JP4620981B2 - 荷電粒子ビーム装置 - Google Patents
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Description
図1に、本発明の第1の実施例である電子ビームカラムの概略構成および電子ビーム軌道を示す。
35は非点補正コイル36用の電源、37は対物アライナー38用の電源、50は偏向器電源である。真空容器内の各部品の支持法については簡単のため図示していない。これらの電源を制御コンピュータ30を通じてコントロールすることにより、電子ビームを発生させ、走査など制御することができる。
図2に、本発明の第2の実施例の概略構成および電子ビーム軌道を示す。
図4に、本発明の第3の実施例として、本発明を組み込んだCD−SEM(測長SEM)の主要構成を示す。
Claims (7)
- 荷電粒子ビームを供給するための荷電粒子源と、
前記荷電粒子源から放出された荷電粒子ビームの収束角度と収束位置を制御するための1枚以上のコンデンサーレンズと、
前記荷電粒子ビームを試料面上に収束するための対物レンズと、
電界型もしくは磁界型の多極子レンズ、および電磁界複合型の多極子レンズを組み合わせた2段以上4段以下の構成からなり、光軸を共通軸として配置された、前記コンデンサーレンズおよび前記対物レンズから生じる色収差および球面収差、またはそのどちらか一方の収差を補正するための収差補正器と、
前記荷電粒子ビームの前記収差補正器への入射方向を制御する偏向器とを有し、
前記コンデンサーレンズは、前記荷電粒子源と前記収差補正器との間に配置された第1のコンデンサーレンズと第2のコンデンサーレンズにより構成され、
前記偏向器は、当該第1のコンデンサーレンズと第2のコンデンサーレンズとの間に配置され、
前記対物レンズの物点を動かすことなく前記試料面に対して所定の角度で傾斜した前記荷電粒子線ビームを収束することを特徴とする荷電粒子ビーム装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子ビーム装置において、
前記収差補正器へ入射する前記荷電粒子ビームの入射位置と入射量を制限するためのコンデンサー可動絞りを備え、
前記コンデンサー可動絞りを制御することにより、前記荷電粒子ビームの前記試料に対する入射角を制御することを特徴とする荷電粒子ビーム装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子ビーム装置において、
前記コンデンサーレンズ、対物レンズおよび前記偏向器が、前記対物レンズの物点を動かさずに当該物点に前記荷電粒子ビームが入射するように動作することを特徴とする荷電粒子ビーム装置。 - 請求項2に記載の荷電粒子ビーム装置において、
前記コンデンサー可動絞りは、絞り穴と、前記制御手段により制御される2次元位置制御機構とを備え、
前記絞り穴を、光軸中心からの距離と光軸の周りの回転角を所望の位置に設定することにより、光軸上にある前記対物レンズの物点を動かすことなく、前記対物レンズの物点からの前記荷電粒子ビームの出射方向を制御するよう構成したことを特徴とする荷電粒子ビーム装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子ビーム装置において、
前記偏向器は、前記荷電粒子ビームを光軸の周りの任意の方向に偏向する機能を有することを特徴とする荷電粒子ビーム装置。 - 請求項1から5のいずれか1項に記載の荷電粒子ビーム装置において、
前記試料に対する荷電粒子ビームの傾斜角度が10度以上であることを特徴とする荷電粒子ビーム装置。 - 請求項1から6のいずれか1項に記載の荷電粒子ビーム装置において、
前記収差補正器が、複数段の12極子を有し、前記12極子を一段または複数段励起することにより、前記荷電粒子ビームの光軸に対する傾斜方向の5次開口収差を補正するよう構成されていることを特徴とする荷電粒子ビーム装置。
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