pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C17/00—Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement
    • F16C17/04—Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement for axial load only
    • F16C17/045—Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement for axial load only with grooves in the bearing surface to generate hydrodynamic pressure, e.g. spiral groove thrust bearings
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
    • F16C33/02—Parts of sliding-contact bearings
    • F16C33/04—Brasses; Bushes; Linings
    • F16C33/06—Sliding surface mainly made of metal
    • F16C33/10—Construction relative to lubrication
    • F16C33/1025—Construction relative to lubrication with liquid, e.g. oil, as lubricant
    • F16C33/106—Details of distribution or circulation inside the bearings, e.g. details of the bearing surfaces to affect flow or pressure of the liquid
    • F16C33/1065—Grooves on a bearing surface for distributing or collecting the liquid
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
    • F16C33/02—Parts of sliding-contact bearings
    • F16C33/04—Brasses; Bushes; Linings
    • F16C33/06—Sliding surface mainly made of metal
    • F16C33/10—Construction relative to lubrication
    • F16C33/1025—Construction relative to lubrication with liquid, e.g. oil, as lubricant
    • F16C33/106—Details of distribution or circulation inside the bearings, e.g. details of the bearing surfaces to affect flow or pressure of the liquid
    • F16C33/1075—Wedges, e.g. ramps or lobes, for generating pressure
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J15/00—Sealings
    • F16J15/16—Sealings between relatively-moving surfaces
    • F16J15/34—Sealings between relatively-moving surfaces with slip-ring pressed against a more or less radial face on one member
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J15/00—Sealings
    • F16J15/16—Sealings between relatively-moving surfaces
    • F16J15/34—Sealings between relatively-moving surfaces with slip-ring pressed against a more or less radial face on one member
    • F16J15/3404—Sealings between relatively-moving surfaces with slip-ring pressed against a more or less radial face on one member and characterised by parts or details relating to lubrication, cooling or venting of the seal
    • F16J15/3408—Sealings between relatively-moving surfaces with slip-ring pressed against a more or less radial face on one member and characterised by parts or details relating to lubrication, cooling or venting of the seal at least one ring having an uneven slipping surface
    • F16J15/3412—Sealings between relatively-moving surfaces with slip-ring pressed against a more or less radial face on one member and characterised by parts or details relating to lubrication, cooling or venting of the seal at least one ring having an uneven slipping surface with cavities
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F02—COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
    • F02B—INTERNAL-COMBUSTION PISTON ENGINES; COMBUSTION ENGINES IN GENERAL
    • F02B39/00—Component parts, details, or accessories relating to, driven charging or scavenging pumps, not provided for in groups F02B33/00 - F02B37/00
    • F02B39/14—Lubrication of pumps; Safety measures therefor
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F05—INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
    • F05D—INDEXING SCHEME FOR ASPECTS RELATING TO NON-POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES OR ENGINES, GAS-TURBINES OR JET-PROPULSION PLANTS
    • F05D2220/00—Application
    • F05D2220/40—Application in turbochargers
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C2361/00—Apparatus or articles in engineering in general

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Mechanical Sealing (AREA)

Abstract

在从启动时到稳定运转时的整个期间，使滑动面的密封和润滑这两个对立的功能并存。一种滑动部件，具备互相相对滑动的一对滑动部件，一个滑动部件是固定侧密封环，另一个滑动部件是旋转侧密封环，这些密封环具有在半径方向上所形成的滑动面(S)，对被密封流体泄露进行密封，上述滑动部件的特征在于，在滑动面(S)至少一个上设置以与滑动面(S)的一个周缘连通而与另一个周缘不连通的方式构成的流体导入槽(10)，并且设置以与滑动面(S)的上述另一个周缘连通而与上述一个周缘不连通的方式构成的动压产生槽(11)。

Description

滑动部件
技术领域
本发明涉及例如应用于机械密封、轴承等滑动部的滑动部件。特别是涉及使流体介于滑动面间来降低摩擦，并且需要防止流体从滑动面泄露的密封环、例如在涡轮增压器用或航空发动机用的齿轮箱中使用的油封或轴承等的滑动部件。
背景技术
在作为滑动部件的一例的机械密封中，其性能根据泄漏量、磨损量以及转矩来评价。在现有技术中，通过将机械密封的滑动材质、滑动面粗糙度最优化来提高性能，实现低泄露、高寿命、低转矩。然而，由于近年来对环境问题的意识提高，寻求进一步提高机械密封的性能，需要进行超越现有技术的限制的技术研发。
在此之中，例如，已知有作为在涡轮增压器这样的旋转部件的油封装置中使用的部件，其具备：能够旋转地收纳于外壳的旋转轴；与旋转轴一同旋转的圆盘状的旋转体；以及固定于外壳并与旋转体的端面抵接而防止从外周侧向内周侧漏油的圆盘状的固定体，在固定体的抵接面上设置利用流体的离心力来产生正压的环状的槽，防止油从外周侧向内周侧泄露(例如，参照专利文献1。)。
另外，例如已知一种对有毒的流体进行密封的旋转轴的轴封装置，其具备与旋转轴一同旋转的旋转圈和安装于壳体的静止圈，在旋转圈及静止圈的任一个的滑动面均以成为不到达高压侧的端部的形状的方式设置利用旋转圈的旋转，朝向高压侧卷入低压侧的液体的螺旋槽，防止高压侧的被密封流体向低压侧泄露(例如，参照专利文献2。)。
另外，例如，已知有作为应用于对涡轮增压器的驱动轴与压缩机外壳进行密封的面密封构造，将协动的一对密封圈中的一个设置成旋转结构单元，另一个设置成静止结构单元，这些密封圈具有在工作中实质上在半径方向所形成的密封面，在密封面彼此之间形成用于对密封面的外侧区域与密封面的内侧区域进行密封的密封间隙，在密封面的至少一个上设置用于送入气体的在周向上分离的多个凹部，该凹部从密封面的一个周缘朝向另一个周缘延伸，并且凹部的内端设置为在半径方向上与上述密封面的另一个周缘分离，进而密封含有非气体成分的气体介质中的非气体成分(例如，参照专利文献3。)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本实开昭62－117360号公报
专利文献2：日本特开昭62－31775号公报
专利文献3：日本特开2001－12610号公报
发明内容
发明所要解决的课题
但是，在上述的专利文献1至3记载的现有技术中，为了使相对滑动的一对滑动部件的滑动面上浮，成为气体润滑状态，需要某种程度的周期，存在在上浮前的边界润滑状态下，滑动面磨损而损坏的问题。
本发明的目的在于提供一种滑动部件，其在相对滑动的一对滑动部件的滑动面上浮前的启动时，从滑动面的一侧积极地导入流体(例如，液体)，提高润滑性，而且在稳定运转时，使流体(例如，液体)从滑动面排出，并且从滑动面的另一侧导入流体(例如，气体)来形成流体(气体)润滑状态，从而能够在从启动时到稳定运转时的整个期间使滑动面的密封和润滑这两个对立的功能并存。
用于解决课题的方案
为了实现上述目的，第一，本发明的滑动部件具备互相相对滑动的一对滑动部件，一个滑动部件是固定侧密封环，另一个滑动部件是旋转侧密封环，这些密封环具有在半径方向上所形成的滑动面，对被密封流体泄露进行密封，上述滑动部件的特征在于，在上述滑动面的至少一个设置以与上述滑动面的一个周缘连通而与另一个周缘不连通的方式构成的流体导入槽，并且设置以与上述滑动面的上述另一个周缘连通而与上述一个周缘不连通的方式构成的动压产生槽。
根据该特征，通过设置以与滑动面的一个周缘连通而与另一个周缘不连通的方式构成的流体导入槽，从而能够在启动时等旋转侧密封环的低速旋转状态下，将在滑动面的一侧存在的流体积极地导入滑动面，进行滑动面的润滑。另外，在旋转侧密封环稳定运行等高速旋转时，从流体导入槽导入到滑动面的流体受离心力而排出，因此流体不会向作为泄露侧的内周侧泄露。
而且，通过设置以与滑动面的上述另一个周缘连通而与上述一个周缘不连通的方式构成的动压产生槽，从而能够在稳定运行等旋转侧密封环的高速旋转状态下，吸入在滑动面的另一侧存在的流体，产生动压(正压)，因此在旋转侧密封环与固定侧密封环的滑动面形成微小的间隙，滑动面成为流体润滑的状态，摩擦非常小。同时，因动压产生槽而朝向上述另一侧抽入上述另一侧存在的流体，因此能够防止上述一侧的流体向另一侧泄露。
另外，第二，本发明的滑动部件具备互相相对滑动的一对滑动部件，一个滑动部件是固定侧密封环，另一个滑动部件是旋转侧密封环，这些密封环具有在半径方向上所形成的滑动面，对作为被密封流体的液体或雾状的流体泄露进行密封，上述滑动部件的特征在于，在上述滑动面的至少一个设置以与上述滑动面的被密封流体侧的周缘连通而与泄露侧的周缘不连通的方式构成的流体导入槽，并且设置以与上述滑动面的泄露侧的周缘连通而与上述被密封侧的周缘不连通的方式构成的动压产生槽。
根据该特征，通过设置以与滑动面的被密封流体侧连通而与泄露侧不连通的方式构成的流体导入槽，从而能够在启动时等旋转侧密封环的低速旋转状态下，将在滑动面的被密封流体侧存在的液体或雾状的流体积极地导入滑动面，进行滑动面的润滑。
另外，在旋转侧密封环稳定运行等高速旋转时，从流体导入槽导入到滑动面的液体或雾状的流体受离心力而排出，因此液体或雾状的流体不会向作为泄露侧的内周侧泄露。
而且，通过设置以与滑动面的泄露侧的周缘连通而与被密封流体侧的周缘不连通的方式构成的动压产生槽，从而能够在稳定运行等旋转侧密封环的高速旋转状态下，从泄露侧吸入流体，产生动压(正压)，因此，在旋转侧密封环与固定侧密封环的滑动面形成微小的间隙，滑动面成为流体润滑的状态，摩擦非常低。同时，因动压产生槽而朝向被密封流体侧抽入泄露侧的流体，因此能够防止被密封流体侧的液体或雾状的流体向泄露侧泄露。
另外，第三，本发明的滑动部件的特征在于，在第一或第二特征中，上述流体导入槽及上述动压产生槽仅设于上述旋转侧密封环的滑动面。
根据该特征，在旋转侧密封环稳定运行等高速旋转时，从流体导入槽导入到滑动面的流体受离心力而排出，因此液体或雾状的流体不会向作为泄露侧的内周侧泄露。
而且，在稳定运行等旋转侧密封环的高速旋转状态下，更进一步地从泄露侧吸入流体，产生动压(正压)，因此能够在旋转侧密封环与固定侧密封环的滑动面形成微小的间隙，滑动面成为流体润滑的状态，摩擦非常低。
而且，能够进行将旋转侧密封环的材质设为碳化硅(SiC)，将固定侧密封环的材质设为碳的组合，即使在万一滑动面变干的情况下，也能够防止滑动面的损伤。
另外，第四，本发明的滑动部件的特征在于，在第一或第二特征中，上述流体导入槽及上述动压产生槽仅设于上述固定侧密封环的滑动面。
根据该特征，能够在启动时等对象侧的旋转侧密封环的低速旋转状态下将在滑动面的一侧存在的流体更进一步地积极地导入滑动面，进行滑动面的润滑。
另外，第五，本发明的滑动部件的特征在于，在第一或第二特征中，上述流体导入槽设于上述旋转侧密封环或上述固定侧密封环的任意一个的滑动面，另外，上述动压产生槽设于上述旋转侧密封环或上述固定侧密封环的任意另一个的滑动面。
根据该特征，能够容易地进行流体导入槽及动压产生槽的加工。
另外，第六，本发明的滑动部件的特征在于，在第一至第五的任一个特征中，在上述滑动面的径向的一侧配设上述流体导入槽，在另一侧配设上述动压产生槽，在上述流体导入槽与上述动压产生槽之间设置脱气槽。
根据该特征，能够防止从一侧所吸入的流体混入另一侧的流体而使动压产生变得不稳定，能够稳定产生动压。
另外，能够防止一侧的流体向另一侧泄露。
另外，第七，本发明的滑动部件的特征在于，在第一至第六的任一个特征中，上述流体导入槽以沿着上述滑动面的一个周缘的方式设置，并具有仅在上述滑动面的一个周缘开口的开口部，而且以上述开口部最大的方式形成为锥形形状。
根据该特征，能够在启动时等旋转侧密封环的低速旋转状态下，使在滑动面的一侧存在的流体容易地进入滑动面，有助于滑动面的润滑。
另外，第八，本发明的滑动部件的特征在于，在第一至第六的任一个特征中，上述流体导入槽以沿着上述滑动面的一个周缘的方式设置，并具有仅在上述滑动面的一个周缘开口的开口部，上述开口部的相反侧形成为在径向上呈圆弧状切入而成的形状。
根据该特征，能够在旋转侧密封环的任意的旋转方向上均向滑动面导入流体。
另外，第九，本发明的滑动部件的特征在于，在第一至第六的任一个特征中，上述流体导入槽以沿着上述滑动面的一个周缘的方式设置，并由仅与上述滑动面的一个周缘连通的流体导入部和流体导出部、以及将它们在周向上连通的流体连通部构成。
根据该特征，能够在启动时等旋转侧密封环的低速旋转状态下将在滑动面的一侧存在的流体更进一步地积极地导入滑动面，进行滑动面的润滑。
另外，第十，本发明的滑动部件的特征在于，在第一至第九的任一个特征中，设置正压产生机构，其具备上游侧与上述流体导入槽连通的正压产生槽。
根据该特征，特别是在启动时等旋转侧密封环的低速旋转状态下，也产生正压(动压)，因此滑动面上的低速时的液膜增大，能够提高低速时的润滑性能。
另外，第十一，本发明的滑动部件的特征在于，在第一至第十的任一个特征中，上述动压产生槽呈仅与上述滑动面的另一个周缘连通的螺旋形状。
根据该特征，能够增大对在滑动面的上述另一侧存在的流体的抽力，因此能够更进一步地防止流体的泄露。
另外，第十二，本发明的滑动部件的特征在于，在第一至第十的任一个特征中，上述动压产生槽构成为对称地配设一对仅与上述滑动面的另一个周缘连通的大致L字形状的槽。
根据该特征，能够在旋转侧密封环的任意的旋转方向上，均在滑动面产生预定的动压。
发明的效果
本发明起到以下优异的效果。
(1)通过设置以与滑动面的一个周缘连通而与另一个周缘不连通的方式构成的流体导入槽，能够在启动时等旋转侧密封环的低速旋转状态下，将在滑动面的一侧存在的流体积极地导入滑动面，进行滑动面的润滑。另外，在旋转侧密封环稳定运行等高速旋转时，从流体导入槽导入到滑动面的流体受离心力而排出，因此流体不会向作为泄露侧的内周侧泄露。
而且，通过设置以与滑动面的上述另一个周缘连通而与上述一个周缘不连通的方式构成的动压产生槽，能够在稳定运行等旋转侧密封环的高速旋转状态下，吸入在滑动面的另一侧存在的流体，产生动压(正压)，因此在旋转侧密封环与固定侧密封环的滑动面形成微小的间隙，滑动面成为流体润滑的状态，摩擦非常小。同时，因动压产生槽而朝向上述另一侧抽入在上述另一侧存在的流体，因此能够防止上述一侧的流体向另一侧泄露。
(2)通过设置以与滑动面的被密封流体侧连通而与泄露侧不连通的方式构成的流体导入槽，能够在启动时等旋转侧密封环的低速旋转状态下，将在滑动面的被密封流体侧存在的液体或雾状的流体积极地导入滑动面，进行滑动面的润滑。
另外，在旋转侧密封环稳定运行等高速旋转时，从流体导入槽导入到滑动面的液体或雾状的流体受离心力而排出，因此液体或雾状的流体不会向作为泄露侧的内周侧泄露。
而且，通过设置以与滑动面的泄露侧的周缘连通而与被密封流体侧的周缘不连通的方式构成的动压产生槽，能够在稳定运行等旋转侧密封环的高速旋转状态下，从泄露侧吸入流体，产生动压(正压)，因此，在旋转侧密封环与固定侧密封环的滑动面形成微小的间隙，滑动面成为流体润滑的状态，摩擦非常低。同时，因动压产生槽而朝向被密封流体侧抽入泄露侧的流体，因此能够防止被密封流体侧的液体或雾状的流体向泄露侧泄露。
(3)流体导入槽及动压产生槽仅设于旋转侧密封环的滑动面，从而在旋转侧密封环稳定运行等高速旋转时，从流体导入槽导入到滑动面的流体受离心力而排出，因此液体或雾状的流体不会向作为泄露侧的内周侧泄露。
而且，在稳定运行等旋转侧密封环的高速旋转状态下，更进一步地从泄露侧吸入流体，产生动压(正压)，因此能够在旋转侧密封环与固定侧密封环的滑动面形成微小的间隙，滑动面成为流体润滑的状态，摩擦非常低。
而且，能够进行将旋转侧密封环的材质设为碳化硅(SiC)，将固定侧密封环的材质设为碳的组合，即使在万一滑动面变干的情况下，也能够防止滑动面的损伤。
(4)流体导入槽及动压产生槽仅设于上述固定侧密封环的滑动面，从而能够在启动时等对象侧的旋转侧密封环的低速旋转状态下将在滑动面的一侧存在的流体更进一步地积极地导入滑动面，进行滑动面的润滑。
(5)流体导入槽设于旋转侧密封环或固定侧密封环的任意一个的滑动面，另外，动压产生槽设于旋转侧密封环或固定侧密封环的任意另一个的滑动面，从而能够容易地进行流体导入槽及动压产生槽的加工。
(6)在滑动面的径向的一侧配设流体导入槽，在另一侧配设动压产生槽，在流体导入槽与动压产生槽之间设置脱气槽，从而能够防止从一侧所吸入的流体混入另一侧的流体而使动压产生变得不稳定，能够稳定产生动压。
另外，能够防止一侧的流体向另一侧泄露。
(7)流体导入槽以沿着滑动面的一个周缘的方式设置，并具有仅在滑动面的一个周缘开口的开口部，而且以开口部最大的方式形成为锥形形状，从而能够在启动时等旋转侧密封环的低速旋转状态下，使在滑动面的一侧存在的流体容易地进入滑动面，有助于滑动面的润滑。
(8)流体导入槽以沿着滑动面的一个周缘的方式设置，并具有仅在滑动面的一个周缘开口的开口部，开口部的相反侧形成为在径向上呈圆弧状切入而成的形状，从而能够在旋转侧密封环的任意的旋转方向上均向滑动面导入流体。
(9)流体导入槽以沿着滑动面的一个周缘的方式设置，由仅与滑动面的一个周缘连通的流体导入部和流体导出部、以及将它们在周向上连通的流体连通部构成，从而能够在启动时等旋转侧密封环的低速旋转状态下将在滑动面的一侧存在的流体更进一步地积极地导入滑动面，进行滑动面的润滑。
(10)设置正压产生机构，其具备上游侧与流体导入槽连通的正压产生槽，从而特别是在启动时等旋转侧密封环的低速旋转状态下，也产生正压(动压)，因此滑动面上的低速时的液膜增大，能够提高低速时的润滑性能。
(11)动压产生槽呈仅与滑动面的另一个周缘连通的螺旋形状，从而能够增大对在滑动面的上述另一侧存在的流体的抽力，因此能够更进一步地防止流体的泄露。
(12)动压产生槽构成为对称地配设一对仅与滑动面的另一个周缘连通的大致L字形状的槽，从而能够在旋转侧密封环的任意的旋转方向上，均在滑动面产生预定的动压。
附图说明
图1是表示本发明的实施例1的机械密封的一例的纵剖视图。
图2表示本发明的实施例1的滑动部件的滑动面，而且在旋转侧密封环的滑动面上设于流体导入槽及动压产生槽。
图3表示本发明的实施例2的滑动部件的滑动面，而且在固定侧密封环的滑动面上设有流体导入槽及动压产生槽。
图4表示本发明的实施例3的滑动部件的滑动面。
图5是用于容易理解地说明实施例1至实施例3的滑动面的状态的说明图。
图6表示本发明的实施例4的滑动部件的滑动面。
图7表示本发明的实施例5的滑动部件的滑动面。
图8表示本发明的实施例6的滑动部件的滑动面。
图9表示本发明的实施例7的滑动部件的滑动面。
图10表示本发明的实施例8的滑动部件的滑动面。
图11表示本发明的实施例9的滑动部件的滑动面。
具体实施方式
以下，参照图面，基于实施例，示例性地对用于实施本发明的方式进行说明。其中，在该实施例所记载的结构部件的尺寸、材质、形状、其相对的配置等，除非另有明确说明，否则并非将本发明的范围仅限定于它们的主旨。
实施例1
参照图1及图2，对本发明的实施例1的滑动部件进行说明。
此外，在以下的实施例中，以作为滑动部件的一例的机械密封为例进行说明。另外，将构成机械密封的滑动部件的外周侧作为被密封流体侧(液体侧或者雾状的流体侧)，将内周侧作为泄露侧(气体侧)进行说明，但本发明不限于此，也能够应用于外周侧为泄露侧(气体侧)而内周侧为被密封流体侧(液体侧或雾状的流体侧)的情况。另外，对于被密封流体侧(液体侧或者雾状的流体侧)与泄露侧(气体侧)的压力的大小关系，例如，被密封流体侧(液体侧或者雾状的流体侧)为高压，泄露侧(气体侧)为低压，或者也可以为相反的状态，另外，也可以双方的压力相同。
图1是表示机械密封的一例的纵剖视图，是对欲从滑动面的外周朝向内周方向泄露的被密封流体、例如在轴承部所使用的润滑油进行密封的形式的内装式，设有圆环状的旋转侧密封环4和圆环状的固定侧密封环7，旋转侧密封环4是在使涡轮增压器具备的压缩机的叶轮1驱动的旋转轴2侧设置为经由套筒3而能够与该旋转轴2一体旋转的状态的一个滑动部件，固定侧密封环7是以非旋转状态且在轴向能够移动的状态，经由卡盘6而设于外壳5的另一个滑动部件，利用对固定侧密封环7向轴向施力的螺旋波浪形弹簧8，在通过研磨等进行了镜面抛光的滑动面S彼此进行密接滑动。即，就该机械密封而言，旋转侧密封环4及固定侧密封环7具有在半径方向上所形成的滑动面S，互相的滑动面S防止被密封流体、例如，液体或雾状的流体(以下，有时简称为“液体”。)从滑动面S的外周向内周侧的泄露侧流出。
此外，符号9表示O型圈，对卡盘6与固定侧密封环7之间进行密封。
另外，在本例中，对套筒3和旋转侧密封环4为分体的情况进行说明，但不限于此，也可以一体形成套筒3和旋转侧密封环4。
旋转侧密封环4及固定侧密封环7的材质从耐磨损性优异的碳化硅(SiC)及自润滑性优异的碳等中选择，例如，两者均为SiC，或者也能够为任一方为SiC而另一方为碳的组合。
图2表示本发明的实施例1的滑动部件的滑动面，在本例中，对在图1的旋转侧密封环4的滑动面上设有流体导入槽10及动压产生槽11的情况进行说明。
在本例中，为了在旋转侧密封环4的滑动面上进行流体导入槽10及动压产生槽11的加工，旋转侧密封环4由碳化硅(SiC)形成，固定侧密封环7由碳形成。
在图2中，旋转侧密封环4的滑动面S的外周侧为被密封流体侧、例如液体侧，另外，内周侧为泄露侧、例如气体侧，旋转侧密封环4如箭头所述地沿顺时针方向旋转。
在旋转侧密封环4的滑动面S上设有以与该滑动面S的被密封流体侧、即外周侧的周缘连通而与泄露侧、即内周侧的周缘不连通的方式构成的流体导入槽10，并且设有以与滑动面S的内周侧的周缘连通而与外周侧的周缘不连通的方式构成的动压产生槽11。
在图2(a)中，流体导入槽10具有仅在外周侧的周缘开口的开口部10a，且形成为开口部10a最大的锥形形状。因此，在启动时等旋转侧密封环5的低速旋转状态下，在滑动面S的外周侧存在的液体容易进入滑动面，能够有助于滑动面S的润滑。另外，流体导入槽10作成在径向上倾斜的形状，旋转时，上游侧位于径向的内方而下游侧在外周侧的周缘开口。因此，在旋转侧密封环5稳定运行等高速旋转状态下，从流体导入槽10导入到滑动面的液体受离心力而容易向外周侧排出，液体不会向作为泄露侧的内周侧泄露。
在本例中，流体导入槽10在周向上均匀配置有五个，但是只要为一个以上即可，另外，不限于均匀配置。
另一方面，动压产生槽11以与滑动面S的内周侧的周缘连通而与外周侧的周缘不连通的方式构成，且作成螺旋形状。动压产生槽11在稳定运行等旋转侧密封环4的高速旋转状态下，从内周侧的入口11a吸入气体，在外周侧的端部11b附近产生动压(正压)。因此，在旋转侧密封环4与固定侧密封环7的滑动面S形成微小的间隙，滑动面S成为气体润滑的状态，摩擦非常小。同时，因螺旋形状的动压产生槽11而朝向外周侧抽入内周侧的气体，因此防止外周侧的液体向内周侧泄露。另外，螺旋形状的动压产生槽11与外周侧被挡圈部R隔离，因此在静止时不会产生泄露。
在本例中，螺旋形状的动压产生槽11在与流体导入槽10不干涉的位置，在周向上配设有多个，但是，该配设方式是考虑运行条件等而从设计上决定。
流体导入槽10优选的形状为，在不影响由动压产生槽11带来的动压产生的范围内，向外周侧(液体侧)开口较大，促进液体的导入。例如，如图2(b)所示，流体导入槽10优选形成为大致直角三角形状，相当于底边的部分在外周侧开口，正交的短边位于旋转时的上游侧，从底边向径向的内方延伸，斜边朝向旋转时的下游侧而向外周侧倾斜。
此外，相比动压产生槽11的深度，将流体导入槽10的深度设定得充分深，例如，设定为25μm～500μm程度。
根据以上所说明的实施例1的结构，起到以下的效果。
(1)在旋转侧密封环4的滑动面S设置以与该滑动面S的被密封流体侧、即外周侧的周缘连通而与泄露侧、即内周侧的周缘不连通的方式构成的流体导入槽10，从而能够在启动时等旋转侧密封环4的低速旋转状态下将在滑动面S的外周侧存在的液体积极地导入滑动面S，进行滑动面S的润滑。
另外，在旋转侧密封环4稳定运行等高速旋转时，从流体导入槽10导入到滑动面的液体受离心力而排出，因此液体不会向作为泄露侧的内周侧泄露。
(2)设置以与滑动面S的内周侧的周缘连通而与外周侧的周缘不连通的方式构成的动压产生槽11，从而在稳定运行等旋转侧密封环4的高速旋转状态下，从内周侧的入口11a吸入气体，在外周侧的端部11b附近产生动压(正压)，因此能够在旋转侧密封环4与固定侧密封环7的滑动面S形成微小的间隙，滑动面S成为气体润滑的状态，摩擦非常小。同时，因螺旋形状的动压产生槽11而朝向外周侧抽内周侧的气体，因此能够防止外周侧的液体向内周侧泄露。
(3)在旋转侧密封环4侧设置流体导入槽10及动压产生槽11，因此能够进行将旋转侧密封环4的材质设为碳化硅(SiC)，将固定侧密封环7的材质设为碳的组合，即使在万一滑动面变干的情况下，也能够防止滑动面的损伤。
实施例2
参照图3，对本发明的实施例2的滑动部件进行说明。
实施例2的滑动部件与实施例1的滑动部件的不同点在于，流体导入槽10及动压产生槽11设于固定侧密封环7，其它基本结构与实施例1相同，对相同的构件标注相同的符号，省略重复的说明。
图3中，固定侧密封环7的滑动面S的外周侧为被密封流体侧、例如液体侧，另外，内周侧为泄露侧、例如气体侧，对象侧的旋转侧密封环4如箭头所示地沿逆时针方向旋转。
在固定侧密封环7的滑动面S上，设置以与外周侧的周缘连通而与内周侧的周缘不连通的方式构成的流体导入槽10，并且设置以与滑动面S的内周侧的周缘连通而与外周侧的周缘不连通的方式构成的动压产生槽11。
如上所述，在固定侧密封环7的滑动面S设置流体导入槽10，从而能够在启动时等对象侧的旋转侧密封环5的低速旋转状态下，将在滑动面S的外周侧存在的液体比实施例1更进一步积极地导入滑动面S，进行滑动面S的润滑。
另外，在对象侧的旋转侧密封环5稳定运行等高速旋转时，从流体导入槽10导入到滑动面的液体利用该液体的粘性，虽然比实施例1稍弱，但也受离心力而排出，因此液体不会向作为泄露侧的内周侧泄露。
而且，设置动压产生槽11，从而能够在稳定运行等对象侧的旋转侧密封环5的高速旋转状态下，从内周侧的入口11a利用气体的粘性，虽然比实施例1稍弱，但也吸入该气体，在外周侧的端部11b附近产生动压(正压)，因此在旋转侧密封环5与固定侧密封环7的滑动面S形成微小的间隙，滑动面S成为气体润滑的状态，摩擦非常小。同时，虽然比实施例1稍弱，但也因螺旋形状的动压产生槽11而朝向外周侧抽内周侧的气体，因此能够防止外周侧的液体向内周侧泄露。
实施例3
参照图4，对本发明的实施例3的滑动部件进行说明。
实施例3的滑动部件与实施例的不同在于流体导入槽及动压产生槽的形状，其它基本结构与实施例1相同，对相同的构件标注相同的符号，省略重复的说明。
图4中，旋转侧密封环4的滑动面S的外周侧为被密封流体侧、例如液体侧，另外，内周侧为泄露侧、例如气体侧，旋转侧密封环4如箭头所示地能够向双向旋转。
在旋转侧密封环4的滑动面S上，设置以与外周侧的周缘连通而与内周侧的周缘不连通的方式构成的流体导入槽12，并且设置以与滑动面S的内周侧的周缘连通而与外周侧的周缘不连通的方式构成的动压产生槽13。
流体导入槽12以沿着滑动面S对外周侧的周缘的方式设置，具有仅在滑动面S的外周侧的周缘开口的开口部12a，开口部12a的相反侧12b形成为在径向上呈圆弧状切入而的形状。即，流体导入槽12呈大致月牙状。因此，在启动时等旋转侧密封环4的低速旋转状态下，在滑动面S的外周侧存在的液体容易进入流体导入槽12，能够有助于滑动面S的润滑。另外，在旋转侧密封环4稳定运行等高速旋转状态下，从流体导入槽12导入到滑动面的液体受离心力而排出，液体不会向作为泄露侧的内周侧泄露。
而且，流体导入槽12呈大致月牙状，因此在旋转侧密封环4的任意的旋转方向上均能够产生同样的作用。
此外，流体导入槽12在周向上均匀地配设八个，但不限于此，只要为一个以上即可。
动压产生槽13具有仅与滑动面S的内周侧的周缘连通的径向连通部13a和沿周向延伸的动压产生部13b，且呈大致L字形状。在周向上与动压产生槽13对称地配设动压产生槽13’，两者成对。
此时，在旋转侧密封环4沿顺时针方向旋转的情况下，下游侧的动压产生槽13在稳定运行等旋转侧密封环4的高速旋转状态下从内周侧的径向连通部13a吸入气体，在沿周向延伸的动压发生部13b的端部13c附近产生动压(正压)。因此，在旋转侧密封环4与固定侧密封环7的滑动面S形成微小的间隙，滑动面S成为气体润滑的状态，摩擦非常小。同时，因大致L字形状的动压产生槽13而朝向外周侧抽内周侧的气体，因此防止外周侧的液体向内周侧泄露。
而且，动压产生槽13在周向上以接近的方式对称地配设一对，因此在旋转侧密封环4的任意的旋转方向上均能够产生相同的作用。
本例中，大致L字形状的动压产生槽13位于与流体导入槽12不干涉的位置而且在周向上均匀地配设有八个，但不限于此，可以在与流体导入槽12不干涉的范围内，在周向上增长，减少个数等，考虑运行条件等而在设计上决定。
此外，本例中，大致L字形状对动压产生槽13在周向上以接近的方式对称地配设一对，但是，将两个动压产生槽13一体化，作成大致T字形，也能够得到与本例相同的作用效果。
(实施例1至实施例3中的滑动面的状态的说明)
在此，一边参照图5，一边容易理解地对实施例1至实施例3中的滑动面的状态进行说明。
图5(a)是对设有流体导入槽及动压产生槽的滑动面上的流体导入槽及动压产生槽具有的作用进行说明的基本结构图。
例如，在滑动面的外周侧存在作为被密封流体的液体，另外，在内周侧的泄露侧存在气体，该情况下，流体导入槽承担以下作用：在低速旋转时将外周侧的液体导入滑动面，使滑动面成为非接触状态，在高速旋转时，利用离心力将滑动面的液体吹散，使液体的影响失效。
另一方面，动压产生槽承担以下作用：在低速旋转时，防止从外周侧向内周侧泄露，在高速旋转时，吸入内周侧对气体，使滑动面成为非接触状态，并且作为气封机构。
图5(b)是对低速旋转时的状况进行说明的图，通过流体导入槽将外周侧的液体导入滑动面，利用流体润滑作用，使滑动面保持非接触状态，另一方面，由于在内周侧产生的动压小，因此处于不能充分获取气体的状况，但是阻止向内周侧的泄露。
图5(c)是对高速旋转时的状况进行说明的图，导入到滑动面的液体因离心力而向外周侧吹散，因此由滑动面的液体带来的流体润滑作用失效，另一方面，由于在内周侧产生的动压大，因此充分获取气体，将滑动面维持为非接触状态，并且由于滑动面的压力提高，因此外周侧的液体不会向内周侧泄露。处于所谓的气封的状态。
实施例4
参照图6，对本发明的实施例4的滑动部件进行说明。
实施例4的滑动部件与实施例1的不同点在于，附件地设置正压产生机构，其它基本结构与实施例1相同，对相同的构件标注相同的符号，省略重复的说明。
图6中，在旋转侧密封环4的滑动面S上，设置以与该滑动面S的被密封流体侧、即外周侧的周缘连通而与泄露侧、即内周侧的周缘不连通的方式构成的流体导入槽10，并且设置以与滑动面S的内周侧的周缘连通而与外周侧的周缘不连通的方式构成的动压产生槽11。
另外，在被流体导入槽10、动压产生槽11以及外周侧包围的部分设有正压产生机构15，该正压产生机构具备比流体导入槽10浅的正压产生槽15a。就正压产生槽15a而言，上游侧与流体导入槽10连通，通过挡圈部R与外周侧及动压产生槽11隔离，在下游侧的瑞利台阶15b产生正压(动压)，从而使滑动面件的流体膜增加，提高润滑性能。该正压产生机构15特别是在启动时等旋转侧密封环4的低速旋转状态下也产生正压(动压)，因此能够增大滑动面上的低速时的液膜，提高低速时的润滑性能。
实施例5
参照图7，对本发明的实施例5的滑动部件进行说明。
实施例5的滑动部件与实施例1的不同点在于，流体导入槽的形状及额外设置正压产生机构，其它基本机构与实施例1相同，对相同的构件标注相同的符号，省略重复的说明。
图7中，在旋转侧密封环4的滑动面S上，设置以与该滑动面S的被密封流体侧、即外周侧的周缘连通而与泄露侧、即内周侧的周缘不连通的方式构成的流体导入槽10，并且设置以与滑动面S的内周侧的周缘连通而与外周侧的周缘不连通的方式构成的、平面形状为螺旋形状的动压产生槽11。
流体导入槽10以沿着外周侧的周缘的方式配设，平面形状形成为大致矩形状，在滑动面S的外周侧的周缘与被密封流体侧连通，通过挡圈部R与内周侧隔离。
另外，设置具备正压产生槽15a的正压产生机构15，正压产生槽15a与流体导入槽10的圆周方向的下游侧连通，比流体导入槽10浅。正压产生机构15通过产生正压(动压)，从而使滑动面间的流体膜增加，提高润滑性能。
正压产生槽15a与上游侧流体导入槽10连通，通过挡圈部R与外周侧隔离。
在本例中，正压产生机构15由在上游侧与流体导入槽10连通的正压产生槽15a及具备瑞利台阶15b的瑞利台阶机构构成，但不限于此，总之，只要是产生正压的机构即可。
图7中，流体导入槽10及正压产生机构15所成的平面形状呈大致倒L字状。
此时，在旋转侧密封环4沿顺时针方向旋转的情况下，外周侧的液体从大致矩形状的流体导入槽10导入滑动面，能够进行滑动面S的润滑。此时，通过正压产生机构15产生正压(动压)，因此能够增大滑动面间的流体膜，进一步提高润滑性能。
另外，在旋转侧密封环4稳定运行等的高速旋转时，从流体导入槽10导入到滑动面的液体受离心力而排出，因此液体不会向作为泄露侧的内周侧泄露。
而且，在稳定运行等旋转侧密封环4的高速旋转状态下，从动压产生槽11的内周侧的入口11a吸入气体，在外周侧的端部11b附近产生动压(正压)，因此能够在旋转侧密封环4与固定侧密封环7的滑动面S形成微小的间隙，滑动面S成为气体润滑对状态，摩擦非常小。同时，因螺旋形状的动压产生槽11而朝向外周侧抽内周侧的气体，因此能够防止外周侧的液体向内周侧泄露。
实施例6
参照图8，对本发明的实施例6的滑动部件进行说明。
实施例6的滑动部件与实施例1的不同点在于，流体导入槽的形状不同，以及额外设置正压产生机构，其它基本机构与实施例1相同，对相同的构件标注相同的符号，省略重复的说明。
图8中，在旋转侧密封环4的滑动面S上，设置以与该滑动面S的被密封流体侧、即外周侧的周缘连通而与泄露侧、即内周侧的周缘不连通的方式构成的流体导入槽16，并且设置以与滑动面S的内周侧的周缘连通而与外周侧的周缘不连通的方式构成的、平面形状为螺旋形状的动压产生槽11。
流体导入槽16以沿着外周侧的周缘的方式配设，由仅与滑动面S的外周侧的周缘连通的流体导入部16a及流体导出部16b、以及将它们在周向上连通的流体连通部16c构成，而且通过挡圈部R与内周侧隔离。
在本例中，流体导入部16a及流体导出部16b分别从滑动面的内侧朝向外侧形成为放射状，形成为大致V字形，但不限于此，也可以将流体导入部16a及流体导出部16b的倾度进一步增大，另外，也可以不是直线状而作成曲线状(圆弧状等)。
另外，在被流体导入槽16和外周侧包围的部分设有具备比流体导入槽16浅的正压产生槽15a的正压产生机构15。正压产生机构15通过产生正压(动压)而使滑动面间的流体膜增加，提高润滑性能。
就正压产生槽15a而言，上游侧与流体导入部16a连通，通过挡圈部R与流体导出部16b及外周侧隔离。
在本例中，正压产生机构15由在上游侧与流体导入槽15的流体导入部16a连通的正压产生槽15a及具备瑞利台阶15b的瑞利台阶结构构成，但不限于此，总之，只要是产生正压的机构即可。
此时，在旋转侧密封环4沿顺时针方向旋转的情况下，外周侧的液体从大致V字形的流体导入槽16的流体导入部16a导入滑动面，从流体导出部16b向外周侧排出，此时，在启动时等旋转侧密封环4的低速旋转状态下，能够将在滑动面S的外周侧存在的液体更进一步地积极地导入滑动面S，进行滑动面S的润滑。此时，因为通过正压产生机构15产生正压(动压)，所以能够增大滑动面间的流体膜，进一步提高润滑性能。
另外，在旋转侧密封环4稳定运行等高速旋转时，从流体导入槽16导入到滑动面的液体受离心力而排出，因此液体不会向作为泄露侧的内周侧泄露。
而且，在稳定运行等旋转侧密封环4的高速旋转状态下，从动压产生槽11的内周侧的入口11a吸入气体，在外周侧的端部11b附近产生动压(正压)，因此能够在旋转侧密封环4与固定侧密封环7的滑动面S形成微小的间隙，滑动面S成为气体润滑的状态，摩擦非常低。同时，因螺旋形状的动压产生槽11而朝向外周侧抽内周侧的气体，因此能够防止外周侧的液体向内周侧泄露。
实施例7
参照图9，对本发明的实施例7的滑动部件进行说明。
实施例7的滑动部件与实施例1的不同点在于，流体导入槽的形状不同，以及额外设置正压产生机构，其它基本机构与实施例1相同，对相同的构件标注相同的符号，省略重复的说明。
图9中，在旋转侧密封环4的滑动面S上，设置以与该滑动面S的被密封流体侧、即外周侧的周缘连通而与泄露侧、即内周侧的周缘不连通的方式构成的流体导入槽16，并且设置以与滑动面S的内周侧的周缘连通而与外周侧的周缘不连通的方式构成的、平面形状为螺旋形状的动压产生槽11。
流体导入槽16以沿着外周侧的周缘的方式配设，由仅与滑动面S对外周侧的周缘连通的流体导入部16a及流体导出部16b、以及将它们在周向上连通的流体连通部16c构成，而且通过挡圈部R与内周侧隔离。
在本例中，流体导入部16a及流体导出部16b在周向上间隔固定具体间隔而设置，分别在径向上呈直线状延伸，因此流体导入槽16的平面形状呈大致U字形。
另外，在被流体导入槽16和外周侧包围的部分设有具备比流体导入槽16浅的正压产生槽15a的正压产生机构15。正压产生机构15通过产生正压(动压)而使滑动面间的流体膜增加，提高润滑性能。
就正压产生槽15a而言，上游侧与流体导入部16a连通，通过挡圈部R与流体导出部16b及外周侧隔离。
在本例中，正压产生机构15由在上游侧与流体导入槽15的流体导入部16a连通的正压产生槽15a及具备瑞利台阶15b的瑞利台阶结构构成，但不限于此，总之，只要是产生正压的机构即可。
此时，在旋转侧密封环4沿顺时针方向旋转的情况下，外周侧的液体从大致U字形的流体导入槽16的流体导入部16a导入滑动面，从流体导出部16b向外周侧排出，此时，在启动时等旋转侧密封环4的低速旋转状态下，能够将在滑动面S的外周侧存在的液体更进一步地积极地导入滑动面S，进行滑动面S的润滑。此时，因为通过正压产生机构15产生正压(动压)，所以能够增大滑动面间的流体膜，进一步提高润滑性能。
另外，在旋转侧密封环4稳定运行等高速旋转时，从流体导入槽16导入到滑动面的液体受离心力而排出，因此液体不会向作为泄露侧的内周侧泄露。
而且，在稳定运行等旋转侧密封环4的高速旋转状态下，从动压产生槽11的内周侧的入口11a吸入气体，在外周侧的端部11b附近产生动压(正压)，因此能够在旋转侧密封环4与固定侧密封环7的滑动面S形成微小的间隙，滑动面S成为气体润滑的状态，摩擦非常低。同时，因螺旋形状的动压产生槽11而朝向外周侧抽内周侧的气体，因此能够防止外周侧的液体向内周侧泄露。
实施例8
参照图10，对本发明的实施例8的滑动部件进行说明。
实施例8的滑动部件与图6的实施例4的不同点在于，流体导入槽及动压产生槽分开设置于旋转侧密封环及固定侧密封环，其它基本机构与实施例4相同，对相同的构件标注相同的符号，省略重复说明。
在图10中，如(a)所示，在旋转侧密封环4的滑动面S上设有以与滑动面S的内周侧的周缘连通而与外周侧的周缘不连通的方式构成的动压产生槽11。
另外，如(b)所示，在固定侧密封环7的滑动面S设有以与该滑动面S的被密封流体侧、即外周侧的周缘连通而与泄露侧、即内周侧的周缘不连通的方式构成的流体导入槽16。而且，在被流体导入槽16和外周侧包围的部分设有具备比流体导入槽16浅的正压产生槽15a的正压产生机构15。
此外，优选动压产生槽11和流体导入槽16配设于不重复的位置。
在固定侧密封环7的滑动面S设置流体导入槽16，在旋转侧密封环4的滑动面S设置动压产生槽11，但不限于此，也可以相反地配设，即，在固定侧密封环7的滑动面S配设动压产生槽11，在旋转侧密封环4的滑动面S配设流体导入槽16。
在本例中，在产生与实施例4同样的密封性及润滑性的基础上，动压产生槽11和流体导入槽16以正压产生机构15设于不同的滑动面，因此容易加工。
实施例9
参照图11，对本发明的实施例9的滑动部件进行说明。
实施例9的滑动部件与实施例1的不同点在于，在流体导入槽与动压产生槽的径向之间设置脱气槽，以及流体导入槽为螺旋形状，其它基本机构与实施例1相同，对相同的构件标注相同的符号，省略重复的说明。
图11中，在旋转侧密封环4的滑动面S上，设置以与该滑动面S的被密封流体侧、即外周侧的周缘连通而与泄露侧、即内周侧的周缘不连通的方式构成的流体导入槽17，并且设置以与滑动面S的内周侧的周缘连通而与外周侧的周缘不连通的方式构成的动压产生槽11。
另外，在流体导入槽17与动压产生槽11的径向之间设有脱气槽18。
脱气槽18具备：周向槽部18a，其设于在滑动面S的外周侧所配设的流体导入槽17与在内周侧所配设的动压产生槽11的径向之间；以及半径方向槽部18b，其设于流体导入槽17的周向之间，与外周侧连通。脱气槽18的深度与流体导入槽17同样地设定为比动压产生槽11的深度深。
另外，在本例中，半径方向槽部18b在周向上均匀地配置有六个，但不限于此，只要具有一个以上即可。
流体导入槽17设于被脱气槽18和外周侧包围的部分，具备使旋转时的上游侧向外周侧开口的开口部17a和使下游侧位于径向的内侧的端部17b，且形成为螺旋形状。
动压产生槽11设于被脱气槽18和内周侧包围的部分，具备使旋转时的上游侧向内周侧开口的开口部11a和使下游侧位于径向的内侧的端部11b，且形成为螺旋形。
此时，在旋转侧密封环4沿顺时针方向旋转的情况下，通过设置以与滑动面S的被密封流体侧、即外周侧的周缘连通而与泄露侧、即内周侧的周缘不连通的方式构成的螺旋形状的流体导入槽17，从而能够在启动时等旋转侧密封环4的低速旋转状态下，产生因吸入在滑动面S的外周侧存在的液体而带来的动压，将液体积极地导入滑动面S，进行滑动面S的润滑。
另外，在旋转侧密封环4稳定运行等高速旋转时，从流体导入槽17导入到滑动面的液体受离心力而排出，因此液体不会向作为泄露侧的内周侧泄露。
而且，通过设置以与滑动面S的内周侧的周缘连通而与外周侧的周缘不连通的方式构成的动压产生槽11，能够在稳定运行等旋转侧密封环4的高速旋转状态下，从内周侧的入口11a吸入气体，在外周侧的端部11b附近产生动压(正压)，因此在旋转侧密封环4与固定侧密封环7的滑动面S形成微小的间隙，滑动面S成为气体润滑的状态，摩擦非常低。
此时，当通过螺旋形状的动压产生槽11而吸入的气体(气泡)进入液体润滑部时，液体所产生的动压不安定，但是，因为设有脱气槽18，所以能够使吸入的气体(气泡)不进入液体润滑部而向外周侧排出，使液体润滑部的液体产生的动压稳定。
另外，因为设有脱气槽18，所以能够防止外周侧的液体向内周侧泄露。
以上，根据附图对本发明的实施例进行了说明，但具体的结构不限于这些实施例，不脱离本发明的宗旨的范围内的变更、追加也包含在本发明中。
例如，在上述实施例中，对将滑动部件用于机械密封装置中的一对旋转用密封环及固定用密封环的任一个的例进行了说明，但是也能够用作一边将润滑油密封于圆筒状滑动面的轴向一侧，一边与旋转轴滑动的轴承的滑动部件。
另外，例如，在上述实施例中，对将滑动部件的外周侧作为被密封流体侧(液体侧或雾状的流体侧)、将内周侧作为泄露侧(气体侧)进行了说明，但是本发明不限于此，在外周侧为泄露侧(气体侧)、内周侧为被密封流体侧(液体侧或雾状的流体侧)的情况下也能够应用。另外，对于被密封流体侧(液体侧或雾状的流体侧)与泄露侧(气体侧)的压力的大小关系，例如，被密封流体侧(液体侧或雾状对流体侧)为高压、泄露侧(气体侧)为低压，或者也可以相反，另外，也可以双方的压力相同。
另外，例如，在上述实施例中，正压产生机构15由与流体导入槽10连通的正压产生槽15a及具备瑞利台阶15b的瑞利台阶机构构成，但不限于此，总之，只要是产生正压的机构即可。
符号说明
1—叶轮，2—旋转轴，3—套筒，4—旋转侧密封环，5—外壳，6—卡盘，7—旋转侧密封环，8—螺旋波浪形弹簧，10—流体导入槽，10a—开口部，11—动压产生槽，11a—内周侧的入口，11b—外周侧的端部，12—流体导入槽，12a—开口部，12b—相反侧，13、13’—动压产生槽，13a—径方向连通部，13b—动压发生部，13c—端部，15—正压产生机构，15a—正压产生槽，15b—瑞利台阶，16—流体导入槽，16a—流体导入部，16b—流体导出部，16c—流体连通部，17—流体导入槽，17a—开口部，17b—端部，18—脱气槽，18a—周向槽部，18b—半径方向槽部，S—滑动面，R—挡圈部。

Claims (12)

1.一种滑动部件，其具备互相相对滑动的一对滑动部件，一个滑动部件是固定侧密封环，另一个滑动部件是旋转侧密封环，这些密封环具有在半径方向上所形成的滑动面，对被密封流体泄露进行密封，
上述滑动部件的特征在于，在上述滑动面的至少一个设置以与上述滑动面的一个周缘连通而与另一个周缘不连通的方式构成的流体导入槽，并且设置以与上述滑动面的上述另一个周缘连通而与上述一个周缘不连通的方式构成的动压产生槽。
2.一种滑动部件，其具备互相相对滑动的一对滑动部件，一个滑动部件是固定侧密封环，另一个滑动部件是旋转侧密封环，这些密封环具有在半径方向上所形成的滑动面，对作为被密封流体的液体或雾状的流体泄露进行密封，
上述滑动部件的特征在于，在上述滑动面的至少一个设置以与上述滑动面的被密封流体侧的周缘连通而与泄露侧的周缘不连通的方式构成的流体导入槽，并且设置以与上述滑动面的泄露侧的周缘连通而与上述被密封侧的周缘不连通的方式构成的动压产生槽。
3.根据权利要求1或2所述的滑动部件，其特征在于，
上述流体导入槽及上述动压产生槽仅设于上述旋转侧密封环的滑动面。
4.根据权利要求1或2所述的滑动部件，其特征在于，
上述流体导入槽及上述动压产生槽仅设于上述固定侧密封环的滑动面。
5.根据权利要求1或2所述的滑动部件，其特征在于，
上述流体导入槽设于上述旋转侧密封环或上述固定侧密封环的任意一个的滑动面，另外，上述动压产生槽设于上述旋转侧密封环或上述固定侧密封环的任意另一个的滑动面。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的滑动部件，其特征在于，
在上述滑动面的径向的一侧配设上述流体导入槽，在另一侧配设上述动压产生槽，在上述流体导入槽与上述动压产生槽之间设置脱气槽。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的滑动部件，其特征在于，
上述流体导入槽以沿着上述滑动面的一个周缘的方式设置，并具有仅在上述滑动面的一个周缘开口的开口部，而且以上述开口部最大的方式形成为锥形形状。
8.根据权利要求1至6中任一项所述的滑动部件，其特征在于，
上述流体导入槽以沿着上述滑动面的一个周缘的方式设置，并具有仅在上述滑动面的一个周缘开口的开口部，上述开口部的相反侧形成为在径向上呈圆弧状切入而成的形状。
9.根据权利要求1至6中任一项所述的滑动部件，其特征在于，
上述流体导入槽以沿着上述滑动面的一个周缘的方式设置，并由仅与上述滑动面的一个周缘连通的流体导入部和流体导出部、以及将它们在周向上连通的流体连通部构成。
10.根据权利要求1至9中任一项所述的滑动部件，其特征在于，
设置正压产生机构，其具备上游侧与上述流体导入槽连通的正压产生槽。
11.根据权利要求1至10中任一项所述的滑动部件，其特征在于，
上述动压产生槽呈仅与上述滑动面的另一个周缘连通的螺旋形状。
12.根据权利要求1至10中任一项所述的滑动部件，其特征在于，
上述动压产生槽构成为对称地配设一对仅与上述滑动面的另一个周缘连通的大致L字形状的槽。
CN201680019643.8A 2015-04-15 2016-04-13 滑动部件 Active CN107407424B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015082917 2015-04-15
JP2015-082917 2015-04-15
PCT/JP2016/061854 WO2016167262A1 (ja) 2015-04-15 2016-04-13 摺動部品

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN107407424A true CN107407424A (zh) 2017-11-28
CN107407424B CN107407424B (zh) 2019-11-22

Family

ID=57126783

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201680019643.8A Active CN107407424B (zh) 2015-04-15 2016-04-13 滑动部件

Country Status (7)

Country Link
US (1) US10704417B2 (zh)
EP (1) EP3284981B1 (zh)
JP (1) JP6444492B2 (zh)
KR (1) KR102049256B1 (zh)
CN (1) CN107407424B (zh)
BR (1) BR112017022194A2 (zh)
WO (1) WO2016167262A1 (zh)

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110023656A (zh) * 2016-12-07 2019-07-16 伊格尔工业股份有限公司 滑动组件
CN111350824A (zh) * 2020-02-02 2020-06-30 江苏大学 一种双向似月牙型槽端面双向旋转机械密封结构
CN112088266A (zh) * 2018-05-17 2020-12-15 伊格尔工业股份有限公司 密封环
CN113330225A (zh) * 2019-02-04 2021-08-31 伊格尔工业股份有限公司 滑动部件
CN113330224A (zh) * 2019-02-04 2021-08-31 伊格尔工业股份有限公司 滑动部件
CN113348308A (zh) * 2019-02-04 2021-09-03 伊格尔工业股份有限公司 滑动部件
CN113412370A (zh) * 2019-02-15 2021-09-17 伊格尔工业股份有限公司 滑动部件
CN113454353A (zh) * 2019-02-21 2021-09-28 伊格尔工业股份有限公司 滑动部件
US11525512B2 (en) 2018-05-17 2022-12-13 Eagle Industry Co., Ltd. Seal ring
US11530749B2 (en) 2018-05-17 2022-12-20 Eagle Industry Co., Ltd. Seal ring
US11644100B2 (en) 2018-05-17 2023-05-09 Eagle Industry Co., Ltd. Seal ring
US11767916B2 (en) 2019-02-14 2023-09-26 Eagle Industry Co., Ltd. Sliding components

Families Citing this family (36)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107709854A (zh) * 2015-06-30 2018-02-16 伊格尔工业股份有限公司 密封装置
US11391376B2 (en) 2016-08-15 2022-07-19 Eagle Industry Co., Ltd. Sliding component
JP6881882B2 (ja) * 2016-09-14 2021-06-02 イーグル工業株式会社 メカニカルシール
KR102426460B1 (ko) * 2016-11-16 2022-07-28 이구루코교 가부시기가이샤 슬라이딩 부품
JP6870000B2 (ja) * 2016-11-22 2021-05-12 イーグル工業株式会社 密封部材
CN110168264B (zh) * 2017-01-30 2021-06-15 伊格尔工业股份有限公司 滑动部件
KR102276081B1 (ko) * 2017-01-30 2021-07-13 이구루코교 가부시기가이샤 슬라이딩 부품
WO2019013233A1 (ja) * 2017-07-13 2019-01-17 イーグル工業株式会社 摺動部材
CN107355530A (zh) * 2017-08-17 2017-11-17 四川日机密封件股份有限公司 非接触零泄漏的密封环及其密封装置
WO2019044671A1 (ja) 2017-08-28 2019-03-07 イーグル工業株式会社 摺動部品
WO2019049847A1 (ja) 2017-09-05 2019-03-14 イーグル工業株式会社 摺動部品
US10619741B2 (en) * 2017-09-12 2020-04-14 United Technologies Corporation Contacting dry face seal with tapered carbon nose
US11221074B2 (en) * 2017-09-20 2022-01-11 Eagle Industry Co., Ltd. Mechanical seal
WO2019139107A1 (ja) 2018-01-12 2019-07-18 イーグル工業株式会社 摺動部品
US11320052B2 (en) 2018-02-01 2022-05-03 Eagle Industry Co., Ltd. Sliding components
JP7171694B2 (ja) 2018-02-21 2022-11-15 イーグル工業株式会社 メカニカルシール
CN112334690B (zh) * 2018-08-01 2023-02-28 伊格尔工业股份有限公司 滑动组件
US11821462B2 (en) 2018-08-24 2023-11-21 Eagle Industry Co., Ltd. Sliding member
US11815184B2 (en) 2018-11-30 2023-11-14 Eagle Industry Co., Ltd. Sliding component
EP3901497A4 (en) 2018-12-21 2022-09-14 Eagle Industry Co., Ltd. SLIDING ELEMENT
WO2020162025A1 (ja) * 2019-02-04 2020-08-13 イーグル工業株式会社 摺動部品
EP3922877B1 (en) 2019-02-04 2023-12-06 Eagle Industry Co., Ltd. Sliding component and method for manufacturing sliding component
KR102639196B1 (ko) 2019-02-14 2024-02-21 이구루코교 가부시기가이샤 슬라이딩 부품
JP7475775B2 (ja) * 2019-04-09 2024-04-30 イーグル工業株式会社 摺動部品
KR102669558B1 (ko) * 2019-04-09 2024-05-28 이구루코교 가부시기가이샤 슬라이딩 부품
CN113748285A (zh) 2019-04-24 2021-12-03 伊格尔工业股份有限公司 滑动部件
CN114127430A (zh) 2019-07-26 2022-03-01 伊格尔工业股份有限公司 滑动部件
JP7391487B2 (ja) * 2019-09-02 2023-12-05 イーグル工業株式会社 摺動部品
CN115280047A (zh) * 2020-03-26 2022-11-01 伊格尔工业股份有限公司 滑动部件
EP4141275A4 (en) * 2020-04-22 2024-05-22 Eagle Industry Co., Ltd. PAIR OF SLIDING COMPONENTS
US20230228292A1 (en) 2020-06-02 2023-07-20 Eagle Industry Co., Ltd. Sliding component
EP4160058A4 (en) 2020-06-02 2024-07-03 Eagle Ind Co Ltd SLIDING PART
US11933303B2 (en) 2020-07-06 2024-03-19 Eagle Industry Co., Ltd. Sliding component
JPWO2022009767A1 (zh) 2020-07-06 2022-01-13
WO2023027002A1 (ja) 2021-08-25 2023-03-02 イーグル工業株式会社 摺動部品
KR20240042051A (ko) 2021-08-25 2024-04-01 이구루코교 가부시기가이샤 슬라이딩 부품

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57146955A (en) * 1981-03-06 1982-09-10 Shinsaku Kaguchi Sealing device for rotary member
JPH0989119A (ja) * 1995-09-29 1997-03-31 Nippon Pillar Packing Co Ltd 液体機器用軸封装置
JPH10281299A (ja) * 1997-04-11 1998-10-23 Mitsubishi Heavy Ind Ltd メカニカルシール装置
CN2534429Y (zh) * 2001-12-27 2003-02-05 中国石油天然气股份有限公司 双列同向流体动压槽上游泵送机械密封
WO2012046749A1 (ja) * 2010-10-06 2012-04-12 イーグル工業株式会社 摺動部品
WO2014103631A1 (ja) * 2012-12-25 2014-07-03 イーグル工業株式会社 摺動部品
WO2014174725A1 (ja) * 2013-04-24 2014-10-30 イーグル工業株式会社 摺動部品
CN104334938A (zh) * 2012-09-29 2015-02-04 伊格尔工业股份有限公司 滑动部件

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6231775A (ja) 1985-07-31 1987-02-10 Ebara Res Co Ltd 軸封装置
IT1185935B (it) 1985-09-18 1987-11-18 Sgs Microelettronica Spa Stradio di uscita cmos a grande escursione di tensione e con stabilizzazione della corrente di rifoso
JPS62117360U (zh) 1986-01-17 1987-07-25
US5368314A (en) * 1986-10-28 1994-11-29 Pacific Wietz Gmbh & Co. Kg Contactless pressurizing-gas shaft seal
US5246295A (en) * 1991-10-30 1993-09-21 Ide Russell D Non-contacting mechanical face seal of the gap-type
GB9214282D0 (en) * 1992-07-04 1992-08-19 Crane John Uk Ltd Seals
JP2700865B2 (ja) * 1994-12-07 1998-01-21 日本ピラー工業株式会社 非接触形メカニカルシール
DE29908918U1 (de) 1999-05-20 1999-07-29 Feodor Burgmann Dichtungswerke GmbH & Co, 82515 Wolfratshausen Gleitringdichtungsanordnung
JP4719414B2 (ja) * 2003-12-22 2011-07-06 イーグル工業株式会社 摺動部品
JP4322747B2 (ja) * 2004-07-06 2009-09-02 イーグル工業株式会社 シール装置
JP5367423B2 (ja) * 2009-03-17 2013-12-11 イーグル工業株式会社 シール装置
US9322436B2 (en) * 2013-03-17 2016-04-26 Eagle Industry Co., Ltd. Sliding parts

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57146955A (en) * 1981-03-06 1982-09-10 Shinsaku Kaguchi Sealing device for rotary member
JPH0989119A (ja) * 1995-09-29 1997-03-31 Nippon Pillar Packing Co Ltd 液体機器用軸封装置
JPH10281299A (ja) * 1997-04-11 1998-10-23 Mitsubishi Heavy Ind Ltd メカニカルシール装置
CN2534429Y (zh) * 2001-12-27 2003-02-05 中国石油天然气股份有限公司 双列同向流体动压槽上游泵送机械密封
WO2012046749A1 (ja) * 2010-10-06 2012-04-12 イーグル工業株式会社 摺動部品
CN104334938A (zh) * 2012-09-29 2015-02-04 伊格尔工业股份有限公司 滑动部件
WO2014103631A1 (ja) * 2012-12-25 2014-07-03 イーグル工業株式会社 摺動部品
WO2014174725A1 (ja) * 2013-04-24 2014-10-30 イーグル工業株式会社 摺動部品

Cited By (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110023656A (zh) * 2016-12-07 2019-07-16 伊格尔工业股份有限公司 滑动组件
CN110023656B (zh) * 2016-12-07 2021-06-04 伊格尔工业股份有限公司 滑动组件
CN112088266A (zh) * 2018-05-17 2020-12-15 伊格尔工业股份有限公司 密封环
US11644100B2 (en) 2018-05-17 2023-05-09 Eagle Industry Co., Ltd. Seal ring
US11525512B2 (en) 2018-05-17 2022-12-13 Eagle Industry Co., Ltd. Seal ring
US11530749B2 (en) 2018-05-17 2022-12-20 Eagle Industry Co., Ltd. Seal ring
CN113330225A (zh) * 2019-02-04 2021-08-31 伊格尔工业股份有限公司 滑动部件
CN113330224A (zh) * 2019-02-04 2021-08-31 伊格尔工业股份有限公司 滑动部件
CN113348308A (zh) * 2019-02-04 2021-09-03 伊格尔工业股份有限公司 滑动部件
CN113330225B (zh) * 2019-02-04 2023-08-22 伊格尔工业股份有限公司 滑动部件
CN113348308B (zh) * 2019-02-04 2023-05-05 伊格尔工业股份有限公司 滑动部件
US11767916B2 (en) 2019-02-14 2023-09-26 Eagle Industry Co., Ltd. Sliding components
CN113412370B (zh) * 2019-02-15 2023-03-10 伊格尔工业股份有限公司 滑动部件
CN113412370A (zh) * 2019-02-15 2021-09-17 伊格尔工业股份有限公司 滑动部件
US11821461B2 (en) 2019-02-15 2023-11-21 Eagle Industry Co., Ltd. Sliding components
CN113454353A (zh) * 2019-02-21 2021-09-28 伊格尔工业股份有限公司 滑动部件
CN111350824B (zh) * 2020-02-02 2022-02-15 江苏大学 一种双向似月牙型槽端面双向旋转机械密封结构
CN111350824A (zh) * 2020-02-02 2020-06-30 江苏大学 一种双向似月牙型槽端面双向旋转机械密封结构

Also Published As

Publication number Publication date
EP3284981A1 (en) 2018-02-21
WO2016167262A1 (ja) 2016-10-20
US10704417B2 (en) 2020-07-07
EP3284981A4 (en) 2019-03-20
BR112017022194A2 (pt) 2018-07-03
US20180073394A1 (en) 2018-03-15
JP6444492B2 (ja) 2018-12-26
JPWO2016167262A1 (ja) 2018-02-08
KR20170137727A (ko) 2017-12-13
CN107407424B (zh) 2019-11-22
EP3284981B1 (en) 2020-11-04
KR102049256B1 (ko) 2019-11-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN107407424A (zh) 滑动部件
JP6776232B2 (ja) 摺動部品
CN107532724B (zh) 滑动部件
CN107532726A (zh) 滑动部件
CN104919229B (zh) 滑动部件
CN107110370B (zh) 滑动部件
CN107532725B (zh) 滑动部件
CN104736904B (zh) 滑动部件
US20190376558A1 (en) Sliding component
CN105793628B (zh) 滑动部件
JP7098260B2 (ja) 摺動部品
CN110168240A (zh) 滑动部件
CN109923340A (zh) 滑动组件

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant