CN103676779A - 修正齿隙的电动机控制装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种修正齿隙的电动机控制装置。电动机控制装置(10)包含:计算第一位置检测部检测的可动部的第一位置检测值与第二位置检测部检测的被驱动部的第二位置检测值之间的偏差的偏差计算部(31);判定使可动部从任意的初始位置向第一驱动方向和第二驱动方向移动时,可动部与被驱动部是否发生了结合的判定部(32);在判定出可动部与被驱动部发生了结合时,将偏差计算部计算出的偏差作为初始偏差与第一驱动方向或者第二驱动方向相关联地进行保存的保存部(33);计算齿隙的齿隙修正量的修正量计算部(34),其中,修正量计算部根据偏差计算部针对可动部和被驱动部各自的当前位置计算出的偏差和初始偏差,来计算齿隙修正量。

Description

修正齿隙的电动机控制装置
技术领域
本发明涉及修正齿隙的电动机控制装置。
背景技术
机床、工业机械中的进给轴和工业用机器人的臂等的轴(机械可动部)与伺服电动机相连接。伺服电动机的旋转通过滚珠螺杆等变换为工作台等的直线运动,或者伺服电动机的传导速度通过减速机发生减速。
在这些滚珠螺杆或减速机中,存在这种情况,即,在向某位置的正方向的停止位置与负方向的停止位置之间存在差。一般地,这样的差被称为齿隙,并成为了使位置精度降低的原因。
图10A至图10C是用于说明齿隙的图。在图10A中,表示了通过未图示的电动机进行移动的可动部WA、和通过可动部WA被驱动的被驱动部WB。可动部WA在其两端具有凸出部A1、A2,被驱动部WB在其中央具有凸起部B。因此,例如,可动部WA向右方向移动时,可动部WA的一方的凸出部A1的内侧端与被驱动部WB的凸起部B的一端进行结合。由此,可动部WA和被驱动部WB一体地沿右方向移动。
此外,在可动部WA发生反转从右方向改为向左方向移动的情况下,如图10B所表示,可动部WA向左方向移动。并且,如图10C所表示的,当可动部WA另一方的凸出部A2的内侧端与被驱动部WB的凸起部B的另一端结合时,可动部WA和被驱动部WB一体地向左方向移动。
在这样反转时,在可动部WA与被驱动部WB结合之前,需要仅移动称为齿隙的预定的移动量。在图10A和图10C中,表示了齿隙C,齿隙C可能成为使位置精度降低的原因。
因此,生成了针对齿隙C的修正量,在反转时将该修正量与电动机的位置指令相加。在日本专利第3389417号公报中公开了如下技术,即预先求出各进给轴在反转前的进给速度与对直至进行反转之前的移动量的修正量的关系,并根据该关系,求取修正量。此外,日本专利第3703664号公报中公开了根据反转后的经过时间变更修正量的技术。
此外,图11是用于说明齿隙的其他的图。图11中示出了可动部WA的两个凸出部A1、A2未与被驱动部WB的凸起部B的一端结合的初始位置。当使可动部WA从这样的初始位置向左方向移动时,可动部WA仅移动比齿隙C短的距离C1,来与被驱动部WB的凸起部B的另一端结合(参照图10C)。在齿隙比较大的情况下容易发生这样的现象。
但是,在成为这样的情况之前,如果将对应于齿隙C的修正量与电动机的位置指令相加,则修正量会变得过大。为了避免修正量变得过剩,也可以生成比齿隙C小的预定修正量。然而,修正量变得过小时,也会出现反转时的修正量不足的情况。
发明内容
鉴于这样的情况而提出本发明,其目的在于,提供一种电动机控制装置,该电动机控制装置在从初始位置的移动量比齿隙更小的情况下,也能生成最佳的修正量。
为了实现上述目的,根据第1个发明,提供了一种电动机控制装置,其对由电动机驱动的可动部与由该可动部驱动的被驱动部之间的齿隙进行修正,具备:检测所述可动部的位置的第一位置检测部;检测所述被驱动部的位置的第二位置检测部;计算所述第一位置检测部检测出的第一位置检测值与所述第二位置检测部检测出的第二位置检测值之间的偏差的偏差计算部;判定使所述可动部从任意的初始位置向第一驱动方向和与该第一驱动方向相反的第二驱动方向移动时,所述可动部是否已与所述被驱动部结合的判定部;在通过所述判定部判定出所述可动部已与所述被驱动部结合时,将所述偏差计算部计算出的所述偏差作为初始偏差与所述第一驱动方向或者所述第二驱动方向相关联地进行保存的保存部;以及计算所述齿隙的齿隙修正量的修正量计算部,其中,所述修正量计算部根据所述偏差计算部针对所述可动部和所述被驱动部各自的当前位置计算出的偏差、与所述保存部保存的所述初始偏差,计算所述齿隙修正量。
根据第2个发明,在第1个发明中,所述判定部,在所述可动部向所述第一驱动方向或者所述第二驱动方向移动了所述齿隙以上时,判定所述可动部已与所述被驱动部结合。
根据第3个发明,在第2个发明中,所述判定部,在所述可动部已以恒定速度移动时,判定所述可动部已与所述被驱动部结合。
根据第4个发明,在第1个发明中,还具备:生成所述被驱动部的位置指令值的位置指令生成部;根据所述位置指令值与所述第一位置检测值之间的第一位置偏差、所述位置指令值与所述第二位置检测值之间的第二位置偏差,来生成速度指令值的速度指令生成部。
根据第5个发明,在第4个发明中,所述速度指令生成部,将从所述第二位置偏差减去所述第一位置偏差所得的值通过低通滤波器后的值,与所述第一位置偏差相加,来生成速度指令。
根据第6个发明,在第4个发明中,所述保存部还保存在所述第一驱动方向和所述第二驱动方向上的速度指令值,在当前的速度指令值比被保存的速度指令值小的情况下,将所述当前的速度指令值作为新的速度指令值进行保存。
根据第7个发明,在第1个发明中,所述修正量计算部将所述齿隙的修正量限制在齿隙量以下。
从附图所表示的本发明的典型实施方式的详细说明中,能够进一步明了本发明的这些目的、特征和优点,以及其他的目的、特征和优点。
附图说明
图1是根据本发明的第一实施方式的电动机控制装置的功能框图。
图2是表示本发明的电动机控制装置的动作的流程图。
图3是判定可动部与被驱动部是否已结合的第一流程图。
图4A是初始位置处的可动部和被驱动部的侧面图。
图4B是可动部的一方的凸出部与被驱动部结合时的与图4A同样的侧面图。
图4C是可动部的另一方的凸出部与被驱动部结合时的与图4A同样的侧面图。
图5是判定可动部与被驱动部是否已结合的第二流程图。
图6是判定可动部与被驱动部是否已结合的第三流程图。
图7是根据本发明的第二实施方式的电动机控制装置的功能框图。
图8是判定可动部与被驱动部是否已结合的其他的流程图。
图9是判定可动部与被驱动部是否已结合的另外其他的流程图。
图10A是用于说明齿隙的第一图。
图10B是用于说明齿隙的第二图。
图10C是用于说明齿隙的第三图。
图11是用于说明齿隙的其他的图。
具体实施方式
以下,参照附图来说明本发明的实施方式。在以下的附图中,对同样的部件附带同样的参考标号。为了易于理解,这些附图适当地改变了比例。
图1是根据本发明的第一实施方式的电动机控制装置的功能框图。如图1所示,具有凸出部A1、A2的可动部WA通过螺杆安装于电动机M的输出轴。并且,具备凸起部B的被驱动部WB配置为可以与可动部WA结合。
如参照图10A所说明的那样,在可动部WA与被驱动部WB之间存在齿隙C。利用三维测定器等测定可动部WA的移动距离并将其与电动机M的移动量相比较来测定它们的差,由此来求出齿隙C。或者,可以通过测定象限变换时生成的,所谓的象限凸起,求出齿隙C。
如图1所示,检测可动部WA的位置的第一位置检测部11,例如编码器,安装于电动机M中。该第一位置检测部11能够通过公知的方法检测可动部WA的速度。此外,检测被驱动部WB的位置的第二位置检测部12配置为与被驱动部WB邻接。
电动机控制装置10主要包含,周期性地生成可动部WA的位置指令值CP的位置指令生成部20、生成可动部WA的速度指令的速度指令生成部24、生成电动机M的转矩指令的转矩指令生成部26。
此外,电动机控制装置10还包含,计算第一位置检测部11检测出的第一位置检测值DP1与第二位置检测部12检测出的第二位置检测部DP2之间的偏差ΔP的偏差计算部31。此外,电动机控制装置10还包含,判定在使可动部WA从任意的初始位置向第一驱动方向和与该第一驱动方向相反的第二驱动方向移动时可动部WA是否与被驱动部WB结合的判定部32。
此外,电动机控制装置10还包含,在通过判定部32判定可动部WA与被驱动部WB结合时,将偏差计算部31所计算出的偏差ΔP作为初始偏差ΔP0与第一驱动方向或者第二驱动方向相关联地进行保存的保存部33。此外,保存部33还能够保存速度等其他要素。此外,电动机控制装置10包含计算用于消除齿隙的齿隙修正量的修正量计算部34。
图2是表示本发明的电动机控制装置的动作的流程图。图2所表示的内容是在每个预定的控制周期重复进行的内容。以下,参照图1和图2来说明本发明的电动机控制装置的动作。
首先,在图2的步骤S11中,位置指令生成部20生成位置指令值CP。接着,在步骤S12、S13中,第一位置检测部11和第二位置检测部12分别检测可动部WA的第一位置检测值DP1和被驱动部WB的第二位置检测部DP2。
如图1所示,从由位置指令生成部20生成的位置指令值CP中,通过减法运算器21减去由第一位置检测部11检测出的第一位置检测值DP1,生成第一位置偏差ΔP1。此外,如从图1中可知,使第一位置检测值DP1乘以变换系数30。
此外,通过减法运算器27从位置指令值CP中减去由第二位置检测部12检测出的第二位置检测值DP2,来生成第二位置偏差ΔP2。在减法运算器28中,将第一位置偏差ΔP1从第二位置偏差ΔP2中减去,通过低通滤波器29而输入至加法运算器23。这里,使用低通滤波器29的理由是,位置偏差的变化大时,利用来自第一位置检测部的位置检测值来对位置进行控制,由此可稳定地移动可动部;在位置偏差的变化小时,利用来自第二位置检测部的位置检测值来对位置进行控制,由此可提高被可动部的位置的精度。
通过加法运算器23相加而得的第一位置偏差ΔP1和第二位置偏差ΔP2被输入至速度指令生成部24,来生成速度指令值CV。在减法运算器25中,从速度指令值CV减去通过第一位置检测部11检测出的速度检测值DV,来计算速度偏差ΔV。接着,转矩指令生成部26根据速度偏差ΔV来生成转矩指令值,并输入至电动机M中。此外,生成的速度指令值CV和速度检测值DV依次被保存在保存部33中。
如从图1可知,在本发明中,将从第二位置偏差ΔP2中减去第一位置偏差ΔP1而得的值被输入至偏差计算部31。在该值中,实际上排除了位置指令值CP。因此,偏差计算部31能够容易地计算第一位置检测值DP1与第二位置检测值DP2之间的偏差ΔP(步骤S14)。或者,可以直接将第一位置偏差ΔP1与第二位置偏差ΔP2输入至偏差计算部31,生成偏差ΔP。
之后,如步骤S15中所示,判定部32判定可动部WA与被驱动部WB是否结合。图3是判定可动部与被驱动部是否结合的第一流程图。此外,图4A是初始位置中可动部和被驱动部的侧面图。此外,图4B和图4C是可动部的凸出部与被驱动部结合时的与图4A同样的侧面图。以下,一边参照图3至图4C,一边针对可动部WA与被驱动部WB是否结合的判定进行说明。
图4A所表示的初始状态是一个例示。在图4A中,被驱动部WB的凸起部B存在于可动部WA的两个凸起部A1、A2之间的某位置。被驱动部WB的凸起部B可以位于可动部WA的两个凸起部A1、A2之间的任意位置。此外,在图4A至图4C中,以左方向为第一驱动方向,同时以右方向为第二驱动方向。例如,第一驱动方向为正方向,第二驱动方向为反方向。
此外,在可动部为滚珠螺杆且与被驱动部的螺母相结合的情况下,可动部WA是与电动机M的输出轴相连接的螺杆N,凸起部A1、A2相当于滚珠螺杆的螺纹牙。可动部为螺母且被驱动部为滚珠螺杆的情况下,凸起部A1、A2相当于螺母的螺纹牙。此外,电动机M通过来自位置指令生成部20的位置指令值而进行适当反转,可动部WA沿着第一驱动方向和第二驱动方向适当移动。
在图3的步骤S21中,判定通过第一位置检测部11检测的第一位置检测值DP1在可动部WA的第一驱动方向上的移动量的绝对值是否为齿隙C以上。此外,第一位置检测值DP1的移动量当方向发生反转时(从第一驱动方向向第二驱动方向变换时,或者从第二驱动方向向第一驱动方向变换时)被清零,成为仅在向同一方向移动过程中进行累计的移动量。在判定为“是”的情况下,则判定可动部WA的凸出部A2与被驱动部WB的凸起部B结合(参照图4(b))。并且,在步骤S24中,将第一驱动方向上的偏差ΔP作为初始偏差ΔP0附带符号保存在保存部33中。
此外,在步骤S21中判定为“否”的情况下,进入步骤S25,判定通过第一位置检测部11检测的可动部WA的第二驱动方向上的第一位置检测值DP1的绝对值是否为齿隙C以上。此外,第一位置检测值DP1的移动量当方向发生反转时(从第一驱动方向向第二驱动方向变换时,或者从第二驱动方向向第一驱动方向变换时)被清零,成为仅在向同一方向的移动过程中进行累计的移动量。在判定为“是”的情况下,则判定可动部WA的凸出部A1与被驱动部WB的凸起部B结合(参照图4C)。并且,在步骤S28中,将第二驱动方向上的偏差ΔP作为初始偏差ΔP0附带符号保存在保存部33中。
此外,在可动部WA从如图4A所示的初始位置发生移动的情况下,图3的步骤S24中的偏差ΔP相当于距离L2。同样地,图3的步骤S28中的偏差ΔP相当于距离L1。
此外,从图4A可知,如果可动部WA在第一驱动方向仅移动距离L2,则可动部WA的凸出部A2与被驱动部WB的凸起部B结合。然而,在初始位置处被驱动部WB的凸起部B位于可动部WA的两个突出部A1、A2之间的何处是不明的。因此,本发明中,在仅移动齿隙C(=L1+L2)时,判断为可动部WA与被驱动部WB结合。
但是,也存在第一驱动方向上的初始偏差ΔP0、第二驱动方向上的初始偏差ΔP一经保存之后则不被更新的情况,以及在满足通过第一位置检测部11检测的可动部WA的第一驱动方向上的第一位置检测值DP1的移动量的绝对值为齿隙C以上的条件时被更新的情况。
图8是判定可动部与被驱动部是否结合的其他的流程图,是与图3同样的图。如图8所示,在一经保存之后则不被更新的情况下,设定表示初始偏差已经保存的位,只要设定了位,则不进行更新(步骤S21a、S25a)。如图8的步骤S24′、S28′所示,位优选分别在第一驱动方向和第二驱动方向进行准备。
再次参照图2,在步骤S16中,判定当前所要求的驱动方向中作为初始偏差ΔP0的偏差ΔP是否被保存在保存部33中。在未保存的情况下,进入步骤S17。在该情况下,表示过去被驱动部WB的凸起部B与可动部WA的要求的驱动方向的凸出部A1或者A2无结合,所需要的齿隙不清楚。因此,修正量计算部34将齿隙修正量设定为零。
与此相对,在偏差ΔP保存在保存部33中的情况下,进入步骤S18。在该情况下,表示在过去所要求的驱动方向上被驱动部WB的凸起部B与可动部WA的凸出部A1、A2中的任意一方结合,向驱动方向的所需要的齿隙是清楚的。在步骤S18中,修正量计算部34设定为:齿隙修正量=所要求的驱动方向中初始偏差ΔP0-当前的偏差ΔP。
这里,参照图1,通过修正量计算部34生成的齿隙修正量在加法运算器22中与第一位置偏差ΔP1进行加法运算。并且,加法运算后的值通过加法运算器23被供给至速度指令生成部24,来生成速度指令值CV(步骤S19),最终,在转矩指令生成部26中,生成转矩指令值。
这样,在本发明中,根据当前的可动部WA的位置与被驱动部WB的位置之间的ΔP,以及保存在保存部33中的初始偏差ΔP0,来计算齿隙修正量。因此,可以生成根据当前的可动部WA的位置和被驱动部WB的位置的最适当的齿隙修正量。
但是,图3中根据第一位置检测值DP1的绝对值判定可动部WA与被驱动部WB的结合。但是,也可以根据其他要素来判定可动部WA与被驱动部WB的结合。
图5是判定可动部与被驱动部是否结合的第二流程图。在图5表示的步骤中,省略了对参照图3说明的同样的步骤的再次说明。
在图5中,在步骤S21中判定为“是”时,进入步骤S22。在步骤S22中,根据连续的多个速度指令值CV或者速度检测值DV,来计算第一或第二驱动方向上的加速度A。该计算由判定部32进行。并且,将加速度A的绝对值与预定的阈值相比较。该预定的阈值是零或者接近于零的正值。在加速度A的绝对值为预定的阈值以下的情况下,进入步骤S24。
同样地,在步骤S25中判定为“是”时,进入步骤S26。并且,将计算出的第一或者第二驱动方向上的加速度A的绝对值与上述的预定阈值相比较。在加速度A的绝对值为预定的阈值以下的情况下,进入步骤S28。
在步骤S22和步骤S26中加速度A的绝对值为预定的阈值以下的情况下,能够判断为可动部WA大概地以恒定速度进行移动,基本上不会发生加速或者减速。在这样的情况下,能够判断不会由于加速或者减速使可动部WA的移动轴(螺杆N)发生变形。
并且,在步骤S22和步骤S26中加速度A的绝对值为预定的阈值以下的情况下,分别进入步骤S24和步骤S28,将偏差ΔP作为初始偏差ΔP0进行保存。在根据这样的初始偏差ΔP0来生成齿隙修正量的情况下,能够求出不会受到加速或者减速的影响的准确的齿隙修正量。
在该情况下,与上述同样地,存在初始偏差不被更新的情况和被更新的情况。图9是判定可动部与被驱动部是否结合的另外其他的流程图,是与图5同样的图。如图9所示,设定表示初始偏差已经保存的位,在已设定位的情况下不进行更新(步骤S21a、S25a)。此外,如步骤S24′、S28′所示,位优选针对第一驱动方向和第二驱动方向的每一个进行准备。
此外,也可以根据另外其他的要素来判定可动部WA与被驱动部WB的结合。图6是判定可动部与被驱动部是否结合的第三流程图。在图6所表示的步骤中,省略了对参照图3或者图5说明的同样的步骤的再次说明。
在图6中,在步骤S22中判定为“是”的情况下,进入步骤S23。在步骤S23中,判定第一驱动方向中的偏差ΔP是否保存在保存部33中。此外,在步骤S23中,将保存部33中保存的速度的绝对值与当前的速度的绝对值相比较。这里,所保存的速度和当前的速度可以是速度指令值CV或者速度检测值DV的任意一个。但是,使同种类的速度相互间进行比较,例如所保存的速度指令值CV与当前的速度指令值CV。
并且,在第一驱动方向中的偏差ΔP被保存在保存部33中的情况下,或者,在保存部33中所保存的速度的绝对值比当前的速度的绝对值更大的情况下,进入步骤S24′。在步骤S24′中,将第一驱动方向中的偏差ΔP作为初始偏差ΔP0进行保存。此外,在步骤S24′中,将当前的速度保存在保存部33中。
同样地,在图6中,在步骤S26中判定为“是”时进入步骤S27。并且在将第二驱动方向中的偏差ΔP被保存在保存部33中的情况下,或者,在保存部33中所保存的速度的绝对值比当前的速度的绝对值更大的情况下,进入步骤S28′。并且,在步骤S28′中,将第二驱动方向中的偏差ΔP作为初始偏差ΔP0进行保存的同时,将当前的速度保存在保存部33中。
在步骤S23和步骤S27中判定为“是”的情况下,可动部WA的当前的速度比所保存的速度更小。如此,在可动部WA的速度小的情况下,螺杆N的变形也小。因此,在图6所示的流程图中,采用了考虑螺杆N的变形更小的速度。并且,根据通过步骤S24′或者步骤S28′保存的初始偏差来生成齿隙修正量时,则求出不会受螺杆N的变形的影响的准确的齿隙修正量。
此外,修正量计算部34生成的齿隙修正量不会变得比齿隙C更大。因此,假设在修正量计算部34生成了比齿隙C更大的齿隙修正量的情况下,优选修正量计算部34将生成的齿隙修正量限制为齿隙以下的值。由此,能够防止计算出非常大的齿隙修正量。
此外,图7是根据本发明的第二实施方式的电动机控制装置的功能框图。在图7中,将来自第一位置检测部11的第一位置检测值DP1和来自第二位置检测部12的第二位置检测值DP2直接地输入至偏差计算部31中。并且,与上述同样地,将通过修正量计算部34生成的齿隙修正量,在加法运算器22中与速度指令值CV进行相加。在该情况下,也可以使齿隙修正量乘以合适的变换系数。明显的是,在这样的情况下,也可以得到与上述同样的效果。
在第一个发明中,根据当前的可动部的位置与被驱动部的位置之间的偏差、初始偏差,计算齿隙修正量。因此,能够生成与当前的可动部的位置和被驱动部的位置对应的最佳的齿隙修正量。
在第二个发明中,在可动部移动了齿隙以上时,判定为可动部与被驱动部发生了结合,因此,能够更准确地判定可动部与被驱动部发生了结合。
在可动部以恒定速度进行移动时,基本上没有加速或者减速的影响。因此,在第三个发明中,不会由于加速或减速导致可动部的移动轴发生变形,并能够准确地求取齿隙修正量。
在第四个发明中,使用检测可动部的位置的第一位置检测部与检测被驱动部的位置的第二位置检测部的双方的位置检测值来生成速度指令值,由此,在可动部与被驱动部之间的齿隙大的情况下,也能够生成难以发生振动的速度指令值。
在第五个发明中,使用所述第一位置偏差和所述第二位置偏差的双方的偏差来生成速度指令值,由此,在位置偏差的变化大时,利用来自第一位置检测部的位置检测值对位置进行控制,由此能够使可动部稳定地移动;当位置偏差的变化小时,利用来自第二位置检测部的位置检测值对位置进行控制,由此能够提高被驱动部的位置的精度。
可动部的速度越小,可动部的移动轴的变形变得越小。因此,在第六个发明中,通过采用使可动部的移动轴的变形更小的速度,能够更准确地求取齿隙修正量。
在第七个发明中,齿隙修正量不会变大至齿隙以上。通过将齿隙修正量限制为齿隙以下的值,能够防止计算出非常大的齿隙修正量。
虽然使用典型的实施方式对本发明进行了说明,但是,本领域技术人员应当能够理解,在不脱离本发明的范围的情况下,能够进行上述变更和各种其他的变更、省略、添加。

Claims (7)

1.一种电动机控制装置,对由电动机驱动的可动部与由该可动部驱动的被驱动部之间的齿隙进行修正,所述电动机控制装置的特征在于,
具备:
检测所述可动部的位置的第一位置检测部(11);
检测所述被驱动部的位置的第二位置检测部(12);
计算所述第一位置检测部检测出的第一位置检测值与所述第二位置检测部检测出的第二位置检测值之间的偏差的偏差计算部(31);
判定使所述可动部从任意的初始位置向第一驱动方向和与该第一驱动方向相反的第二驱动方向移动时,所述可动部是否已与所述被驱动部结合的判定部(32);
在通过所述判定部判定出所述可动部已与所述被驱动部结合时,将所述偏差计算部计算出的所述偏差作为初始偏差与所述第一驱动方向或者所述第二驱动方向相关联地进行保存的保存部(33);以及
计算所述齿隙的齿隙修正量的修正量计算部(34),
其中,所述修正量计算部根据所述偏差计算部针对所述可动部和所述被驱动部各自的当前位置计算出的偏差、与所述保存部保存的所述初始偏差,来计算所述齿隙修正量。
2.根据权利要求1所述的电动机控制装置,其特征在于,
所述判定部,在所述可动部向所述第一驱动方向或者所述第二驱动方向移动了所述齿隙以上时,判定所述可动部已与所述被驱动部结合。
3.根据权利要求2所述的电动机控制装置,其特征在于,
所述判定部,在所述可动部已以恒定速度移动时,判定所述可动部已与所述被驱动部结合。
4.根据权利要求1所述的电动机控制装置,其特征在于,
还具备:
生成所述被驱动部的位置指令值的位置指令生成部(20);以及
根据所述位置指令值与所述第一位置检测值之间的第一位置偏差、所述位置指令值与所述第二位置检测值之间的第二位置偏差,来生成速度指令值的速度指令生成部(24)。
5.根据权利要求4所述的电动机控制装置,其特征在于,
所述速度指令生成部,将所述第二位置偏差与所述第一位置偏差的差通过低通滤波器(29)而得的值与所述第一位置偏差相加,来生成速度指令。
6.根据权利要求4所述的电动机控制装置,其特征在于,
所述保存部还保存在所述第一驱动方向和所述第二驱动方向上的速度指令值,在当前的速度指令值小于被保存的速度指令值的情况下,将所述当前的速度指令值作为新的速度指令值进行保存。
7.根据权利要求1所述的电动机控制装置,其特征在于,
所述修正量计算部将所述齿隙修正量限制在齿隙量以下。
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