CN105446041A - 液晶显示面板及其制作方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种液晶显示面板及其制作方法,所述液晶显示面板包括基板、设置在所述基板上的装置层、设置在装置层表面的数据线及设置在所述装置层表面和/或数据线表面的有机绝缘层,所述有机绝缘层具有一对应所述数据线的沟槽,一黑色矩阵设置在所述沟槽内,所述黑色矩阵的表面与所述有机绝缘层的表面平齐。本发明的优点在于,去除玻璃基板上面黑色矩阵形成的凸起结构,防止凸起结构引起的液晶配向不良;省掉黑色矩阵的光罩,节省生产使用的光罩数目,简化生产制程。

Description

液晶显示面板及其制作方法
技术领域
本发明涉及液晶显示面板领域,尤其涉及一种液晶显示面板及其制作方法。
背景技术
液晶显示器是目前使用最广泛的一种平板显示器,已经逐渐成为各种电子设备如移动电话、个人数字助理(PDA)、数字相机、计算机屏幕或笔记本电脑屏幕所广泛应用具有高分辨率彩色屏幕的显示器。随着液晶显示器技术的发展进步,人们对液晶显示器的显示品质,外观设计等提出了更高的要求。
随着人们对液晶显示器的显示品质提出更高的要求,BOA(BlackMatrixonArray,黑色矩阵贴附于阵列基板)技术日益受到人们的重视。传统液晶显示器的液晶盒有三部分组成:阵列基板(Array基板)、液晶层、彩膜基板(CF基板)。Array基板载有面板驱动电路,CF基板载有黑色矩阵、彩色滤光片、光阻间隙(PhotoSpacer)。BOA技术把彩色滤光片做在Array基板上,该技术可以减小玻璃成盒后,由于Array基板和CF基板对位偏差造成的穿透率下降,大视角色偏等缺陷。近年来,曲面电视迅猛发展,BOA技术可以解决上下基板错位导致遮光区域不匹配的问题,避免面板弯曲过程中,造成的穿透率下降和色偏等问题,受到了人们的重视。
图1为现有的BOA结构。参见图1,此图所示为像素电极中数据线(Dataline)处的剖面结构图。在玻璃基板10上设置有装置层11(DeviceLayers),所述装置层11的结构为常见的TFT制程,如a-Si、IGZO、LTPS等。数据线12上面有无机绝缘层13,所述无机绝缘层13例如为SiNx或SiO2,在无机绝缘层13上设置有有机绝缘层14(PFA)、透明电极层15(例如为氧化铟锡ITO)及黑色矩阵16(BM)。现有的BOA结构,其黑色矩阵16的上表面突出于透明电极层15的上表面,形成凸起结构。该凸起结构会引起液晶配向不良,且形成黑色矩阵16需要增加光罩,不利于工艺简化。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是,提供一种液晶显示面板及其制作方法,既能够防止凸起结构引起的液晶配向不良,又能够简化生产制程。
为了解决上述问题,本发明提供了一种液晶显示面板,包括基板、设置在所述基板上的装置层、设置在装置层表面的数据线及设置在所述装置层表面和/或数据线表面的有机绝缘层,所述有机绝缘层具有一对应所述数据线的沟槽,一黑色矩阵设置在所述沟槽内,所述黑色矩阵的表面与所述有机绝缘层的表面平齐。
进一步,还包括一彩色滤光层,所述彩色滤光层设置在所述装置层表面,并覆盖所述数据线,所述有机绝缘层设置在所述彩色滤光层表面上。
进一步,还包括一无机绝缘层,所述无机绝缘层设置在所述装置层表面,并覆盖所述数据线,所述有机绝缘层设置在所述无机绝缘层表面上。
进一步,还包括一彩色滤光层,所述彩色滤光层设置在所述无机绝缘层与所述有机绝缘层之间。
进一步,所述有机绝缘层表面设置有公共电极。
进一步,所述沟槽宽度大于所述数据线宽度。
进一步,所述装置层为薄膜晶体管层。
本发明还提供一种液晶显示面板的制作方法,包括如下步骤:步骤(a),提供一基板、在所述基板上依次设置有装置层、数据线及设置在所述装置层表面和/或数据线表面的有机绝缘层;步骤(b),在所述有机绝缘层上形成沟槽,所述沟槽对应所述数据线;步骤(c),在所述沟槽内及所述有机绝缘层表面形成黑色矩阵;步骤(d),去除所述有机绝缘层表面的黑色矩阵,使得沟槽内的黑色矩阵的表面与所述有机绝缘层的表面平齐。
进一步,在步骤(d)中,采用干法刻蚀或正型黑色矩阵光阻掩膜的方法,去除特定厚度的黑色矩阵,使得沟槽内的黑色矩阵的表面与所述有机绝缘层的表面平齐。
进一步,在步骤(d)中,采用过刻蚀的方法去除所述有机绝缘层表面的黑色矩阵,以避免在所述有机绝缘层表面残留黑色矩阵。
本发明的优点在于,去除玻璃基板上面黑色矩阵形成的凸起结构,防止凸起结构引起的液晶配向不良;省掉黑色矩阵的光罩,节省生产使用的光罩数目,简化生产制程。
附图说明
图1是现有的BOA型液晶显示面板的结构示意图;
图2是本发明液晶显示面板的第一具体实施方式的结构示意图;
图3是本发明液晶显示面板的第二具体实施方式的结构示意图;
图4是本发明液晶显示面板的第三具体实施方式的结构示意图;
图5是本发明液晶显示面板的第四具体实施方式的结构示意图;
图6是本发明液晶显示面板制作方法的步骤示意图;
图7A~图7E是本发明液晶显示面板制作方法的工艺流程图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明提供的液晶显示面板及其制作方法的具体实施方式做详细说明。
参见图2所示,本发明一种液晶显示面板包括基板20、设置在所述基板20上的装置层21、设置在装置层21表面的数据线22及设置在所述装置层21表面和/或数据线22表面的有机绝缘层23。
所述有机绝缘层23具有一对应所述数据线22的沟槽24。在本第一具体实施方式中,所述有机绝缘层23设置在所述装置层21的表面,所述数据线22设置在所述沟槽24内。
一黑色矩阵25设置在所述沟槽24内,并覆盖所述数据线22,优选地,所述沟槽24宽度大于所述数据线22的宽度。所述黑色矩阵25的表面与所述有机绝缘层23的表面平齐,使得黑色矩阵25并未在有机绝缘层23的表面形成的凸起结构,从而能够防止凸起结构引起的液晶配向不良。
进一步,在所述有机绝缘层23表面设置有公共电极26。所述公共电极26可以为透明电极,例如ITO电极。所述装置层21的结构为常见的TFT制程,如a-Si、IGZO、LTPS等。所述基板20可以为玻璃基板。
参见图3,在本发明液晶显示面板的第二具体实施方式中,所述液晶显示面板还包括一彩色滤光层27。所述彩色滤光层27设置在所述装置层21表面,并覆盖所述数据线22,所述有机绝缘层23设置在所述彩色滤光层27表面上。所述彩色滤光层27为本领域常用结构,本领域技术人员从现有技术中可获得其结构,本文不再赘述。
参见图4,在本发明液晶显示面板的第三具体实施方式中,所述液晶显示面板还包括一无机绝缘层28,所述无机绝缘层28设置在所述装置层21表面,并覆盖所述数据线22,所述有机绝缘层23设置在所述无机绝缘层28表面上。所述无机绝缘层28可以为SiNx或SiO2。
参见图5,在本发明液晶显示面板的第四具体实施方式中,所述液晶显示面板包括一彩色滤光层27及一无机绝缘层28,所述彩色滤光层27设置在所述无机绝缘层28与所述有机绝缘层23之间。
本发明还提供一种液晶显示面板的制作方法,参见图6,所述制作方法包括如下步骤:
步骤S60、提供一基板、在所述基板上依次设置有装置层、数据线及设置在所述装置层表面和/或数据线表面的有机绝缘层;步骤S61,在所述有机绝缘层上形成沟槽,所述沟槽对应所述数据线;步骤S62,在所述沟槽内及所述有机绝缘层表面形成黑色矩阵;步骤S63,去除所述有机绝缘层表面的黑色矩阵,使得沟槽内的黑色矩阵的表面与所述有机绝缘层的表面平齐。
图7A~图7E是本发明液晶显示面板制作方法的工艺流程图。
参见步骤S60及图7A,提供一基板60、在所述基板60上依次设置有装置层61、数据线62及设置在所述装置层61表面和/或数据线62表面的有机绝缘层63。在本具体实施方式中,所述有机绝缘层63设置在所述装置层61表面并覆盖所述数据线62。
在其他具体实施方式中,还可以包括无机绝缘层和/或彩色滤光层(附图中未标示),所述无机绝缘层和/或彩色滤光层设置在所述所述装置层61表面并覆盖所述数据线62,所述有机绝缘层63设置在无机绝缘层和/或彩色滤光层表面。
参见步骤S61及图7B,在所述有机绝缘层63上形成沟槽64,所述沟槽64对应所述数据线62。在本具体实施方式中,由于所述有机绝缘层63覆盖所述数据线62,因此,在形成沟槽64后,所述数据线62设置在所述沟槽64内。本领域技术人员可从现有技术中获取形成沟槽64的方法。
参见步骤S62及图7C,在所述沟槽64内及所述有机绝缘层63表面形成黑色矩阵65。所述黑色矩阵65可以采用沉积等本领域技术人员熟知的方法形成。由于沟槽64的存在,在沟槽处的黑色矩阵65较厚,在有机绝缘层63无沟槽处,黑色矩阵65较薄。
参见步骤S63及图7D,去除所述有机绝缘层63表面的黑色矩阵65,使得沟槽64内的黑色矩阵65的表面与所述有机绝缘层63的表面平齐。
在该步骤中,可以采用干法刻蚀的方法,去除特定厚度的黑色矩阵65,进而去除有机绝缘层63表面的黑色矩阵95。进一步,为了防止有机绝缘层63表面黑色矩阵65残留,沟槽处的黑色矩阵65要过刻蚀,因此,理想状态下,沟槽64内的黑色矩阵65的表面与所述有机绝缘层63的表面平齐,实际上,沟槽64内的黑色矩阵65的表面略低于所述有机绝缘层63的表面。
在该步骤中,还可以使用正型黑色矩阵光阻法去除黑色矩阵65。首先对黑色矩阵65照射特定剂量UV光,使上层黑色矩阵65感光,沟槽64深处黑色矩阵65不感光,然后去掉上层BM,仅剩余沟槽处黑色矩阵65。
在步骤S63之后,进一步还包括一步骤S64,在所述有机绝缘层63表面形成公共电极66。
综上所述,本发明提供的液晶显示面板,通过将该液晶面板的黑色矩阵设于在有机绝缘层上预先形成的沟槽内部,从而去除玻璃基板上面黑色矩阵形成的凸起结构,防止凸起结构引起的液晶配向不良,省掉黑色矩阵的光罩,节省生产使用的光罩数目。本发明提供的液晶显示面板的制作方法,预先在有机绝缘层上设置沟槽,并在沟槽中形成黑色矩阵,从而去除玻璃基板上面黑色矩阵形成的凸起结构,防止凸起结构引起的液晶配向不良,省掉黑色矩阵的光罩,节省生产使用的光罩数目。
以上所述仅是本发明的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员,在不脱离本发明原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种液晶显示面板,包括基板、设置在所述基板上的装置层、设置在装置层表面的数据线及设置在所述装置层表面和/或数据线表面的有机绝缘层,其特征在于,所述有机绝缘层具有一对应所述数据线的沟槽,一黑色矩阵设置在所述沟槽内,所述黑色矩阵的表面与所述有机绝缘层的表面平齐。
2.根据权利要求1所述的液晶显示面板,其特征在于,还包括一彩色滤光层,所述彩色滤光层设置在所述装置层表面,并覆盖所述数据线,所述有机绝缘层设置在所述彩色滤光层表面上。
3.根据权利要求1所述的液晶显示面板,其特征在于,还包括一无机绝缘层,所述无机绝缘层设置在所述装置层表面,并覆盖所述数据线,所述有机绝缘层设置在所述无机绝缘层表面上。
4.根据权利要求3所述的液晶显示面板,其特征在于,还包括一彩色滤光层,所述彩色滤光层设置在所述无机绝缘层与所述有机绝缘层之间。
5.根据权利要求1所述的液晶显示面板,其特征在于,在所述有机绝缘层表面设置有公共电极。
6.根据权利要求1所述的液晶显示面板,其特征在于,所述沟槽宽度大于所述数据线宽度。
7.根据权利要求1所述的液晶显示面板,其特征在于,所述装置层为薄膜晶体管层。
8.一种液晶显示面板的制作方法,其特征在于,包括如下步骤:
步骤(a),提供一基板、在所述基板上依次设置有装置层、数据线及设置在所述装置层表面和/或数据线表面的有机绝缘层;
步骤(b),在所述有机绝缘层上形成沟槽,所述沟槽对应所述数据线;
步骤(c),在所述沟槽内及所述有机绝缘层表面形成黑色矩阵;
步骤(d),去除所述有机绝缘层表面的黑色矩阵,使得沟槽内的黑色矩阵的表面与所述有机绝缘层的表面平齐。
9.根据权利要求8所述的制作方法,其特征在于,在步骤(d)中,采用干法刻蚀或正型黑色矩阵光阻掩膜的方法,去除特定厚度的黑色矩阵,使得沟槽内的黑色矩阵的表面与所述有机绝缘层的表面平齐。
10.根据权利要求8所述的制作方法,其特征在于,在步骤(d)中,采用过刻蚀的方法去除所述有机绝缘层表面的黑色矩阵,以避免在所述有机绝缘层表面残留黑色矩阵。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017121065A1 (zh) * 2016-01-11 2017-07-20 深圳市华星光电技术有限公司 液晶显示面板及其制作方法
CN107045237A (zh) * 2017-02-04 2017-08-15 合肥京东方光电科技有限公司 阵列基板及其制造方法
CN108873526A (zh) * 2018-07-19 2018-11-23 京东方科技集团股份有限公司 阵列基板及其制造方法、显示装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101673017A (zh) * 2009-10-28 2010-03-17 友达光电股份有限公司 主动元件阵列基板及其制造方法
CN202013464U (zh) * 2011-03-28 2011-10-19 京东方科技集团股份有限公司 一种彩膜基板、液晶面板及显示设备
US8350994B1 (en) * 1996-12-03 2013-01-08 Lg Display Co., Ltd. Method of manufacturing a liquid crystal display
CN105093654A (zh) * 2015-08-27 2015-11-25 京东方科技集团股份有限公司 阵列基板及其制作方法和显示装置

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104614893A (zh) * 2015-03-03 2015-05-13 京东方科技集团股份有限公司 一种显示基板及其制作方法、显示装置
CN104749816B (zh) * 2015-04-14 2017-11-10 京东方科技集团股份有限公司 一种显示基板的制作方法、显示基板和显示装置
CN105446041A (zh) * 2016-01-11 2016-03-30 深圳市华星光电技术有限公司 液晶显示面板及其制作方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8350994B1 (en) * 1996-12-03 2013-01-08 Lg Display Co., Ltd. Method of manufacturing a liquid crystal display
CN101673017A (zh) * 2009-10-28 2010-03-17 友达光电股份有限公司 主动元件阵列基板及其制造方法
CN202013464U (zh) * 2011-03-28 2011-10-19 京东方科技集团股份有限公司 一种彩膜基板、液晶面板及显示设备
CN105093654A (zh) * 2015-08-27 2015-11-25 京东方科技集团股份有限公司 阵列基板及其制作方法和显示装置

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017121065A1 (zh) * 2016-01-11 2017-07-20 深圳市华星光电技术有限公司 液晶显示面板及其制作方法
CN107045237A (zh) * 2017-02-04 2017-08-15 合肥京东方光电科技有限公司 阵列基板及其制造方法
US11088184B2 (en) 2017-02-04 2021-08-10 Boe Technology Group Co., Ltd. Array substrate and method of manufacturing the same
CN107045237B (zh) * 2017-02-04 2022-02-15 合肥京东方光电科技有限公司 阵列基板及其制造方法
CN108873526A (zh) * 2018-07-19 2018-11-23 京东方科技集团股份有限公司 阵列基板及其制造方法、显示装置

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