直线移动载物台装置
技术领域
本发明涉及直线移动载物台装置,更详细地,所涉及的直线移动载物台装置,其采用互不相同的驱动方式传送检查对象,可以复合实现输送带传送设备传送方式以及真空吸附传送方式,在依靠输送带设备进行传送作业过程中,可以实现针对特定检查对象进行旁路检查的直线传送设计,还可以提高针对检查对象的检查效率。
背景技术
目前,随着信息通信技术的飞速发展以及市场逐渐膨胀,作为显示装置的平板显示器(Flat Panel Display)正受到各方瞩目。
上述平板显示器中包括有:液晶显示器(Liquid Crystal Display)、等离子显示器(Plasma Display Panel)、有机发光二极管(Organic Light Emitting Diodes)等等。
其中,有机发光二极管,例如OLED,其主要应用于手机、车载音响、数码相机等手持装置的显示及照明设备中。最近,可以应用于TV等大型装置的显示器、柔性显示器中的下一代显示装置正受到广泛关注。
尤其是,因为OLED具备:较快的响应速度、较之目前LCD更小的电力消耗、轻质性、无须专门的背光源(back light)部件等特点,从而可以达到超薄型的制备工艺,并且由于兼备高辉度等非常好的优点,使得其作为显示装置正受到业内大量关注。
这样的显示装置在生产工艺中可能会在基板上形成刮擦线条或各类斑点,因而需要使用显示器基板检查装置对刮擦线条或各种斑点进行检查,以期降低次品率。
例如,直线检查装置(In-Line FPD Automatic Optical Inspection),其是在驱动TFT LCD基板、PDP或者彩色滤光片等显示器基板的同时,使用光学透镜与CCD照相机采集检查对象的图像,然后应用特定图像处理算法对使用者意欲找出的各种缺陷进行检测的装置。
为了完成用作检查***的角色,上述检查装置需要准确指出所检测出的缺陷的位置及尺寸,并执行将所检测出的缺陷进行复原修补(repair)的工序。
另一方面,用于传送基板或玻璃等检查对象的装置通常使用气动滑槽(airslide)方式来进行传送,从依靠装载臂工作的移动装置的加载/卸载位置处,将检查对象加载至传送载物台上时,依靠照相机安装框架上设置的多台专业照相机对检查对象进行扫描,从而获得图像缺陷。
此时,传送载物台通过气动浮载方式喷射气流使检查对象悬浮起来,传送载物台的中央部位处沿长度方向设有夹爪(gripper),该夹爪由传送引导部、真空垫及驱动模块所实现;该传送引导部设置于传送载物台的中央部位处;该真空垫设置为可沿着传送引导部移动,与真空产生部连接并对悬浮的检查对象进行真空吸附;该驱动模块用于使真空垫移动。
另一方面,在输送带设备处单向连续传送检查对象的同时,在对检查对象的表面进行检查的过程中,为了以真空吸附方式针对特定的检查对象进行旁路检查,必须将输送带设备与真空吸附设备进行复合设计。
但是,由于依靠输送带设备所实现的检查对象移动及驱动方式与依靠真空吸附方式实现的检查对象移动及驱动方式互不相同,从而在复合联接两类设备来提高检查对象的表面检查效率方面,存在局限。
(专利文献1)KR10-1186632 B1。
发明内容
(一)要解决的技术问题
因此,本发明为了解决前述技术问题,其目的在于提供一种直线移动载物台装置,其采用互不相同的驱动方式传送检查对象,可以复合实现输送带传送设备传送方式以及真空吸附传送方式,在依靠输送带设备进行传送作业过程中,可以实现针对特定检查对象进行旁路检查的直线传送设计,还可以提高针对异常对象的传送效率。
本发明解决的技术问题并仅限于上述内容涉及的技术问题,而没有提及的其他技术问题,这对于具备本发明所属技术领域公知常识的技术人员而言,根据后述的记载是很容易明确理解的。
(二)技术问题的解决方案
作为用于实现上述技术目的的具体技术方案,本发明优选实施例中,提供一种直线移动载物台装置,其特征在于,在将传送对象沿单向传送的直线移动载物台装置中,包括:第一传送部及第二传送部;所述第一传送部用于使多个传送滚筒上放置的传送对象沿单向传送,所述第一传送部包括:传送滚筒、第一驱动部、第二驱动部及支撑框架部;所述传送滚筒设置为:在沿着移动对象的传送方向以一定间隔整齐排列的多个滚筒轴上,多个传送滚筒以一定间隔地一一对应设置;所述第一驱动部用于为所述多个滚筒轴提供单向旋转的动力;所述第二驱动部用于提供使滚筒框架部上下移动的动力,该滚筒框架部用于对所述多个滚筒轴进行可旋转地支撑,以使得所述多个传送滚筒可以进行上下位置移动;所述支撑框架部用于以所述第二驱动部为媒介来支撑所述滚筒框架部;所述第二传送部用于在所述第一传送部下降时隔开传送滚筒,并使传送板上放置的传送对象往复传送;所述第二传送部包括:传送板、板框架部、底板以及第三驱动部;所述传送板有多个,设置为沿传送对象的传送方向排列且与相互邻接的传送滚筒之间不产生干扰,用于使传送对象放置其上;所述板框架部用于对所述与相互邻接的传送滚筒不产生干扰的多个传送板提供支撑;所述底板上部表面设置有多个轨道,该轨道设置为与所述板框架部下端设置的多个引导部可滑动地组装,且所述底板上部表面还固定设置所述支撑框架部的下部端面;所述第三驱动部用于提供所述板框架部沿着所述轨道往复滑动的动力。
优选地,所述第一驱动部包含:驱动轴及第一驱动电机;所述驱动轴设有一定长度,其上设置有多个驱动齿轮,该驱动齿轮与所述多个滚筒轴各个端部上设置的被动齿轮通过蜗轮齿轮啮合连接;所述第一驱动电机用于使驱动锥齿轮旋转驱动,该驱动锥齿轮与被动锥齿轮通过齿轮啮合连接,该被动锥齿轮设置于驱动轴长度方向中间部位处,该驱动轴呈直角连接配置于所述滚筒轴一端部上。
优选地,所述滚筒框架部包含:轴框架及固定框架;所述轴框架设有多个,设置为沿垂直于所述多个滚筒轴的传送方向,以一定长度延长形成,用于支撑所述滚筒轴进行旋转操作;所述固定框架垂直形成于所述多个轴框架的前、后端处,用于对各个轴框架进行固定。
优选地,所述第二驱动部包括:连接于滚筒框架部上端的多个竖直螺旋轴以及多个第二驱动电机;所述第二驱动电机用于使所述多个竖直螺旋轴同时沿正向或逆向旋转,从而使滚筒框架部升降。
优选地,所述支撑框架部包括:水平台及竖直台;所述水平台用于吊装固定所述第二驱动部,该水平台沿传送方向以一定长度延长形成为左右一对;所述竖直台沿所述水平台两端向下弯折形成为一对,其下部端面固定设置于所述底板的上部表面。
优选地,为了使所述传送对象以一定间隔悬浮其上,所述传送板采用朝传送对象侧上方排出喷射气流的方式来形成板体组装结构。
更为优选地,所述传送板包括:板体、排出阀以及衬垫;所述板体上贯通形成有与喷射气流供给部相联通的连接孔;所述排出阀,其上形成有排出孔,该排出孔与所述连接孔联通,该排出孔用于从封闭的喷射气流供给用内部腔体处排出喷射气流;所述衬垫用于将所述排出阀固定于板体上,且内凹形成有用于对经所述排出孔排出的喷射气流进行引导的弯曲部。优选地,所述板框架部包括:竖直板框架以及水平板框架;所述竖直板框架设有多个,其上端与所述传送板下部表面相连接,以对不与相互邻接的多列传送滚筒发生干扰的多个传送板进行支撑,并且竖直板框架根据相互邻接的传送滚筒的间隔,相互整齐排列;所述水平板框架分别与所述多个竖直板框架的各个下部端面连接,设置有沿所述轨道进行滑动的引导部。
更为优选地,所述板框架部包含:上部水平板以及第一气缸;所述上部水平板设置为:在上端没有设置所述传送板的左右两侧竖直板框架上端部处,与所述传送板并排配置有左右一对上部水平板;所述第一气缸用于使第一接触滚筒前后往复移动,该第一接触滚筒设置为与所述传送对象的两侧外缘相对应。
更为优选地,所述板框架部中,在上端设置有所述传送板的多个竖直板框架中某一个的前、后端处设置有第二气缸,该第二气缸用于使第二接触滚筒上下往复移动,该第二接触滚筒设置为与所述传送对象的前、后端边缘相对应。
更为优选地,所述板框架部包含:上部水平板以及真空吸附块;所述上部水平板设置为:在上端没有设置所述传送板的左右两侧竖直板框架上端部处,与所述传送板并排配置有左右一对上部水平板;所述真空吸附块设有多个,设置于所述上部水平板上,所述真空吸附块在与所述传送对象的两侧边缘下部表面相对应的上部表面处,形成有与真空吸入部相连接的真空吸附孔。
优选地,所述第三驱动部包括:被动磁铁部以及电磁铁;所述被动磁铁部固定设置于所述板框架部的水平板框架上,用于提供使与所述传送板相连接的板框架部沿着轨道往复运动的动力,该轨道沿传送方向整齐排列设置于底板上;所述电磁铁形成有用于所述被动磁铁部***布置的***槽,在电源输入时,所述电磁铁产生使所述被动磁铁部发生相对移动的磁力。
(三)有益效果
根据上述本发明技术方案,具备如下有益效果:传送对象在多个传送滚筒的旋转驱动下进行单向传送,同时在第一传送部的上下运动驱动作用下,可以使第二传送部的传送板上放置的传送对象以接触式的方式进行旁路传送,或通过从传送板排出喷射气流来使传送对象悬浮进而实现非接触式旁路传输,由此该技术方案可以复合实现依靠传送滚筒的输送带传送设备传送方式以及接触式/非接触式传送方式,进而可以提高直线传送的传送效率。
附图说明
图1为本发明优选实施例中直线移动载物台装置的整体斜视图。
图2为本发明优选实施例中直线移动载物台装置的不同角度的整体斜视图。
图3为本发明优选实施例中直线移动载物台装置的侧视示意图。
图4为本发明优选实施例中直线移动载物台装置的俯视示意图。
图5为本发明优选实施例中直线移动载物台装置采用的第一传送部的斜视图。
图6为本发明优选实施例中直线移动载物台装置的分解斜视图。
图7为本发明优选实施例中直线移动载物台装置采用的第一传送部的部分详示图。
图8为从底部观看本发明优选实施例中直线移动载物台装置采用的第一传送部的分解斜视图。
图9为从上部观看本发明优选实施例中直线移动载物台装置采用的第二传送部的斜视图。
图10为从下部观看本发明优选实施例中直线移动载物台装置采用的第二传送部的斜视图。
图11a及图11b为本发明优选实施例中直线移动载物台装置采用的传送板的斜视图。
图12为本发明优选实施例中直线移动载物台装置采用的传送板的运转状态示意图。
图13a至图13c为本发明优选实施例中直线移动载物台装置采用的第一气缸部件、第二气缸部件与真空吸附块的斜视图。
【附图标记】
100a:第一传送部; 100b:第二传送部;
110:传送滚筒; 112:滚筒轴;
120:第一驱动部; 122:驱动轴;
123:驱动齿轮; 124:被动齿轮;
130:滚筒框架部; 132:轴框架;
134:固定框架; 140:第二驱动部;
142:水平连接轴; 143:竖直螺旋轴
150:支撑框架部; 152:水平台;
154:竖直台; 160:传送板;
161:板体; 162:排出阀;
163:衬垫; 170:板框架部;
172:竖直板框架; 174:水平板框架;
175:引导部; 176:第一气缸
177:第二气缸; 178:真空吸附块;
180:底板; 190:第三驱动部。
具体实施方式
下面,参照附图向具备本发明所属技术领域内公知常识的技术人员详细说明易于实施的优选实施例。但,对于本发明优选实施例涉及到的构造原理,当详细说明中存在的关联公知功能或结构相关的具体说明被判断为可能会对本发明的保护重点造成不必要的混淆的情况下,省略其详细说明。
并且,对于所有附图中具备类似功能或作用的部件,使用相同的附图标记。
此外,说明书全文中,说明某一部件与其他部件相“连接”时,并非仅表示其“直接连接”的含义,还包括其中间设有其他元器件从而“间接连接”的情况。并且,在说明“包括”某一结构部件的情况下,并非表示将另外的并无特定相反器件的结构部件排除在外的意思,而是表示也可以包括另外的结构部件的意思。
如图1-图12所示,本发明优选实施例所涉及的直线移动载物台装置100包括:第一传送部100a及第二传送部100b;所述第一传送部100a用于使放置于多个传送滚筒上的传送对象单向传送;所述第二传送部100b用于在所述第一传送部100a下降时隔开传送滚筒,并使传送板上放置的传送对象往复传送。
所述第一传送部100a包括:第一驱动部120、第二驱动部140以及支撑框架部150;所述第一驱动部120用于为放置了传送对象的传送滚筒110提供旋转的动力;所述第二驱动部140用于提供使滚筒框架部130上下移动的动力;所述支撑框架部150用于支撑所述滚筒框架部130。
所述传送滚筒110是沿着待传送的基板等传送对象的传送方向,与以一定间隔整齐排列的多个滚筒轴112一一对应间隔设置布放的滚筒部件。
在所述滚筒轴112单向旋转时,为了与其一同旋转,所述传送滚筒110可以由组装而成的圆形滚筒部件或圆形轮部件来实现。
由此,以一定间隔设置的多个滚筒轴112上,多个传送滚筒110沿着移动对象的传送方向以一定间隔排列,使得所述多个滚筒轴上设置的多个传送滚筒沿传送方向整齐排列成多列,多列设置的多个传送滚筒110之间设置有后述传送板,该传送板与传送滚筒之间不产生干扰。
所述第一驱动部120包括:驱动轴122及第一驱动电机121。所述驱动轴122,为了提供使所述多个传送滚筒与多个滚筒轴一起同时沿一个方向旋转的动力,该驱动轴122设有一定长度,其上设置有多个被动齿轮124以及多个驱动齿轮123,该被动齿轮124为设置于所述多个滚筒轴的各个端部处的蜗轮部件;该驱动齿轮123为与被动齿轮124通过齿轮啮合连接的蜗轮部件。所述第一驱动电机121用于使驱动锥齿轮126旋转驱动,该驱动锥齿轮126与被动锥齿轮125通过齿轮啮合连接,该被动锥齿轮125设置于驱动轴122长度方向中间部位处,该驱动轴122呈直角连接配置于所述滚筒轴一端部上。
由此,所述第一驱动电机121旋转驱动时,驱动轴的驱动齿轮沿单向旋转驱动,设有与该驱动齿轮啮合的被动齿轮的滚筒轴带动传送滚筒一起单向旋转,从而所述传动滚筒上装载的基板等传送对象实现单向传送。
所述滚筒框架部130包括:轴框架132及固定框架134;所述轴框架132设有多个,设置为沿垂直于所述多个滚筒轴112的传送方向,以一定长度延长形成,用于支撑所述滚筒轴进行旋转操作;所述固定框架134垂直形成于所述多个轴框架的前、后端处,用于对各个轴框架进行固定。
所述第二驱动部140包括:连接于滚筒框架部上端的多个竖直螺旋轴143以及多个第二驱动电机141;所述竖直螺旋轴143用于提供可使所述滚筒框架部130与传送滚筒一起上下移动的动力;所述多个第二驱动电机141用于提供使所述多个竖直螺旋轴143同时沿正向或逆向旋转的动力;相互邻接的第二驱动电机之间各自设置有水平连接轴142用于传递动力。由此,随着所述第二驱动电机141的正向旋转驱动,竖直螺旋轴沿正向旋转,同时,滚筒框架部130与所述传送滚筒110一起从下降待机位置处开始上升,所述传送滚筒达到比传送板相对更高的位置。与之相反,当所述第二驱动电机141逆向旋转驱动时,所述滚筒框架部130与传送滚筒一起向下降待机位置复位。
所述支撑框架部150夹于所述滚筒框架部130与后述底板180之间,以所述第二驱动部140作为媒介,对所述滚筒框架部在所述底板上部表面上以一定间隔布置的状态提供支撑。
该支撑框架部150包括:水平台152及竖直台154;所述水平台152用于吊装固定所述第二驱动部140的第二驱动电机141,该水平台152沿传送方向以一定长度延长形成为左右一对;所述竖直台154沿所述水平台两端向下弯折形成为一对,其下部端面固定设置于所述底板180的上部表面。
由此,用于对设有所述多个传送滚筒的多个滚筒轴提供支撑的滚筒框架部130,其依靠所述支撑框架部150以一定间隔设置于底板的正面上方位置处,在该状态下,依靠所述第二驱动部的第二驱动电机141的动力源供给,滚筒框架部130可实现上下移动。
所述第二传送部100b包含:多个传送板160、板框架部170、底板180以及第三驱动部190;所述传送板160使基板等传送对象通过接触的方式放置其上,或排出来自外部供给的喷射气流,使传送对象以一定高度浮于其上;所述板框架部170用于支撑所述传送板160;所述底板180上设置了支撑框架部;所述第三驱动部190用于使所述板框架部170水平移动。所述多个传送板160沿着所述传送对象的传送方向排列,同时在相互邻接的传送滚筒之间,为了不与其发生干扰,所述多个传送板160形成为大致四方形形状的板结构体。
该传送板160形成为将待传送的传送对象通过接触的方式置于其上部表面的板体结构,或者形成为与未图示的喷射气流供给部连接,使所述传送对象从下部向喷射气流的上方浮起的板体结构;根据所述传送板的形态,在使传送对象接触于上部表面,或使传送对象以一定高度浮于上部表面的非接触状态下,依靠所述第三驱动部190的动力源供给使该传送板160水平移动。
此时,所述传送板上通过接触的方式放置传送对象的状态下,向检查区间传送的过程中,尽管不会发生传送对象相关的弯曲变形,并且可以提高检查精度,但仍会因传送板接触传送对象而引起不良情况产生。
并且,所述传送板上通过非接触的方式放置传送对象的状态下,向检查区间传送的过程中,尽管由于传送板与传送对象不发生接触,可以从根本上防止表面结合,但仍会引起悬浮状态下的弯曲变形,并导致检查精度下降。
此处,为了以非接触方式传送所述传送对象,排出喷射气流的传送板160包括:板体161、排出阀162以及衬垫163;所述板体161为大致四边板形,其上贯通形成有与喷射气流供给部相联通的连接孔161a;所述排出阀162,其上形成有排出孔,该排出孔与所述连接孔联通,用于从封闭的喷射气流供给用内部腔体处排出喷射气流;所述衬垫163用于将所述排出阀固定于板体上,且内凹形成有用于对经所述排出孔排出的喷射气流进行引导的弯曲部163a。
据此,喷射气流通过所述板体上由衬垫固定的排出阀162排出孔高速排出,喷射气流沿着所述弯曲部高速扩散的同时,依靠所排出的喷射气流,使得所述传送对象与传送板上通过非接触的方式以一定高度悬浮,从而形成一定尺寸的间隔,同时,在所述传送对象与板体之间产生的真空压力的作用下,在喷射气流沿着弯曲部高速排出的过程中可以稳定维持所述间隔的存在。
所述板框架部170包括:竖直板框架172以及水平板框架174;所述竖直板框架172设有多个,其上端与所述传送板下部表面相连接,以对不与相互邻接的多列传送滚筒110发生干扰的多个传送板160进行支撑,并且竖直板框架172根据相互邻接的传送滚筒的间隔,相互整齐排列;所述水平板框架174分别与所述多个竖直板框架的各个下部端面连接。
所述支撑框架部150的竖直台154下端固定设置于所述底板180上部表面,所述底板180为一大致正六面体形状的箱体结构,其上部表面还设置有多个轨道185,该轨道185设置为与所述板框架部170的水平板框架174上设置的多个引导部175可滑动地组装。
上述底板180可以放置于框架支撑体上部,该框架支撑体由多个竖直框架182与多个水平框架181构成,设置于地板表面上。
所述第三驱动部190包括:被动磁铁部194以及电磁铁192;所述被动磁铁部194固定设置于所述板框架部的水平板框架174上,用于提供使与所述传送板160相连接的板框架部170沿着轨道185往复运动的动力,该轨道185沿传送方向整齐排列设置于底板上;所述电磁铁192形成有用于所述被动磁铁部***布置的***槽,在电源输入时,所述电磁铁192产生使所述被动磁铁部194发生相对移动的磁力。
此处,为了与所述板框架部的下部突出设置的被动磁铁部相结合,所述电磁铁设置于所述底板的上部表面上凹陷形成的配置槽184中;在所述底板180的上部表面上,为了对由所述第三驱动部驱动的沿轨道往复移动的板框架部形成限制,在所述水平板框架174的前、后端设置了用于产生干扰的止动件187。
所述多个竖直板框架中,除了在左右两侧处于外侧配置的竖直板框架,对于位于内侧配置的多个竖直板框架,优选为采用切割方式形成,用以防止与所述第二驱动部的水平轴之间产生干扰,同时也能充分保证所述板框架部的前后往复运动距离。
另一方面,所述板框架部170包括:上部水平板179以及第一气缸176;所述上部水平板179设置为:在上端没有设置所述传送板160且在左右两侧处于外侧的竖直板框架172的上端部,与所述传送板160并排配置有左右一对上部水平板179;所述第一气缸176用于使第一接触滚筒176a前后往复移动,该第一接触滚筒176a设置为与所述传送板160的上部表面以接触式或非接触式悬浮装载的传送对象的两侧外缘相对应。
并且,所述板框架部170中,在上端设置有所述传送板160的多个竖直板框架172中某一个的前、后端处设置有第二气缸,该第二气缸用于使第二接触滚筒177a上下往复移动,该第二接触滚筒177a设置为与所述传送板160上部表面以接触式或非接触式悬浮装载的传送对象的前、后端边缘相对应邻接。
由此,所述上部水平板179上部表面固定设置的第一气缸在前进动作时,使得第一接触滚筒176a与并列于所述左右一对上部水平板的传动对象两侧边缘相接触,同时,所述竖直板框架上固定的第二气缸177在上升动作时,所述传动对象前后边缘处与第二接触滚筒接触,从而在通过所述第三驱动部来传送板框架部时,可以对与所述传送板上部表面以接触式或非接触式悬浮装载的传送对象的行动进行约束。
并且,所述上部水平板179上还设有多个真空吸附块178,所述真空吸附块178在与所述传送对象的两侧边缘下部表面相对应的上部表面处,形成有与真空吸入部相连接的真空吸附孔178a;在通过所述第一接触滚筒176a、第二接触滚筒177a对所述传送板运动进行一次约束后,传送对象两侧边缘下部表面再经过所述真空吸附块的真空吸附孔的二次吸附固定,从而可以完全避免传送对象在传送过程中以及在传送之后的表面检查过程中产生活动。
以上内容介绍的本发明并不受前述实施例及附图所限定,在不脱离本发明技术思想范围所做出的各种替换、变形及变更均应属于本发明的保护范围,这对于具备本发明所属技术领域公知常识的技术人员而言是显而易见的。