CN104428263A - 划线方法及划线装置 - Google Patents

Abstract

划线装置(1)包括：工件工作台(6)，该工件工作台(6)对在上表面标记有对准标记M1、M2、M3…的作为脆性材料基板的玻璃基板(5)进行载置、定位、吸附固定；划线头(2)，该划线头(2)在工件工作台(6)的上方与玻璃基板(5)的上表面平行地在XY平面坐标系中移动；CCD照相机(10)，该CCD照相机(10)与划线头(2)并列设置，与划线头(2)一起成为一体；共用的X轴移动元件(3)及Y轴移动元件(4)，所述共用的X轴移动元件(3)及Y轴移动元件(4)使划线头(2)及CCD照相机(10)作为一体而在XY平面坐标系中移动；图像处理装置，该图像处理装置发出由CCD照相机(10)实施拍摄的指示，对拍摄到的图像进行图像处理及运算处理；以及NC装置，该NC装置对X轴移动元件(3)及Y轴移动元件(4)的移动进行数值控制。

Description

划线方法及划线装置

技术领域

本发明涉及适合在玻璃基板、半导体基板及太阳能电池用基板等脆性材料基板上形成划线的划线方法及划线装置。

特别是，本发明涉及在标记有对准标记的玻璃基板、半导体基板及太阳能电池用基板等脆性材料基板上，根据对准标记形成划线的划线方法及划线装置。

另外，本发明涉及用CCD照相机对定位后的脆性材料基板的对准标记进行拍摄、图像处理，计量对准标记的位置，在进行了所需的处理后进行划线动作的划线方法及划线装置。

背景技术

在专利文献1中提出了一种在标记有对准标记的玻璃基板上根据对准标记形成划线的划线装置。

专利文献1所述的划线装置将标记有对准标记的玻璃基板定位且吸附固定在工作台上，接着用设置固定在工作台上方的两台CCD照相机分别对玻璃基板上的左右两处对准标记进行拍摄，对拍摄到的对准标记的图像进行图像处理，并且对图像处理后的结果进行运算处理，而对定位后的玻璃基板的角度偏差量及位置偏差量进行计量，然后，对于角度偏差量，对工作台的旋转位置进行校正，对于位置偏差量，对工作台的Y轴位置的移动进行校正以及对划线头的X轴位置的移动进行校正，在上述这些校正作业结束后进行划线动作，对于每个新的玻璃基板都进行该校正作业及划线动作。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2011–251900号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

另外，专利文献1所述的以往的划线装置利用被固定的CCD照相机对标记在玻璃基板上的对准标记进行拍摄，基于由CCD照相机拍摄到的对准标记的图像进行图像处理及运算处理，从而计量玻璃基板的角度偏差量及位置偏差量，将基于该偏差量的计量值校正后的来自NC装置的校正指令值发送给工作台旋转元件、工作台移动元件及划线头移动元件，进行工作台的旋转位置校正、工作台的位置校正及划线头的位置校正。但是，工作台旋转元件、工作台移动元件及划线头移动元件存在热膨胀及机械误差，因此在这种以往的划线装置中，相对于来自NC装置的校正指令值，工作台的实际的旋转量、工作台及划线头的实际的移动量有时不一致，因此为了能依据精确的定位状态进行校正，需要反复进行多次的校正作业，耗费劳力和时间，非常没有效率。

另外，在以往的划线装置中，在对玻璃基板进行的位置校正作业后的划线动作中，也因工作台、工作台旋转元件、工作台移动元件及划线头移动元件的热膨胀、机械误差的影响、以及玻璃基板的热膨胀与上述工作台及移动元件的热膨胀的差异，而在根据对准标记形成划线时，也需要进行程序校正，需要进行试划线等，耗费时间。

本发明的目的在于，提供即使在被定位在工作台上的脆性材料基板出现了位置偏差及角度偏差的状态下，也能直接在该位置偏差及角度偏差存在的状态下形成依据对准标记得到的划线，另外即使工作台、工作台移动元件及划线头移动元件存在热膨胀的差异、机械误差，也能形成依据对准标记得到的划线的划线方法及划线装置。

此外，本发明的目的还在于，提供不受脆性材料基板与划线头的移动元件的热膨胀的差异影响，能获得根据对准标记得到的划线的划线方法及划线装置。

解决技术问题所采用的技术方案

根据本发明的划线方法，在将标记有对准标记的脆性材料基板在工作台的上表面依据设定在NC装置上的工件坐标系而进行了定位的状态下，使划线头和CCD照相机作为一体而利用共用的移动元件在上述工件坐标系中移动，使上述CCD照相机的相机中心与标记在上述脆性材料基板上且处于正交配置关系的至少三个点的对准标记M1、M2及M3的在上述工件坐标系中的设定坐标值M1(X＝X1，Y＝Y1)、M2(X＝X2，Y＝Y1)及M3(X＝X1，Y＝Y2)对齐，对各对准标记M1、M2及M3进行拍摄，对拍摄到的对准标记M1、M2及M3的图像进行图像处理，基于该图像处理的结果对上述对准标记M1、M2及M3各自的标记中心M1C、M2C及M3C的在上述工件坐标系中的实际位置的坐标值进行计量，基于这些标记中心M1C、M2C及M3C的计量得到的各坐标值，以及上述对准标记M1、M2及M3的设定坐标值M1(X＝X1，Y＝Y1)、M2(X＝X2，Y＝Y1)及M3(X＝X1，Y＝Y2)进行运算处理，变更为使上述对准标记M1的标记中心M1C的实际位置的上述坐标值成为被指示的坐标值(X＝0，Y＝0)，使上述对准标记M2的标记中心M2C的实际位置的上述坐标值成为被指示的坐标值(X＝X2–X1，Y＝0)，以及使上述对准标记M3的标记中心M3C的实际位置的上述坐标值成为被指示的坐标值(X＝0，Y＝Y2–Y1)的工件坐标系，在变更后的该工件坐标系中，使划线头基于设定的程序进行移动，在处于上述定位状态的脆性材料基板上形成依据对准标记得到的划线。

本发明的划线装置包括：工件工作台16，该工件工作台16在上表面具有X方向止挡件和Y方向止挡件，该X方向止挡件在前端边与设定在NC装置上的工件坐标系的X轴一致，该Y方向止挡件在前端边与设定在NC装置上的上述工件坐标系的Y轴一致；划线头，该划线头在依据上述工件工作台的上述X方向止挡件的前端边及Y方向止挡件的前端边而定位于上述工件坐标系的脆性材料基板的上方，在工件坐标系中移动而在上述脆性材料基板上形成划线；CCD照相机，该CCD照相机与上述划线头并列设置于共用支架，与划线头一体地在工件坐标系中移动；共用的X轴移动元件及Y轴移动元件，该共用的X轴移动元件及Y轴移动元件使上述划线头和CCD照相机作为一体而在工件坐标系中移动；图像处理装置，该图像处理装置进行由上述CCD照相机实施的拍摄指示，对拍摄到的图像进行图像处理及运算处理；以及NC装置，该NC装置对由上述图像处理装置向CCD照相机发出的拍摄指示、图像处理指示及运算处理指示、由上述划线头进行的向脆性材料基板的划线的形成、上述共用的X轴移动元件及Y轴移动元件的动作进行控制，NC装置在使标记有对准标记的脆性材料基板与上述工件工作台的上述X方向止挡件的前端边及Y方向止挡件的前端边对齐而定位在上述工件坐标系中的状态下，使划线头与CCD照相机作为一体而在工件坐标系中移动，使上述CCD照相机的相机中心与标记在脆性材料基板上且处于正交配置关系的至少三个点的对准标记M1、M2及M3的在上述工件坐标系中的设定坐标值M1(X＝X1，Y＝Y1)、M2(X＝X2，Y＝Y1)及M3(X＝X1，Y＝Y2)对齐，利用CCD照相机对各对准标记M1、M2及M3进行拍摄，利用图像处理装置对拍摄到的图像进行图像处理及运算处理，对上述对准标记M1、M2及M3各自的标记中心M1C、M2C及M3C的在上述工件坐标系中的实际位置的坐标值进行计量，基于来自图像处理装置的计量得到的标记中心M1C、M2C及M3C各自的坐标值，和上述对准标记M1、M2及M3的设定坐标值M1(X＝X1，Y＝Y1)、M2(X＝X2，Y＝Y1)及M3(X＝X1，Y＝Y2)进行运算处理，变更为使上述对准标记M1的标记中心M1C的实际位置的上述坐标值成为被指示的坐标值(X＝0，Y＝0)，使上述对准标记M2的标记中心M2C的实际位置的上述坐标值成为被指示的坐标值(X＝X2–X1，Y＝0)，使上述对准标记M3的标记中心M3C的实际位置的上述坐标值成为被指示的坐标值(X＝0，Y＝Y2–Y1)的工件坐标系，在变更后的该工件坐标系中，为了使划线头基于设定的程序进行移动，而利用划线头在处于上述定位状态的脆性材料基板上形成依据对准标记得到的划线，对CCD照相机的拍摄指示、共用的X轴移动元件及Y轴移动元件的工作进行控制。

本发明由于使划线头和CCD照相机作为一体而利用共用的移动元件进行移动，因此能够不受移动元件的热膨胀及机械误差影响地，使划线头的移动量与CCD照相机的移动量始终一致，因而CCD照相机与划线头一体地移动，根据基于由CCD照相机计量得到的计量值的指令值，使划线头的移动值与使划线头移动的指令值始终一致。

另外，本发明使划线头和CCD照相机作为一体而利用共用的移动元件在对脆性材料基板进行了定位的工件坐标系中进行移动，使CCD照相机的相机中心与标记在脆性材料基板上且处于正交配置关系的至少三个点的对准标记M1、M2及M3的设定坐标值M1(X＝X1，Y＝Y1)、M2(X＝X2，Y＝Y1)及M3(X＝X1，Y＝Y2)对齐而进行拍摄，对对准标记M1、M2及M3各自的标记中心M1C、M2C及M3C的在工件坐标系中的实际位置的坐标值进行计量，进行基于标记中心M1C、M2C及M3C的计量得到的坐标值的运算处理，变更为使对准标记M1的标记中心M1C的计量到的实际的坐标值成为被指示的坐标值(X＝0，Y＝0)，使对准标记M2的标记中心M2C的计量到的实际的坐标值成为被指示的坐标值(X＝X2–X1，Y＝0)，使对准标记M3的标记中心M3C的计量到的实际的坐标值成为被指示的坐标值(X＝0，Y＝Y2–Y1)的工件坐标系。

变更后的工件坐标系形成为将被定位的脆性材料基板的对准标记M1的标记中心M1C的实际位置设定为与原点(X＝0，Y＝0)对齐，将对准标记M2的标记中心M2C的实际位置设定为与X轴上的坐标值(X＝X2–X1，Y＝0)对齐，将对准标记M3的标记中心M3C的实际位置设定为与Y轴上的坐标值(X＝0，Y＝Y2–Y1)对齐的工件坐标系。

即，变更后的工件坐标系是基于由CCD照相机得到的计量值，将标记中心M1C、M2C及M3C的实际位置设定为基准的工件坐标系。

因而，在该变更后的工件坐标系中对脆性材料基板进行划线，能在脆性材料基板上形成依据实际位置的对准标记得到的划线。

另外，能与上述的效果互相配合而形成与预定的指令位置一致的精确的划线。

此外，直接使制图上的划线坐标值与对准标记的实际位置对齐而进行划线动作。

此外，在对脆性材料基板进行定位时，即使存在位置偏差和角度偏差，也能不受该位置偏差和角度偏差影响地形成依据实际位置的对准标记得到的划线。

此外，能够不受脆性材料基板与使划线头移动的移动元件的热膨胀的差异影响地，形成依据脆性材料基板的对准标记得到的划线。

例如，采用本发明的划线方法，即使在图纸的尺寸上对准标记M1与对准标记M2的中心间的尺寸为300mm而实际的中心间距离为300.5mm的情况下，如果形成了通过M1的X＝0的直线和通过M2的X＝300的直线的划线，则两条划线的间隔为300.5mm。

理想的是，本发明使划线头沿X轴进行移动以及沿Y轴进行移动，另外在本发明中，脆性材料基板可以是玻璃基板、半导体基板或太阳能电池用基板等，但理想的是玻璃基板。

发明效果

采用本发明，能够提供一种划线方法及划线装置，即使在被定位在工作台上的脆性材料基板出现了位置偏差及角度偏差的状态下，也能直接在该位置偏差及角度偏差存在的状态下形成依据对准标记得到的划线，另外，即使工作台、工作台移动元件及划线头移动元件存在热膨胀的差异、机械误差，也能形成依据对准标记得到的划线。

另外，采用本发明，能够提供一种划线方法及划线装置，可以不受玻璃基板、半导体基板及太阳能电池用基板等脆性材料基板与划线头的移动元件的热膨胀的差异影响地，能形成依据对准标记得到的划线。

附图说明

图1是表示本发明的一实施例的划线装置的俯视图。

图2是图1所示的划线装置的侧视图。

图3是以玻璃基板的正交的三个点的对准标记的中心坐标为基准对工件坐标系进行了校正变换的说明图。

图4是本发明的划线方法的流程图。

具体实施方式

接下来，基于图中表示的理想的实施方式的例子对本发明进行进一步的详细说明。另外，本发明丝毫不限定于这些例子。

图1及图2所示的本例的划线装置1包括：工件工作台6，将在上表面标记有对准标记M1、M2、M3…的作为脆性材料基板的玻璃基板5载置、定位、吸附固定在该工件工作台6上；划线头2，该划线头2在工件工作台6的上方与玻璃基板5的上表面平行地在XY平面坐标系上移动；CCD照相机10，该CCD照相机10与划线头2并列设置，与划线头2一起成为一体；共用的X轴移动元件3及Y轴移动元件4，该共用的X轴移动元件3及Y轴移动元件4使划线头2及CCD照相机10成为一体而在XY平面坐标系上移动；图像处理装置(未图示)，该图像处理装置进行由CCD照相机10实施的拍摄指示，以及对拍摄到的图像进行图像处理及运算处理；以及NC装置(未图示)，该NC装置对X轴移动元件3及Y轴移动元件4的移动进行数值控制。

与设置在NC装置上的工件坐标系Z’一致的X方向止挡件7和Y方向止挡件8以正交的方式配置在工件工作台6的上表面上。X方向止挡件7的前端边7A表示与工件坐标系Z’的X轴一致的X轴7B，Y方向止挡件8的前端边8A表示与工件坐标系Z’的Y轴一致的Y轴8B。X轴7B和Y轴8B正交，X轴7B与Y轴8B的交点就是工件坐标系Z’的原点。

划线头2和CCD照相机10并列设置在作为共用支架的头板9的前表面上。

并列设置在头板9上的划线头2和CCD照相机10利用共用的移动元件30在XY坐标系上移动，共用的移动元件30由共用的X轴移动元件3和Y轴移动元件4构成。

X轴移动元件3由夹着工件工作台6分别在两侧位置沿X轴设置的X1轴移动元件3–1和X2轴移动元件3–2构成。

X1轴移动元件3–1和X2轴移动元件3–2分别包括：导轨12，该导轨12沿X轴7B安装于基台11；滑块13A，该滑块13A沿X轴7B移动自如地保持于导轨12；移动体13，该移动体13安装于滑块13A，并且固定安装有螺母部15A；伺服电动马达14，该伺服电动马达14和工件工作台6及导轨12一起安装在基台11的上表面上；以及滚珠丝杠15，该滚珠丝杠15沿导轨12配置，并且一端与伺服电动马达14的旋转输出轴连接，滚珠丝杠15借助与滚珠丝杠15螺纹配合的螺母部15A连接于移动体13。

X1轴移动元件3–1和X2轴移动元件3–2分别借助由伺服电动马达14的工作而促发的滚珠丝杠15的旋转而使移动体13沿X方向移动，X1轴移动元件3–1和X2轴移动元件3–2的各自的伺服电动马达14同步工作，X1轴移动元件3–1和X2轴移动元件3–2的各自的移动体13因各伺服电动马达14的同步工作而同步，沿X轴进行移动。

Y轴移动元件4包括：桥体16，该桥体16与X轴正交地配置，并且架设在X1轴移动元件3–1的移动体13和X2轴移动元件3–2的移动体13上；一对导轨17，这一对导轨17沿Y轴设置在桥体16上；滑块17A，该滑块17A沿Y轴移动自如地保持在导轨17上；L形的Y轴滑架18，该Y轴滑架18安装在滑块17A上，并且固定安装有螺母部20A；Y轴伺服马达19，该Y轴伺服马达19安装在桥体16的一端；以及滚珠丝杠20，该滚珠丝杠20在一端与Y轴伺服马达19的输出旋转轴连接，并且沿导轨17设置，滚珠丝杠20借助与该滚珠丝杠20螺纹配合的螺母部20A与Y轴滑架18连接。

Y轴移动元件4借助由Y轴伺服电动马达19的工作促发的滚珠丝杠20的旋转而使Y轴滑架18沿Y轴进行移动。

在Y轴滑架18的侧面部18B，与工件工作台6的上表面垂直且沿上下方向配置有一对导轨21，在沿上下方向移动自如地保持于这些导轨21的滑块21A上安装有头板9，在头板9上固定有螺母部9B，滚珠丝杠9C与螺母部9B螺纹配合，滚珠丝杠9C在上端与上下伺服马达22的输出轴连接，上下伺服马达22固定在Y轴滑架18的上端部18A。

头板9乃至划线头2和CCD照相机10因上下伺服马达22的工作而成为一体，被进行数值控制而沿上下方向H移动。

即，利用上下伺服马达22将划线头2和CCD照相机10相对于工件工作台6的上表面乃至被定位在该上表面的玻璃基板5，而定位在所需的高度位置。由此，在利用CCD照相机10对对准标记M1、M2及M3进行拍摄时，能进行CCD照相机10的焦点调整，另外在利用划线头2向玻璃基板5形成划线时，能将划线头2相对于玻璃基板5设定在适当的高度位置。

通过对安装在头板9上的划线头2和CCD照相机10上下进行数值控制而使该划线头2和CCD照相机10移动的本例的上下移动元件如上所述，包括安装在截面为L形的Y轴滑架18上的导轨21、上下移动自如地保持在导轨21上的滑块21A、安装在滑块21A上的头板9、固定安装在头板9上的螺母部9B、与螺母部9B螺纹配合的滚珠丝杠9C、以及使滚珠丝杠9C旋转的上下伺服马达22，但通过对该划线头2和CCD照相机10上下进行数值控制而使该划线头2和CCD照相机10移动的上下移动元件也可以构成为具备直线电动机。

划线头2包括划线轮2a、气缸24和角度控制电动机25，上述气缸24使划线轮2a升降，在形成划线时，该气缸24使划线轮2a下降，利用空气弹性将划线轮2a推压于玻璃基板5，上述角度控制电动机25依据划线方向改变划线轮2a的朝向，气缸24及角度控制电动机25安装在头板9上，划线轮2a安装在连接用具28上，该连接用具28固定安装在活塞杆26上，只在形成划线时利用气缸24使该划线轮2a下降，角度控制电动机25的输出旋转轴的旋转经由小齿轮25a、小齿轮27和连接用具28传递到划线轮2a，由此使划线轮2a依据划线方向改变朝向，上述小齿轮25a设置在角度控制电动机25的输出旋转轴上，上述小齿轮27以相对于小齿轮25a上下移动自如的方式与小齿轮25a啮合，并且安装在气缸24的活塞杆26上，上述连接用具28安装在活塞杆26上，并且支承划线轮2a，在形成划线时，相对于划线头2和CCD照相机10的上下移动，独立地进行由气缸24促发的划线轮2a的下降、上升，以及由角度控制电动机24进行的划线轮2a的朝划线方向的变向。

划线装置1除了以上的结构以外，还包括：对X轴移动元件3、Y轴移动元件4、上下伺服马达22及角度控制电动机25进行数值控制且进行工件坐标系变换等的运算处理的NC装置(CNC)；以及进行基于NC装置(CNC)的命令的由CCD照相机10进行的拍摄及对拍摄到的图像进行图像处理及对图像处理结果进行运算处理的图像处理装置等。

接下来，基于图3和图4说明由划线装置1进行的划线方法。

使标记有对准标记M1、M2、M3…的玻璃基板5在工件工作台6的上表面以各正交边与X方向止挡件7的前端边7A及Y方向止挡件8的前端边8A接触。通过该作业，依据事先设定在NC装置上的工件坐标系Z’对玻璃基板5进行定位，使玻璃基板5的正交边与工件坐标系Z’的X轴及Y轴分别一致。(步骤I)

接下来，使划线头2和CCD照相机10作为一体而利用共用的移动元件30在工件坐标系Z’上移动，使CCD照相机10的相机中心31分别与在工件工作台6上处于定位状态的玻璃基板5上标记的且处于正交配置关系的至少三个点的对准标记M1、M2及M3的、在工件坐标系Z’中的设定坐标值M1(X＝X1，Y＝Y1)、M2(X＝X2，Y＝Y1)及M3(X＝X1，Y＝Y2)对齐，对对准标记进行拍摄，在图像处理装置中进行图像处理，基于图像处理后的结果进行运算处理，对对准标记M1、M2及M3各自的标记中心M1C、M2C及M3C在工件坐标系Z’中的实际位置的坐标值进行计量。(步骤II)

将上述标记中心M1C、M2C及M3C的计量后的坐标值发送给NC装置，在NC装置中，基于上述标记中心M1C、M2C及M3C的计量后的坐标值，和对准标记M1、M2及M3的设定坐标值M1(X＝X1，Y＝Y1)、M2(X＝X2，Y＝Y1)及M3(X＝X1，Y＝Y2)，进行坐标旋转直角度校正和移动量校正等的运算处理，变更为使对准标记M1的标记中心M1C的实际位置的计量后的坐标值成为被指示的坐标值(X＝0，Y＝0)，使对准标记M2的标记中心M2C的实际位置的计量后的坐标值成为被指示的坐标值(X＝X2–X1，Y＝0)，使对准标记M3的标记中心M3C的实际位置的计量后的坐标值成为被指示的坐标值(X＝0，Y＝Y2–Y1)的工件坐标系Z。(步骤III)

在变更后的该工件坐标系Z中，使划线头2基于预先设定的NC程序在工件工作台6上处于定位状态的玻璃基板5上移动、动作，而形成依据对准标记得到的划线。(步骤IV)

如上所述，由本例的划线装置1进行的划线方法在将标记有对准标记的玻璃基板5在工件工作台6的上表面上依据设定在NC装置上的工件坐标系Z’而进行了定位的状态下，使划线头2和CCD照相机10作为一体而利用共用的移动元件30在工件坐标系Z’中移动，使CCD照相机10的相机中心31与标记在玻璃基板5上且处于正交配置关系的至少三个点的对准标记M1、M2及M3在工件坐标系Z’中的坐标值M1(X＝X1，Y＝Y1)、M2(X＝X2，Y＝Y1)及M3(X＝X1，Y＝Y2)对齐，对各对准标记M1、M2及M3进行拍摄、图像处理以及运算处理，对对准标记M1、M2及M3各自的标记中心M1C、M2C及M3C在工件坐标系Z’中的实际位置的坐标值进行计量，将计量得到的标记中心M1C、M2C及M3C的各自的坐标值发送给NC装置，在NC装置中基于上述标记中心M1C、M2C及M3C的计量后的坐标值，和对准标记M1、M2及M3的设定坐标值M1(X＝X1，Y＝Y1)、M2(X＝X2，Y＝Y1)及M3(X＝X1，Y＝Y2)进行运算处理，变更为使对准标记M1的标记中心M1C的实际位置的坐标值成为被指示的坐标值(X＝0，Y＝0)，使对准标记M2的标记中心M2C的实际位置的坐标值成为被指示的坐标值(X＝X2–X1，Y＝0)，使对准标记M3的标记中心M3C的实际位置的坐标值成为被指示的坐标值(X＝0，Y＝Y2–Y1)的工件坐标系Z，在变更后的该工件坐标系Z中，使划线头2基于预先设定的NC程序在工件工作台6上处于定位状态的玻璃基板5上移动，形成依据对准标记得到的划线。

并且，划线装置1包括：工件工作台6，该工件工作台6在上表面具有X方向止挡件7和Y方向止挡件8，该X方向止挡件7在前端边7A与设定在NC装置上的工件坐标系Z’的X轴7B一致，上述Y方向止挡件8在前端边8A与工件坐标系Z’的Y轴8B一致；划线头2，该划线头2在玻璃基板5的上方在玻璃基板5上形成划线32、33，上述玻璃基板5依据工件工作台6的上表面的X方向止挡件7的前端边7A及Y方向止挡件8的前端边8A定位于工件坐标系Z’中；CCD照相机10，该CCD照相机10与划线头2并列设置，与划线头2一体移动；共用的X轴移动元件3及Y轴移动元件4，该共用的X轴移动元件3及Y轴移动元件4使划线头2和CCD照相机10作为一体而在工件坐标系Z’、Z的XY坐标系中移动；图像处理装置，该图像处理装置进行由CCD照相机10实施的拍摄、图像处理、运算处理、以及向NC装置输出数据；以及NC装置，该NC装置对CCD照相机10的拍摄指示、图像处理装置的图像处理、图像处理结果的运算处理、由划线头2实施的划线32、33的形成、共用的X轴移动元件3及Y轴移动元件4的移动进行控制，NC装置在使标记有对准标记M1、M2、M3…的玻璃基板5与工件工作台6的X方向止挡件7的前端边7A及Y方向止挡件8的前端边8A对齐而定位于工件坐标系Z’的状态下，使划线头2和CCD照相机10作为一体而在工件坐标系Z’中移动，使CCD照相机10的相机中心31与标记在玻璃基板5上且处于工件坐标系Z’中的正交配置关系的至少三个点的对准标记M1、M2及M3在工件坐标系Z’中的坐标值M1(X＝X1，Y＝Y1)、M2(X＝X2，Y＝Y1)及M3(X＝X1，Y＝Y2)对齐，利用CCD照相机10对各对准标记M1、M2及M3进行拍摄，利用图像处理装置进行图像处理，基于图像处理的结果进行运算处理，对对准标记M1、M2及M3各自的标记中心M1C、M2C及M3C在工件坐标系Z’中的实际位置的坐标值进行计量，基于计量得到的标记中心M1C、M2C及M3C各自的坐标值，和对准标记M1、M2及M3的设定坐标值M1(X＝X1，Y＝Y1)、M2(X＝X2，Y＝Y1)及M3(X＝X1，Y＝Y2)进行运算处理，变更为使对准标记M1的标记中心M1C的实际位置的坐标值成为被指示的坐标值(X＝0，Y＝0)，使对准标记M2的标记中心M2C的实际位置的坐标值成为被指示的坐标值(X＝X2–X1，Y＝0)，使对准标记M3的标记中心M3C的实际位置的坐标值成为被指示的坐标值(X＝0，Y＝Y2–Y1)的工件坐标系Z，在变更后的该工件坐标系Z中，利用X轴移动元件3及Y轴移动元件4使划线头2基于NC控制程序在处于定位状态的玻璃基板5上移动，分别形成依据对准标记得到的例如通过标记中心M3C的X方向的划线32及通过标记中心M2C的Y方向的划线33。

(符号说明)

1…划线装置

2…划线头

3…X轴移动元件

4…Y轴移动元件

5…玻璃基板

6…工件工作台

7…X方向止挡件

8…Y方向止挡件

9…头板

10…CCD照相机

11…基台

12、17、21…导轨

13…移动体

13A、17A、21A…滑块

14…伺服电动马达

9C、15、20…滚珠丝杠

9B、15A、20A…螺母部

16…桥体

18…Y轴滑架

19…Y轴伺服马达

22…上下伺服马达

24…气缸

25…角度控制电动机

26…活塞杆

27…小齿轮

28…连接用具

Claims (6)

1.一种划线方法，其特征在于,

在将标记有对准标记的脆性材料基板依据设定在NC装置上的工件坐标系而在工作台的上表面进行了定位的状态下，使划线头和CCD照相机作为一体而利用共用的移动元件在所述工件坐标系中移动，使所述CCD照相机的相机中心与标记在所述脆性材料基板上且处于正交配置关系的至少三个点的对准标记M1、M2及M3的在所述工件坐标系中的设定坐标值M1(X＝X1，Y＝Y1)、M2(X＝X2，Y＝Y1)及M3(X＝X1，Y＝Y2)对齐，对各对准标记M1、M2及M3进行拍摄，对拍摄到的对准标记M1、M2及M3的图像进行图像处理，基于该图像处理的结果对所述对准标记M1、M2及M3各自的标记中心M1C、M2C及M3C的在所述工件坐标系中的实际位置的坐标值进行计量，基于这些标记中心M1C、M2C及M3C的计量得到的各坐标值，以及所述对准标记M1、M2及M3的设定坐标值M1(X＝X1，Y＝Y1)、M2(X＝X2，Y＝Y1)及M3(X＝X1，Y＝Y2)进行运算处理，变更为使所述对准标记M1的标记中心M1C的实际位置的所述坐标值成为被指示的坐标值(X＝0，Y＝0)，使所述对准标记M2的标记中心M2C的实际位置的所述坐标值成为被指示的坐标值(X＝X2–X1，Y＝0)，使所述对准标记M3的标记中心M3C的实际位置的所述坐标值成为被指示的坐标值(X＝0，Y＝Y2–Y1)的工件坐标系，在变更后的该工件坐标系中，使划线头基于程序进行移动，在处于定位状态的所述脆性材料基板上形成依据对准标记得到的划线。

2.如权利要求1所述的划线方法，其特征在于，

使划线头沿X轴移动以及沿Y轴移动。

3.如权利要求1或2所述的划线方法，其特征在于，

脆性材料基板是玻璃基板。

4.一种划线装置，其特征在于，包括：

工件工作台，该工件工作台在上表面具有X方向止挡件和Y方向止挡件，所述X方向止挡件在前端边与设定在NC装置上的工件坐标系的X轴一致，所述Y方向止挡件在前端边与设定在NC装置上的所述工件坐标系的Y轴一致；

划线头，该划线头在依据所述工件工作台的所述X方向止挡件的前端边及Y方向止挡件的前端边而定位于所述工件坐标系的脆性材料基板的上方，在工件坐标系中移动而在所述脆性材料基板上形成划线；

CCD照相机，该CCD照相机与所述划线头并列设置于共用支架，与划线头一体地在工件坐标系中移动；

共用的X轴移动元件及Y轴移动元件，所述共用的X轴移动元件及Y轴移动元件使所述划线头和CCD照相机作为一体而在工件坐标系中移动；

图像处理装置，所述图像处理装置发出由所述CCD照相机实施的拍摄指示，对拍摄到的图像进行图像处理及运算处理；以及

NC装置，该NC装置对由所述图像处理装置向CCD照相机发出的拍摄指示、图像处理指示及运算处理指示、由所述划线头进行的向脆性材料基板形成划线、所述共用的X轴移动元件及Y轴移动元件的动作进行控制，

NC装置在使标记有对准标记的脆性材料基板与所述工件工作台的所述X方向止挡件的前端边及Y方向止挡件的前端边对齐而定位在所述工件坐标系中的状态下，使划线头与CCD照相机作为一体而在工件坐标系中移动，使所述CCD照相机的相机中心与标记在脆性材料基板上且处于正交配置关系的至少三个点的对准标记M1、M2及M3的在所述工件坐标系中的设定坐标值M1(X＝X1，Y＝Y1)、M2(X＝X2，Y＝Y1)及M3(X＝X1，Y＝Y2)对齐，利用CCD照相机对各对准标记M1、M2及M3进行拍摄，利用图像处理装置对拍摄到的图像进行图像处理及运算处理，对所述对准标记M1、M2及M3各自的标记中心M1C、M2C及M3C的在所述工件坐标系中的实际位置的坐标值进行计量，基于来自图像处理装置的计量得到的标记中心M1C、M2C及M3C各自的坐标值，以及所述对准标记M1、M2及M3的设定坐标值M1(X＝X1，Y＝Y1)、M2(X＝X2，Y＝Y1)及M3(X＝X1，Y＝Y2)进行运算处理，变更为使所述对准标记M1的标记中心M1C的实际位置的所述坐标值成为被指示的坐标值(X＝0，Y＝0)，使所述对准标记M2的标记中心M2C的实际位置的所述坐标值成为被指示的坐标值(X＝X2–X1，Y＝0)，使所述对准标记M3的标记中心M3C的实际位置的所述坐标值成为被指示的坐标值(X＝0，Y＝Y2–Y1)的工件坐标系，在变更后的该工件坐标系中，为了使划线头基于程序进行移动，而利用划线头在处于定位状态的所述脆性材料基板上形成依据对准标记得到的划线，对CCD照相机的拍摄指示、共用的X轴移动元件及Y轴移动元件的动作进行控制。

5.如权利要求4所述的划线装置，其特征在于，

划线头沿X轴移动以及沿Y轴移动。

6.如权利要求4或5所述的划线装置，其特征在于，

脆性材料基板是玻璃基板。