JP3966266B2 - 基板のラビング方法及びラビング装置 - Google Patents
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Description
20 基板
21 ラビングローラ
22 クロス材
22a 毛足部
23,24,25,26,27,28 吸引部材
23a,24a,25a,26a,27a,28a 吸引口
29 吹付部材
29a 吹付口
29b,29c イオン化電極
50 吸引ノズル
50a 吸引口
51 非導電材
60 櫛部
L 毛足部の長さ
Claims (3)
- 液晶電気光学素子に使用する基板を、前記基板に対して回転するラビングローラによって擦るようにした基板のラビング方法において、
前記基板と接触している前記ラビングローラの周面部を包囲する吸引部材であって、前記基板と前記ラビングローラとの接触部に向かって開口した第1吸引口と、前記周面部のほぼ全体から吸引を行うように前記周面部に対向する面に設けられた第2吸引口と、を少なくとも有する吸引部材を用いて、前記基板と前記ラビングローラの少なくとも一方から発生する粉塵を前記第1吸引口と前記第2吸引口とを介して吸引しながらラビング処理を行なう工程を有することを特徴とする基板のラビング方法。 - 液晶電気光学素子に使用する基板を、前記基板に対して回転するラビングローラによって擦るようにした基板のラビング方法を用いたラビング工程を含み、
前記ラビング工程では、前記基板と接触している前記ラビングローラの周面部を包囲する吸引部材であって、前記基板と前記ラビングローラとの接触部に向かって開口した第1吸引口と、前記周面部のほぼ全体から吸引を行うように前記周面部に対向する面に設けられた第2吸引口とを少なくとを有する吸引部材を用いて、前記基板と前記ラビングローラの少なくとも一方から発生する粉塵を前記第1吸引口と前記第2吸引口とを介して吸引しながらラビング処理を行なう工程を有することを特徴とする液晶電気光学素子の製造方法。 - 液晶電気光学素子に使用する基板に対して回転し、前記基板を擦るためのラビングローラと、
前記基板と前記ラビングローラとを相対的に動作させて前記基板を前記ラビングローラによって擦るように駆動する駆動手段と、
前記基板と接触している前記ラビングローラの周面部を包囲する吸引部材であって、前記基板と前記ラビングローラとの接触部に向かって開口した第1吸引口と、前記周面部のほぼ全体から吸引を行うように前記周面部に対向する面に設けられた第2吸引口とを少なくとも有する吸引部材とを備え、
該吸引部材によりラビング処理を行なう際に前記基板と前記ラビングローラの少なくとも一方から発生する粉塵が前記第1吸引口と前記第2吸引口とを介して吸引されることを特徴とする基板のラビング装置。
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