JPS60230343A - 電子レンズアセンブリ及びこれを組込んだ電子線装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （１）発明の技術分管 本発明は電子レンズアセンブリ及びこれを組込んだ電子
線装置、特に種々の用途に応じて電子レンズを取換え、
一台で何台分もの役割を果すことが出来るようにした電
子線装置に関するものである。

（２）発明の背景 電子線装置、とりわけ走査型電子顕微鏡に代表される装
置は、その有用さ応用範囲の広さの故に、最近では多方
面の分野で使用されている。

この走査型電子顕微鏡は、１０〜２０Ｘ（オングストロ
ーム）の超高分解能を必要とする生物の分野から、Ｘ線
による試料の定量的、定性的な分析、反射電子、吸収電
子、電子線照射の際の螢光像、結晶の方位を知るための
エレクトロン・チンネリングパターン、半導体の起電流
像や電圧対比像（Ｖｏｌｔａｇｅ　（！ｏｎｔｒａｓｔ
　工ｍａｇｅ）といった様に、試料の形態観察のみなら
ず、分析を含めて多方面に利用されている。これに加え
、最近ではＩＯやＩＣを製作する際におけるマスクの検
査を行うために、０．５〜Ｉ　ＫＶの加速電圧で１００
〜１５０Ａの高分解能像を得たいとの要求も出始めてい
る。また、これらのＩＣのうち、直径が１０〜加センチ
メートル（４〜８インチ）にもなる大型のものが試料と
して用い、この試料をω度位の高角度に傾斜して観察す
る要請も起きており、これまでの走査型電子顕微鏡では
対応しきれなくなり始めている。

（３）従来技術とその問題点 走査型電子顕微鏡は、従来から、主として高分解能を有
することと、Ｘ線マイクロアナライザー（ＸＭＡ）とし
ての機能を有することとの要求を満足することを主体と
して開発されて来ている。またＸｉマイクロアナライザ
ーとして使用しＸ線分析を行なうに際しては、試料内に
含まれる各元素からのＸ線の発生効率を最適にするため
、軽元素から重元素に対応して加速電圧も１Ｋｖ（キロ
ボルト）〜４０ＫＶまで可変出来るようにしている。更
に２次電子の高分解能像を得るため、試料面上で３ＯＡ
（入射電流としテＩ　Ｘ　１０−１２アンペア）程度・
まで電子線を縮小することと、Ｘ線分析用としてビーム
径が１〜１０μφで試料入射電流が１×ｌＯ−″アンペ
アまで得られるような電子線縮小レンズ系が要求され、
そのための照射系として、２段の集束レンズ系が採用さ
れている。更にまた、対物レンズについてみると、Ｘ線
マイクロアナライザーとして使用するに当っては、Ｘ線
の取出し角度が太きく、又出来るだけ多くの分光器を取
付けられることが好ましく現在ではＸ線の取出し角度が
４０〜５３度近くに設定されている。

一方、上記の如く走査型電子顕微鏡が高分解能を有する
ためには、加速電圧が大きく、しかもワーキングディス
タンスが短かい（レンズの収差が小さい）ことが必要で
ある。

これらの条件を満足する走査型電子顕微鏡として、現在
のところ第１図に示すような構造のものが一般的となっ
ており、又かかる走査型電子顕微鏡に用いられる対物レ
ンズの典型例としては例えば第２図に示すようなものが
ある。

第１図に示す走査型電子顕微鏡は、電子銃３と、第１段
、第２段の集束レンズ５，６とを内蔵し、集束レンズ５
，６の下方に第１段、第２段の走査コイル７．８と対物
レンズ９とを配置した鏡筒１、及び鏡筒１の下方におい
て当該鏡筒１に固定して配置され、内部に中空の室１４
を画成すると共に、この室１４内において対物レンズ９
の下方に試料ステージ１０を上下動可能に配置し、また
対物レンズ９用の可動絞り１２や二次電子検出器１３を
取付固定した試料室２から成っている。対物レンズ９は
上側磁極片９ａと、」−側磁極片９ａから所定の間隔を
あけて設けられた下側磁極片９ｈとを有し、鏡筒１に一
体的に設けられ、この磁極片９ａ、　９１）間に可動絞
り１２の絞り操作部が挿入される一方、試料ステージ１
０は両磁極片９ａ　、　９ｂの下方において試料ホルダ
１１及び試料１５を支持している。

なお、第１図中符号４け真空ポンプに接続された排気管
である。

かかる走査型電子顕微鏡の、対物レンズについてみると
、その構造上注目すべき点は対物レンズヨークの下面部
分が逆円錐台構造をしている点である。かかる構造は、
上にも述べたように、査定型顕微鏡にＸＭマイクロアナ
ライザーの機能とも持たせるに当り、Ｘ線の取出し角度
・　と得るために採用されるに至ったものである。

かかる状況下において、ここ数年来、半導体の分野で１
０〜２０．５センチメートル（４〜８インチ）の径を持
つＩＣやマスク或はコンパクト・ディスクを、駒込フィ
ンの運転冷中で電子顕微鏡を使って観察し、いわゆるサ
ンプリングテストする要求が起っている。この場合、サ
ンプリングテストに用いるＩＣ等は、商品となるべき品
物である冷め、通常の試料観察における如き、金等のチ
ャージ防止のための導電コーティングを行うことが出来
ないという制約がある。このためＩＣ等は０．５〜ＩＫ
Ｖといった低加速電圧で観察しなければならない。さら
に、かかるＩＣのような大型の試料を６０度近く傾斜さ
せて観察するため、従来の走査型電子顕微鏡の対物レン
ズではワーキング−ディスタンスｆ！：４０１１ｍ＋程
長くして観察しているのが現状である。このように、半
導体等の分野ではワーキング・ディスタンスが長く、し
かも加速電圧が低いという、分解能という点から見れば
二重の悪条件の下で使用しなければならないという状況
にある。

このように、走査型電子顕微鏡にめられる機能は漸次増
大するにも拘らず、一台の走査型電子顕微鏡でカバーし
得る有用ｆｌ（ｉ囲には限りがあるため、最近では、多
種類にわたる機能のうちで、何か一つの機能と強調した
走査型電子顕微鏡が開発されるようになって来た。この
ような走査型電子顕微鏡の例を第２図に示す。これは、
第１Ｋに示された走査型電子顕微鏡と同様の基本構成を
有する老香型電子ｇａ微鏡において、極めて小さなワー
キング・ディスタンス（大体１〜２朋）によって高分解
能像が得られるように改良したものである。このような
小さいワーキング・ディスタンスでもって従来通りの二
次電子検出と行なおうとすると、二次電子が検出できな
いため、この走査型電子顕微鏡では、対物レンズ９の磁
場を挾んで上下に少なくとも一対の二次電子検出器１３
　、１６を配置し、これらの二次電子検出器１３　、１
６によって夫々二次電子Ｓ１＋８ｔｋ検出し、これによ
って得られた信号を、第１の増幅器１７　、１８、加Ｎ
器１９、第２の増幅器四によって個別に或は同時に処理
し、ブラウン臂２１の如き表示部でｖｉ察できる様にし
ている。かかる装置ＩＪによ−って０５〜ｌ　Ｋ’ｉ’
の低加速電圧の下で分解能を２倍近く向上させることが
可能である。

しかし、小さなワーキング・ディスタンスで対物レンズ
９を使用することは、レンズの励磁力と増加させるため
にレンズコイルのスペースが大きくなり、対物レンズ９
の下極の形状はこれまでの対物レンズ以上に７ラツトに
なり、試料傾斜角度に制限が加わって、試料を傾斜させ
た時、より一層ワーキング・ディスタンス全下げざる（
距離が大きくなる）ｆｔ得なくなり、分解能の劣化はよ
り著しくなる。

他方、Ｘ線マイクロアナライザとしての見地に立つと、
Ｘ線を高い取出し角度で検出するためには対物レンズの
形状をより円錐台構造にしなければならない上、Ｘ線検
出器の構造も試料室のスペースに対比させると大型であ
り、」−肥大型試料について説明したのと同様試料傾斜
を行わせるにはワーキング・ディスタンスを大きくしな
ければならず、結局、現状の段階ではワーキング・ディ
スタンスは３０〜４０朋で使用されている。このため、
大幅な分解能の劣化を招く。

Ｘ線マイクロアナライザのように、より小さいビーム径
で大電流を得る場合、し・ンズ収差としては球面収差係
数（０８）が大きく寄与し、このＣ８を小さくするため
にはレンズのギャップＳまたは、穴径りを大きくした方
が有利である。このため、第３図に示されるように上側
磁極２６と下側磁極ｎとを有し、励磁コイル２８によっ
て励磁される対物レンズ３の上側磁極九の一部にギャッ
プ２９を形成し、実効的なギャップを大きくした対物レ
ンズも開発されている。しかしながら、低加速電圧で高
分解能を得る場合、球面収差係数よりもむしろ色収差係
数（Ｏｏ）が大きく影響する。この色収差係数を小さく
するためには、Ｓ゛　とＤとを小さくした方が良く、こ
の対物レンズｂも、一方では良いが、他の要求に関して
は逆に悪い影響を与えてしまうことになる。

更にまた、走査型電子顕微鏡の他の例として、第４図に
示すようなものがある。これらの対物レンズ３０．３１
は、いずれも対物レンズ磁極（同図に示した例では上側
磁極）を電子線軸に対して可動とし、対物レンズ３０　
、３１の磁極間ギャップを変換可能にしｔ例を示す。即
ち第４図（ａ）においては、対物レンズ３０の上側磁極
３２を構成するヨーク部３５に形成された腔の中に、磁
極筒片３４を摺動可能に挿入し、この磁極筒片馴の外壁
にラック３６ト形成すると共に当該ラック３６にビニオ
ン３７を噛合せしめ、ラック・アンド・ピニオン機構に
よって磁極筒片馴を上下動させるものである。一方第４
図（ｂ）に示す対物レンズ３１では、上側磁極４１を構
成するヨーク部先端に、キャップ状の磁極片３８を摺動
可能に冠着し、この磁極片間の外側面にラック３９を形
成すると共にこれにピニオン４１を噛合させ、実質的に
上側磁極と下側磁極４２に対して移動可能にしている。

いずれも、対物レンズ３０　、３１の磁極間ギャップを
可変にしたものであり、ワーキング・ディスタンスの大
きい条件ではＣ８を小さくするためにギャップと大きく
し、低加速電圧で山が影響を与える領域では磁極間ギャ
ップを小さくして使用する。

しかし、かかる対物レンズ３０　、３１では、試料を４
５〜６０度傾斜させた時ｃｍが比較的大きく（後出の、
第８図に示す低加速電圧専用の対物レンズに比較して約
加倍）なり解像度が著しく低下してしまう。

低加速電圧で、大型のウエノ１−を６０度近い高角度傾
斜で観察するには、ＣＣを小さくするため、出来るだけ
ワーキング・ディスタンスを小さくする必要がある。こ
のように、ＣＣが最小になる対物レンズとしては第５図
に示すようなものがある。これは、試料室２が大型にな
った点を除けば、第１図に示された走査型電子顕微鏡と
ほぼ同様の基本構成を有する走査型電子顕微鏡において
、対物レンズ４５を上側磁極４６と、当該上側磁極４６
に巻装された励磁コイル４Ｔとによって構成したもので
ある。即ち、対物レンズ４５の下側磁極は、理論的には
上側磁極４６の下方無限遠にあるのと等価であり、試料
室２内の対物レンズ４５下方は大きな空間となっている
。そして、対物レンズ４５の下方には試料ホルダ羽及び
これに支持されたＩＣウェハ等の大型の試料４９が楽に
、しかも大角度に傾斜可変に配置される。

しかし、このような対物レンズ４５では、レンズコイル
の巻装スペースが極めて小さくなってしまい、更に、当
該対物レンズ４５のようなレンズ形状では、磁気抵抗が
大きく、通常の走査型電子顕微鏡の対物レンズに比較し
て４倍程度の励磁が必要となる。このため、高加速電圧
による作業、例えば試料の高分解能観察とか、Ｘ線マイ
クロアナライザとしての作業等が出来なくなる。

この様に、現状では、成る特定の対物レンズを組込んだ
走査型電子顕微鏡で今ての要求を満すことは技術的に不
可能と言える状況にある。

（４）発明の目的 本発明は、このような現状を打破するためになされたも
ので、その目的は、走査型電子顕微鏡とはじめとする電
子線装置に組込まれる対物レンズ等の電子レンズをアッ
センブリ化すると共に、このアセンブリ化した各種電子
レンズを上記電子線装置の所定の位ｆｔｆｆ１へ着脱自
在にすることにより、一台の電子線装置が有する機能を
増大させることである。

（５）　発明の構成 本発明は、上記目的を達成するため、電子レンズを上側
磁極及び（又は）下側磁Ｗ１を形成するヨーク部と、こ
のヨーク部に巻装された励磁コイルとで一つのアセンブ
リ体として組立て、ヨークには取付部を設けて、電子線
装置の所定の位置即ち被取付部に下側から当接させ滑脱
出来るようにしたことを要旨とするものである。

このように構成された電子レンズは、主として対物レン
ズに用いられ、この対物レンズの仕様を何種類かに分類
して用意しておけば、高分解能観察、或は高解像度によ
る大型試料の観察といった各種目的に応じた試料観察を
一台のｍ子線装りで実現することが出来る。なお電子レ
ンズアセンブリは、上極、下極用ヨーク部と励磁コイル
とが一体に絹付けられていなければならないものではな
く、その一部、例えば上極用ヨーク部か電子線装置の被
取付部に一体固定され、これに対して残りの部材が着脱
自在になっていてもよい。

（６）実施例の説明 第６図は、本発明の第１の実施例に係る電子レンズアセ
ンブリ即ち対物レンズ及びこれの、電子線装置の一つで
ある走査型電子顕微鏡の鏡筒への取付状態を示す部分断
面図である。この実施例において、対物レンズ５０は、
従来における電子顕微鏡に用いられる対物レンズと異な
り、被取付部となる鏡筒の下端部に下側から当接し、且
つこの部分に着脱可能となっている。この対物レンズ５
０は、下端から上端へかけて次第に拡開する略逆円錐台
構造に成形され磁性材料から作られた下極ヨーク５１七
、下極ヨーク５１の内側に配置され且つ当該下極ヨーク
５１との間に一定のスペースを形成し、下極ヨーク５１
と共に一対の磁極を持ったヨーク部を構成する上極ヨー
ク５２と、上記下極ヨーク５１と上極ヨーク５２との間
のスペースに巻装された励磁コイル５３とから成ってい
る。下極ヨーク５１は、最下端部分に下側磁極５０ｂを
有する一方、最上端部分にけ下極ヨーク５１０本体部分
から半径方向外方へ張り出しり取付フランジ５１ａを有
して基り、この取付フランジＳｔａにはネジ通孔が形成
されている。また下極ヨーク５１の内側中間部分には、
当該下極ヨーク５１０本体部分から半径方向内方へわず
かに張９出した受部５１ｂが形成されている。

上極ヨーク５２は、一端に半径方向外方に延びる７ラン
グ部５２ａを有する略管状の部材から成り、７ラング部
５２ａの周縁部分には下極ヨーク５１の受部５１ｂに整
合する肩部５２ｂが形成され、この肩部５２ｂにはネジ
通孔が形成されている。

一方、鏡筒１と試料室２との結合部分には支持ブロック
５４が配置され、この支持ブロック５４によって鏡筒１
が試料室２上に支持されると共に対物レンズ５０も支持
する被取伺部を構成している。即ち、対物レンズ印は、
励磁コイル５３が巻装された内壁部材５２ト、当該上極
ヨーク５２の肩部５２ｂを下極ヨーク５１の受部５１ｂ
に整合させネジ５６止めすることによってアセンブリ体
となり、この対物レンズ５０の取付フランジ５１ａ　Ｔ
ｈ支持ブロック５４の下面に当接させてネジ５５止めし
、鏡筒１への取付けが行なわれる。

対物レンズ５０を取外すには、ネジ５５をゆるめれば、
対物レンズ５０を下方へ外し、更には試料室２全通して
顕ｌｌ＆鏡外部へ取出すこともできる。

なお、電子顕微鏡の他の部分は、上記従来の電子顕微鏡
とほぼ同様である。即ち鏡筒１内には、電子銃と、第１
段、第２段の集束レンズ５゜６と、第１段、第２段の偏
向コイル７．８がそれぞれ配置さね、試料室２内には試
料１５を載置する試料ホルダ１１が設置されている。

上記第１の実施例に示された対物レンズ５０け汎用型の
対物レンズであるが、上述のように対物レンズが一つの
アセンブリ体として組立てられているため、各種の目的
、用途に応じた互換可能な対物レンズを用意しておけば
一台の電子顕微鏡に何種類もの機能を与えることが出来
る。

第７図及び第８図は、このような軸能が異なり、互いに
互換可能な対物レンズの例を示したものである。第７Ｆ
ては本発明の第２の実施例に係る対物レンズを示すもの
で、この対物レンズ６０はＸ線分析を行うのに都合の良
い様に成形されており、ヨーク６１は、上側磁極６０ａ
側がすりばち状に窪んで形成される一方、下側磁極６０
１）側は略フラットな形状に形成されている。そしてヨ
ーク６１内のスペース部分には励磁コイル６２が装−填
されている。また対物レンズ６０は取付アーム６５に固
定連結され、その両端部に設けられた支持フランジ６５
ａをネジ６６によって支持ブロック・５４に固着するこ
とによって顕微鏡への取付けが行なわれる。更に対物レ
ンズ６０の」二方隙接部分には、試料観察機能と有する
光学顕微鏡６３が設けられる一方、この対物レンズ６０
の上側の′ａｔ子線軸０からやや偏った部分にはＸ線検
出素子６４が配置される。

第８図は本発明の第３の実施例に係る対物レンズを示す
もので、この対物レンズγＯｔ／′ｉ、第５図に示され
た対物レンズと同様、低加速電圧で高分解能観察が出来
る対物レンズであり、単一磁極７１によって構成されて
いる。そして、この対物レンズ７０は上記対物レンズ５
０　、６０と互換出来るよう、磁極７１は、その７ラン
グ部７１ａにおいて、取付部材７２に結合され、この取
付部材７２は取付フランジ７２ａにおいてビスＴ３によ
り鏡筒１に着脱自在となって−る。そして、対物レンズ
７０下方にはＩＣウェハの如き大型試料４９と、これを
支持する試料ホルダ４８が大角度傾斜可能に配置される
。この様な対物レンズ７０では、ワーキング・ディスタ
ンスが１〜２１１１ｍ１で加速電圧をｉ　ＫＶとした時
、５０Ａの分解能が得られ、その時の対物レンズ７０の
励磁力は１４００ＡＴ程度で済む。

しかしながら、この対物レンズ７０において加速電圧ｔ
ｌＯＫＶに向上させただけでも４５００Ａ’ｌ’の励磁
力が必要になり、通常の走査型電子顕微鏡のレンズ形状
では使うことが出来なくなる。

第９図は、上記第１の実施例におけると同様の構造を持
つ対物レンズ５０の取付位置よりも更に上方に、二次電
子検出器１３とは別Ｋ（或はこれとは代替的に）第２の
二次電子検出器７５を設けたものである。これにより、
ワーキング・ディスタンスを極めて小さな値に設定して
試料１５の観察を行った際における対物レンズ５０内に
トラップされた二次電子（第２図中符号Ｓ、で示したも
のに相当する）を上記第２の二次電子検出器７５によっ
て検出し、走査型電子顕微鏡の検出効率と上げることが
出来る。

また、上に述べた対物レンズ５０　、６０　、７０は、
いずれも、一つのアセンブリ体として、磁極を構成する
ためのヨーク、及び励磁フィルを基本構成要素としてい
るが、その他にも対物レンズアセンブリ体内に非点補正
コイル、或は走査コイル等の部材を付加的に加え、対物
レンズの機能を増大させることが出来る。更に又、一般
に対物レンズを励磁したときは、励磁コイルから多量の
熱が発生するが、この対物レンズを冷却するために、励
磁コイルの周囲を冷却ヨークによって取囲んだ構造にす
ることもできる。

なお、上に挙げた実施例では、いずれも対物レンズアセ
ンブリは上側及び下側磁極を形成するヨーク部と励磁コ
イルとが一体に組付けられているが、必ずしもこのよう
な構造に限られるものではない。例えば上記第１の実施
例における如くヨーク部を上極ヨーク５２と下極ヨーク
５１とに分離した対物レンズ５０において、上極ヨーク
５２け鏡筒１側の被取付部に固定取付（或は一体成形）
され、これに対して残りの部材である励磁コイル５３と
下極ヨーク５１とと被取付部に下側から当接させて着脱
させるようにしても、取付け、取外しが自由に出来る対
物レンズアセンブリは実現できるのである。

（力　発明の詳細 な説明したように、本発明によれば、電子線装置に用い
られる対物レンズ等の電子レンズを、磁極と形成するヨ
ーク部と、このヨーク部に巻装された励磁コイルとで一
つのアセンブリ体として組立て、ヨークには取付部を設
けて電子線装置の所定の位置へ着脱し得るようにしたた
め、電子線装置の各種の目的に応じた電子レンズをそれ
ぞれ用意し、この［１的のそれぞれに合った電子レンズ
を上記電子線装置ａにおいて取換え使用することが出来
る様になった。このため、一台の電子線装置によって、
当該電子線装置に課される殆どの要望を満足させること
が出来る様になり、機能の豊富さから見た場合、安価な
電子線装置とすることができる。また、上記従来例の説
明からも理解されるように、重子線装置に対する新しい
要求は、殆どが電子レンズ、中でも対物レンズの構造改
善によって対処し得るものである。したがって、将来に
わたって電子線装置に対し新しい要求が起った場合でも
、この要求に合った対物レンズを供給することにより、
ニーズを満して行くことができる。

これらの点を考え合わせると、本発明は剰費者にとって
も使用者にとっても図り知れない便宜をもたらすもので
あると言える。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の′重子線装置の一例を示す断面図、第２
図は二つの二次電子検出器を有する電子線装置の従来例
を示す断面図、第３図は従来の電子線装置の対物レンズ
の一例を示す断面図、第４図は従来の電子線装置の対物
レンズの他の例と示す断面図で（ａ）は対物レンズの内
腔に磁極筒を摺動可能に挿入させた例、（ｂ）は対物レ
ンズの上側ＩＦＦＪ極部に磁極片を摺動可能に取付けた
例、第５図は対物レンズを上側磁極のみで構成した電子
顕微鏡の例を示す断面図、第６図は本発明の一実施例と
示す断面図、第７図は上記実施例における対物レンズと
互換可能な本発明の第２の実施例に係る対物レンズの構
造を示す断面図、第８図は本発明の第３の実施例に係る
対物レンズの構造を示す断面図、第９図は複数の二次電
子検出器を有する電子１ｇ微鏡への本発明の適用例を示
す断面図である。 １・・・鏡筒　２・・・試料室 ３・・・電子銃　５，６・・・集束レンズ７．８・・・
偏向コイル　９，５０，６０．７０・・・対物レンズ１
０　、４８・・・試料ステージ　１５・・・試料５１・
・・外壁部材　５２・・・内壁部材５３・・・励磁コイ
ル　５４・・・支持プロ゛ツク５５　、５６・・・ネジ
　Ｏ・・・電子線軸特許出願人　株式会社国際精工 第１図 第２図 第３図 第４図 第５図 第６図 第７図 第８図 ３

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）磁極を形成するヨーク部と、このヨーク部に巻装さ
   れた励磁コイルとを組付け、上記ヨーク部には取付部を
   設け、電子線装置の被取付部に対して下側から取付けら
   れるようにしたことを特徴とする電子レンズアセンブリ
   。 ２）ヨーク部は、下極ヨークと、この下極ヨークの内側
   に取付けられ且つ下極ヨークとの間に所定の空間を形成
   すると共に下極ヨークと共に一対の磁極を形成する上極
   ヨークとで構成され、上記空間内において、上極ヨーク
   の筒状部分に励磁コイルと巻装することにより当該励磁
   フィルが組付けられていることを特徴とする特許請求の
   範囲第１項記載の電子レンズアセンブリ。 ３）鏡筒： この鏡筒の中に配置された電子銃と、集束レンズと、試
   料−ヒで電子線を二次元的に走査させる偏向コイルと、
   対物レンズ； 上記鏡筒の下方に接続して設けられ、試料載置用の試料
   台を内蔵した試料室；および試料から発生される放射線
   を検出する放射線検出器；を有する電子線装置において
   、上記対物レンズは、アセンブリ体として、上記電子線
   装置の被取付部に対して下側から当接し、着脱自在に取
   付けられていることを特徴とする電子線装置。 ４）対物レンズは、磁極を形成するヨーク部と、このヨ
   ーク部に巻装された励磁コイルとと組付けると共にヨー
   ク部には取付は部が設けられたアセンブリ体ｔら成り、
   上記取付部において鏡筒に取付は及び取外しされること
   を特徴とする特許請求の範囲第３項記載の電子線袋Ｍ。 ５）対物レンズの取付は取外しは、試料室を通して行う
   ようにしたことを特徴とする特許請求の範囲第４項記載
   の電子線装置。 ６）対物レンズアセンブリのヨーク部は、上側磁極を形
   成する上極ヨークと、下側磁極を形成する、上極ヨーク
   とけ別体の下極ヨークとから成り、上極ヨークは電子線
   装置の被取付部に一体固定される一方、下極ヨークは上
   記被取付部に対して下側から当接し着脱自在に取付けら
   れることを特徴とする特許請求の範囲第４項又は第５項
   記載の電子線装置。 ７）対物レンズには非点捕正コイル又は走査コイルが組
   込まれていることを特徴とする特許請求の範囲第３項乃
   至第５項のいずれかに記載の電子線装置。