CN107406900A - 多室型热处理装置 - Google Patents

Abstract

本申请发明目的在于提供一种能够进行气体冷却的热处理装置，即便与喷雾冷却相比较冷却性能也不低劣。本申请发明的多室型热处理装置，是在俯视观察时以隔着中间输送室(H)的方式配置有多个加热室(K)，被处理物(X)经由中间输送室(H)被容纳于加热室(K)，其特征在于，具备：气体冷却室(RG)，使用冷却气体对被处理物(X)进行冷却；冷却气体流通机构，具备气体吹入口(11a)、气体排气口(11b)。

Description

多室型热处理装置

技术领域

本公开内容涉及多室型热处理装置。本申请基于2015年3月4日在日本申请的特愿2015－42635号主张优先权，在此引用其内容。

背景技术

在下述专利文献1中，公开了一种多室式多个冷却真空炉，是以加热室和冷却室隔着分隔壁而邻接的方式配置的多室真空加热炉，在冷却室内从以包围被热处理品的方式设置的多个气体用喷嘴将冷却气体吹出至被热处理品上，由此对被热处理品进行冷却处理。

另一方面，在下述专利文献2中，公开了一种多室型热处理装置，以隔着中间输送室的状态配置有3个加热室与1个冷却室，使被处理物经由中间输送室在3个加热室与1个冷却室之间移动，由此对被处理物实施期望的热处理。该多室型热处理装置中的冷却室配置在中间输送室的下方，使用液体或者喷雾状的冷却介质对从中间输送室通过专用的升降装置搬入的被处理物进行冷却。在下述专利文献3～5中也公开了与多室型热处理装置有关的背景技术。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本国特开平11－153386号公报

专利文献2：日本国特开2014-051695号公报

专利文献3：日本国特开平8－178535号公报

专利文献4：日本国特开2005-29872号公报

专利文献5：日本国特开2005-9702号公报

发明内容

发明要解决的技术问题

然而，专利文献2所公开的多室型热处理装置，使用液体或者喷雾状的冷却介质，并没有开发采用如下的冷却方式(气体冷却方式)的多室型热处理装置，即使用气体(Gas)作为具备中间输送室的多室型热处理装置之中的冷却介质。若对气体冷却方式与喷雾冷却方式进行比较，则在原理上来说，气体冷却方式的冷却效率比喷雾冷却方式的冷却效率低。因此，通过将喷雾冷却方式变更为气体冷却方式，冷却效率大幅度地降低，并不优选。

本公开内容是鉴于上述状况而提出的，目的在于提供一种多室型热处理装置，抑制相对于喷雾冷却的冷却性能的降低。

用于解决上述技术问题的方案

为了实现上述目的，本公开内容的方案为一种多室型热处理装置，在俯视观察时，以隔着中间输送室的方式配置有多个加热室，被处理物经由中间输送室被容纳在加热室中，具备：气体冷却室，在俯视观察时与中间输送室邻接地设置，使用冷却气体对被处理物进行冷却；冷却气体流通机构，具备气体吹入口与气体排气口，从气体吹入口吹出冷却气体，从气体排气口进行排气，所述气体吹入口在气体冷却室内朝向被处理物延伸，所述气体排气口以隔着被处理物而与气体吹入口对置的方式朝向被处理物延伸。

发明效果

根据本公开内容，多室型热处理装置，具备：气体吹入口，在气体冷却室内朝向被处理物延伸；气体排气口，以隔着被处理物而与气体吹入口对置的方式朝向被处理物延伸，从气体吹入口吹出冷却气体，将帮助冷却了被处理物的冷却气体从气体排气口进行排气。由此，能够提供一种多室型热处理装置，抑制相对于喷雾冷却的冷却性能的降低。

附图说明

图1是从正面看到的本公开内容的一实施方式的多室型热处理装置的纵剖视图。

图2是从俯视看到的本公开内容的一实施方式的多室型热处理装置的横剖视图。

图3是示出本公开内容的一实施方式的多室型热处理装置中的被处理的进出的纵剖视图。

图4是示出本公开内容的一实施方式的多室型热处理装置中的送风机的纵剖视图。

具体实施方式

以下，参照附图对本公开内容的一实施方式进行说明。

如图1所示，本实施方式的多室型热处理装置是经由中间输送装置H组合了气体冷却装置RG、喷雾冷却装置RM以及3个加热装置K而成的装置。

另外，实际的多室型热处理装置具备连接于中间输送装置H的3个加热装置K。但是，因为图1是在正面观察多室型热处理装置时示出气体冷却装置RG的中心与中间输送装置H的中心处的纵剖视图，所以图1中仅示出了1个加热装置K。此外，作为图1～图4未图示的构成元件，该多室型加热装置具备：真空泵、各种管道、各种阀(bulb)、各种升降机构、操作面板以及控制装置等。

如图1以及图2所示，中间输送装置H具备：输送腔1；喷雾冷却室升降台2；多个输送导轨3；3对推进机构4a、4b、5a、5b、6a、6b；3个加热室升降台7a～7c；扩张腔8；分隔门9等。

输送腔1是设置在喷雾冷却装置RM与3个加热装置K之间的容器。如图2所示，在该输送腔1的底部，以包围喷雾冷却室升降台2的方式配置有3个加热室升降台7a～7c。像这样的输送腔1的内部空间以及后述的扩张腔8的内部空间，是被处理物X移动的中间输送室。

喷雾冷却室升降台2是在利用喷雾冷却装置RM对被处理物X进行冷却时承载被处理物X的支承台，通过未图示的升降机构进行升降。即，被处理物X在被载置在喷雾冷却室升降台2上的状态下，通过升降机构的工作，使得被处理物X在中间输送装置H与喷雾冷却室升降台2之间移动。

如图所示，多个输送导轨3被铺设在输送腔1的底部、喷雾冷却室升降台2上、加热室升降台7a～7c上以及扩张腔8的底部。像这样的输送导轨3是使被处理物X在输送腔1以及扩张腔8内移动时的导向部件(引导部件)。3对推进机构4a、4b、5a、5b、6a、6b是在输送腔1以及扩张腔8内推压被处理物X的输送致动器。

即，3对推进机构4a、4b、5a、5b、6a、6b之中，配置成同一直线状的一对推进机构4a、4b是用于使被处理物X在喷雾冷却室升降台2与加热室升降台7a之间移动的致动器。一对推进机构4a、4b之中，推进机构4a从加热室升降台7a朝向喷雾冷却室升降台2推压被处理物X，推进机构4b从喷雾冷却室升降台2朝向加热室升降台7a推压被处理物X。

同样地配置成同一直线状的一对推进机构5a、5b是用于使被处理物X在喷雾冷却室升降台2与加热室升降台7b之间移动的致动器。一对推进机构5a、5b之中，推进机构5a从加热室升降台7b朝向喷雾冷却室升降台2推压被处理物X，推进机构5b从喷雾冷却室升降台2朝向加热室升降台7b推压被处理物X。

此外，同样地配置成同一直线状的一对推进机构6a、6b是用于使被处理物X在喷雾冷却室升降台2与加热室升降台7c之间移动的致动器。即，一对推进机构6a、6b之中，推进机构6a从加热室升降台7c朝向喷雾冷却室升降台2推压被处理物X，推进机构6b从喷雾冷却室升降台2朝向加热室升降台7c推压被处理物X。

在被处理物X以这样的3对推进机构4a、4b、5a、5b、6a、6b作为动力源而移动(输送)时，上述多个输送导轨3进行引导，使得安装于3对推进机构4a、4b、5a、5b、6a、6b的前端的推压部顺畅地移动，并且被处理物X顺畅地移动。

3个加热室升降台7a～7c是在各加热装置K中加热被处理物X时承载被处理物X的支承台，设置在各加热装置K的正下方。这样的加热室升降台7a～7c通过未图示的升降机构进行升降，由此使被处理物X在中间输送装置H与各加热装置K之间移动。

扩张腔8连接于输送腔1的侧部，为了连接中间输送装置H与气体冷却装置RG，而方便地设置为大致箱型的扩张容器。扩张腔8的一端(一平面)连通于输送腔1的侧部，在扩张腔8的另一端(一平面)设置有分隔门9。在这样的扩张腔8的底部，以使得被处理物X自由移动的方式铺设有输送导轨3。

分隔门9是划分输送腔1以及扩张腔8的内部空间即中间输送室与气体冷却装置RG的内部空间即气体冷却室的开闭门，以垂直姿势设置在扩张腔8的另一端(一平面)。即，该分隔门9通过未图示的驱动机构上下移动，由此打开或者遮蔽扩张腔8的另一端。

接着，对气体冷却装置RG进行说明。气体冷却装置RG是使用规定的气体状冷却介质(冷却气体)对被处理物X进行冷却处理的冷却装置，使用例如氮气(N₂)作为冷却气体。如图1所示，这样的气体冷却装置RG具备：冷却腔10(气体冷却室)、循环腔11、气体冷却机12、送风机13、储备容器14、第1控制阀15、排气泵16以及第2控制阀17等。

另外，这些多个构成元件之中，除了冷却腔10(气体冷却室)之外，循环腔11、气体冷却机12、送风机13、储备容器14、第1控制阀15、排气泵16以及第2控制阀17构成冷却气体流通机构，从上方将冷却气体吹出至冷却腔10内的被处理物X，并且从被处理物X的下方对帮助冷却了被处理物X的冷却气体进行排气。

冷却腔10是带有圆度的大致纵型圆筒状即水平截面形状为大致圆形(圆环形状)的容器，与构成中间输送室的扩张腔8邻接地设置。该冷却腔10的内部空间是气体冷却室，通过将规定的冷却气体吹出至被处理物X，对被处理物X实施冷却处理。另外，因为内压为500kPa以上的正压，所以冷却腔10的形状形成为耐压性能高的形状即带有圆度的大致圆筒形状。

此外，该冷却腔10(气体冷却室)，在将扩张腔8的一部分取入至内部的状态下，即分隔门9在冷却腔10内从侧方朝向内部突出的状态下，被连接于扩张腔8。进而，在冷却腔10中，在与分隔门9对置的位置，设置有工件进出口10a。该工件进出口10a是用于使被处理物X在冷却腔10中进出的开口。

如图3所示，被处理物X在被搭载于输送台车10b的状态下，从工件进出口10a被容纳在冷却腔10内。输送台车10b具备将被处理物X保持在规定高度的载置台10c，构成为相对于工件进出口10a进退自如。即，该输送台车10b通过沿着铺设在建筑的地面上的台车用导轨移动，能够以接近或者远离冷却腔10的方式移动自如，在所述建筑中设置有多室型热处理装置。

此外，在该输送台车10b中，具备封闭板10d与进出用压力缸机构10e。封闭板10d是在将被处理物X容纳在冷却腔10内时，抵接于工件进出口10a而将其密闭的板状部件。该封闭板10d在抵接于工件进出口10a的状态下，例如被螺栓固定于工件进出口10a，由此将工件进出口10a密闭。

进出用压力缸机构10e是使被处理物X在冷却室(冷却腔10)内与输送腔1(中间输送室)内移动的输送机构。即，该进出用压力缸机构10e是推进输送机构兼推拉输送机构，通过推压载置台10c上的被处理物X，使被处理物X在中间输送室内的喷雾冷却室升降台2上移动，并且通过卡合地拉动在喷雾冷却室升降台2上的被处理物X，使被处理物X从中间输送室内移动至载置台10c上。

此处，如图2所示，输送腔1能够设置开口，用于在扩张腔8的相反侧进行被处理物X的进出。因此，也可以代替冷却腔10，在扩张腔8的相反侧设置工件进出口。另外，在这种情况下，将具备与进出用压力缸机构10e相同功能的推进输送机构兼推拉输送机构固定地配置在冷却腔10中，在设置于输送腔1的工件进出口设置专用的开闭门，使用另外准备的输送台车，从工件进出口将被处理物X搬入至输送腔1(中间输送室)并载置在喷雾冷却室升降台2上。

在像这样地在输送腔1中设置工件进出口的构成中，能够将对应于进出用压力缸机构10e的输送机构固定地设置于多室型热处理装置。由此，能够确保多室型热处理装置的使用方便或耐久性。

循环腔11中的圆形的一端(气体吹入口11a)，在大致纵型圆筒状的冷却腔10的上部(上侧)开口，循环腔11中的圆形的另一端(气体排气口11b)，隔着被处理物X以与气体吹入口11a对置的方式在冷却腔10的下部(下侧)开口。这样的循环腔11是将冷却腔10、气体冷却机12以及送风机13作为整体而环状地连接的容器。即，冷却腔10、循环腔11、气体冷却机12以及送风机13形成使冷却气体循环的气体循环通路R，使得冷却气体从气体吹入口11a朝向下方流动、即朝向气体排气口11b流动。

在这样的气体循环通路R中，通过送风机13的工作，产生如图1箭头所示那样的冷却气体的顺时针的流动。此外，在上述气体吹入口11a与气体排气口11b之间配置有被处理物X。从气体吹入口11a向下方吹出的冷却气体，从上方吹出至被处理物X从而对被处理物X进行冷却。而且，帮助冷却了被处理物X的冷却气体，在被处理物X的下方流出而流入至气体排气口11b，由此被回收至循环腔11。

此处，如图1所示，气体吹入口11a在气体冷却室内延伸至被处理物X的正上方，气体排气口11b在气体冷却室内延伸至被处理物X的正下方。因此，从气体吹入口11a吹出的冷却气体，不在气体冷却室内分散，几乎全部被吹出至被处理物X，帮助冷却了被处理物X的冷却气体，同样地不在气体冷却室内分散，几乎全部被回收至循环腔11。

此外，如图1以及图2所示，圆形的气体吹入口11a以及气体排气口11b相对于大致圆形的冷却腔10的水平方向的位置，并非同心而是相互的中心偏移。即，虽然水平方向中的气体吹入口11a的中心以及气体排气口11b的中心是同心，但是气体吹入口11a的中心以及气体排气口11b的中心在水平方向上与从冷却腔10的中心相比向工件进出口11a侧、即分隔门9的相反侧偏移。

此处，如上所述，扩张腔8在分隔门9在气体冷却室内从侧方向内部突出的状态下被连接于冷却腔10，是用于确保冷却腔10的耐压性能的部件。即，虽然扩张腔8与冷却腔10通过焊接接合被连接，但是若分隔门9接近冷却腔10的侧壁，则焊接线变得复杂，难以确保充分的焊接品质。因此，在分隔门9在气体冷却室内从侧方向内部突出的状态下，即在将扩张腔8的一部分取入的状态下，扩张腔8被连接于冷却腔10。

但是，因为分隔门9在气体冷却室内从侧方突出，所以不能以与冷却腔10的中心同心的方式对气体吹入口11a的中心以及气体排气口11b的中心进行位置设定。此处，通过使冷却腔10更大直径化即大型化，能够以与冷却腔10的中心同心的方式对气体吹入口11a的中心以及气体排气口11b的中心进行位置设定。但是，在这种情况下，气体冷却室(冷却空间)的体积增大而冷却效率降低。因此，通过使气体吹入口11a以及气体排气口11b相对于冷却腔10在水平方向上偏移，将冷却腔10尽量小直径化。

气体冷却机12在上述的气体循环通路R中被设置在气体排气口11b的下游侧和送风机13的上游侧，是由气体冷却腔12a与传热管12b构成的热交换器。气体冷却腔12a是筒状体，在其延伸方向上一端连通于循环腔11，另一端连通于送风机13。传热管12b是设置在这样的气体冷却腔12a内且以蛇形形状延伸的金属管，在其内部插通有规定的液体冷却介质。这样的气体冷却机12，使从循环腔11的一端流通至另一端的冷却气体与传热管12b内的液体冷却介质进行热交换，由此进行冷却。

此处，从冷却腔10(气体冷却室)被排气的、在冷却腔10(气体冷却室)中帮助冷却了被处理物X的冷却气体，由被处理物X所保持的热量加热。气体冷却机12，将被这样地加热的冷却气体冷却至例如用于被处理物X的冷却而提供的之前的温度(从气体吹入口11a被吹出的冷却气体的温度)。

送风机13设置在上述的气体循环通路R的中途部位，即循环腔11的上游侧且气体冷却机12的下游侧，具备风扇壳体13a、涡轮风扇13b以及水冷电机13c。风扇壳体13a为筒状体，在风扇壳体13a中，位于冷却气体的流入侧的部分连通于气体冷却腔12a的另一端，位于冷却气体的流出侧的部分连通于循环腔11。涡轮风扇13b是被容纳在这样的风扇壳体13a内的离心风扇。水冷电机13c是驱动这样的涡轮风扇13b旋转的驱动部。

如图1以及图4所示，气体冷却腔12a是具有横置的大致圆筒形的容器，涡轮风扇13b的旋转轴与气体冷却腔12a的中心轴同样地设置在水平方向上。此外，如图4所示，涡轮风扇13b的旋转轴设置在从气体冷却腔12a的中心轴向水平方向偏移了规定尺寸的位置。进而，如图4所示，在气体冷却腔12a内，设置有使涡轮风扇13b的上方的流路朝向逆时针方向平滑地扩大的引导板13d，涡轮风扇13b的上方的流路朝向时针方向被节流。

如图4所示，在这样的送风机13中，水冷电机13c工作，从水冷电机13c侧观察涡轮风扇13b逆时针地旋转，由此冷却气体如箭头所示那样地流动。即，在该送风机13中，冷却气体从位于涡轮风扇13b的旋转轴的前方的风扇壳体13a的一端被吸入至送风机13内，并且在从水冷电机13c侧观察沿逆时针的方向被送出至送风机13内，进而由引导板13d进行引导。由此，从位于与涡轮风扇13b的旋转轴正交的方向的风扇壳体13a的另一端被送出。其结果是，在气体循环通路R中，送风机13工作，由此产生如图1中箭头所示那样的冷却气体的顺时针流动。

像这样地，通过在循环腔11的中途部位加装气体冷却腔12a以及风扇壳体13a，在循环腔11的中途部位形成有气体循环通路R。更详细地说，在冷却气体的流动方向上以位于风扇壳体13a的上游侧的方式加装气体冷却腔12a，由此形成气体循环通路R。此外，在形成这样的气体循环通路R的循环腔11中，在风扇壳体13a的下游侧设置有送排气端口11c。

储备容器14是在850kPa左右的高压状态下保持规定量的氮气(冷却气体)的气体容器，经由第1控制阀15将冷却气体供给至送排气端口11c。第1控制阀15是容许以及切断冷却气体通过的开闭阀。即，在第1控制阀15关闭状态的情况下，切断从储备容器14向送排气端口11c供给冷却气体，在第1控制阀15打开状态的情况下，从储备容器14向送排气端口11c供给冷却气体。

排气泵16经由第2控制阀17而连接于送排气端口11c，经由送排气端口11c将气体循环通路R内的冷却气体排气至外部。第2控制阀17是决定冷却气体从送排气端口11c向排气泵16流动的开闭阀。即，在第2控制阀17关闭状态的情况下，切断冷却气体从送排气端口11c向排气泵16的流动(排气)，在第2控制阀17打开状态的情况下，容许冷却气体从送排气端口11c向排气泵16的流动。

接着，喷雾冷却装置RM是使用规定的冷却介质的喷雾对被处理物X进行冷却处理的装置，设置在输送腔1的下方。该喷雾冷却装置RM，从设置在该被处理物X的周围的多个喷嘴，对在被载置于上述的喷雾冷却室升降台2上的状态下容纳在腔内的被处理物X喷射冷却介质的喷雾，由此冷却(喷雾冷却)被处理物X。另外，这样的喷雾冷却装置RM的内部空间是喷雾冷却室，冷却介质例如是水。

3个加热装置K是对被处理物X实施加热处理的装置，设置在输送腔1的上方。各加热装置K各自具备腔、多个电气加热器以及真空泵等，通过使用真空泵，将在被载置于加热室升降台7a～7c上的状态下容纳在腔内的被处理物X放置在规定的减压气氛下，在该减压气氛下利用设置在被处理物X的周围的多个加热器对被处理物X均匀地进行加热。另外，各加热装置K的内部空间为分别为单个的加热室。

如上所述，本实施方式的多室型热处理装置，在俯视观察时，以隔着中间输送室的方式配置有3个(多个)加热室，被处理物X经由中间输送室被容纳于各加热室。此外，在这样的多室型热处理装置中，作为电气的构成元件具备操作面板(图示省略)以及控制装置等，所述操作面板供使用者输入热处理条件等的设定信息，所述控制装置基于设定信息以及预先存储的控制程序，对各推进机构4a、4b、5a、5b、6a、6b、分隔门9、水冷电机13c、第1控制阀15、排气泵16、第2控制阀17等的各驱动部进行控制。

接着，对像这样地构成的多室型热处理装置的工作、特别是气体冷却装置RG(气体冷却室)中的被处理物X的冷却工作详细地进行说明。另外，在下述内容中，作为由多室型热处理装置对被处理物X进行热处理的一例，使用1个加热装置K(加热室)以及气体冷却装置RG(气体冷却室)，对被处理X实施淬火处理的情况下的工作进行说明。

最初使用者手动操作输送台车10b，由此将被处理物X搬入至冷却腔10(气体冷却室)内。而且，使用者将封闭板10d螺栓固定在工件进出口10a，由此通过密闭工件进出口10a结束准备作业。而且，使用者通过手动操作操作面板，设定热处理条件，进而向控制装置指示开始热处理。

其结果是，控制装置使真空泵工作，使气体冷却室(冷却腔10)以及中间输送室(扩张腔8以及输送腔1)内成为规定的真空气氛，进而使进出用压力缸机构10e工作，使冷却腔10内的被处理物X移动到输送腔1内的喷雾冷却室升降台2上。而且，控制装置例如使推进机构6a工作，由此使被处理物X移动到加热室升降台7c上，进而使被处理物X移动到位于加热室升降台7c的正上方的加热装置K(加热室)，在加热装置K中对被处理物X进行与热处理条件对应的加热处理。

而且，控制装置通过使推进机构6b工作，使加热处理结束的被处理物X从加热室升降台7c上移动到喷雾冷却室升降台2上，进而通过使进出用压力缸机构10e工作，使喷雾冷却室升降台2上的被处理物X移动到冷却腔10内。另外，在该被处理物X移动时，控制装置使分隔门9上升，容许扩张腔8与冷却腔10的连通状态，若被处理物X向冷却腔10的移动结束，则使分隔门9下降，由此隔断扩张腔8与冷却腔10的连通状态。其结果是，冷却腔10(气体冷却室)与扩张腔8以及输送腔(中间输送室)被完全地隔离。

在该状态下，控制装置使第1控制阀15从关闭状态变更为打开状态，并且将第2控制阀17设定为关闭状态，由此开始冷却气体(氮气)从送排气端口11c向气体循环通路R内的供给。而且，若在气体循环通路R内供给规定量的冷却气体，则控制装置使第1控制阀15从打开状态变更为关闭状态。而且，控制装置使水冷电机13c工作而开始气体循环通路R内的冷却气体的循环，并且开始向传热管12b供给液体冷却介质，由此开始对被处理物X进行与热处理条件对应的冷却处理。

在这样的气体冷却装置RG中的被处理物X的冷却处理中，因为被处理物X位于气体吹入口11a的正下方，并且位于气体排气口11b的正上方，所以冷却气体从被处理物X的正上方被吹出至被处理物X，帮助了冷却的冷却气体从被处理物X的正下方流出而流入至气体排气口11b。

即，从气体吹入口11a流出至被处理物X的正上方的冷却气体，在冷却腔10(气体冷却室)内几乎不会扩散到被处理物X以外的区域，而集中地帮助冷却被处理物X，从被处理物X的正下方被排气至循环腔11。因此，根据该气体供给装置RG，冷却气体具有的冷热几乎都被用于被处理物X的冷却，所以能够实现极力抑制相对于喷雾冷却的冷却性能降低的气体冷却。

此处，在该气体冷却装置RG中，在冷却腔10(气体冷却室)内，虽然使气体吹入口11a延伸至接近被处理物X的正上方的位置，并且使气体排气口11b延伸至接近被处理物X的正下方的位置，由此极力提高冷却效率，但是也可以使气体吹入口11a与被处理物X之间的距离以及气体排气口11b与被处理物X之间的距离稍微变大。例如，在气体冷却装置RG中，在对各种大小的被处理物X进行热处理的情况下，需要根据被处理物X的尺寸的大小，确保气体吹入口11a与被处理物X之间的距离以及气体排气口11b与被处理物X之间的距离。

若使用这样的冷却气体的被处理物X的冷却结束，则控制装置使第2控制阀17的状态从关闭状态变更为打开状态，并且使排气泵16工作，由此将冷却循环通路R内的冷却气体从送排气端口11c排气至外部。由此，冷却气体(氮气)从冷却循环通路R内以及冷却腔10(气体冷却室)内被排除，因此封闭板10d从工件进出口10a分离，被处理物X能够从工件进出口10a被搬出至冷却腔10的外部。

此外，根据该气体冷却装置RG，通过设置气体循环通路R，用于被处理物X的冷却而供给的冷却气体被加热，对该被加热的冷却气体进行冷却而再利用于被处理物X的冷却，因此与将用于被处理物X的冷却而供给的冷却气体简单地废弃的情况相比较，能够大幅度地削减冷却气体的使用量。

此外，根据该冷却装置RG，因为在冷却腔10中设置有工件进出口10a，所以淬火处理后的被处理物X能够容易地排出至外部。在如上述那样地在输送腔1中设置工件进出口的情况下，为了将淬火处理后的被处理物X搬出至外部，需要使冷却腔10(冷却室)内的被处理物X再移动至输送腔1(中间输送室)内，所以被处理物X的搬出需要时间。

进而，根据该多室型热处理装置，因为除了气体冷却装置RG之外还具备喷雾冷却装置RM，所以能够根据需要分别使用气体冷却装置RG与喷雾冷却装置RM而提高使用方便性。另外，也可以根据需要删除喷雾冷却装置RM。此外，也可以代替喷雾冷却装置RM，设置使用规定的冷却油对被处理物进行冷却的油冷装置(油冷却室)。

另外，本公开内容并不限定于上述实施方式，例如能够考虑如下的变形例。

(1)虽然在上述实施方式中，除了气体冷却装置RG之外还设置了喷雾冷却装置RM，但是本公开内容并不限定于此。通过删除喷雾冷却装置RM，能够在喷雾冷却装置RM的设置场所设置其他的装置，因此也可以例如在喷雾冷却装置RM的设置场所设置进行被处理物X的搬入以及搬出的专用腔(进出腔)。在采用这样的构成的情况下，实现被处理物X的搬入以及搬出的上下方向的位置比上述实施方式的构成低，因此使用者就被处理物X的搬入以及搬出的使用性良好。

(2)此外，在如上述那样地代替喷雾冷却装置RM而设置进出腔的情况下，通过在进出腔中设置加热功能，能够将进出腔作为预热室使用。即，在通过加热装置K(加热室)进行被处理物X的加热(主加热)之前，利用进出腔(预热室)将被处理物X预热至规定温度，使结束该预热的被处理物X移动至加热装置K(加热室)进行主加热。通过采用这样的构成，能够缩短主加热的时间，能够缩短热处理时间。

(3)虽然在上述实施方式中，以利用气体吹入口11a与气体排气口11b在上下方向上隔着(夹着)被处理物X的方式设置循环腔11，但是本公开内容并不限定于此。例如，也能够以利用气体吹入口11a与气体排气口11b在水平方向上隔着被处理物X的方式对置。

(4)虽然在上述实施方式中设置有气体循环通路R，但是本公开内容并不限定于此。也可以删除气体循环通路R，并废弃用于被处理物X的冷却而供给的冷却气体。

(5)虽然在上述实施方式中设置了3个加热装置K(加热室)，但是本公开内容并不限定于此。也可以是加热装置K(加热室)的个数为1个、2个或者3个以上。

工业实用性

根据本公开内容，能够提供一种多室型热处理装置，抑制相对于喷雾冷却的冷却性能的降低。

附图标记说明

H 中间输送装置

RG 气体冷却装置

RM 喷雾冷却装置

K 加热装置(加热室)

X 被处理物

1 输送腔(中间输送室)

2 喷雾冷却室升降台

3 输送导轨

4a、4b、5a、5b、6a、6b 推进机构

7a～7c 加热室升降台

8 扩张腔(中间输送室)

9 分隔门

10 冷却腔(气体冷却室)

11 循环腔

11a 气体吹入口

11b 气体排出口

12 气体冷却机

13 送风机

14 储备容器

15 第1控制阀

16 排气泵

17 第2控制阀

Claims (8)

1.多室型热处理装置，在俯视观察时以隔着中间输送室的方式配置有多个加热室，被处理物经由所述中间输送室而容纳于所述加热室，

所述多室型热处理装置具备：

气体冷却室，在俯视观察时与所述中间输送室邻接地设置，使用冷却气体对所述被处理物进行冷却；

冷却气体流通机构，具备气体吹入口与气体排气口，从所述气体吹入口吹出所述冷却气体，从所述气体排气口进行排气，所述气体吹入口在所述气体冷却室内朝向所述被处理物延伸，所述气体排气口以隔着所述被处理物而与所述气体吹入口对置的方式朝向所述被处理物延伸。

2.如权利要求1所述的多室型热处理装置，其特征在于，所述冷却气体流通机构至少具备：

气体循环通路，一端为所述气体吹入口并且另一端为所述气体排气口，所述冷却气体经由所述气体冷却室在所述气体循环通路中循环；

送风机，设置在所述气体循环通路的中途部位，使所述冷却气体流动；

气体冷却机，设置在所述送风机的上游侧，对从所述气体冷却室排气的所述冷却气体进行冷却。

3.如权利要求1所述的多室型热处理装置，其特征在于，所述气体吹入口在所述气体冷却室内延伸至所述被处理物的正上方，所述气体排气口在所述气体冷却室内延伸至所述被处理物的正下方。

4.如权利要求1所述的多室型热处理装置，其特征在于，所述气体冷却室在俯视观察时为圆环形状，

所述冷却气体流通机构中的所述气体吹入口的中心相对于所述气体冷却室的中心在水平方向上偏移。

5.如权利要求1所述的多室型热处理装置，其特征在于，以突出到所述气体冷却室内的状态设置有对所述气体冷却室与所述中间输送室进行划分的分隔门。

6.如权利要求1所述的多室型热处理装置，其特征在于，在所述中间输送室的下方，还具备使用规定的冷却介质的喷雾对所述被处理物进行冷却的喷雾冷却室。

7.如权利要求1所述的多室型热处理装置，其特征在于，在所述中间输送室的下方，还具备使用规定的冷却油对所述被处理物进行冷却的油冷却室。

8.如权利要求1所述的多室型热处理装置，其特征在于，所述气体冷却室具备用于在与外部之间进出所述被处理物的工件进出口。