CN103568138B - 脆性材料基板的滚动裂断装置 - Google Patents

脆性材料基板的滚动裂断装置 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种可容易地分断形成有刻划线的脆性材料基板的脆性材料基板的滚动裂断装置。该滚动裂断装置具备有:载置于上面形成有刻划线(S)的脆性材料基板(3)的柔软性安放衬垫(25)、设置于柔软性安放衬垫(25)的一侧端并以柔软性安放衬垫(25)不挠曲的方式赋予张力的拉伸部(30)、隔着柔软性安放衬垫(25)位于与脆性材料基板(3)相反的相反侧的按压移动滚动部(20)、以及以按压移动滚动部(20)按压柔软性安放衬垫(25)的下面的方式使按压移动滚动部(20)上下移动的升降部(26)。

Description

脆性材料基板的滚动裂断装置
技术领域
本发明有关于滚动裂断装置,尤其是关于可容易地对形成有刻划线的脆性材料基板进行分断的脆性材料基板的滚动裂断装置。
背景技术
一般而言,脆性材料基板被大型化地制造,使用者再将该基板分断成所欲的大小而使用。关于分断如此大型的脆性材料基板的现有习知的分断装置,参照图1及图2进行说明。
参照图1,为了对大型的脆性材料基板3进行分断,首先,在大型的脆性材料基板3的表面,使用刀轮4来形成刻划线S。之后,以将脆性材料基板3的上下面对调的方式利用吸附反转装置(图未示)使其180度反转。如图2所示,若使形成有刻划线S的脆性材料基板3的面以朝向底面的方式反转,则对刻划线S的背侧沿着刻划线S的形成方向以裂断杆8进行加压。借此,脆性材料基板3沿着刻划线S左右分离同时分断。此时,在脆性材料基板3的下部侧,以于利用裂断杆8进行加压时,脆性材料基板3一边被押往下部侧,一边被缓冲的方式铺设有缓冲片7。
如前述般,当沿着刻划线S对脆性材料基板3的上面一边以裂断杆8进行加压一边押下时,脆性材料基板3则一边往缓冲片7压挤一边沿着刻划线S分断。然而,由于脆性材料基板3的刻划线S与铺设的缓冲片7的面接触,一旦对与形成有刻划线S的面为相反侧的面以裂断杆8进行加压,则形成有刻划线S的面将与缓冲片7的面接触且产生摩擦力。据此,存在有分断后的脆性材料基板难以左右分离,使分离变得不容易的问题。
此外,形成有刻划线S的面,在与缓冲片7的面接触的状态下,一边往缓冲片7的方向压挤一边引起摩擦同时分断,因此亦存在有在分断面产生碎屑的问题。此外,在如前述般的现有习知的分断装置中,为了对脆性材料基板进行分断而必需利用吸附反转装置等使基板反转,因此亦存在有因吸附而导致基板面的污染容易产生的问题点。进一步地,一旦未对刻划线S的正背对位置以裂断杆8进行加压,则无法正确地沿刻划线S分断,一旦在脆性材料基板3的位置些微偏移的状态下以裂断杆8进行加压,便无法正确地沿刻划线S分断,而以往左右任一方偏移的状态分断的问题发生。
由此可见,上述现有的分断装置在结构与使用上,显然仍存在有不便与缺陷,而亟待加以进一步改进。为了解决上述存在的问题,相关厂商莫不费尽心思来谋求解决之道,但长久以来一直未见适用的设计被发展完成,而一般产品又没有适切结构能够解决上述问题,此显然是相关业者急欲解决的问题。
发明内容
本发明的目的在于,提供一种可容易地分断形成有刻划线的脆性材料基板的脆性材料基板的滚动裂断装置。
本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。本发明的滚动裂断装置具备有:载置于上面形成有刻划线的脆性材料基板的柔软性安放衬垫(pad)、设置于该柔软性安放衬垫的一侧端并以拉伸该柔软性安放衬垫的方式赋予张力的拉伸部、隔着该柔软性安放衬垫位于与该脆性材料基板相反的相反侧的按压移动滚动部、以及使该按压移动滚动部上下移动的升降部。
本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。
前述的滚动裂断装置,其中该按压移动滚动部可沿着该柔软性安放衬垫的下面进行移动。
前述的滚动裂断装置,其中在该按压移动滚动部与该升降部之间,进一步包含与该脆性材料基板的下面平行地设置的水平棚,且该按压移动滚动部可在该水平棚上沿着该柔软性安放衬垫的下面进行移动。
前述的滚动裂断装置,其中该滚动裂断装置具有使该按压移动滚动部在与该脆性材料基板的面平行的面内旋转的旋转部。
前述的滚动裂断装置,其中该柔软性安放衬垫,可以在筛网状的网上重叠橡胶衬垫的方式形成、或以黏着性橡胶形成。
前述的滚动裂断装置,其中该按压移动滚动部,其长边方向的尺寸可形成为较该脆性材料基板的宽度为大。
借由上述技术方案,本发明滚动裂断装置至少具有下列优点及有益效果:根据本发明,在脆性材料基板形成刻划线后,以未将该脆性材料基板翻面的方式继续,因此可防止基板面的污染。此外,借由利用在水平方向进行移动的按压移动滚动部,可迅速且容易地将形成有刻划线的脆性材料基板分断,并且,即使在刻划线的方向与按压移动滚动部的位置未正确地成为一致时亦可分断。此外,由于一边将按压移动滚动部往上方按压,一边使其沿着脆性材料基板的下面在水平方向移动,因此可对脆性材料基板的刻划线顺着每一条线进行裂断。此外,在以黏着性橡胶构成柔软性安放衬垫的情形,由于脆性材料基板贴附于黏着性橡胶衬垫,因此可防止在由按压移动滚动部往上按压时,脆性材料基板从柔软性安放衬垫浮起,且可提高分断力。
上述说明仅是本发明技术方案的概述,为了能够更清楚了解本发明的技术手段,而可依照说明书的内容予以实施,并且为了让本发明的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂,以下特举较佳实施例,并配合附图,详细说明如下。
附图说明
图1:表示形成用以分断脆性材料基板的刻划线的装置的示意图。
图2:表示在借由图1的装置形成刻划线后,利用裂断杆对基板进行分断的现有习知的分断装置的示意图。
图3:表示本发明实施例的脆性材料基板的滚动裂断装置的示意图。
图4:表示利用本发明实施例的脆性材料基板的滚动裂断装置,对脆性材料基板进行分断的示意图。
图5:表示本发明实施例的脆性材料基板的滚动裂断装置,对脆性材料基板进行分断的示意图。
【主要元件符号说明】
S:刻划线 3:脆性材料基板
20:按压移动滚动部 25:柔软性安放衬垫
26:升降部 28:旋转部
30:拉伸部
具体实施方式
为更进一步阐述本发明为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效,以下结合附图及较佳实施例,对依据本发明提出的一种脆性材料基板的滚动裂断装置的具体实施方式、结构、特征及其功效,详细说明如后。
以下,参照图式,对本发明的较佳实施例更详细地进行说明。另外,在本发明的实施例中,关于与现有习知技术的构成元件相同或类似的构成元件,借由使用相同的图式符号而省略说明。
本发明实施例的脆性材料基板的滚动裂断装置,如图3所示,具备借由汽缸等而可升降的升降部26,而在该升降部26的上部安装有旋转部28。在旋转部28的上部安装有在水平状态下形成平坦的水平棚22,而在水平棚22上安装有在水平方向移动自如的按压移动滚动部20。按压移动滚动部20,以在水平棚22上借由驱动装置(图未示)而可滚动的方式设置。
在按压移动滚动部20的上方往水平方向延伸设置有柔软性安放衬垫25,而在该柔软性安放衬垫25的一侧端,安装有以柔软性安放衬垫25经常性地维持水平状态的方式赋予张力的拉伸部30。拉伸部30,安装于柔软性安放衬垫25的一侧端,并可以使柔软性安放衬垫25经常性地维持于拉伸状态的悬锤或弹性体构成。当然,若可使柔软性安放衬垫25经常维持于拉伸状态,则亦可为其他的手段。拉伸部30,以即使在脆性材料基板3已载置于柔软性安放衬垫25上的状态下,柔软性安装衬垫25亦不会因脆性材料基板3的重量而弯曲并可维持水平状态的方式,对柔软性安放衬垫25赋予张力。
在拉伸部30对柔软性安放衬垫25的整个宽以一定的力拉伸时,为了维持柔软性安放衬垫25的水平状态,较佳为:以筛网状的橡胶网构成柔软性安放衬垫25,或以于筛网状的网上将橡胶衬垫形成一体的方式构成柔软性安放衬垫25。此外,柔软性安放衬垫25,为了在载置有脆性材料基板3时产生固定力,因此亦可利用附着性佳的黏着橡胶等。
对利用如上述般构成的本实施例的滚动裂断装置分断基板的过程具体地进行说明。
首先,如图3所示,将借由刻划步骤而于上面形成有刻划线S的脆性材料基板3载置于柔软性安放衬垫25上。在将脆性材料基板3载置于柔软性安放衬垫25上时,柔软性安放衬垫25未挠曲地维持水平状态。亦即,柔软性安放衬垫25,其一侧端借由拉伸部30而经常性地以较脆性材料基板3的重量为大的力拉伸,因此防止因脆性材料基板3的重量而使柔软性安放衬垫25的中央部位往下方挠曲。
当将脆性材料基板3载置于柔软性安放衬垫25上,升降部26借由驱动装置(图未示)上升。一旦升降部26上升则使得按压移动滚动部20亦上升,借此,在载置有脆性材料基板3的状态下维持水平状态的柔软性安放衬垫25的下面的一部分,亦借由按压移动滚动部20上升一定的高度。
当按压移动滚动部20一边抵接于柔软性安放衬垫25的下面,一边使柔软性安放衬垫25押往上方(在图3的Y方向)时,载置于柔软性安放衬垫25上的脆性材料基板3亦同时往上方位移。亦即,如图4所示,一旦柔软性安放衬垫25借由按压移动滚动部20而被押至Y轴上的一定的高度,则使得载置于柔软性安放衬垫25上的脆性材料基板3亦被往上方举起。此时,一旦形成于脆性材料基板3上面的刻划线S的高度以按压移动滚动部20的上升高度进行位移,则在使刻划线S裂开的方向产生拉伸应力,借此形成于刻划线S的裂痕缓缓地往下侧延伸并分断脆性材料基板3。
此外,如图5所示,在脆性材料基板3的刻划线S借由按压移动滚动部20的按压力而左右分离时,借由脆性材料基板3的本身重量而加重施加于刻划线S上的拉伸应力,因此裂痕的进行速度进一步地加速,可进一步容易地对脆性材料基板3进行分断。
此外,如图4所示,在按压移动滚动部20一边于水平方向(在图4的X方向)进行移动一边经过形成脆性材料基板3的刻划线S的位置的过程中,成为按压移动滚动部20将脆性材料基板3的刻划线S往上方举起的形态,因此在形成有刻划线S的每一部位,裂痕一边进行一边依序分断。
载置有脆性材料基板3的柔软性安放衬垫25的表面,亦可以一般的橡胶形成,以脆性材料基板3附着于柔软性安放衬垫25的表面并进一步增加由拉伸应力导致的分断力的方式,亦可以吸附性橡胶或黏着性橡胶等形成。
关于此,更具体地进行说明,在柔软性安放衬垫25以黏着性橡胶形成的情形,由于脆性材料基板3贴附于柔软性安放衬垫25,因此在图5所示的圆内的放大图中的脆性材料基板3的折弯角度变陡峭,进一步附加施加于脆性材料基板3的刻划线S的力,因此进一步有助于裂痕的进行。
另一方面,如前述般,按压移动滚动部20,一边沿着脆性材料基板3的下面于X方向移动,一边对脆性材料基板3的形成于与X轴及Y轴垂直的方向(以下称Z方向)的刻划线S进行裂断后,借由升降部26的下降动作下降并返回至最初的位置。而且,在完成沿着形成于Z方向的刻划线S的分断作业后,为了继续地执行沿着形成于X方向的刻划线S的分断作业,利用旋转部28将按压移动滚动部20的朝向旋转90度。之后,按压移动滚动部20,借由升降部26而再次往Y方向上升,此次一边往Z方向移动一边依序对脆性材料基板3的形成于X方向的刻划线S进行裂断。
在本实施例中,虽按压移动滚动部20以在水平棚22上进行移动的方式构成,但本发明并不限定于此,按压移动滚动部20亦可以在旋转部28上于水平方向进行移动的方式构成。此外,按压移动滚动部20,图示虽省略,但亦可以于两端铺设轨条等方式使其移动,或以安装其他驱动装置等方式使其移动。
此外,根据本实施例的按压移动滚动部20,在脆性材料基板3的与形成有刻划线S的面为相反侧的面,亦即脆性材料基板3的背面的侧,长条状的滚子(roller)一边滚动一边将该背面往上方举起,因此在按压移动滚动部20与刻划线S之间即使产生些微的偏移等,亦可沿着刻划线S正确地进行分断。
以上所述,仅是本发明的较佳实施例而已,并非对本发明作任何形式上的限制,虽然本发明已以较佳实施例揭露如上,然而并非用以限定本发明,任何熟悉本专业的技术人员,在不脱离本发明技术方案范围内,当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例,但凡是未脱离本发明技术方案的内容,依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰,均仍属于本发明技术方案的范围内。

Claims (7)

1.一种滚动裂断装置,其特征在于其具备有:
柔软性安放衬垫,载置于上面形成有刻划线的脆性材料基板;
拉伸部,设置于该柔软性安放衬垫的一侧端,并以拉伸该柔软性安放衬垫的方式赋予张力;
按压移动滚动部,隔着该柔软性安放衬垫位于与该脆性材料基板相反的相反侧;以及
升降部,使该按压移动滚动部上下移动。
2.如权利要求1所述的滚动裂断装置,其特征在于其中该按压移动滚动部沿着该柔软性安放衬垫的下面进行移动。
3.如权利要求2所述的滚动裂断装置,其特征在于其中在该按压移动滚动部与该升降部之间,进一步包含与该脆性材料基板的下面平行地设置的水平棚;
该按压移动滚动部在该水平棚上沿着该柔软性安放衬垫的下面进行移动。
4.如权利要求1至3中任一项所述的滚动裂断装置,其特征在于其中该滚动裂断装置具有使该按压移动滚动部在与该脆性材料基板的面平行的面内旋转的旋转部。
5.如权利要求1至3中任一项所述的滚动裂断装置,其特征在于其中该柔软性安放衬垫以在筛网状的网上重叠橡胶衬垫的方式形成。
6.如权利要求1至3中任一项所述的滚动裂断装置,其特征在于其中该柔软性安放衬垫是黏着性橡胶。
7.如权利要求1至3中任一项所述的滚动裂断装置,其特征在于其中该按压移动滚动部,其长边方向的尺寸形成为较该脆性材料基板的宽度大。
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Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6387679B2 (ja) * 2014-05-22 2018-09-12 三星ダイヤモンド工業株式会社 ブレイク方法
CN105565254B (zh) * 2014-10-17 2017-11-14 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 一种mems器件及其制备方法、电子装置
EP3222593B1 (en) * 2014-11-19 2022-06-29 Bando Kiko Co., Ltd Method for splitting glass plate
JP2016104683A (ja) 2014-11-19 2016-06-09 坂東機工株式会社 ガラス板の折割方法及びその折割装置
CN104843488B (zh) * 2015-04-10 2017-12-29 京东方科技集团股份有限公司 一种输出装置和切割裂片***
JP6547556B2 (ja) * 2015-09-29 2019-07-24 三星ダイヤモンド工業株式会社 脆性基板の分断方法
JP6149960B2 (ja) * 2016-02-17 2017-06-21 坂東機工株式会社 ガラス板の折割方法
JP6477946B2 (ja) * 2018-03-02 2019-03-06 三星ダイヤモンド工業株式会社 ブレイク装置
TWI664134B (zh) * 2018-08-07 2019-07-01 住華科技股份有限公司 輸送設備及使用其之輸送方式

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4989475A (zh) * 1972-12-27 1974-08-27
JPS59120452A (ja) * 1982-12-28 1984-07-12 昭和電工株式会社 タ−ポリン
JPS63172612U (zh) * 1987-04-28 1988-11-09
JPS6457015U (zh) * 1987-10-07 1989-04-10
AT399865B (de) 1990-05-15 1995-08-25 Lisec Peter Verfahren und vorrichtung zum brechen von glasscheiben
JP2002050589A (ja) * 2000-08-03 2002-02-15 Sony Corp 半導体ウェーハの延伸分離方法及び装置
JP2002184723A (ja) * 2000-12-13 2002-06-28 Sony Corp 半導体製造方法および半導体製造装置
JP4647830B2 (ja) * 2001-05-10 2011-03-09 株式会社ディスコ 被加工物の分割処理方法および分割処理方法に用いるチップ間隔拡張装置
JP2003127096A (ja) 2001-10-24 2003-05-08 Matsushita Electric Ind Co Ltd 基板分割装置および基板分割方法
JP4256214B2 (ja) * 2003-06-27 2009-04-22 株式会社ディスコ 板状物の分割装置
CN100428418C (zh) * 2004-02-09 2008-10-22 株式会社迪斯科 晶片的分割方法
JP4584607B2 (ja) * 2004-03-16 2010-11-24 浜松ホトニクス株式会社 加工対象物切断方法
JP4514490B2 (ja) * 2004-03-29 2010-07-28 日東電工株式会社 半導体ウエハの小片化方法
KR101170587B1 (ko) * 2005-01-05 2012-08-01 티에이치케이 인텍스 가부시키가이샤 워크의 브레이크 방법 및 장치, 스크라이브 및 브레이크방법, 및 브레이크 기능을 갖는 스크라이브 장치
JP2006202933A (ja) * 2005-01-20 2006-08-03 Disco Abrasive Syst Ltd ウエーハの分割方法
CN1994713B (zh) * 2006-01-06 2010-05-12 日月光半导体制造股份有限公司 晶粒分离装置及其分离晶粒的方法
JP5216522B2 (ja) 2008-10-07 2013-06-19 三星ダイヤモンド工業株式会社 脆性材料プライヤ
JP5546873B2 (ja) * 2010-01-12 2014-07-09 キヤノンマシナリー株式会社 半導体ウェハの分割方法及び装置
TWI462215B (zh) * 2010-03-29 2014-11-21 Dainippon Screen Mfg 基板處理裝置、轉換方法、及轉移方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP6274756B2 (ja) 2018-02-07
KR20140018504A (ko) 2014-02-13
KR101365049B1 (ko) 2014-02-20
TWI591031B (zh) 2017-07-11
JP2014031002A (ja) 2014-02-20
CN103568138A (zh) 2014-02-12
TW201406683A (zh) 2014-02-16
JP6528829B2 (ja) 2019-06-12
JP2018030376A (ja) 2018-03-01

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