CN105555416B - 槽模涂布方法及设备 - Google Patents

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Abstract

一种用于在基底(1)上制造带图案的涂层(3)的槽模涂布设备，包括基底载体(6)、涂布装置、传感器装置(70)和控制器(80)。基底载体(6)被布置在用于设置所述基底(1)的支架上。所述涂布装置包括能够通过电动机(52，56)相对于彼此相互移动的头侧单元和支撑侧单元(50，55；52)。所述头侧单元包括平移器部件(52)和槽模涂布头(2)。所述支撑侧单元(55)包括所述电动机的定子部件(56)。控制器(80)控制所述电动机(52)以将槽模涂布头定位在期望的距离(Ds)处。所述支撑侧单元(55)具有至少等于所述头侧单元(50)的质量的质量，并且所述支撑侧单元(55)被柔性地联接到所述支架(60)。

Description

槽模涂布方法及设备
技术领域
本公开涉及一种用于在基底上制造带图案的涂层的槽模涂布方法及设备。
背景技术
有机涂层作为液体溶液通常被涂覆于基底，例如用于制造有机发光二极管（OLED）或有机太阳能电池（OPV）装置。对于许多应用，例如光敏层和/或发光层的制造，可能希望在基底上提供一个或多个均匀涂层，即具有均匀的层厚度。用于制造均匀涂层的一种技术可被称为“槽模涂布（slot-die coating）”。该技术通常包括提供布置在基底表面上方的槽模涂布头。该槽模涂布头包括形成狭缝的出流（outflow）孔口，该狭缝在基底表面上方沿狭缝方向布置。例如由涂布流体供应部供应的涂布流体通过出流孔口流到基底表面上。出流孔口和基底表面之间的相对移动沿涂布方向受控。涂布方向通常横向于狭缝方向，即具有垂直于狭缝方向的垂直分量。以此方式，可沿狭缝的宽度在基底表面上制造均匀的层。
除具有均匀涂层之外，还可能期望在基底表面上提供涂布图案，例如，其中带图案的涂布包括在基底表面上由未涂布区域分开的涂布区域。例如，对于光敏层和/或发光层的制造，可能希望在基底上提供分开的敏感区域（active areas），例如用于建造光电池阵列。已知许多不同的用于提供带图案的涂层的方法，例如，诸如喷墨印刷、旋转丝网印刷、凹版印刷、平版印刷、柔版印刷的印刷或印迹技术。遗憾的是，在实践中，这些工艺不总是提供所期望的涂层均匀性和/或大规模生产的适合性（例如在卷对卷（roll-to-roll）工艺中）。因此，使用可与槽模涂布工序结合的构图技术可能是有利的。
用于通过槽模涂布制造带图案的涂层的第一选择可被称为“现场构图（in-situpatterning）”或“主动构图（active patterning）”，其中槽模涂布头被主动地用于在基底的特定区域上选择性地涂覆涂层。在一个示例中，从槽模涂布头到基底表面上的涂布流体被控制为间歇传送，例如通过开关槽模涂布头和涂布流体供应部之间的阀和/或选择性地将槽模涂布头从基底移开。以此方式，涂布区域可被提供具有横向于涂布方向的界线。遗憾的是，发现供应部的间歇开关和/或移开以及涂布头的再涂覆可能带来边缘效应，其中例如由于涂布材料在涂布头上的累积，涂布不再均匀。例如，US7041336和US5536313描述了边缘效应带来的问题，并且提出对喷嘴进行适应性改变以在流动被中断时更好地控制流出喷嘴的流速。不利的是，这可能导致复杂的喷嘴设计。
考虑可既具有均匀的首部涂布边缘又具有均匀的尾部涂布边缘的替代的方法是动态控制涂布头和基底之间的距离。其中，涂布头向靠近基底的第一位置移动以在待形成图案的首部边缘处开始涂布工序。为在图案的尾部边缘处中断涂布工序，涂布头向进一步远离基底的第二位置移动。根据基底将被涂布的液体的特性，第一位置通常选择在5-250微米范围内。在首部边缘和尾部边缘之间的涂布工序中，涂布头应保持靠近（例如以大约1微米的公差）第一位置。另外，涂布头的定位应以较高速度执行。例如，涂布头应在25ms内移过4mm的距离。实践中发现，这些要求的组合难于实现。涂布头的快速移动趋于在涂布装置中引起振动，这导致涂布头和基底之间的距离的较大的暂时变化。这导致涂覆的涂层的非均匀性。
发明内容
本发明的一个目的是提供一种改进的槽模涂布设备。
本发明的另一目的是提供一种改进的槽模涂布方法。
根据本发明的第一方面，提供一种用于在基底上制造带图案的涂层的槽模涂布设备，该设备包括：布置在支架上的基底载体，该基底载体被布置为用于提供包括基底表面的所述基底；涂布装置，该涂布装置包括能够通过至少一个电动机相对于彼此相互移动的至少一个头侧单元和至少一个支撑侧单元，所述头侧单元包括所述至少一个电动机的平移器部件和槽模涂布头，所述槽模涂布头包括出流孔口，涂布流体从所述出流孔口流出，其中所述出流孔口形成狭缝，所述狭缝在使用中沿狭缝方向布置在所述基底表面的上方，所述至少一个支撑侧单元包括所述至少一个电动机的定子部件；传感器装置，该传感器装置用于沿着横向于所述狭缝方向的平移方向测量所述出流孔口和所述基底载体的表面或基底表面之间的距离，并用于提供表示所述距离的测量值的感测信号；控制器，该控制器用于根据表示所述距离的期望值的输入信号控制所述至少一个电动机，以将所述槽模涂布头定位在具有所述期望值的距离处，其中所述至少一个支撑侧单元具有至少等于所述至少一个头侧单元的质量的质量，并且所述至少一个支撑侧单元被柔性地联接到所述支架。
根据本发明的第二方面，提供一种用于在基底上制造带图案的涂层的方法，该方法包括：提供包括基底表面的基底；提供涂布装置，所述涂布装置包括能够通过至少一个电动机相对于彼此相互移动的至少一个头侧单元和至少一个支撑侧单元，所述头侧单元包括所述至少一个电动机的平移器部件和槽模涂布头，所述槽模涂布头包括出流孔口，使用中涂布流体从所述出流孔口流出，其中所述出流孔口形成狭缝，所述狭缝在使用中沿狭缝方向布置在所述基底表面的上方，所述至少一个支撑侧单元包括所述至少一个电动机的定子部件；提供传感器装置，所述传感器装置用于沿着横向于所述狭缝方向的平移方向测量所述出流孔口和所述基底载体的表面或所述基底表面之间的距离，并用于提供表示所述距离的测量值的感测信号；提供控制器，所述控制器布置为用于根据表示所述距离的期望值的输入信号控制所述至少一个电动机，以将所述槽模涂布头定位在具有所述期望值的距离处；其中所述至少一个支撑侧单元具有至少等于所述至少一个头侧单元的质量的质量，并且所述至少一个支撑侧单元被柔性地联接到支架。
在根据本发明的槽模涂布方法和设备中，至少一个支撑侧单元具有至少等于至少一个头侧单元的质量的质量，并且所述至少一个支撑侧单元被柔性地联接到支架。
如果所述设备具有多于一个的支撑侧单元和/或多于一个的头侧单元，则所述支撑侧单元的总质量至少等于所述支撑侧单元的总质量。
以此方式，使得能够在涂布头的靠近基底的有效位置和远离基底的无效位置之间迅速移动涂布头，同时在包括基底载体的环境中大幅减轻振动。于是，涂布头和基底载体之间的距离也可被精确而迅速地控制。
附图说明
参照附图更详细地描述这些以及其它方面，附图中：
图1示出根据本发明的第一方面的槽模涂布设备的第一实施例；
图2示出根据本发明的第一方面的槽模涂布设备的第二实施例；
图3A-3D分别将根据本发明的第一方面的槽模涂布设备的第三实施例以俯视图、正视图、分解图和透视图示出；
图4示出用于根据本发明的第一方面的槽模涂布设备的各个实施例中的更多细节部分；
图5更详细地示出用于根据本发明的第一方面的槽模涂布设备的第三实施例中的控制***；
图6更详细地示出图5的控制***的一部分。
具体实施方式
除非另作说明，各附图中相同的附图标记表示相同的部件。
除非另作限定，在此使用的所有术语（包括技术和科学术语）具有与本发明所属领域的普通技术人员在阅读说明书和附图的上下文时所通常理解的含义相同的含义。将进一步理解，诸如在常用辞典中定义的那些词语的术语应被解释为具有与其在相关领域的上下文中的含义一致的含义，并且将不按照理想化或者过于正规的观念来解释，除非在此明确这样定义。在一些示例中，已知设备和方法的详细说明可能被省去，以免使本***和方法的说明不清楚。用于描述特定实施例的术语不旨在限定本发明。如在此所使用的，单数形式“一”、“一个”和“该”意欲也包括复数形式，除非上下文明确另外说明。术语“和/或”包括相关联的列举项目中的一个或多个的任何和所有组合。还将理解，术语“包括”和/或“包含”指出所述特征的存在，但不排除一个或多个其它特征的存在或附加。在此提到的所有出版物、专利申请、专利以及其它参考文献均通过引用整体并入。在有冲突的情况下，包括定义的本说明书将限制。
如在此所使用的，术语“基底”具有其在材料科学中的通常含义，即为包括在其上进行加工（在本案中是层沉积）的表面的物体。在通常的半导体制造工艺中，基底可以是硅片。在柔性电子产品的生产中，基底通常包括箔。术语“箔”是指包括一层或多层材料的片。优选地，箔是柔性的，使得其可被用于卷对卷（R2R）或卷对片（roll to sheet）（R2S）制造工艺中。为此目的，如果箔可被以超过50cm或例如12cm的更小的曲率半径卷或弯曲而没有损失其基本功能，例如电子功能，那么其可被认为是柔性的。替代地，或者结合，如果箔具有小于500Pa·m3的抗弯刚度，那么其可被认为是柔性的。
如在此所使用的，基底载体包括能够承载和/或运送基底的结构。例如，在R2R工艺中，基底载体可包括一个或多个被布置用于供应和移动基底从而使经过了一个或多个沉积头（即，在本案中为槽模涂布头）的基底表面通过的辊。基底载体和/或槽模涂布头通常被包括在槽模涂布设备中，槽模涂布设备可包括更多部件，例如涂布流体供应或贮存部，其被布置用于向槽模涂布头供应涂布流体以从涂布头的出流孔口提供连续的或半连续的涂布流体流。
如在此所使用的，术语“涂布”用于表示涂覆材料层的工艺。术语“涂层”表示覆盖基底或中间层的一部分的材料层。对于在此描述的涂层典型的是，其最初可作为流体或液体被涂覆以例如由表面能量差异驱动而在沉积后允许一定程度的涂布自组（self-assembly）或迁移。在涂层获得期望的图案后，该涂层可例如通过固化和/或干燥被硬化。
下面参考示出本发明实施例的附图更全面地描述本发明。然而，本发明可以以许多不同形式体现，并且不应被看作局限于在此阐述的实施例。相反，提供这些实施例而使得本公开全面且完整，并且向本领域的技术人员充分传达本发明的范围。示例性实施例的描述旨在结合附图被阅读，附图将被看作是整个书面说明的一部分。附图中，为了清楚，***、部件、层和区域的尺寸及相对尺寸可能被扩大。实施例参考截面图描述，所述截面图是可能理想化的实施例以及本发明的中间结构的示意图。
在说明书中，相对的术语以及其派生词应被解释为参考在论述中所描述的或如附图中所示的方向。这些相对术语是为了便于描述并且不需要***以特定方向被构造或运转，除非另作说明。还将理解，当部件或层被称为在另一部件或层“上”、“连接到”另一部件或层或“联接到”另一部件或层时，则可以是直接在另一部件或层上、直接连接到另一部件或层或直接联接到另一部件或层，或者可存在中间的部件或层。作为比较，当部件被称为“直接”在另一部件或层“上”、“直接连接到”另一部件或层或“直接联接到”另一部件或层时，则不存在中间的部件或层。还将理解，当方法的特定步骤被称为在另一个步骤之后时，则其可以紧随所述其它步骤或者在执行该特定步骤之前可以执行一个或多个中间步骤。
图1示意性地示出用于在基底上制造带图案的涂层的槽模涂布设备。该设备包括布置在支架60上的基底载体6。在图4中更详细地示出，基底载体6被布置用于提供包括基底表面1s的基底1。
该设备包括至少具有头侧单元50和支撑侧单元55的涂布装置，头侧单元50和支撑侧单元55通过至少一个电动机52、56可相对于彼此相互移动。
头侧单元50包括所述至少一个电动机的平移器（translator）部件52和槽模涂布头2。如图4中更详细所示，槽模涂布头2包括出流孔口2a，使用中，从该出流孔口2a流出涂布流体3f。出流孔口2a形成狭缝，使用中，该狭缝沿狭缝方向y布置在基底表面1s上方。
所述至少一个支撑侧单元55包括所述至少一个电动机的定子部件56。
所述设备包括传感器装置70，用于测量出流孔口2a和所述基底表面之间沿横向于狭缝方向y的平移方向x的距离D。传感器装置70提供表示距离D的测量值的感测信号。替代地，传感器装置可测量到基底载体6的表面的距离。在此情况下，到基底表面的距离可通过从测得的距离减去基底的厚度来确定。
提供控制器80，其被布置用于根据指示所述距离D的期望值的输入信号Ds和所述感测信号Ds控制所述至少一个电动机52、56，以便将槽模涂布头2定位在具有所述期望值的距离处。
第一部分50和第二部分55之间的相对移动由轴承53（例如空气轴承或弹性轴承）促进。第二部分55和支架60之间的相对移动由另一个轴承58（例如空气轴承或弹性轴承）促进。
所述至少一个支撑侧单元55具有至少等于所述至少一个头侧单元50的质量的质量，并且所述至少一个支撑侧单元55被柔性地联接到支架60。联接部（coupling）的弹簧常数K1例如选自从100到100,000N/m的范围，优选地选自从1000到50,000 N/m的范围。为了比较，电动机的平移器部件52和涂布头2之间的机械联接部的弹簧常数K2通常具有相当高的值，例如，在10E8 – 10E10 N/m的级别。基底载体6和支架60之间的机械联接部的弹簧常数K3也具有相当高的值，例如，在10E6 – 10E8 N/m的级别。
作为示例，包括定子56和附加质量部57的支撑侧单元55具有约250kg的质量。电动机的平移器52和涂布头2均具有25kg的质量。因此，支撑侧单元55的质量比头侧单元50的质量高5倍。基底载体6的质量为100kg。用作支架60的底部（floor）的重量被估计具有10,000kg重。
通常，如果支撑侧单元55的质量较大，则联接部K1采用较高的硬度。硬度K1除以支撑侧单元的质量得出的比值是例如在10-100s-2范围内，在本例中是40s-2。
在图1所示的实施例中，附加质量部57紧密联接到电动机的定子部分56。然而，替代地，定子部分56可被设计为自身具有较大的质量以消除分离质量。
控制器80具有反馈控制部PID，用于根据距离的额定值Ds和测量值Dm之间的差值e产生第一控制信号Se。该差值通过比较器C1算出。控制器80还具有前馈控制部FF，用于根据额定值Ds产生预测控制信号Sp。通过相加单元（add unit）AD1由反馈控制部PID和前馈控制部FF的信号Se、Sp获得的和信号St被用于控制电动机。控制器可进一步具有适配部，用于依据***的观察行为改善精确性和响应时间。
图2示意性地示出实施例，其中线性电动机52、56沿平移方向X布置在涂布头2的与基底载体6相反的一侧。涂布头2被由片簧形成的轴承53A、53B对称地悬置。
图3A- 3D分别将根据本发明的涂布设备的又一实施例以俯视图、正视图、分解图和透视图示出。在这些图中，与图1中使用的附图标记一致的附图标记表示相应的部件。该图中对应于图1中支撑侧单元55的部件的支撑侧单元55A的部件的附图标记增加了后缀“A”。例如，形成支撑侧单元的一部分的电动机的定子部件56在这里表示为56A。其他完全一样的部件也被以后缀A或B表示。
实施例中示出，头侧单元50包括在第一端处安装涂布头2的加长的中央段54。除了第一电动机的平移器部件52A，头侧单元50进一步包括第二电动机的平移器部件52B。平移器部件52A、52 B被布置在中央段54的各侧。
其中示出另一个支撑侧单元55B包括第二电动机的定子部件56B，以及附加质量部57A、57B（如图3C中最佳可见）。该另一个支撑侧单元55B和支撑侧单元55A一起具有至少等于头侧单元50的质量的质量。
实施例中示出，支撑侧单元55A的柔性联接部包括布置在横向于平移方向x的平面中的第一片簧58A1和第二片簧58A2。支撑侧单元55A通过第一片簧58A1和第二片簧58A2在第一端和第二端处联接到支架60。同样地，所述另一个支撑侧单元55B的柔性联接部包括布置在横向于平移方向x的平面中的第一片簧58B1和第二片簧58B2。该另一个支撑侧单元55B通过第一片簧58B1和第二片簧58B2在其第一端和第二端处联接到支架60。片簧58A1、58A2、58B1、58B2使支撑侧单元55A、55B能够沿x方向平移，但防止旋转和在其它方向上的平移。片簧也可决定支架60和支撑侧单元55A、55B之间的机械联接部中的弹簧常数K1。然而，替代地，支架60和支撑侧单元55A、55B之间的机械联接部可由各自的附加电动机决定用于更小或更大的部件。这使动态地控制联接部成为可能。
如图3C中所示，支撑侧单元55A设置有阻尼板（参见例如59A1），其被滑动地布置在轨道（参见例如安装在支架60上的64A1）中。如果支撑侧单元55A的平移趋于超过预定值，则其移动被安装在支架上的行程限制器66A停止。所述另一个支撑侧单元55B具有与行程限制器配合的滑动布置的阻尼板的相同构造。
加长的中央段54在其第一端通过一个或多个片簧53A、53B被联接到支架60。片簧53A、53B被布置在横向于平移方向x的平面中。
该中央段54到支架60的联接使该中央段能够在要求的范围内沿平移方向x自由地平移，然而，沿其它方向y、z的平移被阻止。该联接也允许中央段54在延伸通过平移方向x和狭缝方向y的平面中的旋转Rz。以此方式，可以通过控制第一电动机和第二电动机52A、56A；52B、56B的驱动信号来调整涂布头的方向。
加长的中央段54在其第二端处通过沿横向于所述狭缝方向y和所述平移方向x的方向延伸的杆53C进一步联接到支架。杆53C于是在中央段54的第二端支撑中央段54而不阻***段54的旋转Rz。
在此所示的槽模涂布设备进一步包括刚硬地联接到支架60的阻挡构件62。阻挡构件62沿横向于平移方向x的z方向伸出，同时通过中央段54中的孔口544。这提供了强大的防故障措施。即使在控制器80发生故障或者向控制器80提供了错误的输入信号的情况下，也可防止由过度移动造成的损害。
图4以更多细节示出根据本发明的设备的一部分。更具体地，槽模涂布头2被示出为布置在形成基底载体的一部分的桶（drum）61的前方。在操作期间，基底载体6通过桶61沿织物方向（web direction）W运送基底1。如在其中可见，槽模涂布头2包括出流孔口2a。出流孔口2a形成狭缝，使用中，狭缝沿狭缝方向y布置在基底表面1s上方。使用中，涂布流体从出流孔口2a流出，在基底表面1s上形成层3c。
在一个实施例中，槽模涂布头2倾斜一角度，以沿相对于重力方向G具有在60度和120度之间的平面角度的角度θ的出流方向3x提供来自出流孔口2a的出流。换句话说，涂布流体可接近水平方向流动。基底1大致垂直于出流方向3x在出流孔口2a前方移动。使涂布流体接近水平方向流动并且如图所见使出流孔口下方的涂布头和基底均不沿重力方向，可具有优点，即如果任何不受控的多余涂布油墨/流体从涂布头或出流孔口落下，则该多余涂布油墨/流体将向下落下，即不落在基底或涂布头上。将理解，这样的布置在涂布供应被有规律地中断的本方法和***中可以是尤其有利的。
涂布头2平移以开始和停止涂布工序的方向不一定与方向3x一致，只要这些方向具有共同的分量（component）。例如，平移方向可以以方向x布置在水平面中，而出流方向可以以与平移方向成-45度到+45度范围内的平面角度的角度布置。水平平面中的平移方向具有重力不影响或基本不影响涂布头在平移方向上的位置的优点。基底的表面的法向矢量可沿所述平移方向x指向，但是如果表面的法线在该方向上至少具有一个分量则是足够的，从而使涂布头沿x方向的移动导致涂布头和表面之间距离的改变。
可选地，可提供抽吸装置8以吸取多余的涂布油墨/流体。替代地或附加地，具有靠近出流孔口2a的孔口的抽吸装置或真空室8可具有将出流的弯液面（meniscus）相对于移动的基底1的织物方向W拖回的功能。这可补偿快速移动的基底，将出流的弯液面拖在织物方向W中。相对于基底的移动在出流孔口2a的相反侧上抽吸，可因此允许更快的相对移动，例如防止气泡在涂层下面聚集。
在另一或又一实施例中，槽模涂布头2以一角度倾斜以沿相对于重力方向G具有大于90度平面角的角度θ的出流方向3x从出流孔口2a提供出流。换句话说，出流方向3x向上倾斜。具有向上的出流方向3x可具有优点，即流体供应中聚集的并且比涂布流体轻的气泡可通过向上移动从出流孔口逃逸。将理解，根据本方法和***，当流体供应间歇性地中断时，这会是特别有用的。
图5更详细地示意性地示出本发明的槽模涂布设备的实施例中的控制***的一部分，例如图3A-3D中所示的实施例。为了清楚，仅示出控制***用于该设备的一侧的部分。其中与图1一致的部件或信号具有后缀A。设备的另一侧通常类似地被控制，并因此未在此示出。
控制***包括用于接收期望控制图案的控制输入。该控制图案可包括作为时间的函数的涂布头的期望位置DsA的具体说明（specification）。控制***进一步具有用于接收外部触发信号Cntrl的输入，其使得控制***开始根据期望图案控制所述设备。通常，控制***的两部分均接收相同的控制图案和相同的触发信号。
控制***80A包括诸如电容式距离传感器的第一距离传感器71A，用于感测涂布头2和基底1之间的距离并用于提供表示该距离的指示信号DmA。传感器71A通过A/D转换器联接到控制***80A。替代地，可使用产生表示所感测距离的数字输出信号的距离传感器。在此情况下，A/D转换器是不必要的。控制***还被联接到感测定子和电动机的平移器之间的位移的线性译码器72A。控制***通过三相D/A转换器3DA控制用驱动信号SmA驱动（enforce）电动机的三相驱动单元A1A。
在所示的实施例中，槽模涂布设备进一步包括用于抑制支撑侧单元55A的移动的有源阻尼（active damping）***。该有源阻尼***包括由驱动器A2A的驱动信号Sm2A驱动的另一个线性电动机61A，驱动器A2A具有联接到霍尔传感器73A的负反馈输入，霍尔传感器73A测量支撑侧单元55A相对于支架60的位置并响应地提供感测信号Dm2A。在所示的实施例中，阻尼***A2A、61A、73A按照时间间隔启动，其中涂布头2相对于待涂布的基底1被保持在稳定的位置。
根据待涂布在基底上的图案，由于共振，涂布头的移动可使该设备的一部分的激振发生。这可通过适当地选择待涂布图案或者涂布进行的速度或者移动轨迹来避免，但是这可能给涂布工序带来限制。
阻尼***抵制这种激振。虽然阻尼可以以无源的方式提供，但是有源阻尼***具有优点，即其可根据情况被调节，例如可应用优化用于特定图案的速度和精度的阻尼策略。
例如，在一个实施例中，当移开头侧单元时，阻尼装置被停止。
对于一些应用，为获得期望的涂布图案仅仅移动涂布头可能是足够的，例如，如果所要提供的图案仅具有在基底的运送方向上短距离的中断。在此情况下，涂布流体的流动不需要被中断。如果涂布头远离基底表面移动从而在涂层中形成中断，则足够了。
在一实施例中，槽模涂布设备包括另一个控制器，用于控制涂布流体供应部。于是，涂布流体的流动可被中断，以获得更长的未涂布部分。优选地，另一个控制器与用于控制电动机的控制器80A同步。根据所使用的涂布流体、基底表面的表面能量和例如基底的运送速度的其他条件，用于涂布流体供应部的控制信号可滞后或超前于用于电动机的控制信号，或者可与其一致。例如，在涂布头到达其靠近基底的期望位置的时间点之后，涂布流体供应部可按照时间间隔在所选择的时间点被启动，该时间间隔在到第二预定时间之前延长第一时间。类似地，在涂布头到达其远离基底的期望位置的时间点之后，涂布流体供应部部可按照时间间隔在所选择的时间点被停止，该时间间隔在到第二预定时间之前延长第一时间。
图6更详细地示出图5的控制***的一部分。如图6所示，在该实施例中控制器80A包括第一控制模块82A和第二控制模块84A。第一控制模块82A响应于由比较器81A提供的错误信号产生第一控制信号。第二控制模块84A响应于接收自第二比较器83A的错误信号产生用于控制电动机的驱动信号，第二比较器83A比较线性译码器信号LmA和第一控制信号。第二控制模块84A补偿电动机52A、56A的非线性响应特性。第一控制模块82A通过利用电动机52A、56A和控制部件83A、84A的组合C的线性化特性被优化，以提供快速而精确的涂布头位置控制。
虽然示出了用于在基底上提供涂层的示例性实施例，但是受益于本公开的本领域的技术人员也可设想替代方式以实现类似的功能和结果。所讨论和示出的实施例的各种部件提供某些优点，诸如提供均匀的涂层。当然，应当理解，以上实施例或工序中的任何一个可以与一个或多个其它实施例或工序结合，以提供在发现和匹配设计上的更进一步的改进和优点，例如槽模涂布、间歇涂布、垫片涂布（shim coating）、切口模涂布和/或基底预构图。应当理解，本公开对太阳能电池阵列的制造提供特别的优点，并且总体上可被应用于基底或织物上均匀图案层的大规模生产的任何应用。
最后，以上讨论旨在仅例示本***，而不应被看作将随附的权利要求局限于任何特定的实施例或实施例的组合。因此，虽然已参考本***的具体的示例性实施例特别详细地描述了本***，但是还应理解，许多修改和替代的实施例可被那些本领域的普通技术人员想到，而不背离如所附的权利要求中所阐述的本***和方法的范围。因此，说明书和附图应以例示的方式被看待，而非旨在限制随附的权利要求的范围。在解释随附的权利要求时，应当理解，词语“包括”不排除那些在给定的权利要求中列举的部件或动作以外的其它部件或动作的存在；在部件前的词语“一”或“一个”不排除多个这样的部件的存在；权利要求中的任何附图标记不限制其范围；多个“装置”可由相同或不同的项目或实施结构或功能表示；除非另作特别说明，任何所公开的装置或其部分可被结合在一起或分成更多部分。事实是，某些措施在相互不同的权利要求中引用并不表明这些措施的组合不能被用于获益。

Claims (13)

1.一种用于在基底(1)上制造带图案的涂层(3)的槽模涂布设备，该设备包括：
布置在支架上的基底载体(6)，该基底载体(6)被布置为用于提供包括基底表面(1s)的所述基底(1)；
涂布装置，该涂布装置包括能够通过至少一个电动机相对于彼此相互移动的至少一个头侧单元(50)和至少一个支撑侧单元(55，55A)，所述头侧单元包括所述至少一个电动机的平移器部件(52，52A)和槽模涂布头(2)，所述槽模涂布头(2)包括出流孔口(2a)，涂布流体(3f)从所述出流孔口(2a)流出，其中所述出流孔口(2a)形成狭缝，所述狭缝在使用中沿狭缝方向(y)布置在所述基底表面(1s)的上方，所述至少一个支撑侧单元(55，55A)包括所述至少一个电动机的定子部件(56，56A)；
传感器装置(70)，该传感器装置(70)用于沿着横向于所述狭缝方向(y)的平移方向(x)测量所述出流孔口(2a)和所述基底载体的表面或基底表面之间的距离(D)，并用于提供表示所述距离(D)的测量值的感测信号(Dm)；
控制器(80)，该控制器(80)用于根据表示所述距离的期望值的输入信号控制所述至少一个电动机，以将所述槽模涂布头定位在具有所述期望值的距离处，
其中所述至少一个支撑侧单元(55，55A)具有至少等于所述至少一个头侧单元(50)的质量的质量，并且所述至少一个支撑侧单元(55，55A)被柔性地联接到所述支架(60)。
2.根据权利要求1所述的用于在基底(1)上制造带图案的涂层(3)的槽模涂布设备，其中所述平移方向(x)被布置在水平面中。
3.根据权利要求1所述的用于在基底(1)上制造带图案的涂层(3)的槽模涂布设备，包括至少另一个支撑侧单元(55B)，所述至少另一个支撑侧单元(55B)包括第二电动机的定子部件(56B)，所述至少一个支撑侧单元(55A)和所述至少另一个支撑侧单元(55B)一起具有至少等于所述至少一个头侧单元(50)的质量的质量，并且所述至少另一个支撑侧单元被柔性地联接到所述支架，所述头侧单元(50)进一步包括所述第二电动机的平移器部件(52B)和中央段(54)，所述涂布头(2)在第一端安装到所述中央段(54)，并且所述至少一个电动机和第二电动机的所述平移器部件(52A，52B)在各自一侧被布置到所述中央段(54)。
4.根据权利要求3所述的用于在基底(1)上制造带图案的涂层(3)的槽模涂布设备，其中所述至少一个支撑侧单元(55A)和所述至少另一个支撑侧单元(55B)中每一个的所述柔性联接部包括布置在横向于所述平移方向的平面中的各自的第一片簧(58A1，58B1)和第二片簧(58A2，58B2)，所述至少一个支撑侧单元和所述至少另一个支撑侧单元通过其各自的第一片簧和第二片簧在各自的端部被联接到所述支架。
5.根据权利要求4所述的用于在基底(1)上制造带图案的涂层(3)的槽模涂布设备，其中所述至少一个支撑侧单元和所述至少另一个支撑侧单元均设置有阻尼板(59A1)，该阻尼板(59A1)滑动地布置在安装于所述支架(60)上的轨道(64A1)中。
6.根据权利要求3所述的用于在基底(1)上制造带图案的涂层(3)的槽模涂布设备，其中所述中央段(54)在其第一端通过一个或多个片簧(53A，53B)联接到布置在横向于所述平移方向(x)的平面中的所述支架(60)。
7.根据权利要求6所述的用于在基底(1)上制造带图案的涂层(3)的槽模涂布设备，其中所述中央段(54)在其第二端通过沿横向于所述狭缝方向(y)和所述平移方向(x)的方向(z)延伸的杆(53C)联接到所述支架(60)，使得所述第二端能够沿着横向于所述杆(53C)的延伸方向的方向平移。
8.根据权利要求3所述的用于在基底(1)上制造带图案的涂层(3)的槽模涂布设备，进一步包括刚硬地联接到所述支架(60)的阻挡构件(62)，所述阻挡构件(62)沿横向于所述平移方向(x)的方向(z)伸出，同时通过所述中央段(54)中的孔口(544)。
9.根据权利要求1所述的用于在基底(1)上制造带图案的涂层(3)的槽模涂布设备，其中所述控制器包括用于有源地抑制所述至少一个支撑侧单元的移动的阻尼装置。
10.根据权利要求9所述的用于在基底(1)上制造带图案的涂层(3)的槽模涂布设备，其中当移开所述头侧单元(50)时，所述阻尼装置被停止。
11.根据权利要求9所述的用于在基底(1)上制造带图案的涂层(3)的槽模涂布设备，其中所述阻尼装置包括用于控制所述至少一个支撑侧单元(55A)的位置的分离的控制单元(A2A，73A，61A)。
12.根据权利要求1所述的用于在基底(1)上制造带图案的涂层(3)的槽模涂布设备，包括用于控制涂布流体供应部的另一个控制器，所述另一个控制器与用于控制所述至少一个电动机的所述控制器(80)同步。
13.一种用于在基底(1)上制造带图案的涂层(3)的方法，该方法包括：
提供包括基底表面(1s)的基底(1)；
提供涂布装置，所述涂布装置包括能够通过至少一个电动机相对于彼此相互移动的至少一个头侧单元(50)和至少一个支撑侧单元(55，55A)，所述头侧单元包括所述至少一个电动机的平移器部件(52A)和槽模涂布头(2)，所述槽模涂布头(2)包括出流孔口(2a)，使用中涂布流体(3f)从所述出流孔口(2a)流出，其中所述出流孔口(2a)形成狭缝，所述狭缝在使用中沿狭缝方向(y)布置在所述基底表面(1s)的上方，所述至少一个支撑侧单元(55，55A)包括所述至少一个电动机的定子部件(56)；
提供传感器装置(70，71A)，所述传感器装置(70，71A)用于沿着横向于所述狭缝方向(y)的平移方向(x)测量所述出流孔口(2a)和所述基底载体的表面或所述基底表面(1s)之间的距离(D)，并用于提供表示所述距离(D)的测量值的感测信号(Dm，DmA)；
提供控制器(80)，所述控制器(80)布置为用于根据表示所述距离(D)的期望值的输入信号控制所述至少一个电动机，以将所述槽模涂布头(2)定位在具有所述期望值的距离处；
其中所述至少一个支撑侧单元(55，55A)具有至少等于所述至少一个头侧单元(50)的质量的质量，并且所述至少一个支撑侧单元被柔性地联接到支架(60)。
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Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190133668A (ko) * 2017-02-13 2019-12-03 택투스 테크놀로지, 아이엔씨. 주조 엘라스토머를 형성하기 위한 방법
KR102161899B1 (ko) 2018-12-07 2020-10-05 한국기술교육대학교 산학협력단 슬롯 다이 헤드
KR102124793B1 (ko) 2018-12-17 2020-06-19 한국기술교육대학교 산학협력단 스트라이프 코팅용 슬롯 다이 헤드
CN109759277A (zh) * 2019-01-17 2019-05-17 银隆新能源股份有限公司 边涂模头、涂布机模头以及涂布机
CN112958381A (zh) * 2021-02-26 2021-06-15 佛山市中研非晶科技股份有限公司 一种点胶设备
CN216323035U (zh) * 2021-11-02 2022-04-19 江苏时代新能源科技有限公司 一种涂布装置及涂布***
CN115350839B (zh) * 2022-08-26 2023-07-25 湖北中烟工业有限责任公司 一种涂油机构及稠浆法烟草薄片试验设备

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07204570A (ja) * 1994-01-12 1995-08-08 Fuji Photo Film Co Ltd 塗布方法
JP2000325858A (ja) * 1999-05-24 2000-11-28 Tohoku Ricoh Co Ltd 塗布方法及び装置
CN1438942A (zh) * 2000-06-26 2003-08-27 约尔格·R·鲍尔 用于生产具有预定外表面外观的部件、特别是厨具的前面板的方法、设备和***
CN1714426A (zh) * 2002-10-15 2005-12-28 Fsi国际公司 包含压力传感器的旋涂方法以及用于旋涂的设备
CN1974027A (zh) * 2005-10-20 2007-06-06 芝浦机械电子株式会社 溶液涂敷装置及溶液供给量的计量方法、溶液的供给方法
CN102971080A (zh) * 2010-05-06 2013-03-13 杜尔***有限责任公司 涂敷装置特别是施加设备，以及排出液滴型涂敷剂射流的相应涂敷方法

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1131165A (en) 1967-04-17 1968-10-23 Standard Telephones Cables Ltd Apparatus and a method for depositing a liquid on discrete areas of a substrate
GB1262057A (en) 1970-10-01 1972-02-02 Standard Telephones Cables Ltd Apparatus for depositing liquid on discrete areas of a substrate
US3698621A (en) * 1970-10-27 1972-10-17 Collins Radio Co Bonding apparatus
DE2759065A1 (de) * 1977-12-30 1979-07-12 Ibm Deutschland Feder-masse-schwingungssystem
US4520049A (en) 1983-01-24 1985-05-28 Kao Corporation Method and apparatus for coating
JPH0640987B2 (ja) 1985-12-12 1994-06-01 東レ株式会社 浮動型ダイを有するコ−テイング装置
TW231257B (zh) 1992-03-02 1994-10-01 Ciba Geigy
JPH0768208A (ja) 1993-09-06 1995-03-14 Matsushita Electric Ind Co Ltd 間欠塗布装置
JP3340238B2 (ja) * 1994-04-13 2002-11-05 松下電器産業株式会社 間欠塗布方法
JP3278714B2 (ja) 1996-08-30 2002-04-30 東京エレクトロン株式会社 塗布膜形成装置
US7105203B1 (en) 1999-02-10 2006-09-12 Mastsushita Electric Industrial Co., Ltd. Intermittent coating apparatus and intermittent coating method
JP4348575B2 (ja) 1999-05-26 2009-10-21 ノードソン株式会社 スロットダイ押出し塗布装置
US6706315B2 (en) * 2001-09-17 2004-03-16 Xerox Corporation Coating process for coating die with laser position sensors
US7621465B2 (en) 2005-11-10 2009-11-24 Nordson Corporation Air annulus cut off nozzle to reduce stringing and method
JP2007268385A (ja) * 2006-03-30 2007-10-18 Fujifilm Corp 塗布装置、塗布方法、および光学フィルムの製造方法
JP4833720B2 (ja) * 2006-04-19 2011-12-07 富士フイルム株式会社 塗布液の塗布方法及び装置
JP4228025B1 (ja) * 2007-12-21 2009-02-25 株式会社 ハリーズ 間欠塗布装置および間欠塗布方法
WO2010067445A1 (ja) 2008-12-11 2010-06-17 株式会社ミマキエンジニアリング 三次元インクジェットプリンタ
JP2011045800A (ja) * 2009-08-25 2011-03-10 Dainippon Printing Co Ltd 塗工装置および塗工方法、並びに、塗膜付きウェブ状基材の製造方法
US8297221B2 (en) * 2010-06-22 2012-10-30 Ortho-Clinical Diagnostics, Inc. Apparatus for slot die setup and control during coating
JP2012187554A (ja) * 2011-03-14 2012-10-04 Nec Corp コータ装置、及びコータヘッドと被塗布体との距離を求める方法

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07204570A (ja) * 1994-01-12 1995-08-08 Fuji Photo Film Co Ltd 塗布方法
JP2000325858A (ja) * 1999-05-24 2000-11-28 Tohoku Ricoh Co Ltd 塗布方法及び装置
CN1438942A (zh) * 2000-06-26 2003-08-27 约尔格·R·鲍尔 用于生产具有预定外表面外观的部件、特别是厨具的前面板的方法、设备和***
CN1714426A (zh) * 2002-10-15 2005-12-28 Fsi国际公司 包含压力传感器的旋涂方法以及用于旋涂的设备
CN1974027A (zh) * 2005-10-20 2007-06-06 芝浦机械电子株式会社 溶液涂敷装置及溶液供给量的计量方法、溶液的供给方法
CN102971080A (zh) * 2010-05-06 2013-03-13 杜尔***有限责任公司 涂敷装置特别是施加设备，以及排出液滴型涂敷剂射流的相应涂敷方法

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