JP7339394B1 - 情報処理装置、情報処理方法、およびプロブラム - Google Patents
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Abstract
Description
できる。
図1は、本実施の形態に係る電子顕微鏡3を含む情報システムの構成を例示する図である。本情報システムは、電子顕微鏡3と、情報処理装置1とを有する。電子顕微鏡3の種類に限定はなく、電子顕微鏡3は、例えば、走査型電子顕微鏡、透過形電子顕微鏡等のいずれでもよい。図1は、走査型電子顕微鏡の構成を例示する。
る。電子顕微鏡3は対物レンズ35で収束された電子ビームを試料4に照射し、検出器37で二次電子または反射電子を検出し、試料4の表面を撮影した電子顕微鏡画像を取得する。
でもよい。
電子顕微鏡の保守、調整の項目としては、以下が例示できる。
(1)フィラメント断線時のフィラメントの交換
(2)フィラメント交換時のウェーネルト電極等のクリーニング
(3)アノードのクリーニング
(4)収束絞り34の交換
(5)対物絞り36の交換
(6)冷却ファンの吸気口のクリーニング
(7)電子ビームの光軸調整
なお、(1)乃至(5)の実施後には、(7)の光軸調整が行われる。
位置に置かれた状態と比較して低下する。また、検出器37から得られる検出信号のS/N(信号/ノイズ)比が、(A)の光軸が適正な位置に置かれた状態と比較して低下する。さらに、検出器37から得られる、試料4を撮影した電子顕微鏡画像の明るさが、(A)の光軸が適正な位置に置かれた状態と比較して低下する。
図5は、情報処理装置1のハードウェア構成を例示する。情報処理装置1の構成は、通常のコンピュータと同様である。情報処理装置1はCPU11と、主記憶装置12と、外部インターフェース(I/F)を通じて接続される外部機器を有し、コンピュータプログラムにより情報処理を実行する。外部機器としては、外部記憶装置13、表示装置14、操作装置15、および通信装置16を例示できる。CPU11と、主記憶装置12と、外部インターフェース(I/F)は、制御部ということができる。
、マルチコア構成のものであってもよい。さらに、情報処理装置1の少なくとも一部の処理がDigital Signal Processor(DSP)、Graphics Processing Unit(GPU)、数値演算プロセッサ、ベクトルプロセッサ、画像処理プロセッサ等の専用プロセッサ、Application Specific Integrated Circuit(ASIC)等によって提供されてもよい。また、情報処理装置
1の少なくとも一部が、Field-Programmable Gate Array(FPGA)等の専用large scale integration(LSI)、その他のデジタル回路であってもよい。また、情報処理装置1の少な
くとも一部にアナログ回路が含まれてもよい。
する記憶領域として使用され、CPU11が実行するコンピュータプログラム、CPU11が処理するデータ等を記憶する。外部記憶装置13は、ハードディスクドライブ、Solid State Drive(SSD)等である。さらに、情報処理装置1には、着脱可能記憶媒体の
駆動装置を設けてもよい。着脱可能記憶媒体は、例えば、ブルーレイディスク、Digital Versatile Disc(DVD)、Compact Disc(CD)、フラッシュメモリカード等である。
の汚染、対物絞り36の汚染等はない状態に調整がなされている。電子ビームの光軸が適正な位置に調整された状態で試料4を撮影した電子顕微鏡画像は、所定の調整による調整結果が良好であるときに電子顕微鏡3で確認用試料から撮影された第1の画像の一例である。また、電子ビームの光軸が適正な位置からずれた状態で試料4を撮影した電子顕微鏡画像は、所定の調整による調整結果が良好でないときに電子顕微鏡3で確認用試料から撮影された第2の画像の一例である。
解ラベルを付したデータを含んでもよい。教師データは、このようなラベルを付したデータの集合であってもよい。なお、この場合の確認用の電子顕微鏡画像の撮影時は、収束絞り34、対物絞り36以外の他の調整項目はすべて調整済みである。収束絞り34および対物絞り36の汚染のレベルが十分低いときに試料4を撮影した電子顕微鏡画像は、第3の画像の一例である。また、収束絞り34、対物絞り36のうち、いずれかの汚染のレベルが所定の限度を超えて悪化した状態で試料4を撮影した電子顕微鏡画像は第4の画像の一例である。
らの入力を基に電子顕微鏡の状態を判断する。そして、本情報システムは、電子顕微鏡3の保守作業、調整作業を支援する。
図8に、本実施の形態における情報処理装置1の処理フローを例示する。この処理は、情報処理装置1のCPU11が主記憶装置12に実行可能に展開されたコンピュータプログラムにしたがって実行する。この処理では、情報処理装置1は、所定の調整の一例としての電子ビームの光軸調整が調整済みとの入力(以下、光軸調整済みの入力)を受け付ける(S1)。光軸調整済みの入力に代えて、例えば、光軸調整後の電子顕微鏡3の状態を判定せよとのユーザからの指令が情報処理装置1に入力されてもよい。情報処理装置1は、光軸調整済みの入力を受け付けると、確認用の試料4の電子顕微鏡画像を取得する(S2)。S2で取得される電子顕微鏡画像は、第1の確認用画像の一例であり、S2の処理は、第1の確認用画像を取得することの一例である。
以上述べたように、本実施の形態の情報システムは、光軸調整が良好な場合の試料4の電子顕微鏡画像と、光軸調整が良好でない場合の試料4の電子顕微鏡画像とを学習済みの学習済みモデルA 12Aを有する。そして、本情報システムは、学習済みモデルA 12Aにより、光軸調整調整後の試料4の電子顕微鏡画像を判定する。従来、光軸調整の良否は、例えば、表示装置4に表示される電子顕微鏡画像の相対的な明るさの変化、あるいは、対物レンズ35の調整時の表示装置4の画面上での電子顕微鏡画像の平行移動の有無等により、ユーザに判定されている。本実施の形態のように、学習済みモデルA 12Aによる判定結果を取得することで、ユーザの主観によらない判断を短時間で得ることができる。したがって、本情報システムは、電子顕微鏡ユーザまたは保守管理を担当するサービス担当者に対して、特に保守管理の側面で、機能と使い勝手の向上を図ることができる。
図9に、本実施の形態の変形例1に係る情報処理装置1の処理を例示する。上記図8の処理では、学習済みモデルA 12Aの判定結果において、光軸調整が良好(OK)でない場合、情報処理装置1は、光軸調整を再実行する指示を表示装置14に出力し、処理を終了する。しかし、情報処理装置1は、ユーザの操作に応じて、さらなる判定を行ってもよい。
の判定結果は第1の判定結果の一例である。また、S11の処理は、第1の判定結果が良好でない場合に、電子ビームの光軸を再調整させる指示を出力装置である表示装置14に出力することの一例である。
実施によって電子ビームの非点収差が基準の範囲に調整できない場合を意味する。この場合には、収束絞り34および対物絞り36の少なくとも1つが交換される。なお、ユーザは収束絞り34および対物絞り36のすべてを交換してもよい。そして、ユーザは、絞り交換後に非点収差の補正を実行する。絞り交換後の非点収差の補正の結果が良好(OK)であることが入力された場合(S19でY)、情報処理装置1は、処理を終了する。なお、このとき、情報処理装置1は、再度、試料4の電子顕微鏡画像を学習済みモデルB 12Bに入力し、判定結果を取得してもよい。
電子顕微鏡3の保守管理作業の状況とを組み合わせる。そして、情報処理装置1は、これらを組み合わせることで、電子顕微鏡3の状態を判定し、ユーザの保守管理作業を支援できる。
コンピュータその他の機械、装置(以下、コンピュータ等)に上記いずれかの機能を実現させるプログラムをコンピュータ等が読み取り可能な記録媒体に記録することができる。そして、コンピュータ等に、この記録媒体のプログラムを読み込ませて実行させることにより、その機能を提供させることができる。
(SSD)は、コンピュータ等から取り外し可能な記録媒体としても、コンピュータ等に固定された記録媒体としても利用可能である。
3 電子顕微鏡
4 試料
31 制御回路
32 電子銃
33 収束レンズ
34 収束絞り
35 対物レンズ
36 対物絞り
39 ステージ
3A 非点収差補正コイル
Claims (6)
- 所定の調整がなされた後に電子顕微鏡の状態を確認するための確認用試料から前記電子顕微鏡で撮影された第1の確認用画像を取得することと、
前記所定の調整による調整結果が良好であるときに前記電子顕微鏡で前記確認用試料から撮影された第1の画像と前記所定の調整による調整結果が良好でないときに前記電子顕微鏡で前記確認用試料から撮影された第2の画像とを教師データとして用いて学習がされた学習済みモデルに前記第1の確認用画像を入力することで前記所定の調整がなされた後の前記電子顕微鏡の調整結果が良好であるか否の第1の判定結果を取得することと、
前記第1の判定結果を出力装置に出力することと、を実行する制御部を備え、
前記所定の調整は、電子ビームの光軸調整であり、
前記制御部は、さらに、前記第1の判定結果が良好でない場合に、前記電子ビームの光軸を再調整させる指示を前記出力装置に出力することと、
前記光軸が再調整された後に前記電子顕微鏡で前記確認用試料から撮影された第2の確認用画像を取得することと、
前記電子顕微鏡に備えるすべての絞りの汚染状態が基準以下であるときに前記電子顕微鏡で前記確認用試料から撮影された第3の画像と前記電子顕微鏡に備えるいずれかの絞りの汚染状態が基準を超えて悪化しているときに前記電子顕微鏡で前記確認用試料から撮影された第4の画像とを教師データとして用いて学習がされた第2の学習済みモデルに前記第2の確認用画像を入力することで前記絞りの汚染状態が基準以下であるか否の第2の判定結果を取得することと、
前記第2の判定結果が良好でないときに前記電子ビームの非点収差の補正をさせる指示を前記出力装置に出力することと、
前記非点収差の補正の実施によって前記電子ビームの非点収差が基準の範囲に調整できない場合に、前記電子顕微鏡に備える少なくとも1つの絞りを交換させる指示を前記出力装置に出力することと、を実行する情報処理装置。 - 所定の調整がなされた後に電子顕微鏡の状態を確認するための確認用試料から前記電子顕微鏡で撮影された第1の確認用画像を取得することと、
前記所定の調整による調整結果が良好であるときに前記電子顕微鏡で前記確認用試料から撮影された第1の画像と前記所定の調整による調整結果が良好でないときに前記電子顕微鏡で前記確認用試料から撮影された第2の画像とを教師データとして用いて学習がされ
た学習済みモデルに前記第1の確認用画像を入力することで前記所定の調整がなされた後の前記電子顕微鏡の調整結果が良好であるか否の第1の判定結果を取得することと、
前記第1の判定結果を出力装置に出力することと、を実行する制御部を備え、
前記所定の調整は、電子ビームの光軸調整であり、
前記制御部は、さらに、前記第1の判定結果が良好でない場合に、前記電子ビームの光軸を再調整させる指示を前記出力装置に出力することと、
前記光軸が再調整された後に、前記確認用試料から前記電子顕微鏡で撮影された第2の確認用画像を取得することと、
ユーザから前記第2の確認用画像の画質についての判定を受け付け、前記画質が不十分との判定が入力されると、前記電子ビームの非点収差の補正をさせる指示を前記出力装置に出力することと、
前記非点収差の補正の実施によって前記電子ビームの非点収差が基準の範囲に調整できない場合に、前記電子顕微鏡に備える少なくとも1つの絞りを交換させる指示を前記出力装置に出力することと、を実行する情報処理装置。 - コンピュータが、所定の調整がなされた後に電子顕微鏡の状態を確認するための確認用試料から前記電子顕微鏡で撮影された第1の確認用画像を取得することと、
前記所定の調整による調整結果が良好であるときに前記電子顕微鏡で前記確認用試料から撮影された第1の画像と前記所定の調整による調整結果が良好でないときに前記電子顕微鏡で前記確認用試料から撮影された第2の画像とを教師データとして用いて学習がされた学習済みモデルに前記第1の確認用画像を入力することで前記所定の調整がなされた後の前記電子顕微鏡の調整結果が良好であるか否の第1の判定結果を取得することと、
前記第1の判定結果を出力装置に出力することと、を実行し、
前記所定の調整は、電子ビームの光軸調整であり、
前記コンピュータは、さらに、前記第1の判定結果が良好でない場合に、前記電子ビームの光軸を再調整させる指示を前記出力装置に出力することと、
前記光軸が再調整された後に前記電子顕微鏡で前記確認用試料から撮影された第2の確認用画像を取得することと、
前記電子顕微鏡に備えるすべての絞りの汚染状態が基準以下であるときに前記電子顕微鏡で前記確認用試料から撮影された第3の画像と前記電子顕微鏡に備えるいずれかの絞りの汚染状態が基準を超えて悪化しているときに前記電子顕微鏡で前記確認用試料から撮影された第4の画像とを教師データとして用いて学習がされた第2の学習済みモデルに前記第2の確認用画像を入力することで前記絞りの汚染状態が基準以下であるか否の第2の判定結果を取得することと、
前記第2の判定結果が良好でないときに前記電子ビームの非点収差の補正をさせる指示を前記出力装置に出力することと、
前記非点収差の補正の実施によって前記電子ビームの非点収差が基準の範囲に調整できない場合に、前記電子顕微鏡に備える少なくとも1つの絞りを交換させる指示を前記出力装置に出力することと、を実行する情報処理方法。 - コンピュータが、所定の調整がなされた後に電子顕微鏡の状態を確認するための確認用試料から前記電子顕微鏡で撮影された第1の確認用画像を取得することと、
前記所定の調整による調整結果が良好であるときに前記電子顕微鏡で前記確認用試料から撮影された第1の画像と前記所定の調整による調整結果が良好でないときに前記電子顕微鏡で前記確認用試料から撮影された第2の画像とを教師データとして用いて学習がされた学習済みモデルに前記第1の確認用画像を入力することで前記所定の調整がなされた後の前記電子顕微鏡の調整結果が良好であるか否の第1の判定結果を取得することと、
前記第1の判定結果を出力装置に出力することと、を実行し、
前記所定の調整は、電子ビームの光軸調整であり、
前記コンピュータは、さらに、前記第1の判定結果が良好でない場合に、前記電子ビー
ムの光軸を再調整させる指示を前記出力装置に出力することと、
前記光軸が再調整された後に、前記確認用試料から前記電子顕微鏡で撮影された第2の確認用画像を取得することと、
ユーザから前記第2の確認用画像の画質についての判定を受け付け、前記画質が不十分との判定が入力されると、前記電子ビームの非点収差の補正をさせる指示を前記出力装置に出力することと、
前記非点収差の補正の実施によって前記電子ビームの非点収差が基準の範囲に調整できない場合に、前記電子顕微鏡に備える少なくとも1つの絞りを交換させる指示を前記出力装置に出力することと、を実行する情報処理方法。 - コンピュータに、所定の調整がなされた後に電子顕微鏡の状態を確認するための確認用試料から前記電子顕微鏡で撮影された第1の確認用画像を取得することと、
前記所定の調整による調整結果が良好であるときに前記電子顕微鏡で前記確認用試料から撮影された第1の画像と前記所定の調整による調整結果が良好でないときに前記電子顕微鏡で前記確認用試料から撮影された第2の画像とを教師データとして用いて学習がされた学習済みモデルに前記第1の確認用画像を入力することで前記所定の調整がなされた後の前記電子顕微鏡の調整結果が良好であるか否の第1の判定結果を取得することと、
前記第1の判定結果を出力装置に出力することと、を実行させ、
前記所定の調整は、電子ビームの光軸調整であり、
前記コンピュータに、さらに、前記第1の判定結果が良好でない場合に、前記電子ビームの光軸を再調整させる指示を前記出力装置に出力することと、
前記光軸が再調整された後に前記電子顕微鏡で前記確認用試料から撮影された第2の確認用画像を取得することと、
前記電子顕微鏡に備えるすべての絞りの汚染状態が基準以下であるときに前記電子顕微鏡で前記確認用試料から撮影された第3の画像と前記電子顕微鏡に備えるいずれかの絞りの汚染状態が基準を超えて悪化しているときに前記電子顕微鏡で前記確認用試料から撮影された第4の画像とを教師データとして用いて学習がされた第2の学習済みモデルに前記第2の確認用画像を入力することで前記絞りの汚染状態が基準以下であるか否の第2の判定結果を取得することと、
前記第2の判定結果が良好でないときに前記電子ビームの非点収差の補正をさせる指示を前記出力装置に出力することと、
前記非点収差の補正の実施によって前記電子ビームの非点収差が基準の範囲に調整できない場合に、前記電子顕微鏡に備える少なくとも1つの絞りを交換させる指示を前記出力装置に出力することと、を実行させるためのプログラム。 - コンピュータに、所定の調整がなされた後に電子顕微鏡の状態を確認するための確認用試料から前記電子顕微鏡で撮影された第1の確認用画像を取得することと、
前記所定の調整による調整結果が良好であるときに前記電子顕微鏡で前記確認用試料から撮影された第1の画像と前記所定の調整による調整結果が良好でないときに前記電子顕微鏡で前記確認用試料から撮影された第2の画像とを教師データとして用いて学習がされた学習済みモデルに前記第1の確認用画像を入力することで前記所定の調整がなされた後の前記電子顕微鏡の調整結果が良好であるか否の第1の判定結果を取得することと、
前記第1の判定結果を出力装置に出力することと、を実行させ、
前記所定の調整は、電子ビームの光軸調整であり、
前記コンピュータに、さらに、前記第1の判定結果が良好でない場合に、前記電子ビームの光軸を再調整させる指示を前記出力装置に出力することと、
前記光軸が再調整された後に、前記確認用試料から前記電子顕微鏡で撮影された第2の確認用画像を取得することと、
ユーザから前記第2の確認用画像の画質についての判定を受け付け、前記画質が不十分との判定が入力されると、前記電子ビームの非点収差の補正をさせる指示を前記出力装置
に出力することと、
前記非点収差の補正の実施によって前記電子ビームの非点収差が基準の範囲に調整できない場合に、前記電子顕微鏡に備える少なくとも1つの絞りを交換させる指示を前記出力装置に出力することと、を実行させるためのプログラム。
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015002059A (ja) | 2013-06-14 | 2015-01-05 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置及び荷電粒子線装置の調整方法 |
JP2019217591A (ja) | 2018-06-19 | 2019-12-26 | ファナック株式会社 | 調整要否判断装置 |
JP2020129439A (ja) | 2019-02-07 | 2020-08-27 | 株式会社日立製作所 | 情報処理システムおよび情報処理方法 |
JP2021128751A (ja) | 2020-02-14 | 2021-09-02 | 株式会社フジクラ | 判定装置、機械学習装置、判定方法、機械学習方法、プログラム、及び構造体の製造方法 |
JP2021149719A (ja) | 2020-03-20 | 2021-09-27 | 株式会社アイシン | ブロックノイズ検出の為の学習装置及びコンピュータプログラム |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004095459A (ja) | 2002-09-03 | 2004-03-25 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置 |
JP6325714B1 (ja) | 2017-03-30 | 2018-05-16 | パンパシフィック・カッパー株式会社 | 撹拌翼付乾燥機の回転軸の固定方法及び撹拌翼付乾燥機 |
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