CN106607396A - 清洁头及清扫方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种清洁头及清扫方法，该清洁头具有简单且迅速地除去头主体的空气吸引口及其周围的异物的清扫功能，能够使基板品质提高并且使制造成本降低。清洁头(100)包括：移动部(22)，其被在头主体(10)上安装的引导支承部(21)引导支承，并且相对于空气吸引口(12)的长度方向大致平行地移动；异物除去部(23)，其与该移动部(22)一起移动，通过接触而除去空气吸引口(12)及其周围的异物。

Description

清洁头及清扫方法

技术领域

本发明涉及具有对空气吸引口及其周围进行清扫的功能的清洁头及其清扫方法。

背景技术

在半导体晶片、液晶显示器的玻璃板、薄膜等各种基板(以下仅称为基板)的制造工序中，需要进行将尘埃从基板表面除去的除尘。例如，在基板的水平搬送路径上方配置清洁头，通过清洁头对被搬送的基板进行除尘。

在清洁头的底面形成有空气喷射口和空气吸引口。空气喷射口及空气吸引口是在相对于基板搬送方向大致垂直的方向上长的狭缝。清洁头的空气喷射口向被搬送的基板喷射清洁空气而吹走尘埃，另外，空气吸引口从基板将飞散的尘埃与周围的空气一起吸入，对基板整个表面进行除尘。

在该清洁头的空气吸引口会夹入玻璃或薄膜的碎片，或碎片由于静电而粘附在空气吸引口的周围。该异物可能对被搬送的基板造成损伤。另外，尤其是在异物夹在空气吸引口的情况下，吸引力在该部位减弱，而不能进行该部位的除尘。固着在空气吸引口及其周围的异物使基板品质降低，并使基板制造的成品率恶化。

近年来，随着基板的大型化及薄型化的推进，即使是固着在清洁头上的肉眼难以确认的较小的异物也有可能对基板品质产生大的影响。

为了防止基板品质的降低而需要对异物进行清扫除去，但不能确定这样的异物是何时固着的。因此，在以往的清扫作业中，在产生基板不良时判断为异物固着，作业人员通过擦拭来对固着在空气吸引口及其周围的异物进行清扫除去。

然而，从搬送台到清洁头底面的缝隙只有几毫米左右，空气吸引口及其周围处于狭窄的部位，不容易通过擦除来进行异物的清扫除去。该清扫作业除了存在可操作性差的问题以外，还成为产生新的尘埃的主要原因。

而且，如果由于该清扫作业操作困难而引起制造设备的停止时间变长，则损失了制造时间，并且人力成本也增大。在这样的现有技术中，存在由于异物固着在清洁头上和对其进行清扫除去而引起的制造成本增大的问题。

于是，提出了简单且迅速地对清洁头的空气吸引口及其周围的异物机械地进行清扫除去这一课题。目前没有发现这样的对清洁头的空气吸引口进行清扫的装置的现有技术。

在与清洁头不同的其他技术领域中，例如在专利文献1(特许第4773209号公报)中公开了机械地对异物进行清扫的装置的现有技术。在专利文献1的部件按压装置中，在其图6A、图6B、图3A、图3B等中记载了使刷子状的清扫部件21与台面17的上表面接触且向水平方向移动而除去异物的构造。

另外，例如在专利文献2(特许第4031625号公报)中公开了机械地对异物进行清扫的装置的其他现有技术。在专利文献2的电子部件组装装置中，在其图3、图4等中记载了利用刷子10除去支承面的上表面的异物的构造。

另外，例如在专利文献3(特许第3757215号公报)中公开了机械地对异物进行清扫的装置的其他现有技术。在专利文献3的除尘装置中，在其图5等中记载了通过第二刮板40的刮取部41刮取夹在第一刮板30的齿31上的灰尘。

另外，例如在专利文献4(特开2014-46502号公报)中公开了机械地对异物进行清扫的装置的其他现有技术。在专利文献4的液体喷射装置中，尤其是在其图5、图6中记载了使清扫部件40与液体喷射头10的液体喷射面12接触且水平移动来除去异物。

在现有技术的清洁头中，由于很少发生异物固着这一现象和随之而来的问题，所以没有考虑到这些问题。因此，没有着眼于机械地对附着在清洁头上的异物进行清扫除去这一点。

专利文献1～4所记载的装置均通过接触来对异物进行清扫除去，但是都没有公开将清洁头的空气吸引口及其周围的异物除去的装置。

专利文献1：(日本)特许第4773209号公报(图6A、图6B、图3A、图3B)

专利文献2：(日本)特许第4031625号公报(图3、图4)

专利文献3：(日本)特许第3757215号公报(图5)

专利文献4：(日本)特开2014-46502号公报(图5、图6)

发明内容

发明所要解决的技术问题

本发明是为了解决上述新注意到的课题而做出的，其目的在于，提供一种清洁头及清扫方法，该清洁头具有简单且迅速地除去头主体的空气吸引口及其周围的异物的清扫功能，能够使基板品质提高且使制造成本降低。

用于解决技术问题的技术方案

为了解决上述技术问题，技术方案1所述的发明的特征在于，

清洁头搭载有：头主体，其在长度方向上形成有成为长孔的空气吸引口；清扫装置，其对所述头主体的空气吸引口及其周围进行清扫；

所述清扫装置具备：

引导支承部，其安装于所述头主体；

移动部，其被所述引导支承部引导支承，并且相对于所述空气吸引口的长度方向大致平行地移动；

异物除去部，其与所述移动部一起移动，通过接触而除去所述空气吸引口及其周围的异物。

另外，技术方案2所述的发明的特征在于，

在技术方案1所述的清洁头中，

所述异物除去部为与形成有所述空气吸引口的底面大致平行的棒状或条状的长形物，所述长形物与所述空气吸引口及其周围接触而进行清扫。

另外，技术方案3所述的发明的特征在于，

在技术方案1所述的清洁头中，

所述异物除去部为轴支承在与形成有所述空气吸引口的底面大致平行的旋转轴上的辊，所述辊旋转，并且与所述空气吸引口及其周围接触而进行清扫。

另外，技术方案4所述的发明的特征在于，

在技术方案3所述的清洁头中，

所述辊为防静电用的静电辊。

另外，技术方案5所述的发明的特征在于，

在使用技术方案1所记载的所述清扫装置进行清扫的清扫方法中，

在使从所述空气吸引口的吸引停止的状态下进行清扫。

另外，技术方案6所述的发明的特征在于，

在技术方案5所述的清扫方法中，

在从所述清洁头的空气喷出口喷出清洁空气的状态下进行清扫。

另外，技术方案7所述的发明的特征在于，

在使用技术方案1所记载的所述清扫装置进行清扫的清扫方法中，

配置对所述空气吸引口及其周围进行监视的异物传感器，在基于来自所述异物传感器的检测信号判断为存在异物时进行清扫。

另外，技术方案8所述的发明的特征在于，

在使用技术方案1所记载的所述清扫装置进行清扫的清扫方法中，

将搬送台配置为在所述清洁头的正下方具有活门，在清扫时使所述活门处于开启状态，使除去的异物经由所述活门下落到所述搬送台的下方。

有益效果

根据本发明，能够提供一种清洁头及清扫方法，该清洁头具有简单且迅速地除去头主体的空气吸引口及其周围的异物的清扫功能，能够使基板品质提高并且使制造成本降低。

附图说明

图1(a)和图1(b)是用于实施本发明的第一实施方式的清洁头的说明图，其中，图1(a)是侧视图，图1(b)是正视图。

图2(a)和图2(b)是用于实施本发明的第二实施方式的清洁头的说明图，其中，图2(a)是侧视图，图2(b)是正视图。

图3(a)～图3(d)是用于实施本发明的第一实施方式的清洁头的使用例的说明图，其中，图3(a)是清扫前的状态的清洁头的侧视图，图3(b)是清扫前的状态的清洁头的正视图，图3(c)是清扫中的状态的清洁头的侧视图，图3(d)是清扫中的状态的清洁头的正视图。

图4是用于实施本发明的第二实施方式的清洁头的使用例的说明图。

图5(a)和图5(b)是用于实施本发明的第一实施方式的清洁头的其他使用例的说明图，其中，图5(a)是侧视图，图5(b)是正视图。

图6(a)和图6(b)是用于实施本发明的第二实施方式的清洁头的其他使用例的说明图，其中，图6(a)是侧视图，图6(b)是正视图。

附图标记说明

100、200：清洁头

10：头主体

11：空气喷出口

12：空气吸引口

13：供气部

14：排气部

20、30：清扫装置

21：引导支承部

22：移动部

23：异物除去部(长形物)

24：异物除去部(辊)

300：搬送台

301：活门

400：对置清洁头

具体实施方式

以下，参照附图，对用于实施本发明的第一实施方式的清洁头100进行说明。如图1所示，该清洁头100具备头主体10和清扫装置20。

头主体10还具备空气喷射口11、空气吸引口12、供气部13、排气部14。头主体10的形状例示为由六个面形成的长方体。虽然没有图示，但在底面形成有两个平行的直线状的长孔即空气喷射口11及空气吸引口12，该空气喷射口11及该空气吸引口12形成为在头主体10的长度方向(图1(b)的左右方向)上长。从空气喷射口11喷射从供气部13供给的清洁空气。然后，将空气吸引口12所吸引的尘埃从排气部14排出。

清扫装置20还包括：引导支承部21、移动部22、异物除去部23。

如图1(b)所示，引导支承部21是形成在头主体10的正面、例如在头主体10的长度方向(图1(b)的左右方向)上长的轨道。需要说明的是，在图1中，引导支承部21安装在头主体10的正面中段的高度位置，但也可以为了靠近头主体10的底面而安装在正面下段的高度位置。

移动部22利用其一端部沿引导支承部21滑动且移动。另外，在该移动部22的另一端部安装有异物除去部23。异物除去部23与移动部22成为一体而沿着引导支承部21在长度方向(图1(b)的左右方向)上移动。

详细地说，异物除去部23处于与成为长孔的空气喷射口11和空气吸引口12的长度方向大致垂直的方向，并且是在与形成有空气喷射口11和空气吸引口12的头主体10的底面大致平行的方向上长的棒状或条状的长形物。在该长形物中，至少与头主体10的底面抵接的边或面是平行的。需要说明的是，在图1中，在头主体10的底面与异物除去部23之间存在肉眼能够观察到的缝隙，但这是为了便于图示，实际上处于接触的状态。

该异物除去部23由较硬的部件形成，该较硬的部件具有不损伤空气吸引口12的程度的弹性。异物除去部23以适当的力按压头主体10的空气吸引口12及其周围，因而优选为硬质。

异物除去部23利用棒状或条状的长形物的弹性支承的效果，一边与空气吸引口12及其周围线接触或面接触一边移动，并且刮取空气吸引口12及其周围的异物。需要说明的是，由于空气喷射口11几乎吹走所有的异物，所以异物固着的可能性极小，但异物除去部23也能够清扫空气喷射口11，上述空气吸引口12的周围也包括空气喷射口11(以下，在本说明书中同样地进行定义)。

接着，对利用本发明的清洁头100进行的清扫的原理进行说明。在清洁头100的空气吸引口12夹入或在其周围固着有玻璃碎片等异物的情况下，从经验上已知，通过使异物与某种部件接触而使其容易地落下、通过停止吸引来使异物落下。对这些方法组合而进行清扫。

接着，对本实施方式的清洁头100的清扫方法进行说明。假设处于玻璃碎片等异物夹在头主体10的空气吸引口12、或异物由于静电力而贴附在头主体10的空气吸引口12周围的状态。首先，停止从空气喷射口11的喷射和从空气吸引口12的吸引。由此，在夹在空气吸引口12的异物上施加的吸引力消失，容易取出异物。然后，在异物除去部23与空气吸引口12及其周围线接触或面接触的状态下，作业人员使移动部22移动，异物除去部23在长度方向上移动，异物除去部23刮取空气吸引口12及其周围的异物。

对异物除去部23进行调整以使对空气吸引口12及其周围的按压力为适当的力，并且异物除去部23紧密接触而刮取异物。此时，由于停止了吸引，通过接触容易使异物从空气吸引口12及其周围落下。

然后，在异物除去部23移动到左右一方的端部时使其反转，向返回原位置的方向移动。最后，使异物除去部23停在其最初的待机位置。该清扫在不进行除尘的空闲时间等定期进行，或者在发现异物时进行。根据这样的本实施方式的清洁头100，能够容易地对空气吸引口及其周围进行清扫。

接着，参照附图，对用于实施本发明的第二实施方式的清洁头200进行说明。如图2所示，该清洁头200具备头主体10、清扫装置30。

首先，与使用图1进行说明的第一实施方式相比，在第二实施方式中，头主体10与之前说明的第一实施方式的结构相同，但清扫装置30与第一实施方式的结构不同。该清扫装置还包括引导支承部21、移动部22、异物除去部24。在本实施方式中，只有异物除去部24不同。

因此，对头主体10、清扫装置30的引导支承部21和移动部22标注相同的附图标记并且省略重复的说明，仅对不同的清扫装置30的异物除去部24进行说明。需要说明的是，在图2中，在头主体10的底面与异物除去部24之间存在肉眼能够观察到的缝隙，但这是为了便于图示，实际上处于接触的状态。

详细地说，清扫装置30的异物除去部24处于与空气喷射口11或空气吸引口12的长度方向大致垂直的方向，并且是轴支承在旋转轴上的辊，该旋转轴在与形成有空气喷射口11或空气吸引口12的头主体10的底面大致平行的方向上长。该辊例如是外形呈圆柱状的刷子、橡胶、海绵、或在筒体的表面卷绕有布的部件等。通过使用这样的辊，来刮取空气吸引口12及其周围的异物。

而且，优选该辊为防静电用的静电辊。通过使用静电辊，除了除去底面的静电而减弱静电力以外，还可以刮取并清扫由于静电力而粘附的异物。

在利用异物除去部24进行的清扫中，在移动部22移动的同时，辊即异物除去部24相对于吸引口12及其周围旋转并以适当的按压力滑动接触，从而刮取空气吸引口12及其周围的异物。

接着，对本实施方式的清洁头200的清扫方法进行说明。假设处于玻璃碎片等异物夹在头主体10的空气吸引口12、或异物由于静电力而粘附在头主体10的空气吸引口12周围的状态。首先，停止从空气喷射口11的喷射及从空气吸引口12的吸引。然后，在异物除去部24与空气吸引口12及其周围接触的状态下，作业人员使移动部22移动，异物除去部24在长度方向上移动，异物除去部24刮取空气吸引口12及其周围的异物。

对异物除去部24进行调整以使对空气吸引口12及其周围的按压力为适当的力，异物除去部24旋转接触而刮取异物。此时，由于停止了吸引，异物容易从空气吸引口12及其周围落下。

然后，在异物除去部24移动到左右一方的端部时使其反转，向返回原位置的方向移动。最后，使异物除去部24停在其最初的待机位置。该清扫在不进行除尘的空闲时间等定期进行，或者在发现异物时进行。根据这样的本实施方式的清洁头200，能够容易地对空气吸引口及其周围进行清扫。

需要说明的是，在清洁头中，对使用第一实施方式的异物除去部23和第二实施方式的异物除去部24中的任一个进行了说明，但除此以外，对于同一清洁头，也可以根据情况安装长形物即异物除去部23而成为第一实施方式的清洁头100，或者安装辊即异物除去部24成为第二实施方式的清洁头200，从而适当地区别使用。

另外，在第一、第二实施方式的清洁头100、200中，均停止从空气喷射口11的喷射和从空气吸引口12的吸引而进行清扫，但也可以在使从空气吸引口12的吸引停止且从空气喷射口11喷射的状态下进行清扫。在该情况下，可以吹走刮取的异物。另外，也可以在使从空气喷射口11的喷射停止且从空气吸引口12吸引的状态下进行清扫。在该情况下，可以吸引刮取的异物。可以根据情况而适当地进行采用。

接着，对清扫方法的其他实施方式进行说明。该实施方式是对之前使用图1进行说明的第一实施方式的清洁头100的清扫方法进行改良的清扫方法。虽然没有图示，具备对清洁头100的空气吸引口12及其周围进行监视的异物传感器。

例如异物传感器为摄像头，对没有异物的空气吸引口及其周围的图像和所拍摄到的空气吸引口及其周围的图像进行比较，在作业人员通过图像的变化判定为有异物附着时，作业人员开始清扫。也可以进一步具备对移动部22进行驱动控制的控制部，控制部基于异物传感器的检测信号对移动部22进行驱动控制，从而开始清扫。此外，也可以将输出部与控制部连接，并通过声音或显示通知作业人员已判断为需要清扫。而且也可以将该清扫方法适用于之前使用图2进行说明的第二实施方式的清洁头200的第二清扫方法。能够使用诸如此类的清扫方法。

接着，对清扫方法的其他实施方式进行说明。该实施方式是对之前进行说明的使用第一实施方式的清洁头100的清扫方法进一步进行改良的方式。参照图3对该清扫方法进行说明。如图3(a)、图3(b)所示，利用搬送台300在清洁头100的下侧搬送基板。

搬送台300从上游侧(在图3(a)为右侧)依次搬送基板。然后，在通过清洁头100的下方时，清洁头100进行除尘。

在清洁头100的正下方配置有活门301。如图3(a)所示，在通常的基板搬送时，活门301关闭，如图3(b)所示，清扫装置20的移动部22停止。

在清扫时，使从空气喷射口11的喷射及从空气吸引口12的吸引停止，并且如图3(c)所示，使活门301处于开启状态。然后，如图3(d)所示，使通过清扫装置20的移动部22的动作而除去的异物经由活门301下落到搬送台300的下方。由此，进行异物的除去。需要说明的是，在该清扫方法中，也可以与上述使用异物传感器的清扫方法一起使用。

另外，如图4所示，也可以将使用该活门301的清扫方法适用于之前进行说明的利用第二实施方式的清洁头200的清扫方法。另外，该清扫方法也可以与上述使用异物传感器的清扫方法一起使用。

接着，对其他实施方式进行说明。如图5(a)、图5(b)所示，该实施方式为将之前进行说明的第一实施方式的清洁头100配置在上侧，并且将对置清洁头400配置在下侧的实施方式。在该情况下，清洁头100与对置清洁头400之间为狭窄的空间，但能够在该空间内配置清洁头100的异物除去部23，并且对空气吸引口12进行清扫。在该情况下，清洁头100与对置清洁头400同时进行吸引，从而能够通过从上下对刮取的异物进行吸引，从而进行清扫除去。也能够适用于这样的基板两面的除尘用的清洁头。

接着，对其他实施方式进行说明。如图6(a)、图6(b)所示，该实施方式为将之前进行说明的第二实施方式的清洁头200配置在上侧，并且将对置清洁头400配置在下侧的实施方式。在该情况下，清洁头200与对置清洁头400之间为狭窄的空间，但能够在该空间内配置清洁头200的异物除去部24，并且对空气吸引口12进行清扫。在情况下，清洁头200与对置清洁头400一起进行吸引，从而能够通过从上下吸引刮取的异物来进行清扫除去。也能够适用于这样的基板两面的除尘用的清洁头中

以上，参照附图对本发明的清洁头及清扫方法进行了说明。需要说明的是，设想之前进行说明的清洁头为具有一个空气喷射口及空气吸引口的PV型清洁头而进行了说明，但也可以是一个空气喷射口配置在两个空气吸引口之间的VPV型清洁头或一个空气吸引口配置在两个空气喷射口之间的PVP型清洁头。在这样的情况下也能够实施本发明。

另外，如图1(b)或图2(b)所示，之前进行说明的清洁头在正面侧配置清扫装置20的引导支承部21，但可以不在正面侧而在背面侧(未图示)配置引导支承部21。在这样的情况下，也能够实施本发明。

根据以上说明的这些清洁头及清扫方法，具有简单且迅速地除去头主体的空气吸引口及其周围的异物的清扫功能，作为其结果，能够使基板品质提高并且使制造成本降低。

工业实用性

本发明的清洁头及清扫方法能够适用于在电气、电子产品中使用的各种基板的制造。

Claims (8)

1.一种清洁头，其特征在于，搭载有：头主体，其在长度方向上形成有成为长孔的空气吸引口；清扫装置，其对所述头主体的空气吸引口及其周围进行清扫；

所述清扫装置具备：

引导支承部，其安装于所述头主体；

移动部，其被所述引导支承部引导支承，并且相对于所述空气吸引口的长度方向大致平行地移动；

异物除去部，其与所述移动部一起移动，通过接触而除去所述空气吸引口及其周围的异物。

2.如权利要求1所述的清洁头，其特征在于，

所述异物除去部为与形成有所述空气吸引口的底面大致平行的棒状或条状的长形物，所述长形物与所述空气吸引口及其周围接触而进行清扫。

3.如权利要求1所述的清洁头，其特征在于，

所述异物除去部为轴支承在与形成有所述空气吸引口的底面大致平行的旋转轴上的辊，所述辊旋转，并且与所述空气吸引口及其周围接触而进行清扫。

4.如权利要求3所述的清洁头，其特征在于，

所述辊为防静电用的静电辊。

5.一种清扫方法，其特征在于，

使用权利要求1所记载的所述清扫装置进行清扫，

在使从所述空气吸引口的吸引停止的状态下进行清扫。

6.如权利要求5所述的清扫方法，其特征在于，

在从所述清洁头的空气喷出口喷出清洁空气的状态下进行清扫。

7.一种清扫方法，其特征在于，

使用权利要求1所记载的所述清扫装置进行清扫，

配置对所述空气吸引口及其周围进行监视的异物传感器，在基于来自所述异物传感器的检测信号判断为存在异物时进行清扫。

8.一种清扫方法，其特征在于，

使用权利要求1所记载的所述清扫装置进行清扫，

将搬送台配置为在所述清洁头的正下方具有活门，在清扫时使所述活门处于开启状态，使除去的异物经由所述活门下落到所述搬送台的下方。