CN103698910A - 一种异物检查机及其检查方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种新型的既可以检查异物的面积有可以检查异物的高度的一种异物检查机，该检查机包括：一基板承载平台，用于传送基板；若干图像传感器，固定于该承载平台中上部的支架上，一画像处理机，该画像处理机与图像传感器通过以太网相连接，画像处理机将图像传感器收集到的图像进行初步处理；还包括若干2D激光位移传感器，用于检测基板异物的高度和位置的信息，均匀分成两排并分别排列在基板承载平台的传入端的上下两侧。通过本发明的图像传感器和2D激光位移传感器的结合的技术方案，在检查异物截面积大小的同时精确检查异物的高度，有效地避免因异物漏检而造成基板和治具刮伤的状况，避免的产品不良的发生。

Description

一种异物检查机及其检查方法

技术领域

本发明涉及一种异物检查机及其检查方法，尤其涉及一种在LCD面板曝光制程前的LCD面板的基板的异物检查。

背景技术

在LCD面板制程中，时常发生因为LCD面板的基板异物刮伤曝光的治具的状况（如刮伤治具PI膜印刷版、曝光机掩膜板等），如果治具刮伤后，不能及时发现，则会造成大量的产品不良，所以需要在这些工程之前增加对LCD面板的基板的异物检查装置。现有的检查装置,只能通过相机扫描基板表面，检查基板表面异物或缺陷的截面积大小，按异物或缺陷截面积的的大小，进行分类统计，最后和设定的值进行对比，某个大小的个数超出设定值，则报警。或者通过激光对射原理，如果异物过大时，则会遮挡激光接收器收到的部分光量，接收光亮低于一定的值，则设备报警。但现有检查装置不能精确检查异物的高度；不能对LCD面板的基板的两面进行检测；抽检的模式，不能有效地管控所有的异常基板；并且激光对射方式，容易受环境的影响造成检查误判，进而影响设备的稼动等。

发明内容

发明目的：本发明的目是为了解决现有技术中的检查装置存在不能精确检查异物的高度；不能对LCD面板的基板的两面进行检测；抽检的模式，不能有效地管控所有的异常基板的问题。

技术方案：为了实现以上发明目的，本发明提供了一种新型的既可以检查异物的面积有可以检查异物的高度的一种异物检查机，该检查机包括：一基板承载平台，用于传送基板；若干图像传感器，固定于该承载平台中上部的支架上，一画像处理机，该画像处理机与图像传感器通过以太网相连接，画像处理机将图像传感器收集到的图像进行初步处理；还包括若干2D激光位移传感器，用于检测基板异物的高度和位置的信息，均匀分成两排并分别排列在基板承载平台的传入端的上下两侧。

进一步，还包括一PC机以及与PC机相连接的PLC；所述的PC机还分别与所述的2D激光位移传感器和所述的画像处理机相连接；所述的PLC还与所述的图像传感器相连接；PC机接收2D激光位移传感器检测到的基板异物的高度和位置的信息；并将此信息传递给PLC,PLC根据接收信息控制所述的图像传感器，图像传感器进行检查并拍摄异物的图片，画像处理机将拍摄的图片信息处理后传送给PC机。

进一步，所述的ＰＣ机与所述的2D激光位移传感器、所述的PC机与所述的PLC、所述的PLC与所述的图像传感器以及所述的画像处理机与所述的PC机之间的连接是通过以太网进行连接。

本发明还给出了一种异物检查机的检查方法，包括上述所述的异物检查机，包括如下步骤：

步骤1：首先通过2D激光位移传感器测量整个不存在异物的LCD面板的基板表面到该传感器之间的距离，并做成距离曲线图形，将该距离曲线图形定义为基准图形；

步骤2：对被检查的LCD面板的基板的表面到2D激光位移传感器之间的距离进行测量，并得到一测量距离曲线图形；

步骤3：将步骤2中得到的测量距离曲线图形与步骤1中的基准图形进行对比，如有异常，便可得到异常点的坐标和异常点的高度。如没有异常，检查机重复步骤2的步骤；

步骤4：将步骤3中的异常点的坐标和异常点的高度信息传递给PLC；PLC控制图像传感器移动到相应的异常点位置，并进行检查拍摄异常区域的图片；并将拍摄的图片信息传递给画像处理机；

步骤5：画像处理机将图片信息处理后传送给PC机，PC机整合所有信息后进行报警，并检查机停止工作，等待工作人员进行确认。

有益效果：本发明通过图像传感器和2D激光位移传感器的结合，在检查异物截面积大小的同时精确检查异物的高度，有效地避免因异物漏检而造成基板和治具刮伤的状况，避免的产品不良的发生。

附图说明

图1为本发明的异物检查机的局部俯视图；

图2为本发明的2D激光位移传感器相对于基板承载平台的位置的示意图；

图3为本发明的异物检查机的各部件的关系图；

图4为本发明的异物检查机对不存在异物的LCD面板的基板表面到传感器之间的距离进行测量示意图；

图5为图4中的测得的基准图形；

图6为本发明的异物检查机对存在异物的LCD面板的基板表面到传感器之间的距离进行测量示意图；

图7为图6中测得的距离曲线图形与基准图形的比较图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例，进一步阐明本发明，应理解这些实施例仅用于说明本发明而不用于限制本发明的范围，在阅读了本发明后，本领域技术人员对本发明的各种等价形式的修改均落于本申请所附权利要求所限定的范围。

为了解决现有技术的问题，本发明提供了一种新型的既可以检查异物的面积又可以检查异物的高度的检查机。如图1至图3所示，该检查机包括：基板承载平台10，该承载平台上设有传动轮11，用于传送LCD面板的基板20，该基板20被传送时采用线性马达控制轴驱动传动轮进行传送，线性马达控制轴位于机台的外部（图中未示）；若干图像传感器30，该图像传感器内置光源，并固定于该承载平台中上部的支架31上，用于获得异物图像、异物大小、位置等信息；若干2D激光位移传感器40均匀分成两排，分布在基板承载平台的传入端的上下两侧，用于检测LCD面板的基板20表面和背面的异物的高度和位置；一画像处理机，该画像处理机与图像传感器通过以太网相连接，画像处理模块将图像传感器收集到的图像进行初步处理，得到异物大小、位置、图片信息结果；还包括一PC机以及一PLC。

其中，PC机与2D激光位移传感器相连接，PC机接收2D激光位移传感器检测到的基本异物的高度和位置的信息，并将此信息传递给PLC,PLC根据接收信息控制图像传感器30，图像传感器进行检查并拍摄异常区域的图片，画像处理机将拍摄的图片信息处理后传送给PC机，PC机整合所有信息后进行报警，并设备停止。其中，ＰＣ机与2D激光位移传感器、PC机与PLC、PLC与图像传感器以及画像处理机与PC机之间的连接都是通过以太网进行连接。

当LCD面板的基板在检查机的基板承载平台10上传送时，2D激光位移传感器对LCD面板的基板表面和背面进行异物检测，2D激光位移传感器的处理模块根据激光照射ＬＣＤ面板的基板表面后反射的光路计算出整个激光照射面上每个点的位置到2D激光位移传感器40之间的距离，并记录相应的坐标，再通过以太网传送给ＰＣ机。如有异常，PC机将异常点的坐标传送给PLC，PLC控制图像传感器进行移动拍摄，图像处理机将图片信息进行处理的结果即异物大小、异物位置、异物图片等信息，通过以太网传送给电脑，PC机整合所有信息后进行报警，并设备停止，等待人员检查。

本发明的异物检查机的检查方法的流程如下：

步骤1：首先通过2D激光位移传感器测量整个不存在异物的LCD面板的基板表面到该传感器之间的距离，并做成距离曲线图形，将该距离曲线图形定义为基准图形。如图4所示，2D激光位移传感器40对不存在异物的LCD面板的基板30的两表面到该传感器之间的距离进行测量，得到如图5所示的一距离曲线图形，y轴为距离高度，x抽为基板的各个测量点的坐标，将此距离曲线图形定义为基准图形并得到基准图形的高度范围。

步骤2：对被检查的LCD面板的基板的表面到2D激光位移传感器之间的距离进行测量，并得到一测量距离曲线图形。

步骤3：将步骤2中得到的测量距离曲线图形与步骤1中的基准图形进行对比，如有异常，便可得到异常点的坐标和异常点的高度。如没有异常，检查机重复步骤2的步骤。如图6所示，对带有异物71、异物72、异物73和异物75的基板50进行测量后，得到的距离曲线图形与步骤1中的基准图形进行对比得到如图7所示的波形。从图7中可得到异物71、异物72以及异物75所在基板50的坐标以及异物的高度。

步骤4：将步骤3中的异常点的坐标和异常点的高度信息传递给PLC；PLC控制图像传感器移动到相应的异常点位置，并进行检查拍摄异常区域的图片；并将拍摄的图片信息传递给画像处理机。

步骤5：画像处理机将图片信息处理后传送给PC机，PC机整合所有信息后进行报警，并检查机停止工作，等待工作人员进行确认。

本发明通过图像传感器和2D激光位移传感器的结合，通过合理的控制处理和反馈***，在检查异物截面积大小的同时精确检查异物的高度，有效地避免因异物漏检而造成基板和治具刮伤的状况，避免的产品不良的发生。

Claims (4)

1.一种异物检查机，包括：一基板承载平台，用于传送基板；若干图像传感器，固定于该承载平台中上部的支架上，一画像处理机，该画像处理机与图像传感器通过以太网相连接，画像处理机将图像传感器收集到的图像进行初步处理，其特征在于：还包括若干2D激光位移传感器，用于检测基板异物的高度和位置的信息，均匀分成两排并分别排列在基板承载平台的传入端的上下两侧。

2.根据权利要求1所述的一种异物检查机，其特征在于：还包括一PC机以及与PC机相连接的PLC；所述的PC机还分别与所述的2D激光位移传感器和所述的画像处理机相连接；所述的PLC还与所述的图像传感器相连接；PC机接收2D激光位移传感器检测到的基板异物的高度和位置的信息；并将此信息传递给PLC,PLC根据接收信息控制所述的图像传感器，图像传感器进行检查并拍摄异物的图片，画像处理机将拍摄的图片信息处理后传送给PC机。

3.根据权利要求2所述的一种异物检查机，其特征在于：所述的ＰＣ机与所述的2D激光位移传感器、所述的PC机与所述的PLC、所述的PLC与所述的图像传感器以及所述的画像处理机与所述的PC机之间的连接是通过以太网进行连接。

4.一种异物检查机的检查方法，包括如权利要求1所述的检查机，其特征在于包括如下步骤：

步骤1：首先通过2D激光位移传感器测量整个不存在异物的LCD面板的基板表面到该传感器之间的距离，并做成距离曲线图形，将该距离曲线图形定义为基准图形；

步骤2：对被检查的LCD面板的基板的表面到2D激光位移传感器之间的距离进行测量，并得到一测量距离曲线图形；

步骤3：将步骤2中得到的测量距离曲线图形与步骤1中的基准图形进行对比，如有异常，便可得到异常点的坐标和异常点的高度。如没有异常，检查机重复步骤2的步骤；

步骤4：将步骤3中的异常点的坐标和异常点的高度信息传递给PLC；PLC控制图像传感器移动到相应的异常点位置，并进行检查拍摄异常区域的图片；并将拍摄的图片信息传递给画像处理机；

步骤5：画像处理机将图片信息处理后传送给PC机，PC机整合所有信息后进行报警，并检查机停止工作，等待工作人员进行确认。

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