CN103547874A - 烘干机 - Google Patents

Abstract

烘干机包括围罩和用于运输一个或多个部件经过第一和第二开口之间的运输装置。烘干机包括一个或多个加热元件，以及围罩中的第一和第二导管。上述第一和第二导管均包括多个被配置为朝向一个或多个部件排放加热的空气的开口。与围罩内部流体连通的排气管包括用于将流体从围罩内部排出的排风机，以及用于氧化蒸发的化合物的一个或多个加热元件。送风机和排风机协同操作，以便引导空气渗透通过第一和第二开口。还提供了操作烘干机的方法。

Description

烘干机

相关申请的交叉引用

本申请要求2011年4月15日提交的美国临时专利申请序列号61/475,821的优先权，该申请通过引用并入本文。

技术领域

本发明涉及烘干机。特别的，本发明涉及用于硅片的烘干机。

背景技术

在生产过程中，许多产品出于各种原因都需要进行热处理，包括半导体晶片制造过程中的热固化、将钢铁等产品材料进行硬化的退火工序。热处理过程通常是在极高的温度下进行的。包括用于对放在其上的部件进行烘干的传送带的烘干机被广泛地应用于各个行业。

这样的申请包括将光伏电池的硅片上的传导性金属化胶融化或烘干的烘干机。这种烘干机典型地运送传送带上的硅片使其经过内部具有红外线（IR）加热器的围罩，并且如果有工艺空气，则有非常少量的工艺空气被引入烘干机围罩及/或从烘干机围罩流出。在这样一些烘干机中，通过周围的绝缘体或喷雾管将一些工艺空气引入围罩中。当挥发性有机化合物（VOC）从胶中蒸发时，包括空气及来自围罩内部的蒸发的化合物的流体混合物在围罩的入口及/或出口处通过排气口被排出。这样，工艺空气对干燥过程不起什么作用，只不过充当将蒸发的化合物从围罩内部去除的媒介或工具。

有的烘干机不使用红外线加热器，而是使用再循环的加压气流。然而，这种气流通常是以低速引入到围罩中，因此，不能有效地去除蒸发的化合物。由于再循环的加压气流被使用，蒸发的化合物的浓度最终达到了饱和点，在这个饱和点上可能无法排出蒸发的化合物。此外，蒸发的化合物在管道***及***的其他部件内开始冷凝，然而这些管道***及***的其他部件需要频繁停工检修。

发明内容

在烘干机的一个实施例中，包含第一和第二开口的围罩包括用于运送一个或多个部件使其经过在第一和第二开口之间的围罩的运输装置。烘干机包括围罩靠近第一开口的至少一部分中的一个或多个加热元件，以及围罩中的第一和第二导管。第一和所述第二导管均包括一个闭合端、一个入口和被配置用于朝向一个或多个部件排出空气的多个开口。通过与第一和第二导管的入口流体连通的送风机，第一和第二加热器分别对供给到第一和第二导管的空气进行加热。与围罩内部流体连通的排气管包括用于从围罩内部排出流体的排风机。

在一些烘干机实施例中，配置多个开口来以至少部分重叠的方式将空气排放到运输装置上的一个或多个部件表面上。在某些烘干机实施例中，围罩内部的温度被维持为至少等于或高于运输装置上的一个或多个部件上的一个或多个化合物中的每个的饱和温度。在一些烘干机实施例中，送风机和排风机协同进行操作以在围罩中产生负压力，用于引导空气渗透通过第一和第二开口。

一种操作（或使用）一个烘干机实施例的方法包括运送一个或多个部件使其经过在第一和第二开口之间的围罩。一个或多个部件上面及/或里面的一个或多个化合物是通过加热元件被蒸发掉的，及/或由第一和第二导管中的多个开口朝向一个或多个部件排放的加热的空气被蒸发掉的。围罩内的流体是用排风机排出的。在某些实施例中，操作发热元件、送风机和排风机以将围罩内部的温度维持为至少等于或高于运输装置上的一个或多个部件上面及/或里面的一个或多个化合物中的每个的饱和温度。在一些实施例中，送风机和排风机以某种方式***作以有助于通过在围罩中产生负压来引导空气渗透通过第一和第二开口。

附图说明

图1示出依照本发明的实施例，沿着烘干机纵向范围的剖视图；

图2示出从图1所示的烘干机的内部观察的侧面剖视图；

图3示出从图1所示的烘干机内部沿线3-3观察的底部剖视图；

图4示出图1所示的烘干机的侧面图；

图5示出图1所示的烘干机的端视图；

图6示出图1所示的烘干机内的流体流动路径；

图7示出图1示出的烘干机的一个实施例中的用于供应加热的空气使其通过多个开口的导管的局部详图；和

图8示出图1所示的烘干机的一个实施例中的用于供应加热的空气使其通过多个开口的导管的另一个局部详图。

具体实施方式

很多种实施例在此公开，还有其他一些实施例对本领域技术人员而言也是显而易见的。在下文中，参考附图来详细描述某些说明性和非限制性实施例，其中的相同元件是由相同的附图标记来标示的。应该很清楚的了解，没有意图、隐含的，或在其他方面以任何形式或方式对文中所述的发明进行限制。同样，所有替代的实施例被看作是在本发明披露的精神、范围和意图内。本发明的公认范围是由附加要求及其任何等同物限定的。

例如，烘干机10的实施例包括像管道一样的围罩12，围罩12配有运输装置14，该运输装置14沿着在第一开口16和第二开口18之间延伸的行程路径来分别运送一个或多个部件（未显示）使其经过围罩12。在此，通过透视图来描述烘干机10的实施例，其中第一开口16是被运送经过围罩12的一个或多个部件的进口（或入口），第二开口18是被运送经过围罩12的一个或多个部件的输出口（或出口）。尽管示出了围罩12具有沿其纵向范围的通常的方形横截面，但是在烘干机10的某些实施例中，围罩12包括例如矩形、圆形或三角形等的横截面。虽然围罩12被示出具有沿着其纵向范围的通常的均匀的横截面，但是烘干机10的某些实施例包括在第一开口16和第二开口18之间有变化的横截面和/或纵横比的围罩12，这样的实施例被认定为属于该发明的范畴。例如，在一些实施例中，围罩12的横截面包括一个或多个截面，该截面有一个或多个均匀的横截面，这些横截面与一个或多个其他截面的横截面不同。在烘干机10的其他一些实施例中，围罩10的横截面在第一开口16和第二开口18之间不断地变化。总之，围罩12的尺寸或横截面积可以是均匀的，也可以随着第一开口16和第二开口18之间的行程路径来变化。虽然围罩12和运输装置14被描述为沿着他们的纵向范围呈线性，但不是所有情况下都如此。例如，在烘干机10的一些实施例中，围罩12和运输装置14在第一开口16和第二开口18之间具有曲线路径。所描述的烘干机10的实施例包括在围罩12外表面的至少一部分上的可选的热绝缘20。

干燥机10的一些实施例包括位于围罩12靠近第一开口16的至少一部分中的一个或多个加热元件22。通常，在运输装置14上的一个或多个部件被运送经过第一开口16和第二开口18之间的围罩12时，加热元件22被安排并配置来给这些部件加热。这样，根据加热元件22的配置，用被引导朝向一个或多个部件的热量对所述一个或多个部件内和/或其表面（如顶部及/或底部表面）上的一个或多个化合物进行加热，并使其蒸发，例如蒸发太阳能电池的硅片上的传导性金属化胶。

在一些实施例中，加热元件22是红外线（IR）加热器；而加热的替换形式（如直接火炉等）被认定为在该发明的范畴内。尽管加热元件22被描述为相对于运输装置14上下并排放置，但不是所有情况下都如此。例如，在烘干机10的一些实施例中，加热元件22放置在运输装置14上方或放置在运输装置14下方。包含以不同于图中所描述的方式放置的加热元件22的烘干机10的实施例被认定为属于该发明的范畴。例如，烘干机10的一些实施例包括在第一开口16和第二开口18之间的整个运输装置14上方和/或下方的加热元件22。在烘干机10的一些实施例中，加热元件22放置在围罩12不靠近第一开口16和/或第二开口18的截面内。在烘干机10的一些实施例中，加热元件22放置在相对于运输装置14上的一个或多个部件成一定角度（如45°、90°等）的位置上。在烘干机10的一些实施例中，加热元件22将运输装置14限制在围罩12内。对于本领域技术人员来说是显而易见的用于加热所述一个或多个部件和蒸发所述一个或多个化合物的额外的、替换的排列与配置被认定为属于该发明的范畴。

除加热元件22或其他元件外，烘干机10的实施例包含围罩12中的第一导管24和第二导管26。正如所描述的那样，第一导管24和第二导管26分别包括进气孔28和30及闭合端32和34。如图7、图8所示，在有些实施例中，第一导管24和第二导管26包括在进气孔28和30以及它们各自的闭合端32和34之间的至少一部分上的多个开口36（被示出为孔）。开口36可以是安排并配置用于将提供至第一导管24和第二导管26的气体排放至围罩12的内部38的孔或狭缝。

通常，从开口36排放出来的空气被引导朝向运输装置14上的一个或多个部件，这样，至少一部分排放的空气被引导朝向所述一个或多个部件，或在邻近所述一个或多个部件的位置处形成至少部分重叠的流动型态。如图3所示，在烘干机10的一些实施例中，第一导管24和第二导管26放置在运输装置14的接近中央位置的上方，并经过其纵向范围。图3还表明，在烘干机10的某些实施例中，开口36被定位在面向运输装置14的位置上。同样，图3还表明了一套实施例，其中排放的空气被引导朝向一个或多个部件的顶面及/或被引导至一个或多个部件的顶面上，所述一个或多个部件由运输装置14运送经过第一开口16和第二开口18之间的围罩12。

如图6所示，排放至内部38的空气通常沿着流动路径40流动。然而，并不总需要这种排列和设置。例如，在烘干机10的一些实施例中，排放的空气从运输装置14的下方被引导朝向一个或多个部件。在烘干机10的其他一些实施例中，排放的空气被引导沿着与一个或多个部件相同的和/或平行的平面中的流动路径。在烘干机10的一些实施例中，排放的空气相对于一个或多个部件成一定角度被引导朝向所述一个或多个部件。在烘干机10的其他实施例中，还可以在围罩12中配备一个或多个额外的导管。其他用于提供所述功能的设计对于本领域技术人员来说也是显而易见的。所有额外的、替换安排和配置可被认为属于该发明的范畴。

在烘干机10的一些实施例中，进气孔28和30放置在靠近围罩12的中心位置上，并且围罩12中的第一导管24和第二导管26从各自的闭合端32和34分别延伸至围罩12内靠近第一开口16和第二开口18的位置。在烘干机10的某些实施例中，进气孔28和30分别定位在靠近第一开口16和第二开口18的位置上，并且围罩中12的第一导管24和第二导管26分别从各自的闭合端32和34延伸至围罩12内靠近其中心的位置。在烘干机10的一些实施例中，第一导管24和第二导管26包括单个（整块）共同的进气孔，不包括分离的进气孔28和30。烘干机10的有些实施例包括第一导管24和第二导管26中的一个，而不是全包括，换句话说，包括单个导管。例如，烘干机10的某些实施例包含在围罩12内第一开口16和第二开口18之间的几乎整个范围延伸的一个或多个连续或邻近的导管，其中每根导管包括靠近开口之一的进气孔和靠近另一开口的闭合端。在某些实施例中，烘干机10包含围罩12的截面中的一个或多个导管，其中，每根导管的进气孔和闭合端位于除了第一开口16和第二开口18及/或围罩12的中心以外的一个或多个位置上。在烘干10的一些实施例中，一个或多个导管位于围罩12的外表面上，使得从开口36排放出的空气通过围罩12的外部表面中的多个开口（例如，孔、狭缝等）进入内部38。对于本领域技术人员来说显而易见的替换或额外的导管配置被认定为属于该发明的范畴。

在烘干机10的有些实施例中，第一导管24和第二导管26中的一个或两者是具有环形截面的圆形导管。在烘干机10的某些实施例中，一个或多个导管可能有呈卵形（或椭圆形）、正方形、长方形、三角形，或不同几何图形组合等的一个或多个横截面。第一导管24和第二导管26被描述为沿着它们的纵向范围具有通常均匀的横截面，但不是所有情况下都如此。例如，在烘干机10的有些实施例中，将空气排放至围罩12的内部38中的一个或多个导管包括一个或多个截面，其中，所述一个或多个截面的横截面可能是均匀的，也可能是不均匀的，或它们的组合，例如，有的截面有第一横截面，其他截面包括与第一横截面不同的第二横截面。在烘干机10的某些实施例中，一个或多个导管包括沿着其纵向范围不断变化的横截面。

除前述情况外，第一导管22和第二导管24中的一个或两者包括一个或多个流量控制***，如气流调节器，用于调节由此流过的空气流量及/或用于调节通过开口36排放的空气流量。用于将空气排放至内部38及/或朝向运输装置14上的一个或多个部件排放空气的其他配置对于本领域技术人员来说是显而易见的。所有额外的、替换的排列与配置被认定为属于该发明的范畴。

在烘干机10的一些实施例中，空气是由送风机42供给的，来自送风机42的至少一部分空气首先是由第一加热器44和第二加热器46在通过它们各自的进气孔28和30分别进入流体连接的第一导管24和第二导管26之前进行加热的。烘干机10被描述为有向第一导管24和第二导管26供给空气的送风机42，但是显然的是，烘干机10的某些实施例包含与第一导管24和第二导管26中的每个的一个或多个进气孔单独地和个别地流体连通的一个或多个送风机42。在这种实施例中，第一加热器44和第二加热器46分别对供给至第一导管24和第二导管26的空气进行加热。另外，尽管烘干机10被描述为包含用于对分别供给至第一导管24和第二导管26的空气进行加热的第一加热器44和第二加热器46，但是显然的是，烘干机10的一些实施例包括一个用于在送风机42划分为两个流动路径之前对流出送风机42的空气进行加热的加热器，其中每个流动路径向第一导管24和第二导管26传递加热的空气。在烘干机10的某些实施例中，供给至第一导管24和第二导管26的加热的空气是由多个加热器来加热的。对本领域技术人员而言显而易见的对供应至一个或多个导管的空气进行加热的额外的、替换的排列与配置被认定为属于该发明的范畴。

正如前文所述，运输装置14上的一个或多个部件可包括所述部件内和/或表面（例如，顶面和/或底面）上的一个或多个化合物。在烘干机10的一些实施例中，当一个或多个部件被运送经过围罩12时，来自从加热元件22及/或从开口36中排放出的加热的空气的热量被用来蒸发一个或多个化合物。已经散布到围罩12的内部38中的被蒸发的化合物是用流体连通的排风机52使其沿着路径48通过围罩12的抽气口50来从围罩12中排出的。

虽然抽气口50被描述为位于烘干机10的顶面上与第一开口16和第二开口18距离大致相等的位置，但是显然的是，可以出现一个或多个替换的或额外的配置。例如，在烘干机10的一些实施例中，除了位于顶面以外或可替换的位于顶面上，抽气口50还可位于围罩12的一个或两个侧面上及/或底面上。额外的，或可替换的，抽气口50位于围罩12范围内的任意位置上，包括靠近第一开口16或第二开口18。烘干机10的一些实施例包含不止一个用于在围罩12范围内的一个或多个位置上将流体从内部38排出的抽气口50。在烘干机10的某些实施例中，抽气口50限制了围罩12。在烘干机10的某些实施例中，抽气口50包括一个或多个流量控制***，如气流调节器等。此外，烘干机10的某些实施例包含了不止一个排风机52。对于本领域技术人员而言显而易见的额外的、替换的排列与配置被认定为属于该发明的范畴。

在烘干机10的某些实施例中，送风机42和排风机52以某种方式操作，从而使得围罩12的内部38的至少一部分维持具有至少部分低于周围大气压的压力。压差引导来自烘干机10外部及/或围罩12外部的环境的空气，使所述空气沿着流动路径54通过第一开口16和第二开口18渗入内部38。在烘干机10的一些实施例中，这种空气渗入可以至少最小化，在有的实施例中为抑制，一个或多个蒸发的化合物从围罩12渗出。为了至少最小化，和有的实施例中为抑制，蒸发的化合物的冷凝，并且为了促进一个或多个化合物的不间断蒸发，内部38的温度被维持为至少等于或高于一个或多个化合物中的每个的饱和温度。通过排风机52从围罩12中排出的流体（包括空气与蒸发的化合物的混合物）被引导沿着流动路径48通过排气管56。

在一些烘干机10的实施例中，排气管56包括位于其中的一个或多个加热元件58及热绝缘部件60。排气管56的外部表面周围的流体通道62至少一部分是由外壳64以与排气管56的至少一部分间隔开的方式进行围绕来限定的。加热元件58可将从内部38排出的流体加热为至少等于或高于一个或多个蒸发的化合物中的每个的氧化温度的温度。在出口66处沿着流动路径68从排气管56流出的加热流体的流动可以引导来自烘干机10外部及/或围罩12外部的环境中的空气，使所述空气沿着流动路径70渗入流体通道62。流出排气管56的加热的流体及沿着流动路径70渗入流体通道62的空气的混合物在端口72处沿着流动路径74流出烘干机10。

图7和图8分别示出圆形导管102和矩形（正方形）导管202的局部详细视图。在下文中，除非另有说明，否则在描述其中的相似特点和部件时，圆形导管102及矩形导管202被统称为“一个或多个导管”或简称“导管”。一个或多个导管，即圆形导管102和矩形导管202，被描述为包括延伸穿过各自的壁104/204的开口36，用于在导管内部与外部之间提供流体连通。来自一个或多个送风机（如送风机42）的空气通过导管的进气孔（如进气孔28/30）进入每个导管，并通过开口36被排放至围罩12的内部38中。在进入导管之前，空气可由一个或多个加热器（如第一加热器44和第二加热器46）加热。如前述参考图3所描述的，在烘干机10的一些实施例中，导管放置在运输装置14的近似中心位置的上方并经过其纵向范围。如前述参考图3所描述的，在烘干机10的某些实施例中，开口36被定向为朝向（或面向）运输装置14，从而从开口36排放出的空气可被引导朝向运输装置14上的一个或多个部件。

在一些实施例中，一个或多个导管的开口36通常是在线108/208附近以蛇状图案106/206形成的环形或圆形的孔，从而每个开口36从两个最靠近的开口36中的每一个都成α度角偏移。在包含一个或多个圆导管102的烘干机10的实施例中，开口36是有环形横截面的圆形孔。

在前文中开口36被描述为通常是呈圆形或环形，但不是所有情况下都如此。例如，在一些实施例中，导管的开口36（即导管24、26、102、202等）呈矩形、三角形、正方形、卵形、椭圆形、狭缝形等。在某些实施例中，开口36是不同形状的组合。而且，虽然所有开口36被示出和描述为具有通常相似的尺寸，但是烘干机10的一些实施例包括一个或多个导管，其中一些或所有开口36的纵横比相似或互不相同。例如，烘干机10的一些实施例包括导管，其中开口36的纵横比沿着导管的纵向范围变化，例如，靠近进气口的开口36的直径小于靠近闭合端的开口36的直径。在一些实施例中，开口36通常垂直于导管的内表面及/或外表面。在某些实施例中，开口36通常不垂直于导管的内表面及/或外表面。例如，开口36被成形为相对于导管的内表面及/或外表面成一个或多个不同的角度。

虽然图3、图7、图8中的一个或多个导管只显示了沿着线108/208从两个相邻的开口36之间的线108/208偏移的一个开口36，但不是所有情况下都如此。例如，在烘干机10的一些实施例中，导管具有沿着线108/208从两个相邻的开口之间的线108/208偏移的两个或多个开口36。在烘干机10的某些实施例中，一个或多个导管包括与图3、图7、图8中所描述的蛇形图案106/206不同的一个或多个开口图案。例如，一些导管中的开口36是梯形图案。

通常，配置一个或多个导管及/或开口36以便朝向或邻近一个或多个部件排放空气。开口36可以放置在使空气以至少部分重叠的方式被排放的位置上。这样，在烘干机10的一些实施例案中，空气被引导朝向的一个或多个部件的整个表面或主要部分的表面要经受至少一部分已经排放出的空气。

在烘干机10的一些实施例中，相邻的开口36彼此之间有范围在大约0°至30°的角偏移，即0°≤α≤30°。在烘干机10的一个典型的实施例中，开口36相对于与其最靠近的两个开口36中的每一个的角位移约为20°，即α=20°。在烘干机10的某些实施例中，开口36的直径约为0.285英寸。在烘干机10的一些实施例中，开口36之间的中心至中心（或中心间）的距离大约在0.0至6.0英寸。在烘干机10的一个典型的实施例中，中心间的距离约为3.0英寸。

除上文以外，或替换的，烘干机10的实施例包括一个或多个控制器、多个传感器和用于操作烘干机10的***和装置，所述***和装置包括用于控制运输装置14、加热元件22、一个或两个风机42和52、一个或两个加热器44和46、流量控制***等的操作参数的协议。通常由控制器调节的这些操作参数包括以下多项中的一个或多个：开状态及/或关状态，运输装置14及风机42、52的一个或多个速度，加热元件22和加热器44、46中的一个或多个的性能，气流控制阀等。在烘干机10的一些实施例中，控制器调节加热元件22和一个或两个加热器44和46的“开/关”状态。烘干机10的某些实施例包括与控制器操作连通的一个或多个硅可控整流器（SCR）。与控制器操作连通的多个传感器包括一个或多个温度传感器，化合物传感器（如用于挥发性有机化合物（VOC）的传感器），一个或多个压力传感器，一个或多个流量传感器等。这样，控制器可通过将操作条件维持在预先确定的水平上来调节烘干机10的操作。在烘干机10的一些实施例中，控制器是比例控制器，或积分控制器，或导数控制器，或以上控制器的任意组合。

在操作过程中，一个或多个部件，如上面有金属化胶的硅片（如太阳能电池），放置在位于第一开口16的运输装置14的顶面上，并被运送经过围罩12。当一个或多个部件经过围罩12时，相对于运输装置14上下并排放置的加热元件22，如红外线加热器，对这些部件进行加热。与加热元件22同时或可替换的，经过加热的空气进入导管24和26，通过开口36排放或流到内部38，并加热一个或多个部件。在加热一个或多个部件时，由于胶在部件上烘干，一些化学制品，如VOC，会从金属化胶中蒸发释放出来。蒸发的化合物、通过开口36释放的加热的空气和通过第一开口16和第二开口18渗入的空气的混合物，是从内部38通过抽气口50排出来的。从内部38排出来的混合物由排气管56中的加热元件58加热为至少等于或高于一个或多个蒸发的化合物中的每一个的氧化温度的温度。在烘干机10的一个实施例中，控制器通过将操作条件维持在预先确定的水平上来调节一个或多个部件的烘干操作和过程。

考虑到前文对烘干机10各种实施例的描述，其他设计、排列、配置、附加物、修改等对于本领域技术人员而言是显而易见的。例如，虽然所描述的实施例涉及到特定的特征及/或功能，本发明被认为还包括具有与前面描述的特征及/或功能不同的特征及/或功能的组合的实施例。本发明由附加的权利要求及其一切变体和等价物定义，所有额外的和替换的实施例被认为属于该发明的范畴。

Claims (20)

1.一种烘干机，包括

围罩，包含第一开口和第二开口；

运输装置，运送一个或多个部件使其经过在所述第一和第二开口之间的所述围罩；

一个或多个加热元件，位于所述围罩靠近所述第一开口的至少一部分中；

第一导管和第二导管，位于所述围罩中，所述第一导管和第二导管的每个都包含闭合端和进气孔；

多个开口，位于所述第一导管和第二导管的每个中，所述多个开口被配置为朝向所述一个或多个部件排放空气；

送风机，与所述第一导管和第二导管的所述进气孔流体连通；

第一加热器和第二加热器，用于对由所述送风机向所述第一导管和第二导管供给的空气分别进行加热；

排气管，与所述围罩的内部流体连通，所述排气管包括用于将流体从所述围罩排出的排风机。

2.根据权利要求1所述的烘干机，其中所述多个开口被配置为用于以至少部分重叠的方式将来自相邻开口的空气排放到所述运输装置上的所述一个或多个部件的表面上。

3.根据权利要求2所述的烘干机，其中（a）所述一个或多个加热元件、（b）所述送风机、（c）所述第一加热器和第二加热器和（d）所述排风机协同操作以将所述围罩的所述内部的温度维持为至少等于或高于所述一个或多个化合物中的每个的饱和温度。

4.根据权利要求3所述的烘干机，包含用来将所述排出的流体加热到温度至少等于或高于所述一个或多个化合物中的每一个的氧化温度的第三加热器。

5.根据权利要求4所述的烘干机，包括外壳，所述外壳在所述排气管周围并且至少局部地限定所述外壳和排气管之间的通道，其中，

所述排出的流体的流动引导空气从所述围罩的外部周围流动通过所述通道；并且

被排放的空气流包括所述排出的流体与通过所述通道的空气的混合物。

6.根据权利要求3所述的烘干机，其中所述送风机和排风机协同操作以在所述围罩中产生负压，从而引导空气渗透通过所述第一开口和第二开口。

7.根据权利要求3所述的烘干机，其中，所述一个或多个加热元件中的至少一个位于所述运输装置上方并且被配置为用于从上面对所述一个或多个部件加热。

8.根据权利要求3所述的烘干机，其中，所述一个或多个加热元件中的至少一个位于所述运输装置下方并被配置为用于从下面对所述一个或多个部件加热。

9.根据权利要求2所述的烘干机，其中，所述第一导管和第二导管沿着所述运输装置的大体中心纵向地延伸。

10.根据权利要求2所述的烘干机，其中，所述多个开口呈蛇状图案。

11.根据权利要求1所述的烘干机，其中所述第一导管和第二导管中的每一个的所述闭合端分别靠近第一开口和第二开口。

12.根据权利要求1所述的烘干机，其中所述第一导管和第二导管中的每一个的所述进气孔位于到第一开口和第二开口的距离大体相等的位置上。

13.根据权利要求1所述的烘干机，其中所述排出的流体是从到所述第一开口和第二开口的距离大体相等的位置上排出的。

14.根据权利要求1所述的烘干机，包含一个或多个与控制器操作连通的传感器，所述控制器被配置为调节以下多项中的一个或多个：

所述围罩中的压力；

所述围罩中的温度；

所述送风机的操作；

供给至所述第一导管和第二导管的空气的流速；

从所述多个开口排放的空气的流速；

所述第一加热器和第二加热器的操作；

供给至所述第一导管和第二导管的所述空气的温度；

从所述多个开口排放的空气的温度；

所述排气管的操作；

所述排出的流体的流速；

排出所述排气管的所述排出的流体的温度；

一个或多个化合物中的每个的浓度级；

所述一个或多个加热元件；以及

所述运输装置的速度。

15.一种烘干方法，包括：

在围罩的第一开口和第二开口之间运送一个或多个部件；

用一个或多个加热元件对所述一个或多个部件加热，所述加热元件位于所述围罩靠近第一开口的至少一部分中；

将加热的空气通过所述围罩内第一导管和第二导管中的多个开口排放到所述一个或多个部件的表面上，所述第一导管和第二导管均包含用于所述加热的空气的进气孔以及闭合端；

蒸发来自所述一个或多个部件的一个或多个化合物中的每一个；以及

将来自所述围罩的流体排出到排气管。

16.根据权利要求15所述的方法，包括以至少部分重叠的方式将来自所述多个开口的相邻开口的加热的空气排放到所述运输装置上的所述一个或多个部件的顶面上。

17.根据权利要求15所述的方法，包括将所述围罩的所述内部的温度维持为至少等于或高于所述一个或多个蒸发的化合物中的每一个的饱和温度。

18.根据权利要求15所述的方法，包括在所述围罩的内部维持负压，以便引导空气渗透通过所述第一开口和第二开口。

19.根据权利要求15所述的方法，包括氧化所述排出的流体中的所述一个或多个蒸发的化合物中的每一个。

20.根据权利要求15所述的方法，包括引导空气沿着所述围罩及/或所述排气管的其中之一或两者的外部流动。

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