KR20160040602A - 슬롯-다이 코팅 방법 및 기구 - Google Patents

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KR20160040602A
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이케 게르케 데 브리에서
마아르텐 반 렌트
제오렌 안쏘니우스 스멜팅크
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네덜란제 오르가니자티에 포오르 토에게파스트-나투우르베텐샤펠리즈크 온데르조에크 테엔오
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Abstract

패턴화된 코팅 층(30)을 기판(1) 상에 제조하기 위한 슬롯-다이 코팅 기구는, 기판 캐리어(6), 코팅 장치, 센서 설비(70), 및 제어기(80)을 포함할 수 있다. 기판 캐리어(6)는 기판(1)을 제공하기 위한 지지대 상에 정렬된다. 코팅 장치는 헤드-측 유닛 및 지지대 측 유닛(50, 55, 52, 각각)을 포함하고, 이들은 모터(52, 56)에 의하여 서로에 대하여 각자가 상호간에 이동가능하다. 헤드 측 유닛은 병진 파츠(52) 및 슬롯-다이 코팅 헤드(2)를 포함한다. 지지대-측 유닛(55)는 모터의 고정자 파츠(56)를 포함한다. 제어기(80)는 요구되는 거리(Ds)에서 슬롯-다이 코팅 헤드를 위치시키기 위하여 모터(52)를 제어한다. 지지대-측 유닛(55)는 헤드-측 유닛(50)의 질량과 적어도 동일한 질량을 가지고, 지지대-측 유닛(55)은 유연하게 지지대(60)와 결합된다.

Description

슬롯-다이 코팅 방법 및 기구{SLOT-DIE COATING METHOD AND APPARATUS}
본 발명은 패턴화된 코칭 층을 기판 상에 제조하기 위한 슬롯-다이 코팅 방법 및 기기에 관한 것이다.
유기물질 코팅 층은 액체 용액, 예를 들어 OLED 또는 OPV 장치를 제조하기 위한 기판에 전형적으로 적용된다.
예를 들어 빛-활성(photo-active) 층 및/또는 빛-방출 층과 같은 많은 응용에 있어서, 하나 또는 이상의 기판 상에 동종의(homogeneous) 코팅 층을 제공하는 것이 요구될 수 있고, 예를 들어 동종의 층 두께를 가지는 것이다.
동종의 코팅 층을 제조하기 위한 하나의 테크닉은, "슬롯-다이 코팅"으로 참고될 수 있다. 이 기술은 전형적으로 기판 표면 위로 정렬되는 슬롯-다이 코팅 헤드를 제공하는 것을 포함한다. 슬롯-다이 코팅 헤드는 기판 표면 위로 슬릿 방향으로 정렬되는 슬릿을 형성하는 유출 개구를 포함한다. 예를 들어 코팅 유체 공급에 의하여 공급되는, 코팅 유체는, 유출 개구를 통과하여 기판 표면 상으로 흐른다.
유출 개구와 기판 표면 사이의 상대적인 움직임은 코팅 방향을 따라 제어된다. 코팅 방향은, 예를들어 슬릿 방향에 대하여, 수직 성분을 가지는 전형적으로 횡단하는 방향이다. 이러한 방식으로 동질의 층은 기판 표면 상으로 슬릿의 너비를 따라 제조될 수 있다.
동질의 균일한 층을 가지는 것에 대하여 추가로, 기판 표면 상에 코팅의 패턴화를 제공할 수 있고, 예를 들어, 패턴화된 코팅은 코팅되지 않은 영역에 의하여 분리되는 기판 표면 상에 코팅된 영역을 포함한다.
예를 들어, 빛-활성화(photo-active) 층 및/또는 빛 방출 층의 제조를 위하여, 기판 상에 분리된 활성화 영역들, 예를 들어 빛-셀들의 배열을 제작하기 위한, 영역들을 제공하는 것이 요구될 수 있다. 많은 다른 방법들이, 패턴화된 코팅 층을 제공하기 위하여, 예를 들어 프린팅 또는 각긴 기술을 제공하는 것이 알려져 있고, 이는 예를들어 잉크젯 프린팅, 회선하는(rotatory) 스크리니 프린팅, 그라비어(gravure) 프린팅, 오프셋 프린팅, 플렉소 프린팅과 같은 것이 있다.
불행하게도, 실시과정에서 이러한 공정들은 예를들어 롤-투-롤(roll-to-roll) 공정과 같은 큰 스케일 생산을 위하여 요구되는 안정성 및/또는 코팅 층의 균일성을 언제나 제공하는 것이 아니다. 따라서, 슬롯-다이 코팅 공정과 결합될 수 있는 패터닝 테크닉을 사용하는 것이 유리할 수 있다.
슬롯-다이 코팅을 구비한 패턴화된 코팅을 제조하기 위한 제1 옵션은 "인 시투(in-situ) 패터닝" 또는 "활성화 패터닝"이 참고될 수 있고, 슬롯-다이 코팅 헤드는 기판의특정한 영역 상에 코팅을 선택적으로 적용시키기 위하여 적극적으로 사용될 수 있다.
예를들어, 일시적인 전송은, 예를 들어 슬롯-다이 코팅 헤드 및 코칭 액체 공급 사이의 밸브를 스위칭하는 것에 의하여/ 및 또는 기판으로부터 슬롯-다이 코팅 헤드를 선택적으로 제거하는 것에 의하여, 기판 표면 상으로 슬롯-다이 코팅 헤드로부터 코팅 유체를 제어하는 것에 해당한다.
이러한 방식으로 코팅된 영역들은, 코팅 방향에 횡단하는 경계선을 가지는 것이 제공될 수 있다. 불행하게도, 코팅 헤드의 제거 및 제적용 및/ 또는 공급의 일시적인 스위칭은 가장자리 효과를 초래하는 것이 확인되고, 코팅은 더 이상 예를 들어, 코팅 헤드 상에 코팅 물질의 축적으로 인하여 균일하지 않다.
예를 들어, 미국 등록특허 US7041336및 US5536313는 가장자리 효과를 가지는 문제점을 기술하고 있고, 유동이 방해되었을 때 노즐의 유량을 더 잘 제어하기 위한 노즐의 적용을 제안한다. 불리하게도, 이는 복잡한 노즐 디자인을 초래할 수 있다.
끌리는(trailing) 코팅 에지에 따른 균일한 리딩(leading)을 가지기 위하여 이를 고려하기 위한 방법의 하나의 대안은, 코팅 헤드 및 기판 사이의 거리를 동적으로 제어(dynamic control)하는 것이다. 여기서, 코팅 헤드는 제1 위치로 향하여 이동되고, 형성되는 패턴의 리딩 에지서 코팅 공정을 시작하기 위하여 기판에 대하여 닫힌다.
패?의 트레일링 에지에서 코팅 공정을 방해하기 위하여 코팅 헤드는 제2 위치를 향하여 이동되고, 추가로 기판으로부터 멀어진다. 액체의 물성에 의존하고, 이러한 액체로 기판이 제1 위치로 코팅되고, 이는 전형적으로 5-250 미크론 범위에서 선택된다.
리딩 에지 및 트레일링 에지 사이를 코팅하는 공정에 있어서, 코팅 헤드는 젭 위치로 닫히는 것이 고정되어야 한다 (예를 들어 약 1 미크론의 공차로). 게다가, 코팅 헤드를 위치는 것은 상대적으로 높은 속도로 수해되어야 한다. 예를 들어, 코팅 헤드는 4mm가 넘는 거리를 25ms의 시간 내에서 이동되어야 한다.
실시 과정에서, 이러한 요구사항의 조합이 실현되는 것이 어렵다는 것이 발견되어 왔다. 코팅 헤드의 빠른 움직임은 코칭 장치에서 진동을 야기시키는 경향이 있고, 이는 코팅 헤드와 기판 사이의 거리에서 상대적으로 큰 일시적인 진동을 초래한다. 따라서, 적용된 코탱 내 불-균일성을 초래한다.
본 발명의 목적은 개선된 슬롯-다이 코칭 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 추가적인 목적은 개선된 슬롯-다이 코팅 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 첫번째 양상에 따르면, 슬롯-다이 코팅 기구는 청구항 1에 따라 제공된다.
본 발명의 제2 측면에 따르면, 슬롯-다이 코팅 방법은 청구항 13에 따라 제공된다.
본 발명에 따른 슬롯-다이 코팅 방법 및 기구에 있어서, 적어도 하나의 지지대-측 유닛은 적어도 하나의 헤드-측 유닛의 질량과 적어도 동일한 질량을 가지고, 적어도 하나의 지지대-측 유닛은 유연하게 지지대에 결합된다.
이 경우, 기구는 하나 잇아의 지지대-측 유닛 및/또는 하나 이상의 헤드-측 유닛을 가지고, 지지대-측 유닛의 총 질량은 적어도 헤드-측 유닛의 총 질량과 일치한다.
이러한 방식으로, 코팅 헤드를 기판과 가까운 그것의 활성화 위치로부터 기판으로부터 떨어진 비활성화 위치로 빠르게 이동시키는 것이 가능한 것이 명확해지고, 그동안 실질적으로 기판 캐리어를 포함하는 환경에서 진동이 완화됩니다(mitigate). 그 밖에, 코팅 헤드와 기판 캐리어 사이의 거리는 또한 정확하고 빠르게 제어될 수 있다.
이러한 그리고 다른 측면들은 아래의 도면을 참고하여 더 자세하게 설명될 것이다.
도 1은, 본 발명의 첫번째 양상에 따른 슬롯-다이 코팅 기구의 제1 실시예를 도시한다.
도2는 본 발명의 첫번째 양상에 따른 슬롯-다이 코팅 기구의 제2실시예를 도시한다.
도 3A 내디 3D는 각각 상면도, 정면도, 분해도, 및 사시도를 나타내고, 이는 본 발명의 첫번째 양상에 따른 슬롯-다이 코팅 기구의 제2실시예를 도시한다.
도4는 본 발명의 첫번째 양상에 따른 슬롯-다이 코팅 기구의 다양한 실시예에서의 사용을 위한 더 자세한 부분을 도시한다.
도 5는 본 발명의 첫번째 양상에 따른 슬롯-다이 코팅 기구의 제3 실시예에서의 사용을 위한 제어 시스템의 더 자세한 부분을 도시한다.
도6은 도 5의 제어 시스템의 부분을 더 자세히 도시한다.
복수의 도면들 내 참조 기호들은 각각의 요소들을 나타내고 그렇지 않은 경우에도 한편으로 나타낸다.
정의되지 않더라도, 여기서 사용되는 모든 용어들(기술적이고 과학적인 용어들을 포함하여) 본 명세서 및 도면을 읽을 것으로 속하는 본 발명에 따른 통상의 기술자에 통상적으로 이해되는 의미를 가질 것이다.
사전에서 사용되는 통상적으로 정의된 용어와 같은 용어들은 더 잘 이해될 것이고, 이는 관련된 기술의 문헌 내 의미와 일치하는 의미를 가질 것으로 해석되어야 하고, 이는 여기서 뚜렷하게 정의되지 않는 이상화되거나 과도하게 형식적인 감각으로 해석되지 않을 것이다. 몇 가지 예를 들어서, 잘 알려진 장치 및 방법의 상세한 설명은 본 발명의 시스템 및 방법의 설명을 방해하지 않기 위하여 생략될 수 있다.
특정 실시예를 설명하기 위하여 사용되는 용어들은 본 발명을 제한하기 위하여 의도되는 것이 아니다. 여기서 사용됨에 따라, 단일의 용어들 "하나" 및 "상기"는 복수개의 형태를 또한 포함하도록 의도되고, 문맥은 완벽하게 다른 형태를 나타내는 것이 아니다. 용어 "및/또는"은 관련된 표에 실린 아이템들의 하나 또는 이상의 다른 모든 조합들을 포함한다.
"포함" 및/ 또는 "포함하는"은 전술된 특징들을 구체화하고 하나 이상의 다른 특징들의 추가 또는 존재로 제한하지 않는다는 것을 더 잘 이해될 것이다. 여기서 언급된 모든 문헌들, 특허 출원들, 특허 문헌들 및 다른 참고문헌들은 이들의 전체를 참고하여 결합될 수 있다. 충돌 문제의 경우에, 본 발명의 명세서, 및 정의를 포함하여 제어될 것이다.
여기서 사용되는, 용어 "기판"은 재료 과학에서 통상적으로 사용되는 의미를 가지고, 표면을 포함하는 물체이고, 층 적층(deposition)과 경우와 같은 기판 상에서 공정이 수행된다. 전형적인 반도체 제조 공정에서, 기판은 실리콘 웨이퍼일 수 있다. 유연한 전자 장치 생산에서, 기판은 전형적으로 포일(foil)을 포함한다.
용어 "포일"은 재료의 하나 또는 이상의 층을 포함하는 시트를 참고한다. 바람직하게, 포일은 유연해서, 롤-투-롤(R2R) 또는 롤-투-시트(R2S) 제조 공정에 사용될 수 있다. 이러한 목적을 위하여, 포일은 유연한 것으로 고려될 수 있기 때문에, 이는 50cm의 곡률 또는 이보다 작은 곡률, 예를 들어 12cm로 감기거나 구부러지고, 이 때 필수적인 기능성, 예를 들어 전기적 기능성을 잃지 않는다. 대신에, 포일과의 결합은 유연한 것으로 고려될 수 있고, 이는 굴곡 강도(flexural rigidity)가 500 Pa*m3보다 작도록 할 수 있다.
본 명세서에서 사용됨에 따라, 기판 캐리어는 기판을 운반 및/또는 능력을 가지는 구조를 포함한다. 예를 들어, R2R 공정에서, 기판 캐리어는 하나 또는 이상의 롤을 포함할 수 있고, 이는 기판을 공급 또는 이동시키기 위하여 정렬되고, 이에 따라, 기판 표면 과거(past)를 지나가고 하나 또는 이상의 체적 해드들, 예를 들어 이러한 케이스 슬롯-다이 코팅 헤드를 지나가게 한다.
기판 캐리어 및/또는 슬롯-다이 코팅 헤드는 전형적으로 슬롯-다이 코팅 기구에 포함되고, 이는, 예를 들어, 코팅 유체 공급 또는 저장고와 같은 추가적인 파츠를 포함하고, 이는 슬롯-다이 코팅 헤드로 코팅 유체를 공급하기 위하여 정렬되고, 이는 연속적이거나 또는 반-연속적인 코팅 유체의 증기를 코팅 헤드의 유출 개구로부터 공급하기 위함이다.
여기서 사용되는, 용어 "코팅"은 재료의 층을 적용하기 위한 공정을 나타내도록 사용된다. 용어 "코팅 층"은 기판 또는 중간 층의 부분을 재료로 덮는 층을 나타낸다. 여기서 설명되는 코팅층은 전형적으로, 예를 들어 다른 표면 에너지에 의하여 구동되는 코팅 후 적층의 이전 또는 자기-조립의 정도를 허용하기 위하여 유체 또는 액체에 최초로 적용될 수 있다. 코팅 층이 요구되는 패터닝을 달성한 이후, 코팅 층은 경화되고 예를들어 큐어링/및 또는 건조될 수 있다.
본 발명은 첨부되는 하기의 도면을 완전히 참고하여 설명될 것이고, 본 발명의 실시예는 도면에 도시된다. 이러한 발명은, 그러나, 다양한 형태로 응용될 수 있고, 아래에 설명되는 실시예로 제한되거나 설명되어서는 안된다.
게다가, 이러한 실시예들은 제공되고, 따라서 이러한 개시는 전체적이고 완전하고, 이는 통상의 기술자에게 본 발명의 기술적 범위를 완전히 전달한다. 예시적인 실시예의 기술은 첨부되는 도면의 해석으로 의도될 수 있고, 이는 전체 기술된 설명의 부분으로 고려될 수 있다. 도면들에서, 크기 및 시스템의 상대적 크기, 요소들, 층들, 및 영역들은 명확성을 위하여 과장될 수 있다. 실시예들은 단면 도식을 참고하여 설명될 것이고, 이는 가능하게 이상화된 실시예들의 개략적인 도식 및 발명의 중간적인 구조이다.
아래의 설명에서, 상대적인 용어들 및 파생어들은 아래 논의에서 도면에 도시되거나 또는 설명된 방향들을 참고하여 설명되어야 한다. 이러한 상대적인 용어들은 설명의 편의를 위함이고, 다른 방향으로 설명되지 않고도 특정한 방향으로 작동되거나 구성되는 시스템을 요구하는 것은 아니다. 요소 또는 층이 다른 요소 또는 층 "상에", "연결되고" 또는 "결합되고"를 언급될 때 더 잘 이해될 수 있고, 이는 직접적으로 다른 요소 또는 층, 또는 중간 요소 또는 층 상에, 연결되거나, 결합되는 것이 존재할 수 있다.
이와 대조적으로, 어떤 요소가 아른 요소 또는 층과 "직접적으로 상에", "직접적으로 연결되고" 또는 "직접적으로 결합되고"로 언급되는 경우에는, 이는 다른 중간 요소 또는 층이 존재하지 않는 것이다. 이는 방법의 특정단계가 다른 스텝에 대하여 연속적인 것으로 언급될 때 더 잘 이해될 수 있고, 이는 다른 단계 또는 하나 또는 이상의 중간 스텝을 직접적으로 따르는 것이고, 이는 특정 단계 바로 전에 수행될 수 있다.
도 1은, 개략적으로 기판 상에 패턴화된 코팅 층을 제조하기 위한 슬롯-다이 코팅 기구를 도시한다. 기구는 지지대(6) 상에 정렬되는 기판 캐리어(6)을 포함한다. 도 4에 더 자세히 도시된 기판 캐리어(6)는 기판 표면(1s)를 포함하는 기판(1)을 제공하기 위하여 정렬된다.
상기 기구는 적어도 하나의 헤드-측 유닛(50) 및 지지대 측 유닛(55)를 포함하고, 이들은 적어도 하나의 모터 (52, 56)에 의하여 서로에 대하여 상호적으로 이동할 수 있다.
헤드-측 유닛(50)은 적어도 하나의 모터의 병진 파츠(52) 및 슬롯-다이 코팅 헤드(2)를 포함한다. 도 4에 더 상세히 도시된 슬롯-다이 코팅 헤드(2)는, 유출 개구(2a)를 포함하고, 유출 개구(2a)로부터, 사용시, 코팅 유체(3f)가 흘러나온다. 유출 개구(2a)는 슬릿을 형성하고, 이는 사용시, 기판 표면(1s) 위의 슬릿 방향(y)으로 정렬된다.
적어도 하나의 지지대-측 유닛(55)는 적어도 하나의 고정자 파츠(stator part, 56)을 포함한다.
상기 기구는 슬릿 방향(y)를 지나가는 병진 방향(x) 내 유출 개구(2a)와 기판 표면 사이의 거리(D)를 측정하기 위한 센서 설비(70)fmf 포함한다. 센서 설비(70)는 거리(D)의 측정된 밸브를 나타내기 위한 감지 신호를 제공한다.
대신에, 센서 설비는 기판 캐리어(6)의 표면에 대한 거리를 측정할 수 있다. 이 경우, 기판 표면에 대한 거리는 측정된 거리로부터 기판의 두께의 감산(substraction)에 의하여 결정될 수 있다.
제어기(80)은 요구되는 수치를 가지는 거리에서 슬롯-다이 코팅 헤드(2)를 위치시키기 위하여, 상기 감지 신호(Ds) 및 상기 거리(D)의 요구되는 수치를 나타내기 위한 입력 신포(Ds)에 따라 적어도 하나의 모터(52, 56)을 제어하기 위하여 정렬되도록 제공될 수 있다.
제1 파츠(50) 및 제2 파츠(55) 사이의 상대적인 움직임은, 베어링(53), 예를 들어 공기-베어링 또는 탄성 베어링에 의하여 수월하게 된다. 제2 파츠(55) 및 지지대 (60) 사이의 상대적인 움직임은 추가적인 베어링(58), 예를 들어 공기-베어링 및 탄성 베어링에 의하여 수월하게 된다.
적어도 하나의 지지대-측 유닛(55)는 적어도 하나의 헤드-측 유닛(50)의 질량과 동일한 질량을 가지고, 지지대-측 유닛(55)는 유연하게 지지대와 결합된다. 커플링의 스프링 상수 (K1)는 예를 들어, 100 내지 100000N/m 사이의 범위에서 선택될 수 있고, 바람직하게 1000 내지 50000N/m 사이의 범위로 정렬된다.
이와 비교하여 보면, 모터의 병진 파츠(52) 및 코팅 헤드(2) 사이의 기계적인 결합을 위한 스프링 상수(K2)는, 전형적으로 실질적으로 높은 수치를 가지고, 예를 들어 대략 10E8 내지 10E10 N/m의 수준이다. 또한, 기판 캐리어(6) 및 지지대(60) 사이의 기계적인 결합을 위한 스프링 상수(K3)는 실질적으로 높은 수치를 가지고, 예를 들어서, 10E6 내지 10E8 N/m의 수준이다.
실시예에서, 고정자(56) 및 추가적인 질량(57)을 포함하는 지지대-측 유닛(55)은 250kg의 질량을 가진다. 모터의 병진(52) 각각, 코팅 헤드(2)의 각각은 25kg의 질량을 가진다. 따라서, 지지대-측 유닛(55)의 질량은 헤드-측 유닛(50)의 질량보다 5배 크다. 기판 캐리어(6)의 질랴은 100kg 이다. 지지대(60)에 의하여 뒷받침되는 바닥의 무게는 10000kg을 가지도록 산출된다.
전형적으로 높은 강도는, 지지대-측 유닛(55)의 질량이 높은 경우, 커플링K1을 위하여 사용된다. 지지대-측 유닛의 질량으로 나누는 뻣뻣함(stiffness, K1)을 위한 비율은 예를 들어, 10 내지 100 s-2의 범위 이고, 이 경우에, 40 s-2이다.
도 1에 도시된 실시예는, 추가적인 질량(57) 모터의 고정자 파츠(56)에 견고하게 결합된다. 그러나, 대신에 고정자 파츠(56)은 상대적으로 큰 질량을 스스로 가지도록 설계되고, 그 밖에 분리되는 질량을 방지(obviate)할 수 있다.
제어기(80)는 거리의 특정화된 수치(Ds)및 측정된 수치(Dm)의 차이(e)에 기초하여 제1 제어 신호(Se)를 생성하기 위하여 피드백 제어 신호(PID)를 가질 수 있다. 차이는 비교기(C1)에 의하여 계산된다. 제어기(80)은 또한, 특정 수치(Ds)에 게초하여 예측 제어 신호(Sp)를 생성하기 위한 피드 진행 제어 구획(FF)을 가진다.
피드백 제어 구획(PID) 및 피드 진행 제어 구획(FF)의 신호(Se, Sp)로부터 유닛(AD1)에 의하여 획득되는 합산 신호(St)는 모터를 제어하기 위하여 사용된다. 제어기는 관측된 시스템의 행동에 기초한 응답 시간 및 정확성을 향상시키기 위하여 적응 구획(adaptation section)을 더 포함할 수 있다.
도 2는, 개략적으로 일 실시예를 도시하고, 선형 모터(52, 56)은 기판 캐리어(6)의 반대 측 코팅 헤드(2)의 측면에서 병진 방향(x) 내로 정렬된다. 코팅 헤드(2)는 잎 스프링에 의하여 형성되는, 베어링들(53A, 53B)에 의하여 대칭적으로 매달린다(suspend).
도 3A 내지 D는 각각 상면도, 정면도, 및 분해도, 및 사시도를 도시하고, 이는 본 발명에 따른 코팅 기구의 추가적인 실시예를 나타낸다. 이 도면들에 도시된 참조 번호는 도1에 사용되는 그것에 대응하고, 이는 대응하는 파츠들을 나타낸다. 도1 의 지지대-측 유닛(55)에 대응하는 도 3A 내지 D에 도시된 지지대-측 유닛(55A)은 "A"라는 접미사가 참조 번호로 가진다. 예를 들어, 지지대-측 유닛의 일부를 형성하, 모터의 고정자 파츠(56)는 여기서 56A로 표현된다. 또한 다른 중복된 파츠들은 접미사 A 또는 B로 표현된다.
이러한 실시예에서, 도시된 헤드-측 유닛(50)는 연장하는 중앙 스테이지(54)를 포함하고, 코팅 헤드(2)는 제1 단부에서 중앙 스테이지(54)로 설치된다. 헤드-측 유닛(50)은 추가로 제1 모터의 병진 파츠(52A), 제2 모터의 병진 파츠(52B)를 포함한다. 병지 파츠(52A, 52)는 중앙 스테이지(54)의 각 측면에서 정렬된다.
여기에 도시된 추가적인 지지대-측 유닛(55B)은 제2 모터의 고정자 파츠(56B)와 더불어 추가적인 질량(57A, 57 B)를 포함한다 (이는 도 3C에 가장 잘 도시되어 있다). 추가적인 지지대-측 유닛(55B) 및 지지대-측 유닛(55A)는 함께 헤드 측 유닛(50)의 질량과 적어도 동일한 질량을 가진다.
도시된 실시예에서, 지지대-측 유닛(55A)의 유연한 커플링은, 제1 및 제2 잎 스프링(58A1, 58A2)을 포함하고, 이는 병진 방향(x)를 지나가는 평면 내로 정렬된다. 지지대-측 유닛(55A)은 그것과 지지대(6)로 제1 단부 및 제2 에서 결합된다. 게다가, 추가적인 지지대-측 유닛(55B)의 유연한 커플링은 병진 방향(x)를 지나가는 평면 내로 정렬되는 제1 및 제2 잎 스프링(58B1, 58B2)을 포함한다.
이와 함께, 추가적인 지지대-측 유닛(55B)는 그것의 제1 단부 및 제2 단부에서 지지대(60)와 결합된다. 잎 스프링들(58A1, 58A2, 58B1, 58B2)은 지지대-측 유닛들(55A, 55B)를 방향(x)로 이동하는 것을 가능하게 하고 다른 방향으로 병진이동하거나 회전하는 것을 방지한다. 잎 스프링들은 지지대(6)와 지지대-측 유닛들(55A, 55b)사이의 기계적인 커플링에서 스프링 상수(K1)을 결정할 수 있다. 대신에 그러나, 지지대(6)와 지지대-측 유닛들(55A, 55b)사이의 기계적인 커플링은 각각의 추가적인 모터에 의하여 작거나 큰 부분을 위하여 결정될 수 있다. 이는 동적으로 커플링을 제어하는 것을 가능하게 한다.
도 3C에 도시된 대로, 지지대-측 유닛(55A)는 댐퍼 플레이트(59A1)가 제공되고, 이는 지지대(60) 상에 장착되는 레일(64A)내로 미끄러지도록 정렬된다. 지지대-측 유닛(55A)의 병진이 미리 정해진 수치를 조과하는 경우 그것의 움직임은 지지대 상에 설치된 스트로크 제한기(66A)에 의하여 멈춘다. 추가적인 지지대-측 유닛(55B)은 스트로크 제한기와 상호 작용하는 댐퍼 플레이트의 미끄러기제 정렬되는 것의 동일한 구조(construction)를 가진다.
연장된 중앙 스테이지(54)는 그것의 제1 단부에서 적어도 하나 이상의 잎 스프링들(53A, 53B)을 통해 지지대(60)와 결합된다. 잎 스프링들(53A, 53B)은 병진 방향(x)로 지나가는 플레인 내로 정렬된다.
중앙 스테이지(54)와 지지대(60)의 커플링은 중앙 스테이지가 자유롭게 병진 방향(x)를 따라 요구되는 범위 내에서 병진 이동하는 것을 허용하고, 반면에 다른 방향(y, z)으로의 병진 이동은 제한된다. 이러한 커플링은 또한 병진 방향(x) 및 슬릿 방향(y)를 통과하도록 연장하는 플레인 내에서 중앙 스테이지(54)의 회전(Rz)를 허용한다. 이러한 방식으로, 제1 및 제2 모터(52A, 56A; 52B, 56B)의 구동 신호를 제어하는 것에 의하여 코팅 헤드의 지향(orientation)을 조절하는 것을 가능하게 한다.
그것의 두 번째 단부에서, 연장된(elongate) 중앙 스테이지(54)는 추가적으로 상기 슬릿 방향(y) 및 상기 병진 방향(x)를 지나가는 방향으로 연장하는 바(54C)에 의하여 지지대와 추가적으로 결합된다. 바(53C)는 이와 함께 중앙 스테이지(54)의 제2 단부에서 중앙 스테이지(54)를 지지하고, 반면에 중앙 스테이지(54)의 회전(Rz)를 막지 않는다.
여기서 도시된 슬롯-다이 코팅 기구는 추가적으로 블로킹 부재(62)를 포함하고 이는 견고하게 지지대(6)와 결합된다. 블로킹 부재(62)는 중앙 스테이지(54) 내 개구(544)를 플레이 쓰루프(play through)하는 병진 방향(x)를 지나가는 방향(z)내로 돌출한다. 이는 견고한 실패-안전 측정을 제공한다. 제어 장치(80)의 오작동의 경우가 발생하거나, 또는 제어 장치(80)로 잘못된 입력 신호가 공급 되더라도 과도한 움직임으로 인한 상처(damage)를 막을 수 있다.
도 4는 본 발명에 따른 기구의 부분을 더 자세히 도시한다. 더 특별히 슬롯-다이 코팅 헤드(2)는 드럼(61)의 전방에서 정렬되고, 기판 캐리어의 부분을 형성한다. 작동하는 동안 기판 캐리어(6)는 드럼(61)에 의하여 웹 방향(W)으로 기판(1)을 이송시킨다. 여기서 보이는 대로, 슬롯-다이 코팅 헤드(2)는 유출 개구(2a)를 포함한다. 유출 개구(2a)는 슬릿 을 형성하고, 사용시, 이는 기판 표면(1s) 위로 슬릿 방향(y) 내로 정렬된다. 사용시 코팅 유체는 유출 개구(2a)로부터 흘러나오고, 이는 기판 표면(1s) 상의 층(3c)를 형성한다.
일 실시예에 있어서, 슬롯- 다이 코팅 헤드(2)는 유출 방향(3x)내로 유출 개구(2a)를 통해 유출울 제공하기 위하여 일 각도로 기울어지고, 유출 방향(3x)는 중력 방향(G)에 대하여 60 내지 120 도 사이의 평면 각도(θ)를 가진다. 다시 말해서, 코팅 유체는 수평 방향에 인접하도록 흐른다. 기판(1)은 유출 개구(2a)의 전방에서, 유출 방향(3x)에 실질적으로 수직한 방향으로 이동된다.
코팅 유체를 수평 방향에 인접하게 하고 중력 방향으로 보이는 유출 개구 아래의 코팅 헤드 및 기판에 인접하지 않게 하는 것은, 어떠한 제어되지 않은 초과적인 코팅 잉크/유체가 코팅 헤드 또는 유출 개구로부터 떨어지는 경우, 즉, 과도한 코팅 잉크/유체가 아래로 떨어지는 경우, 즉, 기판 상에 또는 코팅 헤드에 떨어지지 않는 경우에, 유리한 점을 가질 수 있다. 이러한 배열은 특별히 본 발명의 방법 및 시스템에서 유리할 수 있고 반면에 코팅 유체가 규칙적으로 방해된다는 점에서, 높이 평가될 수 있다.
코팅 공정을 시작 또는 중단하기 위하여 코팅 헤드(2)가 병진 이동 되는 방향은, 방향이 공통 요소를 가지는 한, 필수적으로 방향(3x)와 일치하지 않는다. 예를 들어, 병진 방향은 수평 방향 내 방향(x)내로 정렬되고, 반면에 유출 방향은 병진 방향에 대한 평면 각도로 -45도 내지 +45의 범위의 각도로 정렬될 수 있다.
수평 평면의 병진 방향은 중력이 병진 방향에서 코팅 헤드의 위치에 대하여 실질적으로 영향을 미치지 못한다는 장점을 가진다. 기판의 평면의 노말 벡터(normal vector)는 상기 병진 방향(x)를 가리킬 수 있고, 그러나 평면의 노말이 적어도 그러한 방향으로 요소를 가지는 경우에 충분하고, 이에 따라 방향(x)로의 헤드의 움직임은 헤드 및 표면 사이의 거리의 변화를 초래한다.
선택적으로, 흡인(suction) 장치(8)가 과도한 코팅 잉크/유체를 빨아들이기 위하여 제공될 수 있다. 대신에 또는 추가로, 유출 개구(2a)에 가까운 하나의 개구를 가지는 흡인 장치 또는 진공 챔버(8)는 기판(1) 이동시키는 것의 웹 방향(W)과 비교하여 후방향(backward)로 유출의 매니스커스(meniscus)를 잡아당기는 기능을 가질 수 있습니다. 기판의 움직임에 대하여 유출 개구(2a)의 반대 면 상에서 흡입을 제공하는 것은 더 빠른 상대적인 움직임을 허용할 수 있고, 즉, 코팅 층 아래에서 빨아들임 되는 것(get trapped)으로부터 공기 거품을 방지할 수 있다.
다른 또는 추가 실시예에서, 슬롯-다이 코팅 헤드(2)는 어떠한 각도에서 기울어지고, 이는 중력 방향(G)에 대하여 평면 각도로 90도보다 큰 각도(θ)를 가지는 유출 방향(3x) 내에서 유출 개구(2a)로부터 유출을 제공하기 위함이다. 다시 말해서, 유출 방향(3x)은 위쪽으로 기울어진다. 위쪽의 유출 방향(3x)를 가지는 것은 공기 버블이 유출 공급 내에서 잡히고 (trap) 코팅 유체보다 가볍다는 유리한 점을 가지고, 위쪽으로 이동하는 것에 의하여 유출 개구로부터 탈출할 수 있다. 유출 공급이 본 발명의 방법 및 시스템 따라 일시적으로 방해될 때 특별히 유용할 수 잇다는 점은 높이 평가될 수 있다.
도 5는, 예를 들어, 도 3A 내지 3D에 도시된 실시 예와 같은, 본 발명의 슬롯-다이 코팅 기구의 실시 예에서 제어 시스템의 더 자세한 부분을 도시한다. 명확성을 위하여 오직 기구의 하나의 측면을 위하여 제어 시스템의 부분이 도시된다. 여기서 도1에 대응하는 파츠 또는 신호들은 접미사 "A"를 가진다. 기구의 다른 측면은 전형적으로 유사하게 (analogously) 제어되고 그러므로 여기서 도시되지 않는다.
제어 시스템은 요구되는 제어 패턴을 수용하기 위한 제어 입력을 포함한다. 제어 패턴은 요구되는 위치의 특수성(specification)을 포함한다. 코팅 헤드의 DsA는 시간의 기능에 따른다. 제어 시스템은 외부 트리거 신호(Cntl)을 수신하기 위한 입력을 추가로 가지고, 이는 제어 시스템에게 요구되는 패턴에 따라 기구를 제어하는 것을 시작하도록 야기시킨다. 전령적으로 제어 시스템의 양쪽 파츠들은 동일한 제어 패턴 및 동일한 트리거 신호를 수신한다.
제어 시스템(80A)는, 용량성(capacitive) 거리 센서와 같은, 제1 거리 센서(71A)를 포함하고, 이는 기판 및 코팅 헤드(2) 사이의 거리를 감지하기 위함이고, 이러한 거리를 나타내는 표시(indication) 신호(DmA)를 제공하기 위함이다. 센서(71A)는 A/D 컨버터를 통하여 제어 시스템(80A)와 결합된다. 대신에, 거리 센서는 감지된 거리를 나타내는 디지털 출력 신호를 생성하는 것으로 사용될 수 있다.
이 경우에는, A/D 컨버터는 과잉 상태(superfluous)이다. 제어 시스템은 또한 선형 엔코더(72A)와 결합되고 이는 모터의 고정자 및 병진 사이의 변위를 감지한다. 삼상(three phase) D/A 컨버터(3DA)를 통하여, 제어 시스템은 삼-상 구동 유닛(A1A)를 제어하고, 이는 구동 신호(SmA)로 모터를 실행(enforce)시킨다.
도시된 실시예에서, 슬롯-다이 코팅 기구는 추가적으로 지지대-측 유닛(55A)의 움직임을 댐핑하기 위한 액티브 댐핑 시스템(active damping system)을 포함한다. 액티브 댐핑 시스템은 추가적인 선형 모터(61A)를 포함하고 이는 드라이버(A2A)의 구동 신호(Sm2A)에 의하여 실행되고, 드라이버(A2A)는 홀 센서(73A)와 결합되는 네게티브 피드백 입력을 가지고, 홀 센서(Hall sensor, 73A)는 지지대(60)에 대하여 지지대-측 유닛(55A)의 위치를 측정하고 이에 응답하여 신호(Dm2A)를 감지한다. 도시된 실시예에서, 댐핑 시스템(A2A, 61A, 73A)은 타임 인터벌로 활성화되고, 코팅 헤드(2)는 코팅된 기판(1)에 대하여 안정된 위치(stable position)에서 유지된다.
기판 상에 코팅된 패턴에 의존하여, 코팅 헤드의 움직임은 공진(resonance) 때문에 기구의 파츠의 여진(excitation)이 발생함을 야기시킬 수 있다. 이는 코팅되는 패턴들, 움직임 프로파일, 또는 코팅이 발생하는 속도를 적절하게 선택하는 것에 의하여 회피될 수 있고, 그러나 이는 가능하게도 코팅 공정에 제약조건이 될 수 있다 .
댐핑 시스템은 여진과 같이 반작용한다(counteract). 비록 댐핑은 피동적으로(passively) 제공될 수 있지만, 액티브 댐핑 시스템은 댐핑 시스템이 최적화된 속도 및 특정 패턴의 정확성을 적용할 수 있는 것과 같이 환경에 대하여 조절될 수 있다는 점에서 유리한 점을 가진다.
예로 들은 실시예에서, 댐핑 설비는 헤드-측 유닛을 옮기는 동안 비활성화된다.
몇 개의 응용을 위하여 단지 요구되는 코팅 패턴을 달성하기 위하여 코팅 헤드를 옮기는 것으로 충분할 수 있고, 예를 들어 만일 제공되는 패턴이 오직 기판의 수송 방향 내 짧은 거리를 넘어서 중단(interruption)을 가지는 경우에 그러하다. 이 경우에, 코팅 유체의 흐름은 중단될 필요가 없다. 만일 코팅 헤드가 코팅 층 내에서 중단을 형성하기 위하여 기판 표면으로부터 떨어지도록 이동되는 경우에는 이로 충분하다.
일 실시예에서, 슬롯-다이 코팅 기구는 코팅 유체 공급을 제어하기 위한 추가적인 제어기를 포함한다. 여기서 코팅 유체의 유동은 더 긴 코팅되지 않은 부분을 획득하기 위하여 중단될 수 있다. 추가적인 제어기는 바람직하게 모터를 제어하기 위한 제어기(80A)와 동기화 될 수 있다.
사용되는 코팅 유체에 의존하여, 기판 표면의 표면 에너지 및 다른 조건들, 예를 들어 기판의 수송 속도, 코팅 유체 공금의 제어 신호는, 모터의 제어 신호를 지연 시키거나 앞당기거나 또는 이와 일치시킬 수 있다. 예를 들어, 코팅 유체 공급은 기판에 인접한 코팅 헤드의 요구되는 위치에서 코팅 헤드가 도착하는 시간의 지점(point) 이후에 제2 미리 정해진 시간 이전에 제1 시간을 연장시키는 시간 간격(time interval) 내 시간의 선택된 지점에서 활성화된다.
유사하게도, 코팅 유체 공급은 기판으로부터 떨어진 코팅 헤드의 요구되는 위치에서 코팅 헤드가 도착하는 시간의 지점(point) 이후에 제2 미리 정해진 시간 이전에 제1 시간을 연장시키는 시간 간격(time interval) 내 시간의 선택된 지점에서 비활성화된다.
도 6는 도 5의 제어 시스템의 부분을 더 자세히 도시한다. 도5에 도시된 바와 같이, 실시예에 따른 제어기(80A)는 제1 제어 모듈(82A) 및 제2 제어 모듈(84A)를 포함한다. 제1 제어 모듈(84A)는 분리기(81A)에 의하여 제공되는 오류 신호(error signal) 에 응답하는 제1 제어 신호를 생성한다. 제2 제어 모듈(84A)는 제2 분리기(83A)로부터 수신되는 오류 신호에 응답하여 모터를 제어하기 위한 구동 신호를 생성하고, 제2 분리기(83A)는 선형 엔코더 신호(LmA)와 제1 제어 신호를 비교한다. 제2 제어 모듈(84A)는 모터(52A, 56A)의 특성을 비-선형 응답으로 보상한다. 제1 제어 모듈(82A)는 코팅 헤드의 위치의 빠르고 정확한 제어를 제공하기 위하여 최적화되고, 모터(52A, 56A) 및 제어 파츠(83A, 84A)의 조합(C)의 선형 특성을 이용한다.
예시적인 실시예들은 기판 상에 코팅 층을 제공하기 위하여 도시되고, 또한 대안적인 방법은 통상의 기술자에 의하여 유사한 기능 및 결과를 달성하는 것을 본 발명의 개시의 장점을 가지도록 예상될 수 있다(envisage). 논의되고 도시된 실시예의 다양한 요소들은 특정한 장점을 제공하고, 이는 균일한 코팅 층을 제공하는 것이다.
물론, 어떠한 상기 실시예 및 공정들은 하나 또는 이상의 다른 공정 또는 실시예와 결합될 수 있고, 이는 보다 나은 추가적인 개선을 제공하기 위함이고, 이는 디자인들과 장점들을 발견하거나 매칭시키는 과정에서 발생할 수 있고, 예를 들어 슬롯 다이 코팅, 일시적(intermittent) 코팅, 심(shim) 코팅, 노치드 다이 코팅 및/또는 프리-피터닝 기판과의 결합 등을 들 수 있다는 점은, 높이 평가될 수 있다.
앞서 설명한 기술은 태양열 전지 판 제조에 특별히 장점을 제공하고, 일반적으로 기판 또는 웹 상에 균일한 패턴화된 층의 큰-스케일의 생산의 어떠한 응용에 적용될 수 있다는 점은 높이 평가될 수 있다.
마지막으로, 위의-논의는 단지 본 발명의 시스템을 명백하게 하는 것으로 의도될 뿐, 첨부된 청구항이 어떠한 특별한 실시예 또는 실시예들의 그룹으로 제한되도록 설명되어서는 안된다. 따라서, 본 발명의 시스템은 특정한 예시적인 실시예들을 참고하여 더 자세히 설명되었고, 다수의 변형 또는 대안 실시예가 통상의 기술자에게 다음의 청구항에 다른 본 발명의 시스템 및 방법의 범위로부터 출발하지 않고도 궁리될 수 있다는 것은, 높이 평가되어야 한다.
발명의 상세한 설명 및 도면들은, 설명적인 방식으로 따라서 간주될 것이고 첨부된 청구항의 범위를 제한하도록 의도된 것이 아니다.
첨부된 청구항에 해석에 있어서, 단어 "포함하는"은 주어진 청구항에 기재된 다른 요소 또는 행동의 존재를 배척하는 것이 아니고; 선행하는 요소를 나타내는 단어 "하나" 또는 "일"은 이러한 요소의 복수 개의 존재를 배척하는 것이 아니고; 어떠한 청구항에 기재된 참조 부호는 청구항의 범위를 것이 아니고; 몇 개의 "수단"은 동일하거나 다른 아이템(들) 또는 실시되는 구조 또는 기능에 의하여 표현될 수 있고; 어떠한 개시된 장치 또는 부분들은 서로 결합되거나 추가적인 부분들로 분리될 수 있고, 특별히 언급되지 않는 방향으로는 그렇게 되지 않을 수 있다 점은 더 잘 이해될 수 있다. 특정 측정이 상호적으로 다른 청구항에서 언급된다는 단순한 사실은 이러한 측정들의 결합이 유리하게 사용되는 것을 나타내지 않는다.

Claims (13)

  1. 기판(1) 상에 패턴화된 코팅 층(3)을 제조하기 위한 슬롯-다이 코팅 기구에 있어서, 상기 기구는,
    지지대 상에 정렬되고 기판 면(1s)를 포함하는 기판(1)을 제공하기 위한 기판 캐리어(6);
    적어도 하나의 모터(52, 56, 56A)에 의하여 서로에 대하여 상호간에 이동가능한 적어도 하나의 헤드-측 유닛(50) 및 지지대-측 유닛(55)를 포함하는 코팅 장치, 상기 헤드-측 유닛은 적어도 하나의 모터 및 슬롯-다이 코팅 헤드(2)를 포함하고, 상기 슬롯-다이 코팅 헤드(2)는 코팅 유체(3f)가 흘러나오는 유출 개구(2a)를 포함하고, 상기 유출 개구(2a)는 사용 시 상기 기판 면(1s) 위로 슬릿 방향(y) 내 정렬되는 슬릿을 형성하고, 지지대-측 유닛(55, 55A)은 적어도 하나의 모터의 고정자 파츠(56, 56A)를 포함하고;
    상기 유출 개구(2a) 및 기판 캐리어의 표면 또는 슬릿 방향(y)를 가로지르는 병진 방향(x) 내 기판 표면 사이의 거리(D)를 측정하고, 상기 거리(D)의 측정된 수치를 나타내는 식별 신호(Dm)을 제공하기 위한 센서 장치(70)
    요구되는 수치(Ds)를 가지는 거리에서 슬롯 다이 코팅 헤드를 위치시키기 위하여 상기 거리의 요구되는 수치(Ds)를 나타내기 위한 입력 신호(Ds)에 일치하도록 상기 적어도 하나의 모터(52, 56, 56A)를 제어하기 위한 제어기(80);를 포함하고,
    적어도 하나의 지지대-측 유닛(55)는 적어도 하나의 헤드-측 유닛(50)의 질량과 적어도 동일한 질량을 가지고, 적어도 하나의 지지-측 유닛(55)은 지지대(60)에 유연하게 결합되는, 슬롯-다이 코팅 기구.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 병진 방향(x)은 수평 평면 내 정렬되는 슬롯-다이 코팅 기구.
  3. 제1항에 있어서,
    고정자 파츠(56B)를 포함하는 추가적인 지지대-측 유닛(55B)을 포함하고, 적어도 하나의 지지대-측 유닛(55A) 및 적어도 추가적인 지지대 측 유닛(55B)는 모두 적어도 헤드-측 유닛(50)의 질량과 적어도 동일한 질량을 가지고, 적어도 하나의 지지대-측 유닛은 유연하게 지지대에 결합되고, 상기 헤드-측 유닛은 제2 모터 및 중앙 스테이지(54)의 병진 파츠(54B)를 더 포함하고, 중앙 스테이지에 코팅 헤드(2)가 제1 단부에서 장착되고, 제1 단부에서 제1 및 제2 모터의 병진 부분(52A, 52B)이 각각의 측면에서 정렬되는, 슬롯-다이 코팅 기구.
  4. 제3항에 있어서,
    지지대 측 유닛(55A) 및 추가적인 지지대_측 유닛(55B) 모두의 유연한 결합은 상기 병진 방향을 가로지는 평면 상에 정렬되는 개별적인 제1 잎 스프링(58A1, 58B1) 및 제2 잎 스프링(58A2, 58B2)을 포함하고, 지지대-측 유닛 및 추가적인 지지대-측 유닛은 지지대에 대한 각각의 제1 및 제2 잎 스프링과 함께 각각의 단부에서 결합되는, 슬롯-다이 코팅 기구.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 지지대-측 유닛 및 추가적인 지지대-측 유닛에는 지지대(60) 상에 장착되는 레일(64A1) 내로 미끄러지도록 정렬되는 댐퍼 판(59A1)이 제공되는, 슬롯-다이 코팅 기구.
  6. 제3항에 있어서,
    상기 중앙 스테이지(54)는 지지대(60)와 하나 또는 이상의 잎 스프링들(53A, 53B)에 의하여 상기 중앙 스테이지(54)의 제1 단부와 결합되고, 지지대(60)는 상기 병진 방향(x)을 지나가는 평면 내로 정렬되는 슬롯-다이 코팅 기구.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 중앙 스테이지(54)는 상기 슬릿 방향(y) 및 상기 병진 방향(x)으로 연장하는 바(53C)에 의하여 지지대(60)와 상기 중앙 스테이지(54)의 제2 단부와 결합되고, 상기 바(53C)의 연장 방향을 지나가는 방향으로 상기 제2 단부를 병진 이동시키는 슬롯-다이 코팅 기구.
  8. 제3항에 있어서,
    지지대(60)와 견고하게 결합되는 블로킹 부재(62)를 더 포함하고,
    상기 블로킹 부재(62)는 중앙 스테이지(54) 내 개구(544)를 통과하는 역할(play)을 구비한 병진 방향(x)을 지나가는 방향(z)으로 돌출하는, 슬롯-다이 코팅 기구.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 제어기는 상기 지지대-측 유닛의 움직임을 능동적으로 완충시키기 위한 댐핑 설비를 포함하는, 슬롯-다이 코팅 기구.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 댐핑 설비는 헤드-측 유닛(50)을 대체하는 동안 비활성화되는, 슬롯-다이 코팅 기구.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 댐핑 설비는 지지대-측 유닛(55A)의 위치를 제어하기 위한 분리 제어 유닛(A2A, 73A, 61A)을 포함하는 슬롯-다이 코팅 기구.
  12. 제1항에 있어서,
    코팅 유체 공급을 제어하기 위한 추가적인 제어기를 더 포함하고, 상기 추가적인 제어기는 적어도 하나의 모터(52, 56; 56A)를 제어하기 위한 제어기(80)와 동기화되는 슬롯-다이 코팅 기구.
  13. 기판(1) 상에 패턴화된 코팅 층(3)을 제조하기 위한 방법에 있어서,
    상기 방법은,
    기판 표면(1s)를 포함하는 기판(1)을 제공하는 단계;
    적어도 하나의 모터(52, 56, 56A)에 의하여 서로에 대하여 상호간에 이동가능한 적어도 하나의 헤드-측 유닛(50) 및 지지대-측 유닛(55)를 포함하는 코팅 장치를 제공하는 단계; 상기 헤드-측 유닛은 적어도 하나의 모터의 병진 파츠(52A) 및 슬롯-다이 코팅 헤드(2)를 포함하고, 상기 슬롯-다이 코팅 헤드(2)는 사용 시 코팅 유체(3f)가 흘러나오는 유출 개구(2a)를 포함하고, 상기 유출 개구(2a)는 사용 시 상기 기판 면(1s) 위로 슬릿 방향(y) 내 정렬되는 슬릿을 형성하고, 지지대-측 유닛(55, 55A)은 적어도 하나의 모터의 고정자 파츠(56)를 포함하고,
    상기 유출 개구(2a) 및 기판 캐리어의 표면 또는 슬릿 방향(y)를 가로지르는 병진 방향(x) 내 기판 표면 (1s) 사이의 거리(D)를 측정하고, 상기 거리(D)의 측정된 수치를 나타내는 식별 신호(Dm, DmA)를 제공하기 위한 센서 설비(70, 71A)를 제공하는 단계;
    요구되는 수치(Ds)를 가지는 거리에서 슬롯 다이 코팅 헤드를 위치시키기 위하여 상기 거리(D)의 요구되는 수치(Ds, DsA)를 나타내기 위한 입력 신호(Ds)에 일치하도록 상기 적어도 하나의 모터(50)를 제어하기 위하여 정렬되는 제어기(80)를 제공하는 단계;를 포함하고,
    적어도 하나의 지지대-측 유닛(55)는 적어도 하나의 헤드-측 유닛(50)의 질량과 적어도 동일한 질량을 가지고, 적어도 하나의 지지대-측 유닛(55)은 지지대(60)에 유연하게 결합되는 방법.
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