CN104035278A - 感光性树脂组合物和使用该组合物制造的间隔物 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种感光性树脂组合物和使用该组合物制造的间隔物。本发明提供一种如下的感光性树脂组合物,该感光性树脂组合物包含碱可溶性树脂、光固化性单体、光聚合引发剂、氨基苯乙酮类或氨基苯甲醛类氢供体、以及溶剂,从而激活由光聚合引发剂产生的烷基自由基,并进一步使光反应性提高,光效率达到最大限度,因此该感光性树脂组合物具有大幅度得到改善后的灵敏度。
Description
技术领域
本发明涉及一种感光性树脂组合物和使用该组合物制造的间隔物,更详细而言,涉及一种具有高灵敏度、且高交联密度的感光性树脂组合物和使用该组合物制造的间隔物。
背景技术
一般的显示装置为了维持上下基板之间的间隔恒定,而使用具有一定直径的硅珠或塑料珠等。但是,上述珠粒在基板上随机分散,当其位于像素内部时,则存在开口率(aperture ratio)下降、并且发生漏光的问题。为了解决这样的问题,在显示装置的内部使用由光刻法形成的间隔物,近几年来,在用于图像显示装置的间隔物的制造中,采用光刻法已成为一般的技术。
由光刻法形成间隔物的方法是指,在基板上涂布感光性树脂组合物,并经由掩模照射紫外线,之后与形成于掩模上的图案相同而通过显影过程在基板上的所期望的位置处形成间隔物。
然而,为了防止所涂布的感光性树脂组合物和掩模的污染,就需要使掩模与涂布有感光性树脂组合物的基板维持一定的间隔。但是,由于通过了掩模的光扩散到上述间隔,因此存在曝光比掩模图案的设计上的尺寸更广的问题。
近几年来,为了提高图像质量的清晰度,而使像素的尺寸变小,随之也要求间隔物有尺寸小的微细图案,因此人们强烈要求解决上述问题。
为了解决上述问题,韩国公开专利第10-2001-0100808号公报和第10-2002-0053757号公报公开了通过下述方法形成点状或条状的间隔物的技术,但是该技术并不能解决上述问题,所述方法是指,使用聚合物粘合剂作为丙烯酸类共聚物,在基板上涂布由多元丙烯酸酯交联剂和光聚合引发剂组成的感光性树脂组合物,之后经由规定的掩模照射紫外线,并使所期望的部分固化,而且将未固化的部分用碱水溶液进行水洗而去除的方法。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:韩国公开专利第10-2001-0100808号公报
专利文献2:韩国公开专利第10-2002-0053757号公报
发明内容
发明所要解决的课题
本发明的目的在于,提供一种由于灵敏度高、因此即使在低曝光量下交联密度也高的感光性树脂组合物。
此外,本发明的目的在于提供一种如下的感光性树脂组合物:该感光性树脂组合物与基板的密合性优异,在显影工序中不会发生图案的脱落,并能够形成具有优异的弹性回复率和T/B比、同时具有因外部压力而引起变形较少的坚硬特性的间隔物。
本发明的另一目的在于,提供一种将上述感光性树脂组合物涂布成规定的图案、并使之固化而形成的间隔物。
本发明的又一目的在于,提供一种包括上述间隔物的图像显示装置。
用于解决课题的方法
1.一种感光性树脂组合物,包含碱可溶性树脂、光固化性单体、光聚合引发剂、氨基苯乙酮类或氨基苯甲醛类氢供体、以及溶剂。
2.根据上述项目1所述的感光性树脂组合物,其中,上述氨基苯乙酮类或氨基苯甲醛类氢供体是下述化学式1所示的化合物。
【化学1】
〔在上式中,R1和R2分别独立为碳原子数1~6的直链或支链的烷基,R3是氢、羟基或碳原子数为1~10的直链或支链的烷基。〕
3.根据上述项目1所述的感光性树脂组合物,其中,所述氨基苯乙酮类氢供体是对二甲氨基苯乙酮。
4.根据上述项目1所述的感光性树脂组合物,其中,相对于100重量份的组合物,含有0.1~20重量份的所述氨基苯乙酮类或氨基苯甲醛类氢供体。
5.根据上述项目1所述的感光性树脂组合物,其中,所述光聚合引发剂包含选自苯乙酮类、联咪唑类和肟类中的至少一种光聚合引发剂。
6.根据上述项目5所述的感光性树脂组合物,其中,所述苯乙酮类光聚合引发剂是选自二乙氧基苯乙酮、2-羟基-2-甲基-1-苯基丙烷-1-酮、苯偶酰二甲基缩酮、2-羟基-1-[4-(2-羟基乙氧基)苯基]-2-甲基丙烷-1-酮、1-羟基环己基苯基甲酮、2-甲基-1-(4-甲硫基苯基)-2-吗啉代丙烷-1-酮、2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)丁烷-1-酮、2-(2-甲基苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(3-甲基苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(4-甲基苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(2-乙基苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(2-丙基苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(2-丁基苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(2,3-二甲基苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(2,4-二甲基苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(2-氯苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(2-溴苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(3-氯苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(4-氯苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(3-溴苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(4-溴苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(2-甲氧基苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(3-甲氧基苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(4-甲氧基苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(2-甲基-4-甲氧基苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(2-甲基-4-溴苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(2-溴-4-甲氧基苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-羟基-2-甲基-1-[4-(1-甲基乙烯基)苯基]丙烷-1-酮的低聚物、2-甲基-2-氨基(4-吗啉代苯基)乙烷-1-酮、2-乙基-2-氨基(4-吗啉代苯基)乙烷-1-酮、2-丙基-2-氨基(4-吗啉代苯基)乙烷-1-酮、2-丁基-2-氨基(4-吗啉代苯基)乙烷-1-酮、2-甲基-2-氨基(4-吗啉代苯基)丙烷-1-酮、2-甲基-2-氨基(4-吗啉代苯基)丁烷-1-酮、2-乙基-2-氨基(4-吗啉代苯基)丙烷-1-酮、2-乙基-2-氨基(4-吗啉代苯基)丁烷-1-酮、2-甲基-2-甲基氨基(4-吗啉代苯基)丙烷-1-酮、2-甲基-2-二甲基氨基(4-吗啉代苯基)丙烷-1-酮、2-甲基-2-二乙基氨基(4-吗啉代苯基)丙烷-1-酮中的至少一种。
7.根据上述项目5所述的感光性树脂组合物,其中,所述联咪唑类光聚合引发剂是选自2,2’-双(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基联咪唑、2,2’-双(2,3-二氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基联咪唑、2,2’-双(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四(烷氧基苯基)联咪唑、2,2’-双(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四(二烷氧基苯基)联咪唑、2,2’-双(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四(三烷氧基苯基)联咪唑和4、4’、5、5’位的苯基被烷氧羰基取代的咪唑化合物中的至少一种。
8.根据上述项目5所述的感光性树脂组合物,其中,所述肟类光聚合引发剂是选自O-乙氧羰基-α-肟基-1-苯基丙烷-1-酮、下述化学式5所示化合物和下述化学式6所示化合物中的至少一种。
【化学2】
【化学3】
9.一种间隔物,所述间隔物是由上述项目1至8中任一项所述的感光性树脂组合物形成的。
10.一种图像显示装置,其包括上述项目9所述的间隔物。
发明效果
本发明的感光性树脂组合物,通过包含氨基苯乙酮类或氨基苯甲醛类氢供体,从而激活由光聚合引发剂产生的烷基自由基,并进一步使光反应性提高,光效率达到最大限度,因此具有大幅度得到改善后的灵敏度。通过上述的灵敏度的提高,即使在固化时以很少的曝光量,也具有足够的交联密度,并能够缩短曝光时间。
另外,由于本发明的感光性树脂组合物在固化后与基板的密合性优异,因此在显影工序中不会发生图案的脱落,图案的形状维持性能也优异。
另外,由本发明的感光性树脂组合物制造的间隔物,具有优异的弹性回复率和T/B比,并且具有因外部压力而引起变形较少的坚硬特性。
另外,如果并用本发明的感光性树脂组合物和肟酯类光聚合引发剂,则由于灵敏度变得良好,并进一步改善了固化时的密合性和图案形成特性,因此耐溶剂性和耐热性均提高,透明度也变高。
附图说明
图1是表示T/B比的定义的示意图。
具体实施方式
本发明提供一种如下的感光性树脂组合物:该感光性树脂组合物包含碱可溶性树脂、光固化性单体、光聚合引发剂、氨基苯乙酮类或氨基苯甲醛类氢供体、以及溶剂,从而激活由光聚合引发剂产生的烷基自由基,并进一步使光反应性提高,光效率达到最大限度,因此该感光性树脂组合物具有大幅度得到改善后的灵敏度。
下面,进一步详细地说明本发明。
<氨基苯乙酮类或氨基苯甲醛类氢供体>
本发明的感光性树脂组合物包含氨基苯乙酮类或氨基苯甲醛类氢供体。
氨基苯乙酮类或氨基苯甲醛类氢供体,可激活在光照射时由光聚合引发剂产生的烷基自由基,并进一步使光反应性提高,光效率达到最大限度,因此感光性树脂组合物的灵敏度得到提高。在这方面,由于从氨基苯乙酮类或氨基苯甲醛类氢供体向氮原子的α位供给氢,因此为了进一步供给氢,而优选氮原子被烷基取代。
关于本发明的氨基苯乙酮类或氨基苯甲醛类氢供体的更具体的示例,如下述化学式1所示。
【化学4】
〔在上式中,R1和R2分别独立为碳原子数1~6的直链或支链的烷基,R3是氢、羟基或碳原子数为1~10的直链或支链的烷基,优选R3是氢或碳原子数为1~10的直链或支链的烷基,更优选R3是氢。〕
本发明的氨基苯乙酮类氢供体的更优选的例子为,对二甲氨基苯乙酮。
本发明的氨基苯乙酮类和氨基苯甲醛类氢供体的含量,可以根据需要进行适当调节,例如,相对于100重量份的感光性树脂组合物,上述氢供体的含量为0.1~20重量份,这由于能使感光性树脂组合物的灵敏度提高而不会降低其他的理化性质,因此优选上述氢供体的含量,但并不仅限于此。
本发明的感光性树脂组合物,除了包含氨基苯乙酮类和氨基苯甲醛类氢供体以外,还能够包含本领域中的用于感光性树脂组合物的成分而没有特别限制。例如,还能够进一步包含碱可溶性树脂、光固化性单体、光聚合引发剂、溶剂等。
<碱可溶性树脂>
通常,碱可溶性树脂因光或热的作用而具有反应性和碱溶解性,并起到作为其他成分的分散介质的作用。本发明的感光性树脂组合物所含的碱可溶性树脂,优选由包含具有环氧基三环癸烷环结构和不饱和键的单体进行制备,进一步优选为上述单体包含下述化学式2和化学式3所示的单体中的至少一种以上。
【化学5】
〔在上式中,R1是氢、或者包含或不包含杂原子的碳原子数为1~20的烷基或环烷基,R2是单键、或者包含或不包含杂原子的碳原子数为1~20的亚烷基或环亚烷基,上述R1和R2可以分别独立被羟基取代。〕
【化学6】
〔在上式中,R1是氢、或者包含或不包含杂原子的碳原子数为1~20的烷基或环烷基,R2是单键、或者包含或不包含杂原子的碳原子数为1~20的亚烷基或环亚烷基,上述R1和R2可以分别独立被羟基取代。〕
在上述化学式2和化学式3中,作为R1的更具体的例子,分别独立地列举出:氢;甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、仲丁基、叔丁基等烷基;羟甲基、1-羟乙基、2-羟乙基、1-羟基-正丙基、2-羟基-正丙基、3-羟基-正丙基、1-羟基-异丙基、2-羟基-异丙基、1-羟基-正丁基、2-羟基-正丁基、3-羟基-正丁基、4-羟基-正丁基等含有羟基的烷基。其中,优选为,R1分别独立为氢、甲基、羟甲基、1-羟乙基或2-羟乙基,特别是进一步优选为氢或甲基。
在上述化学式2和化学式3中,作为R2的更具体的例子,分别独立地列举出:单键;亚甲基、亚乙基、亚丙基等亚烷基;氧化亚甲基、氧化乙烯基、氧化丙烯基、亚甲硫基(thiomethylene)、亚乙硫基(thioethylene)、亚丙硫基(thiopropylene)、氨基亚甲基、氨基亚乙基、氨基亚丙基等含有杂原子的亚烷基。其中,优选为R2是单键、亚甲基、亚乙基、氧化亚甲基或氧化乙烯基,特别是进一步优选为R2是单键或氧化乙烯基。在本发明中,当R2为单键时,则意味着三环癸基的8位或9位的碳与丙烯酸酯基的氧直接结合。
作为这样的具有环氧基三环癸烷环结构和不饱和键的单体的更具体的例子,可以列举:环氧基二环癸基(甲基)丙烯酸酯-3,4-环氧基三环癸烷-9-基(甲基)丙烯酸酯;3,4-环氧基三环癸烷-9-基(甲基)丙烯酸酯;环氧基二环癸基(甲基)丙烯酸酯-3,4-环氧基三环癸烷-8-基(甲基)丙烯酸酯;3,4-环氧基三环癸烷-8-基(甲基)丙烯酸酯;环氧基二环戊基乙氧基(甲基)丙烯酸酯-2-(3,4-环氧基三环癸烷-9-基氧基)乙基(甲基)丙烯酸酯;环氧基二环戊基乙氧基(甲基)丙烯酸酯-2-(3,4-环氧基三环癸烷-8-基氧基)乙基(甲基)丙烯酸酯;环氧基二环戊基氧基己基(甲基)丙烯酸酯;环氧基二环癸基(甲基)丙烯酸酯等,优选列举出环氧基二环癸基(甲基)丙烯酸酯、环氧基二环戊基乙氧基(甲基)丙烯酸酯等。这些成分可以分别单独使用或者是组合使用两种以上。
在本发明中,(甲基)丙烯酸酯是指丙烯酸酯和/或甲基丙烯酸酯。
本发明的碱可溶性树脂,是将包含具有上述环氧基三环癸烷环结构和不饱和键的单体在内的单体进行共聚而制备的。更具体而言,能够将以下的(a)单体、(b)单体和(c)单体进行共聚而制备,所述(a)单体具有环氧基三环癸烷环结构和不饱和键;所述(b)单体能够与具有上述环氧基三环癸烷环结构和不饱和键的单体进行共聚;所述(c)单体具有与羧基形成的不饱和键。
作为上述(b)单体的具体例子,可以列举以下的单体。
首先,可以列举:苯乙烯、氯苯乙烯、乙烯基甲苯、α-甲基苯乙烯、对氯苯乙烯、邻甲氧基苯乙烯、间甲氧基苯乙烯、对甲氧基苯乙烯、邻乙烯基苄基甲醚、间乙烯基苄基甲醚、对乙烯基苄基甲醚、邻乙烯基苄基缩水甘油醚、间乙烯基苄基缩水甘油醚、对乙烯基苄基缩水甘油醚、茚等芳香族乙烯基类单体,其中,乙烯基甲苯因其显影性和工艺性优异而优选。还可以列举:N-环己基马来酰亚胺、N-苄基马来酰亚胺、N-苯基马来酰亚胺、N-邻羟基苯基马来酰亚胺、N-间羟基苯基马来酰亚胺、N-对羟基苯基马来酰亚胺、N-邻甲基苯基马来酰亚胺、N-间甲基苯基马来酰亚胺、N-对甲基苯基马来酰亚胺、N-邻甲氧基苯基马来酰亚胺、N-间甲氧基苯基马来酰亚胺、N-对甲氧基苯基马来酰亚胺等N-取代马来酰亚胺类单体;(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸二甲氨基乙酯、(甲基)丙烯酸异丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸异冰片酯、(甲基)丙烯酸-2-苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸四氢糠酯、(甲基)丙烯酸羟乙酯、(甲基)丙烯酸-2-羟丙酯、(甲基)丙烯酸-2-羟基-3-氯丙酯、(甲基)丙烯酸-4-羟丁酯、酰基辛氧基-2-羟丙基(甲基)丙烯酸酯、丙烯酸乙基己酯、(甲基)丙烯酸-2-甲氧基乙酯、(甲基)丙烯酸-3-甲氧基丁酯、乙氧基二甘醇(甲基)丙烯酸酯、甲氧基三甘醇(甲基)丙烯酸酯、甲氧基三丙二醇(甲基)丙烯酸酯、甲氧基聚乙二醇(甲基)丙烯酸酯、苯氧基二甘醇(甲基)丙烯酸酯、对壬基苯氧基聚乙二醇(甲基)丙烯酸酯、对壬基苯氧基聚丙二醇(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸四氟丙酯、(甲基)丙烯酸-1,1,1,3,3,3-六氟异丙酯、(甲基)丙烯酸八氟戊酯、(甲基)丙烯酸十七氟癸酯、(甲基)丙烯酸三溴苯酯、β-(甲基)酰氧基乙基氢琥珀酸酯、丙烯酸甲基-α-羟甲酯、丙烯酸乙基-α-羟甲酯、丙烯酸丙基-α-羟甲酯、丙烯酸丁基-α-羟甲酯等的(甲基)丙烯酸酯类单体;丙烯酸-2-氨基乙酯、甲基丙烯酸-2-氨基乙酯、丙烯酸-2-二甲氨基乙酯、甲基丙烯酸-2-二甲氨基乙酯、丙烯酸-2-氨基丙酯、甲基丙烯酸-2-氨基丙酯、丙烯酸-2-二甲氨基丙酯、甲基丙烯酸-2-二甲氨基丙酯、丙烯酸-3-氨基丙酯、甲基丙烯酸-3-氨基丙酯、丙烯酸-3-二甲氨基丙酯、甲基丙烯酸-3-二甲氨基丙酯等不饱和羧酸氨基烷基酯类单体;乙酸乙烯酯、丙酸乙烯酯、丁酸乙烯酯、苯甲酸乙烯酯等羧酸乙烯酯类单体;乙烯基甲醚、乙烯基***、烯丙基缩水甘油醚等不饱和醚类;丙烯腈、甲基丙烯腈、α-氯丙烯腈、双氰亚乙烯等氰化乙烯基类单体;丙烯酰胺、甲基丙烯酰胺、α-氯丙烯酰胺、N-2-羟乙基丙烯酰胺、N-2-羟乙基甲基丙烯酰胺等不饱和酰胺类;1,3-丁二烯、异戊二烯、氯丁二烯等脂肪族共轭二烯类单体;以及在聚苯乙烯、聚丙烯酸甲酯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚丙烯酸正丁酯、聚甲基丙烯酸正丁酯、聚硅氧烷的聚合物分子链的末端具有单丙烯酰基或单甲基丙烯酰基的大分子单体等。这些单体可以分别单独使用或者是组合使用两种以上。
作为具有与羧基形成的不饱和键的上述(c)单体,只要是具有可聚合的不饱和双键的羧酸化合物即可,对其没有特别限定,具体而言,例如可以列举丙烯酸、甲基丙烯酸等。丙烯酸、甲基丙烯酸可以分别单独使用或者是组合使用两种以上。另外,还可以在这些丙烯酸或甲基丙烯酸中、再加入一种以上的其他酸之后进行使用。作为其他的酸,可以使用不饱和一元羧酸或不饱和多元羧酸,具体而言,还可以并用从巴豆酸、衣康酸、中康酸、柠康酸、马来酸、富马酸等其他的不饱和羧酸中选出的一种以上的羧酸。另外,具有与羧基形成的不饱和键的单体是指酸酐,上述不饱和多元羧酸酐例如可以列举马来酸酐、衣康酸酐、柠康酸酐等。
另外,上述不饱和多元羧酸是该不饱和多元羧酸的单(2-甲基丙烯酰氧基烷基)酯,例如可以列举:琥珀酸单(2-丙烯酰氧基乙基)酯、琥珀酸单(2-甲基丙烯酰氧基乙基)酯、邻苯二甲酸单(2-丙烯酰氧基乙基)酯、邻苯二甲酸单(2-甲基丙烯酰氧基乙基)酯等。
上述不饱和多元羧酸是指,该不饱和多元羧酸的两个末端的二羧基聚合物的单(甲基)丙烯酸酯,例如可以列举:ω-羧基聚己内酯单丙烯酸酯、ω-羧基聚己内酯单甲基丙烯酸酯等。
另外,上述不饱和多元羧酸是指,在同一分子中包含羟基和羧基的不饱和丙烯酸酯,例如可以列举α-(羟甲基)丙烯酸等。
其中,丙烯酸、甲基丙烯酸、马来酸酐等因共聚的反应性高而优选使用。
根据本发明,在将上述(a)~(c)进行共聚而得到的共聚物(本发明还包括:将进一步包含除了a~c以外的单体进行共聚的情况)中,关于由(a)~(c)分别衍生的构成成分的比例,相对于构成上述共聚物的构成成分的总摩尔数,以摩尔分率计优选为以下的范围。
由(a)衍生的结构单元:2~50摩尔%
由(b)衍生的结构单元:2~50摩尔%
由(c)衍生的结构单元:2~70摩尔%
如上所述,如果由(a)~(c)分别衍生的构成成分的比例在上述范围内,则由于显影性、可溶性和耐热性的平衡优异,因此可以获得优选的共聚物。
根据本发明的一个实施例,关于碱可溶性树脂,通过在上述(a)~(c)单体的共聚反应所得到的共聚物中、加入(d)即在一个分子中具有不饱和键和环氧基的化合物,由此能够对碱可溶性树脂赋予光/热固化性。
作为上述(d)即在一个分子中具有不饱和键和环氧基的化合物的具体例子,可以列举(甲基)丙烯酸缩水甘油酯、(甲基)丙烯酸-3,4-环氧环己酯、(甲基)丙烯酸-3,4-环氧环己基甲酯、(甲基)丙烯酸甲基缩水甘油酯等。其中,优选使用(甲基)丙烯酸缩水甘油酯。这些成分可以分别单独使用或者是组合使用两种以上。在本发明中,(甲基)丙烯酸酯是指丙烯酸酯和/或(甲基)丙烯酸酯。
相对于上述共聚物中的由(c)具有羧基和不饱和键的化合物衍生的构成成分的摩尔数,以摩尔分率计,上述(d)即在一个分子中具有不饱和键和环氧基的化合物优选以5~80摩尔%进行反应,进一步优选为10~70摩尔%。如果(d)即具有不饱和键和环氧基的化合物在上述数值范围内,则由于可以获得充分的光固化性或热固化性,灵敏度和铅笔硬度均变得良好,可靠性优异,因此优选。
本发明的碱可溶性树脂可以采用本领域公知的方法进行制备,在公知的聚合方法中,进一步优选为溶液聚合法。另外,聚合温度和聚合时间根据导入的单体的种类和比例、目标粘合剂树脂分子量和酸值而不同,但优选在60℃~130℃下聚合1~10小时。
用于上述工序的溶剂,可以使用通常的自由基聚合反应时所使用的溶剂,具体可以列举四氢呋喃、二恶烷、乙二醇二甲醚、二乙二醇二甲醚、丙酮、丁酮、甲基异丁基酮、环己酮、乙酸乙酯、乙酸丁酯、丙二醇单甲基乙基乙酸酯、乙酸-3-甲氧基丁酯、甲醇、乙醇、丙醇、正丁醇、乙二醇单甲醚、丙二醇单甲醚、甲苯、二甲苯、乙基苯、氯仿、二甲亚砜等。这些溶剂可以单独使用或者是组合使用两种以上。
另外,作为用于上述工序的聚合引发剂,可以添加通常使用的聚合引发剂,对其没有特别限定。具体可以列举:过氧化氢二异丙苯、二叔丁基过氧化物、过氧化苯甲酰、过氧化异丙基碳酸叔丁酯、过氧化2-乙基己酸叔戊酯、过氧化2-乙基己基碳酸叔丁酯等有机过氧化物;2,2’-偶氮二(异丁腈)、2,2’-偶氮二(2,4-二甲基戊腈)、二甲基2,2’-偶氮二(2-甲基丙酸酯)等氮化合物。这些成分可以单独使用或者是组合使用两种以上。
另外,为了在聚合过程中控制分子量或分子量分布,上述共聚物还可以使用正十二烷基硫醇、巯基乙酸、巯基乙酸甲酯等巯基类链转移剂、α-甲基苯乙烯二聚体等链转移剂。相对于单体的总量,上述α-甲基苯乙烯二聚体或巯基化合物的使用量以质量基准计为0.005~5%。另外,关于上述聚合条件,考虑到制造设备以及因聚合产生的发热量等,还可以适当调节投料方法和反应温度。
在本发明中,碱可溶性树脂的酸值以固体粉末基准计优选在20~200mgKOH/g的范围。如果酸值在上述范围内,则在固化后能够具有优异的弹性回复率。
碱可溶性树脂的以聚苯乙烯换算的重均分子量,优选在3000~100000的范围内,更优选在5000~50000的范围内。如果碱可溶性树脂的重均分子量在3000~100000的范围内,则由于在显影时难以发生膜减少,显影时的非像素部的脱落性良好,因此优选。
碱可溶性树脂的分子量分布[重均分子量(Mw)/数均分子量(Mn)]优选为1.5~6.0,进一步优选为1.8~4.0。如果分子量分布[重均分子量(Mw)/数均分子量(Mn)]为1.5~6.0,则由于显影性优异,因此优选。
相对于组合物的全体固体粉末,碱可溶性树脂的含量以质量分率计优选为5~90质量%,进一步优选为20~70质量%。如果在上述范围内,则由于在显影时不会残留有残渣,并能够形成所期望的涂膜,因此优选。
<光固化性单体>
光固化性单体是通过光和上述光聚合引发剂的作用能够聚合的化合物,可以列举单官能单体、二官能单体、其他的多官能单体等。
为了改善感光性树脂组合物的显影性、灵敏度、密合性、表面的问题等,在用于本发明的光固化性单体中,可以混合使用官能团的结构或官能团数量不同的两种或两种以上的光固化性单体,并且对其范围没有限制。
作为单官能单体的具体例子,可以列举壬基苯基卡必醇丙烯酸酯、2-羟基-3-苯氧基丙基丙烯酸酯、2-乙基己基卡必醇丙烯酸酯、丙烯酸-2-羟乙酯、N-乙烯基吡咯烷酮等。
作为二官能单体的具体例子,可以列举1,6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二(甲基)丙烯酸新戊二醇酯、三甘醇二(甲基)丙烯酸酯、双酚A的双(丙烯酰氧乙基)醚、3-甲基戊二醇二(甲基)丙烯酸酯等。
作为其他的多官能单体的具体例子,可以列举三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、丙氧基化三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、丙氧基化二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯等。
其中,优选使用二官能以上的多官能单体。
以质量分率计,光固化性单体相对于感光性树脂组合物中的固体粉末通常为1~60质量%,优选在5~50质量%的范围内使用光固化性单体。以上述基准计,如果光固化性单体在1~60质量%的范围内,则由于像素部的强度和平滑性优异,因此优选。
<光聚合引发剂>
本发明的感光性树脂组合物,可以使用在本领域中所用的光聚合引发剂而没有特别限制。
例如,可以分别单独使用或者组合使用两种以上的如下化合物:即苯乙酮类化合物、联咪唑类化合物、肟类化合物、三嗪类化合物、酰基氧化膦类化合物、苯偶姻类化合物、二苯甲酮类化合物、噻吨酮类化合物、蒽类化合物等。
作为上述苯乙酮类化合物,例如可以列举:二乙氧基苯乙酮、2-羟基-2-甲基-1-苯基丙烷-1-酮、苯偶酰二甲基缩酮、2-羟基-1-[4-(2-羟基乙氧基)苯基]-2-甲基丙烷-1-酮、1-羟基环己基苯基甲酮、2-甲基-1-(4-甲硫基苯基)-2-吗啉代丙烷-1-酮、2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)丁烷-1-酮、2-(2-甲基苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(3-甲基苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(4-甲基苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(2-乙基苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(2-丙基苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(2-丁基苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(2,3-二甲基苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(2,4-二甲基苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(2-氯苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(2-溴苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(3-氯苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(4-氯苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(3-溴苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(4-溴苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(2-甲氧基苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(3-甲氧基苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(4-甲氧基苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(2-甲基-4-甲氧基苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(2-甲基-4-溴苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(2-溴-4-甲氧基苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-羟基-2-甲基-1-[4-(1-甲基乙烯基)苯基]丙烷-1-酮的低聚物等。
另外,作为除了上述示例的苯乙酮类化合物以外还可以使用的苯乙酮类化合物,例如可以列举下述化学式4所示的化合物。
【化学7】
〔在上式中,R1~R4分别独立为氢原子、卤原子、羟基、可被碳原子数为1~12的烷基取代的苯基、可被碳原子数为1~12的烷基取代的苄基、或者可被碳原子数为1~12的烷基取代的萘基。〕
作为上述化学式4所示的化合物的具体例子,可以列举2-甲基-2-氨基(4-吗啉代苯基)乙烷-1-酮、2-乙基-2-氨基(4-吗啉代苯基)乙烷-1-酮、2-丙基-2-氨基(4-吗啉代苯基)乙烷-1-酮、2-丁基-2-氨基(4-吗啉代苯基)乙烷-1-酮、2-甲基-2-氨基(4-吗啉代苯基)丙烷-1-酮、2-甲基-2-氨基(4-吗啉代苯基)丁烷-1-酮、2-乙基-2-氨基(4-吗啉代苯基)丙烷-1-酮、2-乙基-2-氨基(4-吗啉代苯基)丁烷-1-酮、2-甲基-2-甲基氨基(4-吗啉代苯基)丙烷-1-酮、2-甲基-2-二甲基氨基(4-吗啉代苯基)丙烷-1-酮、2-甲基-2-二乙基氨基(4-吗啉代苯基)丙烷-1-酮等。
作为上述联咪唑化合物,例如可以列举2,2’-双(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基联咪唑、2,2’-双(2,3-二氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基联咪唑、2,2’-双(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四(烷氧基苯基)联咪唑、2,2’-双(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四(二烷氧基苯基)联咪唑、2,2’-双(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四(三烷氧基苯基)联咪唑或4、4’、5、5’位的苯基被烷氧羰基取代的咪唑化合物等。其中,优选使用2,2’-双(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基联咪唑或2,2’-双(2,3-二氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基联咪唑。
作为上述肟类化合物,可以分别单独使用或者组合使用两种以上的如下化合物:即O-乙氧羰基-α-肟基-1-苯基丙烷-1-酮、下述化学式5所示化合物和下述化学式6所示化合物等。
【化学8】
【化学9】
作为上述三嗪类化合物,例如可以列举2,4-双(三氯甲基)-6-(4-甲氧基苯基)-1,3,5-三嗪、2,4-双(三氯甲基)-6-(4-甲氧基萘基)-1,3,5-三嗪、2,4-双(三氯甲基)-6-胡椒基-1,3,5-三嗪、2,4-双(三氯甲基)-6-(4-甲氧基苯乙烯基)-1,3,5-三嗪、2,4-双(三氯甲基)-6-[2-(5-甲基呋喃-2-基)乙烯基]-1,3,5-三嗪、2,4-双(三氯甲基)-6-[2-(呋喃-2-基)乙烯基]-1,3,5-三嗪、2,4-双(三氯甲基)-6-[2-(4-二乙基氨基-2-甲基苯基)乙烯基]-1,3,5-三嗪、2,4-双(三氯甲基)-6-[2-(3,4-二甲氧基苯基)乙烯基]-1,3,5-三嗪等。
作为上述酰基氧化膦类化合物,例如可以列举2,4,6-三甲基苯甲酰基二苯基氧化膦等。
作为上述苯偶姻类化合物,例如可以列举苯偶姻、苯偶姻甲醚、苯偶姻***、苯偶姻异丙醚、苯偶姻异丁醚等。
作为上述二苯甲酮类化合物,例如可以列举二苯甲酮、O-苯甲酰基苯甲酸甲酯、4-苯基二苯甲酮、4-苯甲酰基-4’-甲基二苯基硫醚、3,3’,4,4’-四(叔丁基过氧羰基)二苯甲酮、2,4,6-三甲基二苯甲酮等。
作为上述噻吨酮类化合物,例如可以列举2-异丙基噻吨酮、2,4-二乙基噻吨
【化学11】
【化学12】
【化学13】
【化学14】
【化学15】
另外,可以使用光和/或热阳离子聚合引发剂。
光和/或热阳离子聚合引发剂,还可以使用由鎓阳离子和来自路易斯酸的阴离子构成的聚合引发剂。
作为上述鎓阳离子的具体例子,可以列举二苯基碘鎓、双(对甲苯基)碘鎓、双(对叔丁基苯基)碘鎓、双(对辛基苯基)碘鎓、双(对十八烷基苯基)碘鎓、双(对辛氧基苯基)碘鎓、双(对十八烷氧基苯基)碘鎓、苯基(对十八烷氧基苯基)碘鎓、(对甲苯基)(对异丙基苯基)碘鎓、三苯基锍、三(对甲苯基)锍、三(对异丙基苯基)锍、三(2,6-二甲基苯基)锍、三(对叔丁基苯基)锍、三(对氰基苯基)锍、三(对氯苯基)锍、二甲基(甲氧基)锍、二甲基(乙氧基)锍、二甲基(丙氧基)锍、二甲基(丁氧基)锍、二甲基(辛氧基)锍、二甲基(十八烷氧基)锍、二甲基(异丙氧基)锍、二甲基(叔丁氧基)锍、二甲基(环戊氧基)锍、二甲基(环己氧基)锍、二甲基(氟甲氧基)锍、二甲基(2-氯乙氧基)锍、二甲基(3-溴丙氧基)锍、二甲基(4-氰基丁氧基)锍、二甲基(8-硝基辛氧基)锍、二甲基(18-三氟甲基十八烷氧基)锍、二甲基(2-羟基异丙氧基)锍、或二甲基(三(三氯甲基)甲基)锍等。
作为优选的鎓阳离子,可以列举双(对甲苯基)碘鎓、(对甲苯基)(对异丙基苯基)碘鎓、双(对叔丁基苯基)碘鎓、三苯基锍或三(对叔丁基苯基)锍等。作为上述来自路易斯酸的阴离子的具体例子,可以列举六氟磷酸盐、六氟砷酸盐、六氟锑酸盐或四(五氟苯基)硼酸盐等。作为优选的来自路易斯酸的阴离子的具体例子,可以列举六氟锑酸盐或四(五氟苯基)硼酸盐等。
上述鎓阳离子和来自路易斯酸的阴离子可以任意组合。
作为阳离子聚合引发剂的具体例子,可以列举二苯基碘鎓六氟磷酸盐、双(对甲苯基)碘鎓六氟磷酸盐、双(对叔丁基苯基)碘鎓六氟磷酸盐、双(对辛基苯基)碘鎓六氟磷酸盐、双(对十八烷基苯基)碘鎓六氟磷酸盐、双(对辛氧基苯基)碘鎓六氟磷酸盐、双(对十八烷氧基苯基)碘鎓六氟磷酸盐、苯基(对十八烷氧基苯基)碘鎓六氟磷酸盐、(对甲苯基)(对异丙基苯基)碘鎓六氟磷酸盐、甲基萘基碘鎓六氟磷酸盐、乙基萘基碘鎓六氟磷酸盐、三苯基锍六氟磷酸盐、三(对甲苯基)锍六氟磷酸盐、三(对异丙基苯基)锍六氟磷酸盐、三(2,6-二甲基苯基)锍六氟磷酸盐、三(对叔丁基苯基)锍六氟磷酸盐、三(对氰基苯基)锍六氟磷酸盐、三(对氯苯基)锍六氟磷酸盐、二甲基萘基锍六氟磷酸盐、二乙基萘基锍六氟磷酸盐、二甲基(甲氧基)锍六氟磷酸盐、二甲基(乙氧基)锍六氟磷酸盐、二甲基(丙氧基)锍六氟磷酸盐、二甲基(丁氧基)锍六氟磷酸盐、二甲基(辛氧基)锍六氟磷酸盐、二甲基(十八烷氧基)锍六氟磷酸盐、二甲基(异丙氧基)锍六氟磷酸盐、二甲基(叔丁氧基)锍六氟磷酸盐、二甲基(环戊氧基)锍六氟磷酸盐、二甲基(环己氧基)锍六氟磷酸盐、二甲基(氟甲氧基)锍六氟磷酸盐、二甲基(2-氯乙氧基)锍六氟磷酸盐、二甲基(3-溴丙氧基)锍六氟磷酸盐、二甲基(4-氰基丁氧基)锍六氟磷酸盐、二甲基(8-硝基辛氧基)锍六氟磷酸盐、二甲基(18-三氟甲基十八烷氧基)锍六氟磷酸盐、二甲基(2-羟基异丙氧基)锍六氟磷酸盐、二甲基(三(三氯甲基)甲基)锍六氟磷酸盐;二苯基碘鎓六氟砷酸盐、双(对甲苯基)碘鎓六氟砷酸盐、双(对叔丁基苯基)碘鎓六氟砷酸盐、双(对辛基苯基)碘鎓六氟砷酸盐、双(对十八烷基苯基)碘鎓六氟砷酸盐、双(对辛氧基苯基)碘鎓六氟砷酸盐、双(对十八烷氧基苯基)碘鎓六氟砷酸盐、苯基(对十八烷氧基苯基)碘鎓六氟砷酸盐、(对甲苯基)(对异丙基苯基)碘鎓六氟砷酸盐、甲基萘基碘鎓六氟砷酸盐、乙基萘基碘鎓六氟砷酸盐、三苯基锍六氟砷酸盐、三(对甲苯基)锍六氟砷酸盐、三(对异丙基苯基)锍六氟砷酸盐、三(2,6-二甲基苯基)锍六氟砷酸盐、三(对叔丁基苯基)锍六氟砷酸盐、三(对氰基苯基)锍六氟砷酸盐、三(对氯苯基)锍六氟砷酸盐、二甲基萘基锍六氟砷酸盐、二乙基萘基锍六氟砷酸盐、二甲基(甲氧基)锍六氟砷酸盐、二甲基(乙氧基)锍六氟砷酸盐、二甲基(丙氧基)锍六氟砷酸盐、二甲基(丁氧基)锍六氟砷酸盐、二甲基(辛氧基)锍六氟砷酸盐、二甲基(十八烷氧基)锍六氟砷酸盐、二甲基(异丙氧基)锍六氟砷酸盐、二甲基(叔丁氧基)锍六氟砷酸盐、二甲基(环戊氧基)锍六氟砷酸盐、二甲基(环己氧基)锍六氟砷酸盐、二甲基(氟甲氧基)锍六氟砷酸盐、二甲基(2-氯乙氧基)锍六氟砷酸盐、二甲基(3-溴丙氧基)锍六氟砷酸盐、二甲基(4-氰基丁氧基)锍六氟砷酸盐、二甲基(8-硝基辛氧基)锍六氟砷酸盐、二甲基(18-三氟甲基十八烷氧基)锍六氟砷酸盐、二甲基(2-羟基异丙氧基)锍六氟砷酸盐、二甲基(三(三氯甲基)甲基)锍六氟砷酸盐;二苯基碘鎓六氟锑酸盐、双(对甲苯基)碘鎓六氟锑酸盐、双(对叔丁基苯基)碘鎓六氟锑酸盐、双(对辛基苯基)碘鎓六氟锑酸盐、双(对十八烷基苯基)碘鎓六氟锑酸盐、双(对辛氧基苯基)碘鎓六氟锑酸盐、双(对十八烷氧基苯基)碘鎓六氟锑酸盐、苯基(对十八烷氧基苯基)碘鎓六氟锑酸盐、(对甲苯基)(对异丙基苯基)碘鎓六氟锑酸盐、甲基萘基碘鎓六氟锑酸盐、乙基萘基碘鎓六氟锑酸盐、三苯基锍六氟锑酸盐、三(对甲苯基)锍六氟锑酸盐、三(对异丙基苯基)锍六氟锑酸盐、三(2,6-二甲基苯基)锍六氟锑酸盐、三(对叔丁基苯基)锍六氟锑酸盐、三(对氰基苯基)锍六氟锑酸盐、三(对氯苯基)锍六氟锑酸盐、二甲基萘基锍六氟锑酸盐、二乙基萘基锍六氟锑酸盐、二甲基(甲氧基)锍六氟锑酸盐、二甲基(乙氧基)锍六氟锑酸盐、二甲基(丙氧基)锍六氟锑酸盐、二甲基(丁氧基)锍六氟锑酸盐、二甲基(辛氧基)锍六氟锑酸盐、二甲基(十八烷氧基)锍六氟锑酸盐、二甲基(异丙氧基)锍六氟锑酸盐、二甲基(叔丁氧基)锍六氟锑酸盐、二甲基(环戊氧基)锍六氟锑酸盐、二甲基(环己氧基)锍六氟锑酸盐、二甲基(氟甲氧基)锍六氟锑酸盐、二甲基(2-氯乙氧基)锍六氟锑酸盐、二甲基(3-溴丙氧基)锍六氟锑酸盐、二甲基(4-氰基丁氧基)锍六氟锑酸盐、二甲基(8-硝基辛氧基)锍六氟锑酸盐、二甲基(18-三氟甲基十八烷氧基)锍六氟锑酸盐、二甲基(2-羟基异丙氧基)锍六氟锑酸盐、二甲基(三(三氯甲基)甲基)锍六氟锑酸盐;二苯基碘鎓四(五氟苯基)硼酸盐、双(对甲苯基)碘鎓四(五氟苯基)硼酸盐、双(对叔丁基苯基)碘鎓四(五氟苯基)硼酸盐、双(对辛基苯基)碘鎓四(五氟苯基)硼酸盐、双(对十八烷基苯基)碘鎓四(五氟苯基)硼酸盐、双(对辛氧基苯基)碘鎓四(五氟苯基)硼酸盐、双(对十八烷氧基苯基)碘鎓四(五氟苯基)硼酸盐、苯基(对十八烷氧基苯基)碘鎓四(五氟苯基)硼酸盐、(对甲苯基)(对异丙基苯基)碘鎓四(五氟苯基)硼酸盐、甲基萘基碘鎓四(五氟苯基)硼酸盐、乙基萘基碘鎓四(五氟苯基)硼酸盐、三苯基锍四(五氟苯基)硼酸盐、三(对甲苯基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、三(对异丙基苯基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、三(2,6-二甲基苯基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、三(对叔丁基苯基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、三(对氰基苯基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、三(对氯苯基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、二甲基萘基锍四(五氟苯基)硼酸盐、二乙基萘基锍四(五氟苯基)硼酸盐、二甲基(甲氧基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、二甲基(乙氧基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、二甲基(丙氧基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、二甲基(丁氧基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、二甲基(辛氧基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、二甲基(十八烷氧基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、二甲基(异丙氧基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、二甲基(叔丁氧基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、二甲基(环戊氧基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、二甲基(环己氧基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、二甲基(氟甲氧基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、二甲基(2-氯乙氧基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、二甲基(3-溴丙氧基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、二甲基(4-氰基丁氧基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、二甲基(8-硝基辛氧基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、二甲基(18-三氟甲基十八烷氧基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、二甲基(2-羟基异丙氧基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、二甲基(三(三氯甲基)甲基)锍四(五氟苯基)硼酸盐等,优选列举双(对甲苯基)碘鎓六氟磷酸盐、(对甲苯基)(对异丙基苯基)碘鎓六氟磷酸盐、双(对叔丁基苯基)碘鎓六氟磷酸盐、三苯基锍六氟磷酸盐、三(对叔丁基苯基)锍六氟磷酸盐、双(对甲苯基)碘鎓六氟砷酸盐、(对甲苯基)(对异丙基苯基)碘鎓六氟砷酸盐、双(对叔丁基苯基)碘鎓六氟砷酸盐、三苯基锍六氟砷酸盐、三(对叔丁基苯基)锍六氟砷酸盐、双(对甲苯基)碘鎓六氟锑酸盐、(对甲苯基)(对异丙基苯基)碘鎓六氟锑酸盐、双(对叔丁基苯基)碘鎓六氟锑酸盐、三苯基锍六氟锑酸盐、三(对叔丁基苯基)锍六氟锑酸盐、双(对甲苯基)碘鎓四(五氟苯基)硼酸盐、(对甲苯基)(对异丙基苯基)碘鎓四(五氟苯基)硼酸盐、双(对叔丁基苯基)碘鎓、三苯基锍四(五氟苯基)硼酸盐、三(对叔丁基苯基)锍四(五氟苯基)硼酸盐等,更优选列举双(对甲苯基)碘鎓六氟锑酸盐、(对甲苯基)(对异丙基苯基)碘鎓六氟锑酸盐、双(对叔丁基苯基)碘鎓六氟锑酸盐、三苯基锍六氟锑酸盐、三(对叔丁基苯基)锍六氟锑酸盐、双(对甲苯基)碘鎓四(五氟苯基)硼酸盐、(对甲苯基)(对异丙基苯基)碘鎓四(五氟苯基)硼酸盐、双(对叔丁基苯基)碘鎓四(五氟苯基)硼酸盐、三苯基锍四(五氟苯基)硼酸盐、或三(对叔丁基苯基)锍四(五氟苯基)硼酸盐等。
另外,在本发明中,光聚合引发剂还可以组合使用光引发助剂。如果并用光聚合引发剂和光引发助剂,则由于包含这些成分的感光性树脂组合物的灵敏度会进一步提高,使用该组合物形成间隔物时的产率也会提高,因此优选。
作为光引发助剂,优选使用胺化合物、羧酸化合物、多官能硫醇化合物、下述化学式13所示的化合物。
在光引发助剂中,作为胺化合物的具体例子,可以列举:三乙醇胺、甲基二乙醇胺、三异丙醇胺等脂肪族胺化合物;4-二甲氨基苯甲酸甲酯、4-二甲氨基苯甲酸乙酯、4-二甲氨基苯甲酸异戊酯、4-二甲氨基苯甲酸-2-乙基己酯、苯甲酸-2-二甲氨基乙酯、N,N-二甲基对甲苯胺、4,4’-双(二甲氨基)二苯甲酮(通称:米氏酮)、4,4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮等芳香族胺化合物。作为胺化合物,优选使用芳香族胺化合物。
作为羧酸化合物的具体例子,可以列举苯基硫代乙酸、甲基苯基硫代乙酸、乙基苯基硫代乙酸、甲基乙基苯基硫代乙酸、二甲基苯基硫代乙酸、甲氧基苯基硫代乙酸、二甲氧基苯基硫代乙酸、氯苯基硫代乙酸、二氯苯基硫代乙酸、N-苯基甘氨酸、苯氧基乙酸、萘基硫代乙酸、N-萘基甘氨酸、萘氧基乙酸等芳香族杂乙酸类。
作为多官能硫醇化合物的具体例子,可以列举己二硫醇、癸二硫醇、1,4-二甲基巯基苯、丁二醇双硫代丙酸酯、丁二醇双巯基乙酸酯、双巯基乙酸乙二醇酯、三羟甲基丙烷三巯基乙酸酯、丁二醇双硫代丙酸酯、三羟甲基丙烷三硫代丙酸酯、三羟甲基丙烷三巯基乙酸酯、季戊四醇四硫代丙酸酯、季戊四醇四巯基乙酸酯、三羟基乙基三硫代丙酸酯、季戊四醇四(3-巯基丁酸酯)、1,4-双(3-巯基丁酰氧基)丁烷等。
化学式13的化合物如下。
【化学16】
〔在上式中,X所示的虚线是可被卤原子取代的碳原子数为6~12的芳香环;
Y是氧原子、硫原子;
R1是碳原子数为1~6的烷基;
R2是可被卤原子取代的碳原子数为1~12的烷基、或者是可被卤原子取代的芳基。〕
关于上述化学式13所示的取代基和化合物的具体示例,将韩国公开专利第10-2008-0059048号公报所记载的公开内容引用到本说明书中。
以固体粉末为基准,相对于碱可溶性树脂和光固化性单体的总量为100重量份,本发明的光聚合引发剂的含量通常为0.1~40重量份,优选为1~30重量份,以上述为基准,光引发助剂的含量通常为0.1~50重量份,优选为1~40重量份。如果光聚合引发剂的使用量在上述范围内,则由于感光性树脂组合物的灵敏度会提高,使用该组合物形成的间隔物的强度以及间隔物表面的平滑性均优异,因此优选。另外,如果光引发助剂的使用量在上述范围内,则由于感光性树脂组合物的灵敏度会进一步提高,使用该组合物形成的间隔物的产率也会提高,因此优选。
<溶剂>
本发明的感光性树脂组合物,可以使用在本领域中所用的溶剂而没有特别限制。
作为具体例子,可以分别单独使用或者组合使用两种以上的如下溶剂:即、乙二醇单甲醚、乙二醇单***、乙二醇单丙醚和乙二醇单丁醚等乙二醇单烷基醚类;二甘醇二甲醚、二甘醇二***、二甘醇乙基甲醚、二甘醇二丙醚、二甘醇二丁醚等二甘醇二烷基醚类;甲基溶纤剂乙酸酯、乙基溶纤剂乙酸酯、乙二醇单丁醚乙酸酯、乙二醇单***乙酸酯等乙二醇烷基醚乙酸酯类;丙二醇单甲醚乙酸酯、丙二醇单***乙酸酯、丙二醇单丙醚乙酸酯、乙酸甲氧基丁酯、乙酸甲氧基戊酯等亚烷基二醇烷基醚乙酸酯类;丙二醇单甲醚、丙二醇单***、丙二醇单丙醚、丙二醇单丁醚等丙二醇单烷基醚类;丙二醇二甲醚、丙二醇二***、丙二醇乙基甲醚、丙二醇二丙醚、丙二醇丙基甲醚、丙二醇乙基丙醚等丙二醇二烷基醚类;丙二醇甲醚丙酸酯、丙二醇***丙酸酯、丙二醇丙醚丙酸酯、丙二醇丁醚丙酸酯等丙二醇烷基醚丙酸酯类;甲氧基丁醇、乙氧基丁醇、丙氧基丁醇、丁氧基丁醇等丁基二醇单烷基醚类;乙酸甲氧基丁酯、乙酸乙氧基丁酯、乙酸丙氧基丁酯、乙酸丁氧基丁酯等丁二醇单烷基醚乙酸酯类;丙酸甲氧基丁酯、丙酸乙氧基丁酯、丙酸丙氧基丁酯、丙酸丁氧基丁酯等丁二醇单烷基醚丙酸酯类;二丙二醇二甲醚、二丙二醇二***、二丙二醇甲基***等二丙二醇二烷基醚类;苯、甲苯、二甲苯、均三甲苯等芳香烃类;丁酮、丙酮、甲基戊基酮、甲基异丁基酮、环己酮等酮类;乙醇、丙醇、丁醇、己醇、环己醇、乙二醇、甘油等醇类;乙酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸丙酯、乙酸丁酯、2-羟基丙酸乙酯、2-羟基-2-甲基丙酸甲酯、2-羟基-2-甲基丙酸乙酯、羟基乙酸甲酯、羟基乙酸乙酯、羟基乙酸丁酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯、乳酸丙酯、乳酸丁酯、3-羟基丙酸甲酯、3-羟基丙酸乙酯、3-羟基丙酸丙酯、3-羟基丙酸丁酯、2-羟基-3-甲基丁酸甲酯、甲氧基乙酸甲酯、甲氧基乙酸乙酯、甲氧基乙酸丙酯、甲氧基乙酸丁酯、乙氧基乙酸甲酯、乙氧基乙酸乙酯、乙氧基乙酸丙酯、乙氧基乙酸丁酯、丙氧基乙酸甲酯、丙氧基乙酸乙酯、丙氧基乙酸丙酯、丙氧基乙酸丁酯、丁氧基乙酸甲酯、丁氧基乙酸乙酯、丁氧基乙酸丙酯、丁氧基乙酸丁酯、2-甲氧基丙酸甲酯、2-甲氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸丙酯、2-甲氧基丙酸丁酯、2-乙氧基丙酸甲酯、2-乙氧基丙酸乙酯、2-乙氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸丁酯、2-丁氧基丙酸甲酯、2-丁氧基丙酸乙酯、2-丁氧基丙酸丙酯、2-丁氧基丙酸丁酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸丙酯、3-甲氧基丙酸丁酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸丙酯、3-乙氧基丙酸丁酯、3-丙氧基丙酸甲酯、3-丙氧基丙酸乙酯、3-丙氧基丙酸丙酯、3-丙氧基丙酸丁酯、3-丁氧基丙酸甲酯、3-丁氧基丙酸乙酯、3-丁氧基丙酸丙酯、3-丁氧基丙酸丁酯等酯类;四氢呋喃、吡喃等环状醚类;γ-丁内酯等环状酯类等。
在上述溶剂中,从涂布性和干燥性的观点考虑,优选列举在上述溶剂中的沸点为100℃~200℃的有机溶剂,更优选列举亚烷基二醇烷基醚乙酸酯类、酮类、丁二醇烷基醚乙酸酯类、丁二醇单烷基醚类、3-乙氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯等酯类,进一步优选为分别单独使用或者组合使用两种以上的如下溶剂:即、丙二醇单甲醚乙酸酯、丙二醇单***乙酸酯、环己酮、乙酸甲氧基丁酯、甲氧基丁醇、3-乙氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯等。
相对于100重量份的感光性树脂组合物,本发明的感光性树脂组合物中的溶剂含量为60~90重量份,优选为70~85重量份。如果溶剂含量在60~90重量份的范围内,则由于在使用辊涂机、旋涂机、狭缝与旋转式涂布机、狭缝涂布机(有时还称作模涂布机(die coater))、喷墨等涂布装置进行涂布时的涂布性优异,因此优选。
<添加剂>
本发明的感光性树脂组合物,还可以进一步选择性地包含填充剂、其他高分子化合物、固化剂、流平剂、表面活性剂、密合促进剂、抗氧化剂、紫外线吸收剂、防凝聚剂、链转移剂等添加剂。
作为上述填充剂的具体例子,可以列举玻璃、二氧化硅、氧化铝等。
作为上述其他高分子化合物的具体例子,可以列举:环氧树脂、马来酰亚胺树脂等固化性树脂;聚乙烯醇、聚丙烯酸、聚乙二醇单烷基醚、聚氟烷基丙烯酸酯、聚酯、聚氨酯等热塑性树脂等。
为了深部固化和提高机械强度而使用上述固化剂,作为固化剂的具体例子,可以列举环氧化合物、多官能异氰酸酯化合物、蜜胺化合物、氧杂环丁烷化合物等。
在上述固化剂中,作为环氧化合物的具体例子,可以列举双酚A类环氧树脂、氢化双酚A类环氧树脂、双酚F类环氧树脂、氢化双酚F类环氧树脂、酚醛型环氧树脂、其他的芳香族类环氧树脂、脂环族类环氧树脂、缩水甘油酯类树脂、缩水甘油胺类树脂、或上述环氧树脂的溴化衍生物、除了环氧树脂及其溴化衍生物以外的脂肪族、脂环族或芳香族环氧化合物、丁二烯(共)聚合物环氧化物、异戊二烯(共)聚合物环氧化物、(甲基)丙烯酸缩水甘油酯(共)聚合物、三缩水甘油基异氰尿酸酯等。
在上述固化剂中,作为氧杂环丁烷化合物的具体例子,可以列举碳酸酯双氧杂环丁烷、二甲苯双氧杂环丁烷、己二酸双氧杂环丁烷、对苯二甲酸酯双氧杂环丁烷、环己烷二羧酸双氧杂环丁烷等。
关于上述固化剂,可以将能够使环氧化合物的环氧基、氧杂环丁烷化合物的氧杂环丁烷骨架进行开环聚合的固化辅助化合物与固化剂一起并用。作为上述固化辅助化合物,例如可以列举多元羧酸类、多元羧酸酐类、酸发生剂等。
上述羧酸酐类可以使用作为环氧树脂固化剂进行销售的市售品。作为上述环氧树脂固化剂,例如可以列举商品名称アデカハードナーEH-700(株式会社ADEKA制造)、商品名称リカシッドHH(新日本理化株式会社制造)、商品名称MH-700(新日本理化株式会社制造)等。上述示例的固化剂可以单独使用或者混合使用两种以上。
作为上述流平剂,可以使用市售的表面活性剂,例如可以列举硅类、氟类、酯类、阳离子类、阴离子类、非离子类、两性类等表面活性剂等,这些成分可以分别单独使用或者是组合使用两种以上。
作为上述表面活性剂,例如除了聚氧乙烯烷基醚类、聚氧乙烯烷基苯基醚类、聚乙二醇二酯类、脱水山梨糖醇脂肪酸酯类、脂肪酸改性聚酯类、叔胺改性聚氨酯类、聚乙烯亚胺类等之外,还可以列举商品名称:KP(信越化学工业株式会社制造)、ポリフロー(共荣社化学株式会社制造)、エフトップ(株式会社トーケムプロダクツ制造)、メガファック(大日本油墨化学工业株式会社制造)、フロラード(住友スリーエム株式会社制造)、アサヒガード、サーフロン(以上、旭玻璃株式会社制造)、ソルスパース(ゼネカ株式会社制造)、EFKA(EFKACHEMICALS公司制造)、PB821(味之素株式会社制造)等。
作为上述密合促进剂,优选硅烷类化合物,具体可以列举乙烯基三甲氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、乙烯基三(2-甲氧基乙氧基)硅烷、N-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基甲基二甲氧基硅烷、N-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基三甲氧基硅烷、3-氨基丙基三乙氧基硅烷、3-环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、3-环氧丙氧基丙基甲基二甲氧基硅烷、2-(3,4-环氧环己基)乙基三甲氧基硅烷、3-氯丙基甲基二甲氧基硅烷、3-氯丙基三甲氧基硅烷、3-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、3-巯基丙基三甲氧基硅烷等。
作为上述抗氧化剂,具体可以列举2-叔丁基-6-(3-叔丁基-2-羟基-5-甲基苄基)-4-甲基苯基丙烯酸酯、2-[1-(2-羟基-3,5-二叔戊基苯基)乙基]-4,6-二叔戊基苯基丙烯酸酯、6-[3-(3-叔丁基-4-羟基-5-甲基苯基)丙氧基]-2,4,8,10-四叔丁基二苯并[d,f][1,3,2]二氧杂磷杂环庚烯、3,9-双[2-{3-(3-叔丁基-4-羟基-5-甲基苯基)丙酰氧基}-1,1-二甲基乙基]-2,4,8,10-四氧杂螺[5.5]十一烷、2,2’-亚甲基双(6-叔丁基-4-甲基苯酚)、4,4’-亚丁基双(6-叔丁基-3-甲基苯酚)、4,4’-硫代双(2-叔丁基-5-甲基苯酚)、2,2’-硫代双(6-叔丁基-4-甲基苯酚)、二月桂基3,3’-硫代二丙酸酯、二肉豆蔻基3,3’-硫代二丙酸酯、二硬脂基3,3’-硫代二丙酸酯、季戊四醇四(3-月桂基硫代丙酸酯)、1,3,5-三(3,5-二-叔丁基-4-羟基苄基)-1,3,5-三嗪-2,4,6(1H,3H,5H)-三酮、3,3’,3’,5,5’,5’’-六-叔丁基-a,a’,a’’-(均三甲苯-2,4,6-三基)三对甲酚、季戊四醇四[3-(3,5-二-叔丁基-4-羟基苯基)丙酸酯]、2,6-二-叔丁基-4-甲基苯酚等。
作为上述紫外线吸收剂,具体可以列举:2-(3-叔丁基-2-羟基-5-甲基苯基)-5-氯苯并***、烷氧基二苯甲酮等。
作为上述防凝聚剂,具体可以列举聚丙烯酸钠等。
作为上述链转移剂,具体可以列举十二烷基硫醇、2,4-二苯基-4-甲基-1-戊烯等。
<间隔物和图像显示装置>
本发明提供一种间隔物以及包括该间隔物的图像显示装置,所述间隔物是在将感光性树脂组合物形成了规定图案之后、进行曝光和显影而形成的。所述图像显示装置用间隔物例如是通过在基材上涂布感光性树脂组合物之后进行光固化和显影,并形成图案而制备的。
首先,在基板(通常是玻璃)或者预先形成的由感光性树脂组合物的固体粉末构成的层上,涂布感光性树脂组合物,之后进行加热干燥,从而去除溶剂等挥发成分,并获得平滑的涂膜。
作为涂布方法,例如通过旋涂法、流延涂布法、辊涂法、狭缝与旋转涂布法或狭缝涂布法等进行涂布。涂布后进行加热干燥(预烘焙)、或者在减压干燥后进行加热,使溶剂等挥发成分挥发。在这里,加热温度通常为70~200℃,优选为80~130℃。加热干燥后的涂膜厚度通常为1~8μm左右。对于上述所得的涂膜,经由用于形成所期望图案的掩模而照射紫外线。在这里,对于曝光部整体均匀地照射平行光线,另外,优选使用掩模对准器或分档器等装置,从而使掩模与基板的正确位置相吻合。如果照射紫外线,则照射到紫外线的部分会发生固化。
上述紫外线可以使用g线(波长:436nm)、h线、i线(波长:365nm)等。紫外线的照射量可以根据需要进行适当选择,并不受本发明的限定。如果使固化结束后的涂膜与显影液接触,使非曝光部分溶解并进行显影,就可以获得具有目标图案形状的间隔物。
上述显影方法可以是溶液添加法、浸渍法、喷雾法等中的任一种方法。另外,在显影时,可以使基板以任意角度倾斜。上述显影液通常是包含碱性化合物和表面活性剂的水溶液。上述碱性化合物可以是无机和有机碱性化合物中的任一种。作为无机碱性化合物的具体例子,可以列举氢氧化钠、氢氧化钾、磷酸氢二钠、磷酸二氢钠、磷酸氢二铵、磷酸二氢铵、磷酸二氢钾、硅酸钠、硅酸钾、碳酸钠、碳酸钾、碳酸氢钠、碳酸氢钾、硼酸钠、硼酸钾、氨等。另外,作为有机碱性化合物的具体例子,可以列举四甲基氢氧化铵、2-羟乙基三甲基氢氧化铵、单甲胺、二甲胺、三甲胺、单乙胺、二乙胺、三乙胺、单异丙胺、二异丙胺、乙醇胺等。这些无机和有机碱性化合物可以分别单独使用或者是组合使用两种以上。碱性显影液中的碱性化合物的浓度优选为0.01~10质量%,更优选为0.03~5质量%。
上述碱性显影液中的表面活性剂可以使用选自非离子类表面活性剂、阴离子类表面活性剂或阳离子类表面活性剂中的至少一种。
作为上述非离子类表面活性剂的具体例子,可以列举聚氧乙烯烷基醚、聚氧乙烯芳基醚、聚氧乙烯烷基芳基醚、其他的聚氧乙烯衍生物、氧化乙烯/氧化丙烯嵌段共聚物、脱水山梨糖醇脂肪酸酯、聚氧乙烯脱水山梨糖醇脂肪酸酯、聚氧乙烯山梨糖醇脂肪酸酯、甘油脂肪酸酯、聚氧乙烯脂肪酸酯、聚氧乙烯烷基胺等。
作为上述阴离子类表面活性剂的具体例子,可以列举:月桂醇硫酸酯钠或油醇硫酸酯钠等高级醇硫酸酯盐类;十二烷基硫酸钠或十二烷基硫酸铵等烷基硫酸盐类;十二烷基苯磺酸钠或十二烷基萘磺酸钠等烷基芳基磺酸盐类等。
作为上述阳离子类表面活性剂的具体例子,可以列举十八烷基胺盐酸盐或十二烷基三甲基氯化铵等胺盐或季铵盐等。这些表面活性剂可以分别单独使用或者是组合使用两种以上。
上述显影液中的表面活性剂的浓度通常为0.01~10质量%,优选为0.05~8质量%,进一步优选为0.1~5质量%。在显影后进行水洗,还可以根据需要在150~230℃下进行10~60分钟的后烘焙。
使用本发明的感光性树脂组合物,通过上述各工序,在基板上或彩色滤光片基板上能够形成图案。上述图案作为用于图像显示装置的光间隔物(photospacer)是很有用的。
由本发明的感光性树脂组合物形成的间隔物的T/B比优异。T/B比是指,将间隔物图案中的上部直径除以下部直径而得到的值。在本发明中,图案的上部用相对于图案的整体高度而从底表面到整体高度的95%处的水平面进行定义,图案的下部用相对于图案的整体高度而从底表面到整体高度的5%处的水平面进行定义。
T/B比越大越好,本发明的间隔物的T/B比为40~100%,优选为50~90%。
如上所述,本发明的间隔物能够有效地用于液晶显示装置等图像显示装置中,本发明的间隔物的灵敏度优异,即使曝光量低,其交联密度也高,与基板的密合性优异,并具有高弹性回复率以及因外部压力引起变形较少的机械强度。
以下,为了容易理解本发明,给出了优选实施例,但这些实施例只是举例说明本发明,而不会限定所附带的权利要求的范围,在本发明的范畴和技术思想的范围内,能够对实施例进行多种变更并且进行修正,这对本领域技术人员而言是很明确的,这些变更和修正当然也属于所附带的权利要求的范围。
[合成例:碱可溶性树脂(A-1)]
在具备回流冷凝器、滴液漏斗和搅拌器的1L烧瓶内,以0.02L/分钟的流速通入氮气,在氮气环境下加入200质量份3-甲氧基-1-丁醇和105质量份3-甲氧基丁基乙酸酯,边搅拌边加热至70℃。然后,将其溶解于240质量份下述化学式28和化学式29的混合物(摩尔比50:50)、60质量份甲基丙烯酸以及140质量份3-甲氧基丁基乙酸酯中,制备了溶液。
【化学17】
【化学18】
使用滴液漏斗,用4小时将已制备的溶解液滴入到保温在70℃的烧瓶内。另一方面,将30质量份的聚合引发剂2,2’-偶氮双(2,4-二甲基戊腈)溶解于225质量份3-甲氧基丁基乙酸酯中制成溶液,使用另一个滴液漏斗用4小时将该溶液滴入到烧瓶内。在聚合引发剂的溶液滴加结束后,维持在70℃下达到4小时,之后冷却至室温,从而得到固体粉末为32.6质量%、酸值为110mg-KOH/g(固体粉末换算)的共聚物(树脂A-1)的溶液。
得到的树脂A-1的重均分子量(Mw)为13400,分子量分布为2.50。
关于上述共聚物的重均分子量(Mw)和数均分子量(Mn)的测定,是在下述条件下利用GPC法进行的。
装置:HLC-8120GPC(东曹株式会社制造);
柱:TSK-GELG4000HXL+TSK-GELG2000HXL(串联);
柱温:40℃;
流动相溶剂:四氢呋喃;
流速:1.0mL/分钟;
注入量:50μL;
检测器:RI;
测定样品浓度:0.6质量%(溶剂:四氢呋喃);
校正用标准物质:TSK标准聚苯乙烯F-40、F-4、F-1、A-2500、A-500(东曹株式会社制造)。
以上述得到的重均分子量和数均分子量之比作为分子量分布(Mw/Mn)。
[实施例1~5和比较例1~3]
按照下述表1记载的成分和组成,制备了感光性树脂组合物(单位为重量份)。【表1】
[试验例]
<图案形成>
用中性洗涤剂、水和醇依次清洗了边长为2英寸的玻璃基板(イーグル2000、コーニング公司制造),之后进行干燥。在该玻璃基板上以100mJ/cm2的曝光量(405nm)对感光性树脂组合物进行曝光,之后进行旋涂,以使显影、水势和后烘焙时的膜厚达到3.0μm,接着在洁净烘箱中、于90℃下预烘焙3分钟。冷却后,使涂布有感光性树脂组合物的基板与石英玻璃制光掩模的间隔达到10μm,使用曝光机(TME-150RSK、トップコン株式会社制造),在大气环境下,以100mJ/曝光量(405nm基准)进行光照射。另外,关于此时的对感光性树脂组合物进行的光照射,使用了将来自超高压水银灯的放射光通过光学滤光片(LU0400、旭分光株式会社制造),并削减成400nm以下的光。
另外,作为光掩模,使用了在同一平面上形成有下述图案的光掩模。
(1)具有边长为10μm的正方形的透光部(图案),该正方形的间隔为100μm。
(2)具有边长为15μm的正方形的透光部(图案),该正方形的间隔为100μm。
在光照射后,针对该基板,将上述涂膜在25℃下、在含有0.12%非离子类表面活性剂和0.04%氢氧化钾的水类显影液中浸泡100秒以进行显影,再进行水洗之后,在烘箱中、于220℃下后烘焙20分钟。放置冷却后,使用膜厚测定装置(DEKTAK3、日本真空技术株式会社制造)测定了所得的固化膜的膜厚,其膜厚为3.0μm。
<透过率>
使用显微镜分光测光装置(OSP-SP200、奥林巴斯公司制造),测定了上述所得的固化膜在400nm的透过率(%)。将透过率换算成膜厚为3.0μm时的透过率,透过率如下述表2所示。优选透过率接近于100%。
<线宽、截面形状>
使用扫描型电子显微镜(S-4200、株式会社日立制作所制造),测定了上述所得的固化膜的线宽,以如下方式评价了截面形状。以图案相对于基板的角度小于90度时为正锥形、以角度为90度以上时为倒锥形,来判断截面形状。
如果是正锥形,则由于在形成显示装置时难以发生ITO布线的断线,因此优选。
<机械特性(全变位量和回复率)>
使用动态超微小硬度计(DUH-W201、株式会社岛津制作所制造),在以下的测定条件下,测定上述所得的固化膜的全变位量(μm)和弹性变位量(μm),并使用测定值,以如下方式计算出回复率(%)。如果全变位量少、且回复率大,则判断为该固化膜坚硬。
回复率(%)=[弹性变位量(μm)]/[全变位量(μm)]×100
测定条件:
(a)试验模式:负载-卸载试验;
(b)试验力:5gf[SI单位换算值:49.0mN];
(c)负载速度:0.45gf/sec[SI单位换算值:4.41mN/秒];
(d)保持时间:5秒;
(e)活塞:圆柱形活塞(直径为50μm)。
<灵敏度>
关于灵敏度,通过1000个分别具有直径(尺寸)为5μm~20μm、间隔为1μm的圆形图案的光掩模,使用显微镜来评价形成了3μm膜厚的图案不发生脱落而100%残留时的光掩模的尺寸。光掩模的尺寸越小,则灵敏度越优异。
<T/B比测定>
使用上述组合物,在溅射有ITO的玻璃基板上形成图案后,利用SNUPrecision公司制造的三维形状测定仪SIS-2000进行观察,将从图案的底表面到整体高度的5%处定义为底部CD(a)、将从底表面到整体高度的95%处定义为顶部CD(b),将(b)的长度除以(a)的长度之后乘以100而得到的值(=b/a×100),定义为T/B比。
【表2】
在上述表2中,可以确认如下情况:与比较例1~3相比,本发明的实施例1~6即使曝光量低,与基板的密合性和图案形状也良好,弹性回复率优异,不仅具有全变位量少的机械特性,而且灵敏度优异,特别是T/B比得到了改善。
另外,还可以确认如下情况:与本发明的实施例相比,使用了双苯酮类氢供体的比较例3的T/B比显著下降。
Claims (10)
1.一种感光性树脂组合物,包含碱可溶性树脂、光固化性单体、光聚合引发剂、氨基苯乙酮类或氨基苯甲醛类氢供体、以及溶剂。
2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物,其中,所述氨基苯乙酮类或氨基苯甲醛类氢供体是下述化学式1所示的化合物:
【化学1】
在上式中,R1和R2分别独立为碳原子数1~6的直链或支链的烷基,R3是氢、羟基或碳原子数为1~10的直链或支链的烷基。
3.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物,其中,所述氨基苯乙酮类氢供体是对二甲氨基苯乙酮。
4.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物,其中,相对于100重量份的组合物,含有0.1~20重量份的所述氨基苯乙酮类或氨基苯甲醛类氢供体。
5.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物,其中,所述光聚合引发剂包含选自苯乙酮类、联咪唑类和肟类中的至少一种光聚合引发剂。
6.根据权利要求5所述的感光性树脂组合物,其中,所述苯乙酮类光聚合引发剂是选自二乙氧基苯乙酮、2-羟基-2-甲基-1-苯基丙烷-1-酮、苯偶酰二甲基缩酮、2-羟基-1-[4-(2-羟基乙氧基)苯基]-2-甲基丙烷-1-酮、1-羟基环己基苯基甲酮、2-甲基-1-(4-甲硫基苯基)-2-吗啉代丙烷-1-酮、2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)丁烷-1-酮、2-(2-甲基苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(3-甲基苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(4-甲基苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(2-乙基苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(2-丙基苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(2-丁基苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(2,3-二甲基苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(2,4-二甲基苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(2-氯苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(2-溴苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(3-氯苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(4-氯苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(3-溴苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(4-溴苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(2-甲氧基苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(3-甲氧基苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(4-甲氧基苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(2-甲基-4-甲氧基苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(2-甲基-4-溴苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(2-溴-4-甲氧基苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-羟基-2-甲基-1-[4-(1-甲基乙烯基)苯基]丙烷-1-酮的低聚物、2-甲基-2-氨基(4-吗啉代苯基)乙烷-1-酮、2-乙基-2-氨基(4-吗啉代苯基)乙烷-1-酮、2-丙基-2-氨基(4-吗啉代苯基)乙烷-1-酮、2-丁基-2-氨基(4-吗啉代苯基)乙烷-1-酮、2-甲基-2-氨基(4-吗啉代苯基)丙烷-1-酮、2-甲基-2-氨基(4-吗啉代苯基)丁烷-1-酮、2-乙基-2-氨基(4-吗啉代苯基)丙烷-1-酮、2-乙基-2-氨基(4-吗啉代苯基)丁烷-1-酮、2-甲基-2-甲基氨基(4-吗啉代苯基)丙烷-1-酮、2-甲基-2-二甲基氨基(4-吗啉代苯基)丙烷-1-酮、2-甲基-2-二乙基氨基(4-吗啉代苯基)丙烷-1-酮中的至少一种。
7.根据权利要求5所述的感光性树脂组合物,其中,所述联咪唑类光聚合引发剂是选自2,2’-双(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基联咪唑、2,2’-双(2,3-二氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基联咪唑、2,2’-双(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四(烷氧基苯基)联咪唑、2,2’-双(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四(二烷氧基苯基)联咪唑、2,2’-双(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四(三烷氧基苯基)联咪唑和4、4’、5、5’位的苯基被烷氧羰基取代的咪唑化合物中的至少一种。
8.根据权利要求5所述的感光性树脂组合物,其中,所述肟类光聚合引发剂是选自O-乙氧羰基-α-肟基-1-苯基丙烷-1-酮、下述化学式5所示化合物和下述化学式6所示化合物中的至少一种:
【化学2】
【化学3】
9.一种间隔物,其是由权利要求1至8中任一项所述的感光性树脂组合物形成的。
10.一种图像显示装置,其包括权利要求9所述的间隔物。
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