CN103779160A

CN103779160A - 可配置带电粒子装置

Info

Publication number: CN103779160A
Application number: CN201310497851.7A
Authority: CN
Inventors: L.图马; J.塞斯塔克
Original assignee: FEI Co
Current assignee: FEI Co
Priority date: 2012-10-22
Filing date: 2013-10-22
Publication date: 2014-05-07
Anticipated expiration: 2033-10-22
Also published as: US8829470B2; EP2722867B1; EP2722867A3; JP2014086419A; JP6400283B2; EP2722867A2; US20140110597A1; CN103779160B; EP2722866A1

Abstract

本发明涉及可配置带电粒子装置。可配置带电粒子装置具有至少第一配置和第二配置，在第一配置中的装置被装配以当样本被安装在第一载物台上时关于光轴来安置样本，在第二配置中的装置具有被安装在第一载物台上的第二透镜极，所述第二透镜极与光轴相交，并且在第二配置中的装置装配有用于在其上安装样本的第二载物台，所述第二载物台被装配以在第一透镜极和第二透镜极之间安置样本，所述第二载物台关于光轴可移动，其结果是磁浸没透镜的光学特性在第一和第二配置中不同，并且在第二配置中可以通过使用第一载物台来安置第二透镜极而被改变，因而改变磁路。

Description

可配置带电粒子装置

技术领域

本发明涉及可配置带电粒子装置，其装配有：

·带电粒子柱，其包括：

○用于沿光轴产生带电粒子束的带电粒子源；和

○用于使带电粒子束聚焦在样本位置的磁浸没透镜（magnetic immersion lens），所述磁浸没透镜包括第一透镜极，所述第一透镜极形成磁浸没透镜的从带电粒子源被移开最远的部分；

·围绕第一透镜极的励磁线圈；

·至少第一载物台（stage），在所述第一载物台上可以安装样本，所述第一载物台关于光轴是可移动的；和

·一个或多个检测器，用于检测响应于带电粒子束激发样本而从样本发出的辐射；

所述浸没透镜具有可配置的磁路。

背景技术

这样的带电粒子显微镜从英国（UK）专利申请GB2161019A是已知的。该已知的申请描述扫描电子显微镜（SEM），其具有产生电子束的电子源和包括两个透镜极的物镜以及使电子束聚焦在位于易抽空样本室中的样本位置上的励磁线圈。从电子源被移开最远的透镜极是可移开的和可更换的透镜极，以便可以安装特定透镜极用以使得SEM更好地适合于特定任务。例如SEM可以被变成具有浸没透镜的SEM、具有对于接近透镜的样本允许大倾斜角的透镜的SEM等等。因而通过机械地将透镜极安装到显微镜柱、更具体地通过将透镜极安装到是显微镜柱的组成部分的物镜的一部分，已知的显微镜是可配置的。

该显微镜的缺点是改变透镜极涉及在样本室中拆卸透镜极和安装另一透镜极，所述样本室经常在空间上是狭窄的、堆满检测器并且由于真空需求也必要地是干净的。因而，与改变有关的时间相当长并且污染（意外地施加到样本室中的部分的灰尘和/或油脂）的风险大。

另一缺点是改变配置涉及给样本室排气并且抽空（pump down）。当例如使用样本的低温检验时，这导致在装置可以被再次使用之前极端长的时间。这使得这种类型的SEM不适合于例如在低温温度下检验样本。

另一缺点是所述透镜极应当很好地关于透镜极必须被附到的部分-是显微镜柱的组成部分的物镜的部分-被定中心。在所要求的精确性情况下这可能不总是可能的，特别在若干安装/拆卸循环之后是不可能的，所述若干安装/拆卸循环可能导致诸如毛刺（burr）的轻微损害。

此外的缺点是改变不有助于自动化，而是要求手动干预。

又一缺点是诸如二次电子检测器和反向散射电子检测器、X射线检测器等等的检测器的数目和位置是固定的，并且因而由可以被使用的不同透镜极所限制。

发明内容

本发明旨在提供对于以上给定缺点的解决方案。

为此，根据本发明的装置特征在于所述装置具有至少第一配置和第二配置，在第一配置中的装置被装配以当样本被安装在第一载物台上时关于光轴来安置样本，在第二配置中的装置具有被安装在第一载物台上的第二透镜极，所述第二透镜极与光轴相交，并且在第二配置中的装置装配有用于在其上安装样本的第二载物台，所述第二载物台被装配以在第一透镜极和第二透镜极之间安置样本，所述第二载物台关于光轴可移动，其结果是磁透镜的光学特性在第一和第二配置中不同，并且在第二配置中可以通过使用第一载物台来安置第二透镜极而被改变，因而改变磁路。

通过在载物台上安装第二透镜极，所述第二透镜极可以（关于第一透镜极）被对准，因而消除以上所述的对准问题。

由于第二透镜极被安置在载物台上，并且不被安置在柱的部分上，所以第二透镜极可以被安装在载物台上而所述载物台处于以下位置，该位置使得第二极部件能够容易地安装在载物台上并且然后使载物台将第二极部件安置在光轴上。

注意的是，在第一配置中样本可以被安装在第一载物台上，但是-如果在该配置中第二载物台也是可用的，如将经常是所述情况的那样-样本也可以被安装在第二载物台上。当样本被安装在第一载物台上时，第二载物台应当被完全地移开或例如被足够地缩回以提供足够空间。

优选地装置在第一和第二配置这两者中都装配有两个载物台，尽管不是两个载物台都需要在两个配置中被使用。

在实施例中，第二透镜极具有中心孔并且检测器被安置在孔下面，所述孔用于使通过被安装在样本位置处的样本的电子通过，粒子光学装置因而能够作为STEM操作。

在已经通过样本之后，电子通过孔以由检测器截取。检测器可以例如是高角度环形暗场检测器（HAADF检测器）、环形暗场检测器（ADF检测器）、亮场检测器（BDF）等等。检测器也可以是像素（pixilated）检测器，诸如用于检测图像的CMOS检测器。这使得所谓的ptychographic成像成为可能的，如在“Ptychographic electron microscopy using high-angle dark-field scattering for sub-nanometre resolution imaging”, M.J.Humphry et al.，Nature Communications，March 6^th, 2012，DOI:101038/ncomms1733（此外被称为Humphry[-1-]）中所描述的。

在优选实施例中，检测器被安装在第二透镜极上，其结果是保证第二透镜极和检测器的相互位置。

尽管在前提及的用于检测通过样本的电子的检测器可以被安装在载物台上（或在载物台下面，其中载物台也示出洞），在该实施例中检测器与第二透镜极一起被更换。可以用样本室内部的适合的连接器进行电连接。

在又一个实施例中，透镜被安装在第二透镜极和STEM检测器之间，其结果是在样本平面和检测器平面之间的放大率、更特别地角放大率被改变。

通过改变角放大率，对例如HAADF检测器的角分辨率的需求被减轻。

在另一个实施例中，在第二配置中第二透镜极可以在三个正交方向上被平移。

当定义x-y平面为垂直于光轴的平面时，于是第二透镜极在该平面中的移动被用于对准第二透镜极和/或被安装到第二透镜极的检测器。注意的是，由于通常第一载物台能够在垂直于光轴的平面（被称为x-y平面）中和沿着光轴（被称为z轴）移动对象（样本、第二透镜极），第二透镜极可以由第一载物台沿着z轴安置。第一载物台经常也能够在两个方向和旋转上倾斜，因而使得能够以5或6个自由度（DoF）来安置第二透镜极。

在此外的实施例中，第二配置示出若干子配置，其在第一透镜极到第二透镜极的距离方面不同，在子配置方面的改变由沿光轴移动第一载物台来实现。

通过改变在第一和第二透镜极之间的间隙，浸没透镜的磁路被改变。由于通常第一载物台能够在垂直于光轴的平面（被称为x-y平面）中和沿光轴（被称为z轴）移动对象（样本、第二透镜极），第二透镜极可以由第一载物台沿z轴安置。注意的是，不同子配置可能具有对于例如样本的倾斜所需要的在透镜行为或在第一和第二透镜极之间的物理空间（透镜极之间的间隙）方面的好处。此外注意的是，在子配置之间的改变通过控制第一载物台来完成，并且因而在没有破坏真空或甚至从第二载物台拆卸样本的情况下被完成。提及的是，另一子配置可能使第二载物台沿z轴的另一安置成为必要。

在又一个实施例中，在第一配置中，第二透镜极被停放于样本室中的固定位置中。

在该实施例中，真空室的真空不需要为改变配置而被危及。于是非常好地可能维持例如在样本室和/或载物台的一个或多个位置处的低温温度。同样从第一到第二配置的改变可以在没有给***排气的情况下被完成，因而缩短改变所需要的时间。

在又一个实施例中，第二透镜极在第一配置中被安装在第一载物台的一部分上，该部分在第一配置中从光轴被移开，以便第二透镜极不形成浸没透镜的磁路的部分。

在该实施例中，第一载物台能够将第一配置中的第二透镜极从光轴被移开的位置（其中所述第二透镜极不是磁路的部分）移动到在第二配置中的位置，其中所述第二透镜极在光轴上并且其中所述第二透镜极是磁路的部分。在第一配置中，样本可以被安装在第一载物台上或作为替换被安装在第二载物台上。

在又一个实施例中，可配置带电粒子装置装配有被编程以将透镜配置从第一配置改变到第二配置的控制器。

在该实施例中，在没有人为干预的情况下，装置可以自动改变其透镜配置。这使得能够例如在不同配置中远程控制和自动化检验。特别是与用于从例如具有样本的盒向第一或第二载物台装载样本的自动装载器相组合，创建全自动化工作站，能够执行样本的远程控制检验或大系列样本的自动研究，如在生物研究和矿物学中发生的那样。

在又一个实施例中，可配置带电粒子装置包括具有用于加工样本的离子源的离子柱、具有用于使样本成像的电子源的电子柱和操纵器，所述操纵器用于安置被附到所述操纵器的样本，所述电子柱装备有磁浸没透镜，所述离子柱产生离子束和所述电子柱产生电子束，在第一配置中所述离子束和所述电子束彼此交叉（intercepting）。

在该实施例中，装置在第一配置中类似具有离子束和相交电子束的装置，诸如如由美国希尔斯伯勒FEI公司制造的DualBeam^TM显微镜。

在又一个实施例中，可配置带电粒子装置装配有用于从样本盒向第一和/或第二载物台装载样本的自动装载器。

自动装载器使得能够批处理样本，诸如生物样本或半导体样本。所述生物样本可以是诸如鼠脑的组织的切片（coupe），要么被处理以在室温下被检验要么样本可以在低温温度。

在又一个实施例中，可配置带电粒子装置装备有用于从透镜极盒向第一载物台装载透镜极的自动装载器。

使用自动装载器，若干极部件在装载器中可以是可用的并且被自动更换以便装置可以拾取正确的极部件用以适应特定的配置，于是所述极部件可以被定义为第二极部件。

在本发明的一方面中，一种使用根据本发明的可配置带电粒子装置的方法，所述装置装配有用于加工样本的离子柱、用于使样本成像的电子柱和用于将样本附到其上并且安置样本的操纵器，所述方法包括步骤，重复地：

·将样本装载进装置中到第一载物台上；

·使用离子柱从样本提取薄片；

·将薄片附到操纵器；

·使薄片变薄；

·安置薄片用于用电子柱成像；

·使至少部分薄片成像；

其特征在于所述方法此外包括步骤：

·在将样本装载进装置中到第一载物台上之前，所述装置被带进第一配置；

·在将薄片附到操纵器之后，样本从第一载物台被移开并且所述装置被带进第二配置；和

·安置薄片用于成像涉及在第一和第二透镜极之间安置薄片。

以上描述了如下工作流，其中从诸如半导体晶片的样本取薄片。已知用离子束从样本切除薄片，参见例如描述了所谓提升式（lift-out）技术的美国专利号US5,270,552。在提升式技术中，离子束被指向样本并且用离子束在要从样本被移开的薄片周围以以下方式切槽，使得薄片在其基部处不连接或几乎不连接。正好在从样本释放所述薄片之前，薄片被附到操纵器的针状突出部上。附上是例如使用离子束诱导沉积（Ion Beam Induced Deposition）来完成。薄片然后被变薄到例如在20nm和50nm之间的厚度并且被附到样本保持器。于是操作器被切离（cut free from）薄片，并且于是样本保持器被带进电子柱的检验范围，在其之后薄片被成像。

通过当装置在第一配置中时装载样本，可以用从US5,270,552已知的并且如在DualBeam^TM装置中被常规执行的方式来获得薄片。所述装置于是可以被改变到第二配置用于高分辨率扫描透射电子显微术（STEM）。

注意的是，可以用与以上所示不同的顺序执行一些步骤：例如将操作器附到薄片可以在薄片被完全释放之前但也可以在完全释放所述薄片之后被完成。

在所述方法的此外的实施例中，薄片被附到第二载物台并且在成像之前从操纵器分离。

尽管当被附到安置处时薄片可以被安置到成像位置，但是所述安置处通常不被装配用于以成像所需要的位置准确性和/或分辨率来安置薄片。因此薄片最好被附到第二载物台并且在成像之前从安置处分离。

在所述方法的另一实施例中，装载涉及用自动化装载器从具有样本的盒装载样本。

自动装载器使得能够批处理样本，诸如生物样本或半导体样本。所述生物样本可以例如是诸如鼠脑的组织的切片，其要么被处理以在室温下被检验要么样本可以在低温温度。

附图说明

现在基于示范性实施例和随附的示意图将更详细地阐明本发明，其中同样的数字指的是对应的特征。为此：

·图1示出在第一配置中的装置；和

·图2示出在第二配置中的所述装置。

具体实施方式

图1示意性地示出在第一配置中的装置。

装置100示出易抽空样本室160，其装配有用于安置样本114的载物台112。通过装载锁140、优选地通过自动装载器142来引入样本，所述自动装载器142用于从被附到其上的样本盒144自动装载样本。样本室通过真空装置（未示出）、优选地诸如涡轮分子泵的泵被抽空。

在样本室上安装柱102，其包括沿光轴106产生电子束的电子源104，所述电子束具有通常在200 eV和30 keV之间的可选择能量，尽管也已知使用更低和更高的能量。所述柱装配有物镜107，所述物镜107具有围绕第一透镜极108的励磁线圈110，用于在第一透镜极和样本之间的间隙中生成聚焦磁场。注意的是，物镜可以包括另一透镜极109和另一励磁线圈122用以整个地或部分地聚焦电子束。

电子束照射样本114，其结果是辐射从样本中发出。检测器116、118检测辐射，所述两个检测器要么检测不同种类的辐射（二次电子（通常具有50eV以下的能量）、反向散射电子（通常具有50eV以上的能量）、X射线或光）要么检测具有角分布的类似辐射。

注意的是，所述柱此外包括光圈、偏转器和透镜用以操纵束和在样本上扫描束。所述装置可以包括从一到六或甚至更多检测器。扩增自动化装载器可以包括手动锁，例如可以被打开的门，尽管这可能要求每当经由该手动锁改变样本时给室排气。载物台112的位移通常是若干厘米，并且具有垂直于光轴多于150mm*150mm的和平行于光轴10mm的行程并且可以包括倾斜能力的载物台是已知的。已知具有这样大位移的载物台可以包括多于一个的样本位置用以保持若干样本。

图2示意性地示出在第二配置中的装置。

图2可以被认为是得自图1。代替样本，载物台112现在承载（保持、安置）第二透镜极120。样本现在由第二载物台130、优选地如在透射电子显微镜（TEM）中所使用的载物台来保持（安置、承载）。已知这样的载物台适合于超高分辨率。第二透镜极优选地具有中心洞124和安装在洞下面的检测器126。为了最佳对准，该检测器被固定到第二透镜极。由于为了浸没透镜的良好光学行为，第二透镜极必须被很好地对准，检测器于是也被很好地对准。

假定样本足够薄（对于半导体材料通常在100nm以下、优选地在50nm以下；对于生物材料通常在500nm以下、优选地在100nm以下），撞击在样本上的一部分电子将穿过样本。部分电子在一角度范围内（over）被散射。由样本吸收的电子数量和透射电子的散射角的角分布给出样本的信息。该信息可以由检测器126检测。

可替换地在检测器上形成衍射模式，所述检测器是像素检测器。如由Humphry[-1-]所描述的，这使得样本的ptychographic重建成为可能。

通常通过改变通过励磁线圈的电流来改变磁浸没透镜的强度。在第二配置中，可以通过改变在第一和第二透镜极之间的距离来附加地改变浸没透镜强度和诸如透镜像差的其他参数。如对本领域技术人员已知的，具有较小间隙的透镜将在给定励磁处显示较小的焦距和轴向像差（色的和球面的），导致（使用相同探针电流（probe current）和束能量）较小的探针尺寸。初步结果表明第二配置使得能够相比于第一配置将探针尺寸减少到一半直径。

放大（优选地磁）透镜[未示出]可以被放置在第二透镜极中的洞和检测器之间用以改变在样本平面和检测器平面之间的（角或线性）放大率。这样的透镜可以包括励磁线圈或永久磁材料用以生成磁场。

注意的是，当装置在第一配置中时，第二透镜极不应当是浸没透镜的磁路的部分。第二透镜极可以被存储在样本室外部或样本室中的“停放隔间（parking bay）”内部。如果被停放在样本室外部，这可以通过打开样本室并且手动更换透镜极或通过具有用于透镜极的装载锁（其也可以用来装载样本）来完成。

可替换地，透镜极被停放在载物台上，从样本位置远地移开。“远”在此处被定义为这样远以致于浸没透镜的磁场不被改变到以下程度：样本的图像变形、移位等等。

优选地，所述装置装配有控制器，所述控制器以这样的方式控制载物台等等使得从第一到第二配置的改变被自动完成。

注意的是，所述装置可以此外装配有产生用于加工样本的离子束的离子柱、用以将气体注入进样本室中用于离子束诱导沉积（IBID）的气体注入***（GIS）、样本可以由IBID被附到的（也已知为“针”的）操纵器、一个或多个检测器、一个或多个装载锁等等。所有这对于技术人员是众所周知的并且是商业上可用的。

此外注意的是，第二载物台可以存在于第一配置中。样本于是可以被安装在该载物台上，而第一载物台被闲置或它可以被移开。

提及的是，尽管实施例讨论磁浸没透镜用于聚焦电子束的使用，磁浸没透镜用于聚焦离子束的使用没有被排除在外。

在另一个实施例中，可缩回的极部件（反极（counter pole））被***成两部分。

反极部件（在从包括带电粒子源的带电粒子柱被移开的样本侧上的极部件）允许在具有浸没末级透镜（immersion final lens）的SEM（扫描电子显微镜）和DB（双束，包括电子束柱和离子束柱这两者）仪器中显著的STEM（扫描透射电子显微镜）模式分辨率改进。为保持具有反极的***的两种功能（SEM和高分辨率STEM），反极必须是可缩回的。可缩回极部件设计必须满足若干矛盾的要求：长缩回距离、高精度和布置的再现性（reproducibility of placement）、大尺寸、高稳定性、到大磁力的暴露等等。本发明通过将反极***成具有两种不同功能的部分来解决这些要求，所述具有两种不同功能的部分为：定义光学特性（精度、稳定性、再现性）的小部分和建立磁路（尺寸、可缩回距离、硬度）的大部分。

因此在第一配置中，样本在样本位置处被安装在第一载物台上，和在第二模式中样本被安装在第二载物台上。精确制造的较小部分远离所述第一载物台的样本位置地被永久地附到第一载物台，以便它不过多影响浸没透镜的磁场并且磁浸没透镜可以没有限制地接近第一载物台的中心地被使用。反极的大部分以从带电粒子源被移开还更远的可缩回臂的形式可缩回地放置在第三载物台上。当转换到第二配置（HR STEM模式）时，第一载物台带来较小部分并且准确地将所述较小部分放置在浸没末级透镜下面并且第二载物台（可缩回机械装置）将较大部分***接近于较小部分，以便正好有建立良好磁连接的小间隙。在该配置处，较大部分的定中心精度不是临界的（critical）并且可以使用简单的可缩回机械装置。在相同时刻，对于样本载物台的要求（诸如最大行程、由反极质量和磁力引起的负载）不是那么苛求。

所述***也可以包括一个较大部分和一个或若干较小部分。若干较小部分之一的选择可以帮助配置***的光学特性如例如间隙。

注意的是，在所有以上实施例中，在第一配置和第二配置之间的改变通常使在控制器的控制下的载物台的帮助下安置部分成为必要。***样本可以通过将如在TEM中所使用的样本保持器***这样命名的所安置的侧向置入样本（side entry sample positioned）（所述所安置的侧向置入样本安置样本保持器）中被完成，或者它可以通过例如经由装载锁***样本被完成。在这两种情况下，控制器控制对抽空样本室的访问。据此在配置方面的改变可以整个地或部分地被自动化。

此外注意的是，优选地在第二配置中的第二透镜极由浸没透镜、即浸没透镜的磁路径的部分供给能量，并且不需要由例如由辅助磁线圈或永久磁材料所引起的单独磁场供给能量，而在第一配置中第二透镜极不是浸没透镜的磁路径的部分、即不显著影响浸没透镜的场。

非专利文献

[-1-]“Ptychographic electron microscopy using high-angle dark-field scattering for sub-nanometre resolution imaging”（M.J.Humphry et al.，Nature Communications，March 6^th, 2012，DOI:101038/ncomms1733）。

Claims

1.可配置带电粒子装置（100），其装配有：

·带电粒子柱（102），其包括：

○用于沿光轴（106）产生带电粒子束的带电粒子源（104）；和

○用于将带电粒子束聚焦在样本位置的磁浸没透镜（107），所述磁浸没透镜包括第一透镜极（108），所述第一透镜极形成磁浸没透镜的从带电粒子源被移开最远的部分；

·围绕第一透镜极的励磁线圈（110）；

·至少第一载物台（112），在所述第一载物台上可以安装样本（114），所述第一载物台关于光轴可移动；和

·一个或多个检测器（116,118），用于检测响应于带电粒子束激发样本而从样本发出的辐射；

所述浸没透镜具有可配置磁路；

其特征在于

所述装置具有至少第一配置（图1）和第二配置（图2），在第一配置中的装置被装配以当样本被安装在第一载物台上时关于光轴来安置样本，在第二配置中的装置具有被安装在第一载物台（112）上的第二透镜极（120），所述第二透镜极与光轴（106）相交，并且在第二配置中的装置装配有用于在其上安装样本（114）的第二载物台（130），所述第二载物台被装配以在第一透镜极（108）和第二透镜极（120）之间安置样本，所述第二载物台关于光轴可移动，

其结果是磁浸没透镜（107）的光学特性在第一和第二配置中不同，并且在第二配置中可以通过使用第一载物台来安置第二透镜极而被改变，因而改变磁路。

2.权利要求1所述的可配置带电粒子装置，其中带电粒子源（104）是电子源；第二透镜极（120）具有中心孔（124）；并且在第二配置中，用于检测通过样本（114）的电子的检测器（126）被放置在孔下面，所述孔用于使通过样本的电子通过，粒子光学装置因而能够作为扫描透射电子显微镜操作。

3.前述权利要求中任一项所述的可配置带电粒子装置，其中用于检测通过样本（114）的电子的检测器（126）被安装在第二透镜极（120）上。

4.权利要求2或权利要求3所述的可配置带电粒子装置，其中透镜被安装在第二透镜极（120）和用于检测通过样本的电子的检测器（126）之间，其结果是在样本平面和检测器平面之间的放大率、更特别地角放大率被改变。

5.前述权利要求中任一项所述的可配置带电粒子装置，其中在第二配置中第二透镜极（120）可以关于第一透镜极（108）在三个正交方向上被平移。

6.权利要求5所述的可配置带电粒子装置，其中在第二配置中定义若干子配置，所述子配置在第一透镜极（108）到第二透镜极（120）的距离方面不同，在子配置方面的改变通过第一载物台（112）沿光轴（106）的移动实现。

7.前述权利要求中任一项所述的可配置带电粒子装置，其中在第一配置中，第二透镜极（120）被停放在样本室（106）中的固定位置，所述固定位置从光轴（106）被移开，其结果是第二透镜极当被停放在固定位置时不形成磁浸没透镜（107）的磁路的部分。

8.前述权利要求中任一项所述的可配置带电粒子装置，其中在第一配置中，第二透镜极（120）被安装在从光轴（106）被移开的第一载物台（112）的一部分上，以便第二透镜极不形成磁浸没透镜（107）的磁路的部分。

9.前述权利要求中任一项所述的可配置带电粒子装置，其中所述装置装配有被编程以将透镜配置从第一配置改变到第二配置的控制器。

10.前述权利要求中任一项所述的可配置带电粒子装置，其中所述装置包括具有用于加工样本的离子源的离子柱、具有用于使样本成像的电子源的电子柱和操纵器，所述操纵器用于安置被附到所述操纵器的样本，所述电子柱装配有磁浸没透镜，所述离子柱产生离子束和所述电子柱产生电子束，在第一配置中所述离子束和所述电子束相互交叉。

11.前述权利要求中任一项所述的可配置带电粒子装置，其中所述装置装配有用于从样本盒（144）向第一载物台（112）和/或第二载物台（130）装载样本的自动装载器（142）。

12.前述权利要求中任一项所述的可配置带电粒子装置，其中所述装置装配有用于从透镜极盒向第一载物台装载透镜极的自动装载器。

13.使用权利要求10所述的可配置带电粒子装置的方法，其中所述装置装配有用于附上和操纵薄片的操纵器，所述方法包括步骤，重复地：

·将样本装载进装置中到第一载物台上；

·使用离子束从样本提取薄片；

·将薄片附到操纵器；

·使薄片变薄；

·安置薄片用于用电子柱成像；

·使至少部分薄片成像；

其特征在于所述方法此外包括步骤：

·在将样本装载进装置中到第一载物台上之前，将装置带进第一配置中；

·在将薄片附到操纵器之后，从第一载物台移开样本并且将装置带进第二配置中；

·安置薄片用于用电子柱成像涉及在第一（108）和第二（120）透镜极之间安置薄片。

14.权利要求13所述的方法，其中薄片被附到第二载物台（130）并且在成像之前从操纵器分离。

15.权利要求13或14中任一项所述的方法，其中装载涉及用自动化装载器（142）从具有样本的盒（144）装载样本。