CN103776415B - 表面粗糙度测量单元和坐标测量设备 - Google Patents

Abstract

本发明涉及表面粗糙度测量单元和坐标测量设备。根据本发明的表面粗糙度测量单元包括：接触销单元，其具有接触销和变位检测器，接触销被设置成通过滑块的通孔突出和缩回并且沿着工件表面扫描和移动，变位检测器检测接触销在与工件表面垂直的方向上的变位；驱动部，其沿着工件表面前后移动接触销单元；以及接合部，其将接触销单元和驱动部连结到坐标测量***的测量头保持件。表面粗糙度测量单元还包括检测滑块与工件表面的接触的接触检测器。

Description

表面粗糙度测量单元和坐标测量设备

相关申请的引用

本申请根据《美国法典》第35卷119条要求2012年10月18日提交的日本申请No.2012-230818的优先权，该日本申请的全部公开内容通过引用包含于此。

技术领域

本发明涉及表面粗糙度测量单元和坐标测量设备。更具体地，本发明涉及能够安装到坐标测量设备且与坐标测量设备一起使用的表面粗糙度测量单元。

背景技术

已知坐标测量设备用于测量工件的三维轮廓形状（例如，日本特开2006-201105号公报）。

坐标测量设备包括：测量头，测量头在触针的顶端具有与工件接触的接触球；移动机构，该移动机构在X轴方向、Y轴方向和Z轴方向上三维地移动测量头；以及主机，该主机用于测量和记录测量头的移动。已知测量头的示例是当接触球推入工件一定量时输出接触信号的接触探头。

还存在如下情况：将诸如工件表面上微小的不平坦和起伏（也可以称为表面纹理）的表面粗糙度作为测量对象。日本特开平11-190621号公报公开了一种表面纹理测量装置。日本特开平11-190621号公报公开的表面纹理测量装置包括接触销单元和沿着工件表面前后移动接触销单元的驱动部，该接触销单元包括在与工件表面垂直的方向上可变位的接触销。

接触销单元包括接触销和变位检测器，该接触销测量由表面粗糙度表示的表面纹理，该变位检测器检测所述接触销的变位。表面纹理测量装置利用驱动部沿着工件表面前后移动接触销单元，并且此时利用变位检测器检测接触销的变位。然后表面纹理测量装置将该变位转换为电信号，并且对电信号进行预定的处理以获得工作表面粗糙度的测量值。

发明内容

当测量工件的加工精度时，例如，除了工件的三维轮廓形状以外，可能需要测量工件的表面粗糙度。当工件的轮廓形状和表面纹理两者都被测量时，直至此时，利用坐标测量设备测量工件的表面轮廓，之后将工件从坐标测量设备转移到表面纹理测量装置。然后，利用表面纹理测量装置测量工件表面的表面粗糙度。然而，当需要这种转移时，则需要更多的步骤，由此大大地降低了测量效率。

日本特开昭63-289410号公报描述了能够测量工件的表面粗糙度的坐标测量装置。具体地，公开了将接触销单元安装于坐标测量装置的Z主轴的顶端的思想。

在日本特开昭63-289410号公报中描述的技术中，接触销单元被安装到坐标测量装置的Z主轴的顶端，并且，通过移动机构移动坐标测量装置的Z主轴以沿着工件表面驱动接触销单元。然而，当接触销单元被坐标测量装置的移动机构驱动时，接触销单元在与接触销单元的行进方向垂直的方向上因为来自活动的坐标测量的震动而不可避免地振荡。在这种情况下，考虑到测量工件的表面粗糙度所需的分辨率，确定测量结果是表面粗糙度还是由于坐标测量装置的移动机构所产生的振荡而导致的误差是几乎不可能的。换言之，当接触销单元测量工件的表面粗糙度时，有必要将接触销单元从坐标测量装置的移动机构分离。因而，难以将坐标测量装置的移动机构作为表面粗糙度测量装置的驱动部使用。此外，存在另一种担心。当测量表面粗糙度时，首先需要通过使用坐标测量装置的移动机构将接触销单元适当地设定在工件的预定位置处。然而，即使当接触销单元与工件表面接触时，也不可能检测到接触销单元是否已经被适当地设定在工件表面上，由此不能适当地测量表面粗糙度。因此，不能简单地通过将接触销单元安装到坐标测量装置的Z主轴的顶端来测量表面粗糙度。

为了解决上述情况设计了本发明，并且本发明的目的是提供能够连结到坐标测量设备的表面粗糙度测量单元。

根据本发明的表面粗糙度单元包括：接触销单元，其具有接触销和变位检测器，接触销被设置成通过滑块的通孔突出和缩回并且沿着工件表面扫描和移动，变位检测器检测接触销在与工件表面垂直的方向上的变位；驱动部，其沿着工件表面前后移动接触销单元；和接合部，其将接触销单元和驱动部连结到坐标测量装置的保持件。表面粗糙度测量单元还包括检测滑块与工件表面的接触的接触检测器。

本发明提供了能够连结到坐标测量装置的表面粗糙度测量单元。

附图说明

下面参照所附的多张附图并借助于本发明的示例性实施方式的非限定性示例，在具体实施方式中进一步地说明本发明，其中相似的附图标记表示附图中多个视图的相似的部分。

图1示出了根据第一实施方式的坐标测量***的构造；

图2（a）、图2（b）和图2（c）示出了根据第一实施方式的表面粗糙度测量单元的外观；

图3示出了根据第一实施方式的驱动部的内部；

图4示出了根据第一实施方式的探头的截面的一部分；

图5示出了根据第一实施方式的探头与工件接触的状态；

图6（a）示出了根据第二实施方式的碰撞检测器；

图6（b）示出了根据第二实施方式的碰撞检测器；以及

图7示出了根据第一实施方式的表面粗糙度测量单元与标准球。

具体实施方式

此处借助于示例示出了仅用于本发明的实施方式的说明性讨论的细节，并且为了提供对于本发明的原理和概念性方面的说明被认为是最有用的及容易理解的而呈现这些细节。在这方面，没有尝试示出比对本发明进行基本理解所必需的细节更详细的本发明的结构细节，而结合附图的说明使得对于本领域技术人员来说如何在实践中实现本发明的构成是显而易见的。

本发明的关键点是能够安装到坐标测量装置并且与坐标测量装置一起使用的表面粗糙度测量单元的构造。然而，为了便于稍后的说明，首先说明包括坐标测量装置的坐标测量***的构造。

图1示出了坐标测量***100的构造。坐标测量***100包括坐标测量装置120和计算机终端140。

坐标测量装置120包括：台架121，在台架121上放置工件W；测量头122，其扫描和测量工件W的轮廓形状；以及移动机构130，其在X、Y和Z方向上三维地移动测量头122。

此处，示出的测量头122具有接触式传感器探头单元，在接触式传感器探头单元中，接触球127设置于触针（stylus）的顶端；然而，接触式传感器探头可以变成不同种类。（在稍后的说明中，将提供对能够替代接触式传感器探头单元而使用的表面粗糙度测量单元的说明。）

如图1所示，XYZ垂直坐标系被定义为机器坐标系。X方向是图1中的左右方向，Y方向是图1中纸张的前后方向，而Z方向是上下方向。

移动机构130包括门状框架131、X-滑动器133、Z轴主轴134以及驱动机构（图中未示出）。门状框架131具有水平梁132，该水平梁132在X轴方向上横向桥接且能够在Y轴方向上移动。

X-滑动器133具有在Z轴方向上延伸的柱体并且能够沿着水平梁132在X轴方向上滑动。Z轴主轴134被***到X-滑动器133的内部，并且在Z轴方向上是可滑动的。

驱动机构（图中未示出）由门状框架131、在各轴向上驱动X-滑动器133和Z轴主轴134的马达等构成。

具有测量头122的接触式传感器探头被安装到Z轴主轴134的底端并且包括接触球127。坐标测量装置120利用移动机构130移动测量头122并且使接触球127与工件W接触，以测量工件W的形状。

如上所述，坐标测量***100的测量头的顶端是可替换的。例如，接触式传感器探头单元与测量头一起使用，并且首先测量工件的轮廓形状。接着，表面粗糙度测量单元安装到坐标测量***以替换接触式传感器探头单元。由此，利用表面粗糙度测量单元测量工件的表面粗糙度。

（第一实施方式）

说明根据本发明的第一实施方式的表面粗糙度测量单元。表面粗糙度测量单元能够被连结到坐标测量***100的移动机构130，并且替代接触式传感器探头使用。在下文中，参照附图说明本发明的实施方式。

图2（a）是表面粗糙度测量单元1的侧视图。图2（b）是表面粗糙度测量单元1的俯视图。图2（c）是表面粗糙度测量单元1的主视图。

表面粗糙度测量单元1包括接触销单元3、驱动部4、第二支撑部6和接合部40。表面粗糙度测量单元1通过接合部40连结到移动机构130（具体地，Z轴主轴的底端）。（第二支撑部6连接到接合部40以将接触销单元3和驱动部4结合到接合部40。稍后将作为第二实施方式说明细节。）

图3是说明驱动部4的内部机构的图。图4是说明接触销单元3的内部机构的图。首先参照图4说明接触销单元3的机构。

接触销单元3包括内部具有空间的壳体18、在壳体18的内部能够振荡的接触销杆20以及变位检测器16。壳体18包括大致筒状主体和从主体前端突出的突出部（nose）17。此外，滑块（skid）11被设置到突出部17的顶端。

滑块11在其内部具有L形通孔19，并且通孔19连接到突出部17内部的中空部。

接触销杆20包括在其顶端指向下的接触销12（为了便于说明，表面粗糙度测量单元1的上下方向被定义为图2（a）和图3至图6（b）的纸张上示出的上下方向。此外，纸张的左侧表示表面粗糙度测量单元1的前侧；纸张的右侧表示表面粗糙度测量单元1的后侧）。接触销杆20穿过主体和突出部17。接触销12以从滑块11的底端的开口面向外部的方式设置于接触销杆20的顶端。接触销杆20的中间部通过板簧21被安装到主体的内部空间。板簧21用作接触销杆20的振荡点并且弹性地支撑接触销杆20，使得接触销12平衡在从滑块11的底面稍微突出的状态下。

变位检测器16设置于主体的内部。变位检测器16具有铁氧体板22和感应检测器23。

铁氧体板22被安装到接触销杆20后端的上表面。感应检测器23被安装到主体的内部空间的与铁氧体板22相对的位置。

滑块11的底面是在测量时与工件W接触的工件接触面。当滑块11的底面沿着工件W的被测量面移动时，接触销12根据被测量面的表面粗糙度上下移动。当接触销12上下移动时，感应检测器23检测该上下移动。感应检测器23输出检测信号，并且利用该信号测量工件W的被测量面的表面粗糙度。接触销单元3向外输出工件W的被测量面的表面粗糙度的测量结果。

再参照图3，接着说明驱动部4。图3示出了驱动部4的机构。驱动部4包括第一支撑部7、驱动机构24以及接触检测器15。而且，由虚线示出驱动部壳5。

第一支撑部7包括L形框架25、将接触销单元3连结到框架25的连结件14以及限制框架25的移动方向的引导部26。

框架25置于接触销单元3的上方并且使接触销单元3的后端是悬臂支承的。这里，框架25具有如下形状：组件25a被定位成类似屋顶地悬浮在接触销单元3的上侧，并且组件25b从组件25a成直角地弯曲并且面对接触销单元3的后端。

连结件14将接触销单元3的后端连结到组件25b。这里，连结件14具体为板簧。当没有被施加其它力时，板簧对接触销单元3向接触销单元3与组件25a分离的方向施力。如图3所示，接触销单元3的前端（也就是，滑块11）以低于接触销单元3的后端的方式倾斜。

引导部26具有引导轴27并且支撑框架25，使得框架25能够平移。引导轴27插通设置于组件25a的上表面的轴承27a和27b的通孔。

驱动机构24由马达28、进给螺杆29和螺杆接收螺帽30构成。与进给螺杆29螺纹连接的螺杆接收螺帽30被设置在组件25b的底端面。理所当然，进给螺杆29和引导轴27彼此平行地设置。

马达28被连接到螺纹连接到螺杆接收螺帽30的进给螺杆29的终端。当驱动马达28转动时，进给螺杆29在与被测量面平行的方向上移动，并且框架25沿着引导轴27移动。

这里，对马达28、进给螺杆29、螺杆接收螺帽30设置在框架25的组件25b的底面侧的构造提供说明，然而，马达28、进给螺杆29和螺杆接收螺帽30可以设置在框架25的侧面侧或者顶面侧。

接触检测器15设置在接触销单元3与框架25之间，以检测滑块11在工件W上的接触。图5示出了滑块11（以及接触销12)与工件W接触的状态。具体地，接触检测器15由光传感器151和屏蔽板152构成。

光传感器151设置在组件25a的底面并且具有光发射器151a和光接收器151b。光发射器151a发光，而光接收器151b接收光。当光接收器151b不能接收到光时，能够检测到在光发射器151a和光接收器151b之间存在阻挡光的物体。此外，屏蔽板152在接触销单元3的壳体18的顶面设置在与光传感器151相对的位置。

如上所述，在滑块11与工件W的被测量面没有接触的状态下，由连结件14对接触销单元3施力使得滑块11低于接触销单元3的后端。在该状态下，由于接触销单元3与组件25a分离，所以屏蔽板152不会阻挡光传感器151的光。另一方面，当滑块11与工件W的被测量面接触时，滑块11由被测量面推高，由此接触销单元3被推高。因此，接触销单元3的顶面和组件25a的底面彼此接近，并且屏蔽板152阻挡光传感器151的光。采用这种方式，光传感器151检测接触销单元3的倾斜度由滑块11接触工件W所引起的微小改变。当接触检测器15检测到滑块11已经接触工件W时，表面粗糙度测量单元1输出检测结果。一旦接收到该检测结果，移动机构130停止在接近工件W的方向上运动。此后，表面粗糙度测量单元1开始测量工件W的表面粗糙度。换言之，转动地驱动马达28，由此，接触销单元3沿工件W的表面前后移动。

根据本实施方式的表面粗糙度测量单元1能够检测滑块11与工件W的被测量面接触时所引起的接触销单元3的倾斜度的微小改变。因此，虽然仅通过使用坐标测量装置120的移动机构130的驱动精确性难以将接触销单元3设定于工件W的表面的适当位置，但是能够通过使用来自接触检测器15的检测信号使得滑块11（以及接触销12）与工件W适当接触。此外，由于当接触检测器15检测到滑块11与工件W之间的接触时，停止通过移动机构130使表面粗糙度测量单元1运动，也能够防止诸如损坏像滑块11等精密组件等的事故。此外，由于接触检测器15能够精确地检测滑块11与工件W之间的接触，所以没有必要朝工件W缓慢地移动表面粗糙度测量单元1来避免事故。因而，能够进一步地提高测量效率。也可以是如下的另一种构造：用作接触检测器15的接触销单元3基于接触销12的变位检测与工件W接触。然而，考虑到接触销单元3的变位检测器16的测量范围和分辨率，接触销单元3必须朝工件相当缓慢地移动。在这一点上，本实施方式的接触销单元不要求将表面粗糙度测量单元1缓慢地移向工件W，由此，能够进一步地提高测量效率。此外，由于本实施方式的测量单元1包括驱动滑块11的驱动部4，当测量表面粗糙度时可以停止移动机构130的驱动。因而，不会发生由于移动机构130的驱动导致的表面粗糙度测量结果的错误。因此，本实施方式的测量单元1能够精确地检测表面粗糙度。此外，本实施方式的测量单元1不使用坐标测量装置的移动机构130来测量表面粗糙度，由此，例如，该测量单元1能够被安装到诸如机器人、机床等其它装置。

（第二实施方式）

除了第一实施方式中说明的接触检测器以外，本发明的表面粗糙度测量单元1还包括碰撞检测器50。碰撞检测器50检测表面粗糙度测量单元1，而不是滑块11，与未预料到的障碍物碰撞。

表面粗糙度测量单元1的接触销单元3需要进行高精度的平移。因而，在一定程度上限制了滑块11、引导部26和驱动机构24之间的位置关系，因此，必然难以确保滑块11的底端面与驱动部壳5的底面之间的足够间隙。例如，如图2（a）至2（c）所示，滑块11的底端与驱动部壳5的底面通常彼此大致等高。因而，在由于有缺陷的加工等引起在工件W的表面留下不平坦处或者凸起的情况下，例如，当使得表面粗糙度测量单元1更接近工件W的表面以使滑块11与工件W的表面接触时，可能的情况是，表面粗糙度测量单元1本身，诸如驱动部壳5的底面，可能在滑块11之前与突起等碰撞。

因而，当尝试利用连结到移动机构130的表面粗糙度测量单元1测量工件W时，例如，碰撞检测器50防止表面粗糙度测量单元1在操作者不期望的位置被突起（例如，工件W的表面上的有缺陷加工）损坏。

图6（a）和图6（b）示出了第二支撑部6的构造。第二支撑部6设置在外盖6a的内部。

第二支撑部6包括支撑部壳51、卷簧52、支撑板53、光传感器55和屏蔽板56。碰撞检测器50由光传感器55和屏蔽板56构成。

支撑部壳51是内部中空的壳体并且由在下表面具有凹部的矩形顶板51a、在中央部具有孔51d的矩形底板51b以及连接顶板51a的外周与底板51b的外周的壁51c构成。将接触销单元3的驱动部壳5连接到支撑板53的连接构件54被***到底板51b的孔51d中。

支撑板53是矩形的并且经由三个或更多钢球57将支撑板53保持在底板51b上。（因为图6（a）和图6（b）是侧视图，所以图6（a）和图6（b）应当被解释成仅具有两个可见的钢球57）多个接收孔58设置在底板51b的上表面上以接收钢球57。接收孔58设置成防止钢球57滚动并且接收孔58是锥形凹部。

在这里，将支撑部壳51的顶板51a、底板51b和支撑板53描述成具有矩形形状；然而，形状不限于此。这些形状可以例如是圆形、等边三角形、等腰三角形和正方形等。换言之，需要设置至少三个钢球57来保持支撑部壳51的表面。

支撑板53被固定地连结到连接构件54，并且根据驱动部壳5的倾斜度而以相同角度倾斜。

卷簧52设置在顶板51a与支撑板53之间。通过卷簧52的弹性力使支撑板53按压底板51b。用于***卷簧52的凹部设置到顶板51a的底面和支撑板53的顶面两方。在底板51a用作座部而支撑板53用作支撑部的状态下，支撑板53安放在底板51b上。

光传感器55设置到壁51c。光传感器55包括光发射器55a和光接收器55b。在光发射器55a与光接收器55b之间发光和接收光，由此，光传感器55检测在光发射器55a与光接收器55b之间是否存在阻挡光的物体。屏蔽板56设置到支撑板53的与壁51c中的光传感器55相对的侧面。当支撑板53与底板51b平行时，屏蔽板56被设置成***在光传感器55的光发射器55a与光接收器55b之间。图6（b）示出了驱动部壳5与障碍物接触的状态。当障碍物与驱动部壳5的前端部附近的底面接触时，驱动部壳5的前端部被升高，并且驱动部壳5倾斜。在驱动部壳5倾斜的同时，通过连接构件连接到驱动部壳5的支撑板53倾斜。因此，***到光传感器55的屏蔽板56变位，并且光传感器55的检测状态改变。因而，能够检测到驱动部壳5已经与外部障碍物接触。因此，根据本实施方式的表面粗糙度测量单元1能够检测与被测量面之外的外部障碍物的接触。此外，当碰撞检测器50如上所述地检测到表面粗糙度测量单元1与未预料到的障碍物碰撞时，表面粗糙度测量单元1通过移动机构130的移动被停止。由此，能够防止诸如由于与未预料到的障碍物碰撞而导致表面粗糙度测量单元1损坏等事故。

（校准）

在下文中，提供对表面粗糙度测量单元1安装到坐标测量***100且与坐标测量***100一起使用的情况进行校准的说明。图7示出了表面粗糙度测量单元1和标准球200。当使用表面粗糙度测量单元1时，表面粗糙度测量单元1首先被连结到移动机构130，然后利用标准球200在测量工件W的形状之前进行偏移校准。

为了校准，利用在顶端具有接触球127的偏移校准头300替换上述接触销单元。这样做的原因如下。虽然表面粗糙度测量单元1能直接地测量标准球200，但是因为表面粗糙度测量单元1的滑块11不是球形的，所以即使当滑块11与标准球200的表面上的多个点接触也不能够适当地测量标准球200。因而，偏移值出现偏差。还可以在已经考虑到偏差的偏移值的情况下进行校对；然而，这是不期望的，因为偏差基于标准球200或者标准球200上的测量点而有差异。因此，优选使用在顶端具有接触球127的偏移校准头300用于校准。

当进行校准时，接触球127从一个方向接近标准球200并且与标准球200接触。由此，由接触球127测量标准球200的中心点的坐标。（由于表面粗糙度测量单元1仅能从一个方向感测工件，从一个方向接近足以进行标准球200的测量。)计算由接触球127测量的标准球200的中心点坐标与存储于计算机终端140中作为标准值的标准球200的中心点坐标之间的差，由此，校正表面粗糙度测量单元1的偏移量。此外，在偏移校准头300的接触球127与接触销单元3的滑块11之间存在尺寸差别；然而，可以利用设计值来校准该尺寸差别。

如上所述，根据本发明的表面粗糙度测量单元1包括接触检测器15，该接触检测器15检测滑块11的测量面在工件W上的接触。因而，即使使用坐标测量装置120的移动机构130的驱动精确性，表面粗糙度测量单元1（也就是滑块11）也能够被准确地设定在工件W上。

此外，表面粗糙度测量单元1包括碰撞检测器50。因而，例如，在表面粗糙度测量单元1接近工件时，即使当操作者未预料到的障碍物接触驱动部壳5的底面，也能够立即检测到与障碍物的碰撞，并且防止对表面粗糙度测量单元1造成损坏。

本发明不限于上述实施方式，并可以在不偏离本发明的范围的情况下根据需要进行修改。例如，虽然已经说明了具有门状框架的坐标测量装置，根据本实施方式的表面粗糙度测量单元当然还可以应用到具有多关节移动机构的坐标测量装置（例如，日本特开2007-47014号公报公开了多关节型坐标测量装置)。此外，例如已经说明了接触销和接触销杆彼此垂直的表面粗糙度测量单元。然而，接触销单元自身的内部结构不受限制，而且接触销和接触销杆可以以直线方式连结。此外，根据本发明的表面粗糙度测量单元可以被安装到机器人和机床等，并且可以和它们一起使用。已经使用光传感器作为用于接触检测器15和碰撞检测器50的示例。然而，接触检测器15和碰撞检测器50的具体构造当然不受本实施方式中的示例的限制，并且还可以使用机械接触开关。

注意，已提供的前述示例仅是为了说明的目的并且不能被解释为限制本发明。虽然已经参考示例性实施方式描述了本发明，应该理解的是，这里使用的词语是描述和说明性的词语，而不是限制性的词语。在不偏离本发明自身的方面的范围和精神的情况下，可以在所附权利要求的范围内做出改变，如之前的陈述和修改。虽然这里已经参考具体的结构、材料和实施方式描述了本发明，但是本发明的意图并不限于这里公开的具体内容；而是，本发明延伸至诸如在所附权利要求的范围内的所有功能等同的结构、方法和用途。

本发明不限于上述实施方式，在不偏离本发明的范围的情况下，可以进行各种变型和修改。

Claims (10)

1.一种表面粗糙度测量单元，其包括：

接触销单元，所述接触销单元包括：

接触销，所述接触销被构造成在沿着工件表面的扫描运动期间通过滑块的通孔突出和缩回；和

变位检测器，所述变位检测器被构造成检测所述接触销在与所述工件表面垂直的方向上的变位；

驱动部，所述驱动部被构造成沿着所述工件表面前后移动所述接触销单元，所述驱动部包括框架，所述框架被引导轴引导，所述框架被构造成借助于来自马达的动力沿着所述引导轴前后移动；

接合部，所述接合部被构造成将所述接触销单元和所述驱动部连结到坐标测量装置的测量头保持件，以及

接触检测器，其被构造成检测所述滑块与所述工件表面的接触。

2.根据权利要求1所述的表面粗糙度测量单元，其特征在于，当所述滑块与所述工件表面接触时，所述接触检测器检测所述接触销单元在与所述工件表面垂直的方向上相对于所述驱动部的变位。

3.根据权利要求2所述的表面粗糙度测量单元，其特征在于，

所述接触检测器包括：

第一传感器，其被设置到所述接触销单元和所述驱动部中的一方；

以及

第二传感器，其被设置到所述接触销单元和所述驱动部中的另一方的与所述第一传感器相对的位置处，并且

所述第一传感器被构造成检测与所述第二传感器的接近或接触。

4.根据权利要求3所述的表面粗糙度测量单元，其特征在于，所述第一传感器是光传感器，并且所述第二传感器是能***地且能缩回地设置在所述光传感器的光发射器与光接收器之间的屏蔽板。

5.根据权利要求1所述的表面粗糙度测量单元，其特征在于，所述表面粗糙度测量单元还包括施力部件，所述施力部件被构造成对所述接触销单元向第一方向施力，所述第一方向被定义为所述接触销从所述滑块的通孔露出的方向。

6.根据权利要求5所述的表面粗糙度测量单元，其特征在于，

所述接触销单元通过连结件悬臂支承于所述框架。

7.根据权利要求6所述的表面粗糙度测量单元，其特征在于，所述连结件是被构造成对所述接触销单元向所述第一方向施力的板簧。

8.根据权利要求1所述的表面粗糙度测量单元，其特征在于，所述表面粗糙度测量单元还包括：

座部，其被固定地安装到壳体；以及

支撑部，其被构造成能够坐落于所述座部并且能与所述座部分离，其中：

所述驱动部被固定地连接到所述支撑部，

通过第二施力部件对所述支撑部向第一方向施力，所述第二施力部件坐落于所述座部，并且

当所述支撑部受到与所述第一方向相反的方向上的力时，所述支撑部与所述座部分离，所述第一方向被定义为所述接触销从所述滑块的通孔露出的方向。

9.根据权利要求8所述的表面粗糙度测量单元，其特征在于，所述表面粗糙度测量单元还包括传感器，所述传感器被构造成检测所述支撑部坐落于所述座部的状态或所述支撑部与所述座部分离的状态。

10.一种坐标测量设备，其包括：

根据权利要求1至9中任一项所述的表面粗糙度测量单元；以及

坐标测量装置，所述表面粗糙度测量单元作为测量头被连接到所述坐标测量装置。