CN105359250A - 带电粒子束装置和带电粒子束装置的调整方法 - Google Patents

Abstract

在通用性高的带电粒子束装置中，即使经验少的操作者也可容易而且正确地进行操作，从而取得高分辨率。具备：可动物镜光圈(6)，相对于物镜(12)配置在带电粒子源(1)侧，具有多个物镜光圈；存储部(43)，存储一次带电粒子束(2)的多个照射条件；以及动作控制部(41)，判断所配置的物镜光圈是否适合所选择的照射条件，在不适合时在图像显示部(42)上显示不适合，在适合时，执行调整一次带电粒子束(2)以便适合所选择的照射条件的事先调整，把执行的结果作为与照射条件有关的参数预先存储在存储部(43)中。

Description

带电粒子束装置和带电粒子束装置的调整方法

技术领域

本发明涉及适于修正带电粒子光学***的光轴的偏离，稳定地得到高分辨率的带电粒子束装置和带电粒子束装置的调整方法。

背景技术

以扫描电子显微镜为代表的带电粒子束装置，向试样上的希望的区域(视野)扫描带电粒子束，与扫描位置对应地记录从该扫描区域释放的带电粒子信号，由此使观察位置图像化。在扫描电子显微镜中，加速电压、探针电流、物镜与试样之间的距离和信号检测器等可自由设定的参数有很多，成为给人留下操作复杂的印象的主要原因。

另外，在每次改变这些参数时，需要光轴调整、像散调整等各种各样的调整作业。

作为与本发明相关的现有技术文献，有专利文献1和专利文献2。两文献也都涉及带电粒子束装置的自动调整。

专利文献1涉及相对于物镜的光轴偏离的自动调整、以及进行视野修正从而消除相对于像散修正器变化的图像运动，在像散调整时观察图像不运动的调整的自动调整。另外，专利文献2除了涉及专利文献1的内容以外，还涉及把光轴调整到物镜光圈的中心的自动调整。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2003-22771号公报

专利文献2：日本特开2008-84823号公报

发明内容

发明要解决的问题

本发明的发明人对于经验少的操作者修正通用性高的带电粒子束装置的光轴偏离进行了认真的研究，结果发现以下的结论。

在仅以特定的试样为对象的检查装置、测量装置中，如果利用专利文献1、2的技术，则自动调整失败的可能性极小。但是，在能够观察各种观察试样，对象观察试样范围广的通用性高的带电粒子束装置中，由于调整条件复杂，所以存在由于观察试样导致自动调整失败的可能。

在自动调整失败时需要手动调整。如果在自动调整失败时最终需要手动调整，则认为会很多操作者从一开始就不使用自动调整功能而进行手动调整。

但是，手动调整需要靠经验支撑的技术，要么操作者的调整精度有波动，要么调整需要时间。

另外，操作者没有察觉到调整不足就继续观察，还会对装置性能产生不满。而且，近年来，扫描电子显微镜不再是仅由有限的人使用的特殊装置，操作者的范围扩大，所以可以想象期待操作者学习技术将变得困难。

为了使经验少的操作者无须复杂的调整就可以操作带电粒子束装置，考虑了以下的应用：由熟练者手动调整带电粒子束照射条件，登录该条件，经验少的操作者调出登录值了来进行使用。

但是，在通用性高的带电粒子束装置中，决定向试样的照射电流的物镜光圈一般是可动式的，可以想象操作者会经常地改变物镜光圈的位置，难以事先登录物镜光圈的位置。因此，难以判断熟练者进行了手动调整时的物镜光圈位置与当前的物镜光圈位置是否相同，在物镜光圈的位置与调整后的位置不同时，所登录的条件调整值变得没有意义，需要再进行调整。

另外，当操作者从带电粒子束装置暂时离开时，即使再次操作装置，操作者也无法掌握物镜光圈位置是否发生了变化，所以结果每次使用装置时都需要实施手动调整并进行登录的操作。在通用性高的带电粒子束装置中，试样台的Z坐标可以自由设定，在熟练者手动调整时的Z坐标与当前的Z坐标不同时也需要再进行调整。

本发明的目的在于，对于观察试样的种类范围广，具有难以事先登录的与一次带电粒子束的照射条件有关的参数的通用性高的带电粒子束装置，即使是经验少的操作者也可容易而且正确地进行操作，从而取得高分辨率。

用于解决问题的手段

本发明的带电粒子束装置例如具备：带电粒子源；用于聚焦从上述带电粒子源释放的一次带电粒子束的聚焦透镜；用于把上述一次带电粒子束聚焦到试样上的物镜；相对于上述物镜配置在上述带电粒子源一侧的具有多个物镜光圈的可动物镜光圈；检测由于上述一次带电粒子束的照射从试样产生的二次信号的检测器；对上述检测器检测到的二次信号进行图像处理，显示处理后的图像的图像显示部；存储上述一次带电粒子束的多个照射条件的存储部；以及动作控制部。

动作控制部选择上述照射条件，判断配置的物镜光圈是否适合于选择的照射条件，在上述物镜光圈不适合时在上述图像显示部上显示不适合，在上述物镜光圈适合于选择的照射条件时，执行调整上述一次带电粒子束的事先调整以便适合选择的照射条件，把执行的结果作为与照射条件有关的参数预先存储在上述存储部中。

另外，本发明的带电粒子束装置的调整方法例如在存储部中存储带电粒子束装置的与一次带电粒子束照射有关的多个照射条件，选择上述存储部中存储的多个照射条件，判断配置的物镜光圈是否适合所选择的照射条件，在上述物镜光圈不适合时，在上述图像显示部上显示不适合，在上述物镜光圈适合所选择的照射条件时，执行调整上述一次带电粒子束的事先调整以便适合所选择的照射条件，把执行的结果作为与照射条件有关的参数预先存储在上述存储部中。

发明的效果

可实现对于观察试样的种类范围广，具有难以事先登录的与一次带电粒子束的照射条件有关的参数的通用性高的带电粒子束装置，即使是经验少的操作者也可以容易而且正确地进行操作从而取得高分辨率的带电粒子束装置和带电粒子束装置的调整方法。

附图说明

图1是表示扫描电子显微镜装置的一个例子的概要结构图。

图2是照射条件选择的用户界面(UI)的一个例子。

图3是用于开始进行事先的自动调整的UI的一个例子。

图4是波束中心轴调整用图像的一个例子。

图5是事先调整的动作流程图的一个例子。

图6是变更为推荐的光圈序号的指示图像的一个例子。

图7是调整可动物镜光圈的位置的指示图像的一个例子。

图8是试样台设定画面的一个例子。

图9是可通过电动方式进行可动物镜光圈6的动作控制时的事先调整动作流程图的一个例子。

图10是扫描电子显微镜装置的通常使用时的动作流程图的一个例子。

图11是可通过电动方式进行可动物镜光圈的动作控制时的通常使用时动作流程图的一个例子。

图12是对推荐执行事先调整进行显示的画面的一个例子。

图13是对需要维护进行显示的画面的一个例子。

具体实施方式

以下，参照附图说明本发明的实施方式。

在实施例中公开了一种带电粒子束装置，其包括：带电粒子源；聚焦透镜，用于聚焦从带电粒子源释放的一次带电粒子束；物镜，用于把一次带电粒子束聚焦到试样上；可动物镜光圈，相对于物镜配置在带电粒子源侧，具有多个物镜光圈；检测器，检测由于一次带电粒子束的照射从试样产生的二次信号；图像显示部，对由检测器检测出的二次信号进行图像处理，并显示处理后的图像；存储部，存储一次带电粒子束的多个照射条件；以及动作控制部，选择照射条件，判断所配置的物镜光圈是否适合所选择的照射条件，在物镜光圈不适合时在图像显示部上显示不适合，在物镜光圈适合所选择的照射条件时，执行调整一次带电粒子束的事先调整以便适合所选择的照射条件，把执行的结果作为与照射条件有关的参数预先存储在存储部中。

另外，在实施例中公开了一种带电粒子束装置的调整方法，其在存储部中存储带电粒子束装置的与一次带电粒子束照射有关的多个照射条件；选择存储部中存储的多个照射条件；判断所配置的物镜光圈是否适合所选择的照射条件；在物镜光圈不适合时，在图像显示部上显示不适合；在物镜光圈适合所选择的照射条件时，执行调整一次带电粒子束的事先调整以便适合所选择的照射条件；把执行的结果作为与照射条件有关的参数预先存储在存储部中。

另外，在实施例中，动作控制部在图像显示部上显示并选择存储部中存储的多个照射条件，判断多个物镜光圈中的所配置的物镜光圈是否适合经由图像显示部选择的照射条件，在物镜光圈不适合时在图像显示部上显示不适合，在物镜光圈适合所选择的照射条件时，调整一次带电粒子束以便适合预先确定的调整用基准照射条件，在图像显示部上显示一次带电粒子束的中心轴调整用图像，当通过调整物镜光圈的位置，而调整了一次带电粒子束的中心轴时，调整一次带电粒子束以便适合经由图像显示部选择的照射条件。

另外，在实施例中公开了使用专用试样得到事先调整后的照射条件。

另外，在实施例中公开了具备支撑并移动试样的试样台，照射条件中还包含试样在试样台的位置，可设定多个试样台的位置。另外，公开了通过试样台支撑并移动试样，照射条件中还包含试样在试样台的位置，可设定多个试样台的位置。

另外，在实施例中公开了动作控制部判断是否需要再次执行事先调整，在需要再次执行事先调整时，使显示部显示执行事先调整的必要性。

另外，在实施例中公开了动作控制部在物镜光圈适合所选择的照射条件时，判断是否需要调整物镜光圈的位置以及是否已将物镜光圈的位置调整到允许范围内。

另外，在实施例中公开了具备支撑并移动试样的试样台，动作控制部判断是否已在试样台上设置了专用试样。另外，公开了通过试样台支撑并移动试样，判断是否已在试样台上设置了专用试样。

另外，在实施例中公开了，动作控制部定期地执行事先调整，基于通过已执行的事先调整得到的调整值，判断是否需要维护带电粒子束装置，在判断为需要维护时，使显示部显示需要维护。

另外，在以下说明的实施例中，作为带电粒子束装置的一个方式，以扫描电子显微镜(ScanningElectronMicroscope：SEM)为例进行了说明，但是不限于此，本发明也可以适用于例如，把从液体金属离子源、气体离子源释放的离子束照射到试样上的聚焦离子束(FocusedIonBeam)装置。

实施例

图1是表示应用本发明的扫描电子显微镜装置的一个例子的概要结构图。

在图1中，虚线内表示扫描电子显微镜镜筒100内的结构，从电子枪1释放的一次电子束2通过第一会聚透镜3和第二聚焦透镜7以及物镜12而会聚，并通过上段偏向线圈10和下段偏向线圈11在试样13上进行扫描。利用检测器14检测从试样13产生的信号电子，并经由检测信号控制电路31提供给计算机(动作控制部)41。然后，在图像显示装置42上显示与扫描位置对应地记录的信号。

把试样13经由未图示的保持器等设置在试样台15上，通过试样台15还可在Z方向(一次电子束2的光轴方向)上移动。试样台15的Z方向位置可设定多个。通过可动物镜光圈6限制向试样13照射的一次电子束2。可动物镜光圈6成为可切换使用大小不同的多个物镜光圈(孔径)的结构。对各物镜光圈分配了序号，装置通过使用传感器25检测物镜光圈的位置，可判断使用了哪个序号的物镜光圈。也可以不用序号而使用字母、名称(用途)来区分物镜光圈。

可动物镜光圈6不仅具有切换使用多个物镜光圈的功能，还具有在水平方向(与一次电子束的光轴垂直的面内的方向)上调整物镜光圈的位置的功能。

电子束照射条件的设定不是单独地设定各个参数，而是从组合了各个参数的电子束照射条件的一览表中进行选择。具体地说，各个参数为一次电子束2的加速电压、向试样13照射的一次电子束2的电流、试样13上的一次电子束2的扫描方式、和可动物镜光圈6的光圈序号等。

另外，还将试样台15的Z坐标也作为构成电子束照射条件的参数之一，针对各个电子束照射条件分别设定特定的值。也可以由操作者任意设定照射条件的组合。

另外，附图标记21是高电压控制电路、22是第1聚焦透镜控制电路、23是波束中心轴调整用准直器控制电路、24是波束中心轴调整用偏向器控制电路、26是第二聚焦透镜控制电路、27是像散修正器控制电路、28是准直器控制电路、29是偏向器控制电路、30是物镜控制电路、32是试样台驱动控制电路、44是手动操作盘。

图2是表示照射条件选择的用户界面(UI)的一个例子的图。在图像显示装置42上显示图2所示的画面。在图2中，操作者从照射条件1到照射条件5中选择一个，并按下设置按钮42a，由此设定照射条件。在图2中表示选择了照射条件2的状态。

当按下取消按钮42b时，保持现在的照射条件。对于在图像显示装置42上一览显示的照射条件，事先自动执行必要的调整，把调整值登录在存储装置43中。通过在设定了图2所示的照射条件后，按下设置按钮42a，调出在存储装置43中事先登录的调整值，并设定值。

下面，列举解释变更了照射条件时的必需的6个调整。

(调整1)波束中心轴调整

利用波束中心轴调整用准直器4进行调整以使一次电子束2通过可动物镜光圈6的中心。在波束中心轴调整中通过波束中心轴调整用偏向器5使一次电子束2在可动物镜光圈6上扫描，得到可动物镜光圈6上的一次电子束2的截面图像。

图4表示波束中心轴调整用图像的例子。图4的(a)是调整前的图像的例子，图4的(b)是调整后的图像的例子。通过穿过了可动物镜光圈6的一次电子束2照射试样13而产生的二次信号生成图4所示的图像，将其显示在图像显示装置42的画面上。该波束中心轴调整用图像整体的中心(扫描中心)是一次电子束2的中心，物镜光圈6位于白色圆形的位置。

在图4的(a)中，由于白圆圈的中心从图像的中心偏离，所以可知在该状态下，在观察试样图像时一次电子束2的中心没有通过可动物镜光圈6的中心。如果利用波束中心轴调整用准直器4，像图4的(b)所示的那样使白圆圈的中心向图像的中心移动，则可以实现一次电子束2通过物镜光圈6的中心的状态。

(调整2)相对于物镜的光轴偏离调整

周期性地改变物镜12的励磁电流，利用准直器9调整一次电子束2以使此时的图像的运动成为最小。

(调整3)像散修正

利用像散修正器8修正像散。

(调整4)像散修正时的图像移动修正

如果一次电子束2从像散修正器8的中心偏离，则在利用像散修正器8进行像散调整时视野运动，调整变得困难。因此，进行调整从而可通过准直器9消除与像散修正器8的动作联动地进行运动的视野。

(调整5)聚焦调整

改变物镜12的励磁电流，进行调整以使一次电子束2在试样13上聚焦。

(调整6)亮度对比度调整

调整在图像显示装置42上显示的图像的亮度对比度。

以上6个调整是在变更照射条件时需要进行的调整。

设上述的事先调整中登录的值涉及6个调整中的调整1到调整4。调整5和调整6是初学者也能容易调整的项目，所以没有登录，但是也可以登录。

图3表示用于开始事先的自动调整的UI的一个例子。在图像显示装置42上显示图3所示的画面。如果按下图3所示的开始按钮42c，则对图2所示的全部的照射条件1～5自动地执行事先调整。

图5是表示事先调整的动作流程图的一个例子的图。另外，图5所示的流程图，为了能够区别操作者的作业和扫描电子显微镜装置的动作(计算机41的指令动作)，将二者分列左右进行表示。

在图5的步骤101中，如果操作者按下自动调整执行按钮(图3的开始按钮42c)，则在步骤102中，判断当前使用的可动物镜光圈6的光圈序号对于要调整的照射条件是否合适。

在步骤102中，在判断为选择了不合适的光圈序号时，像图6所示的那样，在图像显示装置42上显示变更成推荐的光圈序号的指示(步骤103)。操作者按照图像显示的指示，利用图像显示装置42变更物镜光圈6的序号(步骤104)。

在变更了物镜光圈的序号之后，扫描电子显微镜装置将装置设定为成为用于调整可动物镜光圈6的位置的基准的照射条件(步骤105)。然后，在图像显示装置42上显示波束中心轴调整用图像后，如图7所示的那样，显示调整可动物镜光圈6的位置的指示(步骤106)。

另外，也可以存在多个成为基准的照射条件。另外，也可以是图2所示的照射条件的一览表以外的照射条件。

然后，操作者调整可动物镜光圈6的位置，以使在画面上显示的圆形图像(与图4同样的图像)来到画面中心(步骤107)。扫描电子显微镜装置也可以根据图4的白圆圈的位置自动判断是否需要进行可动物镜光圈6的位置调整。在上述的调整1中，把一次电子束2调整到可动物镜光圈6的中心，但在步骤107中的光圈位置调整中，把可动物镜光圈6的中心调整到一次电子束2的中心。

在操作者按下物镜光圈位置调整结束确认按钮(图7的OK按钮42e)之后(步骤108)，扫描电子显微镜装置对事先登录的一系列的照射条件反复进行以下的动作，即设定成事先登录的照射条件中的一个(要使用的照射条件)，执行自动调整并登录结果(适合照射条件的调整值)(步骤109)。

通过设置光圈位置调整的基准，即使在调整结束后物镜光圈6的位置由于某种原因而偏离了时，可以再次将物镜光圈6调整到相同的位置。扫描电子显微镜装置也可以自动判断是否正常地调整了可动物镜光圈6，在没有调整时发出再次调整的信息。

另外，在事先的自动调整中使用专用试样。这是为了防止自动调整的失败。关于专用试样，准备在以目标的观察倍率下进行观察时具有随机的结构的专用试样。把专用试样放置在试样台15上之后，从图8所示的试样台设定画面(图像显示装置42的画面)选择“调整专用试样”。

由此，扫描电子显微镜装置可以判断放置了调整专用试样，显示图3所示的自动调整开始画面。对事先调整用专用试样附加标记，当使装置侧能够判断所放置的试样是专用试样时，能够防止操作者错误地放置其它试样，防止事先调整失败。

上述的例子是手动调整物镜光圈6时的例子，但是在能够以电动方式进行物镜光圈的动作控制时也可以进行事先调整。

图9表示能够电动控制可动物镜光圈6时的事先调整动作流程图的一个例子。另外，图9所示的流程图也与图5所示的流程图相同，为了能够区分操作者的作业和扫描电子显微镜装置的动作，把二者分列左右进行表示。

在图9中，如果操作者按下自动调整执行按钮(图3的开始按钮42c)(步骤200)，则装置判断当前使用的可动物镜光圈6的光圈序号是否合适(步骤201)。在步骤201中，在选择了不合适的光圈序号时，自动地变更成推荐的光圈序号(步骤202)。

在步骤202中变更了光圈序号后，扫描电子显微镜装置再现存储装置43中事先存储的光圈位置(步骤203)。扫描电子显微镜装置对事先登录的一系列的照射条件反复进行以下的动作，即设定为事先在存储装置43中登录的照射条件中的一个(要使用的照射条件)，执行自动调整并登录结果(步骤204)。

另外，在能够以电动方式进行物镜光圈6的动作控制时，也可以像上述那样，在事先的自动调整中使用专用试样，防止自动调整失败。

图10表示扫描电子显微镜装置的通常使用时的动作流程图的一个例子。另外，图10所示的流程图也与图5和图9所示的流程图相同，为了能够区分操作者的作业和扫描电子显微镜装置的动作，把二者分列左右进行表示。

在图10中，如果操作者利用图2所示的UI画面选择了照射条件(步骤300)，则扫描电子显微镜装置判断当前的物镜光圈6的序号对于所选择的照射条件是否合适(步骤301)。在物镜光圈的序号不合适时，像图6所示的画面显示那样，发出变更为推荐的物镜光圈的序号的指示(步骤302)。操作者按照指示变更物镜光圈的序号(步骤303)。

在变更了物镜光圈的序号之后，扫描电子显微镜装置自动设定为成为用于调整可动物镜光圈6的位置的基准的照射条件(步骤304)，并显示波束中心轴调整用图像(与图4所示的图像相同的图像)，之后，发出调整可动物镜光圈6的位置的指示(步骤305)。装置也可以自动判断是否需要进行可动物镜光圈6的位置调整。

操作者调整可动物镜光圈6的位置，以使在画面上显示的圆形图像来到画面中心(步骤306)。通过设置光圈位置调整的基准，可以把物镜光圈6调整到与调整时相同的位置。在操作者按下物镜光圈位置调整结束确认按钮(图7的OK按钮42e)之后(步骤307)，设定成操作者选择的实际使用的照射条件(步骤308)。关于调整值，调出并设定事先调整后的已登录的调整值(309)。

装置能够自动判断是否正常地调整了可动物镜光圈6，在没有调整时发出指示再次调整的信息。

图11表示能够以电动方式进行可动物镜光圈6的动作控制时的通常使用时动作流程图的一个例子。另外，图11所示的流程图也与图5、图9和图10所示的流程图相同，为了能够区分操作者的作业和扫描电子显微镜装置的动作，分列左右进行表示。

在图11中，如果操作者利用图2所示的UI画面选择了照射条件(步骤400)，扫描电子显微镜装置判断当前的物镜光圈6的序号是否合适(步骤401)。在物镜光圈的序号不合适时，利用图7所示的画面发出变更成推荐的物镜光圈6的序号的指示。操作者按照指示变更光圈的序号(步骤402)。

在变更光圈序号后，扫描电子显微镜装置再现事先在存储装置43中存储的物镜光圈6的位置(步骤403)。然后，设定成最初由操作者选择的照射条件(步骤404)。关于调整值，调出并设定事先调整后的已登录的调整值(步骤405)。

优选定期地执行上述的事先调整。根据可动物镜光圈序号的切换履历、从上次调整开始的经过时间，自动判断是否需要再次执行事先调整，并向操作者进行警告。图12是显示推荐实施事先调整的画面(执行事先调整的必要性的显示画面)的一个例子。在图像显示装置42的画面上显示图12所示的画面。然后，把定期执行并记录的调整值作为日志记录到存储装置43中。

另外，如果记录了从调整值偏离了一定程度以上的值，由服务工程师判断为需要维护，显示与服务工程师进行联系的主旨的信息。图13是显示需要维护的画面的一个例子。在图像显示装置42的画面上显示图13所示的画面。

如以上所述，在实施例中，通过各照射条件的事先调整，判断物镜光圈是否合适并显示其结果，并且在使用了合适的物镜光圈时，调整扫描电子显微镜装置以便适合照射条件，之后对操作者进行调整物镜光圈的指示，显示物镜光圈的调整用图像，在调整了物镜光圈的位置后登录调整结果。

另外，在通常使用时，如果选择了登录的照射条件，则判断物镜光圈合适与否，在不合适时显示推荐的物镜光圈。然后，使用合适的物镜光圈，自动调整扫描电子显微镜装置以便成为调整用基准的照射条件，然后对操作者进行调整物镜光圈的指示，显示物镜光圈的调整用图像，在调整物镜光圈的位置后，自动调整扫描电子显微镜装置以便成为之前选择的照射条件。

因此，对于观察试样的种类范围广，具有物镜光圈的调整位置等难以事先登录的参数的通用性高的带电粒子束装置，即使是经验少的操作者也可以容易而且正确地操作，取得高分辨率。

另外，上述的例子是对于与可动物镜光圈的调整有关的调整应用了本发明时的例子，但即使对于试样台的Z坐标的调整，也可以与可动物镜光圈相同地，对操作者显示调整要求，显示调整用图像，适当地进行调整。

附图标记说明

1：电子枪、2：一次电子束、3：第一会聚透镜、4：波束中心轴调整用准直器、5：波束中心轴调整用偏向器、6：可动物镜光圈、7：第二聚焦透镜、8：像散修正器、9：准直器、10：上段偏向器、11：下段偏向器、12：物镜、13：试样、14：检测器、15：试样台、21：高电压控制电路、22：第一聚焦透镜控制电路、23：波束中心轴调整用准直器控制电路、24：波束中心轴调整用偏向器控制电路、25：可动物镜光圈使用序号判别传感器、26：第二聚焦透镜控制电路、27：像散修正器控制电路、28：准直器控制电路、29：偏向器控制电路、30：物镜控制电路、31：检测信号控制电路、32：试样台驱动控制电路、41：计算机、42：图像显示装置、43：存储装置、44：手动操作盘、100：扫描电子显微镜镜筒。

Claims (18)

1.一种带电粒子束装置，其特征在于，包括：

带电粒子源；

聚焦透镜，用于聚焦从上述带电粒子源释放的一次带电粒子束；

物镜，用于把上述一次带电粒子束聚焦到试样上；

可动物镜光圈，相对于上述物镜配置在上述带电粒子源侧，具有多个物镜光圈；

检测器，检测由于上述一次带电粒子束的照射从试样产生的二次信号；

图像显示部，对由上述检测器检测出的二次信号进行图像处理，并显示处理后的图像；

存储部，存储上述一次带电粒子束的多个照射条件；以及

动作控制部，选择上述照射条件，判断所配置的物镜光圈是否适合所选择的照射条件，在上述物镜光圈不适合时在上述图像显示部上显示不适合，在上述物镜光圈适合所选择的照射条件时，执行调整上述一次带电粒子束以便适合所选择的照射条件的事先调整，把执行的结果作为与照射条件有关的参数预先存储在上述存储部中。

2.如权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述动作控制部，在上述图像显示部上显示并选择上述存储部中存储的上述多个照射条件，判断上述多个物镜光圈中的所配置的物镜光圈是否适合经由上述图像显示部选择的照射条件，在上述物镜光圈不适合时在上述图像显示部上显示不适合，在上述物镜光圈适合所选择的照射条件时，调整上述一次带电粒子束以便适合预先确定的调整用基准照射条件，在上述图像显示部上显示上述一次带电粒子束的中心轴调整用图像，当通过调整上述物镜光圈的位置，而调整了上述一次带电粒子束的中心轴时，调整上述一次带电粒子束以便适合经由上述图像显示部选择的照射条件。

3.如权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

使用专用试样得到上述事先调整后的照射条件。

4.如权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

具备支撑并移动上述试样的试样台，上述照射条件中还包含试样在上述试样台的位置，可设定多个上述试样台的位置。

5.如权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述动作控制部判断是否需要再次执行上述事先调整，在需要再次执行上述事先调整时，使上述显示部显示执行事先调整的必要性。

6.如权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述动作控制部在上述物镜光圈适合所选择的照射条件时，判断是否需要调整上述物镜光圈的位置以及是否已将上述物镜光圈的位置调整到允许范围内。

7.如权利要求2所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述动作控制部在上述物镜光圈适合所选择的照射条件时，判断是否需要调整上述物镜光圈的位置以及是否已将上述物镜光圈的位置调整到允许范围内。

8.如权利要求3所述的带电粒子束装置，其特征在于，

具备支撑并移动上述试样的试样台，上述动作控制部判断是否已在上述试样台上设置了上述专用试样。

9.如权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述动作控制部定期地执行上述事先调整，基于通过已执行的事先调整得到的调整值，判断是否需要维护带电粒子束装置，在判断为需要维护时，使上述显示部显示需要维护。

10.一种带电粒子束装置的调整方法，其特征在于，

在存储部中存储与带电粒子束装置的一次带电粒子束照射有关的多个照射条件；

选择上述存储部中存储的多个照射条件；

判断所配置的物镜光圈是否适合所选择的照射条件；

在上述物镜光圈不适合时，在图像显示部上显示不适合；

在上述物镜光圈适合所选择的照射条件时，执行调整上述一次带电粒子束以便适合所选择的照射条件的事先调整；

把执行的结果作为与照射条件有关的参数预先存储在上述存储部中。

11.如权利要求10所述的带电粒子束装置的调整方法，其特征在于，

在上述图像显示部上显示并选择上述存储部中存储的上述多个照射条件，判断上述多个物镜光圈中的所配置的物镜光圈是否适合经由上述图像显示部选择的照射条件，在上述物镜光圈不适合时在上述图像显示部上显示不适合，在上述物镜光圈适合所选择的照射条件时，调整上述一次带电粒子束以便适合预先确定的调整用基准照射条件，在上述图像显示部上显示上述一次带电粒子束的中心轴调整用图像，当通过调整上述物镜光圈的位置，调整了上述一次带电粒子束的中心轴时，调整上述一次带电粒子束以便适合经由上述图像显示部选择的照射条件。

12.如权利要求10所述的带电粒子束装置的调整方法，其特征在于，

使用专用试样得到上述事先调整后的照射条件。

13.如权利要求10所述的带电粒子束装置的调整方法，其特征在于，

通过试样台支撑并移动上述试样，上述照射条件中还包含试样在上述试样台的位置，可设定多个上述试样台的位置。

14.如权利要求10所述的带电粒子束装置的调整方法，其特征在于，

判断是否需要再次执行上述事先调整，在需要再次执行上述事先调整时，使上述显示部显示执行事先调整的必要性。

15.如权利要求10所述的带电粒子束装置的调整方法，其特征在于，

在上述物镜光圈适合所选择的照射条件时，判断是否需要调整上述物镜光圈的位置以及是否已将上述物镜光圈的位置调整到允许范围内。

16.如权利要求11所述的带电粒子束装置的调整方法，其特征在于，

在上述物镜光圈适合所选择的照射条件时，判断是否需要调整上述物镜光圈的位置以及是否已将上述物镜光圈的位置调整到允许范围内。

17.如权利要求12所述的带电粒子束装置的调整方法，其特征在于，

通过试样台支撑并移动上述试样，判断是否已在上述试样台上设置了上述专用试样。

18.如权利要求10所述的带电粒子束装置的调整方法，其特征在于，

定期地执行上述事先调整，基于通过已执行的事先调整得到的调整值，判断是否需要维护带电粒子束装置，在判断为需要维护时，使上述显示部显示需要维护。