CN107405598B - 紫外线处理装置以及用于该紫外线处理装置的遮光部件 - Google Patents
紫外线处理装置以及用于该紫外线处理装置的遮光部件 Download PDFInfo
- Publication number
- CN107405598B CN107405598B CN201680013886.0A CN201680013886A CN107405598B CN 107405598 B CN107405598 B CN 107405598B CN 201680013886 A CN201680013886 A CN 201680013886A CN 107405598 B CN107405598 B CN 107405598B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- protection pipe
- lamp protection
- barn door
- ultraviolet light
- treamtent
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000008602 contraction Effects 0.000 claims abstract description 20
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims abstract description 16
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims abstract description 9
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 claims description 7
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 claims description 6
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000004411 aluminium Substances 0.000 claims description 6
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 6
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 6
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims description 6
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 6
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 claims description 6
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 6
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims description 6
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 6
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 4
- 238000007667 floating Methods 0.000 abstract description 8
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 abstract description 4
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 abstract description 4
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 12
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- 229910000833 kovar Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 3
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000001954 sterilising effect Effects 0.000 description 3
- 230000001154 acute effect Effects 0.000 description 2
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 2
- 230000005764 inhibitory process Effects 0.000 description 2
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 150000003254 radicals Chemical class 0.000 description 2
- 238000004659 sterilization and disinfection Methods 0.000 description 2
- 229910021642 ultra pure water Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012498 ultrapure water Substances 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241001442589 Convoluta Species 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000000415 inactivating effect Effects 0.000 description 1
- 230000002779 inactivation Effects 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000813 microbial effect Effects 0.000 description 1
- 244000005700 microbiome Species 0.000 description 1
- 239000005416 organic matter Substances 0.000 description 1
- 239000007800 oxidant agent Substances 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 238000012216 screening Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 125000003003 spiro group Chemical group 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J19/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J19/08—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor
- B01J19/12—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor employing electromagnetic waves
- B01J19/122—Incoherent waves
- B01J19/123—Ultraviolet light
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
- C02F1/30—Treatment of water, waste water, or sewage by irradiation
- C02F1/32—Treatment of water, waste water, or sewage by irradiation with ultraviolet light
- C02F1/325—Irradiation devices or lamp constructions
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61L—METHODS OR APPARATUS FOR STERILISING MATERIALS OR OBJECTS IN GENERAL; DISINFECTION, STERILISATION OR DEODORISATION OF AIR; CHEMICAL ASPECTS OF BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS OR SURGICAL ARTICLES; MATERIALS FOR BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS OR SURGICAL ARTICLES
- A61L2/00—Methods or apparatus for disinfecting or sterilising materials or objects other than foodstuffs or contact lenses; Accessories therefor
- A61L2/02—Methods or apparatus for disinfecting or sterilising materials or objects other than foodstuffs or contact lenses; Accessories therefor using physical phenomena
- A61L2/08—Radiation
- A61L2/10—Ultraviolet radiation
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61L—METHODS OR APPARATUS FOR STERILISING MATERIALS OR OBJECTS IN GENERAL; DISINFECTION, STERILISATION OR DEODORISATION OF AIR; CHEMICAL ASPECTS OF BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS OR SURGICAL ARTICLES; MATERIALS FOR BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS OR SURGICAL ARTICLES
- A61L2/00—Methods or apparatus for disinfecting or sterilising materials or objects other than foodstuffs or contact lenses; Accessories therefor
- A61L2/26—Accessories or devices or components used for biocidal treatment
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
- H01J61/02—Details
- H01J61/30—Vessels; Containers
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61L—METHODS OR APPARATUS FOR STERILISING MATERIALS OR OBJECTS IN GENERAL; DISINFECTION, STERILISATION OR DEODORISATION OF AIR; CHEMICAL ASPECTS OF BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS OR SURGICAL ARTICLES; MATERIALS FOR BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS OR SURGICAL ARTICLES
- A61L2202/00—Aspects relating to methods or apparatus for disinfecting or sterilising materials or objects
- A61L2202/10—Apparatus features
- A61L2202/11—Apparatus for generating biocidal substances, e.g. vaporisers, UV lamps
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61L—METHODS OR APPARATUS FOR STERILISING MATERIALS OR OBJECTS IN GENERAL; DISINFECTION, STERILISATION OR DEODORISATION OF AIR; CHEMICAL ASPECTS OF BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS OR SURGICAL ARTICLES; MATERIALS FOR BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS OR SURGICAL ARTICLES
- A61L2202/00—Aspects relating to methods or apparatus for disinfecting or sterilising materials or objects
- A61L2202/10—Apparatus features
- A61L2202/12—Apparatus for isolating biocidal substances from the environment
- A61L2202/121—Sealings, e.g. doors, covers, valves, sluices
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F2103/00—Nature of the water, waste water, sewage or sludge to be treated
- C02F2103/02—Non-contaminated water, e.g. for industrial water supply
- C02F2103/04—Non-contaminated water, e.g. for industrial water supply for obtaining ultra-pure water
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F2201/00—Apparatus for treatment of water, waste water or sewage
- C02F2201/32—Details relating to UV-irradiation devices
- C02F2201/322—Lamp arrangement
- C02F2201/3227—Units with two or more lamps
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F2201/00—Apparatus for treatment of water, waste water or sewage
- C02F2201/32—Details relating to UV-irradiation devices
- C02F2201/322—Lamp arrangement
- C02F2201/3228—Units having reflectors, e.g. coatings, baffles, plates, mirrors
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F2303/00—Specific treatment goals
- C02F2303/04—Disinfection
Landscapes
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Hydrology & Water Resources (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Environmental & Geological Engineering (AREA)
- Water Supply & Treatment (AREA)
- Animal Behavior & Ethology (AREA)
- Epidemiology (AREA)
- Public Health (AREA)
- Veterinary Medicine (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Physical Water Treatments (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Vessels And Coating Films For Discharge Lamps (AREA)
Abstract
本发明提供紫外线处理装置以及用于该紫外线处理装置的遮光部件。在由与灯保护管(21)的外周密接地配置密封构件(O型环23)的结构构成的紫外线处理装置中,为了防止该密封构件的紫外线劣化而使用遮光板(30)。由紫外线遮蔽原料构成的弹性板状的遮光板(30)包括至少具有与灯保护管(21)的内表面的圆周长度(C)相应的长度的主遮光部(31)、以及在该主遮光部(31)的所述长度方向的两端呈非平行的收敛形状延伸的第1以及第2重叠部(32a、32b)。将遮光板(30)在沿所述长度方向卷绕的状态下以与灯保护管(21)的内周密接的方式配置在该灯保护管(21)内,且位于与密封构件(23)对置的位置。借助重叠部的非平行的收敛形状,能够使相对于遮光板的端部处的弯曲的斥力分散,能够抑制端部附近的浮起。由此,遮光板(30)不会妨碍收纳在保护管内的紫外线灯的出入。
Description
技术领域
本发明涉及紫外线处理装置,尤其涉及对用于防止密封容器用的O型环等密封构件因紫外线而劣化的遮光机构进行改良,且涉及用于该遮光机构的遮光部件。
背景技术
在半导体、FPD(平板显示器)的工厂中,在产品的制造工序中使用超纯水。在该超纯水的水质项目中存在活菌数以及TOC(总有机碳)浓度。作为用于灭活微生物的设备使用紫外线杀菌装置,作为用于降低TOC浓度的设备之一使用压力UV氧化装置。这些装置在圆筒形的反应容器内填充有一个或者多个发出254nm光或者185nm光的紫外线的低压水银灯。将该灯一个一个地***填充到石英制的灯保护管内以免与容器内的被处理水直接接触。被处理水在暴露于紫外线的同时在该灯保护管的外侧与反应容器的内侧之间压送。处理水中的微生物暴露于254nm光的紫外线而被灭活。该灭活一般也表现为杀菌。此外,从暴露于185nm光的紫外线的处理水生成OH自由基,OH自由基成为氧化剂而对TOC进行氧化分解。同时,借助从低压水银灯发出的185nm光与254nm光,将有机物直接分解。只要是发出波长300nm以下的光源(紫外线灯),便并不限定于低压水银灯,在中压水银灯、高压水银灯、准分子灯等也引起同样的反应。作为灯保护管的原料,使用石英、蓝宝石、氟树脂等。
灯保护管的至少一端由容器的壁面支承并朝该容器的外部露出,能够从朝该外部露出的一端插拔灯保护管内部的灯。并且,在该容器中的保护该灯保护管的部位设置有为了与该灯保护管的外周密接来密封该容器内而富有弹性的密封构件。典型来说,密封构件由橡胶制的O型环构成。但是,不仅朝被处理水照射紫外线,而且也朝该密封构件(O型环)照射不少紫外线,其蓄积会导致O型环的紫外线劣化,有时成为漏水这样的不良情况的产生原因。尤其是低压水银灯的输出升高而使用254nm光或者185nm光的透射率高的灯和用于灯保护管的石英,因此,存在O型环在更短时间内发生紫外线劣化的趋势。
然而,作为通过对与光源成为一体的装置或者光源的一部分实施遮光来防止周边部件的劣化的现有技术,已知有下述专利文献所记载的技术。专利文献1以及2公开了为了不产生从放射紫外线的电弧管的电源连接端部侧泄漏的紫外线使合成树脂制绝缘插头劣化的情况而设置环状的UV遮光构件。专利文献3公开了在由从并排配置的多个紫外线灯朝空间中放射紫外线并朝处理对象物照射的结构构成的紫外线处理装置中,为了减少从邻接的灯放射的紫外线的影响而在各灯的邻接侧面设置UV遮光膜。
专利文献4公开了在准分子激光器用窗口中,为了防止用于密封激光介质气体的O型环因激光而劣化,在该窗口与O型环的密接面蒸镀不透射紫外线的膜,在该膜上覆盖氧化保护膜。专利文献5公开了在固体激光振荡器中,为了避免液密地密封过滤器筒的端部的O型环因激励光而劣化,设置用于遮挡从激励灯的端部泄漏的光的遮光环。专利文献6公开了为了防止用于保持等离子体处理室的气密性的O型环劣化,在形成于相比供O型环嵌入的环状槽靠处理室侧的其他环状槽内嵌入等离子体遮挡机构,该等离子体遮挡机构由将金属的薄的带状钢板卷绕成螺旋状的构件、或者将导线卷绕成螺线管线圈状的构件或者编织成筒状的构件构成。
但是,任一个专利文献所记载的都不适用于与前述的灯保护管的外周密接地配置O型环的结构。在这样的结构中,需要在灯保护管内配置UV遮光机构。根据上述专利文献的见解,考虑在灯保护管内配置圆筒环状的UV遮光机构,但在使用圆筒状的遮光环的情况下,一般通过使用比灯保护管的内径稍小的外径的遮光环而使得向灯保护管内的***容易的结构。但是,这样一来,该遮光环在灯保护管内成为稍微松动的状态,当更换收纳在灯保护管内的紫外线灯时,遮光环勾挂于该灯的灯口,由此产生遮光环容易移动而需要进行麻烦的位置修正的问题,此外,也妨碍灯的出入。因此,不优选在灯保护管内配置由固定径构成的圆筒环状的UV遮光机构。
在先技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开2002-270010号
专利文献2:日本特开2003-123630号
专利文献3:日本特开2014-159029号
专利文献4:日本实开平6-29160号
专利文献5:日本特开平11-274612号
专利文献6:日本特开2005-63986号
发明内容
与此相对,考虑通过将具有弹性的金属制板材卷绕后配置在灯保护管内,来构成环状的UV遮光机构。由此,借助板材本身的弹性,该卷绕的环状的板材容易紧贴于灯保护管的内周,应该不用担心在灯保护管内松动地移动。但是,根据发明人们的分析可知,在使用图5的(a)所示的长方形的UV遮光板材1的情况下,当将该遮光板材1在沿长度方向卷绕的状态下以与灯保护管2的内周密接的方式配置在该灯保护管2内时,如同图的(b)的剖视图所示,产生成为卷绕的外侧的一端部1a与灯保护管2的内周密接,但成为卷绕的内侧的另一端部1b的附近稍微浮起的现象。这样一来,与由所述固定径构成的圆筒环状的UV遮光机构的情况相同,当更换收纳在灯保护管内的紫外线灯时,所述另一端部1b的附近的浮起部分1c勾挂于该灯的灯口,由此产生遮光环容易移动而需要进行麻烦的位置修正的问题,此外,也妨碍灯的出入。
发明概要
本发明是鉴于上述的点而完成的,其目的在于在由与灯保护管的外周密接地配置密封构件的结构构成的紫外线处理装置中,提供由不会妨碍收纳在灯保护管内的紫外线灯的出入的结构构成的、用于防止该密封构件的紫外线劣化的遮光机构(遮光部件)。
为了解决上述课题,本发明所涉及的紫外线处理装置具备:紫外线灯;灯保护管,其供所述紫外线灯内插;容器,其以所述灯保护管的至少一端朝外部露出的方式保持并收纳该灯保护管,且收纳处理对象物;以及密封构件,其在所述容器中的保持所述灯保护管的部位处与该灯保护管的外周密接来对所述容器进行密封,所述紫外线处理装置的特征在于,所述紫外线处理装置具备弹性的遮光板,该遮光板由紫外线遮蔽原料构成,且包括至少具有与所述灯保护管的内表面的圆周长度相应的长度的主遮光部、以及在该主遮光部的所述长度方向的两端呈非平行的收敛形状延伸的第1重叠部以及第2重叠部,将所述遮光板在沿所述长度方向卷绕的状态下以与所述灯保护管的内周密接的方式配置在该灯保护管内,且位于与所述密封构件对置的位置。
此外,为了解决上述课题,本发明所涉及的遮光部件在紫外线处理装置中使用,所述紫外线处理装置具备:紫外线灯;灯保护管,其供所述紫外线灯内插;容器,其以所述灯保护管的至少一端朝外部露出的方式保持并收纳该灯保护管,且收纳处理对象物;以及密封构件,其在所述容器中的保持所述灯保护管的部位处与该灯保护管的外周密接来对所述容器进行密封,所述遮光部件的特征在于,所述遮光部件由弹性的遮光板构成,该遮光板由紫外线遮蔽原料构成,且包括至少具有与所述灯保护管的内表面的圆周长度相应的长度的主遮光部、以及在该主遮光部的所述长度方向的两端呈非平行的收敛形状延伸的第1重叠部以及第2重叠部,在使用时,将所述遮光板在沿所述长度方向卷绕的状态下以与所述灯保护管的内周密接的方式配置在该灯保护管内,且位于与所述密封构件对置的位置。
根据本发明,遮光部件由弹性的遮光板构成,该遮光板包括所述主遮光部、所述第1重叠部以及第2重叠部,在将该遮光板卷绕后配置在灯保护管内的状态下,该第1重叠部以及第2重叠部在与该主遮光部重叠的状态下卷绕。这样,通过将弹性的遮光板卷绕后配置在灯保护管内,借助遮光板本身的弹性,该被卷绕而成为环状的遮光板容易紧贴于灯保护管的内周,无需担心在灯保护管内松动地移动。此外,该遮光板包括所述主遮光部、从其两端延伸的所述第1重叠部以及第2重叠部,该主遮光部至少具有与所述灯保护管的内表面的圆周长度相应的长度,因此,当进行卷绕而成为环状时,能够利用该主遮光部适当地覆盖与密封构件对置的灯保护管的内周,确保相对于该密封构件的遮光性能。此外,所述第1重叠部以及第2重叠部在所述主遮光部的所述长度方向的两端呈非平行的收敛形状延伸,因此,利用该非平行的收敛形状,能够使相对于该遮光板的端部处的弯曲的斥力分散,因此,能够抑制图5的(b)所示的浮起1c。即,在图5的(a)那样的单纯的长方形的遮光板材1中,端部1b朝箭头L方向形成一条直线,因此,相对于箭头L的位置处的朝直角方向B的弯曲力,作用一条直线状的端部1b整体的斥力,相对于弯曲的斥力成为最大,因此,认为在其附近产生浮起1c。与此相对,在本发明中,将形成遮光板的两端部的第1重叠部以及第2重叠部形成为非平行的收敛形状,因此,能够使相对于该遮光板的端部处的弯曲的斥力分散,能够抑制端部附近的浮起。因而,根据本发明,能够提供由不会妨碍收纳在灯保护管内的紫外线灯的出入的结构构成的遮光机构,此外,当更换收纳在灯保护管内的紫外线灯时,也不会引起因该遮光机构勾挂于该灯的灯口等而导致其配置偏移的问题。
附图说明
图1是简要示出本发明的一实施例所涉及的紫外线处理装置的外观的立体图。
图2是放大示出图1的一个紫外线灯单元的一端部分的纵剖面简图。
图3的(a)是示出卷绕前的呈平板状展开的遮光板的一例的俯视图,(b)是示出将遮光板在长度方向上卷绕后以与灯保护管的内周密接的方式配置在该灯保护管内的状态的横剖视图。
图4是示出遮光板的几个变形例的俯视图。
图5是对长方形的遮光板材的问题点进行说明的图。
具体实施方式
图1是简要示出一实施例所涉及的紫外线处理装置10的外观的立体图,作为一例对液体进行紫外线处理,例如进行在本说明书的开头叙述的超纯水处理。容器11具有取入作为处理对象物的液体的取入口11a、以及排出处理完毕的液体的排出口11b。在容器11设置有多个紫外线灯单元20。各紫外线灯单元20可以为相同的结构,因此,以下仅对一个紫外线灯单元20进行详细说明。
图2是放大示出一个紫外线灯单元20的一端部分的纵剖面简图。紫外线灯单元20包括紫外线透射性的透明的灯保护管21、以及内插于该灯保护管21的紫外线灯22。在反应容器11的端部壁面11c的规定部位穿设有允许该灯保护管21向容器11内部***的孔,该灯保护管21从该孔***到容器11的内部,以一端朝外部露出的方式支承于该容器11的端部壁面11c。在容器11中的保护灯保护管21的部位与该灯保护管21的外周密接地设置有橡胶制的O型环23(用于密封容器11的密封构件)。在容器11的端部壁面11c的所述孔,在靠外侧的规定部位设置有内螺纹,与设置于用于固定灯保护管21的端部的盖24的外螺纹螺合。在灯保护管21的靠端部的适当位置的外周嵌合有O型环23的状态下,在灯保护管21的端部朝紧固方向拧紧盖24,由此设置于盖24的外螺纹与设置于容器11的端部壁面11c的所述孔的所述内螺纹螺合,在图中盖24朝左方向行进。紫外线灯22能够放射波长300nm以下的紫外线(例如185nm光与254nm光)。
容器11的端部壁面11c的所述孔的靠内侧为能够与灯保护管21的外周密接的尺寸的小径部11d,作为用于支承灯保护管21的外周的部位发挥功能,并且,也作为用于在该位置阻挡O型环23的止挡件发挥功能。通过朝紧固方向拧紧而朝图的左方向行进的盖24的前端按压O型环23,该O型环23与小径部11d的部位压接而被阻挡,由此将容器11的内部液密地密封。在该密封状态下,灯保护管21的一端与盖24的朝内凸缘24a抵接,也可以设定适当的(例如数mm程度的)间隙。灯保护管21的一端为敞开端,盖24的朝内凸缘24a的内侧也为开口24b。通过该开口24b,灯保护管21的内部通往容器11的外部,能够进行灯22朝灯保护管21外取出或者朝内放入。进而,在盖24的周围设置罩25,收纳灯22的连接器等,但由于是公知的结构,所以省略详细情况。
作为本发明所涉及的遮光部件的一实施例的遮光板30是将由一个紫外线遮蔽原料构成的弹性板材卷绕后配置在灯保护管21内而成的,通过以与O型环23对置的方式配置,遮蔽从内插于保护管21的光源灯22朝向该O型环23的紫外线。图3的(a)是示出卷绕前的呈平板状展开的遮光板30的一例的俯视图。该遮光板30由两个功能性部位构成,其中一个是至少具有与灯保护管21的内表面的圆周长度C大致对应的长度的主遮光部31,另一个是在该主遮光部31的所述长度方向的两端呈非平行的收敛形状延伸的第1重叠部32a以及第2重叠部32b。在图示例中,主遮光部31为具有平行的两边的长方形,从其两端延伸的各重叠部32a、32b分别形成具有不超过该主遮光部31的两边间的宽度的横向宽度的一个非平行的收敛形状(即三角形)。当然,主遮光部31与第1重叠部32a以及第2重叠部32b是由同一原料构成的一体物。在图3的(a)中,各重叠部32a、32b由将与主遮光部31相接的部位作为底边的大致等腰三角形构成。作为一例,遮光板30由不锈钢构成,板厚为0.1mm程度。
需要说明的是,主遮光部31的宽度W为足以遮蔽从灯保护管21朝向O型环23的紫外线的长度,例如只要为5cm左右便足够。该主遮光部31的宽度W为在将遮光板30在长度方向上卷绕后配置于灯保护管21的状态下在管轴方向(长条的灯22的长度方向)上遮光板30所形成的长度。也就是说,卷绕成环状的遮光板30在宽度W的范围内对O型环23的周边进行遮光。此外,作为主遮光部31的长度(灯保护管21的内周方向的长度)而允许的最小值并不是一定要为与灯保护管21的内表面的圆周长度C正好相同的长度,也可以根据其两端的重叠部32a、32b的形状而适当地较之(相比C)缩短。即,存在即便主遮光部31不完全覆盖灯保护管21的内表面的圆周长度C的整体,也能够利用主遮光部31的两端的重叠部32a、32b的根部附近的部分覆盖不足部位的情况。例如,只要主遮光部31的长边与重叠部32a的一边所成的角度α(参照图3的(a))比较大,并且主遮光部31的宽度W比较长,则在重叠部32a、32b的根部附近的部分,也能够充分地遮蔽朝向O型环23的紫外线。当然,主遮光部31的长度(灯保护管21的内周方向的长度)也可以比灯保护管21的内表面的圆周长度C长,但无需不必要地增长。将以上汇总,只要主遮光部31的长度(灯保护管21的内周方向的长度)至少具有与灯保护管21的内表面的圆周长度C相应的长度(也包括相比C适当缩短的情况)即可。
图3的(b)是示出将遮光板30在长度方向上卷绕后以与灯保护管21的内周密接的方式配置在该灯保护管21内的状态的横剖视图。需要说明的是,为了便于观察而用虚线描绘灯保护管21的内周,用粗实线描绘遮光板30的剖面。遮光板30的所述主遮光部31至少具有与灯保护管21的内表面的圆周长度C相应的长度,因此,当进行卷绕而形成环状时,各重叠部32a、32b与主遮光部31重叠,能够主要利用该主遮光部31(或者进一步利用重叠部32a、32b的根部附近的部分)适当地覆盖与O型环23对置的灯保护管21的内周整体,确保相对于该O型环23的遮光性能。此外,第1重叠部32a以及第2重叠部32b在所述主遮光部31的所述长度方向的两端呈非平行的收敛形状(图3的例子中大致等腰三角形)延伸,因此,利用该非平行的收敛形状能够使相对于该遮光板30的端部处的弯曲的斥力分散。即,重叠部32a、32b的前端(等腰三角形的顶点)为弯曲的始端,因此肯定会产生比较大的斥力,但由于弯曲部位为点或者微小宽度,所以相对于弯曲的斥力不那么大。随着接近重叠部32a、32b的根部而弯曲部位的宽度增大,但其他的部分已经弯曲,因此相对于弯曲的斥力不那么大。这样,能够使相对于遮光板30的端部处的弯曲的斥力分散,因此,卷绕成环状的遮光板30整体与灯保护管21的内周密接,不会产生所述图5的(b)所示的端部附近部分处的浮起,或者能够抑制为不明显。
如上所述,在将遮光板30在长度方向上卷绕后以与灯保护管21的内周密接的方式配置在该灯保护管21内的状态下,不会产生端部附近部分处的浮起,因此,当朝该灯保护管21外取出或者朝灯保护管21内放入紫外线灯22时,不会引起灯的灯口勾挂于遮光板30这样的问题。
遮光板30的重叠部32a、32b的形状并不限定于上述的大致等腰三角形,能够进行各种变更。此外,在大致等腰三角形的情况下,也能够进行将其顶角形成为锐角或者钝角等的各种变更。图4示出遮光板30的几个变形例。图4的(a)示出将重叠部32a、32b的大致等腰三角形的顶角β形成为锐角的例子。顶角β的锐角角度越大,主遮光部31的长边与重叠部32a的一边所成的角度α越大,相对于遮光板30的端部处的弯曲的斥力的分散度越大,能够进一步抑制端部附近部分处的浮起。当然,在增加顶角β的锐角角度存在限度,以免重叠部32a、32b变得过长。作为一例,从经验上来讲,最好将顶角β的最小值设为大致20度左右。在该情况下,上述角度α为大致170度左右。另一方面,也可以将重叠部32a、32b的大致等腰三角形的顶角β形成为钝角,在该情况下,钝角角度越大,主遮光部31的长边与重叠部32a的一边所成角度α越小,相对于遮光板30的端部处的弯曲的斥力的分散度越小,端部附近部分处的浮起的抑制程度越小。在顶角β的钝角角度也存在限度,以便获得必要的浮起的抑制。作为一例,从经验上来讲,最好将顶角β的最大值设为大致140度左右。在该情况下,上述角度α为大致110度左右。这样一来,作为一个指南,认为最好将重叠部32a、32b的形状决定为,主遮光部31的长边与重叠部32a、32b的一边所成的角度α收敛在大致110度至大致170度左右的范围内。
图4的(b)示出将重叠部32a、32b形成为大致直角三角形,将遮光板30整体形成为大致平行四边形的例子。(c)示出将重叠部32a、32b形成为大致直角三角形,将遮光板30整体形成为大致梯形的例子。(d)示出将重叠部32a、32b形成为不等边三角形的例子。在这些形状中,由于重叠部32a、32b形成为非平行的收敛形状,所以能够在将遮光板30在长度方向上卷绕后以与灯保护管21的内周密接的方式配置在该灯保护管21内的状态下,使相对于遮光板30的端部处的弯曲的斥力分散,因此,不会产生或者能够抑制端部附近部分处的浮起。需要说明的是,在该情况下,也最好将重叠部32a、32b的形状决定为,主遮光部31的长边与重叠部32a、32b的一边所成的角度α收敛在大致110度至大致170度左右的范围内。
重叠部32a、32b所形成的非平行的收敛形状并不限定于一个,如图4的(e)所示,也可以为多个。在图4的(e)所示的具有多个收敛形状的遮光板30中,各收敛形状的前端的位置相互错开,如单点划线所示那样呈现不等边三角形状或者多边形状的整体轮廓。在像这样具有多个收敛形状的情况下,由于重叠部32a、32b形成为非平行的收敛形状,所以在将遮光板30在长度方向上卷绕后以与灯保护管21的内周密接的方式配置在该灯保护管21内的状态下,使相对于遮光板30的端部处的弯曲的斥力分散,因此,不会产生或者能够抑制端部附近部分处的浮起。
遮光板30可以通过模具冲压加工而形成,但通过蚀刻加工或者光刻胶蚀刻加工而形成是经济的。作为适于蚀刻且具有紫外线遮蔽性能的材质,具有不锈钢系、铜系、镍系、铁、铝、铝合金、金、银、钼、钛、非晶体、可伐合金(Kovar)、硅等,能够将这些中的任一个作为遮光板30的原料使用。此外,也可以对金以外的原料(不锈钢系、铜系、镍系、铁、铝、铝合金、银、钼、钛、非晶体、可伐合金、硅)的表面实施镀金。此外,遮光板30的板厚只要为0.005mm至1mm左右的范围即可。需要说明的是,也可以加工成在遮光板30中形成角的各部位具有圆角,这样一来,任何东西都难以勾挂于角,此外,也无需担心作业时手指等损伤。
在上述实施例中,主遮光部31的两个长边呈直线状延伸并相互平行,但并不限定于此,例如,主遮光部31的两个长边也可以不是直线而形成缓慢弯曲的曲线。
需要说明的是,紫外线灯22可以使用仅在一端具有连接用的灯口的类型、或者在两端具有连接用的灯口的类型的任一个。在前者的类型的情况下,内插该紫外线灯22的灯保护管21仅由容器的一端侧的壁面11c支承,且仅在该支承端侧开口。在后者的类型的情况下,内插该紫外线灯22的灯保护管21由容器的两端侧的壁面11c分别支承,且在该两端开口,所述O型环23以及所述遮光板30也分别设置于灯保护管21的两端侧。需要说明的是,本发明并不限定于使用O型环23作为密封构件的结构,也能够在使用其他的橡胶制衬垫等的、任意的液密或者气密用的密封构件的结构中应用。
上述的遮光板30当然可以附属于紫外线处理装置10进行流通、销售,也可以附属于各个紫外线灯单元20或者保护管21进行流通、销售,此外,为了在紫外线处理装置10或者紫外线灯单元20中使用,也可以作为独立的遮光部件而单独地进行流通、销售。此外,本发明所涉及的紫外线处理装置并不限定于上述的液体处理用的紫外线处理装置10,用于对放置在空气空间内的处理对象物体进行杀菌、消毒的紫外线杀菌装置也包含于该范畴内。
Claims (16)
1.一种紫外线处理装置,具备:
紫外线灯;
灯保护管,其供所述紫外线灯内插;
容器,其以所述灯保护管的至少一端朝外部露出的方式保持并收纳该灯保护管,且收纳处理对象物;以及
密封构件,其在所述容器中的保持所述灯保护管的部位处与该灯保护管的外周密接来对所述容器进行密封,
所述紫外线处理装置的特征在于,
所述紫外线处理装置具备弹性的遮光板,该遮光板由紫外线遮蔽原料构成,且包括至少具有与所述灯保护管的内表面的圆周长度相应的长度的主遮光部、以及在该主遮光部的所述长度方向的两端呈非平行的收敛形状延伸的第1重叠部以及第2重叠部,
将所述遮光板在沿所述长度方向卷绕的状态下以与所述灯保护管的内周密接的方式配置在该灯保护管内,且位于与所述密封构件对置的位置。
2.根据权利要求1所述的紫外线处理装置,其中,
所述主遮光部具有大致平行的两边,各所述重叠部由具有不超过所述主遮光部的两边间的宽度的横向宽度的至少一个非平行的收敛形状构成。
3.根据权利要求1或2所述的紫外线处理装置,其中,
各所述重叠部形成为将与所述主遮光部相接的部位作为底边的大致等腰三角形状。
4.根据权利要求1或2所述的紫外线处理装置,其中,
将所述遮光板的各角形成为圆角。
5.根据权利要求1或2所述的紫外线处理装置,其中,
所述遮光板的板厚为0.005mm至1mm的范围。
6.根据权利要求1或2所述的紫外线处理装置,其中,
所述遮光板的材质由不锈钢系、铜系、镍系、铁、铝、铝合金、金、银、钼、钛、非晶体、可伐合金、硅中的任一者构成。
7.根据权利要求1或2所述的紫外线处理装置,其中,
所述遮光板的材质由不锈钢系、铜系、镍系、铁、铝、铝合金、银、钼、钛、非晶体、可伐合金、硅中的任一者构成,且在表面上实施有镀金。
8.根据权利要求1或2所述的紫外线处理装置,其中,
所述密封构件为O型环。
9.根据权利要求1或2所述的紫外线处理装置,其中,
所述处理对象物为液体。
10.一种遮光部件,其在紫外线处理装置中使用,
所述紫外线处理装置具备:
紫外线灯;
灯保护管,其供所述紫外线灯内插;
容器,其以所述灯保护管的至少一端朝外部露出的方式保持并收纳该灯保护管,且收纳处理对象物;以及
密封构件,其在所述容器中的保持所述灯保护管的部位处与该灯保护管的外周密接来对所述容器进行密封,
所述遮光部件的特征在于,
所述遮光部件由弹性的遮光板构成,该遮光板由紫外线遮蔽原料构成,且包括至少具有与所述灯保护管的内表面的圆周长度相应的长度的主遮光部、以及在该主遮光部的所述长度方向的两端呈非平行的收敛形状延伸的第1重叠部以及第2重叠部,
在使用时,将所述遮光板在沿所述长度方向卷绕的状态下以与所述灯保护管的内周密接的方式配置在该灯保护管内,且位于与所述密封构件对置的位置。
11.根据权利要求10所述的遮光部件,其中,
所述主遮光部具有大致平行的两边,各所述重叠部由具有不超过所述主遮光部的两边间的宽度的横向宽度的至少一个非平行的收敛形状构成。
12.根据权利要求10或11所述的遮光部件,其中,
各所述重叠部形成为将与所述主遮光部相接的部位作为底边的大致等腰三角形状。
13.根据权利要求10或11所述的遮光部件,其中,
将所述遮光板的各角形成为圆角。
14.根据权利要求10或11所述的遮光部件,其中,
所述遮光板的板厚为0.005mm至1mm的范围。
15.根据权利要求10或11所述的遮光部件,其中,
所述遮光板的材质由不锈钢系、铜系、镍系、铁、铝、铝合金、金、银、钼、钛、非晶体、可伐合金、硅中的任一者构成。
16.根据权利要求10或11所述的遮光部件,其中,
所述遮光板的材质由不锈钢系、铜系、镍系、铁、铝、铝合金、银、钼、钛、非晶体、可伐合金、硅中的任一者构成,且在表面上实施有镀金。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015048628 | 2015-03-11 | ||
JP2015-048628 | 2015-03-11 | ||
PCT/JP2016/057447 WO2016143829A1 (ja) | 2015-03-11 | 2016-03-09 | 紫外線処理装置及びそのための遮光部品 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN107405598A CN107405598A (zh) | 2017-11-28 |
CN107405598B true CN107405598B (zh) | 2019-10-08 |
Family
ID=56880171
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201680013886.0A Active CN107405598B (zh) | 2015-03-11 | 2016-03-09 | 紫外线处理装置以及用于该紫外线处理装置的遮光部件 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10040700B2 (zh) |
JP (1) | JP6592077B2 (zh) |
KR (1) | KR102479229B1 (zh) |
CN (1) | CN107405598B (zh) |
WO (1) | WO2016143829A1 (zh) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6798216B2 (ja) * | 2016-09-26 | 2020-12-09 | 株式会社ノーリツ | 除菌装置及び温水装置 |
JP7223392B2 (ja) | 2018-09-14 | 2023-02-16 | 株式会社日本フォトサイエンス | 紫外線処理装置及びファンを交換するための方法 |
JP7489689B2 (ja) | 2018-11-28 | 2024-05-24 | 株式会社日本フォトサイエンス | 紫外線処理方法及びシステム |
JP7339513B2 (ja) * | 2019-08-27 | 2023-09-06 | 株式会社ノーリツ | 除菌装置及び温水装置 |
JP7314820B2 (ja) * | 2020-02-05 | 2023-07-26 | 三菱電機株式会社 | 殺菌装置および給湯装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05328897A (ja) * | 1992-05-29 | 1993-12-14 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 紫外線ランプ及び同ランプを備えたエチレン除去装置 |
CN101517695A (zh) * | 2006-09-26 | 2009-08-26 | 株式会社日本光电科技 | 短波长紫外线放电灯和紫外线照射处理装置 |
CN101825210A (zh) * | 2009-03-06 | 2010-09-08 | 株式会社湘南合成树脂制作所 | 管内衬材料 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0444232Y2 (zh) | 1987-12-09 | 1992-10-19 | ||
JPH0398940U (zh) | 1990-01-26 | 1991-10-15 | ||
US5372781A (en) * | 1992-02-18 | 1994-12-13 | Solarchem Enterprises Inc. | UV reactor assembly with improved lamp cooling means |
JP3289321B2 (ja) | 1992-07-07 | 2002-06-04 | 松下電器産業株式会社 | チップ形アルミ電解コンデンサ |
JP2579539Y2 (ja) | 1992-09-08 | 1998-08-27 | 株式会社小松製作所 | エキシマレーザ用ウインドウ |
JPH1048760A (ja) | 1996-08-01 | 1998-02-20 | Ricoh Co Ltd | 原稿照明装置 |
JPH11274612A (ja) | 1998-03-19 | 1999-10-08 | Keyence Corp | 固体レーザ発振器及びレーザマーキング装置 |
JP2003123630A (ja) | 2001-10-12 | 2003-04-25 | Koito Mfg Co Ltd | 放電ランプ装置 |
JP2002270010A (ja) | 2001-03-12 | 2002-09-20 | Koito Mfg Co Ltd | 放電ランプ装置 |
JP4864221B2 (ja) | 2001-03-27 | 2012-02-01 | 株式会社日本フォトサイエンス | 紫外線浄化装置 |
US6469308B1 (en) * | 2001-05-01 | 2002-10-22 | Ryan M. Reed | Ultraviolet radiated water treatment tank |
JP2005063986A (ja) | 2003-08-08 | 2005-03-10 | Advanced Lcd Technologies Development Center Co Ltd | 処理装置およびプラズマ装置 |
JP5708857B2 (ja) | 2014-03-14 | 2015-04-30 | 岩崎電気株式会社 | 紫外線ランプ及び紫外線照射装置 |
-
2016
- 2016-03-09 CN CN201680013886.0A patent/CN107405598B/zh active Active
- 2016-03-09 KR KR1020177027264A patent/KR102479229B1/ko active IP Right Grant
- 2016-03-09 US US15/556,502 patent/US10040700B2/en active Active
- 2016-03-09 JP JP2017505383A patent/JP6592077B2/ja active Active
- 2016-03-09 WO PCT/JP2016/057447 patent/WO2016143829A1/ja active Application Filing
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05328897A (ja) * | 1992-05-29 | 1993-12-14 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 紫外線ランプ及び同ランプを備えたエチレン除去装置 |
CN101517695A (zh) * | 2006-09-26 | 2009-08-26 | 株式会社日本光电科技 | 短波长紫外线放电灯和紫外线照射处理装置 |
CN101825210A (zh) * | 2009-03-06 | 2010-09-08 | 株式会社湘南合成树脂制作所 | 管内衬材料 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN107405598A (zh) | 2017-11-28 |
WO2016143829A1 (ja) | 2016-09-15 |
KR102479229B1 (ko) | 2022-12-20 |
KR20170136519A (ko) | 2017-12-11 |
JPWO2016143829A1 (ja) | 2017-12-21 |
JP6592077B2 (ja) | 2019-10-16 |
US20180072590A1 (en) | 2018-03-15 |
US10040700B2 (en) | 2018-08-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN107405598B (zh) | 紫外线处理装置以及用于该紫外线处理装置的遮光部件 | |
RU2565684C2 (ru) | Устройство для подвергания текучей среды дезинфицирующей обработке путем воздействия на текучую среду ультрафиолетовым светом | |
JP6564663B2 (ja) | エキシマランプ装置 | |
EP3636288B1 (en) | Fluid sterilizing device | |
US9601224B2 (en) | Electron beam irradiation apparatus | |
WO2014148325A1 (ja) | 蛍光エキシマランプおよび流体処理装置 | |
CA2999365A1 (en) | Device for uv irradiation of a flowing medium | |
KR20180115978A (ko) | 유체 살균 장치 | |
CN111683693A (zh) | 紫外线杀菌管及紫外线杀菌装置 | |
JP2012250166A (ja) | 二重管構造の液体浄化処理装置 | |
JP2012115601A (ja) | 気体及び液体の同時清浄化処理装置 | |
KR101333746B1 (ko) | 자외선 살균기를 구비하는 오폐수 처리 장치 | |
EP2399870B1 (en) | Ultraviolet sterilization filter | |
JP6292900B2 (ja) | 液体浄化処理装置 | |
JP2013118072A (ja) | 紫外線放電ランプ | |
KR101201007B1 (ko) | 자외선 살균 필터 | |
JP5910175B2 (ja) | 紫外線処理装置 | |
KR101440765B1 (ko) | 자외선 살균기 | |
JP2011045808A (ja) | 紫外線処理装置 | |
JP2007268497A (ja) | 紫外線液体処理装置 | |
JP2010234209A (ja) | 紫外線酸化処理装置及び水の紫外線酸化処理方法 | |
JP6724596B2 (ja) | 除菌装置及び温水装置 | |
KR200303113Y1 (ko) | 자외선 살균소독장치의 램프 보호를 위한 튜브 | |
JP2024004646A (ja) | バリア放電ランプモジュール、および液体処理装置 | |
JP6670461B2 (ja) | 液体処理用エキシマランプ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |