CN104568973A - 一种基板检测装置及方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种基板检测装置及方法，以准确、快速地检测基板是否存在缺陷，从而可以有效的对产品品质进行管控，减少生产成的浪费。基板检测装置包括线光源发光装置和反射光接收装置，其中：线光源发光装置以设定的入射角向基板发射入射光，入射光随线光源发光装置与基板的相对运动而扫描基板表面；反射光接收装置接收射向基板标准平面的入射光所对应的反射光；用于当反射光的实际接收区段与标准接收区段不一致时，发出基板存在缺陷报警信号。

Description

一种基板检测装置及方法

技术领域

本发明涉及检测技术领域，特别是涉及一种基板检测装置及方法。

背景技术

目前，平板显示装置在生产时，许多密封连续的生产设备并未设置基板检测环节。如果将有残缺或者裂痕的基板用于生产，势必会影响到产品的品质，而且还会造成生产成本的浪费。

发明内容

本发明实施例的目的是提供一种基板检测装置及方法，以准确、快速地检测基板是否存在缺陷，从而可以有效的对产品品质进行管控，减少生产成本的浪费。

本发明实施例提供了一种基板检测装置，包括线光源发光装置和反射光接收装置，其中：

所述线光源发光装置以设定的入射角向基板发射入射光，所述入射光随线光源发光装置与基板的相对运动而扫描基板表面；

所述反射光接收装置接收射向基板标准平面的入射光所对应的反射光；用于当所述反射光的实际接收区段与标准接收区段不一致时，发出基板存在缺陷报警信号。

在本发明实施例的技术方案中，线光源发光装置以设定的入射角向基板发射入射光，入射光可随线光源发光装置与基板的相对运动而扫描基板表面；反射光接收装置被设置为接收射向基板标准平面的入射光所对应的反射光，并且可以在反射光的实际接收区段与标准接收区段不一致时，发出基板存在缺陷报警信号。当基板存在残缺或者裂痕等缺陷时，反射光接收装置可及时发出基板存在缺陷报警信号，相比现有技术，本方案提供的基板检测装置可以准确、快速地检测出基板是否存在缺陷，从而可以有效的对产品品质进行管控，减少生产成本的浪费。

所述反射光接收装置，具体用于当所述反射光的实际接收区段存在断点时，发出基板存在缺陷报警信号。当基板的内部区域存在残缺或者裂痕等缺陷时，由于反射界面发生改变，反射光接收装置的某个接收位置必然无法正常接收到反射光，因此，实际接收区段会存在断点，可据此判断出基板存在缺陷。

所述反射光接收装置，具体用于当所述反射光的实际接收区段的长度小于标准接收区段的长度时，发出基板存在缺陷报警信号。当基板的周边区域存在缺陷时，由于反射界面不完整或者发生改变，反射光接收装置的实际接收区段的长度会小于标准接收区段的长度，可据此判断出基板存在缺陷。

优选的，基板检测装置还包括：导轨，所述线光源发光装置和所述反射光接收装置滑动装配于所述导轨；以及驱动所述线光源发光装置和所述反射光接收装置同步移动的第一驱动装置。在该方案中，可将基板停驻于线光源发光装置和反射光接收装置的下方，线光源发光装置和反射光接收装置同步移动，对基板表面进行扫描检测。可通过调整线光源发光装置和反射光接收装置的间距来调整入射角的大小。

具体的，所述线光源发光装置通过第一连接杆与导轨上所设置的第一滑块连接，所述反射光接收装置通过第二连接杆与导轨上所设置的第二滑块连接。

较佳的，所述线光源发光装置与所述第一连接杆枢接，所述反射光接收装置与所述第二连接杆枢接；所述基板检测装置还包括：驱动所述线光源发光装置和所述反射光接收装置同步旋转的第二驱动装置。在该方案中，可将基板停驻于线光源发光装置和反射光接收装置的下方，线光源发光装置和反射光接收装置同步旋转，对基板表面进行扫描检测。可通过调整线光源发光装置和反射光接收装置的夹角来调整入射角的大小。

可选的，所述线光源发光装置和所述反射光接收装置水平设置，或者，所述线光源发光装置和所述反射光接收装置与水平面具有夹角。

可选的，所述线光源发光装置包括红外线光源发光装置。

本发明实施例还提供了一种基板检测方法，包括：

以设定的入射角向基板发射线光入射光，并使所述入射光扫描基板表面；

接收射向基板标准平面的入射光所对应的反射光，当所述反射光的实际接收区段与标准接收区段不一致时，确定基板存在缺陷。

通过上述基板检测方法，可以准确、快速地检测出基板是否存在缺陷，从而可以有效的对产品品质进行管控，减少生产成本的浪费。

其中，所述入射光扫描基板表面可通过如下方式实现：

基板停驻不动，使所述入射光相对基板移动或者旋转；或者

所述入射光的位置不变，使基板相对入射光移动。

附图说明

图1为本发明第一实施例基板检测装置的检测原理示意图；

图2为本发明第二实施例基板检测装置的检测原理示意图；

图3为本发明第三实施例基板检测装置的检测原理示意图；

图4为入射光扫描到基板缺陷位置时的光路示意图。

附图标记：

1-线光源发光装置

2-反射光接收装置

3-基板

4-导轨

5-第一连接杆

6-第一滑块

7-第二连接杆

8-第二滑块

具体实施方式

为准确、快速地检测基板是否存在缺陷，从而可以有效的对产品品质进行管控，减少生产成本的浪费，本发明实施例提供了一种基板检测装置及方法。在基板检测装置实施例的技术方案中，线光源发光装置以设定的入射角向基板发射入射光，入射光可随线光源发光装置与基板的相对运动而扫描基板表面；反射光接收装置被设置为接收射向基板标准平面的入射光所对应的反射光，并且可以在反射光的实际接收区段与标准接收区段不一致时，发出基板存在缺陷报警信号。当基板存在残缺或者裂痕等缺陷时，反射光接收装置可及时发出基板存在缺陷报警信号，相比现有技术，本方案提供的基板检测装置可以准确、快速地检测出基板是否存在缺陷，从而可以有效的对产品品质进行管控，减少生产成本的浪费。为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，以下举实施例对本发明作进一步详细说明。

如图1所示，本发明实施例提供了一种基板检测装置，包括线光源发光装置1和反射光接收装置2，其中：

线光源发光装置1以设定的入射角向基板3发射入射光，入射光随线光源发光装置1与基板3的相对运动而扫描基板3的表面；反射光接收装置2接收射向基板标准平面的入射光所对应的反射光；用于当反射光的实际接收区段与标准接收区段不一致时，发出基板存在缺陷报警信号。

本发明上述实施例所提供的基板检测装置既可用于检测玻璃基板的完整性，也可用于检测其它光滑工艺材料的完整性，这里不做具体限定。线光源发光装置1的具体类型不限，既可以采用可见光发光装置，也可以采用不可见光发光装置，优选采用红外线光源发光装置，所发射的红外光具有频率低、波长长、聚光能力强、发光成本低等优点。

在上述实施例中，线光源发光装置1以设定的入射角向基板3发射入射光，该入射光可随线光源发光装置1与基板3的相对运动而扫描基板3的表面。如图1所示，在一种实现方式中，基板3停驻不动，线光源发光装置1和反射光接收装置2在基板3的上方同步移动(也可以是同步旋转)，从而使入射光对基板3的表面进行扫描。如图2所示，在另一种实现方式中，线光源发光装置1和反射光接收装置2固定不动，基板3被传送经过线光源发光装置1和反射光接收装置2的下方，从而使入射光对基板3的表面进行扫描。线光源发光装置1的有效发光长度可根据其运动方式和基板3的规格尺寸来确定。

其中，基板标准平面可以理解为无缺陷的合格基板的表面，可以根据该基板标准平面来确定反射光接收装置2的设置位置，即：反射光接收装置2设置在以基板标准平面为反射界面的反射光的光路上，反射光接收装置2与线光源发光装置1的安装高度可以相同，也可以不同。

由于线光源发光装置1发射的入射光为线光，若基板3为无缺陷的合格基板，则反射光接收装置2会接收到连续、完整的线光，对应在接收区段上则应当是连续、完整的。

在本发明的一个具体实施例中，反射光接收装置2，用于当反射光的实际接收区段存在断点时，发出基板存在缺陷报警信号。如图4所示，当基板3的内部区域存在残缺或者裂痕等缺陷时，由于反射界面发生改变，反射光接收装置2的某个或某些接收位置必然无法正常接收到反射光(若基板无缺陷，反射光会按照虚线线路射入反射光接收装置2)，因此，反射光接收装置2的实际接收区段会存在断点，可据此判断出基板存在缺陷。

类似的，反射光接收装置2，还用于当反射光的实际接收区段的长度小于标准接收区段的长度时，发出基板存在缺陷报警信号。当基板3的周边区域存在缺陷时，由于反射界面不完整或者发生改变，反射光接收装置2的实际接收区段的长度会小于标准接收区段的长度，可据此判断出基板存在缺陷。

如图1所示的实施例，基板检测装置还包括：导轨4，线光源发光装置1和反射光接收装置2滑动装配于导轨4；以及驱动线光源发光装置1和反射光接收装置2同步移动的第一驱动装置(图中未示出)。在该方案中，可将基板3停驻于线光源发光装置1和反射光接收装置2的下方，线光源发光装置1和反射光接收装置2同步移动，对基板3的表面进行扫描检测。可通过调整线光源发光装置1和反射光接收装置2的间距，以及线光源发光装置1的出光方向来调整入射角的大小。

线光源发光装置1和反射光接收装置2可以直接滑动装配在导轨4上，也可以通过连接部件实现相对导轨4的滑动。图1所示的实施例中，线光源发光装置1通过第一连接杆5与导轨4上所设置的第一滑块6连接，反射光接收装置2通过第二连接杆7与导轨4上所设置的第二滑块8连接。

如图3所示，在该实施例中，线光源发光装置1与第一连接杆5枢接(即线光源发光装置1可绕第一连接杆5旋转)，反射光接收装置2与第二连接杆7枢接(即反射光接收装置2可绕第二连接杆7旋转)；基板检测装置还包括：驱动线光源发光装置1和反射光接收装置2同步旋转的第二驱动装置(图中未示出)。在该方案中，可将基板3停驻于线光源发光装置1和反射光接收装置2的下方，线光源发光装置1和反射光接收装置2同步旋转，对基板3的表面进行扫描检测。可通过调整线光源发光装置1和反射光接收装置2的夹角，以及线光源发光装置1的出光方向来调整入射角的大小。

此外，线光源发光装置1和反射光接收装置2也可以在同步旋转的同时沿导轨4同步移动，这样可以对基板3的表面进行更加细致的扫描，从而进一步提高检测的精确性。

如图3所示，在该实施例中，线光源发光装置1和反射光接收装置2均水平设置。在本发明的其它实施例中，线光源发光装置1和反射光接收装置2也可以与水平面具有夹角，只要能够使入射光扫描基板3表面，并且反射光接收装置2能够接收到射向基板标准平面的入射光所对应的反射光即可。

综上，在本发明实施例的技术方案中，线光源发光装置以设定的入射角向基板发射入射光，入射光可随线光源发光装置与基板的相对运动而扫描基板表面；反射光接收装置被设置为接收射向基板标准平面的入射光所对应的反射光，并且可以在反射光的实际接收区段与标准接收区段不一致时，发出基板存在缺陷报警信号。当基板存在残缺或者裂痕等缺陷时，反射光接收装置可及时发出基板存在缺陷报警信号，相比现有技术，本方案提供的基板检测装置可以准确、快速地检测出基板是否存在缺陷，从而可以有效的对产品品质进行管控，减少生产成本的浪费。

基于相同的发明构思，本发明实施例还提供了一种基板检测方法，包括：

以设定的入射角向基板发射线光入射光，并使入射光扫描基板表面；

接收射向基板标准平面的入射光所对应的反射光，当反射光的实际接收区段与标准接收区段不一致时，确定基板存在缺陷。

通过上述基板检测方法，可以准确、快速地检测出基板是否存在缺陷，从而可以有效的对产品品质进行管控，减少生产成本的浪费。

其中，入射光扫描基板表面可通过如下方式实现：

基板停驻不动，使入射光相对基板移动或者旋转；或者

入射光的位置不变，使基板相对入射光移动。

显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (10)

1.一种基板检测装置，其特征在于，包括线光源发光装置和反射光接收装置，其中：

所述线光源发光装置以设定的入射角向基板发射入射光，所述入射光随线光源发光装置与基板的相对运动而扫描基板表面；

所述反射光接收装置接收射向基板标准平面的入射光所对应的反射光；用于当所述反射光的实际接收区段与标准接收区段不一致时，发出基板存在缺陷报警信号。

2.如权利要求1所述的基板检测装置，其特征在于，所述反射光接收装置，具体用于当所述反射光的实际接收区段存在断点时，发出基板存在缺陷报警信号。

3.如权利要求1所述的基板检测装置，其特征在于，所述反射光接收装置，具体用于当所述反射光的实际接收区段的长度小于标准接收区段的长度时，发出基板存在缺陷报警信号。

4.如权利要求1～3任一项所述的基板检测装置，其特征在于，还包括：导轨，所述线光源发光装置和所述反射光接收装置滑动装配于所述导轨；以及驱动所述线光源发光装置和所述反射光接收装置同步移动的第一驱动装置。

5.如权利要求4所述的基板检测装置，其特征在于，所述线光源发光装置通过第一连接杆与导轨上所设置的第一滑块连接，所述反射光接收装置通过第二连接杆与导轨上所设置的第二滑块连接。

6.如权利要求5所述的基板检测装置，其特征在于，所述线光源发光装置与所述第一连接杆枢接，所述反射光接收装置与所述第二连接杆枢接；所述基板检测装置还包括：驱动所述线光源发光装置和所述反射光接收装置同步旋转的第二驱动装置。

7.如权利要求6所述的基板检测装置，其特征在于，所述线光源发光装置和所述反射光接收装置水平设置，或者，所述线光源发光装置和所述反射光接收装置与水平面具有夹角。

8.如权利要求1所述的基板检测装置，其特征在于，所述线光源发光装置包括红外线光源发光装置。

9.一种基板检测方法，其特征在于，包括：

以设定的入射角向基板发射线光入射光，并使所述入射光扫描基板表面；

接收射向基板标准平面的入射光所对应的反射光，当所述反射光的实际接收区段与标准接收区段不一致时，确定基板存在缺陷。

10.如权利要求9所述的检测方法，其特征在于，所述入射光扫描基板表面通过如下方式实现：

基板停驻不动，使所述入射光相对基板移动或者旋转；或者

所述入射光的位置不变，使基板相对入射光移动。